JP2880764B2 - 被搬送物搬送方式 - Google Patents
被搬送物搬送方式Info
- Publication number
- JP2880764B2 JP2880764B2 JP13751790A JP13751790A JP2880764B2 JP 2880764 B2 JP2880764 B2 JP 2880764B2 JP 13751790 A JP13751790 A JP 13751790A JP 13751790 A JP13751790 A JP 13751790A JP 2880764 B2 JP2880764 B2 JP 2880764B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shelf
- computer
- destination
- wafer
- transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は被搬送物搬送方式に関し、特にウェハーを搬
送する場合に複数の搬送先の中から搬送先を、ウェハー
を収納可能な棚に特定して決定する被搬送物搬送方式に
関する。
送する場合に複数の搬送先の中から搬送先を、ウェハー
を収納可能な棚に特定して決定する被搬送物搬送方式に
関する。
従来のウェハー搬送先決定方式は、予めホストコンピ
ュータに各ウェハーの各工程における搬送先を登録して
おき、棚を管理する棚コンピュータがホストコンピュー
タに行き先を問い合わせてその搬送先を受けとてウェハ
ーを搬送する方式であった。
ュータに各ウェハーの各工程における搬送先を登録して
おき、棚を管理する棚コンピュータがホストコンピュー
タに行き先を問い合わせてその搬送先を受けとてウェハ
ーを搬送する方式であった。
この従来のウェハー搬送先決定方式では、ウェハーを
棚に入庫すると、棚を管理する棚コンピュータがウェハ
ーの搬送先を管理しているホストコンピュータにウェハ
ーの搬送先を問い合わせてその情報に基づき、搬送車に
対してウェハーの搬送指示を出していたが、その搬送指
示を出力する際には、搬送先の棚の状況の情報が加味さ
れていないため、搬送車がウェハーを搬送先の棚に搬送
した場合に、目的の棚が一杯でウェハーを搬送車から下
ろすことができないという状況が発生するおそれがあっ
た。
棚に入庫すると、棚を管理する棚コンピュータがウェハ
ーの搬送先を管理しているホストコンピュータにウェハ
ーの搬送先を問い合わせてその情報に基づき、搬送車に
対してウェハーの搬送指示を出していたが、その搬送指
示を出力する際には、搬送先の棚の状況の情報が加味さ
れていないため、搬送車がウェハーを搬送先の棚に搬送
した場合に、目的の棚が一杯でウェハーを搬送車から下
ろすことができないという状況が発生するおそれがあっ
た。
本発明は、ウェハーなどの被搬送物の搬送先を決定す
る際に、搬送先の棚の状況情報を加味し、被搬送物の搬
送先として必ず収納スペースを持つ棚を特定しうる被搬
送物搬送方式を提供することを目的とする。
る際に、搬送先の棚の状況情報を加味し、被搬送物の搬
送先として必ず収納スペースを持つ棚を特定しうる被搬
送物搬送方式を提供することを目的とする。
本発明の被搬送物搬送方式は、被搬送物が収納される
複数の棚と、該複数の棚に対してそれぞれ設けられ、前
記被搬送物の在庫管理を行う相互接続された複数の棚コ
ンピュータと、該複数の棚コンピュータのそれぞれと接
続され、前記被搬送物の搬送先情報を保持するホストコ
ンピュータとを有する被搬送物搬送方式において、被搬
送物の入庫を搬送元棚コンピュータが検知するステップ
と、前記搬送元棚コンピュータが前記被搬送物の搬送先
情報をホストコンピュータに問い合わせるステップと、
前記ホストコンピュータが前記搬送先情報を前記搬送元
棚コンピュータに回答するステップと、前記搬送元棚コ
ンピュータが前記搬送先情報に基づき搬送先棚コンピュ
ータに在庫状況を問い合わせるステップと、前記搬送先
棚コンピュータが前記在庫状況を前記搬送元棚コンピュ
ータに回答するステップと、前記搬送元棚コンピュータ
が前記被搬送物の搬送先棚を決定するステップとを有す
るものである。
複数の棚と、該複数の棚に対してそれぞれ設けられ、前
記被搬送物の在庫管理を行う相互接続された複数の棚コ
ンピュータと、該複数の棚コンピュータのそれぞれと接
続され、前記被搬送物の搬送先情報を保持するホストコ
ンピュータとを有する被搬送物搬送方式において、被搬
送物の入庫を搬送元棚コンピュータが検知するステップ
と、前記搬送元棚コンピュータが前記被搬送物の搬送先
情報をホストコンピュータに問い合わせるステップと、
前記ホストコンピュータが前記搬送先情報を前記搬送元
