JPH01257345A - 半導体ウエハの自動搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、半導体ウェハの製造ラインに設けられる自動
搬送装置に係り、更に詳しくは、搬送ブロック内の倉庫
を専用棚と共用棚に区画し、該倉庫の利用情報をコンピ
ュータにより制御して半導体ウェハを各工程間に効率良
く搬送する半導体ウェハの自動搬送装置に関する。

〈従来の技術） 半導体製造工場では半導体素子の集積度の増大とともに
塵埃を除去する手段としてクリーンルーム等の設備の充
実が図られ、更に製造ラインを完全自動化にすることが
不可欠となっている。製造ラインの自動化においては、
先ず半導体ウェハを収納したカセットを自動的に倉庫へ
の搬送（倉庫間搬送）が行われ、更に倉庫と処理装置へ
の搬送（ブロック内搬送）が行われる。このカセットの
搬送は通常天井空間や地上空間に設置されている搬送装
置により行われる。しかも半導体の製造は約１５０〜２
００工程の組合せにより行われ、その組合せフローに沿
った工程間をカセットは搬送装置にて搬送される０組合
せフローはコンピュータにより管理され、組合せフロー
上、半導体の製造プロセスにて使用される処理装置は、
機種（半導体製品の種類）と工程により夫々対応する処
理装置が決定される。同様に、その装置が設定されてい
るライン上の工程に対応したカセットを保管する倉庫も
決定される。更にカセットはロットナンバー（ｌｊｌ、
種番号と通し番号）により管理され、倉Ｊｉｌ’ｉては
そのロットナンバーに対応した棚情報により倉庫間搬送
時及びブロック内搬送時の入庫と出庫の処理が行われる
。

第４図は従来の搬送システムを示すブロック図である。

搬送ブロック３００は、例えば工程Ａ（洗Ｍｌ　）用装
置１１２．工程Ｂ（酸化）用装置１１３．工程Ｃ（アニ
ール）用装置１１４．工程Ｄ（乾燥）用装置１１５等の
処理装置群１１７、倉庫１１０、各処理装置と倉庫１１
０間にカセットを搬送する搬送装置１１１、この搬送装
置１１１を制御する搬送コントローラ１１６、処理袋４
と搬送コントローラを制御するコンピュータ１０３及び
インターフェースライン１３２　ヘ−１３５により構成
されている。同様に他の搬送ブロック３０１は、例えば
工程Ｅ用装置１１２．工程Ｆ用１２３．工程Ｇ用１２４
等から成る処理装置群１２６、倉庫１２０　、各処理装
置と倉庫１２０間にカセットを搬送する搬送装置１２１
、この搬送装置１２１を制御する搬送コントローラ１２
５．処理装置と搬送コントローラを制御するコンピュー
タ１０４及びインターフェースライン１４２〜１４５に
より構成されている。

ホストコンピュータ（Ｈ−Ｃ）１００は、第５図に示す
如く組合せフローに沿ったカセットの流れと各搬送ブロ
ック：１００．３０１に設置されている倉庫１１０．１
２０の空き棚を管理するとともに、その倉庫１１０をイ
ンターフェースライン１３０を介して制御するコンピュ
ータｌｏｔ　、倉庫１２０をインターフェースライン１
４０を介して制御するコンピュータ１０２、倉庫間のカ
セット搬送を行う搬送装置１７２を制御する搬送コント
ローラ１７１、前工程Ｘの倉庫を制御するコンピュータ
、更に次工程ｙの倉庫を制御するコンピュータを、夫々
各インターフェースライン１０５乃至１口９により制御
する。搬送ブロック３００の倉庫１１０を制御するコン
ピュータ１０１は処理装置群１１７を制御するコンピュ
ータ１０３とインターフェースライン１３１にて接続さ
れ、同様に搬送ブロック３０１の倉庫１２Ｇを制御する
コンピュータ１０２はインターフェースライン１４１で
コンピュータ１０４に接続されている。

