JPH06206149A

JPH06206149A - 生産ライン

Info

Publication number: JPH06206149A
Application number: JP32335392A
Authority: JP
Inventors: Takemasa Iwasaki; 武正岩崎; Sadao Shimosha; 貞夫下社; Hiroto Nagatomo; 宏人長友; Tadashi Yamada; 正山田; Makoto Terachi; 誠寺地; Yoshikazu Kobayashi; 吉和小林
Original assignee: Hitachi Hokkai Semiconductor Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Renesas Semiconductor Package and Test Solutions Co Ltd
Priority date: 1992-12-02
Filing date: 1992-12-02
Publication date: 1994-07-26

Abstract

(57)【要約】【構成】半導体生産のように清浄度を必要とする加工処
理工程内の作業で、複数の処理設備に対して搬送ハンド
リング設備でワ−クを受け渡す事が必要である生産ライ
ンにおいて、処理工程外（生産ライン）と工程内の同種
設備グル−プ間と各処理設備の各領域をバッファを介し
てつなぎ、各領域で利用する搬送ハンドリング機器の種
類を分けてラインレイアウトを構築する。【効果】本発明によれば、生産ラインの自動化も段階的
構築が可能であり、時間的にもコスト的にも効果的な開
発が可能とる。又、搬送ハンドリング機器の使用目的を
分類しているので、技術進展の早いこの分野の世代交代
にも柔軟に対応できるので、この応用範囲はきわめて有
用なものとなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】本発明は、半導体の製造ライン等に採用し
て好適な生産ラインに関する。

【０００２】

【産業上の利用分野】

【０００３】

【従来の技術】従来の半導体のＦＡ技術については、三
菱電機技法、Vol.63、No.11、1999に発表された「半導
体のＦＡ技術」と題する文献、ＪＭＡプロダクション
マネージメント 1990年７月号（JMA PRODUCTION MAN
AGEMENT JULY 1990)に発表された「製造工程が複雑で変
化の多い半導体工場のＦＡ」と題する文献、特公昭64-6
540号公報、特開昭63-57158号公報及び特開平2-117512
号公報に記載されているような自動化ラインのレイアウ
トとその管理制御システムが知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、自動
化ラインを構築した内容やそのレイアウトについては記
載されているが、段階的構築、時間的、コスト的構築等
の効果的なレイアウト方法については特に配慮がなされ
ていなかった。

【０００５】本発明はこのような課題を解決した生産ラ
インを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の生産ラインは、外部より搬入した素材に多
数の加工処理を加えて製品を生産する生産ラインにおい
て、多数の加工処理工程から複数工程を抽出して加工処
理単位を構成し、該加工処理単位を複数集めて加工処理
単位群を構成し、それぞれの加工処理単位を対峙させた
共通したエリアを設け、素材を搬送する手段を外部より
上記共通エリアに搬送する第１の搬送手段と、素材を上
記共通エリアにおいて上記一つの加工処理単位から別の
加工処理単位へ搬送するための第２の搬送手段と、素材
を上記共通エリアから上記加工処理単位に搬送する第３
の搬送手段と、素材を上記加工処理単位内で搬送する第
４の搬送手段とから構成し、それぞれの搬送手段を別異
の搬送手段で構成したことを特徴とする。

【０００７】

【作用】本発明は、場外搬入から作業着手までの処理対
象物の搬送経路とその手段に着目したことにより、対象
ラインのレイアウトが容易に構築できる。更に、自動化
ラインへの段階的構築も可能となる。

【０００８】

【実施例】図１は、例えば半導体を対象とした生産現場
（又はライン）の全体レイアウトの斜視図である。通
常、半導体の生産は、素材（ウェハ）をラインに投入
し、回路形成、成膜工程を繰返しながらウェハ上に完成
品を作り込む。そして、テストにより良否判別テストに
より良品（完成品）をチップ上から切り出し、封止・組
立て後に製品テストを行ない、完成品を選別し、出荷す
る。

