JP2002229619A - 生産ライン管理システムおよび生産ライン管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送装置の搬送能力を変えることなく、ロッ
トの搬送に要する平均時間を減少させて搬送ロスを低減
し、この結果、生産ライン全体での処理能力（単位時間
当たりの処理ロット数）の増加を図ることのできる生産
ライン管理システムを提供する。 【解決手段】 前工程が完了し、次工程で所定の処理が
施される前のロットを一時保管するバッファステーショ
ンと、製造装置との間でロットの搬送を行う搬送装置
と、生産ライン上の製造装置のうち、処理能力が他の製
造装置よりも低い製造装置へのロットの搬送を、他の製
造装置へのロットの搬送よりも優先して行うように上記
搬送装置を駆動制御する搬送装置・製造装置通信管理コ
ンピュータ２とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、多数の工程によっ
てＴＦＴ（Thin Film Transistor）液晶パネル等の工業
製品の製造を行なうための生産ラインを管理するため
の、生産ライン管理システム及び生産ライン管理方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＴＦＴ液晶パネルを多数生産する工場に
おける生産ライン管理は、一般に、CIM(Computer Integ
rated Manufacuturing: コンピュータ統合生産) 手法を
用いた管理方法で行われている。

【０００３】CIM による管理方法を用いた生産管理を行
うシステム（以下、管理システムと称する）は、図１９
に示すように、工程管理コンピュータ１０１と、搬送装
置・製造装置通信管理コンピュータ１０２と、生産系デ
ータベース１０３とを備えている。

【０００４】このような管理システムによって管理され
るＴＦＴ液晶パネルの製造工程では、単数または複数の
生産ラインが使用される。各生産ラインでは、ＴＦＴ液
晶パネルの材料であるＴＦＴ専用ガラス基板が、ロット
単位で処理される。そして、単数あるいは複数のクリー
ンルームにおいて、数十からなる工程の処理が各ロット
に施され、ＴＦＴ液晶パネルが製造される。

【０００５】ここで、ロットとは、生産ライン上での被
加工物の最小単位であるとともに、物流の際の最小単位
でもある。通常、工場内には、製品の種類毎にこのロッ
トが多数存在する。また、通常のＴＦＴ液晶パネルの製
造では、カセットと呼ばれる入れ物に装填された多数枚
の材料（ガラス基板）を１ロットとし、ロット番号が記
されたカセットに最大２０枚程度のガラス基板が装填さ
れ、被加工物の最小単位としている。

【０００６】この管理システムにおいて、生産系データ
ベース１０３は、工程管理コンピュータ１０１が制御す
るデータベースであり、工場内に多数存在する各機種の
ロットの情報が、ロット単位で登録されている。この情
報とは、例えばロット番号、現在の仕掛りステップ、現
在位置、レシピ情報等である。

【０００７】仕掛りステップとは、所属の工程フローに
定義された製造プロセスの処理ステップの事を示す。ま
た、工程フローとは、ある機種の生産プロセスの手順を
記した一連の流れを定義したものである。レシピとは、
ロットを各製造装置で処理するための条件である。

【０００８】また、工程管理コンピュータ１０１と搬送
装置・製造装置通信管理コンピュータ１０２とは、工場
あるいはクリーンルーム内で稼動する各種製造装置及び
各製造装置間ヘロットを自動搬送する搬送装置（図示せ
ず）を管理・制御するためのものである。

【０００９】搬送装置・製造装置通信管理コンピュータ
１０２には、図２０に示すように、単数又は複数のクリ
ーンルームで稼動する各搬送装置ＴＡ１〜ＴＡｎ及び各
種の製造装置ＥＱ１〜ＥＱｎが、これら各搬送装置又は
製造装置の台数だけ備えられている搬送装置通信インタ
ーフェースＴ１〜Ｔｎ及び製造装置通信インターフェー
スＦ１〜Ｆｎを介して接続されている。

【００１０】そして、工程管理コンピュータ１０１と搬
送装置・製造装置通信管理コンピュータ１０２とは、各
製造装置から発信されるロットの搬入要求、ロットの搬
入完了、処理開始、処理終了、ロットの搬出要求、ロッ
トの搬出完了等の信号を受信し、また、それに対応して
各搬送装置に対して、各製造装置へのロットの搬入搬送
指示、各製造装置からの搬出搬送指示を各搬送装置に送
信して、工場内のロットをリアルタイムに管理する。

【００１１】工程管理コンピュータ１０１は、この搬送
装置・製造装置通信管理コンピュータ１０２からの各種
の製造装置ＥＱ１〜ＥＱｎにおける実績報告に基づき、
生産系データベース１０３を更新するとともに、各クリ
ーンルームにおいて行われる数十もの工程を含む処理ス
テップを、ロット毎に工程完了（払い出し）まで管理す
るようになっている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところで、通常、生産
ラインでは、図２１に示すように、工程毎に処理能力
（処理ロット数／期間）の異なる複数の装置が使用され
ている。これらの装置を工程順に組み合わせて生産ライ
ンを形成した場合、生産ライン全体の処理能力（最終工
程１０が終了したロット数）は、最も処理能力の低い装
置３（ボトルネック装置）に拘束されるため、図２２に
示すように低下する。

【００１３】また、生産ラインを形成する各装置の形態
は、一般的に、図１４に示すように、共有ポートを１つ
有し、図１５に示すように、ロットを一時保管するバッ
ファステーションと、各装置の共有ポートとの間を、２
台の搬送車で搬送を行っている。この搬送車の台数は、
限られた通路スペースで行き来可能な数、または、設備
コストを考慮した数から決定されており、各装置毎に搬
送車を用意することは現実的でない。

【００１４】しかも、各装置における処理能力にも差が
あり、生産ラインにおいて処理能力の低い装置（ボトル
ネック装置）へのロットの搬送要求が集中して、該ボト
ルネック装置から次の装置へのロットの搬送に時間がか
かり、生産ライン全体にロット搬送の遅延が生じる。こ
のため、生産ライン全体の処理能力が低下するという問
題が生じる。

【００１５】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたもので、その目的は、搬送装置の搬送能力を変
えることなく、ロットの搬送に要する平均時間を減少さ
せて搬送ロスを低減し、この結果、生産ライン全体での
処理能力（単位時間当たりの処理ロット数）の増加を図
ることのできる生産ライン管理システムおよび生産ライ
ン管理方法を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明の生産ライン管理
システムは、上記の課題を解決するために、生産ライン
上の各工程でロットに対して所定の処理を施す複数の装
置と、前工程が完了し、次工程で所定の処理が施される
前のロットを一時保管するバッファステーションと、上
記装置とバッファステーションとの間でロットの搬送を
行う搬送装置と、上記装置のうち、処理能力が他の装置
よりも低い装置へのロットの搬送を、他の装置へのロッ
トの搬送よりも優先して行うように上記搬送装置を駆動
制御するコンピュータとを有することを特徴としてい
る。

【００１７】一般に、生産ライン上の各装置では、それ
ぞれ処理能力に違いがあり、これら能力の違いから、次
に搬送すべき装置へのロットの搬送の待ち時間がそれぞ
れ異なる。通常、処理能力の低い装置へのロットの搬送
ほど待ち時間が長くなる傾向にある。これによって、生
産ライン全体でのロット搬送の待ち時間が長くなり、こ
の結果、単位時間当たりのロット数で示される処理能力
の低下がみられる。

【００１８】そこで、上記の構成によれば、処理能力の
できるだけ小さい装置へのロットの搬送を、他の装置へ
のロットの搬送よりも優先して行うようになっているの
で、処理能力の低い装置へのロットの搬送待ち時間を短
縮することができる。

【００１９】これにより、搬送装置の搬送能力を変える
ことなく、ロットの搬送に要する平均時間を減少させて
搬送ロスを低減し、この結果、生産ライン全体での処理
能力（単位時間当たりの処理ロット数）の増加を図るこ
とができる。

【００２０】また、生産ライン上の各装置のうち、最も
低い処理能力の低い装置（ボトルネック装置）へのロッ
トの搬送待ち時間が一番長くなり、このボトルネック装
置へのロットの搬送待ち時間を短くすることで、生産ラ
イン全体のロットの搬送待ち時間を短縮させることがで
きる。

【００２１】したがって、上記コンピュータは、生産ラ
イン上の各装置のうち、処理能力が最も低い装置（ボト
ルネック装置）へのロットの搬送を最優先で行うように
上記搬送装置を駆動制御するようにしてもよい。

【００２２】この場合、上述したように、生産ライン全
体の処理能力を決定するボトルネック装置へのロットの
搬送待ち時間を短縮できるので、生産ライン全体の処理
能力の向上を図ることができる。

【００２３】また、上記生産ライン管理システムは、具
体的には、生産ライン上の各工程でロットに対して所定
の処理を施す複数の装置と、前工程が完了し、次工程で
所定の処理が施される前のロットを一時保管するバッフ
ァステーションと、上記装置とバッファステーションと
の間でロットの搬送を行う搬送装置と、ロットの搬送順
位が含まれる搬送指示情報を記憶する記憶手段と、上記
搬送指示情報に含まれる搬送順位の高いロットから搬送
するように、上記搬送装置を駆動制御するコンピュータ
とを有し、上記コンピュータは、上記搬送指示情報に、
上記生産ライン上の装置のうち、最も処理能力の低い装
置へのロットの搬送指示情報が含まれる場合、このロッ
トの搬送順位を最上位になるように繰り上げて、該ロッ
トの搬送を行うように上記搬送装置を駆動制御すること
で実現できる。

【００２４】本発明の生産ライン管理方法は、上記の課
題を解決するために、生産ライン上の各工程の装置で所
定の処理が完了したロットを、次の工程への搬送要求が
あるまでバッファステーションに一時待避させ、搬送要
求があれば、上記バッファステーションに待避されたロ
ットを次の工程の装置に搬送する生産ライン管理方法に
おいて、上記生産ライン上の各装置のうち、処理能力が
他の装置よりも低い装置へのロットの搬送を、他の装置
へのロットの搬送よりも優先して行うことを特徴として
いる。

