TWI399329B - 收納基板用之收納容器 - Google Patents

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Yoshiteru Ikehata
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Description

收納基板用之收納容器
本發明係有關於一種將多數片基板以於上下方向間隔排列之狀態固持之基板收納用收納容器。
此種基板收納用收納容器係用於收納液晶顯示器或電漿顯示器中所使用之玻璃基板等之基板。
此種基板收納用收納容器，以往係將形成為水平延伸之四角筒狀之容器本體之一端側開口構造成讓基板一片一片地出入用之出入口，且於容器本體之另一端側開口部，裝設由容器本體之另一端側之開口通風至出入口之風扇過濾單元(例如：參照日本專利公開公報第2001-308169號)。
上述之基板收納用收納容器中，藉風扇過濾單元將淨化空氣由收納容器之另一端側之開口向出入口通風且由出入口排出，可防止存在於收納容器內之塵埃附著於基板，且即使因收納容器搬送裝置之動作等而導致收納容器周圍之氣流混亂，亦可防止外氣進入收納容器內，而可維持收納容器內之基板的清潔度。
然而，即使維持基板之清潔度之收納容器內之風速可比達到防止存在於收納容器內之塵埃附著於基板上之程度慢，但為防止外氣由出入口逆流，由收納容器排出時，風速必須較快，因此就風扇過濾單元之通風量而言，為使由收納容器排出時之風速較快，其通風量要較多，故風扇過濾單元運作成本也會變高。
本發明係有鑑於上述實際情形而作成者，其目的在於提供一種可減低風扇過濾單元之運作成本的基板收納用收納容器。
為達成本發明之目的，本發明之基板收納用收納容器之第1特徵構造為：一種構造成可將多數片基板以於上下方向間隔排列之狀態固持之收納容器，其中，前述收納容器被形成為具有全體呈四角形截面的筒狀，具有其一端側之第1開口、及設置於與前述第1開口間於水平方向上空出一間隔之另一端側的第2開口；並且前述第1開口係構造成供前述基板每次一片出入用之出入口；前述收納容器之前述第2開口區域裝設有一由前述第2開口朝前述第1開口通風之風扇過濾單元；而開關位於前述容器本體之前述出入口的蓋，係以關閉狀態時有一部份開口作為通氣口的狀態，設置於前述容器本體之出入口區域。
即，開關收納容器之出入口之蓋於關閉狀態時，以有一部分開口的狀態裝設於收納容器之出入口部，即使收納容器之蓋呈關閉狀態時，出入口仍有一部分形成開口。因此，即使於收納容器之蓋呈關閉狀態時，仍可藉風扇過濾單元，將淨化空氣由收納容器之另一端側之開口向出入口通風且由出入口排出，藉此可防止存在於收納容器內之塵埃附著於基板，且同時可防止外氣進入收納容器內，而可維持收納容器內之基板之清潔度。
又，於蓋呈關閉狀態時，因藉風扇過濾單元將淨化空 氣由收納容器之另一端側之開口向出入口通風且由出入口之一部分的開口排出，而於出入口時，因蓋而導致風路變的狹小，故排出之淨化空氣之風速變快，即使風扇過濾單元之通風量較少，排出之淨化空氣之風速快，故可防止外氣由收納容器之出入口進入收納容器內。
因此，於蓋呈關閉之狀態時，即使風扇過濾單元通風量較少仍可維持基板之清潔度，因風扇過濾單元之通風量較少時可降低風扇過濾單元之運作成本，藉此，可提供一種可降低風扇過濾單元之運作成本之基板收納用收納容器。
本發明之基板收納用收納容器之第2特徵構造為：前述通氣口係被形成為跨越與前述出入口橫寬大約相同之橫寬的細縫狀，且於上下方向上形成多數個。
即，藉由在上下方向形成多數個跨越與前述出入口橫寬大約相同之橫寬的細縫狀之通氣口，通風於容器本體內之淨化空氣，會由多數通氣口朝上下方向及橫寬方向分散至廣範圍之型態排出，因此不易產生清潔空氣難以流通之處，可抑制因淨化空氣之風速慢而造成之塵埃對基板的附著，故基板不易被污染，因此，可實現提供一種基板不易被污染之基板收納用收納容器。
本發明之基板收納用收納容器之第3特徵構造為：前述通氣口係被構造成：以分別對應由前述容器本體所固持之多數片之前述基板的狀態，於上下方向上形成多數個。
即，因通氣口以分別對應由前述容器本體所固持之多 數片基板之狀態，於上下方向上形成多數個，通風於收納容器內之清潔空氣可容易地沿著所收納之基板通風且由通氣口排出，於基板周圍不易產生清潔空氣難以流動之處，因而可抑制因淨化空氣之風速慢而使塵埃附著於基板上，故基板不易被污染，因此，可實現提供一種基板不易被污染之基板收納用收納容器。
本發明之基板收納用收納容器之第4特徵構造為：於第1至3特徵構造任一個中，前述蓋係構造成在容許前述基板出入之開啟狀態時，以鄰接之基板出入用口之間呈關閉之狀態而使前述出入口開啟。
即，呈容許基板之出入之開啟狀態時，在基板可由基板出入用口出入之同時，因鄰接之基板出入用口之間藉蓋而關閉，故即使於開啟狀態時，於出入口因蓋而使風路變的狹小，排出之淨化空氣之風速會變得較快，因此於開啟狀態或關閉狀態之任一狀態下，即使使風扇過濾單元之通風量較少，排出之淨化空氣之風速快，故可防止外氣由收納容器之出入口進入收納容器內，因此，實現提供一種可更加降低風扇過濾單元之運作成本之基板收納用收納容器。
本發明之基板收納用收納容器之第5特徵構造為：前述蓋具有於上下方向排列之多數蓋形成構件，前述蓋形成構件係構造成分別具有與前述出入口之橫寬大約相同之橫寬，且於前述關閉狀態，在鄰接之前述蓋形成構件之間形成前述通氣口，又，前述蓋形成構件分別沿著前述出入口 之橫寬方向圍繞軸心旋轉，而呈前述開啟狀態時，在鄰接之前數蓋形成構件之間形成前述基板出入用口。
即，蓋係被構成為具備有與出入口之橫寬大約相同橫寬之多數個蓋形成構件，從開啟狀態，只要藉由將多數蓋形成構件分別旋轉操作，便可形成對應多數片基板且跨越與出入口之橫寬大約相同橫寬之基板出入用口之關閉狀態，可謀求蓋之構造之簡化。
本發明之基板收納用收納容器之第6特徵構造為：前述蓋係構造成被賦予恢復至前述關閉狀態側之勢能，而藉由往上方移動將前述蓋操作成開啟狀態的操作部，係設成由前述容器本體之底面部朝下方突出之狀態。
即，可藉由使操作部往上方移動而將蓋操作成開啟狀態，且因操作部係設成由容器本體之底面部朝下方突出之狀態，可藉由將收納容器載置於設定處，使操作部被往上方移動，而將蓋切換成開啟狀態；由設定處將收納容器舉起時，蓋可藉恢復勢能而切換至關閉狀態，不需要其他方法或操作蓋開關之操作機構，就可容易地操作切換蓋之開啟狀態與關閉狀態，因此，可提供可容易地切換蓋之開啟狀態與關閉狀態之基板收納用收納容器。
本發明之基板收納用收納容器之第7特徵構造為：藉由沿著前述容器本體之橫側面部之面移動而將前述蓋操作成開啟狀態之操作部，係設置成由前述容器本體之橫側面部朝橫側方突出之狀態。
即，藉使操作部沿著容器本體之橫側面部之面移動， 可將蓋操作成開啟或關閉狀態，因該操作部設置成由容器本體之橫側面部朝橫側方突出之狀態，可透過促動器等之機械操作或透過作業員之人為操作而藉以容易地進行操作，因此，實現可提供一種可藉機械操作或人為操作而將蓋容易的切換成開啟狀態或關閉狀態之基板收納用收納容器。
本發明之基板收納用收納容器之第8特徵構造為：藉沿上下方向移動而將蓋操作成開啟狀態之操作部，其前端之被操作部分係設成位於較前述容器本體之橫側壁之前面部更前方的狀態。
即，可藉由沿上下方向移動而將蓋操作成開啟狀態或關閉狀態之操作部，因將其前端之被操作部設成位於較前述容器本體之橫側壁之前面部更前方的狀態，可容易進行藉由促動器等之機械操作或藉由作業員之人為操作，且，可將操作部設成不突出容器本體之橫寬方向外側或突出量減少之狀態，因此，實現提供一種可使收納容器全體之橫寬方向變小之基板收納用收納容器。
本發明之基板收納用收納容器之第9特徵構造為：前述蓋係可相對前述容器本體自由裝卸。
即，可將蓋由容器本體取下，故洗淨時可將蓋與容器本體個別洗淨，而可容易洗淨，因此，實現可提供一種可容易洗淨之基板收納用收納容器。
又，如第10特徵構造，前述風扇過濾單元最好具有藉框體支持之風扇與過濾器及受電部。又，前述風扇過濾單 元最好具有電池。
以下將依據圖式說明本發明之實施態樣。以下揭示了多數個實施態樣，1個實施態樣之特徵與其他實施態樣之特徵之組合之物也包含於本發明之範圍內。
