TW432471B - Transport apparatus, method and system - Google Patents

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432471 A7 _ B7 五、發明說明（1 )

本發明根據1998年12月15曰申請之日本專利申請HEI 10-371421及1999年3月19日申請之日本專利申請hei 11_ 76699 ’整體内容以提及方式併入本文中。 發明背景 a) 發明領域 本發明有關一種運送裝置、方法及系統，適用於半導 禮裝置及液晶颛示裝置之生產線。 b) 相關技藝描述 半導艘裝置及液晶顯示被*畊用的大多數生產線採用 一工坊（job shop)生產模式，其由以整體方式控管由同功 能的處理裝置構成之一裝置組或數裝置組構成之一大型裝 置組，各裝置組中的多數裝置及附加的裝填器與卸除器係 容納在稱為灣部（bay)的各分隔小室中。 第17A圖為一平面圖，顯示構成半導體裝置的生產線 之一習知運送裝置的配置’第17A圖的一側向中延伸之一 主要運送路徑200係設為運送裝置之一概呈中央部，次要 運送路徑201在主要運送路徑2〇〇的多數預定位置上分又離 開主要運送路徑200，次要運送路捏201配置在主要運送路 徑200兩側上’當針對一次要運送路徑2〇1時，此路徑2〇1 僅配置於主要運.送路徑200—側上，一次要運送路徑2〇1對 應一灣部，次要運送路徑亦稱為灣部内運送路徑，主要運 送路徑200及次要運送路徑201係運送譬如晶圓£等工件。 對於各次要運送路徑201提供一個堆料器202，推料器 202在主要運送路徑200舆對應的次要運送路徑201之間運 本紙張尺度適用中囲國家標準（CNS)A4規格<210 X 297公爱） -------------. — 1 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) -線 Γ 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 A7 4 3 24 7 1 B7______ 五、發明說明（2 ) -送一工件且亦暫時堆置一工件，為了將一工件從一灣部送 到另一灣部’藉由主要運送路徑200將工件從起自灣部運 送的堆料器202送到運送目的灣部之堆料器2〇2，亦即，若 —工件從一灣部送到另一灣部，則採用主要運送路徑2〇〇 ’因此主要運送路徑200稱為灣部間運送路徑β 預定處理裝置203係配置於次要運送路徑201周圍，各 處理裝置在次要運送路徑201的運送下接收一工件，並執 ^ 行一預定程序以隨後將工件送回到次要運送路徑201。 第17Β圖係為顯示一習知運送裝置的另一配置之平面 圖’在第17Β圖之此範例中，次要運送路經201僅配置於 一主要運送路徑200—側，其他結構與第17Α圖所示相同 ’第17Α圖的運送裝置採用一雙側灣部系統，第17Β圖的 運送裝置採用一單側灣部系統。 ' 決定一灣部中的一工件運送目的地時，決定了對於工 . 件執行下一程序之一處理裝置組，然後決定了作為運送目 ^ 的地之用於容納所決定處理組之灣部堆料器。 運送裝置中，不同處理程序中具有待處理的多數工件 ，為了處理具有不同處理順序之一工件，各處理裝置需進 行一處理順序切換工作，譬如在曝光系統中，需進行譬如 更換光罩等工作。為了降低處理順序切換工作中之一損失 ，較佳對處理順序進行排序，故可由相同程序.連續處理工 件，因此，可由相同程序處理的多數工件係堆在堆料器202 中，故可連續供應能由相同程序處理的工件。 需將相同程序處理的系列工件供應至同時處理多數工 本紙張尺度適用中囲國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公釐） ----------- -- 裝.---- 訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經聲部智慧財產局貝工消f合作社印製 4324 7 1 A7 __ B7 五、發明說明（3 ) 件的批次處理（batch process)之一處理裝置，因此，堆料 器202需罐置能由相同程序處理之多數工件，堆料器202因 此以不同處理順序來堆置待處理之多數工件，相同程序處 理的一組工件係分開堆置， 第17A圖所示的雙側灣部系統的運送裝置中，堆料器 202與灣#中的處理裝置203之間的一平均距離很短，可使 灣部t的運送時間报短，因為次要運送路徑2〇1配置於主 要運送路徑200兩側上，可在主要路徑2〇〇與次要運送路徑 201之間提供數個連接點，因此易逐步增加灣部數量，但 因灣部數量增加，包括灣部間的運送之一總運送距離可能 變長，特別是可能增加主要運送路徑200與次要運送路徑 201之間的傳送數目。 第17B圓所示的單側灣部系统之運送裝置中，可能縮 短了包括灣部間運送之總運送距離、並減少主要運送路徑 200與次要運送路徑201之間的傳送數，但各灣部中的一平 均運送距離很長’難以在主要運送路徑200與次要運送路 徑201之間提供數個連接點，故此單側灣部系統不適合逐 漸增加灣部數量。 第17A與17B圖所示的運送裝置中，若堆料器2〇2充滿 工件或有缺陷’ 一灣部處理的一工件無法送到進行下一程 序處另一灣部的堆料器202,為了對付此情形，已採用其 一 ·*" 中界定了用以暫時堆置一工件以將無法運送的工件送到一 所需灣部之暫時堆料器之方法’但此方法中，增加了用於 暫時堆置的運送數，此外，暫時堆料器可變成充滿了無法 本紙張尺度適用18國家楳準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------------ (猜先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} Ή · -線 經濟部笮慧財產局員工消费合作社印製 6 A7 B7 4324 經Φ'部智慧財產局貝工消費合作社印製 五、發明說明（4 ) 運送之工件’使得主要在此堆料器中堆置的工件無法受到 堆置。 譬如無法利用容器在天花板裝設的軌道上移動類型的 一天花板運送裝置、或在地上裝設的軌道上運行之一無人 地面運送車，來實現如第17A及17B圖所示的主要路徑200 及次要運送路徑201，對於此結構’需對各處理裝置獨立 提供用於暫時堆置譬如半導艎裝置及液晶顯示裝置等工件 ^ 之空間、及供一裝填器/卸除器在運送路徑與處理裝置之 間傳送一工件之一空間。 當工件變大時，堆置設備及裝填器/卸除器亦變大， 因此所需潔淨室的面積亦加大，當處理裝置變大，運送路 徑變大而使所需容器數或構成運送路徑的無人車數增加。 在一灣部上之一處理裝置所處理的一工件，藉由次要 - 運送路徑、一堆料器、運送路徑、另一堆料器、及另一次 要運送路徑，送到另一灣部上的下一處理裝置，因此，各 處理襞置需獨立控管潔淨程度。 發明概論 本發明的一目的提供能以高度總效率運送工件之—種 運送裝置。 根據本發明的一型態所提供之一種運送裝置包含：一 第一主妻運送路徑，用以運送一工件；多數第一次要運送 路徑，其與第一主要運送路徑相交配置，該第一次要運送 路徑係運送該工件；一第一堆料器配置於第一主要運送路 徑與各第一次要運送路徑之間的各交點上，第一堆料器將 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I I I I--------裝·! 1 訂·----II--線 (請先閲tt·背面之沒意事項再填寫本頁} 432471 « A7 經濟部暫慧財產局員工消费合作杜印數 __W__五、發明說明（5 ) 工件送入及送出第一主要運送路徑及一對應第一次要運送 路徑、並暫堆置該工件；及多數第一處理裝置，其與各第 一次要運送路徑對應配置，第一處理裝置係接收了在一對 應第一次要運送路徑上運送的工件、處理該工件、並將該 工件送回到對應的第一次要運送路徑β 因為次要運送路徑與主要運送路徑相交，次要運送路 徑上之一平均運送距離可比次要運送路徑端點上工件送入 及送出主要運送路徑情形更為縮短。 圖式簡單說明 第1圖為根據本發明第一實施例的一運送裝置的配置 J 第2Α及2Β囷為第一實施例的運送裝置之示意正視圖 及平面圖； 第3圖為利用第一實施例的運送裝置顯示一生產管理 方法之方塊圖； 第4圖為根據本發明第二實施例顯示運送裝置之配置 的平面圊； 第5Α圖為顯示第二實施例的運送裝置之配置之平面 圖，第5Β圖為顯示一雙側灣部系統的習知運送裝置的配 置； 第6Α及6Β围_分別為根據本發明第三實施例的運送裝 置其修改之示意正視圖； 第7·®為頰示根據本發明第四實施例的運送裝置之配 置的平面圖： (請先《讀背面之注意事項再填寫本買) *β . -線· 本紙張尺度用中國國家標準（CNS)A4规格（210 X 297公釐）

