KR102362497B1 - 수납 용기 - Google Patents

수납 용기 Download PDF

Info

Publication number
KR102362497B1
KR102362497B1 KR1020160047430A KR20160047430A KR102362497B1 KR 102362497 B1 KR102362497 B1 KR 102362497B1 KR 1020160047430 A KR1020160047430 A KR 1020160047430A KR 20160047430 A KR20160047430 A KR 20160047430A KR 102362497 B1 KR102362497 B1 KR 102362497B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
container
cover body
projection
container body
filter
Prior art date
Application number
KR1020160047430A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170049352A (ko
Inventor
타츠오 나카오
카즈히로 토리모토
케이시 시바타
히데카즈 카와이
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20170049352A publication Critical patent/KR20170049352A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102362497B1 publication Critical patent/KR102362497B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
    • B65D25/20—External fittings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D43/00—Lids or covers for rigid or semi-rigid containers
    • B65D43/02—Removable lids or covers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D55/00—Accessories for container closures not otherwise provided for
    • B65D55/02—Locking devices; Means for discouraging or indicating unauthorised opening or removal of closure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/38—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for delicate optical, measuring, calculating or control apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67363—Closed carriers specially adapted for containing substrates other than wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2255/00—Locking devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2585/00—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials
    • B65D2585/68—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials for machines, engines, or vehicles in assembled or dismantled form
    • B65D2585/86—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials for machines, engines, or vehicles in assembled or dismantled form for electrical components

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

(과제) 덮개체의 개폐성을 향상시킴과 아울러 용기 자체의 기밀성을 향상시키는 기판 수납용의 수납 용기를 제공한다.
(해결 수단) 용기 본체(11)에 기판을 출납하기 위한 출입구(14)를 구비하고, 출입구(14)로부터 기판을 수납하는 수납 용기(10)로서, 용기 본체(11)의 타단측의 개구부에 설치되고, 상기 타단측의 개구부로부터 출입구(14)로 통풍하는 팬 필터 유닛(13)과, 출입구(14)를 개폐하는 덮개체(12)를 구비하고, 덮개체(12)에는 용기 본체(11)에 맞물리는 덮개체 부착 암(20)이 형성되고, 용기 본체(11)에는 덮개체 부착 암(20)과 맞물려서 덮개체(12)를 록킹하는 덮개체 수용체(25)가 형성되고, 덮개체 부착 암(20)은 덮개체(12)가 용기 본체(11)에 설치될 때의 용기 본체(11)의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 돌기(22)를 갖고, 덮개체 수용체(25)는 돌기(22)와 감합 가능하며, 용기 본체(11)의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 덮개체 수용 구멍(27)을 갖는 것이다.

