KR100585257B1 - 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템 - Google Patents

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Abstract

처리 대상물을 이송하는 주(主) 반송로와 교차해서 복수의 부(副) 반송로가 배치되어 있다. 주 반송로와 각 부 반송로 간의 각 교차점에는 스토커(stocker)가 배치되어 있다. 스토커는 주 반송로 및 대응하는 부 반송로 사이에서 처리 대상물을 이송함과 동시에, 처리 대상물을 임시로 보관한다. 각 부 반송로에 대응하여 복수의 처리 장치가 설치되어 있다. 처리 장치는 대응하는 부 반송로로 반송되는 처리 대상물로 받아서 처리하여 대응하는 부 반송로로 되돌린다. 전체적으로 효율적인 반송이 가능하게 된다.
반송 장치, 반송 방법, 반송 시스템

Description

반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템{TRANSPORT APPARATUS, METHOD AND SYSTEM}
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 반송 장치의 평면 배치도.
도 2a 및 도 2b는 각각 제 1 실시예의 반송 장치의 개략 정면도 및 개략 평면도.
도 3은 제 1 실시예의 반송 장치를 사용한 생산 관리의 방법을 설명하기 위한 블록도.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예의 반송 장치의 평면 배치도.
도 5a는 제 2 실시예의 반송 장치의 평면 배치도이고, 도 5b는 종래의 양측 베이 방식의 반송 장치의 평면 배치도.
도 6a 및 도 6b는 각각 본 발명의 제 3 실시예 및 그 변형례에 의한 반송 장치의 개략 정면도.
도 7은 본 발명의 제 4 실시예의 반송 장치의 평면 배치도.
도 8은 제 4 실시예의 반송 장치의 접속로의 개략 단면도.
도 9는 제 5 실시예의 반송 장치의 개략 평면도.
도 10a는 제 5 실시예의 주 스토커의 평면도, 도 10b~10d는 각각 보관 전용 유닛, 이송 가능 유닛 및 접속용 유닛의 정면도.
도 11a 및 11b는 각각 스토커와 처리 장치간의 접속 부분을 나타낸 평면도 및 횡단면도.
도 12a 및 12b는 각각 반송차 이송용 유닛의 평면도 및 정면도.
도 13은 주 스토커와 스토커간의 접속 부분의 평면도.
도 14는 본 발명의 제 6 실시예의 반송 장치의 개략 평면도.
도 15a 및 도 15b는 각각 실시예의 반송 장치로 이송되는 처리 대상물을 지지하는 트레이 및 카세트의 단면도.
도 16은 실시예의 반송 장치의 반송 절차를 설명하기 위한 블록도.
도 17a 및 17b는 종래의 반송 장치를 나타낸 평면도.
본 발명은 반도체 장치나 액정 표시 장치의 생산 라인에 적합한 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템에 관한 것이다.
많은 반도체 장치와 액정 표시 장치의 생산 라인은 같은 기능을 가지는 처리 장치로 이루어진 장치군 또는 장치군들로 이루어진 큰 장치군을 한 단위로서 관리하는 잡 숍(job shop) 생산 형태를 채용하고 있다. 각 장치군 중의 복수의 장치 및 부속된 로더와 언로더는 베이(bay)라고 불리는 각각 작은 방으로 획정된 곳에 배치된다.
도 17a는 반도체 장치의 생산 라인을 구성하는 종래의 반송 장치의 배치를 나타내는 평면도이다. 도 17a의 가로 방향으로 연장된 주 반송로(200)는 일반적으로 반송 장치의 중앙 부분에 배치되어 있다. 주 반송로(200)의 복수의 소정 위치에서 부 반송로(201)가 주 반송로(200)로부터 분기하고 있다. 부 반송로(201)는 주 반송로(200)의 양측에 배치되어 있다. 1 개의 부 반송로(201)를 보면, 이 반송로(201)는 주 반송로(200)의 한 쪽에만 배치되어 있다. 1 개의 부 반송로는 1 개의 베이에 대응한다. 부 반송로는 베이내(intra-bay) 반송로라고도 부른다. 주 반송로(200) 및 부 반송로(201)는 웨이퍼 카세트 등의 대상물을 반송한다.
각 부 반송로(201)에는 스토커(202)가 설치되어 있다. 스토커(202)는 주 반송로(200)와 대응하는 부 반송로(201) 사이에서 처리 대상물을 이송함과 동시에, 처리 대상물을 임시로 보관한다. 처리 대상물을 하나의 베이로부터 다른 베이로 반송하기 위해서는, 처리 대상물이 반송원의 베이에서 스토커(202)로부터 주 반송로(200)를 경유하여 반송 대상처 베이의 스토커(202)로 이송된다. 즉, 대상 처리물이 하나의 베이로부터 다른 베이로 반송될 경우에 주 반송로(200)가 사용된다. 따라서 주 반송로(200)는 베이간(inter-bay)의 반송로라고도 부른다.
부 반송로(201)의 주위에는 소정의 처리 장치(203)가 배치되어 있다. 각 처리 장치(203)는 부 반송로(201)로 반송되고 있는 처리 대상물을 받아서 소정의 처리를 행한 후, 처리 대상물을 상기 부 반송로(201)로 되돌린다.
도 17b는 종래의 반송 장치의 다른 배치를 나타내는 평면도이다. 도 17b에 나타낸 예에서는 주 반송로(200)의 한 쪽에만 부 반송로(201)가 배치되어 있다. 기타의 구성은 도 17a의 구성과 같다. 도 17a에 나타낸 반송 장치는 양측 베이 방식을 따른 것이고 도 17b에 나타낸 반송 장치는 편측 베이 방식을 따른 것이다.
하나의 베이에 있는 처리 대상물의 반송 대상처를 결정하는 경우, 그 처리 대상물의 다음 공정을 처리를 실행하는 처리 장치군을 결정하고, 다음에 그 처리 스토커 수용하고 있는 베이의 스토커가 반송 대상처로 결정된다.
반송 장치 내에는 여러 가지 처리 절차에 의해 처리하여야 할 복수의 처리 대상물이 존재한다. 처리 절차가 다른 처리 대상물을 처리하기 위해서는, 각 처리 장치는 처리 절차의 교체 작업을 필요로 한다. 예컨대, 노광 장치(exposure system)의 경우에는 포토 마스크 교환 등의 작업이 필요하다. 처리 순서의 교체 작업에 의한 손실을 적게 하기 위해서는 처리 대상물을 동일한 순서로 연속하여 처리할 수 있는 처리 절차를 확립하는 것이 바람직하다. 이를 위해서, 포토 마스크(202) 내에 동일한 처리 절차로 처리할 수 있는 처리 대상물을 복수 개 보관하여 두고, 처리 장치에 동일한 처리 절차로 처리할 수 있는 처리 대상물을 연속적으로 공급할 수 있도록 하여 둔다.
복수의 처리 대상물을 동시에 일괄 처리하는 처리 장치에는 동일한 처리 절차로 처리되는 처리 대상물을 일괄해서 공급할 필요가 있다. 이를 위해서도 스토커(202) 내에 동일 처리 절차로 처리할 수 있는 처리 대상물을 복수 개 보관하여 둘 필요가 있다. 이와 같이, 스토커(202)는 여러 가지 처리 절차로 처리하여야 할 처리 대상물이 각 처리 절차마다 복수 개 보관된다.
도 17a에 나타낸 양측 베이 방식의 반송 장치에서는, 스토커(202)와 그 베이 내의 처리 장치(203) 사이의 평균 거리가 짧기 때문에, 베이 내의 반송 시간을 짧게 할 수 있다. 또 주 반송로(200)의 양측에는 부 반송로(201)가 배치되기 때문에, 주 반송로(200)와 부 반송로(201) 간에 많은 접속점을 설치할 수 있다. 이 때문에, 단계적으로 베이를 늘려가는 것이 용이하다. 그러나 베이의 수가 증가하기 때문에, 베이간의 반송을 포함한 전체의 반송 거리가 길어지기 쉽다. 특히 주 반송로(200)와 부 반송로(201) 사이의 반송 회수가 증가하기 쉽다.
도 17b에 나타낸 편측 베이 방식의 반송 장치에서는, 베이간의 반송을 포함하는 전체의 반송 거리를 짧게 하여 주 반송로(200)와 부 반송로(201) 사이의 반송의 회수를 적게 할 수 있다. 그러나 각 베이 내의 평균 반송 거리가 길어진다. 주 반송로(200)와 부 반송로(201) 사이의 접속점의 수를 많게 하기가 어렵기 때문에, 단계적으로 베이 수를 증설하고자 할 경우에는, 이 편측 베이 방식은 적합하지 않는다.
또 도 17a 및 17b에 나타낸 반송 장치에서는, 스토커(202)가 처리 대상물로 가득 차 있거나 결함이 있으면 하나의 베이에서 처리된 처리 대상물을 다음 처리가 실행되는 다른 베이의 스토커(202)로 반송할 수 없다. 이러한 경우에 대처하기 위해서 반송할 수 없는 처리 대상물을 소망하는 베이로 반송하기 위해서, 처리 대상물을 임시로 보관하여 두는 임시 스토커를 정의하는 방법이 사용된다. 그러나 이 방법으로는 임시로 저장하기 위해 반송하는 수가 증가하여 버린다. 더구나 임시 스토커는 반송될 수 없는 처리 대상물로 가득차게 되어, 스토커에 본래 보관하여야 할 처리 대상물을 보관할 수 없게 된다.
