JP3319564B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JP3319564B2 JP3319564B2 JP5861296A JP5861296A JP3319564B2 JP 3319564 B2 JP3319564 B2 JP 3319564B2 JP 5861296 A JP5861296 A JP 5861296A JP 5861296 A JP5861296 A JP 5861296A JP 3319564 B2 JP3319564 B2 JP 3319564B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば液晶表示
装置等に用いられるガラス基板等の搬送装置に関するも
のである。
装置等に用いられるガラス基板等の搬送装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板搬送は、例えば図１０、図１
１、図１２に示すようにカセットを用いて行われてい
た。図において、８は８ａ〜８ｄからなる処理装置、３
５は無人搬送車、９は基板、３６は基板９を収納するカ
セット、３７は基板９を収納したカセット３６を収容す
る保管庫、３８は無人搬送車３５と処理装置８間のカセ
ット受渡し用の移載装置である。基板９は処理装置８ａ
での処理が終了した後カセット３６に搬入され、所定枚
数の基板９が収納されたカセット３６は無人搬送車３５
に移載装置３８を用いて移載される。カセット３６を搭
載した無人搬送車３５は次工程の処理装置８ｂに移載装
置３８を用いてカセット３６を受渡す。以上のような手
順で基板９を収納したカセット３６は工程フローに従い
順次処理装置８ｃ、８ｄに搬送され基板９の処理が行わ
れる。また、処理装置間で処理待ちが生じた場合には基
板９を収納したカセット３６は保管庫３７に収容され
る。
１、図１２に示すようにカセットを用いて行われてい
た。図において、８は８ａ〜８ｄからなる処理装置、３
５は無人搬送車、９は基板、３６は基板９を収納するカ
セット、３７は基板９を収納したカセット３６を収容す
る保管庫、３８は無人搬送車３５と処理装置８間のカセ
ット受渡し用の移載装置である。基板９は処理装置８ａ
での処理が終了した後カセット３６に搬入され、所定枚
数の基板９が収納されたカセット３６は無人搬送車３５
に移載装置３８を用いて移載される。カセット３６を搭
載した無人搬送車３５は次工程の処理装置８ｂに移載装
置３８を用いてカセット３６を受渡す。以上のような手
順で基板９を収納したカセット３６は工程フローに従い
順次処理装置８ｃ、８ｄに搬送され基板９の処理が行わ
れる。また、処理装置間で処理待ちが生じた場合には基
板９を収納したカセット３６は保管庫３７に収容され
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の基板搬送装置は
以上のように構成されていたため、基板９をカセット３
６に搬出入する時間や無人搬送車３５と処理装置８間で
カセット３６を受渡しする時間等搬送のロスタイムが生
じる問題があった。また、基板の大型化に伴い基板を収
納したカセットの重量が過大となり、無人搬送車が故障
した場合等にカセットを人手で扱うことが困難になって
いる。さらに、液晶表示装置等においては高性能化、低
価格化のための歩留り向上が望まれており、そのために
は基板製造時の基板周辺雰囲気の管理が重要であるが、
基板はクリーンルーム内をカセットに収納された状態で
搬送されるため、基板周辺の雰囲気管理が充分でないな
ど問題があった。
以上のように構成されていたため、基板９をカセット３
６に搬出入する時間や無人搬送車３５と処理装置８間で
カセット３６を受渡しする時間等搬送のロスタイムが生
じる問題があった。また、基板の大型化に伴い基板を収
納したカセットの重量が過大となり、無人搬送車が故障
した場合等にカセットを人手で扱うことが困難になって
いる。さらに、液晶表示装置等においては高性能化、低
価格化のための歩留り向上が望まれており、そのために
は基板製造時の基板周辺雰囲気の管理が重要であるが、
基板はクリーンルーム内をカセットに収納された状態で