【０００９】通常、素材である鏡面ウェハは、運搬用カ
セットに入れてメーカからトラックで工場に運び込ま
れ、外気等に触れた部分に附着した異物を除去するため
にクリーニングをした後、例えば２階に位置した作業事
務所１４に運び込まれ事務所入出庫ストッカ１３から素
材である鏡面ウェハを投入する。投入された鏡面ウェハ
は、例えば事務所入出庫ストッカ１３から昇降装置６を
経由してライン入出庫ストッカ１２に自動搬送され一時
保管する。そして、必要に応じて取り出し、初工程であ
る表面酸化処理後に管理単位であるロット（製品）にま
とめられ、予め決められた毎日の投入量に応じて、複数
ロットを発番し、各々をケースに入れて、又、保管す
る。この場合、初工程であるストッカ１があるところま
で搬送してロットを形成する場合も有るし、ライン入出
庫ストッカ１２から人手で取り出して処理後に又、入庫
する場合も考えられる。

【００１０】多くの半導体生産ラインは、同種機能を持
つ設備群を集めたジョブショップ生産形態を採用してお
り、例えば、高い清浄度が要求されている作業エリア１
１のようにストッカ１、エリア内ロボット９、複数のエ
リア内設備８で１つのショップを形成している。そし
て、同種機能を持つ作業エリア１１’群を必要に応じて
設置し、消防法等の規制により、ある面積単位に、図で
示したような防火壁１０を設けたラインが構成される。
この防火壁は、火災等の時に完全に作業エリアを隔離す
る必要があるため、床上や床下にある空気の清浄度を維
持している層流部分や工程間搬送レ−ル２や作業者用通
路もただちに遮断できる構造となっている。各作業エリ
ア１１，１１’群間は、工程間搬送レール２、施回装置
５で閉ループ走行路を形成し、その上を搬送車３を走ら
せて製品を自動搬送する。製品を搬送する場合は、搬送
要求に応じて効率的な搬送制御を搬送制御装置７で行な
っており、搬送先に到着した搬送車３は、シフタ４によ
りストッカ１の出入口に移動し、ストッカへ製品を渡
す。

【００１１】ラインでは、ロット編成を完了した製品を
工程間搬送レール２と旋回装置５からなる通路内搬送系
を経由して該当するストッカ１に収納し、処理要求に応
じて、エリア内ロボット９であるエリア内搬送系を介し
て、必要なエリア処理設備９に製品を搬送する。この処
理が完了すると、再びエリア内搬送系を経由してストッ
カ１に収納され、通路内搬送系を介して、又は、隣の作
業エリアに直接ストッカ内で受け渡しができるスルーポ
ートストッカ１５’により、次工程の作業エリアにある
ストッカに製品を搬送する。そして、又エリア内搬送系
を経由して、次工程処理を行なう作業手順を繰り返さ
せ、最終工程であるストッカ１に製品が搬送される。こ
の最終工程でも、製品はエリア内搬送系を介して処理し
た後に、再びストッカに戻り通路内搬送系を経由し、閉
ル−プ搬送系を離れてライン入出庫ストッカ１２に搬送
され昇降装置６を経て、作業事務所１４にある事務所入
出庫ストッカ１３に保管され、適宜、良品検査のために
搬送される。

【００１２】このように、搬送系を分散することによ
り、自動化の順序構築が可能となり、稼働までの開発期
間も短くなる。

【００１３】この結果、作業エリア１１，１１’は、自
動化されていても、人手による作業であっても問題はな
い。

【００１４】図２は、ストッカの断面構造と工程間搬送
系の構造を模式的に示した斜視図である。ストッカ１
は、保管棚とスタッカクレーン６とが用意されており、
更に、カセットケース８を収納した保管棚７の入出庫端
末兼コントローラ９による番地付け管理が行なわれ、入
出庫要求に応じてスタッカクレーン６により、搬送系の
入出庫口５や人手入出庫用口等へカセットケース８を出
庫できる。逆に、入出庫口に置かれたカセットケース８
を入庫し、保管棚７へ収納する。

【００１５】例えば、ストッカ１にカセットケース８を
搬送する場合、工程間搬送レール２を走行してきた搬送
車３はシフタ４で停止し、工程間搬送レール２の搬送方
向と平行にシフタ４がそのまま、入出庫口５まで移動す
る。そして、ストッカ１のスタッカクレーン６がカセッ
トケース８を把握して保管棚７に自動的に収納する。
又、出庫し搬送する場合は、空の搬送車３を回旋させて
この逆の順序で出庫作動を行なう。

