JP2000195919A - 搬送装置、搬送方法及び搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 全体として効率的な搬送が可能な搬送装置を
提供する。 【解決手段】 処理対象物を搬送する主搬送路と交差す
るように、複数の副搬送路が配置されている。主搬送路
と各副搬送路との交差箇所の各々に対応して、ストッカ
が配置されている。ストッカは、主搬送路及び対応する
副搬送路と、処理対象物の受渡しを行い、かつ処理対象
物を一時的に保管する。各副搬送路に対応して、処理装
置が複数台設置されている。処理装置は、対応する副搬
送路を搬送される処理対象物を受け取り、処理し、対応
する副搬送路に戻す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置に関し、
特に半導体装置や液晶表示装置の生産ラインに適した搬
送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】多くの半導体装置や液晶表示装置の生産
ラインでは、同種の機能を持つ処理装置をまめた装置
群、または装置群を複数合わせたさらに大きな装置群を
一単位として管理するジョブショップ生産形態が採用さ
れている。各装置群に含まれる複数の装置及びそれに付
属するローダ、アンローダが、パーティションで仕切ら
れた小部屋内に配置される。１つの装置群が配置された
小部屋は、ベイと呼ばれる。

【０００３】図９（Ａ）は、半導体装置の生産ラインを
構成する従来の搬送装置の平面配置図を示す。搬送装置
が配置される領域のほぼ中央に、図の横方向に延在する
主搬送路１００が配置されている。主搬送路１００の複
数の所定の位置から、副搬送路１０１が主搬送路１００
から枝分かれするように延びている。複数の副搬送路１
０１は、主搬送路１００の両側に配置されている。ある
１つの副搬送路１０１に着目すると、それは、主搬送路
１００の片側にのみ配置されている。１つのベイに１つ
の副搬送路が対応する。副搬送路は、ベイ内搬送路とも
呼ばれる。主搬送路１００及び副搬送路１０１は、処理
対象物、例えばウエハカセットを搬送する。

【０００４】各副搬送路１０１に対応してストッカ１０
２が配置されている。ストッカ１０２は、主搬送路１０
０と副搬送路１０２との間で、処理対象物の移送を行う
とともに、処理対象物を一時的に保管する。あるベイか
ら他のベイに処理対象物を移送するときには、処理対象
物が、移送元のベイのストッカ１０２及び主搬送路１０
０を介して移送先のベイのストッカ１０２まで移送され
る。すなわち、ベイに跨がって処理対象物を移送すると
きに、主搬送路１００が用いられる。従って、主搬送路
１００は、ベイ間搬送路とも呼ばれる。

【０００５】副搬送路１０１の周囲には、所定の処理装
置１０３が配置されている。処理装置１０３は、副搬送
路１０１を搬送されている処理対象物を受け取り、所定
の処理を行った後、当該副搬送路１０１に戻す。

【０００６】図９（Ｂ）は、従来の他の配置例を示す。
図９（Ｂ）の例では、主搬送路１００の片側にのみ副搬
送路１０１が配置されている。その他は、図９（Ａ）の
構成と同様である。図９（Ａ）の搬送装置は両側ベイ方
式と呼ばれ、図９（Ｂ）の搬送装置は片側ベイ方式と呼
ばれる。

【０００７】あるベイ内の処理対象物の移送先を決定す
る場合、その処理対象物の次工程の処理を行う処理装置
群を決め、その処理装置群が収容されているベイのスト
ッカを移送先とする。

【０００８】搬送装置内には、段取りの異なる種々の処
理を行うべき複数の処理対象物が存在する。段取りの異
なる処理対象物を処理するには、各処理装置において段
取り替え作業が必要になる。例えば、露光装置の場合に
は、フォトマスクの交換等の作業が必要になる。段取り
替え作業によるロスを少なくするために、同一の段取り
で処理可能な処理対象物を連続して処理するようにスケ
ジューリングすることが好ましい。このために、ストッ
カ１０２内に、同一段取りで処理できる処理対象物を複
数個保管しておき、処理装置に、同一段取りで処理され
る処理対象物を連続的に供給できるようにしておく。

【０００９】また、複数の処理対象物を同時にバッチ処
理する処理装置には、同一段取りで処理される処理対象
物をまとめて供給する必要がある。このためにも、スト
ッカ１０２内に、同一段取りで処理できる処理対象物を
複数個保管しておく必要がある。このように、ストッカ
１０２内には、種々の段取りで処理すべき処理対象物
が、各段取りごとに複数個保管される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】図９（Ａ）に示す両側
ベイ方式の搬送装置においては、ストッカ１０２と、そ
のベイ内の処理装置１０３との間の平均距離が短いた
め、ベイ内の搬送時間を短くすることができる。また、
主搬送路１００の両側に副搬送路１０１が配置されるた
め、主搬送路１００に、副搬送路１０１との接続点を多
く設けることができる。このため、段階的にベイを増や
していくことが容易である。しかし、ベイの数が増加す
るため、ベイ間搬送を含めた全体の搬送距離が長くなり
やすい。特に、主搬送路１００と副搬送路１０１との間
の受渡し回数が増加しやすい。