Description

수납 용기{CONTAINER}
본 발명은 용기 본체의 일단측의 개구부에 기판을 출납하기 위한 출입구를 구비하고, 상기 출입구로부터 상기 기판을 수납하는 기판 수납용의 수납 용기에 관한 것이다.
종래, 액정 패널에 사용되는 액정 유리 기판은 다단 수납이 가능한 수납 용기에 수납된 상태에서 클린룸 내에 있어서 반송 또는 보관되고 있다. 이 기판 수납용의 수납 용기에는 기판을 출납하기 위한 출입구에, 용기 본체에 대하여 착탈 가능한 덮개체(문, 셔터)가 설치되어 있다. 기판 수납용의 수납 용기에 있어서는 용기 내부의 기밀성의 향상, 파티클 등의 이물의 발생 방지가 요구되는 것 이외에, 유리 기판의 대형화나 제조 장치의 자동화 등에 따라 덮개체의 개폐성의 향상이 요구되고 있다. 이러한 것으로부터 특허문헌 1에 나타내는 바와 같은 수납 용기가 개발되어 있다.
특허문헌 1에 나타내는 수납 용기는, 내부에 기판이 배치되는 카세트 본체부와, 카세트 본체부의 일부에 형성되어 기판이 출납되는 카세트 개구부와, 카세트 개구부를 막는 폐쇄판을 포함하는 셔터 구조를 구비하고, 카세트 본체부 중 카세트 개구부의 둘레 가장자리에 위치하는 부위와 셔터 구조의 서로 대향하는 면에는, 각각 폐쇄판의 개폐 방향을 따라 돌기가 형성되어 있고, 카세트 본체부측에 위치하는 돌기와 셔터 구조측에 위치하는 돌기는 서로 이간되어 있는 것이다.
국제공개 제2010/134492호
그러나, 특허문헌 1의 수납 용기는 카세트 본체부에 설치되는 롤러 베어링에 대하여 폐쇄판에 설치되는 가이드부의 홈을 삽입하여 폐쇄판을 카세트 본체부에 부착하기 때문에, 롤러 베어링과 가이드부의 홈이 점접촉으로 되고, 카세트 본체부 에 대한 폐쇄판의 안정성이 나빠 용기 자체의 기밀성이 저하한다고 하는 문제가 있었다.
그래서, 본 발명은 덮개체의 개폐성을 향상시킴과 아울러 용기 자체의 기밀성을 향상시키는 기판 수납용의 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명이 해결하려고 하는 과제는 이상이며, 다음에 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.
즉, 본 발명의 수납 용기는 용기 본체의 일단측의 개구부에 기판을 출납하기 위한 출입구를 구비하고, 상기 출입구로부터 상기 기판을 수납하는 기판 수납용의 수납 용기로서, 상기 용기 본체의 타단측의 개구부에 설치되고, 상기 타단측의 개구부로부터 상기 출입구를 향해서 통풍하는 팬 필터 유닛과, 상기 출입구에 설치되고 상기 출입구를 개폐하는 덮개체를 구비하고, 상기 덮개체에는 상기 용기 본체에 맞물리는 맞물림부가 형성되고, 상기 용기 본체에는 상기 맞물림부와 맞물려서 상기 덮개체를 록킹하는 록킹부가 형성되고, 상기 맞물림부는 상기 덮개체가 상기 용기 본체에 설치될 때의 상기 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 돌기를 갖고, 상기 록킹부는 상기 돌기와 감합 가능하며, 상기 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 수용 구멍을 갖는 것이다.
상기 구성에서는 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 돌기와, 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 수용 구멍이 끼워맞추어짐으로써 덮개체가 용기 본체에 부착된다.
본 발명의 수납 용기는 상기 수납 용기에 있어서, 상기 수용 구멍은 상기 돌기가 끼워맞추어지는 측의 개구 단부가 경사상으로 형성되는 것이다.
상기 구성에서는 덮개체(맞물림부)의 돌기가 수용 구멍의 개구 단부를 미끄러지면서 수용 구멍과 끼워맞추어진다.
본 발명의 수납 용기는 상기 수납 용기에 있어서, 상기 수용 구멍은 상기 돌기가 끼워맞추어지는 측과 반대측의 단부에 개구 부분을 갖는 것이다.
상기 구성에서는 용기 본체의 록킹부에 있어서 발생하는 이물을 상기 개구 부분으로부터 배출한다.
본 발명의 수납 용기는 상기 수납 용기에 있어서, 상기 맞물림부는 상기 덮개체가 상기 용기 본체에 설치될 때의 상기 덮개체의 높이 방향을 따라 복수 설치되고, 상기 덮개체의 높이 방향에 있어서 상방에 위치하는 맞물림부는 그 수평 방향의 길이가 그것보다 하방에 위치하는 맞물림부의 수평 방향의 길이보다 길게 형성되는 것이다.
본 발명의 수납 용기는 상기 수납 용기에 있어서, 상기 덮개체의 단부에는 상기 덮개체를 상기 용기 본체의 높이 방향으로 승강시키기 위한 돌기부가 형성되는 것이다.
상기 구성에서는 돌기부를 통해서 덮개체를 용기 본체의 높이 방향으로 승강시킨다.
본 발명의 수납 용기는 상기 수납 용기에 있어서, 상기 팬 필터 유닛은 상기 용기 본체에 대하여 착탈 가능하게 설치되고, 상기 팬 필터 유닛에는 상기 용기 본체에 맞물리는 맞물림부가 형성되며, 상기 용기 본체에는 상기 팬 필터 유닛의 맞물림부와 맞물려서 상기 팬 필터 유닛을 록킹하는 록킹부가 형성되고, 상기 맞물림부는 상기 팬 필터 유닛이 상기 용기 본체에 설치될 때의 상기 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 돌기를 갖고, 상기 록킹부는 상기 돌기와 감합 가능하며, 상기 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 수용 구멍을 갖는 것이다.
상기 구성에서는 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 돌기와, 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 수용 구멍이 끼워맞추어짐으로써 팬 필터 유닛이 용기 본체에 부착된다.
(발명의 효과)
본 발명의 수납 용기에 의하면, 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 돌기와, 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 수용 구멍을 끼워맞추기 때문에, 돌기와 수용 구멍이 면접촉으로 끼워맞추어진다. 그 때문에, 용기 본체에 대한 덮개체의 안정성이 좋고, 수납 용기 자체의 기밀성이 향상된다. 또한, 입구 부분의 넓은 수용 구멍에 대하여 선단 부분의 가는 돌기를 끼워맞추게 되기 때문에, 돌기를 수용 구멍에 대하여 용이하게 끼워맞출 수 있다. 그 때문에, 덮개체를 용기 본체에 대하여 용이하게 부착할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 수납 용기의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 의한 수납 용기의 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명에 의한 수납 용기의 덮개체 부착 암(필터 부착 암) 및 덮개체 수용체(필터 수용체)의 측면도이다.
도 4는 본 발명에 의한 수납 용기의 덮개체 수용체(필터 수용체)의 사시도이다.
도 5의 (a)는 본 발명에 의한 수납 용기의 덮개체에 형성되는 돌기 부재의 사시도, (b)는 셔터 개폐 장치를 구성하는 승강 장치의 승강 암의 사시도이다.
도 6의 (a)는 본 발명에 의한 수납 용기의 덮개체를 열기 전(닫은 후)의 셔터 개폐 장치의 정면도, (b)는 본 발명에 의한 수납 용기의 덮개체를 연 후(닫기 전)의 셔터 개폐 장치의 정면도이다.
