JP6414535B2 - 収納容器 - Google Patents

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Description

本発明は、容器本体の一端側の開口部に、基板を出し入れするための出入り口を備え、前記出入り口から前記基板を収納する基板収納用の収納容器に関するものである。
従来、液晶パネルに用いられる液晶ガラス基板は、多段収納が可能な収納容器に収納された状態でクリーンルーム内において搬送又は保管されている。この基板収納用の収納容器には、基板を出し入れするための出入り口に、容器本体に対して着脱自在な蓋体（扉、シャッター）が設けられている。基板収納用の収納容器においては、容器内部の気密性の向上、パーティクル等の異物の発生防止が求められるほか、ガラス基板の大型化や製造装置の自動化等に伴い、蓋体の開閉性の向上が求められている。このようなことから特許文献１に示すような収納容器が開発されている。
特許文献１に示す収納容器は、内部に基板が配置されるカセット本体部と、カセット本体部の一部に形成され基板が出し入れされるカセット開口部と、カセット開口部を塞ぐ閉塞板を含むシャッター構造とを備え、カセット本体部のうちカセット開口部の周縁に位置する部位と、シャッター構造との互いに対向する面には、それぞれ、閉塞板の開閉方向に沿って突起が形成されており、カセット本体部側に位置する突起と、シャッター構造側に位置する突起とは、互いに離間しているものである。
国際公開第２０１０／１３４４９２号
しかしながら、特許文献１の収納容器は、カセット本体部に設けられるローラベアリングに対して閉塞板に設けられるガイド部の溝を挿入して、閉塞板をカセット本体部に取り付けるため、ローラベアリングと、ガイド部の溝とが点接触となり、カセット本体部に対する閉塞板の安定性が悪く、容器自体の気密性が低下するという問題があった。
そこで、本発明は、蓋体の開閉性を向上させるとともに、容器自体の気密性を向上させる基板収納用の収納容器を提供することを目的とする。
本発明の解決しようとする課題は以上であり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
即ち、本発明のうち請求項１に記載の収納容器は、容器本体の一端側の開口部に、基板を出し入れするための出入り口を備え、前記出入り口から前記基板を収納する基板収納用の収納容器であって、前記容器本体の他端側の開口部に設けられ、前記他端側の開口部から前記出入り口に向けて通風するファンフィルタユニットと、前記出入り口に設けられ、前記出入り口を開閉する蓋体と、を備え、前記蓋体には、前記容器本体に係合する係合部が形成され、前記容器本体には、前記係合部と係合して前記蓋体を係止する係止部が形成され、前記係合部は、前記蓋体が前記容器本体に設けられる際の前記容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される突起を有し、前記係止部は、前記突起と嵌合可能であって、前記容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される受け孔を有するものである。
上記構成では、容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される突起と、容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される受け孔と、が嵌合することで、蓋体が容器本体に取り付けられる。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の収納容器において、前記受け孔は、前記突起が嵌合される側の開口端部が傾斜状に形成されるものである。
上記構成では、蓋体（係合部）の突起が受け孔の開口端部を滑りながら受け孔と嵌合する。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の収納容器において、前記受け孔は、前記突起が嵌合される側と反対側の端部に開口部分を有するものである。
上記構成では、容器本体の係止部において発生する異物を当該開口部分から排出する。
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の収納容器において、前記係合部は、前記蓋体が前記容器本体に設けられる際の前記蓋体の高さ方向に沿って複数設けられ、前記蓋体の高さ方向において上方に位置する係合部は、その水平方向の長さが、それよりも下方に位置する係合部の水平方向の長さより長く形成されるものである。
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の収納容器において、前記蓋体の端部には、前記蓋体を前記容器本体の高さ方向に昇降させるための突起部が形成されるものである。
上記構成では、突起部を介して蓋体を容器本体の高さ方向に昇降させる。