【００１１】図９（Ｂ）に示す片側ベイ方式の搬送装置
においては、ベイ間搬送を含めた全体の搬送距離を短く
し、主搬送路１００と副搬送路１０１との間の受渡し回
数を少なくすることができる。しかし、ベイ内の平均搬
送距離が長くなる。また、主搬送路１００に、副搬送路
１０１との接続点を多く設けることが困難であるため、
段階的にベイを増設したい場合には、本方式は適さな
い。

【００１２】また、図９（Ａ）及び（Ｂ）に示す搬送装
置では、あるベイで処理を終えた処理対象物を、次の処
理を行うベイに移送したい場合に、移送先のストッカ１
０２が満杯であったり故障していると、移送することが
できない。このような場合に対処するために、処理対象
物を仮に保管しておく仮置き用ストッカを定義してお
き、処理対象物を仮置き用ストッカに搬送する方法が採
用される。しかし、この方法では、仮置きのための搬送
が増加してしまう。さらに、仮置きされている処理対象
物でそのストッカが満杯になり、本来保管すべき処理対
象物を保管できなくなるといった問題が生じ得る。

【００１３】本発明の目的は、全体として効率的な搬送
が可能な搬送装置を提供することである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の一観点による
と、処理対象物を搬送する第１の主搬送路と、前記第１
の主搬送路と交差するように配置され、処理対象物を搬
送する複数の第１の副搬送路と、前記第１の主搬送路と
各第１の副搬送路との交差箇所の各々に対応して設置さ
れ、前記第１の主搬送路及び対応する第１の副搬送路
と、処理対象物の受渡しを行い、かつ処理対象物を一時
的に保管する第１のストッカと、各第１の副搬送路に対
応して複数台設置され、対応する第１の副搬送路を搬送
される処理対象物を受け取り、処理し、対応する第１の
副搬送路に戻す第１の処理装置とを有する搬送装置が提
供される。

【００１５】副搬送路が主搬送路と交差しているため、
副搬送路の端部で主搬送路と処理対象物の受渡しを行う
場合に比べて、副搬送路内の平均搬送距離を短くするこ
とができる。

【００１６】本発明の他の観点によると、処理対象物を
搬送する複数の搬送路と、前記複数の搬送路の各々に対
応して設置され、対応する搬送路と処理対象物の受渡し
を行い、かつ処理対象物を一時的に保管するストッカ
と、２つのストッカ間を接続し、両者間で処理対象物の
移送を行う接続路であって、１つのストッカから、該接
続路、前記搬送路、及び前記ストッカのうち１つもしく
は２つ以上を経由して、他のすべてのストッカに辿り着
けるように配置された前記接続路と、前記搬送路の各々
に対応して複数台設置され、対応する搬送路を搬送され
る処理対象物を受け取り、処理し、対応する搬送路に戻
す処理装置とを有する搬送装置が提供される。

【００１７】ある１つのストッカに保管されている処理
対象物を、接続路、ストッカ、搬送路のうち１つもしく
は２つ以上を経由して、他のすべてのストッカに移送す
ることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１の実施例に
よる搬送装置の平面配置図を示す。搬送装置が配置され
る領域のほぼ中央に、図の横方向に延在する主搬送路１
が配置されている。主搬送路１は、往路１Ａ、それにほ
ぼ平行に配置された復路１Ｂ、往路１Ａの終端と復路１
Ｂの開始端とを接続する第１の旋回路１Ｃ、及び復路１
Ｂの終端と往路１Ａの開始端とを接続する第２の旋回路
１Ｄにより構成されている。すなわち、主搬送路１は、
閉じたループ状の搬送路である。

【００１９】複数の副搬送路５が、主搬送路１と交差す
るように配置されている。各副搬送路５も、主搬送路１
と同様に閉じたループ状の搬送路である。主搬送路１及
び副搬送路５は、処理対象物を搬送する。半導体装置を
製造する場合には、処理対象物は半導体基板を格納した
カセットであり、液晶表示装置を製造する場合には、処
理対象物はガラス基板を格納したカセットである。

【００２０】主搬送路１と各副搬送路５との交差箇所の
各々に対応して、２台のストッカ６が配置されている。
ストッカ６は、主搬送路１及び対応する副搬送路５と、
処理対象物の受け渡しを行う。さらに、処理対象物を一
時的に保管する。なお、副搬送路５の各々に対応して、
３台以上のストッカを配置してもよい。