【００１６】このようなストッカ１は自動化された作業
エリアでも人手作業でも適用でき、入出庫端末兼コント
ローラ９から入出庫命令を出し、入出庫作業が可能とな
り、自動化への段階的な構築が可能となる。

【００１７】図３は、旋回装置の構造を模式的に示した
斜視図である。これは、図１に示したように閉ループ状
に構成した搬送路上での搬送車２の走行方向を直角方向
に回転させるものである。例えば作業エリアと平行に構
成した工程間搬送レール（Ａ）１上を走行してきたもの
に対して、直角方向に設けられた工程間搬送レール
（Ｂ）２にカセットケース５を搭載した搬送車２を旋回
装置３上に停止させ保持したまま９０度回転させ、そし
て、再び搬送系４を走行させて工程間搬送レール１と直
角方向に設けられている工程間搬送レール２（Ｂ）に回
転するもので、最短の閉ループ搬送路を構成できる。
又、閉ループ搬送路内のバイパス路も同様に構築できる
ので搬送効率のよい搬送台車の運行が可能となる。

【００１８】図４は、搬送路におけるシフタ構造を模式
的に示した斜視図である。これは図１に示したように、
搬送路上の走行台数がストッカにカセットを受け渡す方
式に関するものである。例えば、工程間搬送レール
（Ａ）１と工程間搬送レール（Ｂ）２の間にストッカ受
け渡し口が→方向に有る場合、カセットケース５を搭載
した搬送車４をシフタ３上に停止させて、ストッカのあ
る方向に搬送車４を保持したまま工程間搬送レールと同
じ方向にそのままスライドさせる。そして、カセットの
受け渡し作業はストッカ内に保持しているスタッカクレ
ーンでのカセットの受け渡しを行なうため、受け渡し機
構を新たに設置する必要がなくなり、設備投資額を少な
くできる。尚、スライド３をカセット受け渡し作業完了
後、工程間搬送レール（Ａ）１と工程間搬送レール
（Ｂ）２の間の元の搬送路に戻り閉ループ搬送路を形成
する。又、スライド３に搬送車４と保持したまま→方向
に移動した後に工程間搬送レール（Ａ）１と工程間搬送
レール（Ｂ）２の間に閉ループ搬送路形成するため、ス
ライド後にも他の搬送車が走行できるように工程間搬送
レール（Ａ）１のような搬送レールを設けている。

【００１９】図５は、工程間搬送システムの構造を示し
た斜視図である。これは、図１に示したように工程間搬
送レール６と搬送車１の関係を示したもので、レールホ
ルダ７に吊り下げられた工程間搬送レール６上に、例え
ばカセットケース２を搭載した。例えば、吊り下げ式の
搬送車１を浮上させてガイド８で誘導し、走行させる方
式の例である。工程間搬送レール６内にあるエア供給管
４から供給された圧縮エアがエア吹出孔５から噴き出さ
れカセットケース２を搭載した搬送車１を浮上させる。
そして、工程間搬送レール６内にあるリニアモータ３に
より搬送車１に対して進行方向に津からを与え走行させ
る。吊り下げ式の搬送車は軒下の低い場合に有効な方式
である。

【００２０】図６は、水平方向に離れた異なるクリーン
ルーム間搬送システムの配置例を示す平面図である。例
えば、クリーンルーム（１）１は、図１で示したような
ジョブショップ型設備レイアウトで中央道路を中心にク
リーン度の高い作業エリア７と設備メンテ用の保全エリ
ア８とから構成されている。このクリーンルーム（１）
１には、地下と連絡しているクリーン階段１４の他に作
業エリア７を管理統制する作業事務所９、部材倉庫１１
や作業者の入退室用のエアシャワー室１０、材料や完成
品等の入出用の中央出入口１６がある。又、クリーンル
ーム（２）２も作業エリア７’の他にエアシャワー室１
０’、作業事務所９’が配置されており、この２つの異
なるクリーンルームの間には通路１２、休憩室１５や建
屋全体のユーティリティ１３がある。