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の収納容器において、前記ファンフィルタユニットは前記容器本体に対して着脱可能に設けられ、前記ファンフィルタユニットには、前記容器本体に係合する係合部が形成され、前記容器本体には、前記ファンフィルタユニットの係合部と係合して前記ファンフィルタユニットを係止する係止部が形成され、前記係合部は、前記ファンフィルタユニットが前記容器本体に設けられる際の前記容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される突起を有し、前記係止部は、前記突起と嵌合可能であって、前記容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される受け孔を有するものである。
上記構成では、容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される突起と、容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される受け孔と、が嵌合することで、ファンフィルタユニットが容器本体に取り付けられる。
本発明の収納容器によれば、容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される突起と、容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される受け孔と、を嵌合させることから、突起と、受け孔とが面接触で嵌合される。そのため、容器本体に対する蓋体の安定性が良く、収納容器自体の気密性が向上する。また、入口部分の広い受け孔に対して先端部分の細い突起を嵌合することとなるため、突起を受け孔に対して容易に嵌合することができる。そのため、蓋体を容器本体に対して容易に取り付けることができる。
本発明に係る収納容器の斜視図である。 本発明に係る収納容器の分解斜視図である。 本発明に係る収納容器の蓋体取付アーム（フィルタ取付アーム）及び蓋体受け体（フィルタ受け体）の側面図である。 本発明に係る収納容器の蓋体受け体（フィルタ受け体）の斜視図である。 （ａ）は、本発明に係る収納容器の蓋体に設けられる突起部材の斜視図、（ｂ）は、シャッター開閉装置を構成する昇降装置の昇降アームの斜視図である。 （ａ）は、本発明に係る収納容器の蓋体を開く前（閉じた後）のシャッター開閉装置の正面図、（ｂ）は、本発明に係る収納容器の蓋体を開いた後（閉じる前）のシャッター開閉装置の正面図である。
本発明に係る収納容器１０について説明する。なお、以下の説明では、収納容器１０の前後方向をＸ軸方向として収納容器１０において基板（図示せず）を出し入れする側（後述する出入り口１４側）を正面側とし、その反対側を背面側とする。さらに、収納容器１０の正面視にて左右方向をＹ軸方向とし、後述する蓋体１２及びファンフィルタ用枠体１９が容器本体１１に取り付けられる際の収納容器１０（容器本体１１）の高さ方向（上下方向）をＺ軸方向とする。
図１及び図２に示すように、収納容器１０は、基板を多段収納するための基板収納用の容器である。基板は、例えば、液晶パネルに用いられるガラス基板である。
収納容器１０は、収納容器１０の本体を構成する容器本体１１と、容器本体１１の一端側の開口部（後述する出入り口１４）を開閉する蓋体１２と、容器本体１１の他端側の開口部（後述するフィルタ取付口１５）から一端側の開口部（出入り口１４）に向けて通風するファンフィルタユニット１３と、から構成される。
容器本体１１は、横倒れ姿勢の四角筒状に形成される。容器本体１１は、その一端側の開口部に、基板を出し入れするための出入り口１４を備え、出入り口１４から基板を収納する。容器本体１１は、その内部において基板を上下方向（Ｚ軸方向）に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する。容器本体１１は、その他端側の開口部に、ファンフィルタユニット１３を取り付けるためのフィルタ取付口１５を備える。容器本体１１は、その出入り口１４側の左右両側面にスリット１６を備える。スリット１６は、容器本体１１の上下方向に形成される長孔であり、蓋体１２を容器本体１１から外す際に容器本体１１の内部が視認できるように構成されている。
蓋体１２は、板状部材により構成される。蓋体１２は、その上端部及び左右端部が垂直に折り曲げられた折り曲げ部１２ａを有する。折り曲げ部１２ａは、容器本体１１の出入り口１４に対して嵌め合わせ可能に構成される。
ファンフィルタユニット１３は、ファンフィルタ１８と、ファンフィルタ用枠体１９と、から構成される。ファンフィルタ１８は、フィルタ取付口１５から出入り口１４に向けて通風するファン一体型のフィルタである。