【００２１】各副搬送路５の周囲に、複数の処理装置７
が配置されている。処理装置７は、対応する副搬送路５
を搬送される処理対象物を受け取り、処理し、対応する
副搬送路５に戻す。処理装置７の例として、化学気相成
長（ＣＶＤ）装置、イオン注入装置、露光装置、熱処理
装置等が挙げられる。

【００２２】図２（Ａ）は、第１の実施例による搬送装
置のストッカ６、主搬送路１、及び副搬送路５の正面図
を示し、図２（Ｂ）は、その平面図を示す。主搬送路１
は、リニアモータ用レール１０及び及びコンテナ１１を
含んで構成される。レール１０は、往路用レール１０Ａ
と復路用レール１０Ｂを含み、搬送装置が配置された部
屋の天井に取り付けられている。コンテナ１１は、レー
ル１０に案内されて、リニアモータにより移動する。コ
ンテナ１１内には、搬送すべき処理対象物８が収容され
る。

【００２３】副搬送路５は、仮想軌道１６、及び仮想軌
道１６に沿って移動する地上搬送無軌道台車１５を含ん
で構成される。無軌道台車１５は、処理対象物８をその
中に収容して運搬する。

【００２４】ストッカ６は、概ね直方体形状の筐体及び
その中に配置されたクレーン６１を含んで構成される。
筐体の側壁には、処理対象物を保管する多数の保管棚１
２が設けられている。さらに、レール１０に面する側壁
の一部には、入庫口１２Ａ及び出庫口１２Ｂが設けら
れ、仮想軌道１６に面する側壁の一部には、入庫口１２
Ｃ及び出庫口１２Ｄが設けられている。

【００２５】コンテナ１１に収容されて搬送されてきた
処理対象物は、ロボットアーム等によって入庫口１２Ｂ
に移送される。出庫口１２Ａに収容されている処理対象
物は、ロボットアーム等によって、空きコンテナ１１に
移送される。台車１５に収容されて搬送されてきた処理
対象物は、台車１５に取り付けられたロボットアームに
より入庫口１２Ｃに移送される。出庫口１２Ｄに保管さ
れている処理処理物は、ロボットアームにより空き台車
１５に移送される。クレーン６１は、入庫口１２Ａ、１
２Ｃ、出庫口１２Ｂ、１２Ｄ、及び保管棚１２の間で、
処理対象物の受渡しを行う。

【００２６】図３は、第１の実施例による搬送装置の管
理システムのブロック図を示す。管理システムは、同一
の副搬送路５、すなわち同一のベイに対応する複数のス
トッカ６を、１つのストッカ群ＩＤで管理している。工
程記憶手段３０に、処理対象物ごとの処理工程の順番が
記憶されている。工程／ストッカ群ＩＤ記憶手段３１
に、各工程と、その工程の処理を行うベイに対応するス
トッカ群ＩＤとの対応関係が記憶されている。

【００２７】空数記憶手段３２が、各ストッカ群に属す
るストッカに保存し得る処理対象物の保存可能数から、
現在保存中の処理対象物の数を引いた空数をストッカ群
ごとに記憶する。仕掛数記憶手段３３が、ベイごとに、
そのベイの副搬送路５を搬送中の処置対象物の数と、当
該副搬送路５に接続された処理装置７に取り込まれてい
る処理対象物の数との和である仕掛かり数を記憶する。

【００２８】工程管理装置は、工程記憶手段３０に記憶
されている情報に基づいて、ある処理対象物の次の工程
を決定する。工程／ストッカ群ＩＤ記憶手段３１に記憶
されている情報に基づいて、その工程の処理を実行する
ベイのストッカ群ＩＤを求める。求められたストッカ群
ＩＤは、制御装置３５に送られる。

【００２９】制御装置３５は、工程管理装置３４から送
られて来た移送先のストッカ群ＩＤ、及び空数記憶手段
３２に記憶されている情報に基づいて、処理対象物を移
送するか、現ストッカに仮置きしておくかを判断する。
例えば、移送先のストッカ群の空数がある基準値以下の
場合に仮置きする。移送する場合には、移送先のストッ
カ群に属するストッカを特定するストッカＩＤを付し
て、搬送装置駆動手段３６に、搬送指示信号を送信す
る。

【００３０】なお、移送先の空数情報のみではなく、仕
掛数記憶手段３３に記憶されている移送先のベイの仕掛
かり数をも考慮して、移送するか仮置きするかを判断し
てもよい。仕掛かり数が多いということは、当該ベイ内
の処理装置に余裕が無いということである。移送先のベ
イのストッカ群の空数と仕掛かり数とに基づいて、移送
するか仮置きするかを判断することにより、より適切な
制御を行うことが可能になる。例えば、空数から仕掛か
り数を引いた値と基準値とを比較し、その値が基準値以
下の場合には、仮置きする。