搬送されるため、基板周辺の雰囲気管理が充分でないな
ど問題があった。
【０００４】本発明は、上記のような問題を解決するた
めになされたもので、搬送のロスタイムを少なくすると
ともに、重量物の搬送をなくし、さらに基板周辺の雰囲
気管理を厳密に行うことにより高性能な基板を高歩留り
で形成できる基板搬送装置を提供することを目的とす
る。
めになされたもので、搬送のロスタイムを少なくすると
ともに、重量物の搬送をなくし、さらに基板周辺の雰囲
気管理を厳密に行うことにより高性能な基板を高歩留り
で形成できる基板搬送装置を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係る基板搬送
装置は、基板を一枚づつ搬送するとともに、内部が温
度、湿度および異物量が管理できるよう開閉自在な仕切
装置を備えた複数の所定形状のユニットを組合せ接続し
て密閉構造を構成し、基板上の識別記号を読み取る認識
装置と基板の向きおよび表裏を変換できる反転部とを有
し他の装置と接続可能な接続部を有する搬送路を備えた
基板搬送装置であって、基板は、その両面に倒れ防止エ
アーを吹きつけられて搬送路内を垂直に立てられた状態
で搬送されるものである。また、基板は基板ホルダーに
よってその端面を支持されているものである。
装置は、基板を一枚づつ搬送するとともに、内部が温
度、湿度および異物量が管理できるよう開閉自在な仕切
装置を備えた複数の所定形状のユニットを組合せ接続し
て密閉構造を構成し、基板上の識別記号を読み取る認識
装置と基板の向きおよび表裏を変換できる反転部とを有
し他の装置と接続可能な接続部を有する搬送路を備えた
基板搬送装置であって、基板は、その両面に倒れ防止エ
アーを吹きつけられて搬送路内を垂直に立てられた状態
で搬送されるものである。また、基板は基板ホルダーに
よってその端面を支持されているものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】参考例． 以下、この発明の基板搬送装置を説明するに先立ち、理
解を容易にするため、まず、類似した構成を備えた参考
例について説明する。図１は参考例の基板搬送装置の平
面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿った断面図、図３は図
１のＢ−Ｂ線に沿った断面図、図４は図１のＣ−Ｃ線に
沿った断面図、図５はコンピュータシステムによる制御
系統を説明するための模式図である。図において、１は
搬送装置、１ａ〜１ｇは搬送装置の１ユニットで接続す
ることにより任意のレイアウトの搬送装置１を構成する
ことができる。２は搬送路、３は搬送路２と処理装置８
ａ〜８ｄの接続部、４は基板の反転部、５は処理中基板
の保管部、６は処理前基板の投入部、７は処理済基板の
払出部、８は８ａ〜８ｄからなる処理装置、９は基板、
１０は搬送路２内の基板搬送テーブル、１０ａは搬送路
２から接続部３に基板９を移送するため水平に回転可能
な基板移送テーブル、１０ｂは基板移送テーブル１０ａ
上に基板９を停止させるための可動式ストッパー、１１
は基板搬送テーブル１０に設けられた基板浮上搬送用エ
アーまたは窒素の噴出口で、基板９の搬送方向に斜め前
方にエアーまたは窒素を噴出させるべく傾斜して設けら
ている。
解を容易にするため、まず、類似した構成を備えた参考
例について説明する。図１は参考例の基板搬送装置の平
面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿った断面図、図３は図
１のＢ−Ｂ線に沿った断面図、図４は図１のＣ−Ｃ線に
沿った断面図、図５はコンピュータシステムによる制御
系統を説明するための模式図である。図において、１は
搬送装置、１ａ〜１ｇは搬送装置の１ユニットで接続す
ることにより任意のレイアウトの搬送装置１を構成する
ことができる。２は搬送路、３は搬送路２と処理装置８
ａ〜８ｄの接続部、４は基板の反転部、５は処理中基板
の保管部、６は処理前基板の投入部、７は処理済基板の
払出部、８は８ａ〜８ｄからなる処理装置、９は基板、
１０は搬送路２内の基板搬送テーブル、１０ａは搬送路
２から接続部３に基板９を移送するため水平に回転可能
な基板移送テーブル、１０ｂは基板移送テーブル１０ａ