【００２１】更に、このクリーンルーム（１）１内にス
トッカ（１）３とクリーンルーム（２）２内にストッカ
（２）４が配置されており、その間を天井走行型のクリ
ーンルーム間搬送系５が有る例を示す。このクリーンル
ーム間搬送系５は、図１と同様に、例えば、クリーンル
ーム（１）１で作業完了したロットをストッカ（１）３
に格納した後に、必要に応じて次のクリーンルーム
（２）２に有る工程に送る場合、該ロットをケースに収
納し搬送車６に搭載し、クリーンルーム間搬送系５を経
由して、ストッカ（２）４に搬送する。そして、ロット
の再生作業や空ケース等の返却にも同様に利用できる。
このような方法により、高いクリーン度が要求される作
業エリア間で作業者がエアシャワー室を２回も通過する
手間や搬送工数が削減できるだけでなく搬送時間の短縮
が可能となり、他ラインの能力を有効に活用した生産や
２つのクリーンルーム間が擬似的に１つの作業エリアの
ような工程として物流の流れ化が実現できる。この結
果、待ち時間が削減でき製作期間も従来より大巾に短縮
でできる。

【００２２】図７は、垂直方向に離れた異なるクリーン
ルーム間搬送システムの配置例を示した斜視図である。
これは、クリーンルーム（１Ｆ）９とクリーンルーム
（２Ｆ）７の間に昇降装置２を設け、クリーンルーム
（１Ｆ）９のストッカ（３）３とクリーンルーム（２
Ｆ）７のストッカ（１）１をバッファとして備えた例で
ある。例えば、クリーンルーム（２Ｆ）７の作業エリア
で処理を完了したロットが、工程間搬送レール（１）４
を経由して搬送車５で運ばれ、ストッカ（１）１へシフ
タ６で送り込まれ保管される。そして、必要に応じて該
ロットを搭載した搬送車５は搬送レールとともに、シフ
タ６でクリーンルーム（１Ｆ）９に送られ、そのまま工
程間搬送レール（２）８を経由して要求元まで自動的に
搬送する。このような搬送設備により、１階、２階に限
らず階上、階下に有るクリーンルーム間の効率的な搬送
ができる。

【００２３】高いクリーン度が要求される作業エリア間
で作業者がエアシャワー室を２回も通過する手間や搬送
工数が削減できるだけでなく搬送時間の短縮が可能とな
り、他ラインの能力を有効に活用した生産や２つのクリ
ーンルーム間が擬似的に１つの作業エリアのような工程
として物流の流れ化が実現できる。この結果、待ち時間
が削減でき製作期間も従来より大巾に短縮でできる。

【００２４】図８は、全体処理フローとバッファ機能の
関係を概念的に示した図である。例えば、半導体のよう
にプロセスの処理時間が大きく異なっているプロセス
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，１−１，１−２，１−３，１−４を→
印で示したように繰り返して生産する場合には、ジョブ
ショップ生産のようにバッファ機能が必要となる。そし
て、各プロセスに設けたストッカ２−１，２−２，２−
３，２−４でストック容量がオーバーした時は中央のバ
ッファストッカ３に……→印のように一時的に退避さ
せ、ライン全体の能力調整を行ないながら生産を管理・
統制している。又、保有プロセスのトラブルや能力不足
で作業ができなかったり、建屋構造上の耐荷重や雰囲気
制約問題等により別のライン４で生産依頼を行なうこと
も有る。そして、プロセス処理完了後、例えばテスト工
程などの最終工程である処理Ｅ５に製品を送り、完成
品の特性評価を行なう。バッファ機能が必要な理由は処
理時間が異なるためプロセス内やプロセス間のタクトタ
イムを調整して所謂ダンゴ状態を無くすように平準化生
産を行なったり、プロセス設備・ストッカ・工程間搬送
系・工程内搬送系の能力調整に用いる。又、処理対象物
の着工順序を変更して設備トラブル、品質不良に起因し
た生産遅れを挽回し、顧客納期を遵守したり、物理的に
制約の有るストッカ容量を確保するために退避させる手
段としても用いる。この結果、多品種製品の同時生産ラ
イン化も可能となる。更に、バッファ容量の適正な管理
により仕掛りの削減による製作期間の短縮ができ、先入
先出管理の徹底による製作期間のバラツキも少なくでき
る。このようにバッファは処理対象物の作業を着手する
順番をコントロールできる。