一方第６図は倉庫１１０の棚構成を示す実施例であり、
処理装置群１１７において処理する各工程のロットナン
バーを持つカセットを保管する。例えばカセット１５１
は処理袋ｆｉｌｌｓに対応するＤ工程、カセット１５２
，１５３は処理袋２２１１４に対応するＣ工程、カセッ
ト１５４は処理装置１１３に対応するＢ工程、そしてカ
セット１５５は処理袋ｆｆ１ｌ１２に対応するＡ工程の
ロットナンバーを持つカセットとなる。上記庫内に保管
されているカセットの棚情報は、カセットｔｓｉは１１
．カセット１５２は１２、カセット１５３は１３．カセ
ット１５４は１４．カセット１５５は１５となっている
。

次に上記第４図乃至第６図によりカセットの自動搬送（
ブロック間、倉庫間搬送、ブロック内搬送）について説
明する。上述の如くカセットの組合せフロー及びロフト
ナンバーはホストコンピュータ１００にて管理されてい
る。前工程Ｘのコンピュータによりロットナンバーと工
程番号による終了通知がホストコンピュータ１０Ｇに出
力されるとホストコンピュータ１００は工程番号を次の
工程Ａとし、更にその工程番号とロットナンバーにより
処理装置を工程Ａ用の処理装置１１２とし、ブロック３
００の倉庫を１口０と判断し、該倉庫１１Ｇに空き棚が
有る場合は搬送コントローラ１７１に搬送指示を出力し
、コンピュータ１０１にはロットナンバーと工程番号Ａ
を出力する。コンピュータ１旧は該ロットナンバーに対
応した棚情報を作成し、インターフェースライン１３０
により倉庫１１Ｇに出力する。そして搬送装置１７２に
より搬送されてきたカセットは倉庫１１Ｇの持つ棚情報
の場所に搬入される。−男前工程Ｘのコンピュータによ
る終了通知がホストコンピュータ１０口に出されても倉
庫１１０に空き棚がない場合、そのカセットは前工程の
倉庫にそのまま格納される。そして倉１ｉ１１０に空き
棚が発生するとその空き情報がコンピュータ１０１によ
りホストコンピュータ１００へ通知され、ホストコンピ
ュータ１００は搬送コントローラ１７１．搬送装置１７
２に対し搬送指示を出力する。

工程番号Ａに対応した工程Ａ用の処理装置１１２が搬入
要求をコンピュータ１０３に出力すると、コンピュータ
１０３よりインターフェースライン１３６を介して搬送
コントローラ１１６に搬送指示が出力され搬送装置Ｉｌ
ｌは倉庫１１０からの移載を待つ。次いでコンピュータ
１０３よりコンピュータｔＵｔに工程番号Ａに該当する
ロットナンバーの確認要求が出力され、このコンピュー
タ１０１にてロットナンバーが確認されるとコンピュー
タ１０１より該当するロットナンバーのカセットを搬送
装置１１１に移載する指示を倉庫１１０へ出力する。こ
れにより倉１４ｍｏから搬送装２１１１１ヘカセットが
出庫され、搬送装置１１１は処理装置１１２ヘカセツト
を搬送し移載を行う。

処理装置１１２において工程Ａ用処理が終了すると、処
理装ｆｉ　１１２からコンピュータ１０３に搬出要求を
出力し、コンピュータ１０３は搬送コントローラ１１６
へ搬送指示を出力し、工程Ａ用処理装置１１２より搬送
装置１１１ヘカセツトを移載する。更にコンピュータ１
０３よりコンピュータ１（Ｉｔに工程番号に該当するロ
ットナンバーの確認要求が出力されコンピュータ１０１
にて該当するロットナンバーが確認されると、カセット
は搬送され倉庫１１０に入庫される。コンピュータ１０
１は、そのカセットのロットナンバーと工程番号による
終了通知をホストコンピュータｌＱＧに出力するとホス
トコンピュータ１０Ｇは工程番号を次の工程Ｅとし。