上に基板９を停止させるための可動式ストッパー、１１
は基板搬送テーブル１０に設けられた基板浮上搬送用エ
アーまたは窒素の噴出口で、基板９の搬送方向に斜め前
方にエアーまたは窒素を噴出させるべく傾斜して設けら
ている。
【０００７】１２は基板浮上用エアーまたは窒素の供給
配管、１３は温湿度制御器、１４は流量制御器、１５は
異物除去用フィルター、１６は温湿度制御器１３および
フィルター１５で管理されたエアーまたは窒素の搬送路
２への供給配管、１７は供給配管１６内を圧送されたエ
アーまたは窒素の搬送路２への噴出方向、１８はエアー
または窒素の供給部、１９は搬送路２からのエアーまた
は窒素の排気部、２０は搬送路２内の処理装置８との接
続用搬送テーブル、２１は接続部３の搬送テーブル、２
２は処理装置８の搬送テーブル、２３は搬送装置１のユ
ニット間または搬送路２と接続部３および接続部３と処
理装置８との仕切り用ゲートシャッター、２４は基板認
識装置、２５は搬送装置コントローラ、２６は処理装置
コントローラ、２７は搬送装置コントローラ２５および
処理装置コントローラ２６を管理するコンピュータシス
テム装置である。
配管、１３は温湿度制御器、１４は流量制御器、１５は
異物除去用フィルター、１６は温湿度制御器１３および
フィルター１５で管理されたエアーまたは窒素の搬送路
２への供給配管、１７は供給配管１６内を圧送されたエ
アーまたは窒素の搬送路２への噴出方向、１８はエアー
または窒素の供給部、１９は搬送路２からのエアーまた
は窒素の排気部、２０は搬送路２内の処理装置８との接
続用搬送テーブル、２１は接続部３の搬送テーブル、２
２は処理装置８の搬送テーブル、２３は搬送装置１のユ
ニット間または搬送路２と接続部３および接続部３と処
理装置８との仕切り用ゲートシャッター、２４は基板認
識装置、２５は搬送装置コントローラ、２６は処理装置
コントローラ、２７は搬送装置コントローラ２５および
処理装置コントローラ２６を管理するコンピュータシス
テム装置である。
【０００８】次に上記、参考例の基板搬送装置による基
板搬送について説明する。複数の処理前基板９を投入部
６に装填することにより、基板９は１枚づつ搬送路２の
搬送テーブル１０上に配置される。搬送テーブル１０上
に配置された基板９は、図２および図４ｂに示すよう
に、搬送テーブル１０に設けられたエアー噴出口１１か
ら搬送方向に斜め上向きに噴出されたエアーにより浮上
し搬送テーブル１０と非接触で搬送される。また搬送路
２内の雰囲気は温湿度制御器１３およびフィルター１５
によりクリーンかつ一定温湿度に保持され、異物付着に
よる欠陥発生を抑制するとともに基板の加工品質を維持
することができる。
板搬送について説明する。複数の処理前基板９を投入部
６に装填することにより、基板９は１枚づつ搬送路２の
搬送テーブル１０上に配置される。搬送テーブル１０上
に配置された基板９は、図２および図４ｂに示すよう
に、搬送テーブル１０に設けられたエアー噴出口１１か
ら搬送方向に斜め上向きに噴出されたエアーにより浮上
し搬送テーブル１０と非接触で搬送される。また搬送路
２内の雰囲気は温湿度制御器１３およびフィルター１５
によりクリーンかつ一定温湿度に保持され、異物付着に
よる欠陥発生を抑制するとともに基板の加工品質を維持
することができる。
【０００９】さらに搬送路２内の雰囲気は搬送装置ユニ
ット１ａ〜１ｇごとに管理可能で、基板９の加工状態に
合わせて雰囲気を制御することができる。次に搬送ステ
ージ１０上の基板９を搬送装置ユニット１ａから１ｂお
よび接続部３を経て処理装置８ａに投入する。搬送路２
から処理装置８ａへの基板９の搬送は、図３および図４
ｃに示すように、回転可能な搬送テーブル１０ａ上に可
動式ストッパー１０ｂを用いて基板９を停止させ、搬送
テーブル１０ａを９０°回転させることにより処理装置
８ａとの接続用搬送テーブル２０に基板９を移載できる
状態にした後、接続用搬送テーブル２０から接続部３の
搬送テーブル２１、処理装置８ａの搬送テーブル２２に
基板９を順次移載することにより行われる。このときゲ
ートシャッター２３を順次開閉することにより搬送路２
内の雰囲気と処理装置８ａ内の雰囲気が混じり合うこと
を防止できる。また、接続部３に基板９上の識別記号を