【００２５】上記の構成によれば、処理能力のできるだ
け小さい装置へのロットの搬送を、他の装置へのロット
の搬送よりも優先して行うようになっているので、処理
能力の低い装置へのロットの搬送待ち時間を短縮するこ
とができる。

【００２６】これにより、搬送装置の搬送能力を変える
ことなく、ロットの搬送に要する平均時間を減少させて
搬送ロスを低減し、この結果、生産ライン全体での処理
能力（単位時間当たりの処理ロット数）の増加を図るこ
とができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態について説
明すれば、以下の通りである。

【００２８】なお、本実施の形態では、本発明の生産ラ
イン管理システムを、ＴＦＴ液晶パネルの生産を管理す
るシステム（以下、本システムとする）に適用した場合
について説明する。

【００２９】本システムは、図１に示すように、工程管
理コンピュータ１と、搬送装置・製造装置通信管理コン
ピュータ２と、生産系データベース３と、ロット進捗管
理サーバ４と、製造装置管理サーバ５と、ロット搬送管
理サーバ６と、製造装置通信インターフェースＦ１〜Ｆ
ｎ及び搬送装置通信インターフェースＴ１〜Ｔｎとを備
えている。

【００３０】上記製造装置通信インターフェースＦ１〜
Ｆｎには、製造装置ＥＱ１〜ＥＱｎが接続されており、
また、上記搬送装置通信インターフェースＴ１〜Ｔｎに
は、搬送装置ＴＡ１〜ＴＡｎが接続されている。ここ
で、製造装置ＥＱｌ〜ＥＱｎは、本システムが管理する
生産ラインにおいて、各種の製造工程を処理するための
製造装置である。また、搬送装置ＴＡ１〜ＴＡｎは、本
システムが管理する生産ラインにおいて、各ラインの製
造装置間のロット搬送するための搬送装置である。

【００３１】上記製造装置通信インターフェースＦｌ〜
Ｆｎは、本システムと製造装置ＥＱ１〜ＥＱｎとの通信
を可能とするためのインターフェースであり、各製造装
置ＥＱ１〜ＥＱｎと１対１対応となるように設けられて
いる。同様に、搬送装置通信インターフェースＴ１〜Ｔ
ｎは、本システムと搬送装置ＴＡ１〜ＴＡｎとの通信を
可能とするためのインターフェースであり、各搬送装置
ＴＡ１〜ＴＡｎと１対１対応となるように設けられてい
る。

【００３２】搬送装置・製造装置通信管理コンピュータ
２は、製造装置通信インターフェースＦ１〜Ｆｎを制御
して、各製造装置ＥＱ１〜ＥＱｎの動作状況に応じて、
工程管理コンピュータ１の制御に従って、各製造装置Ｅ
Ｑ１〜ＥＱｎをリアルタイムに管理するものである。同
様に、搬送装置通信インターフェースＴ１〜Ｔｎを制御
して、工程管理コンピュータ１の制御に従って、各搬送
装置ＴＡ１〜ＴＡｎをリアルタイムに管理するものであ
る。

【００３３】上記搬送装置ＴＡ１〜ＴＡｎは、図１に示
すように、それぞれの搬送装置の搬送待ち状態情報が格
納された記憶手段としての搬送待ちテーブル７からの指
示内容に基づいて駆動するようになっている。なお、こ
の搬送待ちテーブル７の詳細および搬送装置の駆動制御
についての詳細は、後述する。

【００３４】また、上記工程管理コンピュータ１は、ロ
ット進捗管理サーバ４、製造装置管理サーバ５及びロッ
ト搬送管理サーバ６を制御して、搬送装置・製造装置通
信管理コンピュータ２からの情報に従って各ロット及び
製造装置ＥＱ１〜ＥＱｎを管理する本システムの中枢部
である。

【００３５】従って、上記工程管理コンピュータ１は、
図１３に示すような、ロット搬入要求、ロット選択要
求、プロセス手順指示情報、搬送指示、搬送完了、ロッ
ト搬入完了、レシピ通知、処理開始、処理終了、搬出要
求、ロット搬出完了、オンライン／オフライン移行等の
情報を受け渡すことにより、生産ライン管理システムを
構成する他の構成要素である搬送装置・製造装置通信管
理コンピュータ２、ロット進捗管理サーバ４、製造装置
管理サーバ５、ロット搬送管理サーバ６を駆動制御する
ようになると共に、生産系データベース３のデータを読
み出したり書き換えたりするようになっている。

【００３６】ここで、上記工程管理コンピュータ１の機
能を詳細に説明する。

【００３７】工程管理コンピュータ１は、搬送装置・製
造装置通信管理コンピュータ２からの情報に基づいてロ
ット進捗管理サーバ４を制御し、生産系データベース３
の管理、及び、各ロットにおける全工程のステップ管理
を行うようになっている。

【００３８】すなわち、ロット進捗管理サーバ４は、工
程管理コンピュータ１の制御によって、搬送装置・製造
装置通信管理コンピュータ２からの各種の製造装置ＥＱ
１〜ＥＱｎにおける実績報告（製造装置管理情報）に基
づき、生産系データベース３を更新するとともに、バッ
ファステーション内の各クリーンルームにおいて行われ
る数十もの工程を含む処理ステップを、ロット毎に工程
完了（払い出し）まで管理するようになっている。

【００３９】上記生産系データベース３には、本システ
ムにより管理されているＴＦＴ液晶パネルの製造工程に
係る工程フロー情報が予め記憶されている。ここで、工
程フローとは、ある機種の生産プロセスの手順を記した
一連の流れを定義したものである。

【００４０】この工程フロー情報には、図２に示すよう
に、１つの工程フローＩＤ（IDntfication) 「ＦＬＯＷ
−００１」における仕掛りステップと、各ステップに対
する工程番号、工程名称、レシピＩＤ、仕掛りキューＩ
Ｄ及び搬出先バッファステーションＩＤ等の製造工程に
必要な情報が含まれている。

【００４１】したがって、ロット進捗管理サーバ４は、
生産系データベース３内の工程フロー情報に基づいてロ
ット毎に全工程を管理するようになっている。

【００４２】ロット進捗管理サーバ４によって更新され
る生産系データベース３は、工程管理コンピュータ１が
制御するデータベースであり、各ロットの情報が、ロッ
ト管理情報として登録されている。

【００４３】ロット管理情報には、図３（ａ）に示すよ
うに、「ロット番号」、「工程フローＩＤ」、各工程フ
ローにおける「ステップＩＤ」、「工程名称」、「工程
番号」、「現在位置」、「現在ポート位置又は棚番
号」、「処理ステータス」、「搬送ステータス」、「基
板枚数」、「ホールド個数」及び「ホールド情報」等の
ロット管理に必要な情報が含まれている。

【００４４】「工程フローＩＤ」欄には、あるＴＦＴ液
晶パネルにおける生産プロセスの手順を記した一連の流
れを定義した工程フローのＩＤが表示される。

【００４５】「ステップＩＤ」欄には、所属の工程フロ
ーに定義された製造プロセスの処理ステップである仕掛
りステップのＩＤが表示される。

【００４６】「工程番号」欄には、所属の工程フローに
定義された製造プロセスの処理が終了した工程の工程番
号が表示される。

【００４７】「現在ポート位置、または棚番号」欄に
は、ロットが製造装置ＥＱ１〜ＥＱｎにある場合、これ
らの装置のどのポートにあるのかが表示される。バッフ
ァステーションの場合は、どのバッファステーションの
どの棚番号または入出庫ポートにあるのかが表示され
る。

【００４８】「搬送ステータス」欄には、ロットの搬送
状態、つまり搬送中であるか否か、搬送トラブル中であ
るか否かの詳細が示される。「処理ステータス」欄に
は、ロットが処理可能であるかどうかが表示される。

【００４９】「ホールド情報」欄には、ロットに生じた
ホールドが記載される。「ホールド個数」欄には、「ホ
ールド情報」内に記載されたホールドの個数が記載され
る。

【００５０】「ホールド情報」欄は、ロットに生じたホ
ールドの通し番号が記載された「ホールド設定位置」欄
によって所定数のエリアに区切られ、各エリアに対応し
て、「ホールドタイプ」及び「コメント」の各欄が設け
られている。

【００５１】ホールドタイプには、ホールドの種類を示
す、予め設定された記号が記載される。

【００５２】上記ホールド情報には、図３（ｂ）に示す
ように、「ホールド設定位置」、「ホールドタイプ」、
「コメント」等のホールド設定に必要な情報が含まれて
いる。つまり、ホールド情報によって、各ホールドの意
味するロットの状況がしめされる。

【００５３】上記「コメント」欄には、「ホールドタイ
プ」欄に記載された記号で示されるホールドの簡単な意
味が記載される。従って、「ホールドタイプ」欄及び
「コメント」欄は必ず一対で記載される。また、「ホー
ルド設定位置」欄は、空きエリアのうちの小さい番号の
エリアから順に使用される。空きエリアとは、「ホール
ドタイプ」欄がブランクとなっているエリアである。

【００５４】また、ロット進捗管理サーバ４は、全ての
ロットにおけるロット管理情報に基づいて、仕掛かりロ
ット情報を作成し、生産系データベース３に記憶させて
いる。

【００５５】図３（ｃ）に、上記仕掛かりロット情報の
表示例を示す。この表示例のように、仕掛かりロット情
報には、各ロットの、「ロット番号」、「ロットの処理
優先度」、「レシピＩＤ」、及び「仕掛り登録時間」が
含まれている。

【００５６】上記の「レシピＩＤ」欄には、製造装置及
びロットに応じたレシピを特定するためのＩＤが表示さ
れる。ここで、レシピとは、ロットを処理するための条
件のことである。また、「仕掛り登録時間」には、各ロ
ットが仕掛り状態となった時刻が登録される。