【００２５】図９は、ストッカの平面図である。図１に
示すように、中央通路６に対して垂直方向に設けられた
２つのエリア内通路７，７’に入出庫サービスができ、
しかもこのストッカに接した処理エリア８，８’８”を
設け、処理対象物であるロットを入庫バッファリングし
各処理設備に供給・回収し、その後他の処理エリアに出
庫するストッカ１がある。これは、処理エリアが同種の
処理している場合に適している。このストッカ１には、
工程間搬送レーン２を介して、他の処理エリアに有るス
トッカから搬送車処理完了した該ロットを搭載して搬送
し、シフタ５により搬送車９をストッカ１に移動する。
そして、スタッカクレーン３のハンドにより該ロットを
把握し、保管棚４に移動し、保管する。その後、シフト
５元に戻る。この時、保管棚４は、コントローラ１０に
より番地付け管理されており、上位システムから入手し
たり、スタッカクレーンのハンドに付いたＩＣカードの
通信用の光、バ−コ−ド、ピン情報を識別できる一入庫
時に識別した該ロット番号と保管棚番地を登録・管理す
る。そして、出庫要求に応じたロットを選択・識別し該
当処理エリア例の入出庫口へ出庫する。処理完了したロ
ットが処理エリアから入庫されるとロット番号を照合し
た後に、スタッカクレーン３で再び保管棚４に収納さ
れ、必要に応じ他の処理エリアへ工程内搬送により搬送
される。この結果、処理エリア間のつなぎの自動化が可
能となり、搬送工程が削減できるだけでなく、処理時間
の違うロットのタフト合わせや処理エリア内の仕掛り量
をコントロールできるのでこのようなストッカでライン
間搬送を行なえるように全体の仕掛り量削減による工完
短縮が可能となる。

【００２６】図１０は、ストッカの正面図である。工程
間搬送系から搬送されるロットを要求に応じて図７のス
トッカ１の処理エリア例の入出庫口を表している。例え
ば、半導体ラインで自動化された処理エリアでは、工程
内搬送入出庫口５からロットの入出庫を行なう。処理エ
リア例に該ロットを出庫する場合、ロットケース蓋７を
自動的に外し、例えばロボット付アームハードのような
ケース内のウェハカートリッジ８を把握し、該当処理設
備に自動搬送する。その後は、ケース蓋７は元のように
閉じた状態でストッカ内に格納する。処理完了後は、上
記システムとのリンケージで再び工程内搬送入出庫口５
にケース蓋７を開いた状態でロットケースを待機させ、
処理完了したウェハを収めたカートリッジを自動的に搬
送ハンドリング手ケースに納めた後にケース蓋７を閉じ
てストッカ１に保管する。

【００２７】このように、処理エリア内はケースから出
してカートリッジで搬送ハンドリングし、処理エリア外
のストッカ内や工程間搬送時ではケースに納めて管理す
ることにより、異物による歩留り低下を防止している。
一方、人手処理エリアでは、出庫用端末２にストッカ１
内の全体仕掛り量や作業の特急有無・時間制限工程のあ
るロットの他に前後工程の作業状況が表示できるので、
作業者が先入れ先出しや、特完作業指示されたロットの
順に出庫指示を行なう。これにより、製作期間の短縮や
工間分布のバラツキを押さえることが可能となる。その
結果、人手出庫口４に要求したロットケース６が自動的
に出庫されるので該処理設備まで人手搬送処理を行な
う。その後、再び作業者が人手入庫口３まで回収し、入
庫指示すると、ストッカ１に保管される。この場合、自
動化された処理エリアでも、搬送系のトラブルが発生し
た時でも有効に活用できるので、このような複数の入出
庫口を備えたストッカでも、どちらか１つに限ったスト
ッカでも備えることができる。これにより、自動化ライ
ンの段階的な順次構築が可能となる。