読み取る認識装置２４を設置することにより基板９の処
理状況を把握することができる。また、処理装置８の構
造により基板９の向きや表裏を変える必要が生じた場合
には反転部４を接続部３に追加設置することにより対応
できる。処理装置８ａでの処理が終わった基板９は一枚
ずつ順次搬送され、定められた工程に従い処理されたの
ち払出部７に搬送される。
ット１ａ〜１ｇごとに管理可能で、基板９の加工状態に
合わせて雰囲気を制御することができる。次に搬送ステ
ージ１０上の基板９を搬送装置ユニット１ａから１ｂお
よび接続部３を経て処理装置８ａに投入する。搬送路２
から処理装置８ａへの基板９の搬送は、図３および図４
ｃに示すように、回転可能な搬送テーブル１０ａ上に可
動式ストッパー１０ｂを用いて基板９を停止させ、搬送
テーブル１０ａを９０°回転させることにより処理装置
８ａとの接続用搬送テーブル２０に基板９を移載できる
状態にした後、接続用搬送テーブル２０から接続部３の
搬送テーブル２１、処理装置８ａの搬送テーブル２２に
基板９を順次移載することにより行われる。このときゲ
ートシャッター２３を順次開閉することにより搬送路２
内の雰囲気と処理装置８ａ内の雰囲気が混じり合うこと
を防止できる。また、接続部３に基板９上の識別記号を
読み取る認識装置２４を設置することにより基板９の処
理状況を把握することができる。また、処理装置８の構
造により基板９の向きや表裏を変える必要が生じた場合
には反転部４を接続部３に追加設置することにより対応
できる。処理装置８ａでの処理が終わった基板９は一枚
ずつ順次搬送され、定められた工程に従い処理されたの
ち払出部７に搬送される。
【００１０】一連の処理工程途中において、搬送装置１
および処理装置８の突発的な故障や装置メンテナンス等
により一時的に基板９を保管する必要が生じた場合、搬
送装置１内に保管庫５を適宜配置しておくことにより基
板９を搬送装置１外に取り出すことなく厳密に管理され
た雰囲気内で保管することができる。また、搬送装置１
の各ユニット１ａ〜１ｇ間にゲートシャッター２３を設
置することにより、搬送装置１の故障に対しては当該ユ
ニット１ａ〜１ｇのみクリーンルーム内に開放し修理す
ることが可能で、故障の影響を最小限にすることができ
る。基板９の搬送および処理は、定められた工程に従い
コンピュータシステム装置２７から処理装置コントロー
ラー２５および搬送装置コントローラ２６への指示によ
り行われ、また、工程中の基板９は、処理装置８との接
続部３に設置された認識装置２４からの信号等によりコ
ンピュータシステム装置２７で総括的に管理される。
および処理装置８の突発的な故障や装置メンテナンス等
により一時的に基板９を保管する必要が生じた場合、搬
送装置１内に保管庫５を適宜配置しておくことにより基
板９を搬送装置１外に取り出すことなく厳密に管理され
た雰囲気内で保管することができる。また、搬送装置１
の各ユニット１ａ〜１ｇ間にゲートシャッター２３を設
置することにより、搬送装置１の故障に対しては当該ユ
ニット１ａ〜１ｇのみクリーンルーム内に開放し修理す
ることが可能で、故障の影響を最小限にすることができ
る。基板９の搬送および処理は、定められた工程に従い
コンピュータシステム装置２７から処理装置コントロー
ラー２５および搬送装置コントローラ２６への指示によ
り行われ、また、工程中の基板９は、処理装置８との接
続部３に設置された認識装置２４からの信号等によりコ
ンピュータシステム装置２７で総括的に管理される。
【００１１】この参考例のものによれば、基板９を処理
が終了したものから一枚ずつ次工程に搬送することによ
り重量物の搬送をなくすとともに搬送のロスタイムを少
なくすることができる。また、搬送中の基板９周辺雰囲
気を異物および温湿度において厳密に管理するととも
に、基板９を搬送テーブル１０と非接触で搬送すること
により個体接触に起因する発塵を抑制しかつ基板の破損
を防止することができ、さらに工程中の基板９の処理状
況をコンピュータシステムにより総括的に制御および管
理できる構成にしたため、高性能な基板を高歩留りで製
造することができる。また、処理装置８との接続部３お
よび基板反転部４を有することにより様々な処理装置と