본 발명에 의한 수납 용기(10)에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 수납 용기(10)의 전후 방향을 X축 방향으로 해서 수납 용기(10)에 있어서 기판(도시하지 않음)을 출납하는 측(후술하는 출입구(14)측)을 정면측으로 하고, 그 반대측을 배면측으로 한다. 또한, 수납 용기(10)를 정면에서 볼 때에 좌우 방향을 Y축 방향으로 하고, 후술하는 덮개체(12) 및 팬 필터용 프레임체(19)가 용기 본체(11)에 부착될 때의 수납 용기(10)(용기 본체(11))의 높이 방향(상하 하방)을 Z축 방향으로 한다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 수납 용기(10)는 기판을 다단 수납하기 위한 기판 수납용의 용기이다. 기판은, 예를 들면 액정 패널에 사용되는 유리 기판이다.
수납 용기(10)는 수납 용기(10)의 본체를 구성하는 용기 본체(11)와, 용기 본체(11)의 일단측의 개구부(후술하는 출입구(14))를 개폐하는 덮개체(12)와, 용기 본체(11)의 타단측의 개구부(후술하는 필터 부착구(15))로부터 일단측의 개구부(출입구(14))를 향해서 통풍하는 팬 필터 유닛(13)으로 구성된다.
용기 본체(11)는 옆으로 쓰러진 자세의 사각통 형상으로 형성된다. 용기 본체(11)는 그 일단측의 개구부에 기판을 출납하기 위한 출입구(14)를 구비하고, 출입구(14)로부터 기판을 수납한다. 용기 본체(11)는 그 내부에 있어서 기판을 상하 방향(Z축 방향)으로 간격을 두고 배열되는 상태로 복수매 유지한다. 용기 본체(11)는 그 타단측의 개구부에 팬 필터 유닛(13)을 부착하기 위한 필터 부착구(15)를 구비한다. 용기 본체(11)는 그 출입구(14)측의 좌우 양측면에 슬릿(16)을 구비한다. 슬릿(16)은 용기 본체(11)의 상하 방향으로 형성되는 긴 구멍이며, 덮개체(12)를 용기 본체(11)로부터 분리할 때에 용기 본체(11)의 내부를 시인할 수 있게 구성되어 있다.
덮개체(12)는 판형상 부재에 의해 구성된다. 덮개체(12)는 그 상단부 및 좌우 단부가 수직으로 절곡된 절곡부(12a)를 갖는다. 절곡부(12a)는 용기 본체(11)의 출입구(14)에 대하여 감합 가능하게 구성된다.
팬 필터 유닛(13)은 팬 필터(18)와 팬 필터용 프레임체(19)로 구성된다. 팬 필터(18)는 필터 부착구(15)로부터 출입구(14)를 향해서 통풍하는 팬 일체형의 필터이다.
팬 필터용 프레임체(19)은 팬 필터(18)를 용기 본체(11)의 필터 부착구(15)에 부착하기 위한 프레임체이다. 팬 필터용 프레임체(19)는 판형상 부재에 의해 구성된다. 팬 필터용 프레임체(19)는 그 좌우 단부가 수직으로 절곡된 절곡부(19a)를 갖는다. 절곡부(19a)는 용기 본체(11)의 필터 부착구(15)에 감합 가능하게 구성된다. 팬 필터용 프레임체(19)는 그 상단부에 용기 본체(11)의 필터 부착구(15)의 상단부와 접촉하는 접촉 부분(19b)이 형성되어 있다.
수납 용기(10)는 덮개체(12)와 팬 필터 유닛(13)이 용기 본체(11)에 대하여 착탈 가능하게 부착된다. 구체적으로는, 용기 본체(11)의 출입구(14)(용기 본체(11)의 일단측의 개구부)에 덮개체(12)가 부착되고, 용기 본체(11)의 필터 부착구(15)(용기 본체(11)의 타단측의 개구부)에 팬 필터 유닛(13)의 팬 필터용 프레임체(19)가 부착된다. 수납 용기(10)는 용기 본체(11)로부터 덮개체(12) 및 팬 필터용 프레임체(19)를 분리함으로써 용기 본체(11)를 용이하게 세정할 수 있게 구성되어 있다.
덮개체(12)는 그 좌우 양측의 절곡부(12a)의 상부 및 하부에, 덮개체(12)를 용기 본체(11)에 부착하기 위해서 용기 본체(11)와 맞물리는 덮개체 부착 암(20) (「맞물림부」의 일례)을 갖는다. 마찬가지로, 팬 필터용 프레임체(19)는 그 좌우 양측의 절곡부(19a)의 상부 및 하부에, 팬 필터용 프레임체(19)를 용기 본체(11)에 부착하기 위해서 팬 필터용 프레임체(19)와 맞물리는 필터 부착 암(30)(「맞물림부」의 일례)을 갖는다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 덮개체 부착 암(20)은 덮개체 부착 암(20)의 본체부를 형성하는 암 본체(21)와 암 본체(21)의 선단부에 형성되는 돌기(22)로 구성된다. 마찬가지로, 필터 부착 암(30)은 필터 부착 암(30)의 본체부를 형성하는 암 본체(31)와 암 본체(31)의 선단부에 형성되는 돌기(32)로 구성된다.
덮개체 부착 암(20)의 암 본체(21)는 덮개체(12)의 좌우 양측의 절곡부(12a)로부터 용기 본체(11)로의 부착 방향(수납 용기(10)의 전후 방향)으로 돌출해서 형성된다. 마찬가지로, 필터 부착 암(30)의 암 본체(31)는 팬 필터용 프레임체(19)의 좌우 양측의 절곡부(19a)로부터 용기 본체(11)로의 부착 방향(수납 용기(10)의 전후 방향)으로 돌출해서 형성된다.
덮개체 부착 암(20)의 돌기(22)(필터 부착 암(30)의 돌기(32))는 삼각형상의 부재로 구성되고, 예를 들면 수지제의 부재에 의해 형성된다. 돌기(22)(돌기(32))는 용기 본체(11)의 높이 방향(상하 하방)에 대하여 예각 형상으로 형성되는 정부(22c)(정부(32c))를 갖는다. 돌기(22)(돌기(32))는 그 예각 형상의 정부(22c)(정부(32c))가 암 본체(21)(암 본체(31))에 대하여 하방으로 돌출하도록 설치된다. 구체적으로는, 돌기(22)(돌기(32))는 암 본체(21)(암 본체(31))에 대하여 수직으로 형성되는 측면(22a)(측면(32a))과, 그 측면(22a)(측면(32a))에 대하여 예각으로 형성되어서 경사지는 경사면(22b)(경사면(32b))으로 형성되고, 측면(22a)(측면(32a))과 경사면(22b)(경사면(32b))으로 이루어지는 정부(22c)(정부(32c))를 갖는다. 돌기(22)(돌기(32))는 그 돌출 지름이 암측의 기단부로부터 선단부를 향해서 서서히 감축되도록 형성된다.
또한, 돌기(22)(돌기(32))는 그 정부(22c)(정부(32c))가 만곡 형상으로 형성된다. 이것에 의해, 돌기(22)(돌기(32))가 용기 본체(11)[후술하는 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))]에 접촉할 때의 이물의 발생을 경감할 수 있음과 아울러, 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))를 용기 본체(11)에 부착할 때에 돌기(22)(돌기(32))가 용기 본체(11)[덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))]과 맞물리기 쉬워진다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 덮개체 부착 암(20)(필터 부착 암(30))은 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 상부에 형성되는 암 본체(21)(암 본체(31))의 수평 방향(돌출 방향)의 길이가, 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 하부에 형성되는 암 본체(21)(암 본체(31))의 수평 방향(돌출 방향)의 길이보다 길게 형성된다. 이것에 의해, 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))를 용기 본체(11)에 착탈할 때에 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 하부에 형성되는 덮개체 부착 암(20)(필터 부착 암(30))이 용기 본체(11)의 상부에 형성되는 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))과 간섭하지 않는다.