【００５７】また、工程管理コンピュータ１は、搬送装
置・製造装置通信管理コンピュータ２からの情報に基づ
いて、製造装置管理サーバ５を制御し、各製造装置ＥＱ
ｌ〜ＥＱｎの状態を管理・制御するようになっている。
そして、工程管理コンピュータ１は、後述する製造装置
管理情報を作成し生産系データベース３に記憶させる。
また、上記情報を基にして、製造装置管理サーバ５を制
御し、搬送装置・製造装置通信管理コンピュータ２に与
える指示を作成・伝達する。

【００５８】生産系データベース３に記憶された製造装
置管理情報は、図４に示すように、「１．製造装置状態
管理」、「２．製造装置ポート状態管理」及び「３．処
理中ロット状態管理」の各項目からなる情報を含んでい
る。

【００５９】上記「１．製造装置状態管理」項目とし
て、「製造装置ＩＤ」、「製造装置通信状態」、「最大
搬入可能ロット数」、「処理中ロット数」、「１ロット
選択要求発行タイマ」の各欄が設けられている。そし
て、「製造装置ＩＤ」欄には、生産ラインにおける製造
装置のＩＤ（図の例では、ＥＱ１〜ＥＱｎのいずれか）
が表示される。また、「製造装置通信状態」欄には、製
造装置の回線の状態、すなわち、オンライン状態（ＯＮ
Ｌ）であるか、あるいは、オフライン状態（ＯＦＬ）で
あるか表示される。「処理中ロット数」欄には、製造装
置において処理中のロット数が表示される。また、「ロ
ット選択要求発行タイマ」欄の表示については後述す
る。

【００６０】上記「２．製造装置ポート状態管理」項目
として、「搬入予定ロット番号」欄及び「搬入要求受信
済み識別子」欄がポート毎に設けられている。そして、
「搬入予定ロット番号」欄には、各ポートの「ポートＩ
Ｄ」欄毎に搬入が予定されているロットの番号が表示さ
れ、「搬入要求受信済み識別子」欄には、製造装置から
発信されたロット搬入要求通知がロット搬送管理サーバ
６で受信されたかどうかが表示される。このロット搬入
要求通知については後述する。

【００６１】上記「３．処理中ロット状態管理」項目と
して、各製造装置において処理にかかっているロットの
状態を示す項目がロット毎に設けられている。各ロット
の「処理中ロット状態管理」項目には、図１０に示すよ
うに、「ロット番号」欄、「レシピＩＤ」欄、「搬出先
バッファステーションＩＤと棚番号」、「処理開始時
刻」欄、「処理終了時刻」欄、「処理枚数」欄及び「不
良枚数」欄が設けられている。

【００６２】上記「ロット番号」欄には、各ロットに固
有の番号が表示される。「搬出先バッファステーション
ＩＤと棚番号」欄には、処理済みのロットにおける搬出
先のバッファステーションＩＤ及び棚番号（各ロットを
格納する場所）を特定するＩＤが表示される。「処理開
始時刻」欄及び「処理終了時刻」欄には、この製造装置
における各ロットの処理の開始・終了の時刻が表示され
る。「処理枚数」欄及び「不良枚数」欄には、処理の済
んだロット内におけるＴＦＴ液晶パネルの材料であるガ
ラス基板の枚数、及び、適切に処理できなかった材料の
数が表示される。

【００６３】また、「不良枚数」欄の下部には、ロット
内の基板番号に対応して、「不良コード」欄が設けられ
ている。これは、適切に処理できなかった材料と、その
原因とを表示するためのものである。

【００６４】また、製造装置管理サーバ５は、全ての製
造装置における製造装置管理情報に基づいて、レシピ情
報を作成する。このレシピ情報には、図５に示すよう
に、製造装置ＩＤ毎に、使用可能なレシピが所定のフォ
ーマットで記載された情報が含まれている。

【００６５】ここで、図１に示すシステムが管理する生
産ラインについて、図６を参照しながら以下に説明す
る。上記生産ラインにおける各製造装置ＥＱ１〜ＥＱｎ
（製造装置ＥＱ１〜ＥＱ４のみ表示）は、それぞれ複数
のポート（Ｐ１〜Ｐ４等）を備えている。そして、各ポ
ートとバッファステーションＢＵＦ−１Ａ、ＢＵＦ−２
Ａとの間で、ロットが授受されるようになっている。こ
の図の例では、製造装置ＥＱ１、ＥＱ２のポートＰ１〜
Ｐ４は全て共有ポートであり、ロード（搬入）とアンロ
ード（搬出）とを行うことが出来る。また、製造装置Ｅ
Ｑ３、ＥＱ２のポートＰ１はロード（搬入）専用ポート
であり、同じくＰ２はアンロード（搬出）専用のポート
である。

【００６６】一方、工程管理コンピュータ１は、搬送装
置・製造装置通信管理コンピュータ２からの情報に基づ
いてロット進捗管理サーバ４を制御し、各搬送装置ＴＡ
１〜Ｔａｎの状態を管理・制御する。

【００６７】そして、後述する搬送装置管理情報を作成
し、生産系データベース３に記憶させる。また、上記搬
送装置管理情報を基にして、ロット進捗管理サーバ４を
制御し、搬送装置・製造装置通信管理コンピュータ２に
与える指示を作成・伝達する。

【００６８】上記ロット進捗管理サーバ４が作成する搬
送装置管理情報は、図７に示すように、「１．搬送指示
管理」、「２．装置対応管理」及び「３．搬送指示数管
理」の各項目からなる情報を含んでいる。

【００６９】「１．搬送指示管理」項目には、「ロット
番号」、「搬送元ＩＤ」、「搬送元ポートＩＤ又はバッ
ファステーション棚番号」、「搬送先ＩＤ」、「搬送先
ポートＩＤ」、「搬送優先度」、「搬送装置ＩＤ」の各
欄が設けられている。

【００７０】この「１．搬送指示管理」項目は、搬送中
ロットについての詳細状態が表示される。ここで「搬送
優先度」欄には、通常「１０」の値が格納され、特定条
件時のボトルネックとなる装置（以下、ボトルネック装
置と称する）への搬入、搬出の場合は後述するように
「９」の値が格納される。

【００７１】「２．装置対応管理」項目には、「装置Ｉ
Ｄ」、「ボトルネック装置フラグ」、「特定装置フラ
グ」、「仕掛かりロットしきい値」、「搬送装置ＩＤ」
の各欄が設けられている。

【００７２】この「２．装置対応管理」項目は、その装
置がボトルネック装置なのか否か、また仕掛り数に関係
なく、意図的にボトルネック装置と指定してあるのか否
かが格納されている。

【００７３】ここで、「ボトルネック装置フラグ」欄に
は、図５のレシピ情報と図３（ｃ）の仕掛かりロット情
報より当該装置ＩＤの処理可能な仕掛かりロット数が、
予め登録してある「仕掛かりロットしきい値」欄より大
きな値の場合ボトルネック装置と判定し、フラグを
「１」にする。尚、通常は「０」が格納されている。

【００７４】「特定装置フラグ」欄は、処理可能な仕掛
かりロット数に関係なく、常にボトルネック装置と同等
とみなす装置とする場合のフラグであり、その場合は
「１」とし、通常は「０」が格納されている。

【００７５】「３．搬送指示数管理」項目には、「搬送
装置ＩＤ」、「搬送指示数」、「搬送能力数」、「搬送
装置状態」の各欄が設けられている。この「３．搬送指
示数管理」項目は、搬送装置別の搬送中ロットとその搬
送装置の最大同時搬送能力数が格納されている。

【００７６】また、本システムにおける生産ライン管理
の動作について図１を参照しながら以下に説明する。

【００７７】本システムでは、生産の開始時には、生産
ライン上の各製造装置は、オペレータ（工場内作業者）
によって、オンラインモードに切り替えられる。この切
り替えは、各製造装置毎に設置されている操作パネル
を、オペレータが操作することによって行われる。そし
て、オンラインモードとなると、製造装置ＥＱ１は、製
造装置通信インターフェースＦ１に、オンライン移行報
告を伝達し、オンラインとなったことを報告する。

【００７８】各搬送装置も同様に、オペレータによっ
て、オンラインモードに切り替えられる。この切替え
は、各搬送装置毎に設置されている操作パネルをオペレ
ータが操作することによって行われる。

【００７９】オンラインモードになると、搬送装置ＴＡ
１は、搬送装置通信インターフェースＴ１に、オンライ
ン移行報告を伝達し、オンラインとなったことを報告す
る。

【００８０】製造装置通信インターフェースＦ１は、工
程管理コンピュータ下で稼動する製造装置管理サーバ５
に、受け取ったオンライン移行報告を伝達する。そし
て、製造装置管理サーバ５は、製造装置ＥＱ１がオンラ
インとなったことを示す移行内容詳細を作成し、オンラ
イン移行通知情報を作成してロット進捗管理サーバ４に
伝達する。

【００８１】搬送装置通信インターフェースＴ１は、工
程管理コンピュータ１下で可動するロット搬送管理サー
バ６に、受け取ったオンライン移行方向を伝達する。そ
して、ロット搬送管理サーバ６は、搬送装置ＴＡ１がオ
ンラインとなったことを示す移行内容の詳細を作成し、
オンライン移行通知を作成してロット進捗管理サーバ４
に伝達する。

【００８２】製造装置管理サーバ５は、製造装置ＩＤに
基づいて、図４に示した製造装置ＥＱ１の製造装置管理
情報を検索し、「１．製造装置状態管理」項目における
「製造装置通信状態」欄を「ＯＮＬ」に更新する。これ
により、製造装置ＥＱ１がオンライン状態になったこと
が識別可能となる。