[第1實施態樣]
如第2圖及第6圖所示，基板處理設備包含例如：多數基板處理裝置3，係處理矩形狀之基板1者；收納架5，係具有多數個收納有收納容器2之收納部4者，且前述收納容器2以於上下方向上間隔排列之狀態固持有多數片前述基板1；基板搬送裝置7，係位於分別對應多數前述基板處理裝置3之基板出入部6，且由前述收納容器2中每次取出一片基板1供給至前述基板處理裝置3，並且將由前述基板處理裝置3搬出之基板1收納至位於前述基板出入部6之前述收納容器2；及收納容器搬送裝置8，係將前述收納容器2搬送至分別對應前述多數基板處理裝置3之前述基板出入部6及前述收納架5之前述收納部4。
即，如第1圖所示，基板處理設備中裝設有多數基板收納設備A與處理程序設備B，如第2圖所示，基板收納設備A分別具有收納架5及作為前述收納容器搬送裝置8之堆高式起重機10；如第6圖所示，處理程序設備B分別具有基板處理裝置3與基板搬送裝置7。
且，前述基板處理設備係一面將前述收納容器2保管於前述收納架5中，一面將所保管之前述收納容器2依序搬送 至分別對應前述多數基板處理裝置3之前述基板出入部6，藉此，前述基板1依序經多數前述基板處理裝置3處理，採用如此製造處理完畢基板的基板處理方法。
即，基板搬送裝置7及收納容器搬送裝置8藉圖外之控制裝置而控制其作動，藉收納容器搬送裝置8，收納容器2依序搬送至分別對應多數基板處理裝置3之基板出入部6，每次搬送至基板出入部6時，藉基板搬送裝置7，由收納容器2中每次取出一片基板1供給至基板處理裝置3、及收納由基板處理裝置3搬送來之基板1，藉控制裝置控制基板搬送裝置7及收納容器搬送裝置8之作動。該控制裝置包含微處理器、通信部、記憶體、及記憶於記憶體之處理順序等，具有可進行本說明書中記載之所有機能的部分。又，該控制裝置可配置於設備之底部、收納容器搬送部、或收納架5皆可。
又，於多數基板處理裝置3中，塗佈、曝光及顯像等預定之處理係個別進行，因此，處理基板1之處理量上會產生差別，依序搬送至基板出入部6時，產生基板1等待處理之情況時，為將收納有該等待處理之基板1之收納容器2暫時保管於收納架5，藉控制裝置而控制收納容器搬送裝置8之作動。
前述收納容器搬送裝置8設有對應前述收納架5裝設作為收納架用收納容器搬送部之堆高式起重機10、及於分別位於多數前述收納架5之多數出入庫部9之間搬送前述收納容器2之架間用收納容器搬送部之來回移動搬送車11及環 繞移動搬送車12。
如第1圖所示，前述來回移動搬送車11及環繞移動搬送車12係於基板收納設備A外搬送收納容器2者，來回移動搬送車11係構造成來回移動於2個鄰接之基板收納設備A之間於2個基板收納設備A之間搬送收納容器2，環繞移動搬運車12係構造成環繞移動經過多數基板收納設備A於多數基板收納設備A之間搬送收納容器2。
又，如第2圖所示，堆高式起重機10係於基板收納設備A內搬送收納容器2者，係構造成沿著設成相互對向狀態之一對收納架5之間形成之移動空間來回移動，且於對向之一對收納架5之多數收納部4之間搬送收納容器2。
即，藉收納容器搬送裝置8，由搬送起點之收納部4或基板出入口6搬送收納容器2至搬送終點之收納部4或基板出入部6時，當搬送起點與搬送終點位於不同之基板收納設備A時，依搬送起點之基板收納設備A之堆高式起重機10、來回移動搬送車11或環繞移動搬送車12、搬送終點之基板收納設備之堆高式起重機10之順序，依序交接搬送收納容器2；當搬送起點與搬送終點於相同之基板收納設備A時，藉該基板收納設備A之堆高式起重機10搬送收納容器2。
如第4圖所示，物品處理設備中，清潔區域13中設有使淨化空氣由頂部通風至底部之垂直層流式淨化空氣通風機構23，該垂直層流之清潔區域13內裝設有前述多數基板處理裝置3、前述收納架5、前述基板搬送裝置7、及前述收納容器搬送裝置8，將前述基板收納設備A周圍裝設成開放狀 態，使於基板收納設備A內外之淨化空氣可流通。
更加詳細說明淨化空氣通風機構23，如第4圖所示，淨化空氣通風機構23係構造成：清潔區域13之底部由多孔狀之分層底14形成，清潔區域13之頂部由高效率過濾器等構成之空氣過濾器15形成，同時，形成於分層底14下方側之吸氣室16與形成於空氣過濾器15上方側之腔室17藉具有通風機18及前過濾器21之循環路19連通，藉通風機18清潔區域13之空氣通過分層底14及吸氣室16經循環路19吸氣，同時，使該吸入之空氣通過前過濾器21、腔室17及空氣過濾器15作為淨化空氣，於清潔區域13內朝下噴出，將清潔區域13內之空氣藉前過濾器21與空氣過濾器15一面清潔化一面循環，使淨化空氣由頂部通至底部。且，於循環路19中，較通風機18上游側連接有取入外氣通路20，較通風機18下游側連接有排氣通路22，藉淨化空氣通風機構23循環之清潔區域13內之空氣之一部份與外氣交換。
如第6圖所示，物品處理設備設有維持藉前述基板搬送裝置7於前述基板出入部6與前述基板處理裝置3之間搬送前述基板1之基板搬送區域24的清潔度而通風淨化空氣之搬送區域用淨化空氣通風機構25。
即，處理工程設備B之基板搬送區域24中，基板搬送裝置7之基板搬送作用空間於收納架5側之端部為開放，且基板處理裝置3側之端部與基板處理裝置3連通且設有一覆蓋之區隔壁26，此區隔壁26之頂部設有作為搬送區域用淨化空氣通風機構25的多數區域用風扇過濾單元27，藉由多數 區域用風扇過濾單元27，使清潔區域13之淨化空氣以更加清潔化之淨化空氣由基板搬送區域24之頂部通至底部，區隔壁26所覆蓋之空間作為垂直層流空間。
如第2~4圖所示，前述收納架5設於分層底14上，由於架橫向間隔排列直立設置前後一對之支柱31、及架設成穿過前後一對之支柱31且於架上下方向間隔排列設置之載置支持部32所構成。
且，收納架5中設有多數縱橫排列之前述收納部4，前述收納部4由前後一對之支柱31及左右一對之載置支持部32形成。各收納部4於架橫向鄰接者及於架上下方向鄰接者係連接成空氣可流動之狀態。
又，最下段之收納部4由分層底14之上方側隔開間隔設置，使其最下段之收納部4之下方形成淨化空氣流動之流動用空間。
前述收納架5具有之多數收納部4之中之一部份作為前述基板出入部6，又，收納架5具有之收納部4之中之一部份作為前述出入庫部9。
再加以說明，如第5圖所示，收納架5具有最下段之多數收納部4之中對應基板處理裝置3之收納部4為基板出入部6，藉基板搬送裝置7，由位於基板出入部6之收納容器2中，通過收納架5背面側，每次取出一片基板1或每次收納一片。且，因最下段之收納部如上述所示由分層底14之上方側隔開間隔設置，基板出入部6設置於較底部高之位置。
又，如第7圖所示，收納架5具有中段之多數收納部4 之中對應來回移動搬送車11及環繞移動搬送車12之收納部4為出入庫部9，對應來回移動搬送車11之出入庫部9可藉來回移動搬送車11通過收納架5背面側搬送收納容器2，且，對應環繞移動搬送車12之出入庫部9可藉環繞移動搬送車12通過收納架5側面側搬送收納容器2。
如第2圖、第3圖及第8圖所示，堆高式起重機10包含2條藉沿著收納架5前方移動路徑之較長方向設置之移動軌道34移動的移動台車35、藉直立設於移動台車35之一對升降桅杆36指引支持而可自由升降之升降台37、及藉升降台37支持且可於收納部4與自己間移載收納容器2之叉子式物品移載裝置38，藉移動台車35之水平移動、升降台37之升降移動及物品移載裝置38之作動，可於收納架5前方移動空間在架橫向上自由移動，且，可將前述收納容器2搬送至前述基板出入部6、前述出入庫部9及這些以外位於前述收納架5之前述收納部4。
前述移動台車35對應2條移動軌道34分別各設有前後2輪共4輪之移動車輪39，移動車輪39分別藉移動用馬達40旋轉驅動，使移動台車35沿移動路徑移動。
且，一對升降桅杆36，其上端部藉上部框架41連結。
如第8圖所示，前述升降台37前後方向之兩端部分別連結有一對升降用鏈45之一端部，該一對升降用鏈45之中一條係卷掛於設於升降桅杆36上端部的指引扣鏈齒輪46，其另一端部連結於平衡錘47，一對升降用鏈45之中另一條係卷掛於設於升降桅杆36下端部的驅動扣鏈齒輪48，其另一 端部連結於平衡錘47，藉升降用馬達49旋轉驅動驅動扣鏈齒輪48，使升降台37升降移動。