棚コンピュータに回答するステップと、前記搬送元棚コ
ンピュータが前記搬送先情報に基づき搬送先棚コンピュ
ータに在庫状況を問い合わせるステップと、前記搬送先
棚コンピュータが前記在庫状況を前記搬送元棚コンピュ
ータに回答するステップと、前記搬送元棚コンピュータ
が前記被搬送物の搬送先棚を決定するステップとを有す
るものである。
本発明では、ホストコンピュータにおいてウェハーの
搬送先を複数登録しておき、ウェハーを搬送する場合に
棚コンピュータがホストコンピュータに問い合わせてホ
ストコンピュータからおくられてくる複数の搬送先を棚
コンピュータが棚の在庫情報をもとにして複数の搬送先
の中から選択する。
搬送先を複数登録しておき、ウェハーを搬送する場合に
棚コンピュータがホストコンピュータに問い合わせてホ
ストコンピュータからおくられてくる複数の搬送先を棚
コンピュータが棚の在庫情報をもとにして複数の搬送先
の中から選択する。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。
図において、複数の棚31〜33は、それぞれ予め定めら
れた位置に設置され、棚31〜31相互間でのウェハー搬送
に搬送車６が用いられる。また、各棚31〜33には移載機
41〜43及び伝送器71〜73がそれぞれ備えられている。
れた位置に設置され、棚31〜31相互間でのウェハー搬送
に搬送車６が用いられる。また、各棚31〜33には移載機
41〜43及び伝送器71〜73がそれぞれ備えられている。
また、各棚31〜33には、専用の棚コンピュータ21〜23
が設けられ、棚31〜33の在庫管理が専用の棚コンピュー
タ21〜23により行われる。複数の棚コンピュータ21〜23
相互間及び棚コンピュータ21〜23とホストコンピュータ
１との間はネットワーク８にてそれぞれ接続されてい
る。
が設けられ、棚31〜33の在庫管理が専用の棚コンピュー
タ21〜23により行われる。複数の棚コンピュータ21〜23
相互間及び棚コンピュータ21〜23とホストコンピュータ
１との間はネットワーク８にてそれぞれ接続されてい
る。
ホストコンピュータ１は、各ウェハー毎の複数の搬送
先情報を登録して保持するものである。
先情報を登録して保持するものである。
棚コンピュータ21〜23は、各棚31〜33のウェハー在庫
管理機能と、棚コンピュータ21〜23が管理する棚31〜33
から取出されたウェハーに対応する搬送先情報をホスト
コンピュータから得た搬送先情報に基づいて他の棚コン
ピュータにウェハー在庫情報を問合せする機能と、各コ
ンピュータ1,21〜23から得た搬送先情報とウェハー在庫
情報とを照合して、ウェハーを収納し得る空スペースを
もつ棚31〜33を特定してウェハーの搬送先を決定する機
能とを有する。
管理機能と、棚コンピュータ21〜23が管理する棚31〜33
から取出されたウェハーに対応する搬送先情報をホスト
コンピュータから得た搬送先情報に基づいて他の棚コン
ピュータにウェハー在庫情報を問合せする機能と、各コ
ンピュータ1,21〜23から得た搬送先情報とウェハー在庫
情報とを照合して、ウェハーを収納し得る空スペースを
もつ棚31〜33を特定してウェハーの搬送先を決定する機
能とを有する。
また、伝送路71〜73は、棚コンピュータ21〜23から出
力される搬送先情報を搬送車６に伝送するものである。
また、搬送車６は、伝送路71〜73からの搬送先情報に基
づいて、一の棚から取り出されたウェハーを、ウェハー
の収納用空スペースをもつ特定の棚に搬送するものであ
る。
力される搬送先情報を搬送車６に伝送するものである。
また、搬送車６は、伝送路71〜73からの搬送先情報に基
づいて、一の棚から取り出されたウェハーを、ウェハー
の収納用空スペースをもつ特定の棚に搬送するものであ
る。
また、移載機41〜43は、棚コンピュータからの指示を
受けて、搬送車６と棚との間でウェハーの積卸しを行う
ものである。
受けて、搬送車６と棚との間でウェハーの積卸しを行う
ものである。
第２図は本発明の搬送方式による搬送車６の搬送先決
定手順を示している。
定手順を示している。
ウェハー５を棚31に入庫した後に、棚31からよりの棚
32又は棚33までに搬送する際の搬送先決定方式について
説明する。まず、ウェハー５が棚31に入庫されると（ス
テップ101）、棚31はウェハーの在庫情報を棚コンピュ
ータ21に送る。棚コンピュータ21は、ネットワーク８を
介してホストコンピュータ１にウェハー５の搬送先を問
合せる（ステップ102）。ホストコンピュータ１にウェ
ハー５の搬送先である棚32と棚33の情報が蓄えられてい
るので、ウェハー５の搬送先として棚32と棚33へ搬送可