ファンフィルタ用枠体１９は、ファンフィルタ１８を容器本体１１のフィルタ取付口１５に取り付けるための枠体である。ファンフィルタ用枠体１９は、板状部材により構成される。ファンフィルタ用枠体１９は、その左右端部が垂直に折り曲げられた折り曲げ部１９ａを有する。折り曲げ部１９ａは、容器本体１１のフィルタ取付口１５に嵌め合わせ可能に構成される。ファンフィルタ用枠体１９は、その上端部に容器本体１１のフィルタ取付口１５の上端部と当接する当接部分１９ｂが形成されている。
収納容器１０は、蓋体１２と、ファンフィルタユニット１３と、が容器本体１１に対して着脱自在に取り付けられる。具体的には、容器本体１１の出入り口１４（容器本体１１の一端側の開口部）に蓋体１２が取り付けられ、容器本体１１のフィルタ取付口１５（容器本体１１の他端側の開口部）にファンフィルタユニット１３のファンフィルタ用枠体１９が取り付けられる。収納容器１０は、容器本体１１から蓋体１２及びファンフィルタ用枠体１９を取り外すことで、容器本体１１を容易に洗浄できるように構成されている。
蓋体１２は、その左右両側の折り曲げ部１２ａの上部及び下部に、蓋体１２を容器本体１１に取り付けるために、容器本体１１と係合する蓋体取付アーム２０（「係合部」の一例）を有する。同様に、ファンフィルタ用枠体１９は、その左右両側の折り曲げ部１９ａの上部及び下部に、ファンフィルタ用枠体１９を容器本体１１に取り付けるために、ファンフィルタ用枠体１９と係合するフィルタ取付アーム３０（「係合部」の一例）を有する。
図３に示すように、蓋体取付アーム２０は、蓋体取付アーム２０の本体部を形成するアーム本体２１と、アーム本体２１の先端部に設けられる突起２２と、から構成される。同様に、フィルタ取付アーム３０は、フィルタ取付アーム３０の本体部を形成するアーム本体３１と、アーム本体３１の先端部に設けられる突起３２と、から構成される。
蓋体取付アーム２０のアーム本体２１は、蓋体１２の左右両側の折り曲げ部１２ａから容器本体１１への取付方向（収納容器１０の前後方向）に突出して設けられる。同様に、フィルタ取付アーム３０のアーム本体３１は、ファンフィルタ用枠体１９の左右両側の折り曲げ部１９ａから容器本体１１への取付方向（収納容器１０の前後方向）に突出して設けられる。
蓋体取付アーム２０の突起２２（フィルタ取付アーム３０の突起３２）は、三角形状の部材で構成され、例えば樹脂製の部材により形成される。突起２２（突起３２）は、容器本体１１の高さ方向（上下方向）に対して鋭角状に形成される頂部２２ｃ（頂部３２ｃ）を有する。突起２２（突起３２）は、その鋭角状の頂部２２ｃ（頂部３２ｃ）がアーム本体２１（アーム本体３１）に対して下方向へ突出するように設けられる。具体的には、突起２２（突起３２）は、アーム本体２１（アーム本体３１）に対して垂直に形成される側面２２ａ（側面３２ａ）と、その側面２２ａ（側面３２ａ）に対して鋭角に形成されて傾斜する傾斜面２２ｂ（傾斜面３２ｂ）と、から形成され、側面２２ａ（側面３２ａ）と、傾斜面２２ｂ（傾斜面３２ｂ）と、からなる頂部２２ｃ（頂部３２ｃ）を有する。突起２２（突起３２）は、その突出径がアーム側の基端部から先端部に向けて徐々に減縮するように形成される。
また、突起２２（突起３２）はその頂部２２ｃ（頂部３２ｃ）が湾曲状に形成される。これにより、突起２２（突起３２）が容器本体１１（後述する蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７））に接触する際の異物の発生を軽減することができるとともに、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）を容器本体１１に取り付ける際に、突起２２（突起３２）が容器本体１１（蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７））と係合し易くなる。
図１及び図２に示すように、蓋体取付アーム２０（フィルタ取付アーム３０）は、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の上部に形成されるアーム本体２１（アーム本体３１）の水平方向（突出方向）の長さが、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の下部に形成されるアーム本体２１（アーム本体３１）の水平方向（突出方向）の長さより長く形成される。これにより、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）を容器本体１１に着脱する際に、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の下部に形成される蓋体取付アーム２０（フィルタ取付アーム３０）が容器本体１１の上部に形成される蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）と干渉しない。
容器本体１１は、その出入り口１４側の左右両側面の上部及び下部に、蓋体１２の蓋体取付アーム２０と係合して蓋体１２を係止する蓋体受け体２５（「係止部」の一例）が設けられている。容器本体１１は、そのフィルタ取付口１５側の左右両側面の上部及び下部に、ファンフィルタ用枠体１９のフィルタ取付アーム３０と係合してファンフィルタユニット１３（ファンフィルタ用枠体１９）を係止するフィルタ受け体３５（「係止部」の一例）が設けられている。
図３及び図４に示すように、蓋体受け体２５は、蓋体受け体２５の本体部を形成する蓋体受け本体２６と、蓋体受け本体２６の上部から下部に向けて形成される蓋体受け孔２７（「受け孔」の一例）と、から構成される。同様に、フィルタ受け体３５は、フィルタ受け体３５の本体部を形成するフィルタ受け本体３６と、フィルタ受け本体３６の上部から下部に向けて形成されるフィルタ受け孔３７（「受け孔」の一例）と、から構成される。
蓋体受け体２５の蓋体受け本体２６は、容器本体１１の出入り口１４側の左右両側面であって、蓋体取付アーム２０の突起２２が蓋体受け孔２７に嵌合可能な位置に取り付けられる。同様に、フィルタ受け体３５のフィルタ受け本体３６は、容器本体１１のフィルタ取付口１５側の左右両側面であって、フィルタ取付アーム３０の突起３２がフィルタ受け孔３７に係合可能な位置に取り付けられる。
蓋体受け本体２６（フィルタ受け本体３６）は、容器本体１１の左右両側面から突出する板状の部材により構成される。蓋体受け本体２６（フィルタ受け本体３６）は、その突出する板状の部材の略中央部に蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）が形成される。
蓋体受け体２５の蓋体受け孔２７（フィルタ受け体３５のフィルタ受け孔３７）は、蓋体取付アーム２０の突起２２（フィルタ取付アーム３０の突起３２）と嵌合可能に形成され、その上部の開口部から突起２２（突起３２）が嵌合される。すなわち、蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）は、その上部が突起２２（突起３２）が嵌合される側となり、その下部が突起２２（突起３２）が嵌合される側と反対側となる。蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）は、容器本体１１の高さ方向（上下方向）に対して鋭角状に形成される。具体的には、蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）は、側面視で蓋体受け本体２６（フィルタ受け本体３６）に対して上下方向に形成される孔面２７ａ（孔面３７ａ）と、その孔面２７ａ（孔面３７ａ）に対して鋭角に形成されて傾斜する傾斜孔面２７ｂ（傾斜孔面３７ｂ）と、を有し、その開口幅が上部から下部に向けて徐々に減縮するように形成される。蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）の開口幅は、突起２２（突起３２）の形状に合わせて決定される。
蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）は、その下端部に開口部分２７ｃ（開口部分３７ｃ）を有する。具体的には、開口部分２７ｃ（開口部分３７ｃ）は、蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）の孔面２７ａ（孔面３７ａ）と、傾斜孔面２７ｂ（傾斜孔面３７ｂ）と、が当接する部分であって、蓋体取付アーム２０（フィルタ取付アーム３０）の突起２２（突起３２）の頂部２２ｃ（頂部３２ｃ）が嵌合する部分を開口して形成される。蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）の下端部に開口部分２７ｃ（開口部分３７ｃ）を設けることで、蓋体取付アーム２０（フィルタ取付アーム３０）の突起２２（突起３２）を蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）に嵌合させる際に生じる異物が開口部分２７ｃ（開口部分３７ｃ）から排出され、蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）の下端部に堆積しない。
蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）は、その上部側（蓋体取付アーム２０の突起２２（フィルタ取付アーム３０の突起３２）が嵌合される側）の開口端部に傾斜状の面（傾斜開口面２７ｄ（傾斜開口面３７ｄ））が形成されている。具体的には、傾斜開口面２７ｄ（傾斜開口面３７ｄ）は、蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）の孔面２７ａ（孔面３７ａ）及び傾斜孔面２７ｂ（傾斜孔面３７ｂ）の上端部であって、容器本体１１側から蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）に向けて傾斜状に形成される。蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）の上部の開口端部に傾斜開口面２７ｄ（傾斜開口面３７ｄ）を形成することで、蓋体取付アーム２０の突起２２（フィルタ取付アーム３０の突起３２）が蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）に案内され易くなり、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）が容器本体１１に取り付け易くなる。また、蓋体取付アーム２０の突起２２（フィルタ取付アーム３０の突起３２）が蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）から多少ズレて嵌合された場合であっても、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の自重によって、突起２２（突起３２）が蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）の適切な位置に嵌合される。
図１、図２及び図５（ａ）に示すように、蓋体１２及びファンフィルタ用枠体１９には、蓋体１２或いはファンフィルタ用枠体１９を昇降させるための一対の突起部材４０（「突起部」の一例）が設けられている。突起部材４０は、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の左右両側の折り曲げ部１２ａ（折り曲げ部１９ａ）に対して垂直に突出する突起部である。突起部材４０は、後述するシャッター開閉装置５０の昇降部５３における昇降アーム５４の枠体支持部材５８と嵌合する。
突起部材４０は、昇降アーム５４の枠体支持部材５８と嵌合する嵌合部４１と、突起部材４０の中央部に傾斜状に形成される突起傾斜部４２と、を有する。嵌合部４１は、突起部材４０の先端部に設けられ、基端部に比べて小径に形成される。突起傾斜部４２は、突起部材４０の基端側から嵌合部４１に向けて傾斜状に形成される。突起部材４０に傾斜状の突起傾斜部４２を設けることで、突起部材４０が嵌合部４１からズレて突起傾斜部４２で昇降アーム５４の枠体支持部材５８に嵌合した場合であっても、枠体支持部材５８が突起傾斜部４２を介して嵌合部４１側に滑って嵌合されるため、突起部材４０が昇降アーム５４の枠体支持部材５８と容易に嵌合できる。
また、一対の突起部材４０のうちの一方の突起部材４０の先端には、ローラ４３が回動自在に設けられる。ローラ４３は、突起部材４０が昇降アーム５４の枠体支持部材５８に嵌合する際に、後述するシャッター開閉装置５０の昇降部５３のセンサ６０と当接する部分である。突起部材４０の先端を回動自在なローラ４３により形成することで、シャッター開閉装置５０のセンサ６０と当接する際の異物の発生を抑制することができる。
図６に示すように、蓋体１２及びファンフィルタ用枠体１９は、シャッター開閉装置５０によって、容器本体１１に対して着脱される。シャッター開閉装置５０は、装置本体を構成する筐体５１と、収納容器１０を装置内外に搬送する搬送部５２と、蓋体１２及びファンフィルタ用枠体１９を昇降する昇降部５３と、から主に構成されている。
シャッター開閉装置５０は、搬送部５２において収納容器１０を装置内に搬送させ、搬送させた収納容器１０の蓋体１２及びファンフィルタ用枠体１９を昇降部５３において昇降させることにより、蓋体１２及びファンフィルタ用枠体１９を容器本体１１に対して着脱させる。
搬送部５２は、シャッター開閉装置５０まで搬送された収納容器１０を装置内に搬入し、蓋体１２及びファンフィルタ用枠体１９が取り外された容器本体１１を、容器本体１１を洗浄する洗浄装置（図示せず）へ搬出する。また、搬送部５２は、洗浄装置（図示せず）によって洗浄が終了した容器本体１１を装置内に搬入し、蓋体１２及びファンフィルタ用枠体１９が取り付けられた容器本体１１（収納容器１０）を装置外へ搬出する。
昇降部５３は、シャッター開閉装置５０の左右両側にそれぞれ設けられ、左右両側の昇降部５３によって蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）を左右から狭持するように構成される。昇降部５３は、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）を昇降させる昇降アーム５４と、昇降アーム５４を作動するアクチュエータ５５と、昇降アーム５４を昇降自在にガイドする昇降ガイド５６と、から主に構成されている。
図５（ｂ）に示すように、昇降アーム５４は、昇降ガイド５６に沿って昇降する昇降アーム本体５７と、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の突起部材４０を支持する枠体支持部材５８と、から主に構成されている。