【００３１】駆動手段３６は、搬送指示信号に基づい
て、主搬送路１、副搬送路５、及びストッカ６を駆動す
る。搬送結果が、制御装置３５に返送される。制御装置
３５は、搬送結果に基づいて、空数記憶手段３２及び仕
掛数記憶手段３３の記憶内容を更新する。

【００３２】上記第１の実施例では、図１に示すよう
に、副搬送路５が主搬送路１と交差するように配置され
ている。このため、副搬送路５の端部において主搬送路
１と処理対象物の受渡しを行う図９（Ｂ）の片側ベイ方
式に比べて、処理対象物を副搬送路５内で搬送すべき平
均距離が短くなる。また、図９（Ａ）に示す両側ベイ方
式の場合に比べて、ベイ間搬送量を少なくすることがで
きる。

【００３３】また、第１の実施例では、副搬送路５の各
々に対して、２台のストッカ６が割り当てられている。
このため、１台のストッカが故障等により停止している
場合や満杯の場合にも、処理対象物を他方のスットカに
移送することにより、支障無くベイ間搬送を行うことが
できる。

【００３４】図４は、第２の実施例による搬送装置の平
面配置図を示す。図１に示す第１の実施例では、１つの
ストッカ６が、１つの副搬送路５とのみ処理対象物の受
渡しを行う。第２の実施例では、１つのストッカ６が、
２つの副搬送路５と処理対象物の受渡しを行うことがで
きる。例えば、図４において、中央の副搬送路５Ｂの左
側に配置されている２つのストッカ６Ｃ及び６Ｄは、中
央の副搬送路５Ｂと処理対象物の受渡しを行うのみでは
なく、その左隣の副搬送路５Ａとも処理対象物の受渡し
を行う。また、右端の副搬送路５Ｃの左側に配置されて
いる２つのストッカ６Ｅ及び６Ｆは、その左隣の副搬送
路５Ｂとも処理対象物の受渡しを行う。その他の構成
は、第１の実施例の場合と同様である。

【００３５】２つの副搬送路と処理対象物の受渡しを行
えるストッカ６は、２つのストッカ群に属することとな
る。例えば、図４において、中央の２つのストッカ６Ｃ
及び６Ｄは、中央の副搬送路５Ｂに割り当てられたスト
ッカ群と左端の副搬送路５Ａに割り当てられたストッカ
群の２つに属する。

【００３６】第２の実施例では、１つのベイの仕掛かり
数が増加した場合であっても、そのベイに隣接するベイ
の仕掛かり数が少ない場合には、これら２つのベイに属
するストッカ６の保管棚の多くを、仕掛かり数の増加し
たベイ用に割り当てることができる。このため、保管棚
の利用頻度を平準化することが可能になる。

【００３７】また、１つのベイに割り当てられるストッ
カ６の台数が実質的に増加する。このため、１つのスト
ッカ６が故障した場合に、他の１つのストッカへの集中
を緩和することができる。

【００３８】さらに、第２の実施例では、１つのベイか
らそれに隣接するベイに、両者と処理対象物の受渡しを
することができるストッカ６を介して、処理対象物を移
送することができる。このため、主搬送路１にかかる負
荷を軽減することが可能になる。

【００３９】次に、第２の実施例による搬送装置と従来
の搬送装置とを用いて、同一のある製造工程を実施した
場合の、処理対象物の１時間あたりの搬送回数の予測結
果について説明する。

【００４０】図５（Ａ）は、予測に用いた第２の実施例
による搬送装置の平面配置図を示す。ベイの数は５個で
あり、図５（Ａ）の両端のベイには、それぞれ２個のス
トッカ６が割り当てられ、その他のベイには、それぞれ
４個のストッカ６が割り当てられている。

【００４１】図５（Ｂ）は、予測に用いた従来の両側ベ
イ方式の搬送装置の平面配置図を示す。ベイの数は１０
個であり、各ベイに１つずつストッカ６が割り当てられ
ている。

【００４２】主搬送路１を経由したベイ間搬送回数は、
第２の実施例の場合に２７回であったのに対し、従来の
場合には１１２回であった。なお、第２の実施例の場合
に、ストッカ６を経由したベイ間の搬送回数は４３回で
あった。ストッカ６内のクレーンによる処理対象物の搬
送回数は、第２の実施例の場合に７６回であったのに対
し、従来の場合には１８１回であった。ベイ内の搬送回
数は、第２の実施例の場合に２６３回であったのに対
し、従来の場合には３０８回であった。