能であることを棚コンピュータ21に受け渡す（ステップ
121）。棚コンピュータ21は、ウェハー５が搬送される
棚32及び棚33の在庫を管理する棚コンピュータ22及び棚
コンピュータ23に対して棚在庫情報を問合せる（ステッ
プ103）。棚コンピュータ22及び棚コンピュータ23は、
棚31及び棚33の在庫情報をネットワーク８を介して棚コ
ンピュータ21に受け渡す（ステップ131）。棚コンピュ
ータ21では、棚コンピュータ22及び棚コンピュータ23か
らネットワーク８を介して受渡された棚32及び棚33の在
庫情報を基にしてウェハー５の最終搬送先を一つだけに
限定する（ステップ104）。ここで、ウェハー５の搬送
先を棚32に特定して決定したとする。最終搬送先が決定
したならば、棚コンピュータ21は移載機41に対して棚31
に入庫されたウェハー５を引き出すように指示する。さ
らに、棚コンピュータ21は伝送器71を介して搬送車６を
呼び寄せ、移載機41に指示を出してウェハー５を搬送車
６に積載し、伝送器71を介してウェハー５の最終搬送先
を搬送車６に伝える。搬送車６は、伝送器71を介して棚
コンピュータ21から受け取ったウェハー５を棚32を搬送
する。搬送車６が棚32に到達すると、棚コンピュータ22
が移載機42が指示して、搬送車６上のウェハー５を棚32
の空スペースに入庫させる。
32又は棚33までに搬送する際の搬送先決定方式について
説明する。まず、ウェハー５が棚31に入庫されると（ス
テップ101）、棚31はウェハーの在庫情報を棚コンピュ
ータ21に送る。棚コンピュータ21は、ネットワーク８を
介してホストコンピュータ１にウェハー５の搬送先を問
合せる（ステップ102）。ホストコンピュータ１にウェ
ハー５の搬送先である棚32と棚33の情報が蓄えられてい
るので、ウェハー５の搬送先として棚32と棚33へ搬送可
能であることを棚コンピュータ21に受け渡す（ステップ
121）。棚コンピュータ21は、ウェハー５が搬送される
棚32及び棚33の在庫を管理する棚コンピュータ22及び棚
コンピュータ23に対して棚在庫情報を問合せる（ステッ
プ103）。棚コンピュータ22及び棚コンピュータ23は、
棚31及び棚33の在庫情報をネットワーク８を介して棚コ
ンピュータ21に受け渡す（ステップ131）。棚コンピュ
ータ21では、棚コンピュータ22及び棚コンピュータ23か
らネットワーク８を介して受渡された棚32及び棚33の在
庫情報を基にしてウェハー５の最終搬送先を一つだけに
限定する（ステップ104）。ここで、ウェハー５の搬送
先を棚32に特定して決定したとする。最終搬送先が決定
したならば、棚コンピュータ21は移載機41に対して棚31
に入庫されたウェハー５を引き出すように指示する。さ
らに、棚コンピュータ21は伝送器71を介して搬送車６を
呼び寄せ、移載機41に指示を出してウェハー５を搬送車
６に積載し、伝送器71を介してウェハー５の最終搬送先
を搬送車６に伝える。搬送車６は、伝送器71を介して棚
コンピュータ21から受け取ったウェハー５を棚32を搬送
する。搬送車６が棚32に到達すると、棚コンピュータ22
が移載機42が指示して、搬送車６上のウェハー５を棚32
の空スペースに入庫させる。
また、同様に棚32から取り出したウェハー５は、空ス
ペースをもつ棚31又は33に搬送車６により搬送され入庫
される。
ペースをもつ棚31又は33に搬送車６により搬送され入庫
される。
尚、実施例では棚を３基備えた場合について説明した
が、これに限定されるものではない。
が、これに限定されるものではない。
〔発明の効果〕 以上説明したように本発明は、予めホストコンピュー
タでウェハーの搬送可能な複数の搬送先を複数登録して
おき、棚コンピュータがホストコンピュータにウェハー
の搬送先を問合せてホストコンピュータが棚コンピュー
タに回答した搬送先情報と、在庫情報とを基にして最終
搬送先を決定するので、ウェハーを積載した搬送車の搬
送先として予め収納空スペースを有する棚を特定でき、
したがって目的の棚に向けて搬送車を無駄なく運行させ
るとともに目的地での積み卸しを能率よく行うことがで
き、ひいては搬送効率を向上できる効果を有する。
タでウェハーの搬送可能な複数の搬送先を複数登録して
おき、棚コンピュータがホストコンピュータにウェハー
の搬送先を問合せてホストコンピュータが棚コンピュー
タに回答した搬送先情報と、在庫情報とを基にして最終
搬送先を決定するので、ウェハーを積載した搬送車の搬
送先として予め収納空スペースを有する棚を特定でき、
したがって目的の棚に向けて搬送車を無駄なく運行させ
るとともに目的地での積み卸しを能率よく行うことがで
き、ひいては搬送効率を向上できる効果を有する。