7 五、發明說明（6 ) 第8圖為第四實施例的運送裝置之連接路徑之示意剖 視圖； 第9圖為根據本發明第五實施例之運送裝置之示意平 面圈； 第10A圖為第五實施例的一主堆料器之平面圖，第1〇B 至10D圖分別為一堆置專用單元、一可傳送單元、及一連 接單元之正視圖； _ 第11A及11B圖分別顯示一堆料器與一處理單元之間 的一連接部之平面圊及橫剖視圊； 第12A及12B圖分別為一運送載具傳送單元之平面圓 及正視圖； 第13圊為主堆料器與一堆料器之間的一連接部； 第14圖為根據本發明第六實施例之運送裝置之示意平 面圖； 第15A及15B圖分別為利用實施例的運送裝置來容納 待傳送的一工件之一盤與一匣之剖視圖； 第16圖顯示實施例運送裝置之運送順序之方塊囷； 第17A及17B圖顯示一習知運送裝置之平面圖。 較佳實施例之詳細描述

第1圖顯示根據本發明第一實施例之一運送裝置的配 置，在第1圈一側向中延伸之一主要運送路徑I係設在運送 裝置配置處區域之一概呈中央部中，主要運送路徑1包括. 一往外路徑1A、一回行路徑1B，其概與往外路徑丨八平行 配置、一第一脊曲路徑1C使往外路徑1A端點與回行路徑IB 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ij· -線· 經济部智慧財產局員工消費合作杜印製 9 A7 432471 B7____ 五、發明說明（7 ) 起點相連、及一第二彎曲路徑1D，使回行路徑1B端點與 往外路徑1A起點相連，因此主要運送路徑係為一閉迴路 運送路徑》 多數的夹斧運送路徑5係與主要運送路徑i相交配置， 各次要運送路控5與主要運送路徑1相似而為一閉迴竭 路徑’主要運送路徑1及次要運送路徑5係運送工件，製造 半導體裝置時，採用作為工件之一匣收納半導馥基板，並 在製造液晶顯示裝置時，使用作為工件之收納玻缚基 板。 在主要運送路徑1與各次要運送路徑5之間的各交點上 配置兩堆料器6,堆料器6在主要運送路徑〗與各次要運送 路徑5之間傳送一工件並暫時堆置工件，可將三個或更多 個堆料器配置於各次要運送路徑5上。 多數處理裝置7配置於各次要運送路徑5周圍，該等處 理裝置7接收了次要運送路徑5上的一工件、將其進行處理 、並回送到次要運送路徑5，處理裝置7的範例包括一化學 蒸氣沉積（CVD)系統、一離子植入系統、一曝光系統'一 熱處理系統及類似物。 第2A囷為正視圚，顯示了第一實施例的運送裝置之 堆料器6、主要運送路徑1及次要運送路徑5 ,第2b囷為平 面®’主要運送路徑1包含一線性馬達軌道及容器Η， 軌道10包括一往外軌道1〇Α及一回行軌道10Β，其安裝在 容納運送裝置之室内天花板上，容器u係由執道1〇所引導 並由一線性馬達所移動，待處理的工件8容納在各容器u 本紙張尺度適用中國81家標準（CNS>A4規格（21{)>«297公着> < ^ P I 1 1· n H ! I ^ ϋ I I - ϋ I <請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 線. Γ 經濟却智慧財產局貝工消费合作杜印製 10 、 經濟部智慧財產"興工消费合作社印製 Α7 43247] Β7 .. ___________ 五、發明說明（8 ) 中。 係由一實軌道16與沿該實軌道16移動的一無軌地面車 ' 丨5構成該次要運送路徑5 ,該無軌車15運送該處容納的工 件8。 堆料器6包含一概呈堅固形狀的殼體及該處安裝之一 吊具61 ’用以堆置之數個堆置架12係形成於殼體側壁上， 一現貨埠12Α及一缺览埠12Β形成於朝向軌道10的側壁之 ^ 一部份區域上，另一現貨埠12C及另一缺貨埠12D形成於 朝向實軌道16的側壁之一部份區域上。 容器11送入的工件係由一機械臂或類似物送到現貨埠 12Β，缺貨部12Α中的工件係由一機械臂或類似物送到一 空容器’車15運送的工件係由裝在車15上的機械臂送到現 貨埠12C，堆置在缺貨埠12D令的工件係由機械臂送到一 - 空車15,吊具61將工件傳送在現貨埠12Α及12C、缺貨埠12Β 及12D及堆置架12之間。 ^ 第3囷為顯示第一實施例的運送裝置的一管理系統之 方塊圖，該管理系統用一堆料器組識別碼來控管屬於相同 次要運送路徑5-亦即相同灣部之多數堆料器6，一程序健 存裝置30儲存各工件之處理順序，一處理/堆料器組識別 碼儲存裝置31储存了各程序與對照執行程序的灣部堆料器 -' 組識別碼間之對應關係。 一可空數儲存裝置32對各堆料器組儲存一可空數，其 為能堆在屬於各堆料器組的堆料器中之工件數減去缺貨數 而得。一進行生產數儲存裝置33對各灣部儲存一進行生產 本紙張尺度適用令國國家標準（CNSXA4規格（210 X 297公董） ----I-----— — I----- I 1 I I I 訂·--I I ! I-- {靖先閱讀背面之注$項再填窝本頁) 11 A7 432471 B7___ 五、發明說明（9 ) 中的數目，係為在各灣部的次要運送路徑5工件數與連接 到次要運送路徑5的處理裝置7中的工件數之總數。 {請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 一程序管理裝置34依程序儲存裝置30所存資訊決定一 工件下一程序並判定灣部的堆料器組識別碼，其中該灣部 處根據程序/堆料器組識別碼儲存裝置31所存資訊執行下 一程序，所判定的堆料器組識別碼供至一控制裝置35 » 控制裝置35根據由程序管理裝置34供應之運送目的地 之堆料器組識別碼、並根據可空數儲存裝置32所存資訊， 來判斷工件是否運送或暫存在目前的堆料器置。譬如，若 運送目的地上之堆料器組的可空數為參考值或更小，則暫 時堆置該工件；若工件將受運送，則加入了判定該堆料器 屬於運送目的地處堆料器組之一堆料器之一運送指示訊號 係傳輸到一運送裝置軀動裝置36。 可考慮運送目的地上的可空數及進行生產數儲存裝置 33所存之運送目的湾部上的進行生產數，來判斷工件將受 運送或暫時儲存。大的進行生產數代表灣部中的處理裝置 僅有少量生產餘裕’藉由根據運送目的灣部上的堆料器短 之可空數及進行生產數，來判斷工件將受運送或暫時儲存 經濟部智慧财產局貝Η消费合作社印敦 ，可有更適當的^担^!^，謦如，可空數值-減云進行生立 數值在,若 暫時堆置該工件。 為了回應運送指示訊號，驅動裝置36驅動該主要運送 路徑1、次要運送路徑5及堆料器6，運送結果送回到控制 裝置35 ’根據運送結果，控制裝置35更新可空數儲存裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公麓） 12 A7 B7 432471 五、發明說明（10) 32及進行生產數儲存裝置33的儲存内容。 