도 17a 및 도 17b에 나타낸 주 반송로(200) 및 부 반송로(201)는, 예컨대 컨테이너가 천장에 설치된 궤도 위를 이동하는 형태의 천장 반송 장치 또는 지상에 설치된 궤도 위를 따라서 주행하는 지상 반송 무인 대차에 의해 실현된다. 이러한 구성에서는 반도체 기판이나 액정 기판 등의 처리 대상물을 임시로 보관하기 위한 공간과, 반송로와 처리 장치 사이의 처리 대상물을 이송하기 위한 로더/언로더의 공간이 각 처리 장치마다 독립적으로 필요하게 된다.
처리 대상물의 대형화에 따라, 보관소와 로더/언로더도 대형화한다. 그러므로 필요한 청정실의 면적이 커진다. 처리 장치가 대형화함에 따라 반송로가 길어져서, 반송로를 구성하는 컨테이너나 무인 대차의 필요한 수도 증가한다.
하나의 베이에서 처리 장치에 의해서 처리된 처리 대상물은 부 반송로, 스토커, 반송로, 다른 스토커 및 다른 부 반송로를 경유하여 다른 베이의 다음 처리 장치로 반송된다. 그러므로 각 처리 장치는 독립적으로 청정도를 관리할 필요가 있다.
본 발명의 목적은 처리 대상물을 높은 전체적 효율로 반송할 수 있는 반송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 관점에 의하면, 처리 대상물을 반송하는 제 1 주 반송로와, 상기 제 1 주 반송로와 교차해서 배치되어 처리 대상물을 반송하는 복수의 제 1 부 반송로와, 상기 제 1 주 반송로와 각 제 1 부 반송로 사이의 각 교차점에 설치되어 상기 제 1 주 반송로 및 대응하는 제 1 부 반송로 사이에서 처리 대상물을 이송함과 동시에, 처리 대상물을 임시로 보관하는 제 1 스토커와, 각 제 1 부 반송로에 대응하여 설치되며 대응하는 제 1 부 반송로로 반송되는 처리 대상물을 받아서 이 처리 대상물을 처리하고, 대응하는 제 1 부 반송로로 되돌리는 복수의 제 1 처리 장치를 가지는 반송 장치가 제공된다.
부 반송로는 주 반송로와 교차하고 있기 때문에, 부 반송로의 단부와 주 반송로 사이에서 처리 대상물을 이송하는 경우에 비해서 부 반송로 내의 평균 반송 거리를 짧게 할 수 있다.
[실시예]
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 반송 장치의 평면 배치도를 나타낸다. 반송 장치가 배치되는 영역의 거의 중앙 부분에 도 1의 가로 방향으로 연장된 주 반송로(1)가 배치되어 있다. 주 반송로(1)는 왕로(往路)(1A), 왕로(1A)에 거의 평행하게 배치된 복로(復路)(1B), 왕로(1A)의 종단과 복로(1B)의 개시단을 내부 접속하는 제 1 선회로(旋回路)(1C) 및 복로(1B)의 종단과 왕로(1A)의 개시단을 내부 접속하는 제 2 선회로(1D)로 구성되어 있다. 따라서 주 반송로(1)는 닫힌 루프 형상의 반송로이다.
복수의 부 반송로(5)가 주 반송로(1)와 교차해서 배치되어 있다. 각 부 반송로(5)도 주 반송로(1)와 같이 닫힌 루프 형상의 반송로이다. 주 반송로(1) 및 부 반송로(5)는 처리 대상물을 반송한다. 반도체 장치를 제조하는 경우에는 처리 대상물은 반도체 기판을 수납한 카세트이고, 액정 표시 장치를 제조하는 경우에는 처리 대상물은 유리 기판을 수납한 카세트이다.
주 반송로(1)와 각 부 반송로(5) 간의 각 교차점에는 2 개의 스토커(6)가 배치되어 있다. 스토커(6)는 주 반송로(1)와 대응하는 부 반송로(5) 사이에서 처리 대상물을 이송함과 동시에 처리 대상물을 임시로 보관한다. 각 부 반송로(5)에는 3 개 이상의 스토커를 배치할 수 있다.
각 부 반송로(5)의 주위에는 복수의 처리 장치(7)가 배치되어 있다. 처리 장치(7)는 부 반송로(5)로 반송되는 처리 대상물을 받아서 처리하고, 부 반송로(5)로 되돌린다. 처리 장치(7)의 예로는 화학 기상 성장(CVD) 장치, 이온 주입 장치, 노광 장치, 열 처리 장치 등을 포함한다.
도 2a는 제 1 실시예에 의한 반송 장치의 스토커(6), 주 반송로(1) 및 부 반송로(5)를 나타내는 정면도이고 도 2b는 그 평면도를 나타낸다. 주 반송로(1)는 선형 모터용 궤도(10) 및 컨테이너(11)로 구성된다. 궤도(10)는 왕로용 궤도(10A)와 복로용 궤도(10B)를 포함하고, 반송 장치가 배치된 방의 천장에 설치되어 있다. 컨테이너(11)는 궤도(10)에 의해 안내되어 선형 모니터에 의해 이동한다. 각 컨테이너(11) 내에는 반송해야 할 처리 대상물(8)이 수용되어 있다.
부 반송로(5)는 가상 궤도(16) 및 가상 궤도(16)를 따라 이동하는 지상 반송무궤도 대차(15)로 구성된다. 무궤도 대차(15)는 처리 대상물(8)을 그 안에 수용하여 운반한다.
스토커(6)는 거의 직방체 형상의 하우징 및 그 안에 설치된 크레인(61)으로 구성된다. 하우징의 측벽에는 처리 대상물을 보관하는 다수의 보관 선반(12)이 형성되어 있다. 궤도(10)에 면하는 측벽의 일부 영역에는 입고 포트(12A) 및 출고 포트(12B)가 설치되어 있다. 가상 궤도(16)에 면하는 측벽의 일부에는 다른 입고 포트(12C) 및 출고 포트(12D)가 설치되어 있다.
컨테이너(11)에 수용되어 반송되어 온 처리 대상물은 로봇 암(암) 등에 의해서 입고 포트(12B)로 이송된다. 출고 포트(12A)에 있는 처리 대상물은 로봇 암 등에 의해서 빈 컨테이너(11)로 이송된다. 대차(15)에 의해 반송되어 온 처리 대상물은 대차(15)에 설치된 로봇 암에 의해 입고 포트(12C)로 반송된다. 출고 포트(12D)에 보관된 처리 대상물은 로봇 암에 의해 빈 대차(15)로 이송된다. 크레인(61)은 입고 포트(12A, 12C)와 출고 포트(12B, 12D) 및 보관 선반(12) 사이에서 처리 대상물을 이송한다.
도 3은 제 1 실시예의 반송 장치 관리 시스템을 나타낸 블록도이다. 관리 시스템은 동일한 부 반송로(5), 즉 동일한 베이에 속하는 복수의 스토커(6)를 1 개의 스토커군 ID를 사용하여 관리하고 있다. 공정 기억 수단(30)은 각 처리 대상물의 처리 순서를 기억한다. 공정/스토커군 ID 기억 수단(31)은 각 공정과 그 공정을 실행하는 베이에 대응하는 스토커군 ID간의 대응관계를 기억한다.
보관 가능수 기억 수단(32)은 각 스토커군에 속하는 스토커에 보존할 수 있는 처리 대상물의 수로부터 현재 보존 중의 처리 대상물의 수를 뺀 보관 가능수를 스토커군마다 기억한다. 생산 대상수 기억 수단(33)이 베이마다 그 베이의 부 반송로(5)로 반송 중인 처리 대상물의 수와 상기 부 반송로(5)에 접속된 처리 장치(7) 내의 처리 대상물의 합인 생산 대상수를 기억한다.
공정 관리 장치(34)는 공정 기억 수단(30)에 기억된 정보에 따라서 어떤 처리 대상물의 다음 공정을 결정하고 공정/스토커군 ID 기억 수단(31)에 기억된 정보에 따라서 상기 다음 공정의 처리를 실행하는 베이의 스토커군 ID를 인식한다. 인식된 스토커군 ID는 제어 장치(35)로 공급된다.
제어 장치(35)는 공정 관리 장치(34)로부터 공급된 반송 대상처의 스토커군 ID 에 따라서, 그리고 보관 가능수 기억 수단(32)에 기억된 정보에 따라서 처리 대상물을 반송할 것인지 또는 현 스토커에 임시로 보관할 것인지를 판단한다. 예컨대, 반송 대상처의 스토커군의 보관 가능수가 어떤 기준치 이하의 경우에는, 처리 대상물이 임시로 보관된다. 처리 대상물을 반송할 경우에는, 반송 대상처의 스토커군에 속하는 스토커를 인식하는 스토커 ID를 첨부한 반송 지시 신호를 반송 장치 구동 수단(36)으로 송신한다.
반송 대상처의 보관 가능수뿐만 아니라 생산 대상수 기억 수단(33)에 기억된 반송 대상처의 베이의 생산 대상수도 고려하여 처리 대상물을 반송할 것인지 또는 임시로 저장할 것인지를 판단하여도 좋다. 생산 대상수가 많다는 것은 상기 베이의 처리 장치에 생산 여유가 아주 적다는 것을 의미한다. 반송 대상처의 베이의 스토커군의 보관 가능수와 생산 대상수에 따라서 처리 대상물을 반송될 것인지 또는 임시로 보관할 것인지를 판단함으로써, 보다 적절한 제어를 할 수 있다. 예컨대, 보관 가능수로부터 생산 대상수를 뺀 값과 기준치를 비교하여, 그 값이 기준치 이하의 경우에는 처리 대상물이 임시로 보관된다.