の接続が可能となり、さらに搬送路２のユニットごとで
の雰囲気管理や工程途中の基板９を一時的に収容する保
管部５を搬送装置１内に配置することにより故障時等へ
の対応を容易かつ迅速に行えるため、生産性の高い生産
ラインを構成することができる。
が終了したものから一枚ずつ次工程に搬送することによ
り重量物の搬送をなくすとともに搬送のロスタイムを少
なくすることができる。また、搬送中の基板９周辺雰囲
気を異物および温湿度において厳密に管理するととも
に、基板９を搬送テーブル１０と非接触で搬送すること
により個体接触に起因する発塵を抑制しかつ基板の破損
を防止することができ、さらに工程中の基板９の処理状
況をコンピュータシステムにより総括的に制御および管
理できる構成にしたため、高性能な基板を高歩留りで製
造することができる。また、処理装置８との接続部３お
よび基板反転部４を有することにより様々な処理装置と
の接続が可能となり、さらに搬送路２のユニットごとで
の雰囲気管理や工程途中の基板９を一時的に収容する保
管部５を搬送装置１内に配置することにより故障時等へ
の対応を容易かつ迅速に行えるため、生産性の高い生産
ラインを構成することができる。
【００１２】実施の形態１． 前述の参考例では、 基板９を水平に保持して搬送する方
式を示したが、本発明の実施の形態１の基板搬送装置
は、図６に示すように基板９を垂直にして搬送すること
により、基板９への異物付着防止に一層の効果が得られ
る。図において、２８は縦搬送テーブル、２９は基板ホ
ルダー、３０は基板９の倒れ防止エアー吹き出し口、３
１は倒れ防止エアーの吹き出し方向である。本実施の形
態のその他 の部分の構成は、参考例の図１〜図５に説明
したものにおいて、基板９を図６に示すように垂直に配
置したものと同じであるので詳細な図示及び説明を省略
する。即ち、基板９は、図６に示すように、基板ホルダ
ー２９によって下方からその端面を支持されるととも
に、その両面に倒れ防止エアー３１を吹きつけることに
よって垂直に保持される。本実施の形態によれば、基板
９への異物付着による欠陥発生を、参考例に示したもの
よりもさらに減少させ歩留りを向上させるとともに、搬
送装置の据え付け床面積を最少にすることができる。
式を示したが、本発明の実施の形態１の基板搬送装置
は、図６に示すように基板９を垂直にして搬送すること
により、基板９への異物付着防止に一層の効果が得られ
る。図において、２８は縦搬送テーブル、２９は基板ホ
ルダー、３０は基板９の倒れ防止エアー吹き出し口、３
１は倒れ防止エアーの吹き出し方向である。本実施の形
態のその他 の部分の構成は、参考例の図１〜図５に説明
したものにおいて、基板９を図６に示すように垂直に配
置したものと同じであるので詳細な図示及び説明を省略
する。即ち、基板９は、図６に示すように、基板ホルダ
ー２９によって下方からその端面を支持されるととも
に、その両面に倒れ防止エアー３１を吹きつけることに
よって垂直に保持される。本実施の形態によれば、基板
９への異物付着による欠陥発生を、参考例に示したもの
よりもさらに減少させ歩留りを向上させるとともに、搬
送装置の据え付け床面積を最少にすることができる。
【００１３】実施の形態２． 図７はこの発明の他の実施の形態を示す基板搬送装置の
断面図、図８は図７のＤ部分の詳細図である。図におい
て、３２は基板９の保持部、３３は搬送装置ユニット１
ａ〜１ｇ間の受渡し機、３４はガイドレールである。基
板９はベルヌーイの定理を応用した保持部３２により加
工面を下にして非接触保持された状態で搬送装置ユニッ
ト１ａ〜１ｇ内をガイドレール３４により搬送される。
また、搬送装置ユニット１ａ〜１ｇ間は受渡し機３３を
用いて基板９を移載する。本実施の形態によれば、基板
９への異物付着による欠陥発生をさらに減少させ歩留り
を向上させることができる。
断面図、図８は図７のＤ部分の詳細図である。図におい
て、３２は基板９の保持部、３３は搬送装置ユニット１
ａ〜１ｇ間の受渡し機、３４はガイドレールである。基
板９はベルヌーイの定理を応用した保持部３２により加
工面を下にして非接触保持された状態で搬送装置ユニッ
ト１ａ〜１ｇ内をガイドレール３４により搬送される。
また、搬送装置ユニット１ａ〜１ｇ間は受渡し機３３を