第一實施例中，如第1圖所示，次要運送路徑5與主要 運送路徑相交配置，因此，次要運送路徑5上的一工件之 一平均運送距離變成大於第17Β圖所示的單側潸部系統之 平均運送距離，其中一工件在次要運送路徑丨端點上送到 主要運送路徑1，該灣部間運送量可比第17Α圖所示的雙 側灣部系統更加降低 且在第一實施例中，各次要運送路徑5設有兩個堆料 器6’因此，即使一堆料器因意外之類而停止、或充滿工 件時，一工件可送到另一堆料器，輕易進行一灣部間的運 送。 第4圊為顯示根據第二實施例的一運送裝置的配置之 平面圖，第1圖所示第一實施例中，一堆料器6僅將一工件 送到一次要運送路徑5，第二實施例中，一堆料器6可將一 工件送到兩個次要運送路徑5，譬如第4圚所示，配置於一 中央次要運送路徑5Β左侧上之兩堆料器6C及6D，可將一 工件送到中央次要運送路徑5Β及一左侧次要運送路徑5 A ’配置在最右次要運送路徑5C左側上之兩堆料器6E及6F 可亦將一工件送到左側次要運送路徑5B，其他結構則與 第一賁施例相同。 能將一工件送到兩次要運送路徑之堆料器係屬於兩個 —-* 堆料器組，譬如，中央堆料器6C及6D屬於分配在中央次 要運送路徑5B的堆料器-組及分配在最左次要運送路徑5 A 的堆料器組。 本紙張尺度適用中國困家揉準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ϋ I ϋ ϋ n *1 t— I * n n tL <锖先閲讀背面之注意事項再填窝本頁> 訂 , 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 13 432471 A7 B7 經濟部智慧財產局βί工消费合作社印製 五、發明說明（11) 第二實施例中，即使一灣部的進行生產數增加，若相 鄰潸部的進行生產數很小，則屬於兩灣部的堆料器之大多 數堆置架可分配予具有增加進行生產數的灣部，因此可使 堆置架的使用頻率變得均句β 可分配至一灣部的堆料器6數目增加，因此即使其他 堆料器6意外停止時，.仍可能減輕一堆料器上工件的集中 程度。 , 第二實施例中，可由能在兩灣部之間傳送工件之堆料 器6,將一工件自一灣部送到另一灣部，因此可能降低主 要運送路徑1上的負荷。 然後用第二實施例的運送裝置及一習知運送裝置執行 相同製造程序時’可描述每小時運送工件數的預測結果。 第5Α圖為顯示用於預測的第二實施例之運送裝置的 一配置之平面圖，灣部數為五個，第5八圖所示的相對烤 部各分配有兩個堆料器6，其他灣部分配有四個堆料器 第5 b围為顯示用於預測的雙側灣部系統之—習知運送 裝置的-配置之平面ffl ’灣部數為十㈤，各潸部分配有一 個堆料器6。 經由主要運送路徑1之灣部間運送數在習知裝置中 十七，經由堆料器6之灣部間運送數在第二實施例裝 為 置 中為四十三，堆料器6中的吊具之工件運送數在第二實 例中為七十六、在習知裝置中為一百八十一，灣部内運送 數在第二實施例裝置中為兩百六十二、在習知裝置中為 百零八》 施 -H Γ— — — — — —— — — — — — — · I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·- Γ 14 A7 B7 4 3 2 4.7 1, 五、發明說明（12) 第二實施例中的一工件運送數因此小於習知裝置中的 x件運送數。 ‘ 若採用單側系統的運送裝置取代第5B囷所示的雙侧 灣部系統的運送裝置，則降低了灣部間的運送數，但是， 灣部内運送的平均運送距離變成長達第二實施例之約i.5 倍’因此’平均運送時間亦變長約1·5倍，若在次要運送 路徑5上使用一無軌車，則需增加車數。根據發明人所作 0 預測，若第二實施例的運送裝置所需車數為二十三，則單 侧灣部系統的一相等運送裝置所需車數為四十六，不管約 1.5倍的灣部内平均運送距離，所需車數增加兩倍的理由 係為：當平均運送距離變長，因車的相互干擾降低了車的 使用效率。 第6Α圖為根據第三實施例的一運送裝置之示意正視 ' 圖，一建築物具有多層樓板，一第一樓板安裝有一第一¥ 送裝置，其設有一主要運送路徑1及多數潸部9A至9C，一 * 第二樓板安裝有一第二運送裝置，其設有一主要運送路徑 21及多數灣部28A至28C，各灣部9A至9C及28A至28C包括 如第1圊所示的第一實施例之次要運送路徑5、堆料器6及 處理裝置7 » 主要運送路徑1及21沿具有相對端點之實直線配置， 一第一樓板間運送路徑22將分配予最接近主要運送路徑1 一端之灣部9C的堆料器中之一工件，送到分甿予最接近 主要運送路徑21—端的灣部28C之堆料器。=第二樓板間 運送路徑23將分配予最接近主要運送路徑21—端之灣部 本紙張尺度適用+ a國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — 1111 — — — — — — — — ·111111! < — — — — — — {請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) 經濟部暫慧財產局貝工消费合作杜印製 15 經濟部暫慧財產局貝工消费合作社印製 4 3 2471 ^ A7 -________B7___ 五、發明說明（13 ) 28A的堆料器中之一工件，送到分配予最接近主要運送路 徑1一端的潸部9A之堆料器》 以裝置的製造程序順序來配置第—樓板上的灣部9Α 至9C ’在灣部9C順序之後以製造程序的順序來配置第二 樓板上的灣部28C至28Α，在灣部9Α及9Β上、然後在濟部 9C上處理的工件藉由第一樓板間的運送路徑22送到灣部 28C ’送到灣部28C且类行處理的工件係在灣部28Β及28Α 以此順序處理、並藉由第二樓板間的運送路徑23送到灣部 9Α » 譬如’灣部9Α至9C及28C至28Α上，執行清洗、膜成 形、照相平版印刷、蝕刻、阻抗移除與檢驗等程序，首先 起自灣部9Α的程序並接著執行灣部9Β、9C及28C至28Α的 程序，以形成一層薄骐。 因為多數灣部係以製造程序的順序配置在多數樓板上 ’可縮短一工件完成所有程序所需的運送距離》 第6Β圖為根據第三實施例之一修改的運送裝置之示 意正視圖，不用第6Α圖所示之第一及第二樓板間之運送 路徑22及23，第6Β圖所示的運送裝置具有第一及第二樓 板間之堆料器26及27，第一樓板間的堆料器26將一工件送 入及送出一灣部9C的一次要運送路徑及一灣部28C的一 次要運送路徑。第二樓板間的堆料器27將一工件送入及送 出一灣部9Α的一次要運送路徑及一灣部28Α的一次要運 •送路徑。第一及第二樓板間之堆料器26及27亦暫時堆置一 工件。 本紙張尺度適用中困國家標準（CNS)A4規格<210 X 297公釐） 16 I.--till------- 1-----丨訂- - -------線 I <請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁> A7 432471 B7 經3h部智慧財產局貝工消费合作社印製 五、發明說明（u) 第一及第二樓板間之堆料器26及27可在樓板之間傳送 ' 一工件，因此，類似於第6A圖所示的運送裝置，第6B囷 ， 所示運送裝置可縮短一工件的運送路徑。 第7圖為顯示根據第四實施例的運送裝置的配置之 平面圖，在第7圖垂直方向延伸之多數運送路徑60係與第7 囷水平方向延伸的一實直線70相交配置，各運送路徑60分 配在一潸部上，對各珥送路徑60配置至少兩個堆料器61。 各運送路徑上的兩個堆料器配置在實直線70兩側上， 堆料器61將一工件送入及送出對應的運送路徑60、且暫時 堆置一工件。如第4圖的第二實施例情形申，各堆料器61 可將一工件送入及送出與運送路徑60相鄰之另一運送路徑 60 ’多數處理裝置62配置在各運送路徑60周圍，各處理裝 置62具有類似第1圖的處理裝置7之功能。 