その工程番号Ｅとロットナンバーにより工程Ｅにおける
処理装置は工程Ｅ用処理装置１２２であり、倉庫は１２
０であると判断し、搬送コントローラ１７１に搬送指示
を出力し、且つコンピュータ１０２にロットナンバーと
該工程番号が出力される。倉庫１２０に空き棚が存在す
る場合、コンピュータ１０２はロットナンバーに対応し
た棚情報を作成し、インターフェースライン１４０によ
り倉庫１２０に出力する。搬送装置１１７２は搬送ブロ
ック３００の倉庫１１０より該当するロットナンバーの
カセットを出庫し、搬送ブロックの３０１の倉庫１２０
へ搬送し棚情報の場所へ入庫する。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかし、以上述べた方法では棚内に工程に対応した区分
がなかったので、物流の割合に変化が多い場合例えば半
導体ウェハ製造工場等では毎日の生産計画や製造装置の
故障等によって特定の工程のカセットによって倉庫の棚
内が満杯になり、それ以外の工程のカセットを搬送する
ことが不可能となる。この場合搬送ブロック内の各処理
装置へカセットを供給することができなくなるので半導
体ウェハ製造ラインの稼動を停止させる必要が生じ、製
造計画を大幅に修正しなければならない等の問題を生じ
ていた。

〈課題を解決するための手段〉 そこで、搬送ブロック内に設けた倉庫を、特定した工程
に対するカセットの保管区分である専用機と、この専用
機のうち何れかが満杯になってカセットを保管できなく
なったとき、該カセットを保管する共用機とに区画した
ものである。

く作用） すなわち、各専用機に各工程のカセットが保管されてゆ
き、ある専用機にその工程のカセットが満杯となると、
該当するカセットは同一倉庫内の共用機に順次保管され
ることになり、よって半導体製造ラインにおけるカセッ
トの搬送は停止されることなく稼動する。

（実施例） 第１図は、本発明の実施例を示す自動搬送装置のブロッ
ク図である。搬送ブロックｌＯは、工程に対応した処理
装置群１１（例えば工程Ａ用装置１１Ａ、工程Ｂ用装置
１１Ｂ　、工程Ｃ用装２ｉ１１Ｇ　、工程り用装置１１
０　）　、倉庫１２、各処理装置と倉庫１２間に半導体
ウェハを収納したカセットを搬送する搬送装置１３、搬
送装置１３を制御する搬送コントローラ１４、処理装置
群１１と搬送コントローラ１４を制御するコンビ、ユー
タ１５及びインターフェースライン２１〜２５により構
成されている。

ホストコンピュータｌは、第２図に示す組合せフローに
沿ったカセットの流れと各搬送ブロックに設置されてい
る倉庫１２の専用機と共用機の利用情報（棚の空き状態
）を管理し、専用機と共用機に使用区分されている倉庫
１２をインターフェースライン２６を介して制御するコ
ンピュータ１６、倉庫間のカセットを搬送する搬送型２
１１７を制御する搬送コントローラ１８、前工程Ｘの倉
庫を制御するコンピュータ、を夫々インターフェースラ
イン２６〜２９により制御する。倉庫１２を制御するコ
ンピュータ１６は処理装置群１１を制御するコンピュー
タ１５とインターフェースライン３０で接続されている
。

第３図は倉庫１２の棚構成を示す実施例であり、特定し
た工程の保管区分と、この保管区分が満杯となった時に
対応するカセットを保管する共用保管区分とにより区画
される。すなわち専用機１２Ａは処理装置１１１Ａに対
応した工程の保管区分であり、専用機１２Ｂは処理装２
２１１Ｂに対応した工程の保管区分、専用機１２Ｇは処
理装ｆｉｌｌ（：に対応した工程の保管区分、専用機１
２Ｄは処理装ｆｉｌｌＤに対応した工程の保管区分であ
る。そして共用機１２Ｚは各専用機の何れかが満杯とな
った時にカセットを保管する区分である。

カセットの保管状況について説明すると、カセット４１
〜４３は処理装置１１Ａに対応する工程のカセットであ
り、これ等は専用機１２Ａの区分に保管される。同様に
カセット５１〜５４は処理装ｆｉｌｌＢに対応する工程
のカセットであり専用機１２Ｂの区分に保管され、又カ
セット６１〜６６は処理装２１１１Ｇに対応する工程の
カセットなので専用機１２Ｇの区分に保管され、カセッ
ト７１〜７４は処理装置１１Ｄに対応するカセットであ
り、よって専用機１２Ｄの区分に保管される。