구동 수단(36)은 반송 지시 신호에 따라서 주 반송로(1), 부 반송로(5) 및 스토커(6)를 구동한다. 반송 결과는 제어 장치(35)로 되돌린다. 제어 장치(35)는 반송 결과에 따라서 보관 가능수 기억 수단(32) 및 생산 대상수 기억 수단(33)의 기억 내용을 갱신한다.
제 1 실시예에서는 도 1에 나타낸 바와 같이, 부 반송로(5)가 주 반송로(1)와 교차하도록 배치되어 있다. 그러므로 부 반송로(5) 상의 처리 대상물의 평균 반송 거리는 부 반송로(5)의 단부에서 주 반송로(1)로 처리 대상물이 이송되는 도 17b의 편측 베이 방식의 평균 반송 거리보다도 짧아진다. 도 17a에 나타낸 양측 베이 방식보다 베이간의 반송량을 적게 할 수 있다.
또한 제 1 실시예에서는 각 부 반송로(5)는 2 개의 스토커(6)가 설치되어 있다. 그러므로 1 개의 스토커가 고장 등에 의해 정지하고 있거나 처리 대상물로 가득 찬 경우에도 처리 대상물을 다른 스토커로 반송할 수 있어서, 지장없이 베이간의 반송을 할 수 있다.
도 4는 제 2 실시예에 의한 반송 장치의 배치를 나타낸 평면도이다. 도 1에 나타낸 제 1 실시예에서는 1 개의 스토커(6)가 1 개의 부 반송로(5)에만 처리 대상물을 이송한다. 제 2 실시예에서는 1 개의 스토커(6)가 2 개의 부 반송로(5)로 처리 대상물을 이송한다. 예컨대 도 4에 나타낸 바와 같이, 중앙의 부 반송로(5B)의 좌측에 배치된 2 개의 스토커(6C, 6D)는 중앙의 부 반송로(5B) 뿐만 아니라 좌측 부 반송로(5A)에도 처리 대상물을 이송할 수 있다. 부 반송로(5C)의 좌측에 배치된 2 개의 스토커(6E, 6F)도 부 반송로(5B)의 좌측으로 처리 대상물을 이송할 수 있다. 그 밖의 구성은 제 1 실시예의 경우와 같다.
2 개의 부 반송로로 처리 대상물을 이송할 수 있는 스토커(6)는 2 개의 스토커군에 속한다. 예컨대, 중앙의 스토커(6C, 6D)는 중앙의 부 반송로(5B)에 할당된 스토커군과 좌단의 부 반송로(5A)에 할당된 스토커군에 속한다.
제 2 실시예에서는 하나의 베이의 생산 대상수가 증가한 경우라도, 그 인접한 베이의 생산 대상수가 적은 경우에는, 이들 2 개의 베이에 속하는 스토커(6)의 보관 선반의 대부분을 증가한 생산 대상수의 베이용으로 할당할 수 있다. 그러므로 보관 선반의 이용 빈도를 평준화할 수 있다.
하나의 베이에 할당할 수 있는 스토커(6)의 개수가 실질적으로 증가한다. 그러므로 다른 스토커(6)가 고장으로 인해 정지한 경우에도 1 개의 스토커에 처리 대상물이 집중하는 것을 완화할 수 있다.
또한 제 2 실시예에서는, 2 개의 베이 간의 처리 대상물을 이송할 수 있는 스토커(6)를 경유하여 하나의 베이로부터 다른 베이로 처리 대상물을 반송할 수 있다. 그러므로 주 반송로(1) 상의 부하(load)를 경감할 수 있다.
다음에 제 2 실시예의 반송 장치와 종래의 반송 장치를 사용하여 동일한 제조 공정을 실시한 경우의 시간당 처리 대상물의 반송 회수의 예측 결과에 대해서 설명한다.
도 5a는 예측에 사용된 제 2 실시예의 반송 장치의 배치를 나타낸 평면도이다. 베이의 수는 5 개이다. 도 5a에 나타낸 양 베이에는 각각 2 개의 스토커(6)가 할당되고, 그 밖의 베이에는 4 개의 스토커(6)가 할당되어 있다.
도 5b는 예측에 사용된 종래의 양측 베이 방식의 반송 장치의 배치를 나타낸 평면도이다. 베이의 수는 10 개이다. 각 베이에는 1 개의 스토커(6)가 할당되어 있다.
주 반송로(1)를 경유하는 베이간의 반송 회수는 제 2 실시예의 경우에 27 회였는데 비해, 종래의 경우에는 112 회였다. 제 2 실시예에서 스토커(6)를 경유한 베이간의 반송 회수는 43 회였다. 스토커(6) 내의 크레인에 의한 처리 대상물의 반송 회수는 제 2 실시예에서는 76 회였는데 비해, 종래의 장치에서는 181 회였다. 베이간 반송 회수는 제 2 실시예에서는 263 회였는데 비해, 종래의 장치에서는 308 회였다.
그러므로 제 2 실시예의 처리 대상물의 반송 회수는 종래 장치의 반송 회수보다도 적게 된다.
도 5b에 나타낸 양측 베이 방식의 반송 장치 대신에, 편측 방식의 반송 장치를 사용하면 베이간의 반송 회수가 적어진다. 그러나 베이간의 반송의 평균 반송 거리가 제 2 실시예에 비해 약 1.5 배가 된다. 따라서 평균 반송 시간도 약 1.5 배가 된다. 부 반송로(5)에 무궤도 대차를 사용하는 경우에는, 대차의 수를 늘릴 필요가 있다. 발명자들의 예측으로는 제 2 실시예의 반송 장치에 필요한 대차의 수가 23 개이라면, 동등한 편측 베이 방식의 반송 장치에 필요한 대차의 수는 46 개이다. 베이간의 평균 반송 거리가 약 1.5 배인 데 반해, 필요한 대차의 수가 2 배가 되는 이유는 평균 반송 거리가 길어지면, 대차간의 상호 간섭에 의해 대차의 이용 효율이 저하하기 때문이다.
도 6a는 제 3 실시예에 의한 반송 장치의 개략 정면도이다. 복수의 층을 가지는 빌딩을 생각한다. 1 층에는 주 반송로(1) 및 복수의 베이(9A~9C)를 가지는 제 1 반송 장치가 설치되어 있다. 2 층에는 주 반송로(21) 및 복수의 베이(28A~28C)를 가지는 제 2 반송 장치가 설치되어 있다. 각 베이(9A~9C, 28A~28C)는 도 1에 나타낸 제 1 실시예의 부 반송로(5), 스토커(6) 및 처리 장치(7)를 포함한다.
주 반송로(1, 21)는 양단을 가지는 가상선을 따라서 배치되어 있다. 제 1 층간 반송로(22)는 주 반송로(1)의 일단에 가장 가까운 위치에 배치된 베이(9C)에 할당된 스토커 내의 처리 대상물을 주 반송로(21)의 일단에 가장 가까운 위치에 배치된 베이(28C)에 할당된 스토커로 반송한다. 제 2 층간 반송로(23)는 주 반송로(21)의 일단에 가장 가까운 베이(28A)에 할당된 스토커 내의 처리 대상물을 주 반송로(1)의 일단에 가장 가까운 베이(9A)에 할당된 스토커로 반송한다.
1 층의 베이(9A~9C)는 장치의 제조 공정의 처리 절차에 따라서 배치되어 있다. 2 층의 베이(28C~28A)는 베이(9C)의 다음 공정으로부터 제조 공정의 처리 절차에 따라서 배치되어 있다. 베이(9A, 9B)와 그 다음 베이(9C)에서 처리된 처리 대상물은 제 1 층간 반송로(22)를 경유하여 베이(28C)로 반송된다. 베이(28C)로 반송되어 처리된 처리 대상물은 베이(28B, 28A)에서 처리 절차대로 처리되어, 제 2 층간 반송로(23)를 경유하여 베이(9A)로 반송된다.
예컨대, 베이(9A~9C, 28C~28A)에서 세정, 성막, 포토리소그래피, 에칭, 레지스트 제거, 검사의 공정을 실시한다. 베이(9A)에서 처리를 개시하여 베이(9B, 9C, 28C~28A)에서 실행함으로써, 1 층분의 박막을 형성한다.
복수의 베이가 복수의 층에 제조 공정의 처리 절차에 따라 배치되므로, 전 공정을 종료하는 데 필요한 처리 대상물의 반송 거리를 짧게 할 수 있다.
도 6b는 제 3 실시예의 변형례에 의한 반송 장치의 개략 정면도이다. 도 6b에 나타낸 반송 장치는 도 6a에 나타낸 제 1 및 제 2 층간 반송로(22, 23) 대신에 제 1 및 제 2 층간 스토커(26, 27)를 갖는다. 제 1 층간 스토커(26)는 베이(9C)의 부 반송로 및 베이(28C)의 부 반송로와 처리 대상물을 이송한다. 제 2 층간 스토커(27)는 베이(9A)의 부 반송로와 베이(28A)의 부 반송로 사이에서 처리 대상물을 이송한다. 또한 제 1 및 제 2 층간 스토커(26, 27)는 처리 대상물을 임시로 보관한다.