一連接路徑65連接了多數堆料器61中之一對選擇性堆 料器，連接路徑65在連接的兩個堆料器60之間傳送一工件 ’配置各連接路徑65 ’使得一堆料器61可藉由連接路徑65 、運送路徑60及一或兩個或以上之堆料器61與另一堆料器 61聯通’因此，一堆料器61中之一工件可由一連接路徑65 、運送路徑60及堆料器61送到另一所需堆料器61。 譬如’堆料器61配置在各運送路徑60上之第一實直線 70兩側上，連接路徑65串列連接第一實直線7〇一側上配置 之堆料器61，並串列連接另一側上配置的堆料器61，連接 路徑65亦連接了與第一實直線7〇上方對應一運送路徑6〇之 兩個堆料器61，亦即，連接路徑65形成一階梯型運送路徑 Γ r 本紙張尺度適財困國家標準（CNS)A4規格<210 X 297公爱） 17 讀 背 面 之 注 項 再 填 寫裝 頁 訂 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 43247 1 A7 __ B7 五、發明說明（I5) ’對於此階梯型運送路徑，當部份堆料器61或連接路徑65 出現有缺陷時，則可能形成一旁通電路β 第8囷為第7圊所示的連接路徑之剖視圈，兩個堆料器 61配置在運送路徑60兩側上，各堆料器61具有堆置架而類 似第2Α及2Β的堆料器6，在朝向運送路徑60的側壁中提供 一缺貨埠66Α及一現貨埠66Β，利用連接路徑65連接了相 對堆料器61之缺貨埠6_6Α及現貨埠66Β，當堆料器61中的 吊具將一工件置於缺貨埠的Α中，利用一輸送帶將工件送 到相對堆料器61之現貨埠66B。 連接路徑65的内侧為隱藏式密封，各堆料器61裝有一 空氣濾器67以淨化堆料器61内空間，因為連接路徑65具有 一隱藏密封結構，連接路徑65内空間保持具有約等於堆料 器61的潔淨程度’僅經由堆料器61與連接路徑65來運送一 工件，因此可將外空間潔淨程変設成低於堆料器61的内空 間。 參照第9至13圖描述本發明的第五實施例。 第9圖為顯示第五實施例的一運送裝置的平面配置之 示意圖’一主堆料器101配置於運送裝置的一概呈中央區 域中，一主堆料器101在第9圖侧向中延伸，多數堆料器102 配置於主堆料器101兩側上，各堆料器102在第9圖垂直方 向中延伸’主堆料器101側上之各堆料器102—端係由一連， 接路徑103連接至主堆料器1〇1側。 _ 多數處理裝置105配置於各堆料器1〇2兩側上-，各處理 裝置105連接至對應堆料器102側，處理裝置105譬如為膜 本紙張尺度適用1*國國家標準（CNS>A4规格（210 X 297公釐） -------------1--------tr-----——-4-Ί (請先閲tt·背面之注意事項再填寫本頁}

, 經濟部智ft財產局員工消费合作社印製 五、發明說明（l6) 成形系統、蝕刻系統、潔淨系統、照相平版印刷或類似物 ，檢驗裝置106連接至主堆料器101侧。 第10A圖為主堆料器1〇1的平面圖，一吊具單元110安 裝在全長上方之主堆料器101的中央區域中，多數堆置專 用單元m、可傳送單元112及連接單元113沿主堆料器101 縱向配置在申具單元110兩側上，各個堆置專用單元、 可傳送單元112及連接單元113沿縱向具有相同宽度，因此 可視需要由另一單元來取代部份單元。 一運送載具連接單元114配置於予具單元11〇—端，一 吊具115安裝在吊具單元110中，吊具115沿其縱向在吊具 單元110中移動以運送一工件。 第10B至10D囷分別為堆置專用單元in、可傳送單元 112及連接單元113之正視圖，在任何這些單元中，一吹風 - 機殼址120保留在最低階部，在上階部則保留一兩行三階 . 的六個堆置空間’各堆置空間具有放置工件的架，一隔壁 ^ 未必形成於相鄰的堆置空間之間，一吹風機安裝在吹風機 殼址120中’該吹風機使氣體在主堆料器ι〇1中循環，空氣 的内部循環譬如約為80%。 如第10B圖所示’在堆置專用單元中，所有堆置空間 作為堆置儲存址117，各堆置儲存址U7堆置了 一工件，如 第10C®所示’在可傳送單元112中，第一及第二階部作 為堆置儲存址117’而第三階部作為一傳送儲存址118, 一 工件經由傳送儲存址118送到如第9圖之處理裝置1〇5或檢 驗裝置106。如第10D圖所示，在連接單元113中，第一階 本紙張尺度適用國國家標準（CNSM4規格mo X 297公爱） - ------------裝 I — |_ 訂 --------線 (請先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁) 19 432471 A7 經濟部智慧財產局Λ工消费合作社印製 ______B7____.五、發明說明（Π) 部作為一現貨儲存址119,而第二及第三階部作為現貨/缺 貨儲存址117。 具有上述構造之堆置專用單元^丨、可傳送單元112及 連接單元113配置於吊具單元ho兩側上，如第1〇A圖所示 β因此，多數的堆置儲存址U7、傳送储存址118及現貨， 缺貨儲存玷119其中部份係沿第一實平面122呈平面狀配置 β堆置儲存址117、傳送儲存址118及現貨/缺貨儲存址U9 其餘部份係對吊具單元U〇沿與第一實平面122相對之第二 實平面122呈平面狀配置’吊具單元110 一側上之各個第一 及第二實平面之表面稱為一前表面，而另一表面稱為一背 表面〇 吊具115藉由前表面將一工件送入及送出堆置儲存址 117、傳送儲存址U8及現貨/缺貨儲存址119，因此可將一 工件從主堆料器101中之一所需储存址送到另一所需儲存 址0 第9圏所示的堆料器102具有類似第10A圖的主堆料器 101的結構，其中拆卸了運送載具連接單元1Η，堆料器102 不具有連接單元113而在其一端設有一連接單元113a，如 第13圈所示。 第11A圖為顧示第9圖所示的堆料器102與處理裝置 105之間的一連接區域之剖視圖，處理裝置1〇5的一傳送機 械臂室130聯結到堆料器102的傳送儲存址118，可開¥的 一擋Π 122係配置在傳送儲存址118的前表面側上，當播門 122關閉時，傳送儲存址118中的空間與吊具單元110中的 (靖先閲讀背面之注意事項再填寫本頁> - 訂· --線· 本紙張尺度適用+國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公;# ) 20 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 A7 432471 B7 五、發明說明（18) 空間受到遮蔽。 可開關之一擋門（隔板）123配置在傳送儲存址118的背 表面側上’當播門123關閉時，傳送儲存址1丨8中的空間及 傳送機械臂室131中的空間受到遮蔽，一傳送機械臂丨31配 置在傳送機械臂室130中’傳送機械臂131自傳送储存址118 拾取一工件、將其送到處理裝置105的一處理室135、自處 理室135拾取所處理工件、將其送回到傳送儲存址118。一 門132安裝在傳送機械臂室130 ’開啟門132以對傳送機械 臂131進行維修，在傳送機械臂131維修期間，擋門123關 閉而可防止灰塵進入堆料器102。 