用いて基板９を移載する。本実施の形態によれば、基板
９への異物付着による欠陥発生をさらに減少させ歩留り
を向上させることができる。
【００１４】実施の形態３． 図９は実施の形態３を示す搬送装置の平面図である。搬
送装置１は所定形状のユニットの搬送装置１ａ〜１ｇを
接続することにより構成されているため、図９に示すよ
うに各ユニットの順序を変更する等任意のレイアウトを
選択することができる。本実施の形態によれば工程の変
更等に伴うレイアウト変更を容易に行うことができる。
送装置１は所定形状のユニットの搬送装置１ａ〜１ｇを
接続することにより構成されているため、図９に示すよ
うに各ユニットの順序を変更する等任意のレイアウトを
選択することができる。本実施の形態によれば工程の変
更等に伴うレイアウト変更を容易に行うことができる。
【図１】 この発明の基板搬送装置を説明するため、参
考例として説明する基板搬送装置を示す平面図である。
考例として説明する基板搬送装置を示す平面図である。
【図２】 図１の基板搬送装置の図１Ａ−Ａ線に沿った
断面図である。
断面図である。
【図３】 図１の基板搬送装置の図１Ｂ−Ｂ線に沿った
断面図である。
断面図である。
【図４】 図１の基板搬送装置の図１Ｃ−Ｃ線に沿った
断面図である。
断面図である。
【図５】 図１の基板搬送装置のコンピュータシステム
による制御系統を説明するための模式図である。
による制御系統を説明するための模式図である。
【図６】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図７】 この発明の実施の形態２による基板搬送装置
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図８】 図７の基板搬送装置の基板保持部を示す断面
図である。
図である。
【図９】 この発明の実施の形態３による基板搬送装置
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図１０】 従来のこの種基板搬送装置を示す平面図で
ある。
ある。
【図１１】 従来の基板搬送装置のカセットを示す図で
ある。
ある。
【図１２】 従来の基板搬送装置の無人搬送車を示す図
である。
である。
１ 搬送装置、１ａ〜１ｇ 基板搬送装置の１ユニッ
ト、２ 搬送路、３ 接続部、４ 反転部、５ 保管
部、６ 投入部、７ 払出部、８ 処理装置、９ 基
板、１０ 搬送テーブル、１０ａ 回転可能な搬送テー
ブル、１０ｂ 可動式ストッパー、１１ エアー噴出
口、１２ 基板浮上用エアー供給配管、１３ 温湿度制
御器、１４ 流量制御器、１５ 異物除去用フィルタ
ー、１６ 搬送路へのエアー供給配管、１７ 噴出方
向、１８ エアー供給部、１９ エアー排気部、２０
接続用搬送テーブル、２１ 接続部搬送テーブル、２２
処理装置搬送テーブル、２３ ゲートシャッター、２
５ 搬送装置コントローラ、２６ 処理装置コントロー
ラ、２７ コンピュータシステム装置、２８ 縦搬送テ
ーブル、２９ 基板ホルダー、３０ 倒れ防止エアー吹
き出し口、３１ 倒れ防止エアー吹き出し方向、３２
保持部、３３ 受渡し機、３４ ガイドレール。
ト、２ 搬送路、３ 接続部、４ 反転部、５ 保管
部、６ 投入部、７ 払出部、８ 処理装置、９ 基
板、１０ 搬送テーブル、１０ａ 回転可能な搬送テー
ブル、１０ｂ 可動式ストッパー、１１ エアー噴出
口、１２ 基板浮上用エアー供給配管、１３ 温湿度制
御器、１４ 流量制御器、１５ 異物除去用フィルタ
ー、１６ 搬送路へのエアー供給配管、１７ 噴出方
向、１８ エアー供給部、１９ エアー排気部、２０
接続用搬送テーブル、２１ 接続部搬送テーブル、２２
処理装置搬送テーブル、２３ ゲートシャッター、２
５ 搬送装置コントローラ、２６ 処理装置コントロー
ラ、２７ コンピュータシステム装置、２８ 縦搬送テ
ーブル、２９ 基板ホルダー、３０ 倒れ防止エアー吹
き出し口、３１ 倒れ防止エアー吹き出し方向、３２