용기 본체(11)는 그 출입구(14)측의 좌우 양측면의 상부 및 하부에, 덮개체(12)의 덮개체 부착 암(20)과 맞물려서 덮개체(12)를 록킹하는 덮개체 수용체(25)(「록킹부」의 일례)가 설치되어 있다. 용기 본체(11)는 그 필터 부착구(15)측의 좌우 양측면의 상부 및 하부에 팬 필터용 프레임체(19)의 필터 부착 암(30)과 맞물려서 팬 필터 유닛(13)(팬 필터용 프레임체(19))을 록킹하는 필터 수용체(35)(「록킹부」의 일례)가 설치되어 있다.
도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 덮개체 수용체(25)는 덮개체 수용체(25)의 본체부를 형성하는 덮개체 수용 본체(26)와, 덮개체 수용 본체(26)의 상부로부터 하부를 향해서 형성되는 덮개체 수용 구멍(27)(「수용 구멍」의 일례)으로 구성된다. 마찬가지로, 필터 수용체(35)는 필터 수용체(35)의 본체부를 형성하는 필터 수용 본체(36)와, 필터 수용 본체(36)의 상부로부터 하부를 향해서 형성되는 필터 수용 구멍(37)(「수용 구멍」의 일례)으로 구성된다.
덮개체 수용체(25)의 덮개체 수용 본체(26)는 용기 본체(11)의 출입구(14)측의 좌우 양측면이며, 덮개체 부착 암(20)의 돌기(22)가 덮개체 수용 구멍(27)에 감합 가능한 위치에 부착된다. 마찬가지로, 필터 수용체(35)의 필터 수용 본체(36)는 용기 본체(11)의 필터 부착구(15)측의 좌우 양측면이며, 필터 부착 암(30)의 돌기(32)가 필터 수용 구멍(37)에 맞물림 가능한 위치에 부착된다.
덮개체 수용 본체(26)(필터 수용 본체(36))는 용기 본체(11)의 좌우 양측면으로부터 돌출하는 판형상의 부재에 의해 구성된다. 덮개체 수용 본체(26)(필터 수용 본체(36))는 그 돌출하는 판형상 부재의 대략 중앙부에 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))이 형성된다.
덮개체 수용체(25)의 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용체(35)의 필터 수용 구멍(37))은 덮개체 부착 암(20)의 돌기(22)(필터 부착 암(30)의 돌기(32))와 감합 가능하게 형성되고, 그 상부의 개구부로부터 돌기(22)(돌기(32))가 끼워맞추어진다. 즉, 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))은 그 상부가 돌기(22)(돌기(32))가 끼워맞추어지는 측으로 되고, 그 하부가 돌기(22)(돌기(32))가 끼워맞추어지는 측과 반대측으로 된다. 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))은 용기 본체(11)의 높이 방향(상하 하방)에 대하여 예각 형상으로 형성된다. 구체적으로는, 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))은 측면으로 볼 때에 덮개체 수용 본체(26)(필터 수용 본체(36))에 대하여 상하 방향으로 형성되는 구멍면(27a)(구멍면(37a))과, 그 구멍면(27a)(구멍면(37a))에 대하여 예각으로 형성되어서 경사지는 경사 구멍면(27b)(경사 구멍면(37b))을 갖고, 그 개구 폭이 상부로부터 하부를 향해서 서서히 감축하도록 형성된다. 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))의 개구 폭은 돌기(22)(돌기(32))의 형상에 맞춰서 결정된다.
덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))은 그 하단부에 개구 부분(27c)(개구 부분(37c))을 갖는다. 구체적으로는, 개구 부분(27c)(개구 부분(37c))은 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))의 구멍면(27a)(구멍면(37a))과 경사 구멍면(27b)(경사 구멍면(37b))이 접촉하는 부분이며, 덮개체 부착 암(20)(필터 부착 암(30))의 돌기(22)(돌기(32))의 정부(22c)(정부(32c))가 끼워맞추어지는 부분을 개구하여 형성된다. 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))의 하단부에 개구 부분(27c)(개구 부분(37c))을 형성함으로써, 덮개체 부착 암(20)(필터 부착 암(30))의 돌기(22)(돌기(32))를 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))에 끼워맞출 때에 보이는 이물이 개구 부분(27c)(개구 부분(37c))으로부터 배출되어, 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))의 하단부에 퇴적하지 않는다.
덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))은 그 상부측[덮개체 부착 암(20)의 돌기(22)(필터 부착 암(30)의 돌기(32))가 끼워맞추어지는 측]의 개구 단부에 경사상의 면[경사 개구면(27d)(경사 개구면(37d))]이 형성되어 있다. 구체적으로는, 경사 개구면(27d)(경사 개구면(37d))은 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))의 구멍면(27a)(구멍면(37a)) 및 경사 구멍면(27b)(경사 구멍면(37b))의 상단부이며, 용기 본체(11)측으로부터 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))을 향해서 경사상으로 형성된다. 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))의 상부의 개구 단부에 경사 개구면(27d)(경사 개구면(37d))을 형성함으로써 덮개체 부착 암(20)의 돌기(22)(필터 부착 암(30)의 돌기(32))가 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))에 안내되기 쉬워지고, 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))가 용기 본체(11)에 부착되기 쉬워진다. 또한, 덮개체 부착 암(20)의 돌기(22)(필터 부착 암(30)의 돌기(32))가 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))으로부터 다소 어긋나서 끼워맞추어진 경우에도 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 자체 중량에 의해 돌기(22)(돌기(32))가 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))의 적절한 위치에 끼워맞추어진다.