昇降アーム本体５７は、その基端部が昇降ガイド５６に対して昇降自在に支持され、その先端側の上部において枠体支持部材５８を支持する。
枠体支持部材５８は、その上部に一対の凹部５９が形成される。凹部５９には、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の突起部材４０における嵌合部４１が嵌め合わされる。また、一対の凹部５９のうちの一方の凹部５９の側方には、センサ６０が設けられている。
センサ６０は、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の突起部材４０におけるローラ４３を検出する。すなわち、センサ６０は、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の突起部材４０における嵌合部４１が枠体支持部材５８の凹部５９に嵌合されて、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）が昇降アーム５４により支持されているか否かを検出するものである。センサ６０は、スイッチ式のセンサにより構成され、ローラ４３が載置されてスイッチがオンされることで、ローラ４３を検出する。なお、センサ６０は、シャッター開閉装置５０を制御する制御コントローラ（図示せず）に接続されている。センサ６０からの検出信号は当該制御コントローラに送信される。当該制御コントローラは、センサ６０からの検出信号によって蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）が昇降アーム５４により支持されていると判断する。
アクチュエータ５５は、例えば、エアー式或いは油圧式のシリンダにより構成され、その駆動により昇降アーム５４を昇降させる。
昇降ガイド５６は、シャッター開閉装置５０の左右両端部に上下方向に延設される。
次に、収納容器１０における蓋体１２の着脱について説明する。なお、ファンフィルタ用枠体１９の着脱は、蓋体１２と同様のため、その説明は省略する。
図６（ａ）に示すように、収納容器１０がシャッター開閉装置５０内に搬入されると、昇降部５３の昇降アーム５４が蓋体１２の突起部材４０と係合する。この時、昇降アーム５４の枠体支持部材５８の凹部５９が、蓋体１２の突起部材４０の嵌合部４１に下方から嵌め合わせる。なお、凹部５９が嵌合部４１と嵌合して、突起部材４０のローラ４３がセンサ６０と当接することで、センサ６０のスイッチがオンされ、蓋体１２が昇降アーム５４により支持されていることが検出される。
図６（ｂ）に示すように、昇降部５３は、昇降アーム５４を蓋体１２の突起部材４０と係合させた状態で昇降アーム５４を蓋体１２の取り外し位置まで上昇させる。これにより、蓋体１２が上方に持ち上がり、蓋体１２が容器本体１１から取り外される。
一方、図６（ｂ）に示すように、洗浄装置（図示せず）により洗浄された収納容器１０がシャッター開閉装置５０内に搬入されると、昇降部５３は、昇降アーム５４を蓋体１２の突起部材４０と係合させた状態で昇降アーム５４を蓋体１２の取り付け位置まで下降させる。
図６（ａ）に示すように、昇降アーム５４が蓋体１２の取り付け位置まで下降すると、蓋体１２の蓋体取付アーム２０における突起２２が、容器本体１１の蓋体受け体２５における蓋体受け孔２７に嵌め合わせる。この時、蓋体取付アーム２０の突起２２は、蓋体１２の自重によって蓋体受け体２５の蓋体受け孔２７に嵌め合わされる。具体的には、突起２２の側面２２ａが蓋体受け孔２７の孔面２７ａに面で接触するとともに、突起２２の傾斜面２２ｂが蓋体受け孔２７の傾斜孔面２７ｂに面で接触するように嵌め合わされる。これにより、蓋体１２が容器本体１１に取り付けられる。
このように、収納容器１０においては、容器本体１１の高さ方向（上下方向）に対して鋭角状に形成される突起２２（突起３２）と、容器本体１１の高さ方向に対して鋭角状に形成される蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）と、を嵌合させることから、突起２２（突起３２）と、蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）とが面接触で嵌合される。そのため、容器本体１１に対する蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の安定性が良く、収納容器１０自体の気密性が向上する。また、入口部分の広い蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）に対して先端部分の細い突起２２（突起３２）を嵌合することとなるため、突起２２（突起３２）を蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）に対して容易に嵌合することができる。そのため、蓋体１２を容器本体１１に対して容易に取り付けることができる。
収納容器１０においては、蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）の上部側の開口端部に傾斜状の傾斜開口面２７ｄ（傾斜開口面３７ｄ）が形成されることから、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）を容器本体１１に取り付ける際に、蓋体取付アーム２０（フィルタ取付アーム３０）の突起２２（突起３２）が蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）の中心から多少ズレた位置に嵌合された場合であっても、突起２２（突起３２）の先端部が、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の自重によって、傾斜開口面２７ｄ（傾斜開口面３７ｄ）を滑りながら蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）に嵌合されることとなり、突起２２（突起３２）と、蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）と、を常に適切な位置で嵌合させることができる。そのため、容器本体１１と蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）との密着性が向上し、収納容器１０自体の気密性が向上する。
収納容器１０においては、容器本体１１の蓋体受け体２５（フィルタ受け体３５）において発生する異物を、蓋体受け孔２７（フィルタ受け孔３７）の開口部分２７ｃ（３７ｃ）から排出することができるため、収納容器１０における異物の堆積を防止することができる。
収納容器１０においては、蓋体取付アーム２０（フィルタ取付アーム３０）と、容器本体１１の蓋体受け体２５（フィルタ受け体３５）と、を干渉させることなく、複数の蓋体取付アーム２０（フィルタ取付アーム３０）により確実に蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）を容器本体１１に取り付けることができる。そのため、容器本体１１と蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）との密着性が向上し、収納容器１０自体の気密性が向上する。
収納容器１０においては、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の突起部材４０をシャッター開閉装置５０の昇降部５３によって昇降させることで、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）を容器本体１１に対して容易に着脱させることができる。
なお、本実施の形態においては、蓋体取付アーム２０（フィルタ取付アーム３０）を蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の高さ方向（上下方向）に沿って蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の左右に２体ずつ設けているが、これに限定されるものではなく、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）が容器本体１１に対して密着して取付可能であれば、蓋体取付アーム２０（フィルタ取付アーム３０）を蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の左右に１体ずつ或いは３体以上ずつ設けても構わない。
本実施の形態においては、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の突起部材４０を一対の突起部材により構成しているが、これに限定されるものではなく、シャッター開閉装置５０の昇降部５３により昇降可能な構成であれば、突起部材４０を１体或いは３体以上の突起部材により構成しても構わない。
本実施の形態においては、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の着脱をシャッター開閉装置５０により行っているが、これに限定されるものではなく、蓋体１２（ファンフィルタ用枠体１９）の突起部材４０を昇降可能な昇降部を有する装置であれば構わない。
１０ 収納容器
１１ 容器本体
１２ 蓋体
１３ ファンフィルタユニット
１４ 出入り口
２０ 蓋体取付アーム（係合部）
２２、３２ 突起
２５ 蓋体受け体（係止部）
２７ 蓋体受け孔（受け孔）
２７ｃ、３７ｃ 開口部分
３０ フィルタ取付アーム（係合部）
３５ フィルタ受け体（係止部）
３７ フィルタ受け孔（受け孔）
４０ 突起部材（突起部）

Claims (6)

  1. 容器本体の一端側の開口部に、基板を出し入れするための出入り口を備え、前記出入り口から前記基板を収納する基板収納用の収納容器であって、
    前記容器本体の他端側の開口部に設けられ、前記他端側の開口部から前記出入り口に向けて通風するファンフィルタユニットと、
    前記出入り口に設けられ、前記出入り口を開閉する蓋体と、
    を備え、
    前記蓋体には、前記容器本体に係合する係合部が形成され、
    前記容器本体には、前記係合部と係合して前記蓋体を係止する係止部が形成され、
    前記係合部は、前記蓋体が前記容器本体に設けられる際の前記容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される突起を有し、
    前記係止部は、前記突起と嵌合可能であって、前記容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される受け孔を有すること
    を特徴とする収納容器。
  2. 前記受け孔は、前記突起が嵌合される側の開口端部が傾斜状に形成されること
    を特徴とする請求項１に記載の収納容器。
  3. 前記受け孔は、前記突起が嵌合される側と反対側の端部に開口部分を有すること
    を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の収納容器。
  4. 前記係合部は、前記蓋体が前記容器本体に設けられる際の前記蓋体の高さ方向に沿って複数設けられ、
    前記蓋体の高さ方向において上方に位置する係合部は、その水平方向の長さが、それよりも下方に位置する係合部の水平方向の長さより長く形成されること
    を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の収納容器。
  5. 前記蓋体の端部には、前記蓋体を前記容器本体の高さ方向に昇降させるための突起部が形成されること
    を特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の収納容器。
  6. 前記ファンフィルタユニットは前記容器本体に対して着脱可能に設けられ、
    前記ファンフィルタユニットには、前記容器本体に係合する係合部が形成され、
    前記容器本体には、前記ファンフィルタユニットの係合部と係合して前記ファンフィルタユニットを係止する係止部が形成され、
    前記係合部は、前記ファンフィルタユニットが前記容器本体に設けられる際の前記容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される突起を有し、
    前記係止部は、前記突起と嵌合可能であって、前記容器本体の高さ方向に対して鋭角状に形成される受け孔を有すること
    を特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の収納容器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2126221U (zh) * 1992-06-06 1992-12-30 俞希平 储存箱
DE4443212A1 (de) * 1994-12-05 1996-06-13 Neidhart Clip Lok Gmbh & Co Kg Behälter mit faltbaren Seitenwänden
JPH08324544A (ja) * 1995-05-29 1996-12-10 Nakatsugawa Hoso Kogyo Kk 段ボール製大型収納ボックスの胴体構造
JP3556480B2 (ja) * 1998-08-17 2004-08-18 信越ポリマー株式会社 精密基板収納容器
JP3526808B2 (ja) 2000-04-18 2004-05-17 株式会社カープ カセット用ボックス
WO2002048487A1 (en) 2000-12-13 2002-06-20 Entegris Cayman Ltd. Latch hub assembly
JP4953010B2 (ja) * 2006-09-13 2012-06-13 株式会社ダイフク 基板収納用の収納容器
JP2010064887A (ja) * 2008-09-12 2010-03-25 Daifuku Co Ltd 基板搬送設備
CN102484088A (zh) 2009-05-20 2012-05-30 夏普株式会社 卡匣
US8870516B2 (en) * 2010-06-30 2014-10-28 Brooks Automation, Inc. Port door positioning apparatus and associated methods
CN202687019U (zh) * 2012-04-10 2013-01-23 詍华有限公司 具有握把扣组的收纳箱

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