一吹氣路徑125提供在堆置儲存址in背表面側上，淨 化的氣體誓如空氣係由吹氣路徑125供至堆置儲存址117， 因此，一氣流從背表面側至前表面側形成於堆置儲存址117 中’在連接了傳送儲存址118背表面及前表面之侧表面上 提供一吹氣路徑126’淨化氣體由阻氣路徑126供至傳送儲 ^ 存址118，一離子化裝置121安裝接近吹氣路徑126出口， 藉由使流入傳送儲存址118的氣艘離子化，可移除一處理 工件上累積的靜電電力，參照第11B圖描述這些吹氣路徑 的詳細結構》 第11B圖為堆料器102的橫剖視圈，堆置專用單元ill 及可傳送單元11.2祝置在吊具單元110兩側上，一吹風機127 安裝在各堆置專用單元111與可傳送單元121的最低階部上 保留之吹風機殼址120中》 一混合室129提供在堆料器102上方，一回行導管128 本紙張尺度適用中囲困家標準（CNS)A4规格（210 X 297公爱） — I---ii—ι 丨訂---- (諳先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部臂慧財產局貝工消费合作社印製 432471 f a? ___B7___ 五、發明說明（19) 將吹風機127的一排放埠連接至混合室129，吹風機127吸 收了堆料器102中的氣餿並將其供入回行導管128,供至回 行導管128的氣體送到混合室129。 吹氣路徑125安裝在堆置專用單元111之堆置儲存址 117背表面侧上，一吹氣路徑125a安裝在可傳送單元117的 堆置儲存址117背表面側上，吹氣路徑125a具有大於吹氣 路徑125之内徑》 , 經由一淨化濾器（HEPA濾器）將混合室129中的氣體導 入吹氣路徑125及125a中，吹氣路徑125及125a中的氣體供 至堆置儲存址117、並透過吊具單元110由吹風機127恢復 ，利用此方式，氣體循環於堆料器102中，利用循環路徑 中間位置上配置的HE PA濾器淨化了循環氣體》 下游侧上之吹氣路徑125a端點係與第11A圖的吹氣路 徑126相聯通，可知在吹氣路徑125a及126間之連接部上增 加一流動阻抗。因此認定傳送儲存址118上方的堆置儲存 址117流入的一氣流變得比流入其他堆置儲存址117者更弱 。利用使吹氣路徑125a比吹氣路徑125具有較大内徑，氣 流的強度可在整體循環路徑中接近均勻》 一化學濾器CF及一冷卻板CP可配置在吹風機殼址120 空間與吊具單元11 〇空間之間的邊界上。 傳送機械臂室130上表面所裝的一HEPA濾器HP淨化 的氣體係導入此室130中，此情形中，傳送儲存址118中的 壓力受控制低於傳送機械臂室130,對此壓力控制，可防 止傳送機械臂室130中的灰塵進入堆料器102» 本紙張尺度適用中國困家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 22 ΙΓ I ----- S! _ I 丨—訂 i 丨！！ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 43 24 7 1 B7__ Γ 經濟邾智慧財產局員工消费合作杜印製 五、發明說明（2〇) 傳送機械臂131拾取來自處理室135之一處理工件、並 將其送回到傳送儲存址118，處理後的工件可能自其表面 釋出顆粒及化學污染物質，當處理的工件回到傳送儲存址 118時，擋門122關閉，因此可能防止顆粒及化學污染物質 流入堆料器102的其他空間中，此情形中，形成由傳送儲 存址118至傳送機械臂室130的一氣流，故將顆粒及化學污 染物質送到運送機械梵室130側。 第12A及12B圚為如第10A圖所示的運送載具連接單元 1H之示意平面囷，運送載具連接單元114配置在位於吊具 單元110兩侧的端點上，一運送連接儲存址140保留在運送 載具連接單元114中，能開關之一擋門141配置在運送連接 儲存址140的前表面侧上，藉由擋門141的開啟，一工件可 傳送在吊具115舆運送連接儲存址140之間》 能開關的一傳送窗142形成於傳送連接儲存址140之端 壁中，在與傳送窗142相對的其他端壁上，配置一吹氣路 徑143。從吹氣路徑143將淨化氣體供至傳送連接儲存址140 ，形成自吹氣路徑143至傳送窗142之一氣流，當傳送窗142 開啟時此氣流防止外界灰塵進入堆料器101。 相對於第11B困使氣體循環通過堆料器之吹風機127 ，分別提供了將氣體供至吹氣路徑143之一吹風機144，因 為提供專用的吹風機144,具有足狗..氣量之一氣流可形成 於運送連接儲存址140,亦可能壓制了堆料器1〇1中循環氣 體的资流並維持足夠的一氣體内循環率》 即將運送工件時，一運送載具150停在面對運送窗142 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS>A4规格<210 X 297公釐） 23 --------------裝--------訂--------*線 C請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部耆慧財產局興Η消費合作杜印製 4 3 24 71 A7 B7 五、發明說明（21 > 的位置，一工件儲存址151係保留在運送載具150中，而一 運送機械臂155安裝在工件儲存址151中，一運送窗152形 成於面對堆料器101的储存址151壁中》與運送窗152相對 而通遇儲存址151壁形成了多數通孔153。 自吹氣路徑143經由運送連接儲存址140、運送窗142 及152及儲存址151、並經過通孔153往外界形成一氣流。 一吹氣裝置156安裝在儲存址151另一壁上，以將淨化 氣體供入儲存址151中，通過相對壁而形成多數通孔157, 形成從吹氣裝置156至相對壁的一氣流。 第13圖為顯示如第9圖所示之主堆料器1〇1與堆料器 102之間的一連接部之示意平面圖，連接單元113a配置在 堆料器102端上’ 一現貨/缺貨儲存址i〗9a保留在連接單元 113a中，現貨/缺貨儲存址U9a的空間與連接路徑1〇3的空 間相聯通。 能開關的一擋門160配置在現貨/缺貨儲存址U9a與吊 具單元110之間，藉由擋門160的開啟，可在吊具115與現 貨/缺貨儲存址119a間傳送一工件。一吹氣路徑161安裝在 現貨/缺貨儲存址119a之一側壁上，從一吹風機162藉由吹 氣路徑161將淨化氣艘供至現貨/缺貨儲存址119a，此氣艘 送到連接路徑103。 連接路徑103的另一端連接至主堆料器1〇丨的現貨/缺 貨儲存址119a，主堆料器101的吊具單元no空間與現貨， 缺貨儲存址119a空間受到能開關的一擋門所遮蔽。 當主堆料器101的吊具115將一工件置於現貨/缺貨储 本紙張尺度適用中困困家標準（CNS)A4規格(21〇 x 297公釐） 24 • n n n I ϋ n n ϋ ϋ * n t— n (- 1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Γ 線— - 經濟部智慧財產局具工消费合作社印® α7 43 2.471 Β7 _ 五、發明說明（22) 存址119a，連接路徑103的輸送器將其送到堆料器102的現 ' 貨/缺貨儲存址119a，連接路徑103可在相對方向中運送一 ， 工件。 —吹氣路徑167安裝在連接路徑103側壁上，淨化氣體 由吹氣路徑167供至連接路徑103，譬如經由通過底壁形成 的孔而排出導入連接路徑的氣體，若該工件為譬如液晶顯 示基板等板型，較佳像得供自吹氣路徑167的氣流與基板 ^ 表面相平行9 連接路徑103中的壓力受控制小於堆料器1〇1及102， 因此可防止連接路徑中的灰塵進入堆料器。 第五實施例_，可僅經由連接路徑及堆料器中的空間 在多數處理裝置之間傳送一工件，因為工件未暴露在與堆 料器及連接路徑中不同的環境，故可防止污染該工件，並 - 且’因為控管潔淨程度的空間僅限於堆料器及連接路徑之 . 空間，故易於控管潔淨程度。並因為不需有專用的運送路 . 徑，可降低運送裝置的空間。 第14圈為根據第六實施例的一運送裝置之示意平面圖 ，第9圖所示之第五實施例中，堆料器1〇2直接連接至一主 堆料器101。第六實施例中，多數堆料器102以一環型相連 接’第14圖的第六實施例之各組件具有與第9圖第五實施 例的對應組件相同的標號。 