도 1, 도 2 및 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 덮개체(12) 및 팬 필터용 프레임체(19)에는 덮개체(12) 또는 팬 필터용 프레임체(19)를 승강시키기 위한 한쌍의 돌기 부재(40)(「돌기부」의 일례)가 형성되어 있다. 돌기 부재(40)는 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 좌우 양측의 절곡부(12a)(절곡부(19a))에 대하여 수직으로 돌출하는 돌기부이다. 돌기 부재(40)는 후술하는 셔터 개폐 장치(50)의 승강부(53)에 있어서의 승강 암(54)의 프레임체 지지 부재(58)와 끼워맞추어진다.
돌기 부재(40)는 승강 암(54)의 프레임체 지지 부재(58)와 끼워맞추어지는 감합부(41)와, 돌기 부재(40)의 중앙부에 경사상으로 형성되는 돌기 경사부(42)를 갖는다. 감합부(41)는 돌기 부재(40)의 선단부에 형성되고, 기단부에 비해서 소경으로 형성된다. 돌기 경사부(42)는 돌기 부재(40)의 기단측에서 감합부(41)를 향해서 경사상으로 형성된다. 돌기 부재(40)에 경사상의 돌기 경사부(42)를 형성함으로써, 돌기 부재(40)가 감합부(41)로부터 어긋나서 돌기 경사부(42)에서 승강 암(54)의 프레임체 지지 부재(58)에 끼워맞추어졌을 경우에도, 프레임체 지지 부재(58)가 돌기 경사부(42)를 통해서 감합부(41)측으로 미끄러져서 끼워맞추어지기 때문에, 돌기 부재(40)가 승강 암(54)의 프레임체 지지 부재(58)와 용이하게 끼워맞출 수 있다.
또한, 한쌍의 돌기 부재(40) 중 한쪽의 돌기 부재(40)의 선단에는 롤러(43)가 회동 가능하게 설치된다. 롤러(43)는 돌기 부재(40)가 승강 암(54)의 프레임체 지지 부재(58)에 끼워맞출 때에, 후술하는 셔터 개폐 장치(50)의 승강부(53)의 센서(60)와 접촉하는 부분이다. 돌기 부재(40)의 선단을 회동 가능한 롤러(43)에 의해 형성함으로써 셔터 개폐 장치(50)의 센서(60)와 접촉할 때의 이물의 발생을 억제할 수 있다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 덮개체(12) 및 팬 필터용 프레임체(19)는 셔터 개폐 장치(50)에 의해 용기 본체(11)에 대하여 착탈된다. 셔터 개폐 장치(50)는 장치 본체를 구성하는 하우징(51)과, 수납 용기(10)를 장치 내외로 반송하는 반송부(52)와, 덮개체(12) 및 팬 필터용 프레임체(19)을 승강하는 승강부(53)로 주로 구성되어 있다.
셔터 개폐 장치(50)는 반송부(52)에 있어서 수납 용기(10)를 장치 내로 반송시키고, 반송시킨 수납 용기(10)의 덮개체(12) 및 팬 필터용 프레임체(19)를 승강부(53)에 있어서 승강시킴으로써, 덮개체(12) 및 팬 필터용 프레임체(19)를 용기 본체(11)에 대하여 착탈시킨다.
반송부(52)는 셔터 개폐 장치(50)까지 반송된 수납 용기(10)를 장치 내로 반입하고, 덮개체(12) 및 팬 필터용 프레임체(19)가 분리된 용기 본체(11)를, 용기 본체(11)를 세정하는 세정 장치(도시하지 않음)로 반출한다. 또한, 반송부(52)는 세정 장치(도시하지 않음)에 의해 세정이 종료된 용기 본체(11)를 장치 내에 반입하고, 덮개체(12) 및 팬 필터용 프레임체(19)가 부착된 용기 본체(11)(수납 용기(10))를 장치 밖으로 반출한다.
승강부(53)는 셔터 개폐 장치(50)의 좌우 양측에 각각 설치되고, 좌우 양측의 승강부(53)에 의해 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))를 좌우로부터 협지하도록 구성된다. 승강부(53)는 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))를 승강시키는 승강 암(54)과, 승강 암(54)을 작동하는 액츄에이터(55)와, 승강 암(54)을 승강 가능하게 가이드하는 승강 가이드(56)로 주로 구성되어 있다.
도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 승강 암(54)은 승강 가이드(56)를 따라서 승강하는 승강 암 본체(57)와, 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 돌기 부재(40)를 지지하는 프레임체 지지 부재(58)로 주로 구성되어 있다.
승강 암 본체(57)는 그 기단부가 승강 가이드(56)에 대하여 승강 가능하게 지지되고, 그 선단측의 상부에 있어서 프레임체 지지 부재(58)를 지지한다.
프레임체 지지 부재(58)는 그 상부에 한쌍의 오목부(59)가 형성된다. 오목부(59)에는 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 돌기 부재(40)에 있어서의 감합부(41)가 끼워맞추어진다. 또한, 한쌍의 오목부(59) 중 한쪽의 오목부(59)의 측방에는 센서(60)가 설치되어 있다.
센서(60)는 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 돌기 부재(40)에 있어서의 롤러(43)를 검출한다. 즉, 센서(60)는 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 돌기 부재(40)에 있어서의 감합부(41)가 프레임체 지지 부재(58)의 오목부(59)에 끼워맞춰져서, 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))가 승강 암(54)에 의해 지지되어 있는지의 여부를 검출하는 것이다. 센서(60)는 스위치식의 센서에 의해 구성되고, 롤러(43)가 적재되어서 스위치가 온됨으로써 롤러(43)를 검출한다. 또한, 센서(60)는 셔터 개폐 장치(50)를 제어하는 제어 컨트롤러(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 센서(60)로부터의 검출 신호는 그 제어 컨트롤러에 송신된다. 그 제어 컨트롤러는 센서(60)로부터의 검출 신호에 의해 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))가 승강 암(54)에 의해 지지되어 있다고 판단한다.
액츄에이터(55)는, 예를 들면 에어식 또는 유압식의 실린더에 의해 구성되고, 그 구동에 의해 승강 암(54)을 승강시킨다.
승강 가이드(56)는 셔터 개폐 장치(50)의 좌우 양단부에 상하 방향으로 이어설치된다.
이어서, 수납 용기(10)에 있어서의 덮개체(12)의 착탈에 대하여 설명한다. 또한, 팬 필터용 프레임체(19)의 착탈은 덮개체(12)와 같기 때문에 그 설명은 생략한다.
도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 수납 용기(10)가 셔터 개폐 장치(50) 내에 반입되면, 승강부(53)의 승강 암(54)이 덮개체(12)의 돌기 부재(40)와 맞물린다. 이 때, 승강 암(54)의 프레임체 지지 부재(58)의 오목부(59)가 덮개체(12)의 돌기 부재(40)의 감합부(41)에 하방으로부터 끼워맞추어진다. 또한, 오목부(59)가 감합부(41)와 끼워맞추어 돌기 부재(40)의 롤러(43)가 센서(60)와 접촉함으로써 센서(60)의 스위치가 온되고, 덮개체(12)가 승강 암(54)에 의해 지지되어 있는 것이 검출된다.
도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 승강부(53)는 승강 암(54)을 덮개체(12)의 돌기 부재(40)와 맞물리게 한 상태에서 승강 암(54)을 덮개체(12)의 분리 위치까지 상승시킨다. 이것에 의해, 덮개체(12)가 상방으로 들어올려지고, 덮개체(12)가 용기 본체(11)로부터 분리된다.