保持部、３３ 受渡し機、３４ ガイドレール。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−139156（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−23616（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−51296（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−8324（ＪＰ，Ａ) 国際公開94／2396（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 49/07 H01L 21/02
Claims (2)
- 【請求項１】 基板を一枚づつ搬送するとともに、内部
が温度、湿度および異物量が管理できるよう開閉自在な
仕切装置を備えた複数の所定形状のユニットを組合せ接
続して密閉構造を構成し、前記基板上の識別記号を読み
取る認識装置と基板の向きおよび表裏を変換できる反転
部とを有し他の装置と接続可能な接続部を有する搬送路
を備えた基板搬送装置であって、 前記基板は、その両面に倒れ防止エアーを吹きつけられ
て前記搬送路内を垂直に立てられた状態で搬送されるこ
とを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項２】 基板は基板ホルダーによってその端面を
支持されていることを特徴とする請求項１記載の基板搬
送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5861296A JP3319564B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5861296A JP3319564B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09252040A JPH09252040A (ja) | 1997-09-22 |
| JP3319564B2 true JP3319564B2 (ja) | 2002-09-03 |
Family
ID=13089374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5861296A Expired - Fee Related JP3319564B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3319564B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101024644B1 (ko) * | 2004-01-30 | 2011-03-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유체를 이용한 유리 기판 반송 장치 |
| KR101451506B1 (ko) * | 2013-04-17 | 2014-10-17 | 삼성전기주식회사 | 비접촉 기판이송 반전기 |
Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
| KR100576814B1 (ko) * | 1999-11-12 | 2006-05-10 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 캐리어 운반 시스템 |
| KR20010070780A (ko) * | 2001-06-07 | 2001-07-27 | 박용석 | 액정표시장치용 유리기판 반송장치 |
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-
1996
- 1996-03-15 JP JP5861296A patent/JP3319564B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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|---|---|
| JPH09252040A (ja) | 1997-09-22 |
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