如第9圖所示，前述物品移載裝置38包含：可圍繞上下軸心P1自由旋轉之旋轉台50、及設於該旋轉台50上支持載置部51使其可自由進退移動之連結機構52。且，物品移載裝置38藉旋轉台50之旋轉可使載置部51旋轉移動，且，藉連結機構52之伸縮可使物品移載裝置38呈退下於升降台37上之狀態(參照第5圖)，或切換成物品移載裝置38突出於收納部4側之狀態。又，物品移載裝置38相當於使所支持之收納容器2旋轉之旋轉機構。
如第3圖所示，基板收納設備A具有控制堆高式起重機10作動的控制機構H。
該控制機構H係根據管理收納容器搬送裝置8運轉之上位控制裝置的指令，藉由控制移動用馬達40、升降用馬達49及物品移載裝置38之作動，而控制在多數收納部4之間搬送收納容器2之堆高式起重機10的作動。
且，前述控制機構H係於前述收納架5之任一者中，使前述收納容器2以前述收納容器2之裝設有前述風扇過濾單元64側位於前述移動空間側，且前述收納容器2之前述出入口72側位於遠離前述移動空間側之狀態，收納於前述收納部4，而控制前述收納容器搬送裝置8之作動。風扇過濾單元64(亦稱為FFU)含有一藉FFU框體90支持之風機、驅動該風機之電動馬達、過濾器、電池71、或傳送電力至電動馬達之受電部70a。該風機依水平方向圍繞軸旋轉。
即，控制機構H係控制堆高式起重機10之作動，使於對向之一對收納架5之間搬送收納容器2時，當搬送起點之收納部4與搬送終點之收納部4為同一收納架5時，由搬送起點之收納部4將收納容器2取出，該收納容器2藉物品移載裝置38不旋轉而收納於搬送終點之收納部4，使收納容器2即使於搬送終點之收納部4時，也與搬送起點之收納部4相同，以收納容器2之裝設有風扇過濾單元64側位於移動空間側，且收納容器2之前述出入口側裝設有蓋65之側位於遠離移動空間側之狀態收納於收納部4，又，當搬送起點之收納部4與搬送終點之收納部4於不同之收納架5時，由搬送起點之收納部4將收納容器2取出，將該收納容器2藉物品移載裝置38旋轉180度後收納於搬送終點之收納部4，使收納容器2即使於搬送終點之收納部4時，也與搬送起點之收納部4相同，以收納容器2之裝設有風扇過濾單元64側位於移動空間側，且收納容器2之裝設有蓋65之側位於遠離移動空間之狀態收納於收納部4。
如第5圖及第6圖所示，基板搬送裝置7具有於基板處理裝置3與收納架5附近之間載置搬送基板1之基板搬送輸送帶54、及於位於基板出入部6之收納容器2與基板搬送輸送帶54之收納架端側部之間載置搬送基板1之基板搬送自動機55。
基板搬送自動機55具有沿著收納架5背面側在架橫向上移動的移動台車56、支持該移動台車56使其可自由升降及旋轉的升降部57、及藉連結機構58與該升降部57連結之 叉子狀支持部59，藉升降部57之升降與旋轉及連結機構58之伸縮，將位於基板出入部6之收納容器2之基板1每次1片搬送至基板搬送輸送帶54之收納架端側部，且，將基板搬送輸送帶54之收納端側部之基板1一片一片地的搬送至位於基板出入部6之收納容器2。
如第6圖所示，基板搬送輸送帶54係於基板1之寬方向之兩端部藉旋轉滾子61支持，藉旋轉驅動該旋轉滾子61而搬送基板1。如第5圖所示，基板搬送輸送帶54具有將由基板搬送自動機55接收之基板1朝基板處理裝置3搬送的未處理用基板搬送輸送帶54、及將由基板處理裝置3搬出之基板1朝收納架5側搬送的處理完畢用基板搬送輸送帶54。
如第11圖及第12圖所示，前述收納容器2呈橫倒狀態之四角筒狀，該收納容器2之一端側之開口(第1開口)作為供前述基板1出入之出入口72，由前述收納容器2之另一端側之開口(第2開口)通風至前述出入口7之風扇過濾單元64裝設於位於前述收納容器2之另一端側之開口部(即第2開口區域)。開關前述收納容器2之前述出入口72之蓋65，於關閉狀態時形成一部份開口，且，於開啟狀態時呈容許藉前述基板搬送裝置7搬送前述基板1之狀態裝設於前述收納容器2之出入口部。
換而言之，呈橫倒狀態之四角筒狀的容器本體66之一端側之開口係構造成供前述基板1每次1片出入用之出入口72，由前述容器本體66之另一端側之開口朝前述出入口72通風之風扇過濾單元64裝設於位於前述容器本體66之另一 端側之開口部。開關前述容器本體66之前述出入口72的蓋65於關閉狀態時，一部份形成作為通氣口75之開口，且，於開啟狀態時，以容許前述基板搬送裝置7搬送基板1之狀態裝設於前述容器本體66之出入口部。
如第10圖所示，容器本體66呈矩形，且由形成容器本體66之一端側開口的一端側矩形框93、同樣呈矩形且形成容器66之另一端側開口之另一端側矩形框94、一端側框體與另一端側框體於角部相互連結之角框材95、及於除去容器本體66之一端側部的另一端側部、左右橫側部、上側部及下側部適宜架設之連結框材96而形成格子狀之框架；於兩橫側部，使形成於其兩橫側部之開口呈封閉形態，而具有使矩形框或框材與外面側裝設成一面狀態之外面構件97、及使矩形框或框材與內面側裝設成一面狀態之內面構件98；於上側部及下側部，使形成於其上側部及下側部之開口呈封閉形態，而設有前述內面構件98，而呈橫倒狀態之四角筒狀。如第11圖所示，容器本體66含有上壁66a、底壁66b、及左右之兩橫側壁66c。
且，於一端側矩形框93、另一端側矩形框94及位於下側之各框材95，設有收納於收納架5之收納部4時載置支持之收納用支持部82；於一端側矩形框93及另一端側矩形框94，設有藉堆高式起重機10等收納容器搬送裝置8搬送時載置支持之搬送用支持部83。
如第13圖及第17圖所示，容器本體66中架設有穿過左右之兩橫側壁66c之支持體67。該支持體67為支持1片基板1 而於前後方向上設有多數個，且，對應收納於收納容器2之基板1之片數於上下方向上設定間隔設有多數段。
且，如第13圖所示，支持體67分別由架設於穿過容器本體66左右之兩橫側壁66c之連結框材96的本體架69、及直立設於該本體架69的多數栓構件68所構成。栓構件68係於藉基板搬送自動機55使基板1出入收納容器裝置2時，為不干涉基板搬送自動機55之支持部59，而直立設於本體架69之設定位置，藉該多數栓構件68支持基板1，本體架69與藉此支持之基板1間形成基板搬送自動機55之支持部59可插通之間隙。
如第11圖所示，容器本體66裝設有3個風扇過濾單元64，該3個風扇過濾單元以於寬方向上3個並排之狀態安裝於連結支持於容器本體66之另一端側開口部的FFU用框體90。
且，FFU用框體90具有非接觸供電裝置70之受電部70a，收納部4分別構造成藉裝設成經載置支持部32支持之狀態之非接觸供電裝置70的供電部70b(參照圖2)供給之電力而使3個風扇過濾單元64作動。
又，FFU用框體90亦具有儲蓄供給受電部70a之電力的電池71，當收納容器2藉堆高式起重機10搬送，受電部70a離開供電部70b，沒有電力供應至收納容器2之狀態時，藉由儲蓄於電池71之電力使3個風扇過濾單元64作動。
接著，說明蓋65。
如第16圖所示，前述蓋65之前述通氣口75形成跨越與 前述出入口72橫寬大約相同之橫寬的細縫狀，且，以分別對應固持於前述容器本體66之多數前述基板1的狀態於上下方向上形成多數個。
且，如第16(B)圖所示，前述蓋65呈容許前述基板1出入之開啟狀態時，使形成跨越與前述出入口72橫寬大約相同之橫寬的細縫狀的基板出入用口76形成對應固持於前述容器本體66之多數前述基板1之位置的形態，且，以關閉鄰接之基板出入用口76之間的形態，開啟前述出入口72。
再加以說明前述蓋65，如第16圖所示，具有與前述出入口72之橫寬大約相同之橫寬的多數蓋形成構件77，在前述關閉狀態時，於鄰接之兩者之間形成前述通氣口75，且，沿前述出入口72之寬方向於圍繞軸心旋轉之前述開啟狀態中，以鄰接之兩者之間使前述基板出入用口76呈開啟之狀態，使前述出入口72開啟以上下方向排列。
多數蓋形成構件77於橫側面看係分別由形成中空薄板狀之板狀體而構成，於其中心部藉蓋用框體78支持成可圍繞橫軸心自由旋轉之狀態。且，蓋65，如第16(A)圖所示，因多數蓋形成構件77分別圍繞橫軸心旋轉且沿上下方向排列，使蓋形成構件77彼此之間形成較小之開口作為通氣口75，呈關閉狀態，如第16(B)圖所示，因多數蓋形成構件77分別圍繞橫軸心旋轉且沿前後方向排列，使蓋形成構件77彼此之間形成較大之開口作為基板出入用口76，呈開啟狀態。