제 1 및 제 2 층간 스토커(26, 27)는 처리 대상물을 층 사이에서 이송할 수 있다. 그러므로 도 6a의 반송 장치와 마찬가지로 도 6b에 나타낸 반송 장치도 처리 대상물의 반송 거리를 짧게 할 수 있다.
도 7은 제 4 실시예에 의한 반송 장치의 배치를 나타내는 평면도이다. 도 7의 세로 방향으로 연장된 복수의 반송로(60)가 도 7의 가로 방향으로 연장된 가상선(70)과 교차해서 배치되어 있다. 각 반송로(60)는 1 개의 베이에 대응한다. 적어도 2 개의 스토커(61)가 각 반송로(60)마다 배치되어 있다.
각 반송로의 2 개의 스토커(61)는 가상선(70)의 양측에 배치되어 있다. 스토커(61)는 대응하는 반송로(60) 사이에서 처리 대상물을 이송하는 동시에, 또한 처리 대상물을 임시로 보관한다. 도 4에 나타낸 제 2 실시예의 경우와 같이, 각 스토커(61)는 반송로(60)에 인접한 다른 반송로(60) 사이에서 처리 대상물을 이송할 수 있다. 각 반송로(60) 주위에는 복수의 처리 장치(62)가 배치되어 있다. 각 처리 장치(62)는 도 1에 나타낸 처리 장치(7)와 같은 기능을 갖는다.
복수의 스토커(61) 중 임의의 한 쌍의 스토커를 접속로(65)가 접속하고 있다. 접속로(65)는 접속된 2 개의 스토커(60) 사이에서 처리 대상물을 이송한다. 각 접속로(65)는 1 개의 스토커(61)가 접속로(65), 반송로(60) 및 스토커(61) 중의 1 개 또는 2 개 이상을 경유하여 다른 스토커(61)와 연락할 수 있도록 배치되어 있다. 그러므로 하나의 스토커(61) 내의 처리 대상물을 접속로(65), 반송로(60) 및 스토커(61) 중 어느 하나를 경유하여 다른 소망하는 스토커(61)로 반송할 수 있다.
예컨대, 스토커(61)는 각 반송로(60)의 제 1 가상선(70)의 양측에 배치되어 있다. 접속로(65)는 제 1 가상선(70)의 한 쪽에 배치된 스토커(61)에 직렬로 접속되고, 다른 쪽에 배치된 스토커(61)에 직렬로 접속된다. 또한 접속로(35)는 1 개의 반송로(60)에 대응하는 2 개의 스토커(61)를 제 1 가상선(70)에 걸쳐서 접속한다. 즉 접속로(65)는 사다리 꼴의 반송로를 구성한다. 반송로를 이렇게 사다리 꼴로 함으로써, 어떤 스토커(61)나 접속로(65)가 고장난 경우에 우회로를 구성할 수 있게 된다.
도 8은 도 7에 나타낸 접속로의 단면도이다. 2 개의 스토커(61)가 반송로(60)의 양측에 배치되어 있다. 각 스토커(61) 내에는 도 2a 및 도 2b에 나타낸 스토커(6)와 같은 보관 선반이 설치되어 있다. 반송로(60)에 면한 측벽에는 출고 포트(66A) 및 입고 포트(66B)가 형성되어 있다. 출고 포트(66A)와 그에 대향하는 스토커(61)의 입고 포트(66B)가 접속로(65)에 의해 접속되어 있다. 스토커(61) 내의 크레인이 처리 대상물(8)을 출고 포트(66A) 내에 재치하면, 처리 대상물(8)이 벨트 컨베이어(belt conveyer)에 의해 대향하는 스토커(61)의 입고 포트(66B)로 반송된다.
접속로(65) 내는 밀폐 공간으로 되어 있다. 각 스토커(61)에는 스토커(61)의 내부 공간을 정화하기 위한 공기 청정기(67)가 설치되어 있다. 접속로(65)가 밀폐구조로 되어있기 때문에, 접속로(65)의 내부 공간은 스토커(61)의 내부 공간과 거의 같을 정도의 청정도로 유지된다. 처리 대상물은 스토커(61) 및 접속로(65)의 내부 공간만을 경유하여 반송된다. 그러므로 외부 공간의 청정도를 스토커(61)의 내부 공간의 청정도 보다도 낮게 설정할 수 있다.
도 9~도 13을 참조하여, 본 발명의 제 5 실시예에 대해서 설명한다.
도 9는 제 5 실시예의 반송 장치의 평면 배치를 나타내는 개략도이다. 주 스토커(101)는 반송 장치의 거의 중앙에 배치되어 있다. 주 스토커(101)는 도 9의 가로 방향으로 연장된다. 주 스토커(101)의 양측에 복수의 스토커(102)가 배치되어 있다. 각 스토커(102)는 도 9의 세로 방향으로 연장된다. 주 스토커(101)측의 각 스토커(102)의 단부는 접속로(103)를 경유하여 주 스토커(101)의 측면에 접속되어 있다.
각 스토커(102)의 양측에는 복수의 처리 장치(105)가 배치되어 있다. 각 처리 장치(105)는 대응하는 스토커(102)의 측면에 접속되어 있다. 처리 장치(105)는 예컨대 성막 장치, 에칭 장치, 세정 장치, 포토리소그래피 장치 등이다. 주 스토커(101)의 측면에는 검사 장치(106)가 접속되어 있다.
도 10a는 주 스토커(101)의 평면도이다. 주 스토커(101)의 중앙 영역에는 크레인 유닛(110)이 전 길이에 걸쳐 설치되어 있다. 크레인 유닛(110)의 양측에는 주 스토커(101)의 길이 방향을 따라 복수의 보관 전용 유닛(111), 이송 가능 유닛(112) 및 접속용 유닛(113)이 배치되어 있다. 각 보관 전용 유닛(111), 이송 가능 유닛(112) 및 접속용 유닛(113)은 길이 방향을 따라 같은 폭을 갖는다. 그러므로 필요에 따라 어떤 유닛을 다른 유닛으로 교체할 수 있다.
크레인 유닛(110)의 한 단부에는 반송차 연락용 유닛(114)이 배치되어 있다. 크레인 유닛(110) 내에는 크레인(115)이 배치되어 있다. 크레인(115)은 크레인 유닛(110) 내를 그 길이 방향을 따라 이동하여 처리 대상물을 반송한다.
도 10b~도 10d는 각각 보관 전용 유닛(111), 이송 가능 유닛(112) 및 접속용 유닛(113)의 정면도이다. 어떠한 유닛에 있어서도, 최하단에 송풍기 하우징 장소(120)가 확보되고, 그 상단에 2 열 3 단 구성의 6 개의 보관 장소가 확보되어 있다. 각 저장 공간은 처리 대상물을 재치하기 위한 선반을 갖는다. 서로 인접한 보관 공간 사이에는 특히 격벽을 설치할 필요는 없다. 송풍기 하우징 장소(120) 내에는 송풍기가 설치된다. 이 송풍기는 주 스토커(101) 내의 기체를 순환시킨다. 기체의 내부 순환율은, 예컨대 80% 정도이다.
도 10b에 나타낸 바와 같이, 보관 전용 유닛(111)에서는 모든 보관 공간이 보관용 저장 장소(117)로 사용된다. 각 보관용 저장 장소(117)는 하나의 처리 대상물을 보관한다. 도 10c에 나타낸 바와 같이, 이송 가능 유닛(112)에 있어서는 1 단째 및 2 단째가 보관용 저장 장소(117)로 사용되고, 3 단째가 이송용 저장 장소(11 8)로 사용된다. 처리 대상물은 이송용 저장 장소(118)를 경유하여 도 9에 나타낸 처리 장치(105)나 검사 장치(106)로 이송된다. 도 10d에 나타낸 바와 같이, 접속 유닛(113)에서는 1 단째가 입고용 저장 장소(119)로 사용되고 2 단째 및 3 단째가 보관용 저장 장소(117)로 사용된다.
상기와 같이 구성된 보관 전용 유닛(111), 이송 가능 유닛(112) 및 접속용 유닛(113)이 도 10a에 나타낸 바와 같이, 크레인 유닛(110)의 양측에 배치되어 있다. 따라서 복수의 보관용 저장 장소(117), 이송용 저장 장소(118) 및 입/출고용 저장 장소(119)의 일부가 제 1 가상면(122)을 따라 2차원적으로 배치된다. 보관용 저장 장소(117), 이송용 저장 장소(118) 및 입/출고용 저장 장소(119)의 나머지 크레인 유닛(110)에 대하여 제 1 가상면(122)과 반대측의 제 2 가상면(122)을 따라 2차원적으로 배치된다. 크레인 유닛(110)측의 제 1 및 제 2 가상면의 각각의 면을 전면이라고 부르고, 반대측의 면을 배면이라고 부르기로 한다.
크레인(115)은 보관용 저장 장소(117), 이송용 저장 장소(118) 및 입/출고용 저장 장소(119) 사이에서 이들의 전면을 경유하여 처리 대상물을 이송한다. 따라서 주 스토커(101) 내의 소망하는 저장 장소로부터 다른 소망하는 저장 장소로 처리 대상물을 이송할 수 있다.
도 9에 나타낸 스토커(102)는 도 10a에 나타낸 반송차 연락용 유닛(114)을 떼낸 주 스토커(101)와 같은 구성을 가진다. 스토커(102)에는 접속용 유닛(113)이 설치되지 않고, 그 대신에 한 쪽 단부에 도 13을 참조하여 후술하는 접속용 유닛(113a)이 설치된다.