【００４３】このように、第２の実施例では、従来例の
場合に比べて、処理対象物の搬送回数が少なくなる。

【００４４】図５（Ｂ）に示す両側ベイ方式の搬送装置
に代えて、片側ベイ方式の搬送装置を用いると、ベイ間
搬送回数が少なくなる。しかし、ベイ内搬送の平均搬送
距離が、第２の実施例の場合に比べて約１．５倍にな
る。このため、平均搬送時間も約１．５倍になってしま
う。副搬送路５に無軌道台車を用いる場合には、台車の
数を増やす必要がある。発明者らの予測では、第２の実
施例による搬送装置に必要な台車が２３台であるとき、
同等の片側ベイ方式の搬送装置では４６台の台車が必要
になる。ベイ内の平均搬送距離が１．５倍であるのに対
して、必要な台車の数が２倍になっているのは、平均搬
送距離が長くなると、台車間の相互干渉により台車の利
用効率が低下する為である。

【００４５】図６（Ａ）は、第３の実施例による搬送装
置の概略正面図を示す。複数のフロア（階）を有する建
屋２０の、第１のフロアに、主搬送路１及び複数のベイ
９Ａ〜９Ｃを含んで構成される第１の搬送装置が設置さ
れている。第２のフロアに、主搬送路２１及び複数のベ
イ２８Ａ〜２８Ｃを含んで構成される第２の搬送装置が
設置されている。各ベイ９Ａ〜９Ｃ及び２８Ａ〜２８Ｃ
は、図１に示す第１の実施例の副搬送路５、ストッカ
６、及び処理装置７を含んで構成されている。

【００４６】主搬送路１及び２１は、両端を有する仮想
的な線に沿って配置されている。第１のフロア間搬送路
２２が、主搬送路１の一端に最も近い位置に配置された
ベイ９Ｃに割り付けられたストッカ内の処理対象物を、
主搬送路２１の一端に最も近い位置に配置されたベイ２
８Ｃに割り付けられたストッカまで搬送する。第２のフ
ロア間搬送路２３が、主搬送路２１の他端に最も近い位
置に配置されたベイ２８Ａに割りつけられたストッカ内
の処理対象物を、主搬送路１の他端に最も近い位置に配
置されたベイ９Ａに割りつけられたストッカまで搬送す
る。

【００４７】第１のフロアのベイ９Ａから９Ｃまでは、
ある装置の製造工程の順番に従って配置されている。さ
らに、第２のフロアのベイ２８Ｃから２８Ａまでは、ベ
イ９Ｃの次の工程から工程の順番に従って配置されてい
る。ベイ９Ａ及び９Ｂで順番に処理され、ベイ９Ｃにお
ける処理を終えた処理対象物は、第１のフロア間搬送路
２２を経由してベイ２８Ｃに移送される。ベイ２８Ｃに
移送された処理対象物は、ベイ２８Ｂ及び２８Ａで順番
に処理される。ベイ２８Ａにおける処理を終えた処理対
象物は、第２のフロア間搬送路２３を経由してベイ９Ａ
に移送される。

【００４８】例えば、ベイ９Ａ〜９Ｃ、２８Ｃ〜２８Ａ
は、それぞれ洗浄、成膜、フォトリソグラフィ、エッチ
ング、レジスト剥離、検査の工程を実施する。ベイ９Ａ
における処理を開始して、ベイ９Ｂ、９Ｃ、２８Ｃ〜２
８Ａを経由することによって、１層分の薄膜形成を行う
ことができる。

【００４９】このように、複数のベイを、複数フロア
に、かつ工程の順番に配置することにより、全工程を終
了するまでの処理対象物の移動距離を短くすることが可
能になる。

【００５０】図６（Ｂ）は、第３の実施例の変形例によ
る搬送装置の概略正面図を示す。図６（Ｂ）に示す搬送
装置では、図６（Ａ）に示す第１及び第２のフロア間搬
送路２２及び２３の代わりに、それぞれ第１及び第２の
フロア間ストッカ２６及び２７が設置されている。第１
のフロア間ストッカ２６は、ベイ９Ｃの副搬送路及びベ
イ２８Ｃの副搬送路と、処理対象物の受渡しを行う。第
２のフロア間ストッカ２７は、ベイ９Ａの副搬送路及び
ベイ２８Ａの副搬送路と、処理対象物の受渡しを行う。
さらに、第１及び第２のフロア間ストッカ２６及び２７
は、処理対象物を一時的に保管する。

【００５１】第１及び第２のフロア間ストッカ２６及び
２７は、処理対象物を、フロアに跨がって移送すること
ができる。このため、図６（Ｂ）に示す搬送装置も、図
６（Ａ）の搬送装置と同様に、処理対象物の移動距離を
短くすることができる。

【００５２】図７は、第４の実施例による搬送装置の平
面配置図を示す。図７の縦方向に延在する複数の搬送路
６０が、図７の横方向に延在する仮想的な直線７０と交
差するように配置されている。各搬送路６０が、１つの
ベイに対応する。搬送路６０の各々に対応するように少
なくとも２つのストッカ６１が配置されている。