即，如第16(A)圖及第17(A)圖所示，蓋65於關閉狀態 時，因多數蓋形成構件77彼此之間之通氣口75呈開口狀態，藉風扇過濾單元64，可將淨化空氣由收納容器另一端側開口通至出入口72且由位於出入口72之通氣口75排出，該通氣口75藉沿上下方向(與通風方向交叉之方向)排列之多數蓋形成構件77而形成得較小，因此由該通氣口75排出之淨化空氣風速會變得較快，藉此可防止外氣由收納容器2之出入口72侵入收納容器2內。
且，如第16(B)圖及第17(B)圖所示，蓋65於開啟狀態時，多數蓋形成構件77彼此之間之較通氣口75大之基板出入口76呈開啟狀態，可使基板1於淨化空氣範圍內由基板出入用口76出入，由該基板出入用口76排出之淨化空氣，因存在有未呈關閉狀態之沿前後方向(通風方向)排列的多數蓋形成構件77，故風路變得較狹窄，而風速變得較快，藉此可防止外氣由收納容器2之出入口72侵入收納容器2內。
又，多數蓋形成構件77之鄰接之兩者間，如上述，於關閉狀態時形成通氣口75，於開啟狀態時形成基板出入用口76，蓋65呈關閉狀態或開啟狀態、及蓋65在切換這些狀態時，因多數蓋形成構件77互相不會接觸，故不會因蓋形成構件77互相接觸而產生塵埃，可抑制由蓋65產生之塵埃。
前述蓋65係構造成可賦予前述關閉狀態側恢復勢能，連結棒80為藉向上方移動而操作前述蓋65使呈開啟狀態之操作部，裝設成由前述容器本體66之底面部朝下方突出之狀態。
再加以說明，如第16(A)圖所示，連結構件79之基端部 分別以延伸設於沿上下方向排列之蓋形成構件77之後下方的形態且以可一起旋轉之狀態連結，此連結構件79之遊端部分別沿上下方向排列以可自由旋轉之狀態連結於連結棒80，蓋形成構件77呈分別沿上下方向排列之關閉狀態時，藉使連結棒80上升移動，使蓋形成構件77分別沿前後方向排列呈開啟狀態，又，蓋形成構件77呈分別沿前後方向排列之開啟狀態時，藉使連結棒80下降移動，使蓋形成構件77分別沿上下方向排列呈關閉狀態。
且，連結棒80藉自身重量賦予下降側勢能，連結棒80呈由容器本體66之底面部朝下方突出之狀態時，蓋65會呈關閉狀態，以此狀態將收納容器2載置於基板出入部6之同時，藉由將設於基板出入部6之載置支持部32的蓋用突起部81上推連結棒80，透過連結構件79旋轉操作蓋形成構件77，蓋形成構件77變成分別沿前後方向排列，蓋65呈開啟狀態。又，基板出入部6將收納容器2舉起時，連結棒80藉自身重量下壓，透過連結構件79旋轉操作蓋形成構件77，蓋形成構件77變成沿上下方向排列，蓋65呈關閉狀態。又，連結棒80之下降移動係藉圖中未示之控制構件控制，使連結棒80之下端部呈由容器本體66之底面部朝下方突出之狀態。
於基板出入部以外之收納部4、及堆高式起重機10等收納容器搬送裝置8中沒有設置如基板出入部6之蓋用突起部81上推連結棒80的操作部分，除了位於基板出入部6時，設成沒有將連結棒80上推之操作，收納於基板出入部6之外之 收納部4時、或藉堆高式起重機10等搬送時，收納容器2之蓋65維持關閉狀態。
即，基板處理裝置採用之基板處理方法為：於前述收納架5保管時或藉前述收納容器搬送裝置8搬送時，前述收納容器2之前述蓋65呈關閉狀態，藉前述風扇過濾單元64通風，而維持前述基板1之清潔度，且，於前述基板出入部6藉前述基板搬送裝置7搬送前述基板1時，前述收納容器2之前述蓋65呈開啟狀態，藉前述風扇過濾單元64通風，並且藉前述搬送區域用淨化空氣通風機構25維持前述基板搬送區域24之清潔度，而維持前述基板1之清潔度。
且，收納容器2於蓋65呈開啟狀態時，為使3個風扇過濾單元64之通風量增大而設有控制3個風扇過濾單元64作動之控制部109。
即，如第11圖及第18圖所示，FFU用框體90隨著收納容器2載置於基板出入部6時，藉由設於基板出入部6之載置支持部32的FFU用突起部106上推而上升移動，且，FFU用框體90具有於收納容器2被基板出入部6舉起時，藉自身重量下降移動之可升降移動的檢驗片107、藉將檢驗檢驗片107之升降移動的該檢驗情報發送至前述控制部109之限位開關而構成之檢驗開關108、及根據檢驗開關108之檢驗資訊控制風扇過濾單元64之作動的前述控制部109，控制部109於檢驗片107呈上升移動狀態時，使風扇過濾單元64之通風量增大，於檢驗片107呈下降移動狀態時，使風扇過濾單元64之通風量減少，根據檢驗開關108之檢驗資訊控制風 扇過濾單元64之作動。
且，FFU用突起部106與蓋用突起部81相同，於基板出入部6之外之收納部4及堆高式起重機10等收納容器搬送裝置8中沒有裝設。
因此，收納容器2位於基板出入部6且蓋65呈開啟狀態時，風扇過濾單元之通風量會增大，收納容器2位於基板出入部6之外且蓋65呈關閉狀態時，風扇過濾單元之通風量會減少。
即，蓋65在切換成開啟狀態之前，風扇過濾單元64之通風量增大，蓋切換成關閉狀態之後，風扇過濾單元之通風量會減少，宜於蓋65在切換成開啟狀態時或切換成關閉狀態時防止由蓋65產生之塵埃污染收納容器2內之基板1，如此切換蓋65成開啟狀態或關閉狀態與風扇過濾單元64之通風量增減的關係，可藉蓋用突起部81及FFU用突起部106之高度調節。
如第11圖所示，前述風扇過濾單元64及前述蓋65對於前述容器本體66以可自由裝卸之狀態裝設，由收納容器2取下風扇過濾單元64與蓋65，可容易洗淨收納容器2。
即，如第14圖所示，蓋用框體78之上端部設有由上方卡合容器本體66一端側矩形框93之上部的蓋用卡合構件99，又，一端側矩形框93之下端部設有蓋用卡合支持板100，其係卡合於以載置支持蓋用框體78之狀態形成於蓋用框體78之下端部的被卡合溝78a，蓋用卡合構件99可裝卸於一端側矩形框93之上部，且，蓋用卡合支持板100可裝卸於 蓋用框體78之被卡合溝78a，蓋65係構造成可對容器本體66裝卸。
又，如第15圖所示，FFU用框體90之上端部設有由上方卡合容器本體66之另一端側矩形框94之上部的FFU用卡合構件88，又，另一端側矩形框94之下端部設有FFU用卡合支持板89，其係卡合於以載置支持FFU用框體90之狀態形成於FFU用框體90之下端部的被卡合溝90a，FFU用卡合構件88可裝卸於另一端側矩形框94之上部，且，FFU用卡合支持板89可裝卸於FFU用框體90之被卡合溝90a，風扇過濾單元64包含供電部70b或電池71係構造成可一起對容器本體66裝卸。
且，如第2圖所示，收納架5具有最下段之多數收納部4之中之一部份作為手推台車用出入庫部9，其係藉通過收納架5之背面側之手推台車85而可讓收納容器2出入者，藉手推台車85由手推台車用出入庫部9取出收納容器2後，由收納容器2拆下風扇過濾單元64與蓋65後，可藉容器洗淨裝置86洗淨收納容器2。又，手推台車用出入庫部9之背面側設有關閉該出入庫部9背面側的活動遮板84，前述控制構件H，於活動遮板84操作成開啟狀態時，控制堆高式起重機10之作動使對應手推台車用出入庫部9之堆高式起重機10不搬送收納容器2。
[第2實施態樣]
此第2實施態樣係變更了第1實施態樣中支持位於基板出入部6之收納容器2之構造及開關收納容器2之蓋65之構 造之物。以下說明關於支持位於基板出入部6之收納容器2之構造及開關收納容器2之蓋65之構造，關於與第1實施態樣相同構造之部分使用與第1實施態樣相同之符號，省略其說明。
首先，說明支持位於基板出入部6之收納容器2之構造。
如第23圖及第24圖所示，基板出入部6之物品支持部32中具有當載置於基板出入部6之收納容器2由適當位置於水平方向偏離時，可將該收納容器2移至適當位置之中心化裝置111。
且，中心化裝置111係由多數個支持收納容器2且同時推壓操作收納容器2之橫側面的支持操作機構112而構成，所支持之收納容器2由適當位置偏離於水平方向時，藉由存在於位置偏離之側之支持操作機構112推壓操作收納容器2之橫側面，而可將該收納容器2移至適當位置。
如第24圖所示，多數支持操作機構112分別藉設置於物品支持部32上之基台113之搖動體114而支持成可搖動狀態，該搖動體114係由載置支持收納容器2之容器支持用滾子115、推壓操作收納容器2之側面的推壓操作用滾子116、及規範搖動體114之搖動的搖動規範用滾子117所構成。