도 11a는 도 9에 나타낸 스토커(102)와 처리 장치(105) 사이의 접속 영역을 나타내는 단면도이다. 스토커(102)의 이송용 저장 장소(118)에는 처리 장치(105)의 이송용 로봇실(130)이 결합되어 있다. 이송용 저장 장소(118)의 전면측에는 개폐 가능한 셔터(122)가 배치되어 있다. 셔터(122)가 닫히면 이송용 저장 장소(11 8) 내의 공간과 크레인 유닛(110) 내의 공간이 차폐된다.
이송용 저장 장소(118)의 배면측에는 개폐 가능한 셔터(격리판)(123)가 배치되어 있다. 셔터(123)가 닫히면 이송용 저장 장소(118) 내의 공간과 이송용 로봇실(130) 내의 공간이 차폐된다. 이송용 로봇실(130) 내에는 이송용 로봇(131)이 배치되어 있다. 이송용 로봇(131)은 처리 대상물을 이송용 저장 장소(118)로부터 집어내어 처리 장치(105)의 처리실(135) 내로 이송하고, 처리실(135)로부터 처리된 처리 대상물을 집어내어 이송용 저장 장소(118)로 되돌린다. 이송용 로봇실(130)에는 문(132)이 설치되어 있다. 이 문(132)을 열어서 이송용 로봇(131)을 보수한다. 이송용 로봇(131)의 보수시에는 셔터를 닫아서 먼지가 스토커(102) 내로 침입하는 것을 방지한다.
보관용 저장 장소(117)의 배면측에는 송풍로(125)가 설치되어 있다. 송풍로(125)로부터 보관용 저장 장소(117)로 정화된 기체, 예컨대 공기가 공급된다. 그러므로 보관용 저장 장소(117) 내에, 그 배면으로부터 전면으로 향하는 기류가 형성된다. 이송용 저장 장소(118)의 전면과 배면을 접속하는 측면에는 송풍로(126)가 설치되어 있다. 송풍로(126)로부터 이송용 저장 장소(118)로 정화된 기체가 공급된다. 송풍로(126)의 출구 근처에는 이온화 장치(121)가 설치되어 있다. 이송용 저장 장소(118) 내로 유입하는 기체를 이온화함으로써, 처리 대상물의 처리 시에 축적된 정전기를 제거할 수 있다. 이들 송풍로의 상세한 구성에 대해서는 도 11b를 참조하여 후술한다.
도 11b는 스토커(102)의 횡단면도이다. 크레인 유닛(110)의 양측에는 보관 전용 유닛(111) 및 이송 가능 유닛(112)이 배치되어 있다. 각 보관 전용 유닛(11 1) 및 이송 가능 유닛(121)의 최하단에 확보된 송풍기 하우징 장소(120)에는 송풍기(127)가 설치되어 있다.
스토커(102)의 위에는 믹싱실(129)이 배치되어 있다. 송풍기(127)의 배기구와 믹싱실(129)을 리턴 덕트(return duct)(128)가 접속한다. 송풍기(127)는 스토커(102) 내의 기체를 흡입하여 리턴 덕트(128) 내로 송출한다. 리턴 덕트(128) 내로 송출된 기체는 믹싱실(129) 내로 반송된다.
보관 전용 유닛(111)의 보관용 저장 장소(117)의 배면측에는 송풍로(125)가 설치되어 있다. 이송 가능 유닛(112)의 보관용 저장 장소(117)의 배면측에는 송풍로(125a)가 설치되어 있다. 송풍로(125a)의 내경은 송풍로(125)의 내경보다 크다.
믹싱실(129) 내의 기체는 청정용 필터(HEPA 필터)를 경유하여 송풍로(125, 125a) 내로 도입된다. 송풍로(125, 125a) 내의 기체는 보관용 저장 장소(117) 내로 공급되어 크레인 유닛(110)을 경유하여 송풍기(127)에 의해 회수된다. 이와 같이, 스토커(102) 내를 기체가 순환한다. 이 순환로의 도중에 배치된 HEPA 필터에 의해 순환하는 기체가 정화된다.
하류측의 송풍로(125a)의 단부는 도 11a에 나타낸 송풍로(126)에 연락되어 있다. 송풍로(125a)와 송풍로(126) 사이의 접속 부분에서 유로 저항이 증가하는 것으로 생각된다. 따라서 이송용 저장 장소(118) 위의 보관용 저장 장소(117)에 유입하는 기류가 다른 보관용 저장 장소(117)에 유입하는 기류보다도 약해지는 것으로 생각된다. 송풍로(125a)를 송풍로(125)보다도 내경을 크게 함으로써 기류의 세기를 순환로 전체를 통해 균일하게 거의 할 수 있다.
송풍기 하우징 장소(120)의 공간과 크레인 유닛(110)의 공간간의 경계에는 케미컬 필터(CF) 및 냉각 패널(CP)이 배치되어도 좋다.
이송용 로봇실(130)의 상면에 설치된 HEPA 필터(HP)에 의해 정화된 기체는 이 로봇실(130) 내로 도입된다. 이 경우에, 이송용 저장 장소(118) 내의 압력이 이송용 로봇실(130) 내의 압력보다도 낮게 되도록 제어된다. 이러한 압력 제어에 의해, 이송용 로봇실(130) 내의 먼지가 스토커(102) 내로 침입하는 것을 방지할 수 있다.
이송용 로봇(131)은 처리실(135)로부터 처리된 처리 대상물을 집어 내어 이송용 저장 장소(118)로 되돌린다. 처리 직후의 처리 대상물은 그 표면으로부터 파티클이나 화학 오염 물질을 방출하기 쉽다. 처리된 처리 대상물을 이송용 저장 장소(118) 내로 되돌릴 때는 셔터(122)를 닫는다. 따라서 파티클이나 화학 오염 물질이 스토커(102) 내의 다른 공간으로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이 경우에, 이송용 저장 장소(118)로부터 이송용 로봇실(130)로 향하는 기류가 형성되어, 파티클이나 화학 오염 물질은 반송용 로봇실(130)측으로 운반된다.
도 12a 및 12b는 도 10a에 나타낸 반송차 연락용 유닛(114)의 개략 평면도 및 개략 정면도이다. 반송차 연락용 유닛(114)은 크레인 유닛(110)의 양측에 배치된 유닛의 단부에 배치된다. 반송차 연락용 유닛(114)에는 반송 접속용 저장 장소(140)가 확보되어 있다. 반송 접속용 저장 장소(140)의 전면에는 개폐 가능한 셔터(141)가 배치되어 있다. 셔터(141)를 열면 크레인(115)과 반송 접속용 저장 장소(140) 사이에서 처리 대상물을 이송할 수 있다.
반송 접속용 저장 장소(140)의 단부 측면에는 개폐 가능한 이송창(142)이 형성되어 있다. 이송창(142) 반대측의 다른 단부 측면에는 송풍로(143)가 배치되어 있다. 송풍로(143)로부터 반송 접속용 저장 장소(140)로 정화된 기체가 공급된다. 송풍로(143)로부터 이송창(142)을 향하여 기류가 형성된다. 이 기류는 이송창(142)이 개방될 때 외부의 먼지가 스토커(101) 내로 침입하는 것을 방지한다.
송풍로(143)에 기체를 공급하는 송풍기(144)가 도 11b에 나타낸 스토커 내의 순환용 송풍기(127)와는 별도로 설치되어 있다. 전용의 송풍기(144)를 설치함으로써, 반송 접속용 저장 장소(140) 내에 충분한 양의 기류를 형성할 수 있다. 또한 스토커(101) 내를 순환하는 기류의 교란을 억제함과 동시에 기체의 충분한 내부 순환율을 유지할 수 있다.
처리 대상물을 반송할 때에는, 반송차(150)는 이송창(142)에 면하는 위치에서 정지한다. 반송차(150) 내에는 처리 대상물의 저장 장소(151)가 확보되고, 저장 장소(151) 내에는 반송용 로봇(155)이 설치되어 있다. 스토커(101)에 면하는 저장 장소(151)의 벽면에는 이송창(152)이 설치되어 있다. 저장 장소(151)의 이송창(152) 반대측의 저장 장소(151)의 벽면에는 복수의 관통 구멍(153)이 형성되어 있다.
송풍로(143)로부터 송출되어 반송 연락용 저장 장소(140), 이송창(142, 152) 및 저장 장소(151) 내를 경유하여 관통 구멍(153)으로부터 외부로 유출하는 기류가 형성된다.
저장 장소(151)의 다른 벽면에는 정화된 기체를 저장 장소(151)로 공급하는 송풍 장치(156)가 설치되어 있다. 그 반대측의 벽면을 관통하여 복수의 관통 구멍(157)이 형성되어 있어서, 송풍 장치(156)로부터 그 반대측의 벽으로 향하는 기류가 형성된다.
도 13은 도 9에 나타낸 주 스토커(101)와 스토커(102) 사이의 접속점을 나타낸 개략 평면도이다. 스토커의 단부에는 접속용 유닛(113a)이 배치되어 있다. 접속용 유닛(113a) 내에는 입/출고용 저장 장소(119a)가 확보되어 있다. 입/출고용 저장 장소(119a)의 공간은 접속로(103)의 공간과 연락되어 있다.