【００２８】図１１は、スルーポート・ストッカの平面
図である。この図は、図９のストッカを２台併設し片側
の処理の異なった処理エリア専用に設けたストッカであ
る。各ストッカ１，２には、コントローラ９，１０を備
えてありスタッカクレーン（１）（２）３、４、保管棚
（１）（２）７、８が有り、工程間搬送レール１５から
きた搬送車１３、１４をシフタ１１、１２でストッカ
１、２に移動させることができる。そして、両ストッカ
間にスルーポート（１）（２）５、６を設け、２つの処
理エリアに対応してストッカ間をスタッカクレーン
（１）（２）３、４のみでロットの受け渡しを可能とし
ている。この結果、シフタ１１、１２や工程間搬送シス
テムを利用しないで次工程に該ロットを搬送しているの
で、搬送効率を大巾に向上できる。

【００２９】図１２は、半導体生産ラインのクリーンル
ームの断面図を示したものである。中央通路１を中心に
両側にプロセス別に処理エリア（１）（２）４、５を設
け該処理を行なう。処理対象ロット９を保管・格納する
ためのストッカ（１）（２）２、３がある。そして、こ
の処理対象ロット９は工程間搬送系８を介して次工程の
処理エリアに搬送し、これを繰り返し生産する。清浄度
が要求される半導体のラインでは、ダウンフロー方式を
採用するため、処理エリア（１）（２）４、５の上にＨ
ＥＰＡフィルタ（１）（２）６、７を設置し床下までの
清浄度を保った空気の循環性を確保するためにリターン
用空気を分離する壁１２を設け、更に、グレーチング構
造の床１０を採用としている。又、中央通路にもＨＥＰ
Ａフィルタ（３）１１を設けてクリーンな環境の確保に
よる搬送中の発塵による付着異物の除去するために、こ
のような床下構造により、ＨＥＰＡフィルタとの間の循
環性を高めたため効率的な高清浄度の空気の流れを、裸
ウェハを処理する領域の必要最小限度のエリアを効率的
に確保できる。

【００３０】最後に、クリーンルームにおける空気の流
れについて説明する。図１３は、クリーンルームのベイ
群の中央通路に平行な断面図を示す。ベイ１は天井にＨ
ＥＰＡフィルタ２を備え、床の一部にグレーチング３を
備え、ファン４より送風することにより、天井から床へ
のクリーンエアの一様な流れを作る。

【００３１】ベイ１の周囲をパーテーション５で囲み、
両側の処理域６にウエハ処理装置７を並べ、ウエハ処理
装置７のウエハの投入排出を行う部分を中央の作業域８
へ向ける。中央の作業域８で自動搬送車または作業者が
ウエハ処理装置７相互のウエハ搬送を行う。ウエハ搬送
時に発生する塵埃は直ちにグレーチング３を通して床下
へ排除され、ウエハを汚染することがない。

【００３２】ベイ１と隣のベイの間に保全域９を設け
る。保全域９では保守作業者が、ウエハ処理装置７に対
して、材料の供給、定期点検交換、修理等の保全を行
う。

【００３３】保全域９では隣のベイ１で床下に流れ込ん
だクリーンエアがファン４の吸入口に向かって還流し、
床から天井へのクリーンエアの流れとなる。保全域９で
は、ベイ１で発生した塵埃が通過し、保守作業時にも塵
埃が発生するため、ベイ１よりもクリーン度が低いが、
ウエハとは隔離されているため問題は無い。

【００３４】ベイ１と保全域９とを隣接して交互に配置
するので、クリーンエアが循環する経路が短くなり、フ
ァン４の動力を軽減することができる。循環するクリー
ンエアの空調のため、クリーンルームの外部よりダクト
１０により空調したエアを供給する。

【００３５】

【発明の効果】本発明によれば、生産ラインの自動化も
段階的構築が可能であり、時間的にもコスト的にも効果
的な開発が可能とる。又、搬送ハンドリング機器の使用
目的を分類しているので、技術進展の早いこの分野の世
代交代にも柔軟に対応できるので、この応用範囲はきわ
めて有用なものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す生産ラインの全体レイ
アウト構成の斜視図。