加以說明各支持操作機構112，搖動體114係具有橫邊部分及膨出於橫邊部分之相反側的縱邊部分，由側面看形成L形，搖動體114之橫邊部分之基端部由基台113支持成可搖動狀。又，搖動體114之橫邊部分之前端部由容器支持用滾子115支持成可旋轉狀，搖動體114之縱邊部分之前端部 由推壓操作滾子116支持成可旋轉狀，搖動體114之由縱邊部分膨出所形成之部分的頂部由遙動規範用滾子117支持。
各支持操作機構112係構造成藉搖動規範用滾子117抵接於基台113而規範搖動體114由待機姿勢至支持姿勢之向相反側之搖動(參照第24(A)圖)，又，藉容器支持用滾子115抵接於基台113而規範搖動體114由支持姿勢至待機姿勢之向相反側之搖動(參照第24(B)圖)，藉此變更搖動體114之待機姿勢與支持姿勢之間搖動姿勢。
又，各支持操作機構112構造成搖動體114藉推壓操作用滾子116及搖動規範用滾子117等賦予待機姿勢側勢能，搖動體114於未支持收納容器2之狀態時則呈待機姿勢，收納容器2載置於容器支持滾子115上時，因收納容器2支重量搖動體114會由待機姿勢變更成支持姿勢，隨著搖動體114由待機姿勢變更成支持姿勢，推壓操作用滾子116會移動至收納容器2側，藉操作用滾子116推壓操作收納容器2之橫側面。
即，多數支持操作機構112於平面看時係形成矩形，對應收納容器2之下面部之4邊，每邊各具有兩個共計8個。
接著，說明關於開關收納容器2之蓋65之構造。
如第23圖所示，藉由沿著前述容器本體66之橫側面部之面的方向(即與面平行之方向)移動而將前述蓋65操作成開啟狀態之操作部121，係安裝成由前述容器本體66之橫側面部突出於橫側方之狀態。
再加以說明，如第25圖所示，多數蓋形成構件77之中 之1個蓋形成構件77構造成包含有其兩端部由容器本體66之橫側面部突出於橫側方之操作用旋轉軸77a，操作用旋轉軸77a之由容器本體66之橫側面部突出於橫側方之兩端部上，分別有操作桿123以於沿著上下方向排列之蓋形成構件77之前上方沿設之狀態與其連結成可一起旋轉，操作部121係由該等操作用旋轉軸77a與操作桿123所構成。
又，連結構件79係構造成其基端側分別以於沿著上下方向排列之蓋形成構件77之前下方沿設之狀態與其連結成可一起旋轉，連結構件79之分別之遊端部與以沿著上下方向排列之棒狀體122連結成可旋轉，受多數蓋形成構件77連動而可旋轉。蓋形成構件77分別沿上下方向排列之關閉狀態時，藉將操作桿123向後方搖動操作而將蓋形成構件77變成分別沿前後方向排列之開啟狀態，又，蓋形成構件77分別沿前後方向排列之開啟狀態時，藉將操作桿123向前方搖動操作而將蓋形成構件77變成分別沿上下方向排列之關閉狀態。
操作桿123可於蓋65呈關閉狀態之關閉姿勢與蓋65呈開啟狀態之開啟姿勢之範圍間自由搖動操作，藉棒狀體122抵接於下方之規範構件124，規範由關閉姿勢至開啟姿勢之向相反側之搖動，又，藉棒狀體122抵接於上方之規範構件124，規範由開啟姿勢至關閉姿勢之向相反側之搖動。即，操作桿123係藉棒狀體122之自身重量而賦予關閉姿勢側勢能。
如第23圖與第26圖所示，位於基板出入部6之左右兩側 的支柱31之1者具有可將操作桿123於前後方向操作之蓋操作機構125。該蓋操作機構125係構造成至少設有對應一對操作桿123之中之1者，操作一對之操作桿123之中之1者而可將蓋65切換成開啟狀態或關閉狀態。又，本實施態樣中，位於基板出入部6之左右兩側之支柱31之另1者並不具有蓋操作手段，一對之操作桿123之另1者係於作業員手動將蓋切換成開啟狀態或關閉狀態時使用。
又，蓋操作機構125係由具有沿前後方向滑行移動之移動體126a之電動滾筒126及直立設於移動體126a之操作用構件127所構成，藉電動滾筒126將操作用構件127向後方側移動，操作桿123之被操作部分123a藉操作用構件127推壓操作而使操作桿123呈向後方側搖動操作之開啟姿勢，藉電動滾筒126將操作用構件127向前方側移動，操作桿123藉被賦予之勢能向前方側搖動操作呈開啟姿勢。
又，蓋操作機構125係構造成，於藉電動滾筒126將操作用構件127向後方側移動之狀態時，藉物品移載裝置38將收納容器21搬入基板出入部6時收納容器向前方側之移動而將蓋65切換成開啟狀態，藉物品移載裝置38將收納容器21搬出基板出入部6時收納容器向後方側之移動而將蓋65切換成關閉狀態。
再加以說明，蓋操作機構125之操作用構件127由正面看形成L字形，如第27(B)圖及第28(B)圖所示，沿此操作用構件之上下方向之縱邊部分位於由藉物品移載裝置38將收納容器2於前後方向移載時關閉姿勢之操作桿123之被操作 部分123a所在位置之高度到收納容器2載置支持於物品支持部32時關閉姿勢之操作桿123之被操作部分123a所在位置之高度之間，於上下方向形成長形。
且，蓋操作機構125係構造成，藉由如上述操作用構件127之縱邊部分於上下方向形成長形，對於藉物品移載裝置於前後方向移載之收納容器2，將操作用構件127向前後方側移動而將收納容器2之蓋65切換操作成開啟狀態或關閉狀態。
又，即使於將收納容器2搬出入基板出入部6時，蓋操作機構125因失誤而使操作用構件127向後方側移動，亦可利用物品移載裝置38使收納容器2移動，將操作用構件127將蓋65切換操作成開啟狀態。
如第27~29圖所示，基板處理設備係包含：檢測基板出入部6是否有收納容器2存在之容器存在與否感應器129、檢測基板出入部6下方是否有物品移載裝置38存在之裝置存在感應器130、開關操作蓋65之前述蓋操作機構125、及依據容器存在與否感應器129與裝置存在感應器130之檢測結果，於收納容器2藉物品移載裝置38載置至物品支持部32之後，控制蓋操作機構125之作動而將蓋65操作成開啟，且，於藉物品移載裝置38將收納容器2由物品支持部32取走之前，控制蓋操作機構125之作動而將蓋65操作成關閉之開關控制機構132。
容器存在與否感應器129與裝置存在感應器130分別是由光電感應器所構成，容器存在與否感應器129包含設於基 板出入部6之前部的前部側容器存在與否感應器129a及設於基板出入部6之後部的後部側容器存在與否感應器129b。
如第27圖及第28圖所示，前部側容器存在與否感應器129a係於基板出入部6之前部下方設有向上方投光之投光部，於基板出入部6之前部下方設有接受投光部所投射之光經收納容器2反射後之光的受光部，由測距式感應器所構成之前部側容器存在與否感應器129a構造成當收納容器2載置支持於物品支持部32或收納容器2下降移動於接近物品支持部32，檢測出與收納容器2之距離為較設定距離短時(收納容器2載置支持於物品支持部32或收納容器2下降移動於接近物品支持部32之狀態，以下稱之為檢測狀態)，開關控制機構138將會判斷成基板出入部6內有收納容器2存在。
後部側容器存在與否感應器129b係構造成於基板出入部6之橫向一側方設有反射板，於水平方向投光之投光部與接受投光部所投射之光經反射板反射後之光的受光部設於基板出入部6之橫向另1側方，該後部側容器存在與否感應器129b於投射之光因收納容器2而被遮斷之檢測狀態時，開關控制機構132將會判斷成物品支持部32上存在有收納容器2。
裝置存在感應器130係構造成於基板出入部6之橫向一側方設有反射板，於水平方向投光之投光部與接受投光部所投射之光經反射板反射後之光的受光部設於基板出入部6之橫向另1側方，該裝置存在感應器130於投射之光因物品 移載裝置38而被遮斷之檢測狀態時，將會判斷成物品支持部32之下方存在有物品移載裝置38。
即，將收納容器2搬入基板出入部6時，使位於較物品支持部32上方且載置有收納容器2之物品移載裝置38突出於基板出入部6側，使物品移載裝置38下降移動於較支持收納容器2之物品支持部32的下方，將收納容器2載置於物品支持部32後，會使沒有載置收納容器2之空的物品移載裝置38退至堆高式起重機10側，載置有收納容器2之物品移載裝置38突出於基板出入部6側時，後部側容器存在與否感應器129b會變成檢測收納容器2之檢測狀態，使物品移載裝置38下降移動於較支持收納容器2之物品支持部32的下方，前部側容器存在與否感應器129a變成檢測收納容器2之檢測狀態後，裝置存在與否感應器130會變成檢測收納容器2之檢測狀態。如此，於前部側與後部側之兩者的容器存在與否感應器129變成檢測狀態後，裝置存在與否感應器130也變成檢測狀態後，開關控制機構132會判別成收納容器2已搬入基板出入部6，控制蓋操作機構125之作動而將蓋65操作成開啟。