입/출고용 저장 장소(119a)와 크레인 유닛(110) 사이에는 개폐 가능한 셔터(160)가 배치되어 있다. 셔터(160)를 열면, 크레인(115)과 입/출고용 저장 장소(119a) 사이에서 처리 대상물을 이송할 수 있다. 입/출고용 저장 장소(119a)의 측벽에는 송풍로(161)가 설치되어 있다. 송풍기(162)로부터 송풍로(161)를 경유하여 입/출고용 저장 장소(119a) 내로 정화된 기체가 공급된다. 이 기체는 접속로(103)로 반송된다.
주 스토커(101)의 입/출고용 저장 장소(119)에는 접속로(103)의 다른 단부가 접속되어 있다. 주 스토커(101)의 크레인 유닛(110)의 공간과 입/출고용 저장 장소(119)의 공간은 개폐 가능한 셔터(165)로 차폐된다.
주 스토커(101)의 크레인(115)이 처리 대상물을 입/출고용 저장 장소(119)에 재치하면, 접속로(103) 내의 컨베이어가 그것을 스토커(102)의 입/출고용 저장 장소(119a)로 반송한다. 접속로(103)는 처리 대상물을 역방향으로 반송할 수 있다.
접속로(103)의 측벽에는 송풍로(167)가 설치되어 있다. 송풍로(167)로부터 접속로(103)로 정화된 기체가 공급된다. 접속로(103)로 도입된 기체는 예컨대 그 벽면을 통해 형성된 관통 구멍으로부터 배출된다. 처리 대상물이 액정기판 등의 판 형상일 경우에는, 송풍로(167)로부터 공급하는 기류를 기판 면에 평행하게 하는 것이 바람직하다.
접속로(103) 내의 압력은 스토커(101, 102) 내의 압력보다도 낮아지도록 제어된다. 따라서 접속로의 먼지가 스토커 내로 침입하는 것을 방지할 수 있다.
제 5 실시예에 의하면, 복수의 처리 장치 사이에서 처리 대상물을 스토커 및 접속로 내의 공간만을 경유하여 반송할 수 있다. 처리 대상물은 스토커 및 접속로의 분위기와 다른 분위기에는 노출되지 않기 때문에 처리 대상물의 오염을 방지할 수 있다. 또한 청정도를 관리하는 공간이 스토커 및 접속로의 공간으로 한정되기 때문에, 청정도의 관리가 용이하다. 그리고 또한 전용 반송로가 불필요하기 때문에, 반송 장치의 공간을 절약할 수 있다.
도 14는 제 6 실시예에 의한 반송 장치의 개략 평면도이다. 도 9에 나타낸 제 5 실시예에서는 모든 스토커(102)가 직접 하나의 주 스토커(101)에 접속되어 있었다. 제 6 실시예에서는 복수의 스토커(102)가 하나의 링 형상으로 접속되어 있다. 도 14에 나타낸 각 구성 부분에는 도 9에 나타낸 제 5 실시예의 대응하는 구 성 부분과 동일한 참조 번호가 붙여 있다.
예컨대, 링 형상으로 배치된 스토커(102)를 일순(一巡)함으로써, 성막, 포토리소그래피, 에칭 및 시험으로 이루어지는 1 층분의 형성 공정이 종료한다. 이 1 층분의 공정을 5~6 회 되풀이함으로써, 1 개의 기판에 대한 모든 공정이 종료된다.
도 15a는 반송 장치 내에서 처리되어 반송되는 기판을 홀딩하는 트레이를 나타낸다. 복수의 트레이(170)가 쌓이고, 각 트레이에 처리될 기판(175)이 재치된다. 이렇게 쌓인 복수의 트레이(170)는 하나의 단위로서 반송된다.
도 15b는 반송 장치 내에서 반송되는 카세트를 나타낸다. 1 개의 카세트(171)에는 복수의 기판(175)이 재치된다. 이 카세트(171)는 반송 장치 내에서 하나의 단위로서 반송된다.
도 9 및 도 16을 참조하여 처리 대상물의 반송 처리에 대해서 설명한다. 생산 안전 대책 기억 수단(180)은 복수의 처리 장치를 각각 동일한 처리를 수행하는 장치군으로 분류하고, 장치군마다 생산 안전 대책의 수행 여부에 관한 정보를 기억한다. 공정 기억 수단(181)은 처리 대상물을 순차적으로 처리하는 장치군의 순서를 기억한다. 제어 수단(182)은 공정 기억 수단(181)에 기억된 순서에 따라서 처리 대상물을 반송하도록 반송 수단(183)을 제어한다.
생산 안전 대책이 마련된 제 1 장치군의 이송용 저장 장소로부터 다음 공정을 실시하는 제 2 장치군의 이송용 저장 장소로 처리 대상물을 이송하는 경우에는, 처리 대상물을 일단 보관용 저장 장소로 반송한다. 처리 대상물을 보관용 저장 장소에 임시로 저장하기 때문에, 제 1 장치군에 고장이 생겨서 처리 능력이 저하한 경우에도 제 2 장치군에 안정하게 처리 대상물을 공급할 수 있다.
생산 안전 대책이 마련되지 않은 제 3 장치군의 이송용 저장 장소로부터 다음 공정을 실시하는 제 4 장치군의 이송용 저장 장소로 처리 대상물을 이송하는 경우에는, 처리 대상물을 보관용 저장 장소에 보관하는 일이 없이 직접 다음 이송용 저장 장소로 반송된다.
다음과 같은 경우를 생각해 본다. 이 경우에는, 공정 기억 수단(181)이 장치군의 순서를 기억한다. 처리 대상물은 생산 안전 대책이 마련된 제 1 장치군, 생산 안전 대책이 마련되지 않은 제 2 장치군 및 생산 안전 대책이 마련된 제 3 장치군의 순서로 처리하게 되어 있다. 제 1 장치군과 제 3 장치군 사이에는 제 2 장치군 이외에 생산 안전 대책이 마련되지 않은 복수의 장치군을 두어도 좋다. 처리 대상물을 이송용 저장 장소로부터 제 1 장치군과 제 3 장치군 사이의 장치군에 대응하는 다른 이송용 저장 장소로 순차적으로 이송하는 경우에는, 하류측 장치군의 이송용 저장 장소사이의 반송을 상류측 장치군의 이송용 저장 장소 사이의 반송보다도 우선해서 실시한다. 후 공정에서 처리 대상물의 반송을 우선해서 실시함으로써, 간섭 손실(interference loss)이나 생산 정체를 방지할 수 있다.
상기와 같은 바람직한 실시예에 따라서 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에만 한정되는 것을 아니고, 여러 가지 변형, 개량, 조합 등이 가능한 것은 당업자에게는 자명할 것이다.
본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.
(1) 전체적으로 효율적인 반송이 가능하다.
(2) 처리 장치를 포함한 반송 장치 전체의 청정도의 관리를 용이하게 한다.
(3) 처리 장치를 대형화 하여도 반송 장치의 스페이스 절약을 기할 수 있다.

Claims (44)

  1. 처리 대상물을 반송하는 제 1 주 반송로와;
    상기 제 1 주 반송로의 하측을 통과하여 상기 제 1 주 반송로와 교차해서 배치되어 처리 대상물을 반송하는 복수의 제 1 부 반송로와;
    상기 제 1 주 반송로와 상기 각 제 1 부 반송로 간의 각 교차점에 배치되어 상기 제 1 주 반송로 및 대응하는 제 1 부 반송로 사이에서 처리 대상물을 이송하고, 또한 처리 대상물을 임시로 보관하는 제 1 스토커와;
    상기 각 제 1 부 반송로에 대응하여 배치되어, 대응하는 제 1 부 반송로로 반송된 처리 대상물을 받아서 이 처리 대상물을 처리하고, 대응하는 제 1 부 반송로로 되돌리는 복수의 제 1 처리 장치를 구비하는 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    복수의 제 1 스토커가 상기 제 1 주 반송로와 상기 각 제 1 부 반송로간의 각 교차점에 배치된 반송 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    제 1 스토커 중 적어도 일부가 대응하는 제 1 부 반송로에 인접한 다른 제 1 부 반송로 사이에서 처리 대상물을 이송하는 반송 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 주 반송로가 왕로(往路), 왕로에 평행하게 배치된 복로(復路), 왕로의 종단(終端)과 복로의 개시단(開始端) 간을 접속하는 제 1 선회로(旋回路) 및 복로의 종단과 왕로의 개시단을 접속하는 제 2 선회로를 포함하는 반송 장치.
  5. 처리 대상물을 반송하는 제 1 주 반송로와;
    상기 제 1 주 반송로와 교차해서 배치되어 처리 대상물을 반송하는 복수의 제 1 부 반송로와;
    상기 제 1 주 반송로와 상기 각 상기 제 1 부 반송로 간의 각 교차점에 배치되어, 상기 제 1 주 반송로 및 대응하는 제 1 부 반송로 사이에서 처리 대상물을 이송하고, 또한 처리 대상물을 임시로 보관하는 제 1 스토커와;
    상기 각 제 1 부 반송로에 대응하여 배치되며 대응하는 제 1 부 반송로로 반송된 처리 대상물을 받아서 이 처리 대상물을 처리하고, 대응하는 제 1 부 반송로로 되돌리는 복수의 제 1 처리 장치를 구비하는 반송 장치를 사용한 반송 방법으로서,
    동일한 제 1 부 반송로에 대응하는 1 개 또는 복수의 제 1 스토커를 제 1 스토커군으로 하여 관리하고, 제 1 스토커군에 속하는 각 제 1 스토커에 보관할 수 있는 처리 대상물의 수인 보관 가능수로부터, 현재 보관 중인 처리 대상물의 수를 뺀 보관 가능수를 기억하는 공정과;
    기억된 보관 가능수로부터 처리 대상물을 하나의 스토커군으로부터 다른 스토커군으로 반송할 수 있는지의 여부를 결정하는 공정을 구비하는 반송 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 각 제 1 부 반송로로 반송 중인 처리 대상물의 수와 제 1 부 반송로에 접속된 상기 제 1 처리 장치 내의 처리 대상물의 수를 합한 생산 대상수를 기억하는 공정과;
    기억된 생산 대상수로부터 처리 대상물을 하나의 스토커군으로부터 다른 스토커군으로 반송할 수 있는지의 여부를 결정하는 공정을 더 구비하는 반송 방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 스토커 내의 처리 대상물의 다음 반송 대상처의 제 1 스토커군의 보관 가능수로부터 처리 대상물을 반송할 것인지 또는 상기 제 1 스토커 내에 계속해서 보관할 것인지를 결정하는 공정을 더 구비하는 반송 방법.