한편, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 세정 장치(도시하지 않음)에 의해 세정된 수납 용기(10)가 셔터 개폐 장치(50) 내에 반입되면, 승강부(53)는 승강 암(54)을 덮개체(12)의 돌기 부재(40)와 맞물리게 한 상태에서 승강 암(54)을 덮개체(12)의 부착 위치까지 하강시킨다.
도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 승강 암(54)이 덮개체(12)의 부착 위치까지 하강하면, 덮개체(12)의 덮개체 부착 암(20)에 있어서의 돌기(22)가 용기 본체(11)의 덮개체 수용체(25)에 있어서의 덮개체 수용 구멍(27)에 끼워맞추어진다. 이 때, 덮개체 부착 암(20)의 돌기(22)는 덮개체(12)의 자체 중량에 의해 덮개체 수용체(25)의 덮개체 수용 구멍(27)에 끼워맞추어진다. 구체적으로는, 돌기(22)의 측면(22a)이 덮개체 수용 구멍(27)의 구멍면(27a)에 면으로 접촉함과 아울러, 돌기(22)의 경사면(22b)이 덮개체 수용 구멍(27)의 경사 구멍면(27b)에 면으로 접촉하도록 끼워맞추어진다. 이것에 의해, 덮개체(12)가 용기 본체(11)에 부착된다.
이와 같이, 수납 용기(10)에 있어서는 용기 본체(11)의 높이 방향(상하 하방)에 대하여 예각 형상으로 형성되는 돌기(22)(돌기(32))와, 용기 본체(11)의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))을 끼워맞추기 때문에, 돌기(22)(돌기(32))와 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))이 면 접촉으로 끼워맞추어진다. 그 때문에, 용기 본체(11)에 대한 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 안정성이 좋고, 수납 용기(10) 자체의 기밀성이 향상된다. 또한, 입구 부분의 넓은 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))에 대하여 선단 부분의 가는 돌기(22)(돌기(32))를 끼워맞추게 되기 때문에, 돌기(22)(돌기(32))를 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))에 대하여 용이하게 끼워맞출 수 있다. 그 때문에, 덮개체(12)를 용기 본체(11)에 대하여 용이하게 부착할 수 있다.
수납 용기(10)에 있어서는 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))의 상부측의 개구 단부에 경사상의 경사 개구면(27d)(경사 개구면(37d))이 형성되기 때문에, 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))를 용기 본체(11)에 부착할 때에 덮개체 부착 암(20)(필터 부착 암(30))의 돌기(22)(돌기(32))가 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))의 중심으로부터 다소 어긋난 위치에 끼워맞춰졌을 경우에도, 돌기(22)(돌기(32))의 선단부가 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 자체 중량에 의해 경사 개구면(27d)(경사 개구면(37d))을 미끄러지면서 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))에 끼워맞춰지게 되어 돌기(22)(돌기(32))와 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))을 항상 적절한 위치에서 끼워맞추게 할 수 있다. 그 때문에, 용기 본체(11)와 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 밀착성이 향상되고, 수납 용기(10) 자체의 기밀성이 향상된다.
수납 용기(10)에 있어서는 용기 본체(11)의 덮개체 수용체(25)(필터 수용체(35))에 있어서 발생하는 이물을, 덮개체 수용 구멍(27)(필터 수용 구멍(37))의 개구 부분[27c(37c)]으로부터 배출할 수 있기 때문에, 수납 용기(10)에 있어서의 이물의 퇴적을 방지할 수 있다.
수납 용기(10)에 있어서는 덮개체 부착 암(20)(필터 부착 암(30))과 용기 본체(11)의 덮개체 수용체(25)(필터 수용체(35))를 간섭시키지 않고, 복수의 덮개체 부착 암(20)(필터 부착 암(30))에 의해 확실하게 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))를 용기 본체(11)에 부착할 수 있다. 그 때문에, 용기 본체(11)와 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 밀착성이 향상되고, 수납 용기(10) 자체의 기밀성이 향상된다.
수납 용기(10)에 있어서는 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 돌기 부재(40)를 셔터 개폐 장치(50)의 승강부(53)에 의해 승강시킴으로써 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))를 용기 본체(11)에 대하여 용이하게 착탈시킬 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 덮개체 부착 암(20)(필터 부착 암(30))을 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 높이 방향(상하 하방)을 따라서 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 좌우로 2체씩 설치하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))가 용기 본체(11)에 대하여 밀착해서 설치 가능하면, 덮개체 부착 암(20)(필터 부착 암(30))을 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 좌우로 1체씩 또는 3체 이상씩 설치해도 관계없다.
본 실시형태에 있어서는 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 돌기 부재(40)를 한쌍의 돌기 부재에 의해 구성하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 셔터 개폐 장치(50)의 승강부(53)에 의해 승강 가능한 구성이면 돌기 부재(40)를 1체 또는 3체 이상의 돌기 부재에 의해 구성해도 관계없다.
본 실시형태에 있어서는 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 착탈을 셔터 개폐 장치(50)에 의해 행하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 덮개체(12)(팬 필터용 프레임체(19))의 돌기 부재(40)를 승강 가능한 승강부를 갖는 장치이면 관계없다.
10 : 수납 용기 11 : 용기 본체
12 : 덮개체 13 : 팬 필터 유닛
14 : 출입구 20 : 덮개체 부착 암(맞물림부)
22, 32 : 돌기 25 : 덮개체 수용체(록킹부)
27 : 덮개체 수용 구멍(수용 구멍) 27c, 37c : 개구 부분
30 : 필터 부착 암(맞물림부) 35 : 필터 수용체(록킹부)
37 : 필터 수용 구멍(수용 구멍) 40 : 돌기 부재(돌기부)