且，沒有載置收納容器2之物品移載裝置38退至堆高式起重機10時，裝置存在與否感應器130將會變成沒有檢測之非檢測狀態。
又，收納容器2由基板出入部6搬出時，使位於較物品支持部32下方且沒有載置收納容器2之物品移載裝置38突出於基板出入部6側，使物品移載裝置38上升移動於較物品 支持部32上方取得收納容器2後，載置有收納容器2之物品移載裝置38退至堆高式起重機10側，使位於物品支持部32下方之物品移載裝置38突出於基板出入部6側時，裝置存在與否感應器130會變成檢測物品移載裝置38之檢測狀態，開關控制機構會判別成收納容器2由基板出入部6被搬出，而控制蓋操作機構125之作動而將蓋65操作成關閉。
且，使物品移載裝置38上升移動於較物品支持部32上方，裝置存在與否感應器130變成沒有檢測物品移載裝置38之非檢測狀態後，前部側容器存在與否感應器129a會變成沒有檢測收納容器2之非檢測狀態，載置有收納容器2之物品移載裝置38退至堆高式起重機10側時，前部側容器存在與否感應器129b會變成沒有檢測收納容器2之非檢測狀態。
[其它實施態樣]
(1)上述之實施態樣中，多數蓋形成構件77分別由於橫側面看形成板狀之板狀體所構成，亦可使多數蓋形成構件77分別由於橫側面看形成板狀之蓋構件本體與立設於該蓋構件本體之輔助蓋部分所構成。
即，亦可如第19圖及第20圖所示，以多數蓋形成構件77分別之於橫側面看形成板狀之蓋構件本體101沿前後方向排列，且於其上方垂直立設輔助蓋構件102之形態，將蓋構件本體101與輔助蓋構件102一體形成，於橫側面看形成T字形。此時，如第20(B)圖所示，亦可使蓋形成構件77之輔助蓋構件102於關閉狀態時，該蓋形成構件77之蓋構件本體101與鄰接於上方側之蓋形成構77件之蓋構件本體101之間 形成之開口，除了基板1出入用之空間與基板搬送自動機55之支持部59插拔用之空間之外藉輔助蓋構件102關閉，對應支持部59之插拔的部份可使基板1出入且可讓支持部59插拔而背部較低，未對應支持部59之插拔之部分為僅可使基板1出入而背部較高，由前面看形成凹凸形狀。
又，亦可使多數蓋形成構件77分別以於橫側面看形成板狀之蓋構件本體101沿前後方向排列，於其上方及下方垂直立設輔助蓋構件102之形態，將蓋構件本體101與輔助蓋構件102一體形成，於橫側面看形成為十字形。
(2)上述之實施態樣中，多數蓋形成構件77分別由於橫側面看形成板狀之板狀體所構成，亦可使多數蓋形成構件77分別由於橫側面看形成板狀之蓋構件本體101與立設於該蓋構件本體之輔助蓋構件102所構成。
即，亦可如第21圖及第22圖所示，多數蓋形成構件77分別由沿著位於蓋用框體78之上端部之橫軸心支持成可旋轉之蓋本體構件103與於蓋用框體78由固定體所支持之蓋輔助構件104所構成。此時，如第21圖所示，亦可使蓋形成構件77之輔助蓋構件104使鄰接之基板出入口72呈關閉狀態而位於鄰接之基板出入口72之間，且，如第22(B)圖所示，於開啟狀態時，該蓋輔助構件104與鄰接於上方側之蓋輔助構件104之間形成之開口係除了基板1出入用之空間與基板搬送自動機55之支持部59插拔用之空間之外為關閉，對應支持部59之插拔的部份可使基板1出入且可讓支持部59插拔而背部較低，未對應支持部59之插拔之部分為僅可 使基板1出入而背部較高，由前面看形成凹凸形狀，亦可使多數蓋形成構件77之蓋本體構件103之上端部與鄰接其上方之蓋形成構件77之蓋輔助構件104之下端部重疊，於關閉狀態時，形成下端部與蓋輔助構件104之背之較高部分且不與背之較低部分重疊之長度。
即，上述實施態樣中，亦可使多數蓋形成構件77分別構造成藉位於上端部或下端部之橫軸心可自由旋轉的支持蓋用框體78。
又，亦可使多數蓋形成構件77分別由於上下方向支持成可自由滑行移動之蓋本體構件與由固定體所支持之蓋輔助構件所構成。此時，例如，於蓋本體構件與蓋輔助構件於前後方向重疊之打開狀態時，蓋本體構件與蓋輔助構件形成如上述之蓋輔助構件104，由正面看為凹凸形狀，使蓋本體構件與蓋輔助構件之重疊範圍變狹窄而使蓋本體構件滑行移動而變成關閉狀態。
(3)上述之實施態樣中，基板出入用口76與固持於收納容器22之基板1之片數形成相同個數，亦可使基板出入用口76之個數少於固持於收納容器2之基板1之片數，例如，亦可構造成對於2片之基板2裝設1個蓋形成構件77，1個基板出入口可使2片基板2出入，又，亦可構造成將蓋65由打開狀態切換成可藉滑動容器本體66上方側的活動遮板而呈關閉狀態的活動遮板構造或1片之門板，於開啟狀態形成1個基板出入用口72，藉該1個基板出入口72使所有之基板1出入。又，將蓋65構造成如上述裝設一片門板時，藉由將門 板於端部中心搖動操作或裝卸，而切換開啟狀態與關閉狀態。
又，上述之實施態樣中，使通氣口75形成跨越與前述出入口72橫寬大約相同之橫寬的細縫狀，亦可使通氣口75形成上下方向之長形狹縫，或，除了細縫狀，亦可形成圓形等其他形狀。
(4)上述之第1實施態樣中，操作部80以由容器本體66之底面部往下方突出之狀態裝設，亦可將操作部80裝設成不由容器本體66之底面部往下方突出之狀態。此時，例如，於上述之實施態樣中，藉使突起部81之高度更高，而可將操作部80上推操作。
又，基板出入部6設有將操作部80上推操作用之突起部81，基板出入部6亦可不裝設將操作部80上推操作用之突起部81。
即，亦可構造成操作部80呈由容器本體66之底面部往下方大大突起之狀態時，蓋形成構件77分別形成沿上下方向排列，操作部80呈由容器本體66之底面部幾乎沒往下方突出或完全沒有突起之狀態時，蓋形成構件77分別形成沿前後方向排列，如此使操作部80與多數蓋形成構件77一起連動，藉將收納容器2載置於基板出入部6之平坦的載置面，藉該載置面上推操作部。
又，上述第1實施態樣中，構造成藉操作部80上下移動而切換蓋65成開啟狀態或關閉狀態，亦可構造成藉操作部80於寬方向移動或前後方向移動而切換蓋65成開啟狀態或 關閉狀態。
(5)上述之第1實施態樣中，藉由收納容器搬送裝置8上下移動位於基板出入部6之收納容器2，而操作操作部80使蓋65切換成開啟狀態或關閉狀態，亦可構造成於基板出入部6或收納容器2裝設操作操作部80之操作機構，將收納容器2載置於載置處後，藉操作機構操作操作部80，而將蓋65切換成開啟狀態或關閉狀態。
又，上述第1實施態樣中，係構造成蓋65可藉自身重量賦予關閉狀態側恢復勢能，亦可構造成由彈簧等付勢機構賦予蓋65之關閉狀態側恢復勢能，又，亦可構造成不賦予蓋65之關閉狀態側恢復勢能，而由上述之操作機構之操作將蓋65切換成關閉狀態。
(6)上述第1實施態樣中，操作部80與多數蓋形成構件77藉連結構件79而可連動，亦可使操作部80與多數蓋形成構件77藉齒條與齒輪連動。
即，構造成操作部80上形成齒條，蓋形成構件77分別設有與齒條咬合之齒輪，隨著操作部80之升降移動，而旋轉操作咬合於齒條之齒輪，可切換蓋形成構件77分別沿前後方向排列或沿上下方向排列。
(7)上述之實施態樣中，風扇過濾單元64及蓋65裝設成可相對容器本體66自由裝卸，亦可將風扇過濾單元64及蓋65之一者或兩者裝設成不可相對容器本體66自由裝卸。
(8)上述之實施態樣中，於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板1時，雖使收納容器2之風扇過濾單元64之通風 量增大，於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板1時，亦可不使風扇過濾單元64之通風量增大。
即，於收納架5保管時，藉收納容器搬送裝置8搬送時，及，於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板1時，亦可使收納容器2之風扇過濾單元64之通風量維持一定。