  8. 처리 대상물을 반송하는 제 1 주 반송로와;
    상기 제 1 주 반송로와 교차해서 배치되어 처리 대상물을 반송하는 복수의 제 1 부 반송로와;
    상기 제 1 주 반송로와 상기 각 제 1 부 반송로 간의 각 교차점에 배치되어 상기 제 1 주 반송로 및 대응하는 제 1 부 반송로 사이에서 처리 대상물을 이송하고, 또한 처리 대상물을 임시로 보관하는 제 1 스토커와;
    상기 각 제 1 부 반송로에 대응하여 배치되어, 대응하는 제 1 부 반송로로 반송된 처리 대상물을 받아서 이 처리 대상물을 처리하고, 대응하는 제 1 부 반송로로 되돌리는 복수의 제 1 처리 장치와;
    제 1 층과 제 2 층을 가지며, 상기 제 1 주 반송로, 상기 복수의 제 1 부 반송로, 상기 복수의 제 1 스토커 및 상기 복수의 제 1 처리 장치는 제 1 층에 설치된 빌딩(building)과;
    각각 상기 제 2 층에 설치된 제 2 주 반송로, 복수의 제 2 부 반송로, 복수의 제 2 스토커 및 복수의 제 2 처리 장치로서, 상기 제 2 부 반송로는 각각 상기 제 2 주 반송로와 교차해서 배치되고, 상기 복수의 제 2 스토커는 각각 상기 제 2 주 반송로와 상기 각 제 2 부 반송로 간의 각 교차점에 배치되어, 제 2 주 반송로 및 대응하는 제 2 부 반송로 사이에서 처리 대상물을 이송하고, 상기 복수의 제 2 처리 장치는 각각 상기 제 2 부 반송로 중의 하나에 배치되며, 상기 제 2 처리 장치는 대응하는 제 2 부 반송로로 반송된 처리 대상물을 받아서 이 처리 대상물을 처리하고, 대응하는 제 2 부 반송로로 되돌리는 제 2 주 반송로, 복수의 제 2 부 반송로, 복수의 제 2 스토커 및 복수의 제 2 처리 장치와;
    상기 제 1 주 반송로, 상기 복수의 제 1 부 반송로 및 상기 복수의 제 1 스토커 중의 어느 하나와, 상기 제 2 주 반송로, 상기 복수의 제 2 부 반송로 및 상기 복수의 제 2 스토커 중의 어느 하나 사이에서 처리 대상물을 반송하는 제 1 층간 반송 수단을 구비하는 반송 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 주 반송로는 대향하는 양단을 가지는 제 1 가상선을 따라서 배치되며,
    상기 제 2 주 반송로는 대향하는 양단을 가지는 제 2 가상선을 따라서 배치되며,
    상기 제 1 층간 반송 수단은 상기 제 1 주 반송로의 일단(一端)에 가장 가깝게 배치된 상기 제 1 부 반송로 또는 상기 제 1 부 반송로에 할당된 상기 제 1 스토커 사이에서 처리 대상물을 이송하고, 또한 상기 제 2 주 반송로의 일단에 가장 가깝게 배치된 제 2 부 반송로 또는 상기 제 2 부 반송로에 할당된 상기 제 2 스토커 사이에서 처리 대상물을 이송하며,
    상기 제 1 주 반송로의 타단(他端)에 가장 가깝게 배치된 제 1 부 반송로 또는 상기 제 1 부 반송로에 할당된 제 1 스토커 사이에서 처리 대상물을 이송하고, 또한 상기 제 2 주 반송로의 타단에 가장 가깝게 배치된 제 2 부 반송로 또는 상기 제 2 부 반송로에 할당된 상기 제 2 스토커 사이에서 처리 대상물을 이송하는 제 2 층간 반송 수단을 더 구비하는 반송 시스템.
  10. 처리 대상물을 반송하는 복수의 반송로와;
    상기 복수의 반송로의 각각에 대응하여 배치되어, 대응하는 반송로 사이에서 처리 대상물을 이송하고, 또한 처리 대상물을 임시로 보관하는 스토커와;
    2 개의 스토커를 접속하여 양자 사이에서 처리 대상물을 이송하는 접속로로서, 1 개의 스토커 내의 처리 대상물을 상기 접속로, 상기 반송로 및 상기 스토커 중의 1 개 또는 2 개 이상을 경유하여 다른 모든 스토커에 반송할 수 있도록 배치된 접속로와;
    상기 각 반송로에 대응하여 배치되어, 대응하는 반송로로 반송된 처리 대상물을 받아서 이 처리 대상물을 처리하고, 대응하는 반송로로 되돌리는 복수의 처리 장치를 구비하는 반송 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 복수의 반송로는 대향하는 양단을 가지는 제 1 가상선과 서로 다른 지점에서 교차하고,
    상기 스토커는 대응하는 반송로에 인접한 다른 반송로 사이에서 처리 대상물을 반송할 수 있는 반송 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 스토커 중 적어도 하나는 상기 각 반송로에 대응하여 제 1 가상선의 양측에 배치되며,
    상기 접속로는 제 1 가상선의 한 쪽에 배치된 상기 스토커와 직렬로 접속되고, 다른 쪽에 배치된 상기 스토커와 직렬로 접속되어, 제 1 가상선에 걸쳐서 상기 각 반송로에 대응하는 상기 2 개의 스토커와 접속되는 반송 장치.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 스토커의 내부 공간을 외부 공간보다도 청정화하는 청정화 수단을 더 구비하며,
    상기 접속로의 내부 공간이 상기 스토커의 공간 이외의 공간으로부터 격리된 밀폐 공간으로 되는 반송 장치.
  14. 기체가 순환되는 공간을 획정(劃定)하는 스토커와;
    상기 스토커에 연결되어 처리 대상물을 처리하는 복수의 처리 장치를 구비하며,
    상기 스토커 내에는, 처리 대상물을 보관하는 복수의 보관용 저장 장소와, 상기 각 처리 장치에 설치되어 대응하는 처리 장치 사이에서 처리 대상물을 이송하기 위한 복수의 이송용 저장 장소가 확보되며, 상기 스토커는 그 내부 공간 내에, 보관용 저장 장소로부터 다른 보관용 저장 장소나 이송용 저장 장소로 또는 이송용 저장 장소로부터 다른 이송용 저장 장소나 보관용 저장 장소로 처리 대상물을 반송하는 반송 수단을 가지며,
    상기 각 처리 장치는 대응하는 이송용 저장 장소에 저장된 처리 대상물을 받고, 이 받은 처리 대상물을 처리하고, 처리된 처리 대상물을 대응하는 이송용 저장 장소로 되돌리는 반송 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 복수의 보관용 저장 장소 및 이송용 저장 장소의 적어도 일부는 제 1 가상면을 따라서 2차원적으로 배치되고, 상기 반송 수단은 상기 제 1 가상면의 한 쪽에 배치되며, 상기 제 1 가상면을 따라서 배치된 보관용 저장 장소 및 이송용 저장 장소의 상기 제 1 가상면의 한 쪽 측을 전면(front surface)으로 하고 다른 쪽 측을 배면(back surface)으로 할 때, 상기 반송 수단은 전면을 경유하여 상기 보관용 저장 장소 및 이송용 저장 장소 사이에서 처리 대상물을 이송하며, 상기 처리 장치는 배면을 경유하여 상기 이송용 저장 장소 사이에서 처리 대상물을 이송하며,
    보관용 저장 장소 내에 배치되어 그 배면에서 전면으로 청정화된 기체를 공급하는 제 1 송풍로를 더 구비하는 반송 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    복수의 보관용 저장 장소와 이송용 저장 장소의 남은 다른 일부는 제 1 가상면의 전면측과 대향하는 제 2 가상면을 따라서 2차원적으로 배치되며, 보관용 저장 장소 및 이송용 저장 장소의 제 1 가상면측을 전면으로 하고 다른 측을 배면으로 할 때, 상기 반송 수단이 상기 제 2 가상면을 따라서 배치된 보관용 저장 장소 및 이송용 저장 장소와 전면을 경유하여 처리 대상물을 이송하고, 상기 처리 장치가 이송용 저장 장소와 배면을 경유하여 처리 대상물을 이송하는 반송 장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    개폐 가능하고, 이송용 저장 장소의 전면측에 배치되며, 이송용 저장 장소의 공간과 상기 스토커의 공간을 격리하는 셔터를 더 구비하는 반송 장치.
  18. 제 15 항에 있어서,
    이송용 저장 장소의 전면과 배면을 접속하는 측면 또는 상면(upper surface)으로부터 이송용 저장 장소의 공간 내로 청정화된 기체를 공급하는 제 2 송풍로를 더 구비하는 반송 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 2 송풍로로부터 상기 이송용 저장 장소의 공간으로 공급된 기체를 이온화하는 이온화기(ionizer)를 더 구비하는 반송 장치.
  20. 제 15 항에 있어서,
    상기 스토커는 제 1 가상면을 따라서 제 1 방향으로 배치된 복수의 유닛을 포함하고, 상기 유닛은 보관용 저장 장소와 이송용 저장 장소 중 보관용 저장 장소만을 확보하는 보관 전용 유닛과, 보관용 저장 장소와 이송용 저장 장소 모두를 확보하는 이송 가능 유닛으로 분류되는 반송 장치.
  21. 제 20 항에 있어서,
    보관 전용 유닛의 제 1 방향의 폭이 이송 가능 유닛의 제 1 방향의 폭과 같으며, 보관 전용 유닛은 이송 가능 유닛에 의해 그 위치가 교체될 수 있는 반송 장치.
  22. 제 18 항에 있어서,
    제 1 송풍로는 제 3 송풍로와 제 4 송풍로를 포함하며, 제 3 송풍로는 보관용 저장 장소의 배면을 따라서 배치되어 하류단으로부터 제 2 송풍로로 기체를 공급하며, 제 4 송풍로는 제 2 송풍로에 접속되어 있지 않으며, 제 3 송풍로는 제 4 송풍로보다도 넓은 기체 공급 단면을 갖는 반송 장치.
  23. 제 15 항에 있어서,
    제 1 단부가 스토커의 공간에 접속되고, 제 2 단부가 제 1 송풍로에 접속된 리턴 덕트(return duct)와;
    제 1 단부에 배치되어 상기 스토커 내의 기체를 리턴 덕트로 공급하는 송풍 장치를 더 구비하며,
    제 1 송풍로는 리턴 덕트로 도입된 기체를 보관용 저장 장소의 배면으로 반송하는 반송 장치.
  24. 제 23 항에 있어서,
    리턴 덕트와 제 1 송풍로 간의 접속부에 삽입되어, 리턴 덕트로부터 공급된 기체를 기체 청정화 필터를 경유하여 제 1 송풍로로 반송하는 기체 믹싱 유닛(gas mixing unit)을 더 구비하는 반송 장치.
  25. 제 14 항에 있어서,
    상기 처리 장치는 대응하는 이송용 저장 장소의 배면에 접속되어 이송용 저장 장소의 공간과 연통하는 공간을 획정하는 로봇실과;
    로봇실에 접속된 처리실과;
    로봇실 내에 배치되어 이송용 저장 장소와 처리실 사이에서 처리 대상물을 반송하는 반송 로봇과,
    로봇실에 청정화된 기체를 공급하는 로봇실용 송풍로를 구비하는 반송 장치.
  26. 제 25 항에 있어서,
    로봇실과 이송용 저장 장소의 공간을 격리할 수 있는 격리판을 더 구비하는 반송 장치.
  27. 기체가 순환하는 공간을 획정하는 복수의 스토커와;
    상기 각 스토커에 연결되어 처리 대상물을 처리하는 복수의 처리 장치와;
    상기 복수의 스토커 중 2 개의 스토커를 접속하고, 대응하는 스토커의 공간과 연통하는 공간을 획정하며, 대응하는 스토커 사이에서 처리 대상물을 이송하는 접속로를 구비하며,
    상기 스토커 내에는, 처리 대상물을 보관하는 복수의 보관용 저장 장소와 상기 각 처리 장치에 설치되어 대응하는 처리 장치 사이에서 처리 대상물을 이송하는 복수의 이송용 저장 장소 중 어느 하나의 복수의 저장 장소가 확보되며, 상기 스토커는 상기 각 접속로에 설치되어 대응하는 접속로 사이에서 처리 대상물을 이송하는 입/출고용 저장 장소, 복수의 보관용 저장 장소 및 이송용 저장 장소 중의 어느 하나의 저장 장소로부터 다른 저장 장소로 처리 대상물을 반송하는 반송 수단을 가지며,
    상기 각 처리 장치는 대응하는 이송용 저장 장소에 저장된 처리 대상물을 받아서, 이 받은 처리 대상물을 처리하고, 처리된 처리 대상물을 대응하는 이송용 저장 장소로 되돌리는 반송 장치.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 접속로의 공간에 청정화된 기체를 공급하는 제 1 송풍로와;
    상기 접속로의 공간 내의 기체를 배출하는 제 1 배출 구멍을 더 구비하는 반송 장치.
  29. 제 27 항에 있어서,
    상기 스토커 내의 압력은 상기 스토커에 접속된 상기 접속로 내의 압력보다 높게 제어되는 반송 장치.
  30. 제 27 항에 있어서,
    상기 복수의 스토커 중 적어도 하나의 내부 공간 내에는, 개폐 가능한 제 1 이송창을 경유하여 반송차와의 사이에서 처리 대상물을 이송하기 위한 이송용 저장 장소가 확보되어 있으며,
    상기 스토커는 이송용 저장 장소 내의 공간을 상기 스토커 내의 공간으로부터 차폐하는 개폐 가능한 셔터와 청정화된 기체를 이송용 저장 장소로 공급하는 제 2 송풍로를 포함하는 반송 장치.
  31. 제 30 항에 있어서,
    제 2 송풍로는 이송용 저장 장소의 제 1 이송창과는 반대측으로부터 제 1 이송창을 향해서 기체를 공급하는 반송 장치.
  32. 제 30 항에 있어서,
    상기 스토커 내의 기체를 순환시키기 위한 제 1 송풍 장치와;
    제 2 송풍로를 경유하여 이송용 저장 장소 내로 기체를 공급하기 위한 제 2 송풍 장치를 더 구비하는 반송 장치.
  33. 제 30 항에 있어서,
    이송용 저장 장소와의 사이에서 처리 대상물을 이송하는 반송차를 더 구비하며,
    반송차는 처리 대상물을 저장하는 반송용 저장 장소와;
    처리 대상물을 이송용 저장 장소 사이에서 이송하는 개폐 가능한 제 2 이송창과;
    제 2 이송창으로부터 공급된 기체를 이송용 저장 장소를 통과하여 반대측 면에서 배출되도록, 상기 반대측의 면에 형성된 제 2 배출 구멍을 구비하는 반송 장치.
  34. 제 27 항에 있어서,
    상기 복수의 스토커 중 하나는 상기 접속로를 경유하여 다른 모든 스토커 각각에 직접 접속되어 있는 반송 장치.
  35. 제 27 항에 있어서,
    상기 복수의 스토커는 상기 접속로를 경유하여 링 형상으로 접속되는 반송 장치.
  36. 제 27 항에 있어서,
    상기 복수의 처리 장치를 각각 동일한 처리를 수행하는 장치군으로 분류하고, 상기 장치군마다 생산 안전 대책의 구비 여부를 기억하는 생산 안전 대책 기억 수단과;
    처리 대상물을 처리하는 장치군의 순서를 기억하는 공정 기억 수단과,
    공정 기억 수단에 기억된 순서에 따라서 처리 대상물을 이송하도록 상기 반송 수단을 제어하는 제어 수단을 더 구비하며,
    제어 수단은 생산 안전 대책을 구비한 장치군에 대응하는 이송용 저장 장소로부터 다음 이송용 저장 장소로 처리 대상물을 반송하는 경우에, 처리 대상물을 일단 보관용 저장 장소로 이송하도록 상기 반송 수단을 제어하는 반송 장치.
  37. 제 36 항에 있어서,
    제어 수단은 생산 안전 대책을 구비하지 않은 장치군에 대응하는 이송용 저장 장소로부터 다음 이송용 저장 장소로 처리 대상물을 반송하는 경우에, 처리 대상물을 보관용 저장 장소에 보관하지 않고 직접 다음 이송용 저장 장소로 이송하도록 상기 반송 수단을 제어하는 반송 장치.
  38. 제 36 항에 있어서,
    생산 안전 대책이 구비된 장치군, 생산 안전 대책이 구비되지 않은 다른 장치군 및 생산 안전 대책이 구비된 다른 장치군의 순서와 같은 공정 기억 수단 내에 기억된 각 장치군의 처리 순서에 따라서, 처리 대상물을 하나의 이송용 저장 장소로부터 다음 이송용 저장 장소로 순차적으로 반송하는 경우에, 하류측 장치군의 이송용 저장 장소 사이에서의 반송을 상류측 장치군의 이송용 저장 장소 사이의 반송보다도 우선해서 실시하는 반송 장치.
  39. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 주 반송로는 닫힌 루프 형상의 반송로인 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  40. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 부 반송로는 닫힌 루프 형상의 반송로인 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  41. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스토커는 직방체 형상의 하우징이며, 그 하우징 안에 배치된 크레인을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  42. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스토커는 직방체 형상의 하우징이며, 그 하우징의 측벽에는 처리 대상물을 보관하는 다수의 보관 선반을 갖는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  43. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스토커는 직방체 형상의 하우징이며, 상기 주 반송로에 면하는 측벽의 일부에 입고 포트 및 출고 포트를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  44. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스토커는 직방체 형상의 하우징이며, 상기 부 반송로에 면하는 측벽의 일부에 입고 포트 및 출고 포트를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
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