警如’環型配置的堆料器102之一輪係完成了形成一 層之程序’其中包括一膜成形程序、一照相平版印刷程序 、一姓刻程序及一檢驗程序。將一層程序重覆五至六次， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） n VK n n I n I iai ϋ 1 >1— ial ϋ n BE I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本買) 25 經濟部笮慧財產局興工消费合作社印製 4 3 2471 a? ____ ____Β7 五、發明說明（23) 可完成一軍板的所有程序。 第15a圖顯示用以固持一待處理且在運送裝置中運送 之基板之一盤，多數盤170到堆疊且一待處理基板175置於 各盤上，這些堆疊的盤170係以單體進行運送》 第15Β圖顯示運送裝置中待運送的一匣，多數基板ι75 置於一匣171上，該匣171以單體在運送裝置中運送， 參照第9及16圖’描述對工件的運送程序，一生產安 全措施儲存裝置180將多數處理裝置分成各進行相同程序 的裝置組，並儲存有關各裝置組是否設有一生產安全措施 之資訊，一程序儲存裝置181儲存了依序處理一工件之裝 置組的順序，一控制裝置182係控制一運送裝置183以根據 程序错存裝置181所存順序來運送一工件。 若一工件由設有生產安全措施的一第一裝置組的傳送 储存址送到執行下個步称的第二裝置組之傳送错存址，該 工件一度送到堆置儲存址，因為工件暫存在堆置儲存址中 ’即使第一裝置組出現缺陷且其處理能力降低，工件仍可 靠地送到第二裝置組。 若一工件由不具有生產安全措施之第三裝置的傳送儲 存址送到執行下個程序的第四裝置組的傳送儲存址，工件 直接送到下個傳送儲存址而不堆在堆置储存址中。 考慮下列情形，該情形中，程序儲存..裝置181儲存了 裝置組的一順序，一工件預定以具有生產安全措施的一第 一裝置組、不具生產安全措施的一导二裝置組、及具有生 產安全措施的一第三裝置組之順序處理，可有與第一裝置 本紙張尺度適用中國國家櫟準<CNS)A4規袼（210 X 297公釐） 26 1·-----111 111illln — ^·1-----— 丨η C請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁> A7 ---- B7 Δ3 2Δ 五、發明說明（24) ， 組和第三裝置組之間的第二裝置組不同而具生產安全措施 的多數装置組，當一工件依序由一傳送儲存址送到另一傳 • 送儲存址而對應了第一裝置組與第三裝置組之間的裝置組 ，下游裝置組的傳送儲存址之間的運送相較於上游裝置組 的傳送儲存址之間的運送係優先執行，藉由隨後程序中優 先運送一土件’可防止干涉損失與進行生產的阻塞。 已連同較佳實施例_來描述本發明，本發明不限於上述 0 實施例，熟悉本技藝者可作出多種實施例、改良、組合及 類似物。 - ----------裝--- (請先«讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂· •線. € * ， 經濟部暫慧財產局貝工消费合作社印製 27 本纸張尺度適用中國®家櫟準<CNS)A4規格（210 x 297公爱） 4 3 24 7 t % A7 __B7 五、發明說明（25) 元件標號對照 經濟部智慧財產局典工消费合作社印製 1，21:主要運送路徑 1A:往外路徑 1B:回行路徑 1C:第一彎曲路徑 1D:第二弩曲路徑 - 5:次要運送路徑 5A:左側次要運送路徑 5B:中央次要運送路徑 5C:最右次要運送路徑 6,60,6〇，犯，6?，61，102:堆料器 7,62，105:處理裝置 8:工件 9A，9C，28A，28C:灣部 10:線性馬達軌道 10A:往外軌道 10B:回行軌道 11:容器 12A，12C，66B:現貨埠 12B，12D，66A:缺貨埠 15:無軌地面車 16:實軌道 23,60:運送路徑 30,181:程序储存裝置 31:處理/堆料器組識別碼储存 裝置 32·•可空數儲存裝置 33:進行生產數儲存裝置 34:程序管理裝置 35，182:控制裝置 36:運送裝置驅動裝置 61,115:吊具 65,103:連接路徑 67:空氣濾器 70:實直線 101:主堆料器 106:檢驗裝置 110:吊具單元 111:堆置專用單元 II2:可傳缉軍先 113，113a:連接單元 114:i送載具連接單元 117:堆置儲存址 (請先《讀背面之注惠事項再"寫本I) 訂· 28 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4规格（210 X 297公釐） A7 a 3 ? 4 7 1 B7 五、發明說明（26 ) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 118:傳送儲存址 119:現貨儲存址 132:門 120:吹風機殼址 135:處理室 121:離子化裝置 140:運送連接儲存址 122，141，160，165:擋門 142:傳送窗 123:擋門（隔板） 150:運送載具 125,125a,143,161,167:吹氣路徑 151:工件儲存址 126:阻氣路徑 155:運送機械臂 127,144,162:吹風機 156:吹氣裝置 128:回行導管 157:通孔 129:混合室 170:盤 130:傳送機械臂 175:基板 131:傳送機械臂室 183:運送裝置 -29 - --------------裝—— <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： 線. 本紙張尺度適用t固國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公茇）

Claims (1)

1. 432良71 .— ---— 六、申請專利範圍 1. 一種運送裝置，包含： 一第一主要運送路徑，用以運送一工件； 多數第一次要運送路徑，與該第一主要運送路徑 相交配置，該第一次要運送路徑係運送該工件； 一第一堆料器，配置於該第一主要運送路徑與各 該第一次要運送路徑之間的各交點上，該第一堆料器 將工件送入及送出孩第一主要運送路徑及一對應次要 運送路徑、並暫時堆置工件；及 多數第一處理裝置係對庳各該等第一次要運送路 徑配置，該第一處理裝置接收了一對應第一次要運送 路徑上運送的工件、處理該工件、並將該工件送回到 該對應的第一次要運送路徑。 2. 如申請專利範圍第1項之運送裝置，其中多數的第一堆 料器配置於該第一主要運送路徑與各該等次要運送路 徑之間的各交點上。 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 Α8 Β8 C8 D8 η. (請先Μ讀背面之注項再填寫本頁) 3·如申請專利範圍第丨項之運送裝置，其中至少部份的第 一堆料器將工件送入及送出與對應的第一次要運送路 徑相鄰之另一第一次要運送路徑〇 4.