又，收納容器2之風扇過濾單元64的通風量於藉收納容器搬送裝置8搬送時較於收納架5保管時增大，亦可使風扇過濾單元64的通風量於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板時較藉收納容器搬送裝置8搬送時增大，於收納架5保管時、藉收納容器搬送裝置8搬送時、及於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板1時，可改變收納容器2之風扇過濾單元64之通風量。即，藉收納容器搬送裝置8搬送時，亦可使收納容器2之風扇過濾單元64之通風量增大。又，藉收納容器搬送裝置8搬送時之通風量亦可與於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板時相同，或較大亦可。
(9)上述之實施態樣中，收納架5係設置於清潔區域13之底部(分層底14)上，亦可設置於較底部低之吸氣室16之底部上。
(10)上述之實施態樣中，清潔區域13之頂部係由空氣過濾器形成，清潔區域13之頂部亦可由頂部用風扇過濾單元形成。
(11)上述之實施態樣中，容器本體66之兩橫側部為具有外面構件98及內面構件99之2層構造，亦可只裝設內面構件，與上側部或下側部同樣為1層構造。
(12)上述之實施態樣中，連結棒80係將連結構件79之基端部分別以延伸設於沿上下方向排列之蓋形成構件77之後下方之形態且以可一起旋轉之狀態連結，且以可自由旋轉之狀態連結連結構件79分別之遊端部，使連結棒80位於蓋形成構件77之旋轉軸心之後方側(容器本體側)，亦可使連結棒80將連結構件79之基端部分別以延伸設於沿上下方向排列之蓋形成構件77之前下方之形態且以可一起旋轉之狀態連結，且以可自由旋轉之狀態連結連結構件79分別之遊端部，使連結棒80位於蓋形成構件77之旋轉軸心之前方側(與容器本體存在側相反之側)。
(13)上述之實施態樣中，於基板出入部6藉收納容器搬送裝置8上下移動收納容器2，而操作操作部80，使蓋65可切換成開啟狀態或關閉狀態，亦可使蓋65設有操作操作部80之電動馬達等驅動機構，藉驅動機構操作操作部80，可將蓋65切換成開啟狀態或關閉狀態。
(14)上述之實施態樣中，多數蓋形成構件77係構造成全部一體旋轉操作，亦可於蓋65呈開啟狀態時，使一部份之蓋形成構件77沿前後排列，剩餘之蓋形成構件77沿上下方向排列，使其即使於開啟狀態時，沿上下方向排列之蓋形成構件77亦存在，為使排出之淨化空氣的風速更快，將多數蓋形成構件77以個別或多數片一組的單位旋轉操作。
即，例如，多數蓋形成構件77構造成以多數片一組的單位旋轉操作時，多數蓋形成構件77之上半部之蓋形成構件77於寬方向一端側部藉連結構件79連結一側之連結棒 80，多數蓋形成構件77之下半部之蓋形成構件77於寬方向另一端側部藉連結構件79連結另一側之連結棒80，藉操作一側之連結棒80使上半部之蓋形成構件77沿前後方向排列，於收納容器2之上半部進行基板1之出入，藉操作另一側之連結棒80使下半部之蓋形成構件77沿前後方向排列，而於收納容器2之下半部進行基板1之出入。
(15)上述之實施態樣中，依FFU用突起部106之檢驗片107的升降移動而變更風扇過濾單元64之通風量，亦可依蓋用突起部81之連結棒80的升降移動而變更風扇過濾單元64之通風量。
即，亦可於蓋用框體78裝設檢驗連結棒80之升降移動且將該檢驗信號發送至控制部109之檢驗機構，控制部109在蓋65呈開啟狀態而連結棒80呈已上升移動之狀態時，增大風扇過濾單元64之通風量，在蓋65呈關閉狀態而連結棒80呈已下降移動之狀態時，減少風扇過濾單元64之通風量，依檢驗構件之檢驗資訊控制風扇過濾單元64之作動。又，由檢驗機構至控制部109之檢驗資訊的發送可採用將蓋用框體78側與FFU用框體90側連接成可分離之電線設於容器本體66透過有線方式進行，亦可於蓋用框體78裝設發送機，於FFU用框體90裝設接收機透過無線方式進行。
(16)上述第2實施態樣中，操作部121構造成藉著沿容器本體之橫側面部之面方向移動而操作蓋65開啟，亦可使操作部121構造成藉著與容器本體之橫側面部之面方向交叉之方向移動而操作蓋65開啟。
上述第2實施態樣中，將操作部設成由容器本體之橫側面突出於橫側方之狀態，亦可將操作部設成由容器本體之橫側壁66c之前面部突出於前方之狀態，又，上述第2實施態樣中，將操作部裝設成其前端之被操作部分123a位於較容器本體66之橫側壁66c之前面部後方之狀態，亦可將操作部裝設成其前端之被操作部分123a位於較容器本體66之橫側壁66c之前面部前方之狀態。此時，亦可將操作部121構造成沿上下方向移動而將蓋操作成開啟。
即，亦可將操作部裝設成由容器本體之橫側面部突出於橫側方之狀態且操作部之前端之被操作部分123a位於較容器本體66之橫側壁66c之前面部前方之狀態，具體來說，例如，第32圖所示，於操作用旋轉軸77a之由容器本體之橫側面部朝橫側方突出之端部上，蓋形成構件以沿上下方向延設於前面部之狀態連結操作桿123，將操作桿123之被操作部分裝設成位於較容器本體之橫側壁之前面部前方。且，如第31圖所示，亦可使蓋操作機構係由具有沿上下方向滑行移動之移動體之電動滾筒126與設於移動體上端部之操作用構件127所構成，如第31(B)圖所示，藉由電動滾筒126將操作用構件往上方移動，操作桿之被操作部分因操作用構件而被上推，操作桿變成往上方側搖動之開啟狀態，如第31(A)圖所示，藉由電動滾筒126將操作用構件往下方移動，被操作部分因自身重量往下方側移動，操作桿變成往下方側搖動之關閉狀態。
又，亦可將操作部裝設成由容器本體之橫側面部突出 於橫側方之狀態且操作部之前端之被操作部分123a位於較容器本體66之橫側壁66c之前面部前方之狀態，具體來說，例如，第33圖所示，使操作用旋轉軸77a不由容器本體之橫側面部突出於橫側方上，於該操作用旋轉軸77a上，蓋形成構件以沿上下方向延設於前方側之狀態連結操作桿123，將操作桿123之前端之被操作部分123a裝設成位於較容器本體66之橫側壁66c之前側面部之前方的狀態。且，如第31(B)圖所示，亦可藉電動滾筒126使操作用構件向上方側移動，使操作桿變成往上方側搖動之開啟狀態，如第31(A)圖所示，藉由電動滾筒126將操作用構件127往下方移動，使操作桿變成往下方側搖動之關閉狀態
又，此等之其他實施態樣中，如第31圖所示，操作桿於關閉姿勢時，形成向前下方彎曲之ㄑ字形，如第32圖及第33圖所示，操作部121設成被操作部份123a位於蓋65之通氣口75之橫側方位置。
又，上述第2實施態樣中，設有操作操作部121之其他用途的蓋操作機構，亦可構造成利用原本設有之中心化裝置111等操作操作桿，不裝設其他用途蓋操作機構125而操作操作部121。
即，例如，第30圖所示，亦可構造成藉沿著與容器本體之前側面部之交叉方向移動而將蓋開啟操作之操作部，以由容器本體之橫側壁之前面部突出於前方之狀態裝設，藉由推壓操作位於已裝設之中心化裝置之收納容器側面的構件(推壓操作用滾子116)，推壓操作將蓋開啟操作之操作 部121，朝與前側面部之面方向交叉之方向移動而可將蓋開啟操作。
又，亦可構造成僅藉作業員之手動操作而操作操作部121。又，各實施態樣中，蓋裝設於容器本體之狀態時，蓋之蓋用框體78亦為容器之一部分，容器本體之橫側壁之前面部為蓋之蓋用框體之縱框的前面部。
(17)上述第1實施態樣中，亦可將中心化裝置裝設於物品支持部，又，上述第2實施態樣中，亦可將中心化裝置裝設於物品支持部。
1‧‧‧基板
2‧‧‧收納容器
3‧‧‧基板處理裝置
4‧‧‧收納部
5‧‧‧收納架
6‧‧‧基板出入部
7‧‧‧基板搬送裝置
8‧‧‧收納容器搬送裝置
9‧‧‧出入庫部
10‧‧‧堆高式起重機
11‧‧‧來回移動搬送車
12‧‧‧環繞移動搬送車
13‧‧‧清潔區域
14‧‧‧分層底
15‧‧‧空氣過濾器
16‧‧‧吸氣室
17‧‧‧腔室
18‧‧‧通風機
19‧‧‧循環路
20‧‧‧取入外氣通路
21‧‧‧前過濾器
22‧‧‧排氣通路
23‧‧‧淨化空氣通風機構
24‧‧‧基板搬送區域
25‧‧‧搬送區域用淨化空氣通風機構
26‧‧‧區隔壁