Claims (6)

  1. 용기 본체의 일단측의 개구부에 기판을 출납하기 위한 출입구를 구비하고, 상기 출입구로부터 상기 기판을 수납하는 기판 수납용의 수납 용기로서,
    상기 용기 본체의 타단측의 개구부에 설치되고 상기 타단측의 개구부로부터 상기 출입구를 향해서 통풍하는 팬 필터 유닛과,
    상기 출입구에 설치되고 상기 출입구를 개폐하는 덮개체를 구비하고,
    상기 덮개체에는 상기 용기 본체에 맞물리는 맞물림부가 형성되고,
    상기 용기 본체에는 상기 맞물림부와 맞물려서 상기 덮개체를 록킹하는 록킹부가 형성되고,
    상기 맞물림부는 상기 덮개체가 상기 용기 본체에 설치될 때의 상기 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 돌기를 갖고,
    상기 록킹부는 상기 돌기와 감합 가능하며, 상기 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 수용 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 수납 용기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 수용 구멍은 상기 돌기가 끼워맞추어지는 측의 개구 단부가 경사상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수납 용기.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 수용 구멍은 상기 돌기가 끼워맞추어지는 측과 반대측의 단부에 개구 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 수납 용기.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 맞물림부는 상기 덮개체가 상기 용기 본체에 설치될 때의 상기 덮개체의 높이 방향을 따라 복수 설치되고,
    상기 덮개체의 높이 방향에 있어서 상방에 위치하는 맞물림부는 그 수평 방향의 길이가 그것보다 하방에 위치하는 맞물림부의 수평 방향의 길이보다 길게 형성되는 것을 특징으로 하는 수납 용기.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 덮개체의 단부에는 상기 덮개체를 상기 용기 본체의 높이 방향으로 승강시키기 위한 돌기부가 형성되는 것을 특징으로 하는 수납 용기.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 팬 필터 유닛은 상기 용기 본체에 대하여 착탈 가능하게 설치되고,
    상기 팬 필터 유닛에는 상기 용기 본체에 맞물리는 맞물림부가 형성되고,
    상기 용기 본체에는 상기 팬 필터 유닛의 맞물림부와 맞물려서 상기 팬 필터 유닛을 록킹하는 록킹부가 형성되고,
    상기 맞물림부는 상기 팬 필터 유닛이 상기 용기 본체에 설치될 때의 상기 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 돌기를 갖고,
    상기 록킹부는 상기 돌기와 감합 가능하며, 상기 용기 본체의 높이 방향에 대하여 예각 형상으로 형성되는 수용 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 수납 용기.
KR1020160047430A 2015-10-28 2016-04-19 수납 용기 KR102362497B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015211361A JP6414535B2 (ja) 2015-10-28 2015-10-28 収納容器
JPJP-P-2015-211361 2015-10-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170049352A KR20170049352A (ko) 2017-05-10
KR102362497B1 true KR102362497B1 (ko) 2022-02-14