【００５３】１つの搬送路６０に対応する２つのストッ
カ６１は、仮想的な直線７０の両側に配置されている。
ストッカ６１は、対応する搬送路６０と処理対象物の受
渡しを行うとともに、処理対象物を一時的に保管する。
なお、図４に示す第２の実施例のように、各ストッカ６
１が、対応する搬送路６０に隣り合う他の搬送路６０と
処理対象物の受渡しを行えるようにしてもよい。各搬送
路６０の周囲に、複数の処理装置６２が配置されてい
る。処理装置６２は、図１の処理装置７と同様の機能を
有する。

【００５４】複数のストッカ６１のうち、任意の一対の
ストッカ間を、接続路６５が接続している。接続路６５
は、それが接続されている２つのストッカ６０の間で処
理対象物を移送する。また、接続路６５は、１つのスト
ッカ６１から、接続路６５、搬送路６０、及びストッカ
６１のうち１つもしくは２つ以上を経由して、他のすべ
てのストッカ６１に辿り着けるように配置されている。
このため、あるストッカ６１内に保管されている処理対
象物を、接続路６５、搬送路６０、及びストッカ６１の
いずれかを経由して、他の任意のストッカ６１まで移送
することができる。

【００５５】例えば、ストッカ６１は、搬送路６０の各
々に対応して、第１の仮想的な線７０の両側に１つずつ
配置されている。接続路６５が、第１の仮想的な線７０
の一方の側に配置されたストッカ６１を直列に接続し、
他方の側に配置されたストッカ６１を直列に接続する。
さらに、１つの搬送路６０に対応する２つのストッカ６
１の間を、第１の仮想的な線７０を跨いで接続する。す
なわち、接続路６５により、梯子状の搬送路が構成され
ている。搬送路の形状を梯子状にすることにより、一部
のストッカ６１もしくは一部の接続路６５が故障した場
合に、迂回路を構成することが可能になる。

【００５６】図８は、図７の接続路６５の断面図を示
す。２つのストッカ６１が、搬送路６０の両側に配置さ
れている。各ストッカ６１内には、図２（Ａ）及び
（Ｂ）のストッカ６と同様の保管棚が設けられている。
搬送路６０に面した側壁に、出庫口６６Ａ及び入庫口６
６Ｂが設けられている。出庫口６６Ａと、それに対向す
るストッカ６１の入庫口６６Ｂとが、接続路６５で相互
に接続されている。ストッカ６１内のクレーンが処理対
象物８を出庫口６６Ａに載置すると、処理対象物８が、
接続路６５内を移動するベルトコンベアにより、対向す
るストッカ６１の入庫口６６Ｂまで移送される。

【００５７】接続路６５内は、密閉空間とされている。
各ストッカ６１には、空気清浄器６７が取り付けられ
て、ストッカ６１内の空間が清浄化される。接続路６５
が密閉構造とされているため、接続路６５内の空間は、
ストッカ６１内の空間とほぼ同程度の清浄度に維持され
る。処理対象物は、ストッカ６１及び接続路６５の内部
空間のみを経由して搬送される。このため、外部の空間
の清浄度を、ストッカ６１内の空間の清浄度よりも低く
設定しておくことができる。

【００５８】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種
々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の副搬送路を主搬送路と交差させて配置することに
より、副搬送路の端部において主搬送路と処理対象物の
受渡しを行う場合に比べて、処理対象物を副搬送路内で
搬送すべき平均距離を短くすることができる。

【００６０】また、１つのベイに対応する副搬送路に複
数台のストッカを割り当てることにより、１台のストッ
カが故障等により停止している場合や満杯の場合にも、
支障無くベイ間搬送を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例による搬送装置の平面配
置図である。

【図２】第１の実施例による搬送装置の概略正面図及び
概略平面図である。

【図３】第１の実施例による搬送装置を用いた生産管理
の方法を説明するためのブロック図である。

【図４】本発明の第２の実施例による搬送装置の平面配
置図である。

【図５】図５（Ａ）は、第２の実施例による搬送装置の
平面配置図であり、図５（Ｂ）は、従来の両側ベイ方式
の搬送装置の平面配置図である。

【図６】第３の実施例及びその変形例による搬送装置の
概略正面図である。

【図７】本発明の第４の実施例による搬送装置の平面配
置図である。

【図８】第４の実施例の搬送装置の接続路の概略断面図
である。

【図９】従来の例による搬送装置の平面配置図である。

【符号の説明】

１ 主搬送路 １Ａ 往路 １Ｂ 復路 １Ｃ、１Ｄ 旋回路 ５ 副搬送路 ６ ストッカ ７ 処理装置 ８ 処理対象物 ９Ａ〜９Ｃ、２８Ａ〜２８Ｃ ベイ １０ レール １１ コンテナ １２ 保管棚 １５ 台車 １６ 仮想軌道 ２０ 建屋 ２１ 主搬送路 ２２、２３ フロア間搬送路 ２６、２７ フロア間ストッカ ３０ 工程記憶手段 ３１ 工程／エミッタ群ＩＤ記憶手段 ３２ 空数記憶手段 ３３ 仕掛数記憶手段 ３４ 工程管理装置 ３５ 制御装置 ３６ 駆動手段 ６０ 搬送路 ６１ ストッカ ６２ 処理装置 ６５ 接続路 ６７ 空気清浄器