第１図は本発明の一実施例を示す概略図、第２図は本発
明のウェハー搬送先決定方式に基づいて搬送先を決定す
る際の手順を示す図である。 １……ホストコンピュータ 21〜23……棚コンピュータ、31〜33……棚 41〜43……移載機、５……ウェハー ６……搬送車、71〜73……伝送器 ８……ネットワーク
明のウェハー搬送先決定方式に基づいて搬送先を決定す
る際の手順を示す図である。 １……ホストコンピュータ 21〜23……棚コンピュータ、31〜33……棚 41〜43……移載機、５……ウェハー ６……搬送車、71〜73……伝送器 ８……ネットワーク
Claims (4)
- 【請求項１】被搬送物が収納される複数の棚と、該複数
の棚に対してそれぞれ設けられ、前記被搬送物の在庫管
理を行う相互接続された複数の棚コンピュータと、該複
数の棚コンピュータのそれぞれと接続され、前記被搬送
物の搬送先情報を保持するホストコンピュータとを有す
る被搬送物搬送方式において、被搬送物の入庫を搬送元
棚コンピュータが検知するステップと、前記搬送元棚コ
ンピュータが前記被搬送物の搬送先情報をホストコンピ
ュータに問い合わせるステップと、前記ホストコンピュ
ータが前記搬送先情報を前記搬送元棚コンピュータに回
答するステップと、前記搬送元棚コンピュータが前記搬
送先情報に基づき搬送先棚コンピュータに在庫状況を問
い合わせるステップと、前記搬送先棚コンピュータが前
記在庫状況を前記搬送元棚コンピュータに回答するステ
ップと、前記搬送元棚コンピュータが前記被搬送物の搬
送先棚を決定するステップとを有することを特徴とする
被搬送物搬送方式。 - 【請求項２】前記搬送先棚コンピュータが複数あること
を特徴とする請求項１記載の被搬送物搬送方式。 - 【請求項３】前記ホストコンピュータと前記複数の棚コ
ンピュータとがネットワークによって相互接続されてい
ることを特徴とする請求項１及び２記載の被搬送物搬送
方式。 - 【請求項４】前記被搬送物がウェハーであることを特徴
とする請求項１から３記載の被搬送物搬送方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13751790A JP2880764B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 被搬送物搬送方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13751790A JP2880764B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 被搬送物搬送方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430550A JPH0430550A (ja) | 1992-02-03 |
| JP2880764B2 true JP2880764B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=15200529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13751790A Expired - Lifetime JP2880764B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 被搬送物搬送方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2880764B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5745364A (en) * | 1994-12-28 | 1998-04-28 | Nec Corporation | Method of producing semiconductor wafer |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01257345A (ja) * | 1988-04-07 | 1989-10-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体ウエハの自動搬送装置 |
-
1990
- 1990-05-28 JP JP13751790A patent/JP2880764B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0430550A (ja) | 1992-02-03 |
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