如申請專利範圍第1項之運送裝里，其中該第一主要運 送路徑包括一往外路徑'與該往外路徑平行配置之一 回行路徑、使該往外路徑一终端舆該回行路徑一起點 ，^ 相連接之一第一曲線路徑、及使該回行路徑一終點舆 外路徑一起連接之一第二曲線路舉- 送裝方法，包含： 本紙诛尺度逋用中面國家樣率（CNS ) A4現格（210X297公釐） -30 申請專利範圍 Λ8 Β8 C8 D8 4 3 24 7 部 智 蒽 封_ 產 局- 貝 工 消 費 合 作 社 印 製 一第一主要運送路徑，用以運送一工件； 多數第一次要運送路徑，與該第一主要運送路徑 相交配置，該第一次要運送路徑係運送該工件； 一第一堆料器’配置於該第一主要運送路徑與各 該第一次要運送路徑之間的各交點上，該第一堆料器 將工件送入及送出該第一主要運送路徑及一對應次要 運送路徑、並暫時堆置工件；及 多數第一處理裝置係對應各該等第一次要運送路 徑配置’該第一處理裝置接收了對應第一次要運送路 徑上運送的工件、處理該工件、並將該工件送回到該 對應的第一次要運送路徑， 該方法包含以下步驟： 控管一個或多數第一堆料器，而對應一相同第一 次要運送路徑作為一第一堆料器組，並健存一可空數 ，其為能堆在屬於第一堆料器組的各第一堆料器中的 工件數減去目前為現貨的工件數；及 由所存的可空數來決定工件是否可由一堆料器組 送到另一堆料器組β 6·如申請專利範圍第1項之運送裝置，其中多數的第一館 存一進行生產數’其為各該等第一次要運送路徑上正 運送的工件數與連接至該第一次要運送路徑的該第一 處理裝置中的工件數之總和；及 由所存的進行生產數決定該工件是否可由一堆-料 器組送到另一堆料器組。 (請先聞讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 裝 訂 線 31 4324 7 1 888^ ABCD 申請專利範圍 如申請專利範圍第5項之運送丨 包含以下一步驊 經濟部智慧財產局負工消旁合作社印製 由該第一堆料器中的工件乏運送目的地處之 第一堆料器組的可空數，來決定該工件受運送或是連 續堆置在該第一堆料器中》 8. —種運送系統，包含： 一第一主要運送路徑，用以運送一工件； 多數第一次要運送路徑，與該第一主要運送路徑 相交配置，該第一次要運送路徑係運送該工件； 一第一堆料器，配置於該第一主要運送路徑與各 該第一次要運送路徑之間的各交點上，該第一堆料器 將工件送入及送出該第一主要運送路徑及一對應次要 運送路徑、並暫時堆置工件； 多數第一處理裝置係對應各該等第一次要運送路 徑配置’該第一處理裝置接收了一對應第一次要運送 路徑上運送的工件、處理該工件、並將該工件送回到 該對應的第一次要運送路徑； 一建築物，具有一第一樓板及一第二樓板、該第 一主要運送路徑、該等多數第一次要運送路徑、該等 多數第一堆料器及該等多數第一處理裝置係安裝在該 第一樓板上； 一第二主要運送路徑’多數第二次要運送路徑、 多數第二堆料器及多數第二處理簌置，分別安裝在該 第二樓板上，各該等第二次要運送路徑與該第二主要 運送路徑相交配置，各該等多數第二堆料器係配置於 '------·---- {請先Η讀背面之注$項再填寫本頁> 訂 本纸張;Ltit财89家料（CNS ) Α4«^ΓΓ2丨0X297公釐y 32 e r 申請專利範固 A8 B8 C8 DS ,α ιχ: * _部智慧蚌產局員工消費合作杜印製 該第二主要運送路徑舆各該等主要運送路徑之間的各 交點上，並將工件送入及送出該第二主要運送路徑及 一對應第二次要運送路徑，各該等多數第二處理裝置 與一該等第二次要運送路徑對應配置，該第二處理裝 置接收了一對應第二次要運送路徑上運送的工件、處 理該工件、並將該工件送回對應的第二次要運送路徑 ;及 _ 第一樓板問的運送裝置，用以在一該第一主要運 送路徑、該等多數第一次要運送路徑及該等多數第一 堆料器及一該第二主要運送路徑、該等多數第二次要 運送路徑及該等多數第二堆料器之間運送工件β 9，如申請專利範圍第8項之運送系統，其中： 該第一主要運送路徑，沿具有相對端點之一第一 實線配置； 該第二主要運送路徑，沿具有相對端點的一第二 實線配置； 該第一樓板間的運送裝置將工件送入及送出該第 一次要運送路徑，其配置最接近該第一主要運送路徑 _端或分配予該第一次要運送路徑之第一堆料器，並 將工件送入及送出該第二次要運送路徑，其配置最接 近該第二主要運送路徑一端或分配予該第二次要運送 路徑之第二堆料器；及 該運送系統’尚包含一第二樓板間的運送裝置以 將工件送入及送出該第一次要運送路徑，其配置最接 本紙佚尺度逋用中國困家梂準（CNS > Α4规格（210X297公釐） (請先Μ讀背面之注意事項再壤寫本1> -装 订 33 AS B8 C8 D8 經濟部智慧財產局β；工消費合作社印製 4 3 247 1 六、申請專利範圍 近該第一主要運送路徑另一端或分配予該第一次要運 送路徑之第一堆料器，並將工件送入及送出該第二次 要運送路徑，其配置最接近該第二主要運送路徑另一 端或分配予該第二次要運送路徑之第二堆料器。 10. —種運送裝置，包含： 多數運送路徑，用於運送一工件； 一堆料器，對扁各該等多數運送路徑配置，該堆 料器將工件送入及送出一對應的運送路徑並暫時堆置 該工件； 一連接路徑，使得在兩堆料器之間運送工件之兩 堆料器相連接，該連接路徑的配置使一堆料器中的工 件可經由一或兩個或更多之該連接路徑、該等運送路 徑及該等堆料器送到所有其他堆料器；及 多數處理裝置，對應各該等運送路徑配置，該處 理裝置接收了在一對應運送路徑上運送的工件、處理 該工件、並將該工件送回該對應運送路徑。 U.如申請專利範圍第10項之運送裝置，其中： 該等多數運送路徑在不同點上與具有相對端點的 一第一實線相交；及 該堆料器可將工件送入及送出與對應運送路徑相 鄰之另一運送路徑。 12.如申請專利範圍第11項之運送裝置，其中： 至少一個該等堆料器對應各該等運送路徑而配置-於第一實線兩側上；及 本紙張尺度逍用中躪國家搞準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁)

   kr A8 B名 C8 D8 432471 · .部智慧I產局員工消費合作社印製 、申請專利範圍 該連接路徑_列連接該第一實線一側上配置之該 堆料器’串列連接另一側上配置之該堆料器，並連接 了對應各該等運送路徑之該等兩堆料器而跨越第一實 線。 13_如申請專利範圍第10項之運送裝置，尚包含： 淨化裝置，相較於一外空間更加淨化該堆料器之 一内空間， - 其中該連接路徑的一内空間係為與該堆料器空間 不同的一空間相隔之一隱藏密封空間β Η. —種運送裝置，包含： 一堆料器’用以界定了氣效循環的一空間；及 多數處理裝置，與該堆料器相聯結以處理一工件 * 其中： 在該堆料器中，保留了用於堆置工件及對各該等 處理裝置提供的多數傳送储存址，以將工件送入及送 出一對應處理裝置之多數堆置儲存址，該堆料器在一 内空間中設有運送裝置，以將工件從堆置儲存址送到 另一堆置儲存址或傳送儲存址，或從傳送儲存址到另 一傳送儲存址或堆置儲存址；及 各該等處理裝置接收了 一對應傳送儲存址中所存 的工件 '處理所接收工件、並將所處理工件送回對應 的傳送儲存址。 15.如申請專利範圍第14項的運送裝置，其中： 本紙狀纽财ΒΒ«:料( CNS)A45tMfr( 210X297^*) ----------^------ir------,ii (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填窝本頁) 35 A8 B8 C8 D8 43247 1 A、申請專利範園 至少部份的多數雄置儲存址及傳送儲存址係沿一 第一實平面呈平面狀配置，該運送裝置配置於該第一 實平面的一側上，該運送裝置藉由相對第一實平面為 沿第一實平面配置的一側的前表面將工件送入及送出 堆置儲存址及傳送儲存址，一背表面則為另一側，該 處理啟置經由該背表面將工件送入及送出傳送储存址 :及 _ 該運送裝置尚包含_第_吹氣路徑，其配置於該 堆置儲存址上，以使淨化的氣艘從背表面送到前表面 〇 16.如申請專利範圍第15項的運送裝置，其中： 多數堆置儲存址及傳送儲存址的其餘部分係沿面 對第一實平面之一前表面侧之一第二實平面呈平面狀 配置’該運送裝置將工件送入及送出藉由一第一實平 面側上的堆置儲存址及傳送储存址一側之一前表面沿 第二實平面配置之堆置儲存址及傳送儲存址，一背表 面係為另一侧，該處理裝置藉由背表面將工件送入及 送出該傳送儲存址= 17_如申請專利範圍第15項的運送裝置，尚包含能開關的 一擋門，該擋門配置於傳送儲存址之一前表面側上， 並將傳送儲存址的一空間舆該堆料器的一空間相瞞》 18.如申請專利範圍第15項的運送裝置，尚包含一第二吹 氣路徑，以將淨化氣體從一側表面或使傳送儲存址的 前表面與背表面相速接之一上表面吹入傳送储存址。 本纸浪尺度逋用中國躪家揉率（CNS ) Α4规格（210X 297公釐） <請先閲讀背面之注^^項再4寫本頁) Γ 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 432^71 Γ Ϊ部智慧Μ.產局貝工消費合作社印製 申請專利範圍 19.如申請專利範圍第18項的運送裝置，尚包含使自第二 吹氣路徑供至傳送儲存址的空間的氣體進行離子化之 一離子化裝置。 20_如申請專利範圍第15項的運送裝置，其中該堆料器包 括沿第一實平面的一第一方向配置之多數單元，該等 單元分成：在堆置储存址與傳送儲存址中僅保留堆置 儲存之堆置專用單沅、及保留了堆置儲存址與傳送儲 存址兩者之可傳送單元。 21·如申請專利範圍第2〇項的運送裝置，其中沿第一方向 該堆置專用單元的一寬度係等於沿第一方向該可傳送 單元的一寬度’可用該可傳送單元來取代該堆置專用 單元位置。 22. 如申請專利範圍第18項的運送裝置，其中該第—吹氣 路徑包括一第三吹氣路徑及一第四吹氣路徑，該第三 吹氣路徑沿堆置儲存址的一背部配置並將氣體從一下 游端供應至第二吹氣路徑’該第四吹氣路徑未連接至 第二吹氣路徑’而該第三吹氣路徑具有比第四吹氣路 徑更寬之一氣流剖面。 23. 如申請專利範圍第15項的運送裝置，尚包含： 一回行導管，其第一端連接至該堆料器空間且其第二 端連接至第一吹氣路徑'及 一吹氣裝置’配置於第一端上以將該堆料器中的 氣體供應至回行導管， 其中該第一吹氣路徑將導到回行導管之氣體送到 本紙張尺度逋用中國國家#準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 装------订------線 (請先閱讀背面之注f項再填寫本X > 37 A8 B8 C8 D8 4324 申請專利範圍 堆置儲存址的一背部。 24. 如申請專利範圍第23項的運送裝置，尚包含插入回行 導管與第_吹氣路徑間的一連接部之間之一氣髏混合 單元，該氣艘混合單元將藉由一氣艘淨化濾器供自回 行導管的氣體送到第一吹氣路徑， 25. 如申請專利範園第14項的運送裝置，其中該處理裝置 包含： _ 一機械臂室，連接至對應之一傳送儲存址的一背 部’以界定舆傳送儲存址的一空間相聯通之一空間； 一處理室，連接至該機械室； 一運送機械臂，配置於機械臂室中以在傳送儲存 址與處理室之間運送工件；及 一機械臂室吹氣路徑，用以將淨化氣體供至機械 臂室β i 26. 如申請專利範圍第25項的運送裝置，尚包含能將該機 械臂室與該傳送儲存址的空間相陆之一隔板* 27. —種運送裝置，包含： 多數堆料器，用以界定了氣體循環的一空間； 多數處理裝置，與各個該等堆料器相聯結以處理 一工件；及 一連接路徑，用以連接該等多數堆料器中之兩個 堆料器，該連接路徑界定了與對應堆料器空間相聯通 的一空間，並在對應堆料器之間傳送工件， 其中： ------ -I. I I (請先聞讀背面之注f項再填寫本頁) -訂 經濟部智慧財產t貝工消費合作社印製 Ag B8 C8 D8 r Γ 經濟部智慧脖產局員工消費合作社印製 申請專利範国 在該堆料器中，保留了多數傳送赌存址與多數堆 置儲存址之中的多數儲存址，該堆置儲存址係堆置工 件’而傳送儲存址則提供予各該等處理裝置以將工件 送入及送出一對應的處理裝置，該堆料器具有各該等 運送路徑中提供的運送裝置，用以將能使工件送入及 送出一對應連接路徑之一現貨/缺貨错存址、多數堆置 儲存址、及傳送儲存址其中的一儲存址將工件送到另 一儲存址；及 各該等處理裝.置係接收一對應傳送儲存址_所存 的工件、處理該所接收工件、並將所處理工件送回該 對應傳送儲存址。 28. 如申請專利範圍第27項之運送裝置，尚包含： 一第一吹氣路徑，用於將淨化氣體供至該連接路 徑之一空間；及 一第一排放孔’用以排放該連接路徑的空間中之 氣體。 29. 如申請專利範圍第27項之運送裴置，其中該堆料器中 的一壓力係控制成高於連接至該堆料器之連接路徑中 的一壓力。' 30. 如申請專利範圍第27項之運送裝置，其中： 該等多數堆料器其中至少一者的一内空間中，保 留一傳送儲存址，以經由能開關的一第二傳送窗將工 件送入及送出一運送載具；及 - 該堆料器包括能開關的一擋門，用以對於該堆料 本紙張尺度逍用中國國家棵率（CNS ) A4规格（210X297公羞） ---------^------tr------^ (請先《讀背面之注$項再填寫本頁) 39 43247 1 S ________ D8 六、申請專利範圍 器中的一空間遮蔽了傳送儲存址争的一空間，及一第 二吹氣路徑，用以將淨化空氣供至傳送儲存址β 31. 如申請專利範圍第30項之運送裝置，其中該第二吹氣 路徑使氣體從與該傳送儲存址的第一傳送窗相對之一 側流往第一傳送窗* 32. 如申請專利範圍第30項之運送裝置，尚包含： 一第一吹氣裝夏，用以在該堆料器中循環氣體； 及 一第二吹氣裝置，用以藉由該第二吹氣路徑在傳 送儲存址中供應氣體。 33. 如申請專利範圍第30項之運送裝置，尚包含： 一運送載具，用以將工件送入及送出該傳送儲存 址，該運送載具包含： 一運送儲存址，用於儲存該工件； _第二傳送窗，能開啟及關閉而將工件送入及送 出該傳送儲存址；及 一第二排放孔，用以排放從一相對侧表面流自第 二傳送窗且通過傳送儲存址的氣體，該第二排放孔形 成於該相對側表面上。 34. 如申請專利範圍第27項之運送裝置，其中該等多數堆 料器藉由該連接路徑直接連接至各個所有其他堆料器 35·如申請專利範圍第27項之運送裝釁，其中該等多數堆 料器藉由一環型的該連接路徑相連接β 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) Α4规格（210X 297公釐） (請先E讀背面之注項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局S工消费合作社印製

   A8 B8 C8 D8 43 24 六、申請專利範圍 36·如申請專利範面第27項之運送裝置，尚包含： 生產安全措施裝置，用以將該等多數處理裝置分 * 成：各進行相同程序之裝置组、並儲存各該等處理裝 置是否設有一生產安全措施； 程序儲存裝置，用以儲存了處理該工件之裝置組 的一順序；及 控制裝置，用只控制該運送裝置，以根據該程序 ^ 错存裝置所存順序來傳送工件， 其中該控制裝置控制了該運送裝置，故若該工件 由對應該設有生產安全措施之裝置組的傳送儲存址送 到下一個傳送儲存址，則工件一度送到該堆置儲存址 〇 37. 如申請專利範圍第36項之運送裝置，其中該控制裝置 控制該運送裝置，故若該工件由對應該不具有生產安 . 全措施之裝置組的傳送儲存址送到下一個傳送儲存址 '|ΡΚ ’則工件直接送到下一個傳送置儲存址而不在堆置儲 存址中堆置工件。 38. 如申請專利範圍第36項之運送裝置，其中該工件依序 由一傳送儲存址送到下一個傳送儲存址，對應了程序 储存裝置所存的各裝置組之一程序順序，誓如具有生 產安全措施之_裝置組、不具有生產安全措施的另一 裝置組、及具有生產安全措施之另一裝置組的一順序 ，相較於上游裝置組的傳送儲存址之間的運送係係優 先執行下游裝置組的傳送儲存址之間的運送》 本紙張尺度逋用中a國家揉率（CNS ) Α4规格（210><297公釐） 裝------打------線 (請先鬩讀背面之注$項再填寫本頁》 V 部智慧故產局貝工消費合作社印製 41