フロントページの続き (72)発明者 北野 勝 鳥取県米子市石州府字大塚ノ弐650番地 株式会社米子富士通内 (72)発明者 太田 雄一郎 鳥取県米子市石州府字大塚ノ弐650番地 株式会社米子富士通内 (72)発明者 石井 英夫 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 MA09

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理対象物を搬送する第１の主搬送路
   と、 前記第１の主搬送路と交差するように配置され、処理対
   象物を搬送する複数の第１の副搬送路と、 前記第１の主搬送路と各第１の副搬送路との交差箇所の
   各々に対応して設置され、前記第１の主搬送路及び対応
   する第１の副搬送路と、処理対象物の受渡しを行い、か
   つ処理対象物を一時的に保管する第１のストッカと、 各第１の副搬送路に対応して複数台設置され、対応する
   第１の副搬送路を搬送される処理対象物を受け取り、処
   理し、対応する第１の副搬送路に戻す第１の処理装置と
   を有する搬送装置。
2. 【請求項２】 前記第１のストッカが、前記第１の主搬
   送路と各第１の副搬送路との交差箇所の各々に対応して
   複数台設置されている請求項１に記載の搬送装置。
3. 【請求項３】 前記第１のストッカのうち少なくとも一
   部の第１のストッカが、対応する第１の副搬送路に隣り
   合う他の第１の副搬送路と、処理対象物の受渡しを行う
   請求項１または２に記載の搬送装置。
4. 【請求項４】 前記第１の主搬送路が、往路、該往路に
   平行に配置された復路、該往路の終端と該復路の開始端
   とを接続する第１の旋回路、及び該復路の終端と該往路
   の開始端とを接続する第２の旋回路を含む閉じた搬送路
   である請求項１〜３のいずれかに記載の搬送装置。
5. 【請求項５】 処理対象物を搬送する第１の主搬送路、 前記第１の主搬送路と交差するように配置され、処理対
   象物を搬送する複数の第１の副搬送路、 前記第１の主搬送路と各第１の副搬送路との交差箇所の
   各々に対応して設置され、前記第１の主搬送路及び対応
   する第１の副搬送路と処理対象物の受渡しを行い、かつ
   処理対象物を一時的に保管する第１のストッカ、 各第１の副搬送路に対応して複数台設置され、対応する
   第１の副搬送路を搬送される処理対象物を受け取り、処
   理し、対応する第１の副搬送路に戻す第１の処理装置と
   を有する搬送装置を用いた搬送方法であって、 前記第１のストッカのうち、同一の第１の副搬送路に対
   応する１つもしくは複数の第１のストッカを１つの第１
   のストッカ群として管理し、各第１のストッカ群に属す
   る第１のストッカに保存し得る処理対象物の保存可能数
   から、現在保存中の処理対象物の数を引いた空数を記憶
   する工程と、 記憶されている前記空数に基づいて、あるストッカ群か
   ら他のストッカ群への処理対象物の搬送の可否を決定す
   る工程とを有する搬送方法。
6. 【請求項６】 さらに、各第１の副搬送路を搬送中の処
   置対象物の数と当該第１の副搬送路に接続された第１の
   処理装置に取り込まれている処理対象物の数との和であ
   る仕掛かり数を記憶する工程と、 前記空数及び前記仕掛かり数に基づいて、あるストッカ
   群から他のストッカ群への処理対象物の搬送の可否を決
   定する工程とを含む請求項５に記載の搬送方法。
7. 【請求項７】 さらに、前記第１のストッカ内のある処
   理対象物の次の移送先の第１のストッカ群の空数に基づ
   いて、当該処理対象物の搬送を開始するか、現第１のス
   トッカ内に引き続き保管するかを決定する工程を含む請
   求項５または６に記載の搬送方法。
8. 【請求項８】 処理対象物を搬送する第１の主搬送路
   と、 前記第１の主搬送路と交差するように配置され、処理対
   象物を搬送する複数の第１の副搬送路と、 前記第１の主搬送路と各第１の副搬送路との交差箇所の
   各々に対応して設置され、前記第１の主搬送路及び対応
   する第１の副搬送路と、処理対象物の受渡しを行い、か
   つ処理対象物を一時的に保管する第１のストッカと、 各第１の副搬送路に対応して複数台設置され、対応する
   第１の副搬送路を搬送される処理対象物を受け取り、処