27‧‧‧區域用風扇過濾單元
31‧‧‧支柱
32‧‧‧載置支持部
34‧‧‧移動軌道
35‧‧‧移動台車
36‧‧‧升降桅杆
37‧‧‧升降台
38‧‧‧叉子式物品移載裝置
39‧‧‧移動車輪
40‧‧‧移動用馬達
41‧‧‧上部框架
45‧‧‧升降用鏈
46‧‧‧指引扣鏈齒輪
47‧‧‧平衡錘
48‧‧‧驅動扣鏈齒輪
49‧‧‧升降用馬達
50‧‧‧旋轉台
51‧‧‧載置部
52‧‧‧連結機構
54‧‧‧基板搬送輸送帶
55‧‧‧基板搬送自動機
56‧‧‧移動台車
57‧‧‧升降部
58‧‧‧連結機構
59‧‧‧叉子狀支持部
64‧‧‧風扇過濾單元
65‧‧‧蓋
66‧‧‧容器本體
66a‧‧‧上壁
66b‧‧‧底壁
66c‧‧‧兩橫側壁
67‧‧‧支持體
68‧‧‧栓構件
69‧‧‧本體架
70‧‧‧非接觸供電裝置
70a‧‧‧受電部
70b‧‧‧供電部
71‧‧‧電池
72‧‧‧出入口
75‧‧‧通氣口
76‧‧‧基板出入用口
77‧‧‧蓋形成構件
77a‧‧‧操作用旋轉軸
78‧‧‧蓋用框體
78a‧‧‧被卡合溝
79‧‧‧連結構件
80‧‧‧連結棒
81‧‧‧蓋用突起部
82‧‧‧收納用支持部
83‧‧‧搬送用支持部
84‧‧‧活動遮板
85‧‧‧手推台車
86‧‧‧容器洗淨裝置
88‧‧‧FFU用卡合構件
89‧‧‧FFU用卡合支持板
90‧‧‧FFU框體
90a‧‧‧被卡合溝
93‧‧‧一端側矩形框
94‧‧‧另一端側矩形框
95‧‧‧角框材
96‧‧‧連結框材
97‧‧‧外面構件
98‧‧‧內面構件
99‧‧‧蓋用卡合構件
100‧‧‧蓋用卡合支持板
101‧‧‧蓋構件本體
102‧‧‧輔助蓋構件
103‧‧‧蓋本體構件
104‧‧‧蓋輔助構件
106‧‧‧FFU用突起部
107‧‧‧檢驗片
108‧‧‧檢驗開關
109‧‧‧控制部
111‧‧‧中心化裝置
112‧‧‧支持操作機構
113‧‧‧基台
114‧‧‧搖動體
115‧‧‧支持用滾子
116‧‧‧推壓操作用滾子
117‧‧‧搖動規範用滾子
121‧‧‧操作部
122‧‧‧棒狀體
123‧‧‧操作桿
123a‧‧‧被操作部分
124‧‧‧規範構件
125‧‧‧蓋操作機構
126‧‧‧電動滾筒
126a‧‧‧移動體
127‧‧‧操作用構件
129‧‧‧容器存在與否感應器
129a‧‧‧前部側容器存在與否感應器
129b‧‧‧後部側容器存在與否感應器
130‧‧‧裝置存在感應器
132‧‧‧物品支持部
A‧‧‧基板收納設備
B‧‧‧處理程序設備
H‧‧‧控制機構
P1‧‧‧軸心
第1圖係第1實施態樣之物品處理設備之立體圖。
第2圖係第1實施態樣之基板收納設備之前視圖。
第3圖係第1實施態樣之基板收納設備之側視圖。
第4圖係顯示第1實施態樣之淨化空氣通風機構之圖。
第5圖係顯示第1實施態樣之位於物品收納架之第一層之收納部之圖。
第6圖係顯示第1實施態樣之基板搬送區域之側視圖。
第7圖係顯示第1實施態樣之位於物品收納架之第三層之收納部之圖。
第8圖係第1實施態樣之堆高式起重機之側視圖。
第9圖係第1實施態樣之物品移載裝置之俯視圖。
第10圖係第1實施態樣之容器本體之分解立體圖。
第11圖係第1實施態樣之收納容器之分解立體圖。
第12圖係第1實施態樣之收納容器之立體圖。
第13圖係第1實施態樣之收納容器之剖面前視圖。
第14(A)、(B)圖係顯示第1實施態樣之蓋之裝卸之側視圖。
第15(A)、(B)圖係顯示第1實施態樣之風扇過濾單元之裝卸之側視圖。
第16(A)、(B)圖係第1實施態樣之顯示蓋之關閉狀態與開啟狀態之側視圖。
第17(A)、(B)圖係顯示第1實施態樣之蓋之關閉狀態與開啟狀態之側視圖。
第18圖係顯示第1實施態樣之風扇過濾單元之控制部之側視圖。
第19(A)、(B)圖係顯示其他實施態樣(1)之蓋之關閉狀態與開啟狀態之側視圖。
第20(A)、(B)圖係顯示其他實施態樣(1)之蓋之關閉狀態與開啟狀態之前視圖。
第21(A)、(B)圖係顯示其他實施態樣(2)之蓋之關閉狀態與開啟狀態之側視圖。
第22(A)、(B)圖係顯示其他實施態樣(2)之蓋之關閉狀態與開啟狀態之前視圖。
第23圖係顯示第2實施態樣之中心化裝置及蓋操作機構之前視圖。
第24(A)、(B)圖係顯示第2實施態樣之支持操作機構之側視圖。
第25(A)、(B)圖係第2實施態樣之蓋之剖面側視圖。
第26圖係顯示第2實施態樣之蓋操作機構之俯視圖。
第27(A)、(B)圖係第2實施態樣之收納容器之搬出搬入時之作用圖。
第28(A)、(B)圖係第2實施態樣之收納容器之搬出搬入時之作用圖。
第29圖係第2實施態樣之控制方塊圖。
第30(A)、(B)圖係顯示其他實施態樣(16)之支持操作機構之側視圖。
第31(A)、(B)圖係其他實施態樣(16)之蓋之剖面側視圖。
第32圖係顯示其他實施態樣(16)之蓋操作機構之橫截面俯視圖。
第33圖係顯示其他實施態樣(16)之蓋操作機構之橫截面俯視圖。
1‧‧‧基板
32‧‧‧載置支持部
59‧‧‧叉子狀支持部
66‧‧‧容器本體
67‧‧‧支持體
68‧‧‧栓構件
69‧‧‧本體架
72‧‧‧出入口
75‧‧‧通氣口
76‧‧‧基板出入用口
77‧‧‧蓋形成構件
78‧‧‧蓋用框體
79‧‧‧連結構件
80‧‧‧連結棒
81‧‧‧蓋用突起部
82‧‧‧收納用支持部

Claims (11)

  1. 一種基板收納用之收納容器，係構造成將多數片基板以於上下方向間隔排列之狀態固持之收納容器，前述收納容器之容器本體係形成為全體呈四角形截面之筒狀，具有形成於其一端側之第1開口、及設置於與前述第1開口間於水平方向上空出一間隔之另一端側的第2開口，並且前述第1開口構造成供前述基板一片一片地出入用之出入口，且前述收納容器本體之前述第2開口區域裝設有風扇過濾單元，而構成為空氣可由前述容器本體之前述第2開口朝向前述出入口通風，又，前述容器本體之出入口區域設有開關位於前述容器本體之前述出入口的蓋，且該蓋於關閉狀態時呈一部份開口作為通氣口之狀態。
  2. 如申請專利範圍第1項之基板收納用收納容器，其中前述通氣口係形成跨越與前述出入口橫寬大約相同之橫寬的細縫狀，且於上下方向形成多數個。
  3. 如申請專利範圍第2項之基板收納用收納容器，其中前述通氣口係以分別對應由前述容器本體所故持之多數片基板之狀態，於上下方向形成多數個。
  4. 如申請專利範圍第1項之基板收納用收納容器，其中前述蓋係構造成於容許前述基板出入之開啟狀態下，以關閉鄰接之基板出入用口之間之形態，開啟前述出入口。
  5. 如申請專利範圍第4項之基板收納用收納容器，其中前 述蓋具有於上下方向排列之多數蓋形成構件，前述蓋形成構件係構造成分別具有與前述出入口之橫寬大約相同之橫寬，於前述關閉狀態時，在與鄰接之前述蓋形成構件之間形成前述通氣口，又，前述蓋形成構件分別沿著前述出入口之橫寬方向圍繞軸心旋轉，而呈前述開啟狀態時，在鄰接之前述蓋形成構件之間形成前述基板出入用口。
  6. 如申請專利範圍第1至5項中任一項之基板收納用收納容器，其中前述蓋構造成被賦予恢復至前述關閉狀態側之勢能；而可藉向上方移動將前述蓋操作成開啟狀態之操作部，係被設為由前述容器本體之底面部向下方突出之狀態。
  7. 如申請專利範圍第1至5項之任一項之基板收納用收納容器，其中可藉由朝沿著前述容器本體之橫側面部之面的方向移動，將前述蓋操作成開啟狀態之操作部，係被設為由前述容器本體之橫側面部向橫側方突出之狀態。
  8. 如申請專利範圍第1至5項中任一項之基板收納用收納容器，其中可藉由沿著上下方向移動而將前述蓋操作成開啟狀態之操作部，其前端之被操作部份係被設為位於較前述容器本體之橫側壁之前面部更前方之狀態。
  9. 如申請專利範圍第1至5項中任一項之基板收納用收納容器，其中前述蓋係裝設成對前述容器本體可自由裝卸者。
  10. 如申請專利範圍第1至5項中任一項之基板收納用收納 容器，其中前述風扇過濾單元含有藉框體支持之風扇、過濾器、及受電部。
  11. 如申請專利範圍第1至5項中任一項之基板收納用收納容器，其中前述風扇過濾單元具有電池。
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