【図２】本発明の一実施例に使用されるストッカと工程
間搬送系の構造を示す斜視図。

【図３】本発明の一実施例に使用される旋回装置の斜視
図。

【図４】本発明の一実施例に使用されるシフタ機構の斜
視図。

【図５】本発明の一実施例に使用される工程間搬送シス
テムの斜視図。

【図６】本発明の一実施例におけるライン間搬送システ
ムの水平方向の概念を示す平面図。

【図７】本発明の一実施例におけるライン間搬送システ
ムの垂直方向の概念を示す斜視図。

【図８】本発明の全体処理フローとバッファ機能の関係
を概念的に示した図。

【図９】本発明の一実施例に使用されるストッカの平面
図。

【図１０】本発明の一実施例に使用されるストッカの正
面図。

【図１１】本発明の一実施例に使用されるスル−ポ−ト
ストッカの平面図。

【図１２】本発明の一実施例におけるクリーンルームの
断面図。

【図１３】本発明の一実施例におけるクリーンルームの
空気の流れを示す断面図である。

【符号の説明】

１…ストッカ２…工程間搬送レ−ル３…搬送車４…シフタ５…旋回装置６…昇降装置７…搬送制御装置８…エリア内設備９…エリア内ロボット１０…防火壁１１、１１’…作業エリア１２…ライン入出庫ストッカ１３…事務所入出庫ストッカ１４…作業事務所

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者長友宏人東京都小平市上水本町五町目20番１号株式会社日立製作所武蔵工場内 (72)発明者山田正東京都小平市上水本町五町目20番１号株式会社日立製作所武蔵工場内 (72)発明者寺地誠北海道亀田郡七飯町字中島145番地の１日立北海セミコンダクタ株式会社内 (72)発明者小林吉和北海道亀田郡七飯町字中島145番地の１日立北海セミコンダクタ株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】外部より搬入した素材に多数の加工処理を
加えて製品を生産する生産ラインにおいて、多数の加工
処理工程から複数工程を抽出して加工処理単位を構成
し、該加工処理単位を複数集めて加工処理単位群を構成
し、それぞれの加工処理単位を対峙させた共通したエリ
アを設け、素材を搬送する手段を外部より上記共通エリ
アに搬送する第１の搬送手段と、素材を上記共通エリア
において上記一つの加工処理単位から別の加工処理単位
へ搬送するための第２の搬送手段と、素材を上記共通エ
リアから上記加工処理単位に搬送する第３の搬送手段
と、素材を上記加工処理単位内で搬送する第４の搬送手
段とから構成し、それぞれの搬送手段を別異の搬送手段
で構成したことを特徴とする生産ライン。
【請求項２】外部より搬入した素材に多数の加工処理を
加えて製品を生産する生産ラインにおいて、多数の加工
処理工程から複数工程を抽出して加工処理単位を構成
し、該加工処理単位を複数集めて加工処理単位群を構成
し、それぞれの加工処理単位を対峙させた共通したエリ
アを設け、素材を搬送する手段を外部より上記共通エリ
アに搬送する第１の搬送手段と、素材を上記共通エリア
において上記一つの加工処理単位から別の加工処理単位
へ搬送するための第２の搬送手段と、素材を上記共通エ
リアから上記加工処理単位に搬送する第３の搬送手段
と、素材を上記加工処理単位内で搬送する第４の搬送手
段とから構成し、素材を外部より上記共通エリアに搬送
する大１の搬送手段及び上記共通エリアから上記加工処
理単位に搬送する第３の搬送手段には素材を一時貯留す
るためのバッファ機能を兼備させたことを特徴とする生
産ライン。
【請求項３】請求項１または請求項２記載の生産ライン
を複数集め、それぞれの生産ラインを第５の搬送手段に
よって連接させたことを特徴とする複合生産ライン。
【請求項４】素材を外部より搬入する際、共通エリア内
に搬入する際及び加工処理単位内に搬入する際に素材の
搬送態様を変更することを特徴とする請求項１または請
求項２記載の生産ライン。