   理し、対応する第１の副搬送路に戻す第１の処理装置
   と、 前記第１の主搬送路、複数の第１の副搬送路、複数の第
   １のストッカ、及び複数の第１の処理装置を、第１のフ
   ロアに収容し、該第１のフロアの外に第２のフロアを有
   する建屋と、 前記第２のフロアに収容された第２の主搬送路、複数の
   第２の副搬送路、複数の第２のストッカ、及び複数の第
   ２の処理装置であって、前記第２の副搬送路の各々が、
   前記第２の主搬送路と交差するように配置され、前記複
   数の第２のストッカの各々が、前記第２の主搬送路と各
   第２の副搬送路との交差箇所の各々に対応して配置さ
   れ、第２の主搬送路と、対応する第２の副搬送路との間
   で処理対象物の受渡しを行い、前記複数の第２の処理装
   置の各々が、前記第２の副搬送路のいずれかに対応して
   配置され、対応する第２の副搬送路を搬送されている処
   理対象物を受け取り、処理し、対応する第２の副搬送路
   に戻す前記第２の主搬送路、複数の第２の副搬送路、複
   数の第２のストッカ、及び複数の第２の処理装置と、 前記第１の主搬送路、複数の第１の副搬送路、複数の第
   １のストッカのいずれか１つと、前記第２の主搬送路、
   複数の第２の副搬送路、複数の第２のストッカのいずれ
   か１つとの間で処理対象物を移送する第１のフロア間移
   送手段とを有する搬送システム。
9. 【請求項９】 前記第１の主搬送路が、両端を有する第
   １の仮想的な線に沿って配置され、 前記第２の主搬送路が、両端を有する第２の仮想的な線
   に沿って配置され、前記第１のフロア間移送手段が、前
   記第１の主搬送路の一端に最も近い位置に配置された第
   １の副搬送路もしくはその第１の副搬送路に割り当てら
   れた第１のストッカと処理対象物の受渡しを行い、かつ
   前記第２の主搬送路の一端に最も近い位置に配置された
   第２の副搬送路もしくはその第２の副搬送路に割り当て
   られた第２のストッカと処理対象物の受渡しを行い、 さらに、前記第１の主搬送路の他端に最も近い位置に配
   置された第１の副搬送路もしくはその第１の副搬送路に
   割り当てられた第１のストッカと処理対象物の受渡しを
   行い、かつ前記第２の主搬送路の他端に最も近い位置に
   配置された第２の副搬送路もしくはその第２の副搬送路
   に割り当てられた第２のストッカと処理対象物の受渡し
   を行う第２のフロア間移送手段を有する請求項８に記載
   の搬送システム。
10. 【請求項１０】 処理対象物を搬送する複数の搬送路
    と、 前記複数の搬送路の各々に対応して設置され、対応する
    搬送路と処理対象物の受渡しを行い、かつ処理対象物を
    一時的に保管するストッカと、 ２つのストッカ間を接続し、両者間で処理対象物の移送
    を行う接続路であって、１つのストッカから、該接続
    路、前記搬送路、及び前記ストッカのうち１つもしくは
    ２つ以上を経由して、他のすべてのストッカに辿り着け
    るように配置された前記接続路と、 前記搬送路の各々に対応して複数台設置され、対応する
    搬送路を搬送される処理対象物を受け取り、処理し、対
    応する搬送路に戻す処理装置とを有する搬送装置。
11. 【請求項１１】 前記複数の搬送路の各々が、両端を有
    する第１の仮想的な線と異なる点で交差するように配置
    され、 前記ストッカが、対応する搬送路に隣り合う他の搬送路
    とも、処理対象物の受渡しを行うことができる請求項１
    ０に記載の搬送装置。
12. 【請求項１２】 前記ストッカが、前記搬送路の各々に
    対応して、前記第１の仮想的な線の両側に少なくとも１
    つずつ配置され、 前記接続路が、前記第１の仮想的な線の一方の側に配置
    されたストッカを直列に接続し、他方の側に配置された
    ストッカを直列に接続し、かつ１つの搬送路に対応する
    ２つの前記ストッカの間を、前記第１の仮想的な線を跨
    いで接続する請求項１１に記載の搬送装置。
13. 【請求項１３】 さらに、前記ストッカ内を、その外部
    よりも清浄に保つ清浄化手段を有し、 前記接続路の内部が密閉空間とされ、当該接続路に接続
    される前記ストッカ内の空間以外の空間と隔離されてい
    る請求項１０または１１に記載の搬送装置。