【００８３】ここで、オンライン移行時に、製造装置Ｅ
Ｑ１のポートＰ１〜Ｐ４が空である場合、製造装置ＥＱ
１は、各ポートＰ１〜Ｐ４にロットを要求するための、
ロット搬入要求通知を、製造装置通信インターフェース
Ｆ１に発信する。そして、製造装置通信インターフェー
スＦ１は、この通知を製造装置管理サーバ５に瞬時に伝
達する。

【００８４】ロット搬送管理サーバ６は、搬送装置ＩＤ
に基づいて、図７に示した搬送装置ＴＡ１の搬送装置管
理情報を検索し、「３．搬送指示数管理」項目における
「搬送装置状態」欄を「ＯＮＬ」に更新する。これによ
り、搬送装置ＴＡ１がオンライン状態になったことが識
別可能となる。

【００８５】製造装置管理サーバ５は、伝達されたロッ
ト搬入要求通知が、どの製造装置における、どのポート
からのものかを判断し、製造装置ＩＤ及びポートＩＤを
キーワードとし、図６に示す製造装置管理情報を検索す
る。そして、製造装置管理情報の「２．製造装置ポート
状態管理」項目における、該当ポートＩＤの「搬入要求
受信済み識別子」欄を、「１」（搬入要求受信済み）に
更新する。その後、製造装置管理サーバ５は、製造装置
ＥＱ１のためのロット選択要求通知をロット進捗管理サ
ーバ４に伝達する。

【００８６】このロット選択要求通知は、処理待ちのロ
ットの中から、処理を行うロットを選択・決定すること
をロット進捗管理サーバ４に指示するための通知であ
る。

【００８７】ロット進捗管理サーバ４は、ロット選択要
求通知に基づいて、要求のあったポートに搬入する処理
ロットを選択・決定する。この決定は、図３（ａ）に示
したロット管理情報、図３（ｃ）に示した仕掛かりロッ
ト情報、及び、図５に示したレシピ情報に基づいて、以
下の〜に示す条件を満たすロットを検索することで
行われる。

【００８８】 仕掛かりロット情報に示されている処
理待ちロット中、「優先度」を示す数字が最小のもの。
なお、この場合の「優先度」とはロットの優先度であ
り、搬送優先度を示すものではない。

【００８９】 仕掛かりロット情報に示す仕掛りキュ
ーに登録されているロット中、「仕掛り登録時間」が最
も古いもの。

【００９０】 上記またはを満足するロットにお
いて、ロット管理情報（図３（ａ）参照）の「ホールド
個数」がゼロであり、「処理ステータス」が「ＱＵＥ」
（処理可能）であり、かつ、「搬送ステータス」が空白
（搬送中でない）であること。

【００９１】 上記を満足するロットにおいて、仕
掛かりロット情報における「レシピＩＤ」が、ロットを
要求している製造装置にて処理可能であること。

【００９２】なお、図３（ａ）、図３（ｃ）及び図５よ
り、ロットＬＴ１が上記〜を満たすことから、本実
施の形態では、処理ロットをロットＬＴ１とする。ロッ
ト進捗管理サーバ４は、上述のように決定した処理ロッ
トＬＴ１におけるロット管理情報の「処理ステータス」
を「ＱＵＥ」（処理可能）から「ＤＩＳ」（処理中）へ
更新する。そして、ロット進捗管理サーバ４は、製造装
置管理サーバ５に、図８に示すようなプロセス手順指示
通知を伝達する。

【００９３】上記プロセス手順指示通知には、例えば図
７に示すように、製造装置ＩＤ、選択結果、ロット番
号、レシピＩＤ及び搬出先バッファステーションＩＤ、
棚番号の各情報が含まれている。なお、この図における
「選択結果」欄の「１」は、処理ロット（最適ロット）
があったことを意味している。

【００９４】上記の処理ロットの検索では、上記〜
の条件を満足しないロットは無視される。それ故、上記
〜の条件を満足するロットが見つかるまで、処理ロ
ットの検索が行われる。そして、本生産ラインに含まれ
るロット全てを検索し、最終的に上記〜の条件を満
足するロットが無いと判断された場合には、ロット進捗
管理サーバ４から処理ロット無しのプロセス手順指示通
知（「選択結果」欄が「０」）が製造装置管理サーバ５
に伝達される。

【００９５】プロセス手順指示通知を受信した製造装置
管理サーバ５は、この通知における「選択結果」欄に従
って、以下に示す２種類の処理のうちのいずれかを行
う。

【００９６】まず、処理ロットが検索されず、「選択結
果」欄が「０」である「プロセス手順指示通知」を受け
取った場合について説明する。

【００９７】この場合、製造装置管理サーバ５は、所定
のロット選択要求発行タイマが経過した後、再度、ロッ
ト進捗管理サーバ４にロット選択要求通知を伝達する。
この後のロット進捗管理サーバ４の処理は、上記と同様
である。上記したロット選択要求発行タイマは、あらか
じめ定められた所定の時間である。

【００９８】次に、処理ロットが決定され、「選択結
果」欄が「１」であるプロセス手順指示通知を受け取っ
た場合について説明する。

【００９９】この場合、製造装置管理サーバ５は、この
情報の中の「製造装置ＩＤ」欄に記載されている製造装
置ＩＤをキーワードとして製造装置管理情報を検索す
る。検索された製造装置管理情報、すなわち、ロットを
要求している製造装置ＥＱ１の製造装置管理情報に対
し、以下の設定を行う。

【０１００】まず、製造装置管理サーバ５は、図４に示
す製造装置管理情報の「１．製造装置状態管理」項目に
おける「処理中ロット数」欄の数字に１を加算する。

【０１０１】次に、「２．製造装置ポート状態管理」項
目における「搬入要求受信済み識別子」欄の数字が
「１」（受信済み）のポートのうち、最小の番号が付け
られているポートの「搬入予定ロット番号」に、処理ロ
ットのロット番号を設定する。この設定は、製造装置に
誤ったロットが置かれていた場合、製造装置及びオペレ
ータにこの誤りを通知するためのものである。この場
合、ポートＰ１にロットＬＴ１を設定するものとする。

【０１０２】続いて、製造装置管理サーバ５は、「３．
処理中ロット状態管理」項目の「ロット番号」、「レシ
ピＩＤ」、及び「搬送先バッファステーションＩＤ」、
の各欄に、プロセス手順指示情報に記載のＩＤを設定す
る。この場合、「ロット番号」には「ＬＴｌ」、「レシ
ピＩＤ」には「ＰＨＯＴＯ−ＱＵＥ」、「搬出先バッフ
ァステーションＩＤ」には、「ＢＵＦ−２Ａ」が設定さ
れる。また、製造装置管理情報には、製造装置が「ＥＱ
１」であること、及び、選択結果が「１」であることも
設定される。

【０１０３】その後、製造装置管理サーバ５は、製造装
置管理情報の「２．製造装置ポート状態管理」項目にお
ける「搬入要求受信済み識別子」欄が「１」であるポー
ト（処理中のポートを除く）があれば、予め定められた
所定の時間（例えば５分）を、ロット選択要求発行タイ
マとして設定する。そして、この時刻となったとき、製
造装置管理サーバ５は、ロット選択要求通知をロット進
捗管理サーバ４に伝達する。一度に多数（例えば４つ）
の処理ロットを選択すると、その間に最特急ロット（一
刻も早く処理する必要のあるロット）が仕掛かっていて
も、それを数時間待機させてしまう可能性がある。この
ようなことを避けるため、上記のようなロット選択要求
発行タイマが予め設定されている。

【０１０４】製造装置管理サーバ５は、プロセス手順指
示通知を処理した後、ロット搬送指示通知を作成し、ロ
ット搬送管理サーバ６に伝達する。ロット搬送指示通知
には、処理ロットの現在位置（ロット管理情報における
「現在位置」と「現在ポート位置又は棚番号」欄に記
載）と、搬送先である目的の装置ＩＤとポートＩＤとが
記載されている。この場合、ロットＬＴ１のバッファス
テーションＢＵＦ−２Ａ、棚番号４００１と、製造装置
ＥＱ１と、ポートＰ１とが記載されている。

【０１０５】また、製造装置管理サーバ５は、図９に示
すような搬送処理情報を作成する。この搬送処理情報に
は、「ロット番号」、「搬送指示内容」（「搬送元」、
「搬送先」）が記載されている。

【０１０６】さらに、製造装置管理サーバ５は、ロット
ＬＴ１のロット管理情報における「搬送ステータス」欄
を、空白から「ＴＲＮ」（搬送中）へ更新する。

【０１０７】ロット搬送指示通知を受けたロット搬送管
理サーバ６は、図７に示す情報装置管理情報の「１．搬
送指示管理」項目に上記ＬＴ１のロット搬送指示通知に
関する表を作成する。その際、搬送装置管理情報の
「２．装置対応管理」項目及び「３．搬送指示数管理」
項目において、上記ＬＴ１の搬送先である製造装置ＥＱ
１に関する表と製造装置ＥＱ１へのロット搬送を行う搬
送装置ＴＡ１に関する表の更新及び参照を行う。

【０１０８】まず、「３．搬送指示数管理」項目におけ
る「搬送指示数」欄の数字に１を加算する。この場合
は、加算後「２１」となった。

【０１０９】次に、「２．装置対応管理」項目における
装置ＥＱ１は特定装置フラグが「０」なので、特定装置
ではないと判断される。また、ロット搬送管理サーバ６
は、装置ＥＱ１の仕掛かりロットについて、図３（ｃ）
の「仕掛かりロット情報」及び図５のレシピ情報の内容
を合わせて参照し、装置ＥＱｌに仕掛かっているロット
は４ロット存在することを参照し、「２．装置対応管
理」項目の装置ＥＱ１の「仕掛かりロットしきい値」が
「３」であることを参照する。

【０１１０】続いて、「３．搬送指示数管理」項目の搬
送装置ＴＡ１の搬送能力数「２０」と搬送指示数「２
１」を比較する。この場合、搬送能力数よりも搬送指示
数の方が多くなっているので、「２．装置対応管理」項
目のボトルネック装置フラグを「０」から「１」に更新
する。

【０１１１】また、「１．搬送指示管理．項目の搬送優
先度を「９」に設定する。以上の後、ロット搬送管理サ
ーバ６は、搬送装置へ上記のロット搬送指示通知の内容
（ロットＬＴ１をバッファステーションＢＵＦ−２Ａの
棚番号「４００１」より製造装置ＥＱ１のポートＰ１に
搬送するということ）と搬送優先度「９」を含んだ搬送
指示を伝達する。

【０１１２】搬送装置は搬送優先度が「１０」の搬送指
示よりも「９」の搬送指示を優先的に搬送するので、ボ
トルネック装置でない装置のロット搬送を後回しにし
て、ボトルネック装置ＥＱ１のポートＰ１にロットＬＴ
１を搬送する。

【０１１３】ここで、ロット搬送管理サーバ６は、
「２．装置対応管理」項目を参照する際、特定装置フラ
グ欄に「１」が設定されていた場合は「３．搬送指示数
管理」項目を参照することなく、搬送優先度を「９」に
して、搬送指示を搬送装置に伝達する。

【０１１４】尚、ロットＬＴ１を装置ＥＱ１に搬送後、
搬送装置ＴＡ１は、ロット搬送管理サーバ６に搬送完了
を報告すると、該ロット搬送管理サーバ６は、「３．搬
送指示数管理」項目の「搬送指示数」欄の数字に１を減
算する。

【０１１５】その後、ロット管理情報の「搬送ステータ
ス」欄を、「ＴＲＮ」（搬送中）から空白（搬送中でな
い）に更新する。そして、ロット搬送管理サーバ６は、
ロット進捗管理サーバ４に、ロット搬送完了通知を伝達
する。

【０１１６】ロット進捗管理サーバ４は、ロット搬送管
理サーバ６からロット搬送完了通知が伝達されると、以
下の処理を行う。まず、ロット進捗管理サーバ４は、ロ
ット管理情報に記載されている現在位置を、搬入先の製
造装置における製造装置ＩＤ、すなわち、製造装置ＥＱ
１に更新する。また、「現在ポート位置」を、ロット搬
入要求を出したポートＰ１に更新する。

【０１１７】また、製造装置ＥＱｌは、ポートＰ１に処
理ロットが搬送されると、製造装置通信インターフェー
スＦ１を介して、製造装置管理サーバ５に、ロット搬入
完了通知を伝達する。

【０１１８】ロット搬入完了通知が伝達されると、製造
装置管理サーバ５は、以下の処理を行う。まず、ロット
搬入完了通知を伝達した製造装置及びポートＩＤ（今の
場合製造装置ＥＱｌのポートＰ１）をキーワードとし
て、製造装置管理情報の「２．製造装置ポート状態管
理」項目を検索し、該当するポートＩＤの「搬入要求受
信済み識別子」を「０」（未受信）に更新する。その
後、製造装置管理サーバ５は、この製造装置及びポート
のＩＤ、処理ロットの番号をキーワードとして、製造装
置管理情報の「３．処理中ロット状態管理」項目を検索
し、該当するレシピＩＤを取得する。そして、製造装置
管理サーバ５は、これらの製造装置ＩＤ、ポートＩＤ、
ロット番号及びレシピＩＤが設定された、レシピ通知
を、製造装置通信インターフェースＦ１を介して製造装
置、今の場合は製造装置ＥＱ１に伝達する。

【０１１９】その後、製造装置ＥＱ１は、製造装置通信
インターフェースＦ１を介して工程管理コンピュータ１
下で稼動する製造装置管理サーバ５に、処理開始通知を
伝達し、処理の開始を報告する。この通知を受けると製
造装置管理サーバ５は、処理開始通知に記載されている
製造装置ＩＤ及びロット番号に基づいて、製造装置管理
情報の「３．処理中ロット状態管理」項目を検索し、
「処理開始時刻」欄に現在時刻をセットする。例えば、
現在の時刻が２０００年２月２２日午後８時ちょうどで
あれば、「２０００／０２／２２、２０：００：００」
を「処理開始時刻」欄に記載する。

【０１２０】製造装置ＥＱ１は、処理が終了すると、製
造装置通信インターフェースＦ１を介して、処理終了通
知を製造装置管理サーバ５に伝達し、処理の終了を報告
する。

【０１２１】製造装置管理サーバ５は、処理終了通知に
記載されている製造装置ＩＤ及び処理ロットの番号に基
づいて、製造装置管理情報の「３．処理中ロット状態管
理」を検索し、「処理終了時刻」欄に現在時刻をセット
する。そして、製造装置管理サーバ５は、処理終了通知
に記載されている処理枚数、不良枚数及び各基板の不良
コード（基板情報）を、「３．処理中ロット状態管理」
の各欄に設定する。例えば、現在の時刻が２０００年２
月２２日午後１１時５９分５９秒であり、１ロット中の
処理枚数が２０であって、１枚目及び１９枚目に、コー
ド「０００１」及び「０００２」の不良が発生した場
合、「３．処理中ロット状態管理」の各欄は、図１０に
示すように設定される。

【０１２２】製造装置ＥＱ１は、処理終了通知を伝達後
に、製造装置通信インターフェースＦ１を介して製造装
置管理サーバ５に、ロット搬出要求通知を伝達し、ロッ
トの搬出を要求する。そして、製造装置管理サーバ５
は、このロット搬出要求通知を受けると、以下に示す処
理を行う。

【０１２３】まず、ロット搬出要求通知に記載されてい
る製造装置ＩＤ及びロット番号に基づいて、製造装置管
理情報の「１．製造装置状態管理」項目及び「３処理中
ロット状態管理」項目を各々検索して、処理完了通知を
作成する。処理完了通知には、製造装置ＩＤ、ロット番
号、処理開始時刻、処理終了時刻、レシピＩＤ、処理枚
数、不良枚数及び各基板における不良コード（基板情
報）が記載されるようになっている。

【０１２４】本実施の形態では、製造装置ＩＤとして、
「ＥＱ１」、ロット番号として「ＬＴ１」、処理開始時
刻として「２０００／０２／２２、２０：００：０
０」、処理終了時刻として、「２０００／０２／２２、
２３：５９：５９」、レシピＩＤとして「ＰＨＯＴＯ−
０１０」、処理枚数として「２０」、不良枚数として
「２」が設定されるているものとする。そして、図９で
は、基板番号１及び１９に不良が発生していとして設定
しているので、不良コードとして、基板番号１の所定の
欄に「０００１」、基板番号１９の所定の欄に「０００
２」が記載される。

【０１２５】次に、工程フロー情報（図２参照）に記載
されている搬出先バッファステーションＩＤ（今の場合
ではＢＵＦ−２Ａ）及び、工程番号（当該工程処理終了
後の番号、本実施の形態では０３０）に基づいて、処理
ロットを搬出する指示を記載した搬出指示通知をロット
搬送管理サーバ６に伝達する。この搬出指示通知には、
処理ロットの現在位置を示す製造装置ＩＤ及びポートＩ
Ｄ、搬出先バッファステーションＩＤが設定されてい
る。

【０１２６】その後、製造装置管理サーバ５は、処理ロ
ットであるロットＬＴ１の製造装置ＥＱ１における処理
が終了したとして、不要となるデータを削除し、内部カ
ウンタをマイナス１とする。すなわち、製造装置ＥＱ１
の内部カウンタの数字と、製造装置管理情報における
「１．製造装置状態管理」項目の「処理中ロット数」欄
の数字とから１を差し引く。そして、製造装置管理情報
から、ロットＬＴ１のための「３．処理中ロット状態管
理」項目を削除する。これらの処理の後、製造装置管理
サーバ５は、作成した処理完了通知をロット進捗管理サ
ーバ４に伝達する。

【０１２７】処理完了通知を受けたロット進捗管理サー
バ４は、まず、ロットＬＴ１のロット管理情報における
「ステップＩＤ」及び「工程番号」を更新する（ステッ
プＩＤはＳＴＥＰ−００３０からＳＴＥＰ−００４０に
更新し、工程番号は０２０から０３０に更新する）。

【０１２８】その後、製造装置ＥＱ１での処理結果に基
づいて、以下の処理を行う。すなわち、不良枚数が発生
する等、処理に異常があった場合、ロット進捗管理サー
バ４は、まず、ロットＬＴ１のロット管理情報における
「ホールド個数」欄の数字に１を加える。その後、この
ロット管理情報における「ホールド設定位置」欄の空い
ている番号のうち、最小の番号における「ホールドタイ
プ」欄に、「ＨＷＴ」をセットする。そして、この番号
における「コメント」欄に、「処理結果確認待ち」をセ
ットする。

【０１２９】この場合、オペレータの確認待ちとなり、
確認が済むまでは次工程への仕掛りは行われないととも
に、生産系データベース３における図示しないロット処
理履歴データベースヘの登録が認められない。

【０１３０】一方、正常に処理が終了した場合、ロット
進捗管理サーバ４は、生産系データベース３における図
示しないロット処理履歴データベースに、処理完了通知
の内容を、ロット番号を筆頭に登録する。

【０１３１】また、製造装置管理サーバ５から搬出指示
通知を受けたロット搬送管理サーバ６は、以下の処理を
行う。

【０１３２】尚、この場合の搬送指示通知には、処理ロ
ットの現在位置（ロット管理情報における「現在位置」
欄と「現在ポート位置」欄に記載）と、搬送先である目
的のバッファステーションＩＤ又は装置ＩＤとポートＩ
Ｄとが記載されている。この場合、ロットＬＴ１を装置
ＥＱ１のポートＰｌからＢＵＦ−２Ａに搬出する旨の通
知である。

【０１３３】ロット搬送指示通知を受けたロット搬送管
理サーバ６は、図１１に示す搬送装置管理情報の「１．
搬送指示管理」項目に上記ＬＴ１のロット搬送指示通知
に関する表を作成する。その際、搬送装置管理情報の
「２．装置対応管理」項目及び「３．搬送指示数管理」
項目において、上記ＬＴ１の搬送元である製造装置ＥＱ
１に関する表と製造装置ＥＱ１からのロット搬送を行う
搬送装置ＴＡ１に関する表の更新及び参照を行う。

【０１３４】まず、「３．搬送指示数管理」項目におけ
る「搬送指示数」欄の数字に１を加算する。この場合、
「搬送指示数」は、加算後「１７」となる。

【０１３５】次に、「２．装置対応管理」項目における
装置ＥＱ１は特定装置フラグが「０」であるので、特定
装置ではないことが分かる。また、ロット搬送管理サー
バ６は装置ＥＱ１の仕掛かりロットについて、図１２
（ｃ）の「仕掛かりロット情報」及び図５のレシピ情報
の内容を合わせて参照し、装置ＥＱ１に仕掛かっている
ロットは３ロット存在することを参照し、「２．装置対
応管理」項目の装置ＥＱ１の「仕掛かりロットしきい
値」が「３」であることを参照する。

【０１３６】次に、「３．搬送指示数管理」項目の搬送
装置ＴＡ１の搬送能力数「２０」と搬送指示数「１７」
を比較する。この場合、搬送能力数よりも搬送指示数の
方が少ないので、「２．装置対応管理」項目のボトルネ
ック装置フラグを「０」に更新する。

【０１３７】また、「１．搬送指示管理」項目の搬送優
先度を「１０」に設定する。以上の後、ロット搬送管理
サーバ６は、搬送装置へ上記のロット搬送指示通知の内
容（ロットＬＴ１を装置ＥＱ１のポートＰ１よりバッフ
ァステーションＢＵＦ−２Ａに搬送すること）と搬送優
先度「１０」を含んだ搬送指示を伝達する。

【０１３８】ここで、ロット搬送管理サーバ６は、
「２．装置対応管理」項目を参照した際、特定装置フラ
グ欄に「１」が設定されていた場合は、「３．搬送指示
数管理」項目を参照することなく、搬送優先度を、
「９」にして、搬送指示を搬送装置に伝達する。

【０１３９】なお、ロットＬＴ１をバッファステーショ
ンＢＵＦ−２Ａに搬送後、搬送装置ＴＡ１はロット搬送
管理サーバ６に搬送完了報告を行い、該ロット搬送管理
サーバ６は「３．搬送指示数管理」項目の「搬送指示
数」欄の数字に１を減算する。

【０１４０】無人搬送車等の搬送装置によりロットＬＴ
１が製造装置ＥＱｌから取り除かれると、製造装置ＥＱ
１は、製造装置通信インターフェースＦ１を介して、工
程管理コンピュータ１下で稼動する製造装置管理サーバ
５に、ロット搬出完了通知を伝達する。ロット搬出完了
通知を受けた製造装置管理サーバ５は、何も処理を行わ
ない。

【０１４１】ロットＬＴ１の搬送が完了すると、ロット
搬送管理サーバ６は、ロットＬＴ１のロット管理情報を
検索し、各欄を以下のようにセットする。ロット管理情
報の「搬送ステータス」欄を「ＴＲＮ」（搬送中）か
ら、空白（搬送中でない）へ更新する。その後、ロット
搬送管理サーバは、ロットＬＴ１の搬送完了をロット進
捗管理サーバ４に報告する。

【０１４２】ロットＬＴ１の搬送完了が報告されると、
ロット進捗管理サーバ４は、まず、ロットＬＴ１のロッ
ト管理情報における「現在位置」欄を搬出先バッファス
テーションＢＵＦ−２Ａに、「現在ポート位置」を００
０１にそれぞれ更新する。そして、その状態を示した図
は、図１２（ａ）〜（ｃ）となる。

【０１４３】ここで、製造装置をオフラインモードとす
る処理について説明する。

【０１４４】工場内一斉メンテナンスまたは装置トラブ
ルで、本システムをオフラインモードに移行する場合、
オンラインモード移行時と同じく、オペレータ（工場内
作業者）が各製造装置ごとに設置されている操作パネル
を操作し、オフラインモードヘセットする。オフライン
モードにセットされた製造装置は、搬送装置・製造装置
通信管理コンピュータ２下で稼動する製造装置通信イン
ターフェースに、オフライン移行通知を伝達する。そし
て、オフライン移行通知は、製造装置通信インターフェ
ースから工程管理コンピュータ１下で稼動する製造装置
管理サーバ５に伝達される。

【０１４５】製造装置管理サーバ５は、製造装置ＩＤに
基づいて、各製造装置の製造装置管理情報を検索し、
「製造装置通信状態」欄を「ＯＦＬ」に更新する。これ
により、製造装置のオフライン状態が識別可能となる。
もし、オフラインモード移行時に、製造装置内に処理ロ
ットが存在していた場合、製造装置管理サーバ５は、こ
の処理ロットにおけるロット管理情報を以下のように設
定し、オペレータに判断を促す。すなわち、製造装置管
理サーバ５は、「ホールド個数」の数字に１を加え、
「ホールド設定位置」の小さい空き番号における「ホー
ルドタイプ」に「ＢＲＫ」をセットする。そして、この
番号の「コメント」欄に、「処理中断」をセットする。

【０１４６】また、搬送装置をオフラインモードとする
処理について説明する。

【０１４７】工場内一斉メンテナンスまたは搬送装置ト
ラブルで、本システムをオフラインモードに移行する場
合、オンラインモード移行時と同じく、オペレータ（工
場内作業者）が各搬送装置ごとに設置されている操作パ
ネルを操作し、オフラインモードヘセットする。

【０１４８】オフラインモードにセットされた搬送装置
は、搬送装置・製造装置通信管理コンピュータ２下で稼
動する搬送装置通信インターフェースに、オフライン移
行通知を伝達する。そして、オフライン移行通知は、搬
送装置通信インターフェースから工程管理コンピュータ
１下で稼動するロット搬送管理サーバ６に伝達される。

【０１４９】ロット搬送管理サーバ６は、搬送装置ＩＤ
に基づいて、搬送装置管理情報「３．搬送指示管理数管
理」項目のオフラインへ移行する搬送装置の搬送装置状
態欄を「ＯＦＬ」に更新する。これにより、搬送装置の
オフライン状態が識別可能となり、以降、その搬送装置
が「ＯＮＬ」となるまで搬送指示発行が行われない。

【０１５０】ここで、本発明の生産ライン管理システム
シにおける処理能力について、図１４〜図１８、図２１
〜図２５を参照しながら以下に説明する。

【０１５１】本説明では、生産ラインにおける工程数を
１０とし、最後の工程１０が完了したロット数とこの時
の処理時間とに基づいて、処理能力（ロット数／時間）
を決定するものとする。

【０１５２】なお、説明の便宜上、生産ラインの工程の
うち、ボトルネック装置を用いる工程３を含む最初の４
工程について説明する。また、搬送装置としては、自動
搬送車を２台使用し、バッファステーションは１つ、工
程数４に対してそれぞれ一つの装置を使用するものとす
る。

【０１５３】本生産ライン管理システムの４つの工程で
は、処理の種類は異なるが形態は全て同じものとする。
すなわち、各装置は、図１４に示すように、ロットの搬
入出にするための共有ポートを１つたけ有する形態とな
っている。ここで、装置へのロット搬入とは、自動搬送
車がこの共有ポートにロットを搬入することであり、次
の搬入ロットは、当該装置での処理が完了したロットを
搬出した直後に、本生産ライン管理システムにロットの
搬送要求するようになっている。

【０１５４】また、本生産ライン管理システムでは、図
１５に示すように、各装置で処理されたロットを一時待
避させるバッファステーションを有している。

【０１５５】したがって、生産ライン管理システムで
は、ロットの搬送要求があれば、自動搬送車を駆動制御
して、バッファステーションで待避しているロットを所
定の装置に搬送するようになっている。また、自動搬送
車は、装置で処理完了されたロットをバッファステーシ
ョンに搬送するようにもなっている。

【０１５６】本生産ライン管理システムで使用する自動
搬送車は、バッファステーションと装置間を５分でロッ
トの搬送を行うようになっている。

【０１５７】従来の生産ライン管理システムでは、図２
１に示すような搬送待ちテーブルの搬送待ち順、ロット
Ｎｏ、ＦＲＯＭ／ＴＯの項目内容に基づいて、自動搬送
車はロットを搬送するようになっている。すなわち、自
動搬送車は、搬送待ち順に、該当するロットを、指定さ
れたバッファステーションと装置間に搬送するようにな
っている。自動搬送車は、例えば、搬送待ち順が１位の
ＬＯＴ７を、バッファステーション（バッファー）から
装置１に搬送する。したがって、自動搬送車は、このよ
うな動作を搬送待ち順に行うようになっている。

【０１５８】図２１に示す搬送待ちテーブルに基づい
て、自動搬送車がロットを搬送した場合、図２２に示す
ようなタイムチャートが得られる。

【０１５９】このタイムチャートから、例えば、工程４
（装置４）の４０−４５、５０−６５、…などの処理時
間では、搬送指示が出された後、空白の部分が見られ
る。この部分は、２台の自動搬送車が他の装置での搬送
中であり、その待時間（搬送ロス）が生じていることを
示している。

【０１６０】ところで、通常、生産ラインでは、図２３
に示すように、工程毎に処理能力（処理ロット数／期
間）の異なる複数の装置が使用されている。これらの装
置を工程順に組み合わせて生産ラインを形成した場合、
生産ライン全体の処理能力（最終工程１０が終了したロ
ット数）は、最も処理能力の低い装置３（ボトルネック
装置）に拘束されるため、図２４に示すように低下す
る。

【０１６１】したがって、図２２に示すタイムチャート
で示されるような搬送ロスがボトルネック装置（装置
３）に加わることにより、図２５に示すように、搬送に
要する平均時間が装置３における搬送ロス分だけ増加
し、この結果、処理ロット数も減少する。

【０１６２】これに対して、本発明の生産ライン管理シ
ステムでは、生産ラインにおける各工程の各装置の処理
能力に応じてロットの搬送を制御するようになっている
ので、例えば、処理能力が最も低い装置（ボトルネック
装置）へのロットの搬送を、他の装置へのロットの搬送
よりも優先して行えば、処理時間の長いボトルネック装
置からのロット搬送の遅延を低減することができる。

【０１６３】具体的には、図１６（ｂ）に示すような搬
送待ちテーブルに基づいて、自動搬送車はロットの搬送
を行うようになっている。この搬送待ちテーブルでは、
図２１に示した搬送待ちテーブルの項目に加えて、搬送
優先度が加えられている。この搬送優先度は、生産ライ
ン上の装置の処理能力に応じて順位付けられたものであ
り、数値が小さくなるほど優先順位が高いことを示して
いる。

【０１６４】例えば、図１６（ａ）に示す搬送待ちテー
ブルでは、搬送待ち順が４番の項目に、ボトルネック装
置への搬送指示内容が加えられた状態を示している。こ
の状態から、工程管理コンピュータ１によって、搬送優
先度が比較され、加えられ搬送指示内容の優先度が他よ
りも高いと判断され、図１６（ｂ）に示すように、優先
度が他よりも高くなるように搬送待ちデーブルが書き換
えられる。

【０１６５】ここでは、１分毎に、装置１から順に装置
４までロット搬入要求又は搬出要求があるか否かを問い
合わせる方式を採用し、ロット搬入要求の必要がある
が、処理ロットがバッファステーション内に無い場合は
搬送待ち行列の先頭にそのロット要求の内容を保持する
ようにする。このとき、ボトルネック装置からのロット
搬入要求及び搬出要求があれば、図１６（ｂ）に示すよ
うに、搬送待ち行列の先頭にその都度並び替え保持する
ようになっている。

【０１６６】そして、書き換えられ図１６（ｂ）に示す
搬送待ちテーブルに基づいて、自動搬送車はロットを搬
送するようになっている。

【０１６７】このように、優先度の高い順に搬送順が書
き換えられ搬送待ちテーブルに基づいてロットの搬送を
行った場合、自動搬送車のタイムチャートは、図１７に
示すようになる。このタイムチャートから、ボトルネッ
ク装置である装置３には、ロット搬入および搬出待ちの
時間が殆ど発生せず、従来生じていた搬送ロスが殆ど発
生しないことが分かる。

【０１６８】この結果、ボトルネック装置において生じ
ていた搬送ロスを殆ど無くすことができるので、図１８
に示すように、搬送ロスによって生じた処理能力の低下
を改善することができる。

【０１６９】尚、本実施の形態では、本システムは、Ｔ
ＦＴ液晶パネルの生産ラインを管理するとしているが、
本発明の生産ライン管理システムは、これに限るもので
はなく、複数のロットを処理する生産ラインであれば、
どのような製品を製造する生産ラインに応用してもよ
い。

【０１７０】また、図４に示した製造装置管理情報、図
５に示したレシピ情報、図９に示した搬送処理情報を記
憶するために、生産系データベース３を用いるようにし
てもよい。

【０１７１】また、工程管理コンピュータ１、搬送装置
・製造装置通信管理コンピュータ２、ロット進捗管理サ
ーバ４、製造装置管理サーバ５及びロット搬送管理サー
バ６の少なくとも１つの機能を遂行するためのプログラ
ムを、ＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体に記録し、このプロ
グラムを読み込み可能な情報処理装置をこれらの部材に
代えて用いるようにしてもよい。

【０１７２】さらに、上記生産ライン管理システムにお
いては、工程管理コンピュータ１にロット進捗管理サー
バ４、製造装置管理サーバ５及びロット搬送管理サーバ
６の少なくとも１つの機能を遂行するためのプログラム
として、以下に示すような生産ライン管理プログラムが
考えられる。

【０１７３】上記生産ライン管理プログラムは、生産ラ
イン上の各工程の装置で所定の処理が完了したロット
を、次の工程への搬送要求があるまでバッファステーシ
ョンに一時待避させ、搬送要求があれば、上記バッファ
ステーションに待避されたロットを次の工程の装置に搬
送し、該生産ラインの管理をコンピュータに実行させる
ための生産ライン管理プログラムであって、上記生産ラ
イン上の各装置のうち、処理能力が他の装置よりも低い
装置へのロットの搬送を、他の装置へのロットの搬送よ
りも優先して行う手順をコンピュータに実行させるため
の生産ライン管理プログラムである。

【０１７４】上記生産ライン管理プログラムは、コンピ
ュータ読み取り可能な記録媒体に記録して使用してもよ
い。この記録媒体は、プログラムコードを供給可能であ
るように固定的に担持する媒体であってもよい。また、
上記記録媒体は、記録したプログラムコードをコンピュ
ータが直接読み取ることができるようにシステムあるい
は装置に装着されるものであっても、外部記憶装置とし
てシステムあるいは装置に接続されたプログラム読み取
り装置を介して読み取ることができるように装着される
ものであってもよい。

【０１７５】例えば、上記記録媒体としては、磁気テー
プやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商
標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ
−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディス
クを含むディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含
む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ／
ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ／フラッシュＲＯＭ等の半導
体メモリ系などを用いることができる。

【０１７６】また、上記プログラムコードは、コンピュ
ータが記録媒体から読み出して直接実行できるように記
録されていてもよいし、記録媒体から主記憶のプログラ
ム記憶領域へ転送された後コンピュータが主記憶から読
み出して実行できるように記録されていてもよい。

【０１７７】さらに、システムあるいは装置を通信ネッ
トワーク（インターネット、イントラネット等を含む）
と接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネッ
トワークを介して供給してもよい。

【０１７８】なお、プログラムコードを記録媒体から読
み出して主記憶に格納するためのプログラム、および、
通信ネットワークからプログラムコードをダウンロード
するためのプログラムは、コンピュータによって実行可
能にあらかじめシステムあるいは装置に格納されている
ものとする。

【０１７９】上述した機能は、コンピュータが読み出し
た上記プログラムコードを実行することによって実現さ
れるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づ
き、コンピュータ上で稼働しているＯＳなどが実際の処
理の一部または全部を行うことによっても実現される。

【０１８０】さらに、上述した機能は、上記記録媒体か
ら読み出された上記プログラムコードが、コンピュータ
に装着された機能拡張ボードやコンピュータに接続され
た機能拡張ユニットに備わるメモリに書込まれた後、そ
のプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボー
ドや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵなどが実際の処理
の一部または全部を行うことによっても実現される。

【０１８１】また、本システムでは、作業員が手でロッ
トを搬送するものではなく、搬送装置によってロットを
搬送するようにしているが、これは、以下のような理由
による。生産の効率のため、ロットは年々大型化してい
る。

【０１８２】例えば、ロットにおけるカセット内部のガ
ラス基板は、１メートル四方の大きさ、０．５ｍｍ程度
の厚さを有するものである。そして、このガラス基板が
例えば２０枚挿入されているロットの重量は、２０Ｋｇ
程度となる。さらに、ＴＦＴ液晶パネルは、多くの製造
装置において種々のプロセスを数十回繰り返して製造さ
れるものである。

【０１８３】従って、ＴＦＴ液晶パネルの製造におい
て、このようなロットを作業員が手で搬送すると、無人
搬送装置での搬送に比べて、ロットに大きな振動を与え
てしまう。このため、ガラス基板の端部に、割れ・欠け
が生じる可能性が非常に高くなってしまう。

【０１８４】また、作業員の手による搬送では、ロット
のカセットあるいはガラス基板へ、手に付着しているダ
ストが付着してしまう可能性がある。クリーンルーム内
に入る作業員は全て防塵服を着用し、発塵しないように
工夫されている。しかしながら、作業員は、両手でロッ
トを持つときに、ロットの重みのために、カセットの端
を体に密着させてバランスをとるようにしてしまうの
で、どうしてもダストの付着が生じてしまう。このた
め、製品の良品率に悪影響が生じてしまう。

【０１８５】さらに、作業員による搬送では、搬送中に
転倒事故が発生する可能性がある。ロットを持ったまま
転倒すれば、落下したカセットの端部に体をぶつける、
あるいは、破損したロットの清掃時に、ガラス基板の破
片で怪我を負うなどといった危険性がある。また、清掃
時には、他の作業員や無人搬送車の走行経路が塞がれて
しまうので、生産ラインの停滞時間が長期化し、生産ラ
イン全体における製造装置の稼働率に悪影響が生じてし
まう。

【０１８６】このように、ロットの製造装置への搬入
を、作業員の手ではなく、搬送装置によって行うこと
で、良品率の向上や、製造装置、生産ライン及び工場全
体の稼動率の向上を実現するとともに、人員及びコスト
の削減を実現することが可能となる。

【０１８７】また、ＴＦＴ液晶工場は、工場内一斉メン
テナンス日を除き１日２４時間年中稼動している。

【０１８８】そのため、その時生じた処理量の落ち込み
を通常の生産ラインのように残業等にて挽回することは
不可能となっている。従って、いかに生産ロスを発生さ
せないで生産し続けるかが高効率生産の基本となる。

【０１８９】また、ＴＦＴ液晶の生産ラインは、ベルト
コンベア式の生産ラインではなく、各生産装置ヘカセッ
ト内に充填されたＴＦＴ基板（ロット）を無人搬送車に
て搬送又は処理終了後、速やかに生産装置から搬出する
ライン形態をとっている。

【０１９０】当該ロットの生産プロセスにより若干違い
はあるものの、生産装置の処理能力差により、特定の装
置又は装置群が生産ラインのボトルネックとなり、ライ
ン全体のＴＦＴ基板の生産処理数を左右している。

【０１９１】従って、それらボトルネック装置へのロッ
ト搬送が遅れると、その分生産量が減ることになる。ま
た、ボトルネック装置からのロット搬出が遅れると、装
置構造によっては、次の処理ロットを受け入れ出来ない
構造のものがあり、この構造を持つ装置は常にスムーズ
にロット搬出を行わなければ生産ロスが発生し、その分
の生産量が減り、ライン全体の生産量も連動して減ると
いう問題が生じる。

【０１９２】生産ラインにおいて、一時的な搬送集中に
よる搬送ロスにより、ボトルネック装置の生産ロスが１
日１回発生し、そのロス時間が１５分とした場合、１０
０ロット／日の生産能力のあるボトルネック装置の場
合、２４時間×６０分＝１４４０分であるので、９９ロ
ット／日の処理量となり、１ロット／日の生産ロスが発
生することになるが、今回の発明により、上記ロス時間
をほぼ０にすることができるので、生産ロスがほぼ０と
なる。

【０１９３】

【発明の効果】本発明の生産ライン管理システムは、以
上のように、生産ライン上の各工程でロットに対して所
定の処理を施す複数の装置と、前工程が完了し、次工程
で所定の処理が施される前のロットを一時保管するバッ
ファステーションと、上記装置とバッファステーション
との間でロットの搬送を行う搬送装置と、上記装置のう
ち、処理能力が他の装置よりも低い装置へのロットの搬
送を、他の装置へのロットの搬送よりも優先して行うよ
うに上記搬送装置を駆動制御するコンピュータとを有す
る構成である。

【０１９４】それゆえ、搬送装置の搬送能力を変えるこ
となく、ロットの搬送に要する平均時間を減少させて搬
送ロスを低減し、この結果、生産ライン全体での処理能
力（単位時間当たりの処理ロット数）の増加を図ること
ができるという効果を奏する。

【０１９５】上記コンピュータは、生産ライン上の各装
置のうち、処理能力が最も低い装置（ボトルネック装
置）へのロットの搬送を最優先で行うように上記搬送装
置を駆動制御するようにしてもよい。

【０１９６】この場合、上述したように、生産ライン全
体の処理能力を決定するボトルネック装置へのロットの
搬送待ち時間を短縮できるので、生産ライン全体の処理
能力の向上を図ることができるという効果を奏する。

【０１９７】また、上記生産ライン管理システムは、具
体的には、生産ライン上の各工程でロットに対して所定
の処理を施す複数の装置と、前工程が完了し、次工程で
所定の処理が施される前のロットを一時保管するバッフ
ァステーションと、上記装置とバッファステーションと
の間でロットの搬送を行う搬送装置と、ロットの搬送順
位が含まれる搬送指示情報を記憶する記憶手段と、上記
搬送指示情報に含まれる搬送順位の高いロットから搬送
するように、上記搬送装置を駆動制御するコンピュータ
とを有し、上記コンピュータは、上記搬送指示情報に、
上記生産ライン上の装置のうち、最も処理能力の低い装
置へのロットの搬送指示情報が含まれる場合、このロッ
トの搬送順位を最上位になるように繰り上げて、該ロッ
トの搬送を行うように上記搬送装置を駆動制御すること
で実現できる。

【０１９８】本発明の生産ライン管理方法は、以上のよ
うに、生産ライン上の各工程の装置で所定の処理が完了
したロットを、次の工程への搬送要求があるまでバッフ
ァステーションに一時待避させ、搬送要求があれば、上
記バッファステーションに待避されたロットを次の工程
の装置に搬送する生産ライン管理方法において、上記生
産ライン上の各装置のうち、処理能力が他の装置よりも
低い装置へのロットの搬送を、他の装置へのロットの搬
送よりも優先して行う構成である。

【０１９９】それゆえ、搬送装置の搬送能力を変えるこ
となく、ロットの搬送に要する平均時間を減少させて搬
送ロスを低減し、この結果、生産ライン全体での処理能
力（単位時間当たりの処理ロット数）の増加を図ること
ができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の生産ライン管理システムを示す概略構
成図である。

【図２】図１に示した生産ライン管理システムにおける
生産系データベースに予め記憶されている工程フロー情
報の一例を示す説明図である。

【図３】（ａ）は、上記生産系データベースに記憶され
ているロット管理情報の一例を示す説明図であり、
（ｂ）は、（ａ）のロット管理情報に含まれるホールド
情報の一例を示す説明図であり、（ｃ）は、上記生産系
データベースに記憶されている仕掛かりロット情報の一
例を示す説明図である。

【図４】図１に示した生産ライン管理システムにおける
製造装置管理サーバが作成する製造装置管理情報の一例
を示す説明図である。

【図５】図１に示した生産ライン管理システムの製造装
置管理サーバによって作成されるレシピ情報の一例を示
す説明図である。

【図６】図１に示した生産ライン管理システムによって
管理される生産ラインの概略を示す説明図である。

【図７】図１に示した生産ライン管理システムにおける
ロット搬送管理サーバによって作成される搬送装置管理
情報の一例を示す説明図である。

【図８】図１に示した生産ライン管理システムにおける
ロット進捗管理サーバから製造装置管理サーバに伝達さ
れるプロセス手順指示通知の一例を示す説明図である。

【図９】図１に示した生産ライン管理システムにおける
ロット搬送管理サーバが作成する搬送処理情報の一例を
示す説明図である。

【図１０】図４に示した製造装置管理情報の処理中ロッ
ト状態管理項目の表示の一例を示す説明図である。

【図１１】図１に示した生産ライン管理システムにおけ
るロット搬送管理サーバによって作成される搬送装置管
理情報の一例を示す説明図である。

【図１２】（ａ）は、上記生産系データベースに記憶さ
れているロット管理情報の一例を示す説明図であり、
（ｂ）は、（ａ）のロット管理情報に含まれるホールド
情報の一例を示す説明図であり、（ｃ）は、上記生産系
データベースに記憶されている仕掛かりロット情報の一
例を示す説明図である。

【図１３】図１に示した生産ライン管理システムの工程
管理コンピュータにおいて送受される情報の一例を示す
説明図である。

【図１４】本実施の形態に係る装置の形態を示す説明図
である。

【図１５】図１４に示す装置を用いた生産ラインの概略
を示す説明図である。

【図１６】（ａ）（ｂ）は、本発明の生産ライン管理シ
ステムで使用される搬送待ちテーブルの一例を示す説明
図である。

【図１７】図１６（ａ）（ｂ）に示す搬送待ちテーブル
に基づいて駆動した搬送装置のタイムチャートである。

【図１８】本発明の生産ライン管理システムを用いた場
合の生産ラインの処理能力を示す説明図である。

【図１９】従来の生産ライン管理システムの概略構成図
である。

【図２０】図１９に示した生産ライン管理システムにお
ける搬送装置・製造装置通信管理コンピュータと各製造
装置および搬送装置との関係を示す説明図である。

【図２１】比較例の生産ライン管理システムで使用され
る搬送待ちテーブルの一例を示す説明図である。

【図２２】図２１に示す搬送待ちテーブルに基づいて駆
動した搬送装置のタイムチャートである。

【図２３】ロット処理能力を生産ラインの各装置毎に示
した説明図である。

【図２４】ロット処理能力を生産ライン全体でみた場合
の説明図である。

【図２５】比較例の生産ライン管理システムを用いた場
合の生産ラインの処理能力を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 工程管理コンピュータ（コンピュータ） ２ 搬送装置・製造装置通信管理コンピュータ（コン
ピュータ） ５ 製造装置管理サーバ ６ ロット搬送管理サーバ ７ 搬送待ちテーブル（記憶手段） ＢＵＦ バッファステーション ＥＱ 製造装置 ＴＡ 搬送装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】生産ライン上の各工程でロットに対して所
   定の処理を施す複数の装置と、 前工程が完了し、次工程で所定の処理が施される前のロ
   ットを一時保管するバッファステーションと、 上記装置とバッファステーションとの間でロットの搬送
   を行う搬送装置と、 上記装置のうち、処理能力が他の装置よりも低い装置へ
   のロットの搬送を、他の装置へのロットの搬送よりも優
   先して行うように上記搬送装置を駆動制御するコンピュ
   ータとを有することを特徴とする生産ライン管理システ
   ム。
2. 【請求項２】上記コンピュータは、生産ライン上の各装
   置のうち、処理能力が最も低い装置へのロットの搬送を
   最優先で行うように上記搬送装置を駆動制御することを
   特徴とする請求項１記載の生産ライン管理システム。
3. 【請求項３】生産ライン上の各工程でロットに対して所
   定の処理を施す複数の装置と、 前工程が完了し、次工程で所定の処理が施される前のロ
   ットを一時保管するバッファステーションと、 上記装置とバッファステーションとの間でロットの搬送
   を行う搬送装置と、 ロットの搬送順位が含まれる搬送指示情報を記憶する記
   憶手段と、 上記搬送指示情報に含まれる搬送順位の高いロットから
   搬送するように、上記搬送装置を駆動制御するコンピュ
   ータとを有し、 上記コンピュータは、上記搬送指示情報に、上記生産ラ
   イン上の装置のうち、最も処理能力の低い装置へのロッ
   トの搬送指示情報が含まれる場合、このロットの搬送順
   位を最上位になるように繰り上げて、該ロットの搬送を
   行うように上記搬送装置を駆動制御することを特徴とす
   る生産ライン管理システム。
4. 【請求項４】生産ライン上の各工程の装置で所定の処理
   が完了したロットを、次の工程への搬送要求があるまで
   バッファステーションに一時待避させ、搬送要求があれ
   ば、上記バッファステーションに待避されたロットを次
   の工程の装置に搬送する生産ライン管理方法において、 上記生産ライン上の各装置のうち、処理能力が他の装置
   よりも低い装置へのロットの搬送を、他の装置へのロッ
   トの搬送よりも優先して行うことを特徴とする生産ライ
   ン管理方法。