Family

ID=58714304

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160047430A KR102362497B1 (ko) 2015-10-28 2016-04-19 수납 용기

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6414535B2 (ko)
KR (1) KR102362497B1 (ko)
CN (1) CN106629051B (ko)
TW (1) TWI688029B (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3526808B2 (ja) 2000-04-18 2004-05-17 株式会社カープ カセット用ボックス
JP2004527100A (ja) 2000-12-13 2004-09-02 エンテグリス ケイマン リミテッド 横方向フローティングラッチハブ構造体
JP2010064887A (ja) 2008-09-12 2010-03-25 Daifuku Co Ltd 基板搬送設備

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2126221U (zh) * 1992-06-06 1992-12-30 俞希平 储存箱
DE4443212A1 (de) * 1994-12-05 1996-06-13 Neidhart Clip Lok Gmbh & Co Kg Behälter mit faltbaren Seitenwänden
JPH08324544A (ja) * 1995-05-29 1996-12-10 Nakatsugawa Hoso Kogyo Kk 段ボール製大型収納ボックスの胴体構造
JP3556480B2 (ja) * 1998-08-17 2004-08-18 信越ポリマー株式会社 精密基板収納容器
JP4953010B2 (ja) * 2006-09-13 2012-06-13 株式会社ダイフク 基板収納用の収納容器
WO2010134492A1 (ja) 2009-05-20 2010-11-25 シャープ株式会社 カセット
US8870516B2 (en) * 2010-06-30 2014-10-28 Brooks Automation, Inc. Port door positioning apparatus and associated methods
CN202687019U (zh) * 2012-04-10 2013-01-23 詍华有限公司 具有握把扣组的收纳箱

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3526808B2 (ja) 2000-04-18 2004-05-17 株式会社カープ カセット用ボックス
JP2004527100A (ja) 2000-12-13 2004-09-02 エンテグリス ケイマン リミテッド 横方向フローティングラッチハブ構造体
JP2010064887A (ja) 2008-09-12 2010-03-25 Daifuku Co Ltd 基板搬送設備

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170049352A (ko) 2017-05-10
JP6414535B2 (ja) 2018-10-31
TWI688029B (zh) 2020-03-11
CN106629051B (zh) 2020-01-07
JP2017084952A (ja) 2017-05-18
TW201715634A (zh) 2017-05-01
CN106629051A (zh) 2017-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6256702B2 (ja) 物品搬送用容器昇降搬送装置
KR101350253B1 (ko) 기판 반송 설비
EP1914179A2 (en) Overhead traveling vehicle having safety member
JP6432036B2 (ja) 部品実装装置
TWI460112B (zh) Items storage equipment
KR101303683B1 (ko) 기판용 수납 용기, 및 그것을 반송하는 반송 설비
TWI731214B (zh) 高架搬送車
US20130341946A1 (en) Robot hand
KR20050061308A (ko) 반송 장치
TWI404661B (zh) 基板用收納容器與基板用收納容器用之基板搬送設備
KR102362497B1 (ko) 수납 용기
KR101330110B1 (ko) 기판 수납용기
JP2016178216A (ja) 保護カバー及びこれを用いた基板処理装置
JP5949717B2 (ja) 蓋の有る容器の搬送装置と蓋の支持方法
TWI814990B (zh) 蓋開閉裝置
KR101916784B1 (ko) 청정 공기 송풍 유닛
JP4169535B2 (ja) 蓋部材開閉装置及びそれを備えたステーション
JP7321852B2 (ja) 洗浄システム
KR101209127B1 (ko) 스택커용 분진 비산 방지 차륜 커버
JP5084573B2 (ja) 基板収納容器
JP2005311260A (ja) 液晶基板の保管倉庫室
KR100467818B1 (ko) 반도체 웨이퍼 운반용 파드
JP2005163368A (ja) クリーンルーム用のシャッター装置
KR101295152B1 (ko) 기판 반출입 시스템
KR20210009538A (ko) 그라스 적재용 카세트의 개구부 개폐장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant