JPH01273330A - ウエハ自動搬送システムにおける搬送制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〉 本発明は、半導体製造ラインに設けられるウェハ自動搬
送システムにおける搬送制御方法に関する。

（従来の技術） ｔ５９図は、半導体製造工程のうちの前処理工程（ウニ
八プロセス）を受持つ製造ラインに設けられたウェハ自
動搬送システムの一例を示す構成図である。

図で示す様に製造ラインには、同種の工程処理を行う複
数の製造処理装置１（以下単に装置１と呼ぶ）と、これ
らの装置ｌへ仕掛る予定の半導体ウェハ入りカセット（
以下単にカセットと呼ぶ）や、装置１にて処理な読了し
た処理済カセットを複数収納する自動倉庫２か設置され
ている。そしてこれらの装置１や自動倉庫２間のカセッ
トの自動搬送を行う為に、装置１と自動倉庫２の近傍に
夫々カセット移載機３，４（以下単に移載＠３゜４と呼
ぶ）か設置され、更にこれら各移載機３゜４間のカセッ
ト搬送を受持つ搬送車５が設けられている。

又半導体製造工場においては一般に、同様の製造ライン
か複数本設けられており、それらのライン間のカセット
搬送を行う為に、複数の自動倉庫２間を結ぶライン間搬
送車６と、自動倉庫２とライン間搬送車６との間のカセ
ットの受渡しを受持つライン間カセット移載機７とが配
設されている。これにより、自動倉庫２への処理前カセ
ットの供給や、一つのラインで処理済となったカセット
の、次工程ラインへの搬送を行っている。

そして従来、上述の様なウェハ自動搬送システムにおけ
る自動倉庫２と装置１間のカセットの搬送制御は次の様
に行われていた。

例えば一つの装置１−１が処理スタンバイの状態になる
と、自動倉庫２か処理前のカセットを倉庫側の移載ａ４
に渡す。次に搬送車５が倉庫側の移載機４との移載点ま
で空走行を行い、搬送車５か移載点に到着した時点で倉
庫側の移載機４は搬送車５にカセットを渡す。この移載
動作か完了したら搬送車５は、目的の装置１−１の移載
機３−１との移載点に向って実走行する。

その後、搬送車５が目的地に到着すると、装置側の移載
機３−１が動作して搬送車５上のカセットを取込むとと
もに、目的の装置ｌ−１へカセットを渡す。これてカセ
ットの搬入か終了する。

又、例えば一つの装置１−１にて処理の終了したカセッ
トについては、先ず移載機３−１がその装置１−１から
処理済のカセットを取出す。次に搬送車５か移載機３−
１との移載点まて空走行し、搬送車５か移載点に到着し
た時点で移載機３−１が搬送車５にカセットを渡す。こ
の移ａ、＠作か完了すると、搬送車５は自動倉庫２に向
って実走行を始める。そして搬送車５か倉庫側の移載機
４との移載点に到着すると、移載機４が動作して搬送車
５上のカセットを取込むとともに、自動倉庫２が移載Ｉ
ａ、４の持つカセットを格納する。これでカセットの搬
出か終了する。

上述の様な搬送制御方法では、装置ｌへのカセットの搬
入、搬出は、夫々非同期的に製造を行っている複数の装
置１に応じて行わなければならないので、特に装置１か
多数あって、多くの搬入、搬出を処理する必要がある場
合にはこれらの搬送に関する要求を発生順に処理してい
た。

〈発明か解決しようとする課題〉 しかしながら、上記従来の搬送制御方法では。

多数の搬送待ちの装ｆｉｌが存在する場合、搬入の次に
搬入、或いは搬出の次に搬出といった様に同じ方向の搬
送が続くと、搬送車５の空走性距離か長くなり、それに
伴い移載機３．４での搬送車到着までの待ち時間が長く
なって、単位時間あたりのカセット搬送回数が低下する
という問題があった。

〈課題を解決するための手段〉 本発明は上記問題点を解決すべく提案されたウェハ自動
搬送システムにおける搬送制御方法である。

即ち、搬送制御を行うコンピュータか、自動倉庫から製
造処理装置への処理前カセット搬入に関する複数の搬送
要求と、製造処理装置から自動倉庫への処理済カセット
搬出に関する複数の搬送要求とを別個に記憶するととも
に、最後の搬送が搬入方向であるか搬出方向であるかを
記憶し、上記搬入、搬出の全ての搬送要求の中から最後
の搬送方向とは逆方向の搬送要求を優先的に検索して搬
送させることを特徴とするものである。

〈作用〉 上記搬送制御方法では、多数の製造処理装置から搬入、
搬出要求かある時に、搬入処理と搬出処理とを交互に行
わせることになる。

〈実施例〉 以下、本発明を第９図に示した半導体製造ラインのウェ
ハ自動搬送システムに適用した実施例について図面を用
いて詳細に説明する。

第１図は、第９図のウニ八自動搬送システムの搬送制御
を行う制御系のブロック図である。

図て示す様にこの制御系は、自動倉庫２と、倉庫側のカ
セット移載機４と、搬送車５と、複数の製造処理装置ｌ
（以下単に装置１と呼ぶ）と、各装置側のカセット移載
機３とを、ローカルコンピュータ８（以下ＬＣ８と略記
する）で制御する様に構成されている。従って実際には
ＬＣ８は、各構成要素のコントローラと通信回線で連結
されている。

次に上記ＬＣ８による搬送制御方法を説明する。

第２図は、ＬＣ８か行う装置ｉからの受信伝文処理プロ
グラムのフローチャートである。装置ｌからの通信伝文
には、処理前カセット搬入要求と、処理済カセット搬出
要求の二つがある。搬入要求は、装置１内に仕掛りウェ
ハがなくなり処理レディの状態となった装ＭｌからＬＣ
８に送信されるものであり、又搬出要求は、ウェハに対
する処理がすべて終了した装置１からＬＣ８に送信され
るものである。

ＬＣ８は、装置ｌからのこれらの伝文の受信を監視して
おり（ステップ５−１）、受信が認められた際には、そ
の伝文が搬入要求であるかを判断する（Ｓ−２）。伝文
が搬入要求であれば倉庫２内に処理前のカセットがある
かを判断しく５−３）、処理前のカセットがあればこの
搬入要求を搬入要求待ち行列、所謂搬入要求キューに登
録する（Ｓ−４）。搬入要求キューは、ＬＣ８の主メモ
リや磁気ディスク上等に構成されるもので、第３図に示
す様な内容を持ち、このエリアには最後に登録された内
容、即ち行先装置の号機と搬送予定のカセットＩＤ（識
別コード）が行列の最後になる様に記憶される。上記搬
入要求キューに登録を終えると、再び伝文の受信の監視
（Ｓ−１）へ戻る。ステップＳ−３にて倉庫２内に処理
前カセットがない場合にも、伝文の受信監視（Ｓ−１）
へ戻る。

一方ステップＳ−２にて、搬入要求の伝文でないと判断
すれば、その伝文が搬出要求であるかを判断する（Ｓ−
５）。搬出要求てあれば、この搬出要求を搬出要求待ち
行列、所謂搬出要求キューに登録する（Ｓ−６）。搬出
要求キューも、ＬＣ８の主メモリや磁気ディスク上等に
構成されるものて、第４図に示す様な内容を持ち、この
エリアには最後に登録された内容、すなわち送元の装置
の号機と、搬送予定のカセットＩＤが行列の最後になる
様に記憶される。搬出要求キューに登録を終えると、再
び伝文の受信監視（Ｓ−１）へ戻る。又ステップＳ−５
にて伝文が搬出要求でないと判断すれば、伝文の受信監
視（Ｓ−１）へ戻る。

第５図は、ＬＣ８が行う搬送方向決定処理プログラムの
フローチャートである。この搬送方向決定処理と、上述
の伝文受信処理とは、ＬＣＢ内のオペレーティングシス
テムにより制御されて並列処理されるものである。

搬送方向決定処理プログラムでは、先ずＬＣ８の主モメ
リ上に構成される第６図の様な内容を持つ搬送完了フラ
グテーブルを調べる（　Ｓ　−１１）。

このテーブルは、ある搬送が完了した時にその搬送方向
のエリアにｒｌＪを立てるとともに、逆方向のエリアに
「０」を入れて、前回搬送の方向を記憶するものである
。このテーブルを調べ、搬入完了フラグが「１」ならば
、第４図の搬出要求キューを検索する（　Ｓ　−１２）
。もしキューの中に搬出要求があれば（Ｓ−１３）、そ
の先頭のものを取出して後述の搬出制御プログラムを呼
出し、搬出を実行する（　Ｓ　−１４）。そして搬出が
終了したら搬入完了フラグを「０」にしくＳ−１５）、
次いで搬出完了フラグをｒｌＪにして（Ｓ−１６）、再
び搬入完了フラグの判断（Ｓ　−１１）へ戻る。

一方ステップ５−１３において搬出要求なしの時には、
第３図に示した搬入要求キューを検索する（　Ｓ　−１
７）。もしキューの中に搬入要求があれば（Ｓ−ｔａ）
、その先頭のものを取出して後述の搬入制御プログラム
を呼出し、搬入を実行する（　Ｓ　−１９）。そして搬
入が完了したら搬出完了フラグを「０」にしくＳ−２０
）、次いで搬入完了フラグなｒｌＪにして（Ｓ−２１）
、再び搬入完了フラグの判ｇｆｒ（Ｓ−１１）へ戻る。

又、ステップ５−１８において搬入要求なしの時には搬
出要求キューの検索（Ｓ　−１２）へ進む。

上記ステップ５−１１の搬入完了フラグの判断において
、搬入完了フラグか「０」ならば、搬出完了フラグを調
べる（Ｓ−２２）。ここで搬出完了フラグか「１」なら
ば搬入要求キューの検索（Ｓ−１７）を行い、搬出完了
フラグが「０」ならば搬出要求キューの検索（Ｓ　−１
２）を行う。

第７図は、上記搬送方向決定処理により呼出される搬入
制御プログラムのフローチャートである。

このプログラムては、先ず自動倉庫２に対し、指定した
カセットＩＤをもつカセットを棚から取出して倉庫側の
移載機４へ渡す様に指示を送信する（　Ｓ　−：１１）
。次いで倉庫側の移載機４に対し、自動倉庫２からカセ
ットを受取って搬送車５へ渡す様に指示を送信する（　
Ｓ　−３２）。次いで搬送車５に対し、倉庫側の移載機
４からカセットを受取り、指定する装置側の移載機３と
の移載点へ走行する様に指示を送信する（　Ｓ　−３３
）。そして装置側の移載機３に対し、搬送車５からカセ
ットを受取って装置ｌへ渡す様に指示を送信する（Ｓ−
３４）。

上記自動倉庫２．双方の移を機３．４及び搬送車５の夫
々のコントローラが各移載動作を実行して動作が完了す
れば、その旨をＬＣ８に送信する。ＬＣ８はこの通知を
全て監視しく５−３５〜３８）、全ての動作が完了した
時点で搬入制御を終了する。

一方第８図は、上記搬送方向決定処理により呼出される
搬出制御プログラムのフローチャートである。

このプログラムでは、先ず搬出元の装置１の装置側移載
機３に対し、装置ｌからカセットを取出して搬送車５へ
渡す様に指示を送信する（Ｓ−４１）。次いで搬送車に
対し、指定する装置側の移載機３からカセットを受取っ
て倉庫側へ走行する様に指示を送信する（Ｓ−４２）、
次いで倉庫側の移載機４に対し、搬送車５からカセット
を受取って自動倉庫２へ渡す様に指示を送信する（Ｓ−
４３）。そして自動倉庫２に対し、倉庫側の移載機４か
らカセットを受取って棚へ格納する様に指示を送信する
（　Ｓ　−４４）。

この後ＬＣ８は、上記双方の移載機３，４．搬送車５及
び自動倉庫２の夫々のコントローラからの動作完了通知
を監視しく５−４５〜４８）、全ての動作が完了した時
点で搬出制御を終了する。

〈発明の効果〉 以上の説明から明らかな様に、本発明によれば、コンピ
ュータが前回の搬送の方向を記憶し、次の搬送を前回の
搬送方向とは逆方向の搬送待ち行列から優先的に検索す
る様にした為、製造ライン中の多数の製造処理装置から
搬入、搬出要求がある時に、搬入処理と搬出処理とを交
互に行うことが可能となる。従って、搬送車の無駄な空
走行が省かれ、その結果、カセット移載機における搬送
車待ちの時間が短縮されて、製造ラインでの単位時間当
りのカセット搬送回数が増加する。

又搬送車の走行距離自体も短縮されるので、搬送車に対
する保守の間隔を長くする効果も期待できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の搬送制御方法を説明する為の制御系
のブロック図、 第２図は、ローカルコンピュータの受信伝文処理プログ
ラムのフローチャート 第３図は、搬入要求キューを示す図、 第４図は、搬出要求キューを示す図、 第５図は、ローカルコンピュータの搬送方向決定処理プ
ログラムのフローチャート、 第６図は、搬送完了フラグテーブルを示す図、第７図は
、ローカルコンピュータの搬入制御プログラムのフロー
チャート、 第８図は、ローカルコンピュータの搬出制御プログラム
のフローチャート、 第９図は、製造ラインに設けられたウニ八自動搬送シス
テムの一例を示す構成図である。 ｌ・・・製造処理装置、　２・・・自動倉庫。 ３．４・・・カセット移載機、　５・・・搬送車。 ８・・・ローカルコンピュータ。 第２図 第６図 第５図 第７図 ｄＭ！ｉＪ’！！、１２０）’Ｄ’−之ンＡａｙ７１フ
ーメ戸−メ第８図 第９図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　処理前或は処理済の半導体ウェハ入りカセットを収納
   する自動倉庫と、半導体ウェハを処理する複数の製造処
   理装置と、前記半導体ウェハ入りカセットを搬送する搬
   送車と、前記自動倉庫と搬送車間及び前記各製造処理装
   置と搬送車間で前記半導体ウェハ入りカセットを移載す
   る移載機とを、コンピュータにより制御して、前記自動
   倉庫と各製造処理装置間で前記半導体ウェハ入りカセッ
   トを搬送するウェハ自動搬送システムにおける搬送制御
   方法において、 前記コンピュータは、前記自動倉庫から製造処理装置へ
   の処理前カセット搬入に関する複数の搬送要求と、前記
   製造処理装置から自動倉庫への処理済カセット搬出に関
   する複数の搬送要求とを別個に記憶するとともに、最後
   の搬送が搬入方向であるか搬出方向であるかを記憶し、
   前記搬入、搬出の全ての搬送要求の中から最後の搬送方
   向とは逆方向の搬送要求を優先的に検索して搬送させる
   ことを特徴とするウェハ自動搬送システムにおける搬送
   制御方法。