更にカセット８１は処理装置ｆｉｌｌｃに対応するカセ
ットであるが、専用機１２Ｃが満杯なので共用機１２２
の区分に保管される。

次に上記第１図乃至第３図に基づいてカセットの自動搬
送（倉庫間及び搬送ブロック間の自動搬送）について説
明する。カセットの組合せフロー及びロットナンバーは
ホストコンピュータｌにて管理されている。前工程Ｘの
コンピュータから工程番号とロットナンバーによる終了
通知がホストコンピュータｌに出力されると、ホストコ
ンピュータｌは工程番号を次の処理工程の番号Ａとし、
更にその工程番号とロットナンバーにより処理装置はｌ
ｌＡであり、かつ倉庫は１２と判断し工程番号Ａに対応
した専用機１２Ａの空き棚の有無を判断する。専用機１
２Ａに空き棚が有る場合は搬送コントローラ１８に搬送
指示を出力し、コンピュータ１６には工程番号とロット
ナンバーが出力される。

コンピュータ１６は専用機１２Ａ内にロットナンバーに
対応した棚情報を作成し、倉庫１２に出力する。

そして搬送装置ｉ１７にて搬送されてきたカセットは倉
庫１２の持つ棚情報の場所に入庫される。

一方向工程Ｘのコンピュータによる終了通知がホストコ
ンピュータｌに出力され、専用機１２Ａに空き棚が無い
場合はホストコンピュータｌは共用機１２Ｚの空き棚の
有無を判断し、空き棚が有る場合、搬送コントローラ１
８に搬送指示を出力し、更にコンピュータ１６に工程番
号とロットナンバーを出力する。コンピュータ１６では
共用機１２２内におけるロフトナンバーに対応した棚情
報を作成し、倉庫１２に出力する。これにより搬送型ｇ
ｌ１７を経て搬送されてきたカセットは倉庫１２の持つ
前記棚情報の場所に収納される。

又専用機１２Ａ〜１２Ｄ、共用棚１２２がともに満杯と
なっているとき、ホストコンピュータｌから搬送コント
ローラ１８への搬送指示は出力されず、各欄が空くまで
そのカセットは前工程Ｘの倉庫内に保管された状態とな
る。

〈発明の効果〉 以上詳細に説明した様に、本発明によれば倉庫内を搬送
ブロック内の各工程毎に対応したカセットを保管する専
用機と、搬送ブロック内の全工程に対応したカセットを
保管する共用機とに区画したので次の様な効果を発揮し
得る。

■工程間の物流の変化にも効率良く倉庫の棚を対応させ
て使用できる。

■倉庫間における自動搬送の搬送効率が向上する。

■ライン内の製造装置に待ち時間等が生ぜず使用効率が
著しく向上する。

■更に物品の滞留時間が短縮される為ターンアラランド
・タイム（Ｔ−Ａ−Ｔ）の短縮が期待でき、よって自動
搬送の迅速化が図られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の自動搬送装置のブロック図、 第２図は、搬送組合せフロー図、 第３図は、倉庫の棚構成を示す図、 第４図は、従来の搬送システムのブロック図、第５図は
、搬送組合せフロー図、 第６図は、従来の棚構成を示す図である。 ｌ・・・ホストコンピュータ、　１０−・・搬送ブロッ
ク、１１−・・処理型δ群、　　　１２・・・倉庫。 １２Ａ、１２Ｂ　−・・専用機、　　１２２−・・共用
棚。 １３・・・搬送装置、　　１４．１８−・・搬送コント
ローラ。 １５．１６・・・コンピュータ。 ２Ｄ ’　ＪＪｔ／）豪汐ｌｕ：Ｊ’−７ｊｌ’ｌＥ？第３図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　半導体ウェハが収納されたカセットの工程組合せフロ
   ーに沿った搬送と、工程に対応した処理装置群を有する
   搬送ブロック内に設置した倉庫の利用情報と、前記倉庫
   にカセットを搬送する搬送装置を制御する為の搬送コン
   トローラとを夫々コンピュータによって制御する半導体
   ウェハの自動搬送装置であって、 前記倉庫は、特定した工程に対するカセットの保管区分
   である専用棚と、該専用棚の何れかが満杯となった時そ
   のカセットの保管区分となる共用棚とに区画されたこと
   を特徴とする半導体ウェハの自動搬送装置。