JPH11254275A - 生産ライン管理システムおよび生産ライン管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ロットの搬送効率を向上させて、製造装置の
ロスタイムを抑えることを可能とする生産ライン管理シ
ステムおよび生産ライン管理方法を提供する。 【解決手段】 ＣＩＭ実績管理コンピュータ１は、製造
装置通信管理コンピュータ２を介して、製造装置Ｅ１〜
Ｅｎと通信を行い、これら製造装置Ｅ１〜Ｅｎへのロッ
トの搬送時刻を以下のように制御する。すなわち、製造
装置Ｅ１〜Ｅｎまでの搬送所要時間を計測し、メモリ内
搬送時間データベース３に記憶されている搬送所要時間
を所定の方法で更新する。そして、更新した搬送所要時
間に基づいて、ロットの搬送時刻を決定する。このよう
に、生産ラインにおける搬送状況を常に監視し、ロット
の搬送時刻を調整しているので、ロットの搬送効率を向
上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、多数の工程によっ
てＴＦＴ液晶パネル等の工業製品の製造を行うための生
産ラインを管理するための、生産ライン管理システムお
よび生産ライン管理方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＴＦＴ液晶パネルを多数生産する工場に
おける生産ライン管理は、一般に、いわゆるＣＩＭ（Co
mputer Integrated Manufacuturing：コンピュータ統合
生産）手法を用いた管理方法で行われている。

【０００３】図１４は、この管理方法を用いた生産管理
を行う管理システムの構成を示す説明図である。この図
に示すように、このシステムは、ＣＩＭ実績管理コンピ
ュータ１０１と、製造装置通信管理コンピュータ１０２
と、生産系データベース１０３とを備えている。

【０００４】このような管理システムによって管理され
るＴＦＴ液晶パネルの製造工程では、単数または複数の
生産ラインが使用される。そして、各生産ラインでは、
ＴＦＴ液晶パネルの材料であるＴＦＴ専用ガラス基板
が、ロット単位、すなわち、カセットと呼ばれる入れ物
に装填された多数枚の材料を単位として処理される。そ
して、単数あるいは複数のクリーンルームにおいて、数
十からなる工程の処理が各ロットに施され、ＴＦＴ液晶
パネルが製造される。

【０００５】なお、ロットとは、生産ライン上での被加
工物の最小単位であるとともに、物流の際の最小単位で
もある。通常、工場内には、製品の種類毎にこのロット
が多数存在する。また、通常のＴＦＴ液晶パネルの製造
では、ロット番号が記されたカセットに最大２０枚程度
のガラス基板が装填され、被加工物の最小単位となって
いる。

【０００６】このシステムにおいて、生産系データベー
ス１０３は、ＣＩＭ実績管理コンピュータ１０１が制御
するデータベースであり、工場内に多数存在する各機種
のロットの情報が、ロット単位で登録されている。この
情報とは、例えば、ロット番号、現在の仕掛かりステッ
プ、現在位置、レシピ情報等である。仕掛かりステップ
とは、所属の工程フローに定義された製造プロセスの処
理ステップのことを示す。また、工程フローとはある機
種の生産プロセスの手順を記した一連の流れを定義した
ものである。また、レシピとは、ロットを各製造装置で
処理するための条件である。

【０００７】ＣＩＭ実績管理コンピュータ１０１と製造
装置通信管理コンピュータ１０２とは、工場あるいはク
リーンルーム内で稼働する各種製造装置を管理・制御す
るためのものである。図１５は、工場内の各製造装置通
信管理コンピュータ１０２が、製造装置通信インタフェ
ースＦ１〜Ｆｎを介して、各種の製造装置Ｅ１〜Ｅｎと
接続されている構成を示す説明図である。この図に示す
ように、製造装置通信管理コンピュータ１０２には、単
数または複数のクリーンルームで稼働する各種の製造装
置Ｅ１〜Ｅｎが、これら各製造装置Ｅ１〜Ｅｎの台数だ
け備えられている製造装置通信インタフェースＦ１〜Ｆ
ｎを介して接続されている。そして、ＣＩＭ実績管理コ
ンピュータ１０１と製造装置通信管理コンピュータ１０
２とは、各製造装置から発信されるロットの搬入要求、
ロットの搬入完了、処理開始、処理終了、ロットの搬出
要求、ロットの搬出完了等の信号を受信し、動作状況を
リアルタイムに管理する。これらＣＩＭ実績管理コンピ
ュータ１０１および製造装置通信管理コンピュータ１０
２の管理は、例えば特開平７−４０２０６号公報に開示
されているようなディスパッチングルールに基づいて行
うようにしてもよい。

【０００８】ＣＩＭ実績管理コンピュータ１０１は、こ
の製造装置通信管理コンピュータ１０２からの各種の製
造装置Ｅ１〜Ｅｎにおける実績報告に基づき、生産系デ
ータベース１０３を更新するとともに、各クリーンルー
ムにおいて行われる数十もの工程を含む処理ステップ
を、ロット毎に工程完了（払い出し）まで管理するよう
になっている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような従来の管理システムには、以下に示す問題があ
る。すなわち、複数の共有ポート（搬入・搬出のための
ポート）を備えている製造装置は、製造装置オンライン
移行時に、全ての共有ポートからの搬入要求を製造装置
通信管理コンピュータ１０２に発信する。従って、製造
装置には、ポートの数だけ仕掛かりロットが搬送されて
しまう。

【００１０】このため、これらのロットのうち、最初に
処理されるもの以外のロットは、ポート上で待機状態を
強いられる。従って、クリーンな状態でなければならな
いロットであっても、工場内の無人搬送車や通行するオ
ペレータ達が発するダストの影響を受けてしまう。そし
て、このダストの影響のため、ロット内における被加工
物の良品率が低下するとともに、製造装置内部の処理機
構（プロセスチャンバー）にも悪影響が及ぼされる。さ
らに、この製造装置により処理された被化合物、およ
び、この処理以降の処理を行う製造装置にも、多大な悪
影響が及ぼされてしまう。

【００１１】さらに、無人搬送車等の搬送装置によって
ロットを搬送している際、搬送装置にトラブル（無人搬
送車の故障等により発生する障害物の撤去等）が発生し
た場合や、製造装置のメンテナンスにより経路（生産ラ
イン）が遮断された場合には、ロットの搬送に要する時
間が一定ではなくなる。従って、このような場合には、
製造装置までのロットの搬送所要時間と製造装置の処理
時間とを考慮して、時間をずらして複数のロットを搬送
したとしても、製造装置におけるポート上でのロットの
待機時間、あるいは、製造装置自身のロット待ちの時間
の発生は避けられない。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の請求項１に記載の生産ライン管理システ
ムは、生産ライン上の各製造装置にロットを搬送し、処
理終了後に回収するための生産ライン管理システムにお
いて、生産ライン上の各移動経路におけるロットの搬送
所要時間を、移動経路毎に記憶するための記憶手段と、
ロットが搬送される度にその搬送所要時間を計測する計
測手段と、上記記憶手段に記憶されている搬送所要時間
と、上記計測手段に計測された搬送所要時間とに基づい
て、上記記憶手段に記憶されている搬送所要時間を更新
し、更新した搬送所要時間に基づいて、ロットの搬送時
刻を決定するための制御手段とを備えていることを特徴
としている。

【００１３】上記の構成によれば、記憶手段には、生産
ライン上でロットが移動するすべての経路の搬送所要時
間が記憶されている。この経路とは、例えば、各ロット
が格納されているストッカと各製造装置間の経路、ある
いは、ある製造装置から別の製造装置までの経路等であ
る。また、計測手段は、上記の経路の何れかを用いたロ
ットの搬送が行われると、その搬送に要した時間を常に
計測する。この計測は、例えば、搬送機が搬送を開始し
た時刻と搬送を終了した時刻との差をとることで行われ
る。

【００１４】そして、制御手段は、ある経路において一
つのロットの搬送が終了し、計測手段の計測が終了する
と、記憶手段に記憶されている搬送所要時間と、計測手
段によって新たに計測された搬送所要時間とに基づい
て、記憶手段の搬送所要時間を更新する。この更新は、
ユーザの所望の設定で行うことが可能であるが、例え
ば、現実の搬送所要時間に近くなるように行なうことが
好ましい。また、例えば、請求項２に記載のように、記
憶手段に記憶されている搬送所要時間と、計測手段によ
って計測された搬送所要時間との平均の時間を、新たな
搬送所要時間として記憶手段に記憶することで更新が行
われてもよい。

【００１５】そして、制御手段は、同じ経路を用いてロ
ットを搬送する際、この更新された搬送所要時間に基づ
いて、ロットの搬送時刻（搬送の開始時刻）を決定す
る。すなわち、例えば、ストッカから製造装置までロッ
ト（搬送ロット）を搬送する場合であって、この製造装
置において別のロット（処理ロット）が処理されている
場合であれば、制御手段は、この製造装置における処理
ロットに対する処理が終了した直後に搬送ロットの搬送
が完了するように、搬送ロットの搬送時刻を決定する。

【００１６】このようにすれば、搬送機のトラブル等に
よりロットの搬送に要する時間が一定にならなくても、
ロスタイムを最小限に抑え、最良の搬送効率でロットの
搬送を行うことが可能となる。

【００１７】さらに、複数のロットが同時に同一の製造
装置に搬入されることがないので、各ロットは、工場内
の無人搬送車や通行するオペレータ達が発するダストの
影響を受けることがない。従って、ダストが引き起こす
被加工物の良品率の低下、製造装置内部の処理機構の汚
染等を防ぐことができる。

【００１８】また、請求項３に記載の生産ライン管理方
法は、生産ライン上の各製造装置にロットを搬送し、処
理終了後に回収するための生産ライン管理方法におい
て、生産ライン上の各移動経路におけるロットの搬送所
要時間を、移動経路毎に記憶し、ロットが搬送される度
にその搬送所要時間を計測し、記憶している搬送所要時
間と計測した搬送所要時間とに基づいて、各移動経路に
おける搬送所要時間を更新し、更新した搬送所要時間に
基づいて、ロットの搬送時刻を決定することを特徴とし
ている。

【００１９】上記の方法では、生産ライン上でロットが
移動するすべての経路の搬送所要時間を、各経路毎に記
憶する。この経路とは、例えば、各ロットが格納されて
いるストッカと各製造装置間の経路、あるいは、ある製
造装置から別の製造装置までの経路等である。そして、
上記の経路の何れかを用いてロットの搬送が行われる
と、その搬送に要した時間を常に計測する。この計測
は、例えば、搬送機が搬送を開始した時刻と搬送を終了
した時刻との差をとることで行われる。

【００２０】そして、ある経路において一つのロットの
搬送が終了し、搬送所要時間の計測が終了すると、記憶
している搬送所要時間と、新たに計測された搬送所要時
間とに基づいて、記憶すべき搬送所要時間を更新し、こ
の搬送所要時間を記憶する。この更新は、ユーザの所望
の設定で行うことが可能であるが、例えば、現実の搬送
所要時間に最も近くなるように行なうことが好ましい。
また、例えば、請求項４に記載のように、記憶されてい
る搬送所要時間と、計測された搬送所要時間との平均の
時間を、新たな搬送所要時間として記憶することで更新
が行われてもよい。

【００２１】そして、同じ経路を用いてロットを搬送す
る際、この更新された搬送所要時間に基づいて、ロット
の搬送時刻（搬送の開始時刻）が決定される。すなわ
ち、例えば、ストッカから製造装置までロット（搬送ロ
ット）を搬送する場合であって、この製造装置において
別のロット（処理ロット）が処理されている場合であれ
ば、ロットの搬送時刻は、この製造装置における処理ロ
ットに対する処理が終了した直後に搬送ロットの搬送が
完了するように決定される。

【００２２】このようにすれば、搬送機のトラブル等に
よりロットの搬送に要する時間が一定にならなくても、
ロスタイムを最小限に抑え、最良の搬送効率でロットの
搬送を行うことが可能となる。

【００２３】さらに、複数のロットが同時に同一の製造
装置に搬入されることがないので、各ロットは、工場内
の無人搬送車や通行するオペレータ達が発するダストの
影響を受けることがない。従って、ダストが引き起こす
被加工物の良品率の低下、製造装置内部の処理機構の汚
染等を防ぐことが可能となる。

【００２４】

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態について以下
に説明する。本実施の形態にかかる生産ライン管理シス
テム（以下、本システムとする）は、ＴＦＴ液晶パネル
の生産を管理するシステムである。図１は、本システム
の構成を示すブロック図である。この図に示すように、
本システムは、ＣＩＭ実績管理コンピュータ１と、製造
装置通信管理コンピュータ２と、メモリ内搬送時間デー
タベース３と、生産系データベース４と、搬送時間デー
タベース５と、ロット進捗管理サーバ７と、製造装置管
理サーバ８と、ロット搬送管理サーバ９と、製造装置通
信インタフェースＦ１〜Ｆｎとを備えている。また、こ
の図における製造装置Ｅ１〜Ｅｎは、本システムが管理
する生産ラインにおいて、各種の製造工程を処理するた
めの製造装置である。

【００２５】製造装置通信インタフェースＦ１〜Ｆｎ
は、本システムと製造装置Ｅ１〜Ｅｎとの通信を可能と
するためのインタフェースであり、各製造装置Ｅ１〜Ｅ
ｎと１対１対応となるように設けられている。

【００２６】製造装置通信管理コンピュータ２は、製造
装置通信インタフェースＦ１〜Ｆｎを制御して、各製造
装置Ｅ１〜Ｅｎの動作状況をリアルタイムにＣＩＭ実績
管理コンピュータ１に伝達し、ＣＩＭ実績管理コンピュ
ータ１の制御に従ってこれら製造装置Ｅ１〜Ｅｎを管理
するものである。

【００２７】ＣＩＭ実績管理コンピュータ（制御手段、
計測手段）１は、ロット進捗管理サーバ７，製造装置管
理サーバ８およびロット搬送管理サーバ９を制御して、
製造装置通信管理コンピュータ２からの情報に従って各
ロットおよび製造装置Ｅ１〜Ｅｎを管理する、本システ
ムの中枢部である。以下に、ＣＩＭ実績管理コンピュー
タ１の機能を詳細に説明する。

【００２８】まず、ＣＩＭ実績管理コンピュータ１は、
製造装置通信管理コンピュータ２からの情報に基づいて
ロット進捗管理サーバ７を制御し、メモリ内搬送時間デ
ータベース３と生産系データベース４との管理、およ
び、各ロットにおける全工程のステップ管理を行う。

【００２９】すなわち、ロット進捗管理サーバ７は、Ｃ
ＩＭ実績管理コンピュータ１の制御によって、製造装置
通信管理コンピュータ２からの各種の製造装置Ｅ１〜Ｅ
ｎにおける実績報告（製造装置管理情報）に基づき生産
系データベース４を更新するとともに、各クリーンルー
ムにおいて行われる数十もの工程を含む処理ステップ
を、ロット毎に工程完了（払い出し）まで管理する。

【００３０】図２は、生産系データベース４にあらかじ
め記憶されている工程フロー情報（以下、工程フロー情
報Ｊ７とする）の例を示す説明図である。この図に示す
ように、工程フロー情報Ｊ７には、１つの工程フローＩ
Ｄ『ＦＬＯＷ−００１』における仕掛かりステップと、
各ステップに対する工程名称，レシピＩＤ，仕掛かりキ
ューＩＤおよび搬出先ストッカＩＤが示されている。ロ
ット進捗管理サーバ７は、この工程フロー情報Ｊ７に基
づいて、ロット毎に全工程を管理する。

【００３１】ロット進捗管理サーバ７によって更新され
る生産系データベース４は、ＣＩＭ実績管理コンピュー
タ１が制御するデータベースであり、各ロットの情報
が、ロット管理情報として登録されている。図３（ａ）
は、このロット管理情報（以下、ロット管理情報Ｊ１と
する）を示す説明図である。この図に示すように、ロッ
ト管理情報Ｊ１には、『ロット番号（ｄ０１）』，『工
程フローＩＤ（ｄ０２）』，各工程フローにおける『ス
テップＩＤ（ｄ１０）』，『工程名称（ｄ０３）』，
『現在位置（ｄ０４）』，『現在ポート位置（ｄ０
５）』，『処理ステータス（ｄ０６）』，『搬送ステー
タス（ｄ１１）』，『基板枚数（ｄ０７）』，『ホール
ド個数（ｄ０８）』および『ホールド情報（ｄ０９）』
の各欄が設けられている。

【００３２】『工程フローＩＤ（ｄ０２）』欄には、あ
るＴＦＴ液晶パネルにおける生産プロセスの手順を記し
た一連の流れを定義した工程フローのＩＤ（Identficat
ion)が表示される。また、『ステップＩＤ（ｄ１０）』
欄には、所属の工程フローに定義された製造プロセスの
処理ステップである仕掛りステップのＩＤが表示され
る。また、『現在ポート位置（ｄ０５）』欄には、ロッ
トが製造装置Ｅ１〜Ｅｎにある場合、これら装置のどの
ポートにあるのかが表示される。『搬送ステータス（ｄ
１１）』欄には、ロットの搬送状態における詳細が示さ
れる。また、『処理ステータス（ｄ０６）』欄には、ロ
ットが処理可能であるかどうかが表示される。

【００３３】また、『ホールド情報（ｄ０９）』欄に
は、ロットに生じたホールドが記載される。また、『ホ
ールド個数（ｄ０８）』欄には、『ホールド情報（ｄ０
９）』内に記載されたホールドの個数が記載される。図
３（ａ）に示すように、『ホールド情報（ｄ０９）』欄
は、ロットに生じたホールドの通し番号が記載された
『ホールド設定位置（ｄ１２）』欄によって所定数のエ
リアに区切られ、各エリアに対応して、『ホールドタイ
プ（ｄ１３）』および『コメント（ｄ１４）』の各欄が
設けられている。

【００３４】『ホールドタイプ（ｄ１３）』には、ホー
ルドの種類を示す、あらかじめ設定された記号が記載さ
れる。表１に、この『ホールド情報（ｄ０９）』の各欄
における記載の例と、各ホールドの意味するロットの状
況とを示す。この表１に示すように、『コメント（ｄ１
４）』欄には、『ホールドタイプ（ｄ１３）』欄に記載
された記号で示されるホールドの簡単な意味が記載され
る。従って、『ホールドタイプ（ｄ１３）』欄および
『コメント（ｄ１４）』欄の記載は必ず一対で記載され
る。また、『ホールド設定位置（ｄ１２）』欄は、空き
エリアのうちの小さい番号のエリアから順に使用され
る。空きエリアとは、『ホールドタイプ（ｄ１３）』欄
がブランクとなっているエリアである。

【００３５】

【表１】

【００３６】また、ロット進捗管理サーバ７は、全ての
ロットにおけるロット管理情報Ｊ１に基づいて、仕掛か
りロット情報を作成し、生産系データベース４に記憶さ
せている。図３（ｂ）は、この仕掛かりロット情報（以
下、仕掛かりロット情報Ｊ２とする）の例を示す説明図
である。この仕掛かりロット情報Ｊ２には、各ロット
の、『ロット番号（ｃ０４）』，『優先度（ｃ０
１）』，『レシピＩＤ（ｃ０２）』および『仕掛かり登
録時刻（ｃ０３）』が表示されている。

【００３７】上記の『レシピＩＤ（ｃ０２）』欄には、
製造装置およびロットに応じたレシピを特定するための
ＩＤが表示される。ここで、レシピとは、ロットを処理
するための条件のことである。また、『仕掛かり登録時
刻（ｃ０３）』には、各ロットが仕掛かり状態となった
時刻が登録される。

【００３８】メモリ内搬送時間データベース（記憶手
段）３には、搬送所要時間情報が記憶されている。図４
は、この搬送所要時間情報（以下搬送所要時間情報Ｊ３
とする）を示す説明図である。この図に示すように、搬
送所要時間情報Ｊ３には、各ロットのストッカから、各
製造装置までの搬送所要時間が記載されている。この搬
送所要時間は、後述する計算方法によって搬送の度に更
新されているので、常に最新の情報が反映されたものと
なっている。搬送所要時間情報Ｊ３の更新はロット進捗
管理サーバ７によって行われるが、ロット進捗管理サー
バ７は、この情報を搬送時間データベース（記憶手段）
５にも記憶させる。

【００３９】また、ＣＩＭ実績管理コンピュータ１は、
製造装置通信管理コンピュータ２からの情報に基づいて
ロット搬送管理サーバ９および製造装置管理サーバ８を
制御し、各製造装置Ｅ１〜Ｅｎの状態を管理・制御する
ために、後述する製造装置管理情報を作成して生産系デ
ータベース４に記憶させる。そして、これら製造装置管
理サーバ８およびロット搬送管理サーバ９を制御して、
製造装置通信管理コンピュータ２に与える指示を作成・
伝達する。

【００４０】図５は、製造装置管理サーバ８が作成する
製造装置管理情報（以下、製造装置管理情報Ｊ４とす
る）を示す説明図である。この図に示すように、製造装
置管理情報Ｊ４は、『１．製造装置状態管理』，『２．
製造装置ポート状態管理』および『３．処理中ロット状
態管理』の各項目からなる情報である。

【００４１】『１．製造装置状態管理』項目には、『製
造装置ＩＤ（ｇ０１）』，『製造装置通信状態（ｇ０
２）』，『最大搬入可能ロット数（ｇ０３）』，『処理
中ロット数（ｇ０４）』，『ロット選択要求発行タイマ
（ｇ０５）』および『インタバルタイマ（ｇ０６）』の
各欄が設けられている。『製造装置ＩＤ（ｇ０１）』欄
には、生産ラインにおける製造装置のＩＤ（図の例で
は、Ｅ１〜Ｅｎのいずれか）が表示される。また、『製
造装置通信状態（ｇ０２）』欄には、製造装置のライン
の状態、すなわち、オンライン状態（ＯＮＬ）である
か、あるいは、オフライン状態（ＯＦＬ）であるかが表
示される。『処理中ロット数（ｇ０４）』欄には、製造
装置において処理中のロット数が表示される。また、
『ロット選択要求発行タイマ（ｇ０５）』および『イン
タバルタイマ（ｇ０６）』欄の表示については、後述す
る。

【００４２】『２．製造装置ポート状態管理』項目に
は、『搬入予定ロット番号（ｇ１１）』欄および『搬入
要求受信済み識別子（ｇ１２）』欄がポート毎に設けら
れている。そして、『搬入予定ロット番号（ｇ１１）』
欄には、各ポートの『ポートＩＤ（ｇ０７）』欄毎に搬
入が予定されているロットの番号が表示され、『搬入要
求受信済み識別子（ｇ１２）』欄には、製造装置から発
信されたロット搬入要求通知がロット搬送管理サーバ９
で受信されたかどうかが表示される。このロット搬入要
求通知については後述する。

【００４３】『３．処理中ロット状態管理』項目は、各
製造装置において処理にかかっているロットの状態を示
すものであり、ロット毎に設けられている。各ロットの
『３．処理中ロット状態管理』には、『ロット番号（ｇ
１３）』欄、『レシピＩＤ（ｇ１４）』欄，『搬出先ス
トッカＩＤ（ｇ１５）』，『処理開始時刻（ｇ１６）』
欄，『処理終了時刻（ｇ１７）』欄，『処理枚数（ｇ１
８）』欄および『不良枚数（ｇ１９）』欄が設けられて
いる。

【００４４】『ロット番号（ｇ１３）』欄には、各ロッ
トに固有の番号が表示される。『搬出先ストッカＩＤ
（ｇ１５）』欄には、処理済のロットにおける搬出先の
ストッカ（各ロットを格納する場所）を特定するＩＤが
表示される。『処理開始時刻（ｇ１６）』欄および『処
理終了時刻（ｇ１７）』欄には、この製造装置における
各ロットの処理の開始・終了の時刻が表示される。『処
理枚数（ｇ１８）』欄および『不良枚数（ｇ１９）』欄
には、処理の済んだロット内におけるＴＦＴ液晶パネル
の材料であるガラス基板の枚数、および、適切に処理で
きなかった材料の数が表示される。また、『不良枚数
（ｇ１９）』欄の下部には、ロット内の基板番号に対応
して、『不良コード（ｇ２１）』欄が設けられている。
これは、適切に処理できなかった材料と、その原因とを
表示するためのものである。

【００４５】また、製造装置管理サーバ８は、全ての製
造装置における製造装置管理情報Ｊ４に基づいて、レシ
ピ情報を作成する。図６は、このレシピ情報（以下、レ
シピ情報Ｊ５とする）の例を示す説明図である。この図
に示すように、レシピ情報Ｊ５には、製造装置ＩＤ毎
に、使用可能なレシピが所定のフォーマットで記載され
ている。

【００４６】また、図７は、本システムが管理する生産
ラインの概略を示す説明図である。この図に示すよう
に、各製造装置Ｅ１〜Ｅｎ（製造装置Ｅ１〜Ｅ４のみ図
示）は、それぞれ複数のポートを備えている。そして、
各ポートとストッカＳＴ１・ＳＴ２との間で、ロットが
授受されるようになっている。この図の例では、製造装
置Ｅ１・Ｅ２のポートＰ１〜Ｐ４は全て共有ポートであ
り、ロード（搬入）とアンロード（搬出）とを行うこと
ができる。また、製造装置Ｅ１・Ｅ２のポートＰ１はロ
ード（搬入）専用ポートであり、同じくＰ２はアンロー
ド（搬出）専用のポートである。

【００４７】以下に、本システムにおける生産ライン管
理の動作について説明する。以下では、本システムが、
製造装置Ｅ１によって処理を行う例を用いて、ＣＩＭ実
績管理コンピュータ１と製造装置通信管理コンピュータ
２との通信及び内部動作について、説明する。なお、表
２は、ロット進捗管理サーバ７と製造装置管理サーバ８
との間において処理の際に授受される、後述する各通知
の内容を示す説明図である。本システムでは、これらの
通知を用いることで、生産ラインを管理するようになっ
ている。

【００４８】

【表２】

【００４９】本システムでは、生産の開始時には、生産
ライン上の各製造装置は、オペレータ（工場内作業者）
によって、オンラインモードに切り替えられる。この切
り替えは、各製造装置毎に設置されている操作パネル
を、オペレータが操作することによって行われる。オン
ラインモードとなると、製造装置Ｅ１は、製造装置通信
インタフェースＦ１に、オンライン移行報告を伝達し、
オンラインとなったことを報告する。

【００５０】製造装置通信インタフェースＦ１は、ＣＩ
Ｍ実績管理コンピュータ１下で可動する製造装置管理サ
ーバ８に、受け取ったオンライン移行報告を伝達する。
そして、製造装置管理サーバ８は、製造装置Ｅ１がオン
ラインとなったことを示す移行内容詳細を作成し、表２
に示すオンライン移行通知（ｉ１３）を作成してロット
進捗管理サーバ７に伝達する。

【００５１】製造装置管理サーバ８は、製造装置ＩＤに
基づいて、図５に示した製造装置Ｅ１の製造装置管理情
報Ｊ４を検索し、『１．製造装置状態管理』項目におけ
る『製造装置通信状態（ｇ０２）』欄を「ＯＮＬ」に更
新する。これにより、製造装置Ｅ１がオンライン状態に
なったことが識別可能となる。

【００５２】オンライン移行時、製造装置Ｅ１のポート
Ｐ１〜Ｐ４が空である場合、製造装置Ｅ１は、各ポート
Ｐ１〜Ｐ４にロットを要求するための、表２に示すロッ
ト搬入要求通知（ｉ０１）を、製造装置通信インタフェ
ースＦ１に発信する。製造装置通信インタフェースＦ１
は、この通知を製造装置管理サーバ８に瞬時に伝達す
る。

【００５３】製造装置管理サーバ８は、伝達されたロッ
ト搬入要求通知（ｉ０１）が、どの製造装置におけるど
のポートからのものかを判断し、製造装置ＩＤおよびポ
ートＩＤをキーワードとし、製造装置管理情報Ｊ４を検
索する。そして、製造装置管理情報Ｊ４の『２．製造装
置ポート状態管理』項目における、該当ポートＩＤの
『搬入要求受信済み識別子（ｇ１２）』欄を、「１」
（搬入要求受信済み）に更新する。その後、製造装置管
理サーバ８は、製造装置Ｅ１のための表２に示すロット
選択要求通知（ｉ０２）をロット進捗管理サーバ７に伝
達する。このロット選択要求通知（ｉ０２）は、処理待
ちのロットの中から、処理を行うロットを選択・決定す
ることをロット進捗管理サーバ７に指示するための通知
である。

【００５４】ロット進捗管理サーバ７は、ロット選択要
求通知（ｉ０２）に基づいて、要求のあったポートに搬
入する処理ロットを選択・決定する。この決定は、図３
（ａ）に示したロット管理情報Ｊ１、図３（ｂ）に示し
た仕掛かりロット情報Ｊ２、および、図６に示したレシ
ピ情報Ｊ５に基づいて、以下の〜に示す条件を満た
すロットを検索することで行われる。

【００５５】仕掛かりロット情報Ｊ２に示されている
処理待ちロット中、『優先度（ｃ０１）』を示す数字が
最小のもの。 仕掛かりロット情報Ｊ２に示す仕掛かりキューに登録
されているロット中、『仕掛かり登録時刻（ｃ０３）』
が最も古いもの。 上記またはを満足するロットにおいて、ロット管
理情報Ｊ１（図３（ａ）参照）の『ホールド個数（ｄ０
８）』が「０」であり、『処理ステータス（ｄ０６）』
が「ＱＵＥ」（処理可能）であり、かつ、『搬送ステー
タス（ｄ１１）』が空白（搬送中でない）であること。 上記を満足するロットにおいて、仕掛かりロット情
報Ｊ２における『レシピＩＤ（ｃ０２）』が、ロットを
要求している製造装置にて処理可能であること。

【００５６】なお、以下では、図３（ａ），図３（ｂ）
および図６より、ロットＬＴ１が上記〜を満たすこ
とから、処理ロットをロットＬＴ１とする。ロット進捗
管理サーバ７は、このように決定した処理ロットＬＴ１
におけるロット管理情報Ｊ１の『処理ステータス（ｄ０
６）』を「ＱＵＥ」（処理可能）から、「ＰＲＯ」（処
理中）へ更新する。そして、ロット進捗管理サーバ７
は、製造装置管理サーバ８に、表２に示すプロセス手順
指示通知（ｉ０３）を伝達する。図８は、このプロセス
手順指示通知（ｉ０３）の例を示す説明図である。この
図に示すように、この通知には、製造装置ＩＤ，選択結
果，ロット番号，レシピＩＤおよび搬出先ストッカＩＤ
が記載されている。なお、この図における『選択結果』
欄の「１」は、処理ロット（最適ロット）があったこと
を意味している。

【００５７】上記の処理ロットの検索では、上記〜
条件を満足しないロットは無視される。そして、これら
を満足するロットが見つかるまで検索が行われる。最終
的にこれらの条件を満足するロットがないと判断された
場合には、処理ロットなしのプロセス手順指示通知（ｉ
０３）（『選択結果』欄が「０」）が製造装置管理サー
バ８に伝達される。

【００５８】プロセス手順指示通知（ｉ０３）を受信し
た製造装置管理サーバ８は、この通知における『選択結
果』欄に従って、以下に示す２種類の処理のうちのいず
れかを行う。

【００５９】まず、処理ロットが検索されず、『選択結
果』欄が「０」であるプロセス手順指示通知（ｉ０３）
を受け取った場合について説明する。この場合、製造装
置管理サーバ８は、所定のロット選択要求発行タイマが
経過した後、再度、ロット進捗管理サーバ７にロット選
択要求通知（ｉ０２）を伝達する。この後のロット進捗
管理サーバ７の処理は、上記と同様である。上記したロ
ット選択要求発行タイマは、あらかじめ定められた所定
の時間である。

【００６０】次に、処理ロットが決定され、『選択結
果』欄が「１」であるプロセス手順指示通知（ｉ０３）
を受け取った場合について説明する。この場合、製造装
置管理サーバ８は、この情報の中の『製造装置ＩＤ（ｇ
０１）』欄に記載されている製造装置ＩＤをキーワード
として製造装置管理情報Ｊ４を検索する。検索された製
造装置管理情報Ｊ４、すなわち、ロットを要求している
製造装置Ｅ１の製造装置管理情報Ｊ４に対し、以下の設
定を行う。まず、製造装置管理サーバ８は、この製造装
置管理情報Ｊ４の『１．製造装置状態管理』項目におけ
る『処理中ロット数（ｇ０４）』欄の数字に１を加算す
る。

【００６１】そして、『２．製造装置ポート状態管理』
項目における『搬入要求受信済み識別子（ｇ１２）』欄
の数字が「１」（受信済み）のポートのうち、最小の番
号が付けられているポートの『搬入予定ロット番号（ｇ
１１）』に、処理ロットのロット番号を設定する。この
設定は、製造装置に誤ったロットが置かれた場合、製造
装置およびオペレータにこの誤りを通知するためのもの
である。いまの場合、ポートＰ１にロットＬＴ１を設定
するとする。

【００６２】次に、製造装置管理サーバ８は、『３．処
理中ロット状態管理』項目の『ロット番号（ｇ１
３）』，『レシピＩＤ（ｇ１４）』および『搬出先スト
ッカＩＤ（ｇ１５）』の各欄に、プロセス手順指示情報
に記載のＩＤを設定する。今の場合、『ロット番号（ｇ
１３）』には「ＬＴ１」，『レシピＩＤ（ｇ１４）』に
は「ＤＥＰ４０００Å」，『搬出先ストッカＩＤ（ｇ１
５）』には「ＳＴ２」が設定される。また、製造装置管
理情報Ｊ４には、製造装置が「Ｅ１」であること、およ
び、選択結果が「１」であることも設定される。

【００６３】その後、製造装置管理サーバ８は、製造装
置管理情報Ｊ４の『２．製造装置ポート状態管理』項目
における『搬入要求受信済み識別子（ｇ１２）』欄が
「１」であるポート（処理中のポートを除く）があれ
ば、あらかじめ定められた所定の時間（例えば５分）
を、ロット選択要求発行タイマとして設定する。そし
て、この時刻となったとき、製造装置管理サーバ８は、
ロット選択要求通知（ｉ０２）をロット進捗管理サーバ
７に伝達する。一度に多数（例えば４つ）の処理ロット
を選択すると、その間に最特急ロット（一刻も早く処理
する必要のあるロット）が仕掛かっていても、それを数
時間待機させてしまう可能性がある。このようなことを
避けるため、上記のようなロット選択要求発行タイマが
あらかじめ設定されている。

【００６４】プロセス手順指示通知（ｉ０３）を処理し
た後、製造装置管理サーバ８は、表２に示すロット搬送
指示通知（ｉ０４）を作成し、ロット搬送管理サーバ９
に伝達する。ロット搬送指示通知（ｉ０４）には、処理
ロットの現在位置（ロット管理情報Ｊ１における『現在
位置（ｄ０４）』欄に記載）と、搬送先である目的のポ
ートとが記載されている。今の場合、ロットＬＴ１のス
トッカＳＴ２と、製造装置Ｅ１のポートＰ１とが記載さ
れている。このとき、製造装置Ｅ１の製造装置管理情報
Ｊ４における『１．製造装置状態管理』の『処理中ロッ
ト数（ｇ０４）』欄が「２」以上の場合、製造装置管理
サーバ８は、図４に示した搬送所要時間情報Ｊ３を参照
し、次の処理ロットのための搬入指示を搬送機に伝達す
るまでの待機時間である搬送指示発行タイマを求め、ロ
ット搬送指示通知（ｉ０４）に記載する。この搬送指示
発行タイマは、ロット搬送管理サーバ９が製造装置管理
サーバ８から受けた指示に従って搬送機に指示を伝達す
る際、伝達を保留する時間である。すなわち、ロット搬
送管理サーバ９は、この搬送指示発行タイマに設定され
た時間が経過した後、製造装置管理サーバ８からの指示
を搬送機に伝達するようになっている。なお、この搬送
指示発行タイマの設定方法については後述する。

【００６５】また、製造装置管理サーバ８は、図９に示
すような搬送処理情報（以下、搬送処理情報Ｊ６とす
る）を作成する。この図に示すように、搬送処理情報Ｊ
６には、『ロット番号（ｈ０１）』、『搬送指示内容
（ｈ０２）』、『搬送元（ｈ０３）』、『搬送先（ｈ０
４）』、および『搬送開始時間（ｈ０５）』が記載され
ている。『搬送開始時間（ｈ０５）』には、ロット搬送
管理サーバ９が搬送機に搬送を指示する時間がセットさ
れ、今の場合、現在時刻がセットされる。また、製造装
置管理サーバ８は、ロットＬＴ１のロット管理情報Ｊ１
における『搬送ステータス（ｄ１１）』欄を、空白から
「ＴＲＮ」（搬送中）へ更新する。また、搬送開始時間
（ｈ０５）には、搬送機へ搬送指示を発行するタイマが
記載されていてもよい。

【００６６】ロット搬送指示通知（ｉ０４）を受けたロ
ット搬送管理サーバ９は、搬送機へ、上記のロット搬送
指示通知（ｉ０４）の内容（ロットＬＴ１をストッカＳ
Ｔ２から製造装置Ｅ１のポートＰ１に搬送するというこ
と）を含んだ搬入指示を伝達する。搬送機は、この指示
に従って、ロットＬＴ１を製造装置Ｅ１のポートＰ１に
搬入する。

【００６７】処理ロットを製造装置に搬入した後、搬送
機は、ロット搬送管理サーバ９に、搬入が完了したこと
を伝える搬入完了報告を伝達する。搬入完了報告を受け
取ると、ロット搬送管理サーバ９は、処理ロットの搬送
処理情報Ｊ６を検索し、以下の処理を行う。すなわち、
まず、搬入の完了が伝達された時刻から搬送処理情報Ｊ
６に記載されている搬送開始時間を差引いた時間を、現
在の搬送所要時間とする。その後、ロット管理情報Ｊ１
の『搬送ステータス（ｄ１１）』欄を、「ＴＲＮ」（搬
送中）から空白（搬送中でない）に更新する。そして、
ロット搬送管理サーバ９は、ロット進捗管理サーバ７
に、表２に示すロット搬送完了通知（ｉ０５）を伝達す
る。

【００６８】ロット進捗管理サーバ７は、ロット搬送管
理サーバ９からロット搬送完了通知（ｉ０５）が伝達さ
れると、以下の処理を行う。まず、ロット進捗管理サー
バ７は、ロット管理情報Ｊ１に記載されている現在位置
を、搬入先の製造装置における製造装置ＩＤ、すなわ
ち、製造装置Ｅ１に更新する。また、『現在ポート位置
（ｄ０５）』を、ロット搬入要求を出したポートのポー
トＰ１に更新する。

【００６９】その後、ロット進捗管理サーバ７は、処理
ロットの搬送元、搬送先をキーワードとして、メモリ内
搬送時間データベース３の搬送所要時間情報Ｊ３（図４
参照）を検索し、搬送所要時間を取得する。取得した搬
送所要時間から以下の（１）式に基づいて計算を行い、
新規の搬送所要時間を求める。 新規の搬送所要時間＝（搬送所要時間＋現在の搬送所要時間）/2 …（１） 例えば、ロット搬送管理サーバ９から報告された現在の
搬送所要時間が２０分であり、搬送所要時間情報Ｊ３に
記載の搬送所要時間が１７分である場合、新規の搬送所
要時間は１９分となる。このとき、ロット進捗管理サー
バ７は、分子が０となる場合、および、現在の搬送所要
時間が０の場合には、上記の計算は行わない。なお、上
記の例では、計算結果における１分以下の端数の時間を
切り上げて新規の搬送所要時間を求めているが、端数の
時間を切り下げて求めるようにしてもよい。また、１分
以下の時間も正確に表現してもよい。すなわち、上記の
例における新規の搬送所要時間を、１８分３０秒として
もよい。

【００７０】ロット進捗管理サーバ７は、メモリ内搬送
時間データベース３の搬送所要時間を、上記の計算によ
り求めた新規の搬送所要時間に更新する。また、ロット
進捗管理サーバ７は、新規の搬送所要時間を、実体とし
て存在する搬送時間データベース５に反映させる。すな
わち、次の処理ロットを搬送する際にタイマとして利用
する。このように、新規の搬送時間を、図４に示した搬
送所要時間情報Ｊ３として、メモリ内搬送時間データベ
ース３および搬送時間データベース５に記憶すること
で、どちらか一方のデータベースが故障したとしても、
生産ラインを止める必要がないようになっている。その
後、搬送した処理ロットの搬送処理情報Ｊ６は不要デー
タとなるため、ロット進捗管理サーバ７は、処理ロット
の搬送処理情報Ｊ６を、ロット番号をキーワードとして
検索し、削除する。

【００７１】また、製造装置Ｅ１は、ポートに処理ロッ
トが搬送されると、製造装置通信インタフェースＦ１を
介して、ロット搬送管理サーバ９に、表２に示すロット
搬入完了通知（ｉ０６）を伝達する。ロット搬送管理サ
ーバ９は、このロット搬入完了通知（ｉ０６）を製造装
置管理サーバ８に伝達する。

【００７２】ロット搬入完了通知（ｉ０６）が伝達され
ると、製造装置管理サーバ８は、以下の処理を行う。ま
ず、製造装置管理サーバ８は、ロット搬入完了通知（ｉ
０６）を伝達した製造装置およびポートのＩＤ（今の場
合は製造装置Ｅ１のポートＰ１）をキーワードとして、
製造装置管理情報Ｊ４の『２．製造装置ポート状態管
理』項目を検索し、該当するポートＩＤの『搬入要求受
信済み識別子（ｇ１２）』を、「０」（未受信）に更新
する。その後、製造装置管理サーバ８は、この製造装置
およびポートのＩＤ、処理ロットの番号をキーワードと
して、製造装置管理情報Ｊ４の『３．処理中ロット状態
管理』項目を検索し、該当するレシピＩＤを取得する。
そして、製造装置管理サーバ８は、これら製造装置Ｉ
Ｄ，ポートＩＤ，ロット番号およびレシピＩＤが設定さ
れた、表２に示すレシピ通知（ｉ０７）を、製造装置通
信インタフェースＦ１を介して製造装置、今の場合は製
造装置Ｅ１に伝達する。

【００７３】その後、製造装置Ｅ１は、製造装置通信イ
ンタフェースＦ１を介してＣＩＭ実績管理コンピュータ
１下で稼働する製造装置管理サーバ８に、表２に示す処
理開始通知（ｉ０８）を伝達し、処理の開始を報告す
る。この通知を受けると、製造装置管理サーバ８は、処
理開始通知（ｉ０８）に記載されている製造装置ＩＤお
よびロット番号に基づいて、製造装置管理情報Ｊ４の
『３．処理中ロット状態管理』項目を検索し、『処理開
始時刻（ｇ１６）』欄に現在時刻をセットする。例え
ば、現在の時刻が１９９７年８月２２日午後８時ちょう
どであれば、「１９９７／０８／２２，２０：００：０
０」を『処理開始時刻（ｇ１６）』欄に記載する。

【００７４】製造装置Ｅ１は、処理が終了すると、製造
装置通信インタフェースＦ１を介して、表２に示す処理
終了通知（ｉ０９）を製造装置管理サーバ８に伝達し、
処理の終了を報告する。製造装置管理サーバ８は、処理
終了通知（ｉ０９）に記載されている製造装置ＩＤおよ
び処理ロットの番号に基づいて、製造装置管理情報Ｊ４
の『３．処理中ロット状態管理』を検索し、『処理終了
時刻（ｇ１７）』欄に現在時刻をセットする。そして、
製造装置管理サーバ８は、処理終了通知（ｉ０９）に記
載されている処理枚数、不良枚数および各基板の不良コ
ード（基板情報）を、『３．処理中ロット状態管理』の
各欄に設定する。例えば、現在の時刻が１９９７年８月
２２日午後１１時５９分５９秒であり、１ロット中の処
理枚数が２０であって、１枚目および１９枚目に、コー
ド「０００１」および「０００２」の不良が発生した場
合、『３．処理中ロット状態管理』の各欄は、図１０に
示すように設定される。

【００７５】製造装置Ｅ１は、処理終了通知（ｉ０９）
を伝達後に、製造装置通信インタフェースＦ１を介して
製造装置管理サーバ８に、表２に示すロット搬出要求通
知（ｉ１０）を伝達し、ロットの搬出を要求する。この
ロット搬出要求通知（ｉ１０）を受けると、製造装置管
理サーバ８は以下に示す処理を行う。

【００７６】まず、ロット搬出要求通知（ｉ１０）に記
載されている製造装置ＩＤおよびロット番号に基づい
て、製造装置管理情報Ｊ４の『１．製造装置状態管理』
項目および『３．処理中ロット状態管理』項目を各々検
索して、処理完了通知（ｉ１１）を作成する。表２に示
すように、処理完了通知（ｉ１１）には、製造装置のＩ
Ｄ，ロット番号，処理開始時刻，処理終了時刻，レシピ
ＩＤ，処理枚数，不良枚数および各基板における不良コ
ード（基板情報）が記載されるようになっている。

【００７７】今の場合では、製造装置のＩＤとして「Ｅ
１」，ロット番号として「ＬＴ１」，処理開始時刻とし
て「１９９７／０８／２２，２２：００：００」，処理
終了時刻として「１９９７／０８／２２，２３：５９：
５９」，レシピＩＤとして「ＤＥＰ４０００Å」，処理
枚数として「２０」，不良枚数として「２」が設定され
る。そして、図１０に示したように、基板番号１および
１９に不良が発生しているから、不良コードとして、基
板番号１の所定の欄に「０００１」，基板番号１９の所
定の欄に「０００２」が記載される。

【００７８】次に、工程フロー情報Ｊ７（図２参照）に
記載されている搬出先ストッカＩＤ（今の場合ではＳＴ
１）に基づいて、処理ロットの搬出先ストッカを確認
し、このストッカへの処理ロットを搬出する指示を記載
した搬出指示通知をロット搬送管理サーバ９に伝達す
る。この搬出指示通知には、処理ロットの現在位置を示
す製造装置ＩＤおよびポートＩＤ、搬出先ストッカＩ
Ｄ、および、ゼロにセットされた搬送指示発行タイマが
設定されている。

【００７９】その後、製造装置管理サーバ８は、処理ロ
ットであるロットＬＴ１の製造装置Ｅ１における処理が
終了したとして、不要となるデータを削除し、内部カウ
ンタをマイナス１とする。すなわち、製造装置Ｅ１の内
部カウンタの数字と、製造装置管理情報Ｊ４における
『１．製造装置状態管理』項目の『処理中ロット数（ｇ
０４）』欄の数字とから１を差し引く。そして、製造装
置管理情報Ｊ４から、ロットＬＴ１のための『３．処理
中ロット状態管理』項目を削除する。これらの処理の
後、製造装置管理サーバ８は、作成した処理完了通知
（ｉ１１）をロット進捗管理サーバ７に伝達する。

【００８０】処理完了通知（ｉ１１）を受けたロット進
捗管理サーバ７は、まず、ロットＬＴ１のロット管理情
報Ｊ１における『ステップＩＤ（ｄ１０）』を更新する
（ＳＴＥＰ−００２０からＳＴＥＰ−００３０に更新す
る）。

【００８１】その後、製造装置Ｅ１での処理結果に基づ
いて、以下の処理を行う。すなわち、不良枚数が発生す
る等、処理に異常があった場合、ロット進捗管理サーバ
７は、まず、ロットＬＴ１のロット管理情報Ｊ１におけ
る『ホールド個数（ｄ０８）』欄の数字に１を加える。
その後、このロット管理情報Ｊ１における『ホールド設
定位置（ｄ１２）』欄の空いている番号のうち、最小の
番号における『ホールドタイプ（ｄ１３）』欄に、「Ｗ
ＩＴ」をセットする。そしてこの番号における『コメン
ト（ｄ１４）』欄に、「処理結果確認待ち」をセットす
る。この場合、オペレータの確認待ちとなり、確認が済
むまでは次工程への仕掛かりは行われないとともに、生
産系データベース４における図示しないロット処理履歴
データベースへの登録が認められない。

【００８２】一方、正常に処理が終了した場合、ロット
進捗管理サーバ７は、生産系データベース４における図
示しないロット処理履歴データベースに、処理完了通知
（ｉ１１）の内容を、ロット番号を筆頭に登録する。

【００８３】また、製造装置管理サーバ８から搬出指示
通知を受けたロット搬送管理サーバ９は、以下の処理を
行う。まず、ロット搬送管理サーバ９は、この搬出指示
通知に基づいて、製造装置Ｅ１から所定の搬出先ストッ
カＳＴ２までロットＬＴ１を搬送するように、搬送機に
搬出指示を伝達する。搬送指示発行タイマが「０」にセ
ットされているので、この指示は、製造装置管理サーバ
８から搬出指示通知を受けた直後に伝達される。

【００８４】無人搬送車等の搬送機によりロットＬＴ１
が製造装置Ｅ１から取り除かれると、製造装置Ｅ１は、
製造装置通信インタフェースＦ１を介して、ＣＩＭ実績
管理コンピュータ１下で稼働する製造装置管理サーバ８
に、ロット搬出完了通知（ｉ１２）を伝達する。ロット
搬出完了通知（ｉ１２）を受けた製造装置管理サーバ８
は、何も処理を行わない。

【００８５】ロットＬＴ１の搬送が完了すると、ロット
搬送管理サーバ９は、ロットＬＴ１のロット管理情報Ｊ
１を検索し、各欄の以下のようにセットする。すなわ
ち、記憶している搬送所要時間を「０」ゼロにセットす
る。その後、ロット管理情報Ｊ１の『搬送ステータス
（ｄ１１）』欄を「ＴＲＮ」（搬送中）から、空白（搬
送中でない）へ更新する。その後、ロット搬送管理サー
バ９は、ロットＬＴ１の搬送完了をロット進捗管理サー
バ７に報告する。

【００８６】ロットＬＴ１の搬送完了が報告されると、
ロット進捗管理サーバ７は、まず、ロットＬＴ１のロッ
ト管理情報Ｊ１における『現在位置（ｄ０４）』欄を搬
出先ストッカＳＴ２に、『現在ポート位置（ｄ０５）』
を空白にそれぞれ更新する。そして、『ステップＩＤ
（ｄ１０）』欄を、図２に示した工程フロー情報Ｊ７に
基づいて、仕掛かりステップ「ＳＴＥＰ−００３０」の
仕掛かりステップＩＤである「ＰＨＯＴ−ＱＵＥ」に更
新する。

【００８７】そして、仕掛かりロット情報Ｊ２に示され
ている各ロットの優先度、仕掛かり登録時刻に基づい
て、全てのロットを並び替える。なお、搬送所要時間が
ロット搬送管理サーバ９によって「０」にセットされて
いるので、計算および搬送所要時間情報Ｊ３の更新は行
わない。ここまでで、ロットＬＴ１の製造装置Ｅ１にお
ける処理が終了する。

【００８８】ここで、製造装置をオフラインモードとす
る処理について説明する。工場内一斉メンテナンスまた
は装置トラブルで、本システムをオフラインモードに移
行する場合、オンラインモード移行時と同じく、オペレ
ータ（工場内作業者）が各製造装置ごとに設置されてい
る操作パネルを操作し、オフラインモードヘセットす
る。オフラインモードにセットされた製造装置は、製造
装置通信管理コンピュータ２下で稼働する製造装置通信
インタフェースに、表２に示すオフライン移行通知（ｉ
１４）を伝達する。そして、オフライン移行通知（ｉ１
４）は、製造装置通信インタフェースＦ１からＣＩＭ実
績管理コンピュータ１下で稼働する製造装置管理サーバ
８に伝達される。

【００８９】製造装置管理サーバ８は、製造装置ＩＤに
基づいて、各製造装置の製造装置管理情報Ｊ４を検索
し、『製造装置通信状態（ｇ０２）』欄を「ＯＦＬ」に
更新する。これにより、製造装置のオフライン状態が識
別可能となる。もし、オフラインモード移行時に、製造
装置内に処理ロットが存在していた場合、製造装置管理
サーバ８は、この処理ロットにおけるロット管理情報Ｊ
１を以下のように設定し、オペレータに判断を促す。す
なわち、製造装置管理サーバ８は、『ホールド個数（ｄ
０８）』の数字に１を加え、『ホールド設定位置（ｄ１
２）』の小さい空き番号における『ホールドタイプ（ｄ
１３）』に、「ＢＲＫ」をセットする。そして、この番
号の『コメント（ｄ１４）』欄に、「処理中断」をセッ
トする。

【００９０】次に、本システムにおける、複数のロット
を扱う場合の生産ライン管理の処理について説明する。
まず、インタバルタイマおよび搬送指示発行タイマにつ
いて説明する。インタバルタイマとは、処理待ちのロッ
トがある場合、製造装置から搬入要求があった時から、
この製造装置に搬送されている別のロットの搬送が完了
するまでの時間である。また、製造装置から搬入要求が
あったときに処理待ちのロットがない場合には、インタ
バルタイマとしては、ロットが処理待ちとなってから、
この製造装置に搬送されている別のロットの搬送が完了
するまでの時間が設定される。また、この製造装置に搬
送中のロットが存在しない場合には、インタバルタイマ
は０である。また、上記したように、搬送指示発行タイ
マとは、ロット搬送管理サーバ９がロット搬入を開始す
る旨の指示の搬送機への伝達を保留する時間である。こ
の時間は、以下のように設定される。すなわち、同一の
製造装置において複数のロットを処理する際、先に搬送
されたロットに対するプロセスが終了した直後に、次の
ロットの前処理が終了するように、この搬送指示発行タ
イマが設定される。以下に、図１１（ａ）〜（ｃ）を用
いて、搬送指示発行タイマの設定について説明する。

【００９１】図１１（ａ）〜（ｃ）は、同一のストッカ
にある２つのロットＬＴ１およびロットＬＴ２に対し
て、ひとつの製造装置の複数のポートから搬入要求があ
った場合の、ロット搬送処理のタイミングチャートを示
す説明図である。なお、各ロットには、製造装置におい
て前処理と実際のプロセスとが施される。ここで、前処
理とは、例えば、ロット内の全ての基板の洗浄処理等で
ある。そして、これらの図では、ロットＬＴ１の製造装
置までの搬送所要時間をａ、前処理の時間をｂ、およ
び、プロセスの所要時間をｃとしている。また、ロット
ＬＴ２の搬送所要時間をａ’、前処理の時間をｂ’、プ
ロセスの所要時間をｃ’、インタバルタイマをｄ’、お
よび、搬送指示発行タイマをｅ’としている。また、ロ
ット選択要求発行タイマをｆとしている。

【００９２】これらの図のうち、図１１（ａ）は、２つ
のロットＬＴ１およびロットＬＴ２が処理待ちであっ
て、同一の製造装置における２つ以上のポートから搬入
要求があった場合のタイミングチャートである。この図
に示すように、先に処理されるロットＬＴ１の搬送が開
始されると、ロットＬＴ２にはインタバルタイマが設定
され、搬送待ちの状態になる。

【００９３】そして、ロットＬＴ１の搬送が終了したと
きに、ロットＬＴ２のインタバルタイマが終了し、新た
に搬送指示発行タイマが設定され、引続き搬送待ちの状
態となる。このように２つの処理待ちのロットに搬送要
求のあった場合、ロットＬＴ１のプロセスが終了した直
後にロットＬＴ２に対する前処理が終了するためには、
図１１（ａ）からわかるように、ロットＬＴ１の搬送時
間，前処理時間およびプロセス所要時間の合計と、ロッ
トＬＴ２の搬送指示発行タイマ，搬送時間および前処理
時間の合計とが等しい時間となればよい。すなわち、ｂ
＋ｃ＝ｅ’＋ａ’＋ｂ’であればよい。そして、製造装
置での前処理時間およびプロセス所要時間はどのロット
に対しても同様であるから、ｂ＝ｂ’とすれば、 ｅ’＝ｃ−ａ’ … （２） となる。従って、搬送指示発行タイマは、プロセス所要
時間からロットＬＴ２の搬送所要時間を差し引いた時間
となる。

【００９４】搬送指示発行タイマが設定されるときに
は、当然、ロットＬＴ２の正確な搬送所要時間は不明で
あるが、この搬送所要時間としては、搬送所要時間情報
Ｊ３に記載の時間を用いる。この時間は、ロットＬＴ１
の搬送時間が考慮されて更新されたものであり、実際の
ロットＬＴ２の搬送時間とほぼ同様の時間である可能性
が非常に高い。従って、このように搬送指示発行タイマ
を設定すれば、図１１（ａ）に示すように、ロットＬＴ
１のプロセスが終了した時点で、ロットＬＴ２の前処理
が終了するようになる。

【００９５】また、図１１（ｂ）は、１つのロットＬＴ
１の搬送中に、２つめのロットＬＴ２が処理待ちとなっ
た場合のタイミングチャートである。この図に示すよう
に、この場合には、ロットＬＴ２のインタバルタイマが
短くなるだけで、図１１（ａ）に示した場合と同様に搬
送指示発行タイマが設定される。

【００９６】また、図１１（ｃ）は、１つのロットＬＴ
１の搬送が完了した後に、ロットＬＴ２が処理待ちとな
った場合のタイミングチャートである。この場合、ロッ
トＬＴ１の搬入後に、上記したロット選択要求発行タイ
マが設定され、所定時間毎に、処理待ちのロットが検索
される。そして、ロットＬＴ２が処理待ちとなるまで
に、このロット選択要求発行タイマがｎ回設定されたと
すると、合計で約ｎ×ｆという時間が、処理ロットなし
の待機時間であるということができる。従って、この場
合のロットＬＴ２に対する搬送指示発行タイマは、以下
のように求められる。

【００９７】すなわち、この場合、ロットＬＴ１のプロ
セスが終了した直後にロットＬＴ２に対する前処理が終
了するためには、図１１（ｃ）からわかるように、ロッ
トＬＴ１の搬送時間，前処理時間およびプロセス所要時
間の合計と、待機時間，ロットＬＴ２の搬送指示発行タ
イマ，搬送時間および前処理時間の合計とが等しい時間
となればよい。すなわち、ｂ＋ｃ＝ｅ’＋ａ’＋ｂ’＋
ｎ×ｆであればよい。そして、上記と同様に、ｂ＝ｂ’
とすれば、 ｅ’＝ｃ−ａ’−ｎ×ｆ … （３） となる。従って、この場合の搬送指示発行タイマは、プ
ロセス所要時間から、ロットＬＴ２の搬送所要時間とロ
ット選択要求発行タイマの累積時間（待機時間）とを差
し引いた時間となる。

【００９８】なお、上記では、ロットＬＴ２におけるイ
ンタバルタイマ、のように、インタバルタイマがロット
に設定されるように記載したが、インタバルタイマは、
実際は、製造装置に対して設定される時間である。従っ
て、ロットＬＴ１の搬送中に、他のロットもロットＬＴ
２とともに処理待ちとなった場合には、インタバルタイ
マ終了後、これら複数の処理待ちのロットのなかから、
最適なロットが選択され、そのロットに搬送指示発行タ
イマが設定される。また、ロットＬＴ１とロットＬＴ２
とが互いに別々のストッカにある場合にも、搬送指示発
行タイマは、上記の（２）および（３）によって求める
ことができる。

【００９９】次に、本システムにおける、４つのロット
ＬＴ１〜ロットＬＴ４を扱う場合の生産ライン管理の流
れを、図１２を用いて以下に説明する。なお、以下の説
明では、ロットＬＴ１〜ＬＴ２だけが仕掛かった状態で
あるとする。そして、３５分後と１１０分後に、ロット
ＬＴ３およびロットＬＴ４の前工程の処理が完了し、工
程ステップが１つ進んだ状況であるとする。また、ロッ
トの具体的な動き及び製造装置からの各種要求（搬入要
求、搬入完了、処理開始、処理終了、搬出要求、搬出完
了、装置オンラインおよび装置オフライン）における、
ＣＩＭコンピュータ群、すなわち、ロット進捗管理サー
バ７，製造装置管理サーバ８，ロット搬送管理サーバ９
の動作は、上記した通りである。また、製造装置Ｅ１の
前処理時間は１０分，プロセス所要時間は４０分である
とする。

【０１００】図１２は、これらロットＬＴ１〜ＬＴ４に
おける処理工程との各処理の経過時間とを示す説明図で
ある。以下では、この図を用いて、経過時間に沿って、
ロットＬＴ１〜ＬＴ４の処理の流れを説明する。

【０１０１】製造装置Ｅ１がオンライン状態となり、４
つのポートＰ１〜Ｐ４から瞬時に搬入要求が伝達される
と、上記したように、ロット進捗管理サーバ７が最初の
処理ロットを決定する。ここでは、この最初の処理ロッ
トをロットＬＴ１とする。ロット進捗管理サーバ７が、
製造装置管理サーバ８にロットＬＴ１を処理ロットとす
る旨のプロセス手順指示通知（ｉ０３）を伝達すると、
製造装置管理サーバ８は、この通知に基づいて、ロット
搬送管理サーバ９にロット搬送指示通知（ｉ０４）を伝
達する。この通知には、ロットＬＴ１の現在位置である
ストッカＳＴ２から、製造装置Ｅ１のポートＰ１にロッ
トＬＴ１を搬送する指示が記載されている。このとき、
製造装置管理情報Ｊ４における『処理中ロット数（ｇ０
４）』欄は０であるので、搬送指示発行タイマは「０」
に設定されている。従って、ロット搬送管理サーバ９
は、ロットＬＴ１の搬入指示を搬送機に伝達し、搬送機
は、ロットＬＴ１の搬送（図１２におけるｋ１）を開始
する。なお、図１２では、この搬送開始の時刻を０とし
ているので、以下では、この時刻を、「開始」と表現す
る。

【０１０２】また、ロット搬送管理サーバ９が搬送機に
搬送指示を伝達したとき、製造装置管理サーバ８は、ロ
ットＬＴ１の搬送指示および搬送開始時刻を搬送処理情
報Ｊ６に登録する。また、製造装置管理サーバ８は、製
造装置Ｅ１の製造装置管理情報Ｊ４における『インタバ
ルタイマ（ｇ０６）』を設定する。すなわち、製造装置
管理サーバ８は、ロットＬＴ１の搬送が開始された後、
同一の製造装置Ｅ１に搬送するためのロット選択要求通
知（ｉ０２）の伝達を、インタバルタイマの期間だけ待
機する。そして、製造装置管理サーバ８は、搬入要求が
あった時点から、製造装置Ｅ１に搬送されているロット
ＬＴ１の搬送が完了するまでの時間を、製造装置Ｅ１に
おけるインタバルタイマとして設定する。なお、製造装
置Ｅ１に搬送されているロットが存在しない場合には、
上記したようにインタバルタイマは０である。従って、
図１２の例では、製造装置管理サーバ８は、次のロット
選択要求通知（ｉ０２）の伝達を、ロットＬＴ１の搬送
時間だけ待機する（図１２におけるｋ４）。

【０１０３】開始から２０分後、ロットＬＴ１が製造装
置Ｅ１におけるポートＰ１に到着し、ロットＬＴ１に対
して前処理が開始される（図１２におけるｋ２）。この
とき、搬送機から搬入完了報告を受けたロット搬送管理
サーバ９は、ロット番号および搬送指示内容をキーワー
ドとして搬送処理情報Ｊ６を検索し、現在時刻から搬送
処理情報Ｊ６の『搬送開始時間（ｈ０５）』に記載の時
刻を差し引き、現在の搬送所要時間を求める。そしてこ
の時間をロット搬入完了通知（ｉ０６）とともにロット
進捗管理サーバ７に伝達する。

【０１０４】ロット進捗管理サーバ７は、ロット搬送管
理サーバ９から伝達された現在の搬送所要時間を用い
て、上記（１）式によって新規の搬送所要時間を求め
る。今の場合、搬送所要時間が２０分、現在の搬送所要
時間も２０分であるので、新規の搬送所要時間は２０分
となる。この新規の搬送所要時間を用いて、搬送所要時
間情報Ｊ３の所定の欄を更新する。

【０１０５】また、このとき、製造装置Ｅ１のインタバ
ルタイマ（図１２におけるｋ４）が満了する。そして、
２つめの処理ロットであるロットＬＴ２が処理ロットと
して決定される。そして、ロット進捗管理サーバ７が、
ロットＬＴ２を処理ロットとする旨の通知を製造装置管
理サーバ８に伝達する。

【０１０６】また、このとき、製造装置管理情報Ｊ４に
おける『処理中ロット数（ｇ０４）』は２となる。製造
装置管理サーバ８は、搬送所要時間が記載されているメ
モリ内搬送時間データベース３を検索し、ストッカＳＴ
２から製造装置Ｅ１への搬送所要時間を取得する。ここ
では、取得される時間は２０分である。また、製造装置
管理サーバ８は、搬送時間データベース５にあらかじめ
記憶されている、図１３に示すようなプロセス所要時間
情報Ｊ８を検索する。このプロセス所要時間情報Ｊ８に
は、各製造装置Ｅ１〜Ｅｎにおけるプロセスの所要時間
が、製造装置毎に記載されている。この検索により、製
造装置管理サーバ８は、製造装置Ｅ１のプロセス所要時
間を取得する。上記したように、ここで取得される製造
装置Ｅ１のプロセス所要時間は４０分である。

【０１０７】製造装置管理サーバ８は、これらの値から
搬送指示発行タイマを計算する。ロットＬＴ２は処理待
ちであるから、この搬送指示発行タイマは、上記（２）
を用いて求めることができる。すなわち、 搬送指示発行タイマ＝プロセス所要時間（４０分）−搬
送所要時間（２０分）＝２０分 これにより、搬送指示発行タイマは２０分に設定される
（図１２におけるｋ５）。その後、製造装置管理サーバ
８から、ロット搬送管理サーバ９にロットＬＴ２のロッ
ト搬送指示通知（ｉ０４）が伝達される。この通知に
は、ロットＬＴ２の現在位置であるストッカＳＴ２か
ら、製造装置Ｅ１のポートＰ１にロットＬＴ１を搬送す
る指示、および、上記の搬送指示発行タイマが記載され
ている。

【０１０８】開始から３０分後、製造装置Ｅ１における
ロットＬＴ１に対する前処理が終了し、ロットＬＴ１に
対する実際のプロセス（例えば薄膜形成）が開始される
（図１２におけるｋ３）。そして、開始から３５分後、
ロットＬＴ３が前工程を終了して仕掛かりキュー（ＳＰ
Ｔ−ＱＵＥ）状態となり、仕掛かりロット情報Ｊ２に登
録される。このとき、製造装置管理サーバ８は、製造装
置Ｅ１のインタバルタイマ（図１２におけるｋ９）を設
定する。

【０１０９】開始から４０分後、ロットＬＴ２の搬送指
示発行タイマが満了する。そして、ロット搬送管理サー
バ９が搬送機に搬送指示を伝達し、搬送が開始される
（図１２におけるｋ６）。この搬送指示には、ロットＬ
Ｔ２をストッカＳＴ２から製造装置Ｅ１のポートＰ２に
搬送するようにとの指示が含まれている。

【０１１０】開始から６０分後、２０分の搬送所要時間
でロットＬＴ２が製造装置Ｅ１のポートＰ２に到着す
る。搬送機は、ロットＬＴ２がこのポートＰ２に到着し
たことを伝えるための搬送完了報告をロット搬送管理サ
ーバ９に伝達する。搬送機から搬送完了報告を受たロッ
ト搬送管理サーバ９は、ロット番号および搬送指示内容
をキーワードとして搬送処理情報Ｊ６を検索し、現在時
刻から搬送処理情報Ｊ６の『搬送開始時間（ｈ０５）』
に記載の時刻を差し引き、現在の搬送所要時間（今の場
合は２０分）を求め、ロット搬入完了通知（ｉ０６）と
ともに、ロット進捗管理サーバ７に伝達する。

【０１１１】ロット進捗管理サーバ７は、ロット搬送管
理サーバ９から伝達された現在の搬送所要時間を用い
て、上記（１）式によって新規の搬送所要時間を求め
る。今の場合、搬送所要時間が２０分、現在の搬送所要
時間も２０分であるので、新規の搬送所要時間は２０分
となる。この新規の搬送所要時間を用いて、搬送所要時
間情報Ｊ３を更新する。

【０１１２】製造装置Ｅ１のポートＰ２に到着後、ロッ
トＬＴ２には前処理（１０分）が施される（図１２にお
けるｋ７）。図１２に示すように、このロットＬＴ２の
前処理は、ロットＬＴ１の前処理が完了した後に行われ
るようになっている。従って、ロットＬＴ２は、ポート
Ｐ２で待機することなく、前処理を受けることができ
る。

【０１１３】また、このとき、製造装置Ｅ１のインタバ
ルタイマ（図１２におけるｋ９）が満了し、ロット進捗
管理サーバ７によりロットＬＴ３が処理ロットに決定さ
れる。製造装置管理サーバ８は、ロットＬＴ３のロット
搬送指示通知（ｉ０４）を作成し、ロット搬送管理サー
バ９に伝達する。このき、搬送所要時間情報Ｊ３に記載
のストッカＳＴ２から製造装置Ｅ１への搬送所要時間は
２０分であり、上記（２）式を用いて搬送指示発行タイ
マが計算される。今の場合、 搬送指示発行タイマ＝プロセス所要時間（４０分）−搬
送所要時間（２０分）＝２０分 となるので、製造装置管理サーバ８は、ロットＬＴ３の
搬送指示発行タイマを２０分に設定し（図１２における
ｋ１０）、ロット搬送管理サーバ９にロット搬送指示通
知（ｉ０４）を伝達する。この通知には、搬送指示発行
タイマ，ロットＬＴ３の現在位置としてストッカＳＴ２
および搬入先として製造装置Ｅ１のポートＰ３が記載さ
れている。

【０１１４】開始から７０分後、ロットＬＴ１に対する
プロセスが終了する。そして、このとき、ロットＬＴ２
の前処理（１０分）が終了し、このロットＬＴ２への実
際のプロセスが開始される（図１２におけるｋ８）。こ
のように、このロットＬＴ２に対するプロセスは、ロッ
トＬＴ１に対するプロセスが完了した直後に行われるよ
うになっている。従って、ロットＬＴ２は、ポートＰ２
で待機することなく、プロセスを受けることができる。
また、製造装置Ｅ１は、前処理を施されたロットを待つ
ことなく、実際のプロセスを施すことができる。

【０１１５】開始から８０分後、ロットＬＴ３に対する
搬送指示発行タイマ（２０分）が満了する。このとき、
ロット搬送管理サーバ９は、搬送機に搬送指示を伝達
し、搬送が開始される（図１２におけるｋ１１）。この
搬送指示には、ロットＬＴ３をストッカＳＴ２から製造
装置Ｅ１のポートＰ３に搬送するようにとの指示が含ま
れている。ここでは、搬送の所要時間は２０分であると
する。

【０１１６】開始から１００分後、ロットＬＴ３が搬送
所要時間２０分で製造装置Ｅ１のポートＰ３に到着し、
製造装置Ｅ１にて前処理（約２０分）を受ける（図１２
におけるｋ１２）。この時刻には、ロットＬＴ２の前処
理が完了しているので、ロットＬＴ３は、ポートＰ３で
長時間待機することなく、前処理を受けることができ
る。

【０１１７】また、このとき、搬送機が、ロットＬＴ３
の搬送完了報告をロット搬送管理サーバ９に伝達する。
ロット搬送管理サーバ９は、ロット番号および搬送指示
内容をキーワードとして搬送処理情報Ｊ６を検索し、現
在時刻から搬送処理情報Ｊ６の『搬送開始時間（ｈ０
５）』に記載の時刻を差し引き、現在の搬送所要時間
（今の場合は２５分）を求め、ロット番号とともにロッ
ト搬入完了通知（ｉ０６）としてロット進捗管理サーバ
７に伝達する。

【０１１８】ロット進捗管理サーバ７は、ロット搬送管
理サーバ９から伝達された現在の搬送所要時間を用い
て、上記（１）式によって新規の搬送所要時間を求め
る。今の場合、搬送所要時間が２０分、現在の搬送所要
時間が２０分であるので、新規の搬送所要時間も２０分
となる。この新規の搬送所要時間によって、搬送所要時
間情報Ｊ３が更新される。

【０１１９】また、このとき、製造装置Ｅ１にはインタ
バルタイマが設定されていないので、ロット進捗管理サ
ーバ７が次の処理ロットを決定しようとするが、仕掛か
りキュー状態のロットは存在しない。従って、製造装置
管理サーバ８は、あらかじめ定められた所定のロット選
択要求発行タイマを設定して待機する（図１２おけるｋ
１４）。以下では、このロット選択要求発行タイマを５
分とする。

【０１２０】開始から１１０分後、ロットＬＴ２に対す
る実際のプロセスが終了する。そして、同時に、ロット
ＬＴ３の前処理（１０分）が終了し、このロットＬＴ３
への実際のプロセスが開始される（図１２におけるｋ１
３）。このように、このロットＬＴ３に対するプロセス
は、ロットＬＴ２に対するプロセスが完了した直後に行
われるようになっている。従って、ロットＬＴ３は、ポ
ートＰ３で待機することなく、プロセスを受けることが
できる。また、製造装置Ｅ１は、前処理を施されたロッ
トを待つことなく、実際のプロセスを施すことができ
る。

【０１２１】また、このとき、ロットＬＴ４が前工程を
終了して仕掛かりキュー（ＳＰＴ−ＱＵＥ）状態とな
り、仕掛かりロット情報Ｊ２に登録される。このときに
は、製造装置Ｅ１にインタバルタイマが設定されていな
いので、ロット進捗管理サーバ７によってロットＬＴ４
が処理ロットに指定されるとともに、ロットＬＴ４に対
する搬送指示発行タイマが設定される。この時刻には、
既にロットＬＴ３の搬送が終了し、２回のロット選択要
求発行タイマが満了しているので、ロットＬＴ４に対す
る搬送指示発行タイマは、上記（３）に示した計算方法
によって求められる。すなわち、 搬送指示発行タイマ＝プロセス所要時間（４０分） −搬送所要時間（２０分） −ロット選択要求発行タイマ（５分）×２ ＝１０分 となるので、製造装置管理サーバ８は、ロットＬＴ４の
搬送指示発行タイマを１０分に設定し（図１２における
ｋ１５）、ロット搬送管理サーバ９にロット搬送指示通
知（ｉ０４）を伝達する。このロット搬送指示通知（ｉ
０４）には、搬送指示発行タイマ，ロットＬＴ４の現在
位置としてストッカＳＴ２および搬入先として製造装置
Ｅ１のポート４が記載されている。

【０１２２】開始から１２０分後、ロットＬＴ４に対す
る搬送指示発行タイマ（１０分）が満了し、搬送が開始
される（図１２におけるｋ１６）。このとき、ロット搬
送管理サーバ９は、搬送機に搬送指示を伝達する。この
搬送指示には、ロットＬＴ４をストッカＳＴ２から製造
装置Ｅ１のポートＰ４に搬送するようにとの指示が含ま
れている。なお、ロットＬＴ３〜ＬＴ４へのこれ以降の
処理については、繰り返しとなるので説明を省略する。

【０１２３】以上のように、本システムにおける生産ラ
イン管理では、製造装置Ｅ１〜Ｅｎからの搬入要求に基
づき、ロット進捗管理サーバ７が最適な処理ロットを選
択する。そして、メモリ内搬送時間データベース３に記
憶されている各搬送経路の所要時間と、ロット搬送管理
サーバ９が取得した現在の搬送所要時間に基づいて、新
規の搬送所要時間を算出し、この時間と製造装置のプロ
セス所要時間とに基づいて発送指示発行タイマを決定す
るようになっている。すなわち、本システムにおける生
産ライン管理では、ロットの搬送所要時間を常時計測
し、この時間から、仕掛かりロットのストッカでの待機
時間（搬送指示発行タイマ）を決定するようになってい
る。このように、生産ラインにおける搬送状況をリアル
タイムで監視し、待機時間を調整しているので、搬送機
のトラブル等によりロットの搬送に要する時間が一定に
ならなくても、ロスタイムを最小限に抑え、最良の搬送
効率でロットの搬送を行うことが可能となっている。

【０１２４】さらに、複数のロットが同時に同一の製造
装置に搬入されることがないので、各ロットは、工場内
の無人搬送車や通行するオペレータ達が発するダストの
影響を受けることがない。従って、ダストが引き起こす
被加工物の良品率の低下、製造装置内部の処理機構の汚
染等を防ぎ、被加工物および製造装置をクリーンな状態
に保つことが可能となる。

【０１２５】また、ロット管理情報Ｊ１および製造装置
管理情報Ｊ４を用いて、各製造装置および各ロットを個
別に、リアルタイムに管理しているので、各製造装置に
おける処理時間が装置によって異なっても、蓄積してし
まう仕掛かりロットを少なくすることができる。従っ
て、生産ライン全体の稼働率を向上させることが可能と
なる。

【０１２６】また、通常の生産ラインでは、ＴＦＴや半
導体のフォトリソ工程等の数１０回も仕掛かる工程があ
るような場合、あるいは、各製造装置の処理能力が均等
でないような場合、各工程の処理時間が装置によって異
なる。しかしながら、本システムでは、製造装置管理情
報Ｊ４を用いて各製造装置を管理しているので、処理に
時間のかかる工程のための製造装置上であっても、ロッ
トが長時間待機することがない。従って、ロットをクリ
ーンな状態に保つことができる。

【０１２７】なお、本実施の形態では、本システムは、
ＴＦＴ液晶パネルの生産ラインを管理するとしている
が、本発明の生産ライン管理システムは、これに限るも
のではなく、複数のロットを処理する生産ラインであれ
ば、どのような製品を製造する生産ラインに応用しても
よい。

【０１２８】また、図５に示した製造装置管理情報Ｊ
４，図６に示したレシピ情報Ｊ５，図９に示した搬送処
理情報Ｊ６を記憶するために、生産系データベース４を
用いるようにしてもよい。

【０１２９】また、ロット進捗管理サーバ７は、ロット
搬送管理サーバ９が取得した現在の搬送所要時間と、メ
モリ内搬送時間データベース３に記憶されている搬送所
要時間との平均を、上記（１）式を用いて取得し、新規
の搬送所要時間とするようにしているが、本発明の生産
ライン管理システムにおける新規の搬送所要時間の取得
方法はこれに限るものではない。新規の搬送所要時間の
算出方法は、ユーザの望むどのような方法でもよい。ま
た、本実施の形態では、ロットが処理待ちとなるタイミ
ングによって、（２）あるいは（３）の式により搬送指
示発行タイマが設定されるとしているが、本システムに
おける搬送指示発行タイマの設定方法はこれに限らな
い。

【０１３０】もし、搬送時間が前処理時間あるいはプロ
セス所要時間より長い場合、搬送指示発行タイマは常に
０に設定される。また、搬送時間が前処理時間あるいは
プロセス所要時間より短く、かつ、前処理時間がプロセ
ス所要時間より長い場合には、搬送指示発行タイマは、
以下の（４）式によって設定されるようにしてもよい。 搬送指示発行タイマ＝前処理時間−ロット選択要求発行タイマの累積時間 −搬送所要時間 … （４） なお、この式を用いる場合、ロット選択要求発行タイマ
が１回も設定されなかった場合には、搬送指示発行タイ
マは、前処理時間から搬送所要時間を差し引いた時間と
なる。また、この（４）式に限らず、搬送指示発行タイ
マは、ユーザの所望の方法で算出されるようにしてもよ
い。

【０１３１】また、上記では、インタバルタイマは、処
理待ちのロットがある場合、製造装置から搬入要求があ
った時から、この製造装置に搬送されている別のロット
の搬送が完了するまでの時間であるとしているが、これ
に限らず、以下のように設定してもよい。すなわち、イ
ンタバルタイマとしては、処理待ちのロットがある場
合、製造装置から搬入要求があった時から、使用すべき
搬送経路が未使用となるまでの時間を設定するようにし
てもよい。また、製造装置から搬入要求があった時に処
理待ちのロットがない場合には、ロットが処理待ちとな
ってから、使用すべき搬送経路が未使用となるまでの時
間を設定するようにしてもよい。

【０１３２】また、ＣＩＭ実績管理コンピュータ１，製
造装置通信管理コンピュータ２，ロット進捗管理サーバ
７，製造装置管理サーバ８およびロット搬送管理サーバ
９の少なくとも１つの機能を遂行するためのプログラム
を、ＣＤ−ＲＯＭ（Read Only Memory）やＦＤ（Floppy
Disk ）等の記録媒体に記録し、このプログラムを読み
込み可能な情報処理装置をこれらの部材に代えて用いる
ようにしてもよい。

【０１３３】また、本システムでは、作業員が手でロッ
トを搬送するのではなく、搬送装置によってロットを搬
送するようにしているが、これは、以下のような理由に
よる。生産の効率化のため、ロットは年々大型化してい
る。例えば、ロットにおけるカセット内部のガラス基板
は、１ｍ四方を超える大きさ、０．５ｍｍ程度の厚さを
有するものである。そして、このガラス基板が例えば２
０枚挿入されているロットの重量は、２０kg程度とな
る。さらに、ＴＦＴ液晶パネルは、多くの製造装置にお
いて種々のプロセスを数十回繰り返して製造されるもの
である。

【０１３４】従って、ＴＦＴ液晶パネルの製造におい
て、このようなロットを作業員が手で搬送すると、無人
搬送装置での搬送に比べて、ロットに大きな振動を与え
てしまう。このため、ガラス基板の端部に、割れ・欠け
が生じる可能性が非常に高くなってしまう。

【０１３５】また、作業員の手による搬送では、ロット
のカセットあるいはガラス基板に、手に付着しているダ
ストが付着してしまう可能性がある。クリーンルーム内
に入る作業員は全て防塵服を着用し、発塵しないように
工夫されている。しかしながら、作業員は、両手でロッ
トを持ったときに、ロットの重みのために、カセットの
端を体に密着させてバランスをとるようしてしまうの
で、どうしてもダストの付着が生じてしまう。このた
め、製品の良品質に悪影響が生じてしまう。

【０１３６】さらに、作業員による搬送では、搬送中に
転倒事故が発生する可能性がある。ロットを持ったまま
転倒すれば、落下したカセットの端部に体をぶつける、
あるいは、破損したロットの清掃時に、ガラス基板の破
片で怪我を負うなどといった危険性がある。また、清掃
時には、他の作業員や無人搬送車の走行経路が塞がれて
しまうので、生産ラインの滞留時間が長期化し、生産ラ
イン全体における製造装置の稼働率に悪影響が生じてし
まう。

【０１３７】このように、ロットの製造装置への搬入
を、作業員の手ではなく、搬送装置によって行うこと
で、良品質の向上や、製造装置，生産ラインおよび工場
全体の稼働率の向上を実現するとともに、人員およびコ
ストの削減を実現することが可能となる。

【０１３８】

【発明の効果】以上のように、本発明の請求項１に記載
の生産ライン管理システムは、生産ライン上の各製造装
置にロットを搬送し、処理終了後に回収するための生産
ライン管理システムにおいて、生産ライン上の各移動経
路におけるロットの搬送所要時間を、移動経路毎に記憶
するための記憶手段と、ロットが搬送される度にその搬
送所要時間を計測する計測手段と、上記記憶手段に記憶
されている搬送所要時間と、上記計測手段に計測された
搬送所要時間とに基づいて、上記記憶手段に記憶されて
いる搬送所要時間を更新し、更新した搬送所要時間に基
づいて、ロットの搬送時刻を決定するための制御手段と
を備えている構成である。

【０１３９】上記の構成では、生産ラインにおける搬送
状況を常に監視し、待機時間を調整しているので、搬送
機のトラブル等によりロットの搬送に要する時間が一定
にならなくても、ロスタイムを最小限に抑え、最良の搬
送効率でロットの搬送を行うことが可能となるという効
果を奏する。

【０１４０】さらに、複数のロットが同時に同一の製造
装置に搬入されることがないので、各ロットは、工場内
の無人搬送車や通行するオペレータ達が発するダストの
影響を受けることがない。従って、ダストが引き起こす
被加工物の良品率の低下、製造装置内部の処理機構の汚
染等を防ぎ、被加工物および製造装置をクリーンな状態
に保つことが可能となるという効果も併せて奏する。

【０１４１】また、請求項２に記載の生産ライン管理シ
ステムは、請求項１に記載の構成に加えて、上記制御手
段が、記憶手段に記憶されている搬送所要時間と、計測
手段が計測した搬送所要時間との平均の時間を求め、こ
の平均の時間によって記憶手段の搬送所要時間を更新す
る構成である。

【０１４２】これにより、搬送所要時間の更新を簡単な
計算によって行うようになっているので、更新にかかる
時間を極めて少なくすることが可能となるとともに、計
算のための構成を簡単なものすることができる。従っ
て、請求項１の効果に加えて、システムの簡素化と低コ
スト化とを実現できるという効果を奏する。

【０１４３】また、請求項３に記載の生産ライン管理方
法は、生産ライン上の各製造装置にロットを搬送し、処
理終了後に回収するための生産ライン管理方法におい
て、生産ライン上の各移動経路におけるロットの搬送所
要時間を、移動経路毎に記憶し、ロットが搬送される度
にその搬送所要時間を計測し、記憶している搬送所要時
間と計測した搬送所要時間とに基づいて、各移動経路に
おける搬送所要時間を更新し、更新した搬送所要時間に
基づいて、ロットの搬送時刻を決定する方法である。

【０１４４】上記の方法では、生産ラインにおける搬送
状況を常に監視し、待機時間を調整しているので、搬送
機のトラブル等によりロットの搬送に要する時間が一定
にならなくても、ロスタイムを最小限に抑え、最良の搬
送効率でロットの搬送を行うことが可能となるという効
果を奏する。

【０１４５】さらに、複数のロットが同時に同一の製造
装置に搬入されることがないので、各ロットは、工場内
の無人搬送車や通行するオペレータ達が発するダストの
影響を受けることがない。従って、ダストが引き起こす
被加工物の良品率の低下、製造装置内部の処理機構の汚
染等を防ぎ、被加工物および製造装置をクリーンな状態
に保つことが可能となるという効果も併せて奏する。

【０１４６】また、請求項４に記載の生産ライン管理方
法は、請求項３に記載の方法に加えて、上記搬送所要時
間の更新は、記憶している搬送所要時間と、計測した搬
送所要時間との平均の時間を求めることで行う方法であ
る。

【０１４７】これにより、搬送所要時間の更新を簡単な
計算によって行うようになっているので、更新にかかる
時間を極めて少なくすることが可能となるとともに、計
算のための構成を簡単なものすることができる。従っ
て、請求項３の効果に加えて、請求項３に記載の方法を
応用したシステムの簡素化と低コスト化とを実現できる
という効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる一実施形態の生産ライン管理シ
ステムの構成を示すブロック図である。

【図２】図１に示した生産ライン管理システムにおける
生産系データベースにあらかじめ記憶されている工程フ
ロー情報の例を示す説明図である。

【図３】図３（ａ）は、上記生産系データベースに記憶
されているロット管理情報の例を示す説明図であり、図
３（ｂ）は、上記生産系データベースに記憶されている
仕掛かりロット情報の例を示す説明図である。

【図４】図１に示した生産ライン管理システムにおける
メモリ内搬送時間データベースに記憶されている搬送所
要時間情報の例を示す説明図である。

【図５】図１に示した生産ライン管理システムにおける
製造装置管理サーバが作成する製造装置管理情報の例を
示す説明図である。

【図６】図１に示した生産ライン管理システムにおける
製造装置管理サーバが作成するレシピ情報の例を示す説
明図である。

【図７】図１に示した生産ライン管理システムが管理す
る生産ラインの概略を示す説明図である。

【図８】図１に示した生産ライン管理システムにおける
ロット進捗管理サーバから製造装置管理サーバに伝達さ
れるプロセス手順指示通知の例を示す説明図である。

【図９】図１に示した生産ライン管理システムにおける
製造装置管理サーバが作成する搬送処理情報の例を示す
説明図である。

【図１０】図５に示した製造装置管理情報の処理中ロッ
ト状態管理項目の表示の例を示す説明図である。

【図１１】図１１（ａ）〜（ｃ）は、図１に示した生産
ライン管理システムにおいて同一の製造装置における２
つ以上のポートから搬入要求があった場合の、インタバ
ルタイマおよび搬送指示発行タイマの設定を説明するた
めの説明図であって、図１１（ａ）は、２つのロットが
処理待ちである場合のタイミングチャートを示す説明図
であり、図１１（ｂ）は、１つのロットの搬送中に、２
つめのロットが処理待ちとなった場合のタイミングチャ
ートを示す説明図であり、図１１（ｃ）は、１つのロッ
トの搬送が完了した後に、２つめのロットが処理待ちと
なった場合のタイミングチャートを示す説明図である。

【図１２】図１に示した生産ライン管理システムにおい
て、４つのロットが処理される場合の処理工程と各処理
の経過時間との例を示す説明図である。

【図１３】図１に示した生産ライン管理システムにおけ
る搬送時間データベースにあらかじめ記憶されている、
各製造装置におけるプロセス所要時間が記載されている
プロセス所要時間情報の例を示す説明図である。

【図１４】従来の生産ライン管理方法を用いた生産ライ
ン管理システムの構成を示す説明図である。

【図１５】図１４に示した生産ライン管理システムにお
ける製造装置通信管理コンピュータが、製造装置通信イ
ンタフェースを介して、各種の製造装置と接続されてい
る構成を示す説明図である。

【符号の説明】

１ ＣＩＭ実績管理コンピュータ（計測手段，制御手
段） ２ 製造装置通信管理コンピュータ ３ メモリ内搬送時間データベース（記憶手段） ４ 生産系データベース ５ 搬送時間データベース（記憶手段） ７ ロット進捗管理サーバ ８ 製造装置管理サーバ ９ ロット搬送管理サーバ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】生産ライン上の各製造装置にロットを搬送
   し、処理終了後に回収するための生産ライン管理システ
   ムにおいて、 生産ライン上の各移動経路におけるロットの搬送所要時
   間を、移動経路毎に記憶するための記憶手段と、 ロットが搬送される度にその搬送所要時間を計測する計
   測手段と、 上記記憶手段に記憶されている搬送所要時間と、上記計
   測手段に計測された搬送所要時間とに基づいて、上記記
   憶手段に記憶されている搬送所要時間を更新し、更新し
   た搬送所要時間に基づいて、ロットの搬送時刻を決定す
   るための制御手段とを備えていることを特徴とする生産
   ライン管理システム。
2. 【請求項２】上記制御手段は、記憶手段に記憶されてい
   る搬送所要時間と、計測手段が計測した搬送所要時間と
   の平均の時間を求め、この平均の時間によって記憶手段
   の搬送所要時間を更新することを特徴とする請求項１に
   記載の生産ライン管理システム。
3. 【請求項３】生産ライン上の各製造装置にロットを搬送
   し、処理終了後に回収するための生産ライン管理方法に
   おいて、 生産ライン上の各移動経路におけるロットの搬送所要時
   間を、移動経路毎に記憶し、 ロットが搬送される度にその搬送所要時間を計測し、 記憶している搬送所要時間と計測した搬送所要時間とに
   基づいて、各移動経路における搬送所要時間を更新し、
   更新した搬送所要時間に基づいて、ロットの搬送時刻を
   決定することを特徴とする生産ライン管理方法。
4. 【請求項４】上記搬送所要時間の更新は、記憶している
   搬送所要時間と、計測した搬送所要時間との平均の時間
   によって行うことを特徴とする請求項３に記載の生産ラ
   イン管理方法。