JP3526808B2 - カセット用ボックス - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム棟
の棟内（同一階及び多層階に亘る場合を含む）、或はク
リーンルーム棟とクリーンルーム棟間で搬送されるカセ
ット用ボックスに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体工場におけるＩＣ製造工程では、
チリ、ホコリ、微粒子、微生物等が最大の敵であり、半
導体回路素子等はクリーンルームの環境下で製造されて
いる。クリーンルーム内での最大の発塵源は、フケやア
カ等を出す人間であることから、無塵化のためには、ク
リーンルームでのファクトリーオートメーション（ＦＡ
化）が必要不可欠である。半導体工場において、ウエハ
ーの搬送手段としてＦＡ化を担う装置が、ＡＧＶ（Ａｕ
ｔｏｍａｔｉｃ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）等の
自動搬送装置であり、これらの搬送装置は、約２００乃
至３００の工程からなるＩＣ製造工程において、各工程
間でウエハーを収納したカセットの搬送を行う工程間搬
送及び同一工程内で前記カセットの搬送を行う工程内搬
送に活躍している。

【０００３】一方で、クリーンルームの建設及び維持の
省エネルギー及びコストダウンを図るため、クリーンエ
リアの局所化が進んでいる。このクリーンエリアの局所
化は、クリーンルーム全体としてはクリーン度、例えば
クラス１００或はクラス１０００を維持するが、カセッ
トのクリーン度を上げ、例えばクラス１０を達成せんと
するものである。そのため、密閉型のキャリアが考案さ
れたり、ファンフィルタユニットとカセット収納部と開
閉ドアを一体化したＡＧＶ等が提供されている。

【０００４】このようなクリーンルームでのＦＡ化やク
リーンエリアの局所化は、ＩＣ製造工程に限らず、液晶
ディスプレイ（以下、ＬＣＤ）製造工程においても必要
である。ＬＣＤを構成する液晶セルの基板に塵埃等が付
着した場合には、電極形成時に断線や短絡を誘発し、ま
た配向層が一様に形成されず液晶分子の配列の乱れを招
く等で、歩留まりを低下させるからである。因みに、現
在のＬＣＤ工場のレイアウトを図１７に示す。この図に
おいてＫ１が工程間搬送路を示し、Ｋ２が工程内搬送路
を示す。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
半導体工場や液晶工場においても、次世代の半導体工場
等に向けて、次のような課題がなお存在する。第１に、
密閉型ボックス（キャリア）を採用すれば、開閉用のド
アーオープナーが多数台必要となり、コストアップとシ
ステムの信頼性が低下し、さらにクリーンルームのスペ
ース拡大化を招く、第２に、ＡＧＶが、工程間搬送或は
工程内搬送を行う場合に、カセットの出し入れは、自身
が備える移載装置を用いる場合があり、この場合、基板
の大型化、ウエハーの大口径化等によりカセットの重量
が増大し、移載装置のアーム伸縮時に偏荷重がかかり、
ＡＧＶ等が転倒する危険性がある、第３に、クリーンエ
リアの局所化により、省エネルギーやコストダウンが図
られても、クリーンルーム自体の建築費は、通常の建物
の建築費に比べて、コストが高く、またクリーンルーム
の完成後においても、クリーン度の維持のためのランニ
ングコストの問題が残っている点等である。

【０００６】そこで、本願発明は、上記各問題を一挙に
解決することができる、新規、且つ、有用なカセット用
ボックス、このボックスを搬送する自動搬送装置及びそ
の搬送装置の制御方法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明に係るカセット用ボックスは自動搬送装置に
より搬送されるカセット用ボックスであって、被搬送物
を収容するカセット本体と、この本体をカバーするカセ
ットカバーと、このカバーの一面に取付けられたファン
フィルタユニットから前記カセット用ボックスを構成
し、前記カセット本体は、前記被搬送物を所定間隔にて
鉛直方向に積層するように配置し且つ重量軽減のため柱
状材を組合わせて構成され、前記カセットカバーは、開
口面及び前記一面としての対向面を除き、前記カセット
本体の４面を覆い、前記ファンフィルタユニットを前記
一面にフィットさせるように位置させ、前記ファンフィ
ルタユニットにより、カセットカバーの前記一面から前
記開口面に向けて、水平層流を形成すると共に、前記自
動搬送装置の進行方向に対して、前記ファンフィルタユ
ニットを前方に、前記開口面を後方に位置させ、且つ、
前記ファンフィルタユニット筐体の吹出面の両サイドの
外周には凸状の係止部を形成し、一方、前記カセットカ
バーの対向面の左右両サイドには、前記係止部を落とし
込む溝部が形成され、底辺には支持片が形成され、前記
ファンフィルタユニットは、カセットカバーに対して着
脱自在に構成されていることを特徴とするカセット用ボ
ックス（請求項１に記載の発明）。

【０００８】前記カセット用ボックスは、自動搬送装置
により搬送されるもので、ここで自動搬送装置とは、被
搬送物の搬送作業を人手に代わって行う装置である。こ
の自動搬送装置は、コンベア系と自動移動車系に大別す
ることでき、自動移動車系は、また軌道車と無軌道車に
別れ、さらに軌道車は、自走車と他動車に、一方、無軌
道車は、固定経路型、半固定経路型又は無経路型に分類
される。前記固定経路型には、電磁誘導方式等の能動式
搬送装置、光学反射方式の受動式搬送装置があり、半固
定経路型にはマーク追跡式移動ロボット等のスポットマ
ーク式搬送装置があり、無経路型にはジャイロ無人車等
のように自立航法式搬送装置や超音波灯台式、レーザ灯
台式、スリット符号式台車等の地上援助式搬送装置等が
ある。本願発明には、これら全ての自動搬送装置が含ま
れる。ここに被搬送物とは、搬送に際し、所定のクリー
ン度を要求されるもので、例えば半導体工場のウエハ
ー、液晶工場のガラス基板、プラスチック基板等であ
る。また、ファンフィルタユニットとは、清浄な気体の
層流を形成する装置である。後述する実施形態では、カ
セット本体とカセットカバーは別体であるが、カセット
本体とカセットカバーを一体に成形してもよい。

【０００９】本発明に係るカセット用ボックスでは、前
記ファンフィルタユニットにより、前記カセットカバー
の一面から開口面に向けて清浄な空気等の水平層流が形
成されるので、被搬送物を常に無塵状態に維持すること
ができる。即ち、密閉型のボックスとは異なり、自己が
クリーニング手段を有するボックスとして、アクティブ
な性格を備えたものである。また、本発明に係るカセッ
ト用ボックスでは、前記開口面から、被搬送物を出し入
れするだけであるので、開閉用のドアーオープナーが不
要であり、その分、コストダウンが図られる。さらに、
ドアーオープナーが不要となるので、ドアーオープナー
の保守管理等も不要となり、システムの信頼性が向上す
るし、クリーンルームのスペース拡大化を招くこともな
い。

【００１０】上記発明において、前記ファンフィルタユ
ニットをカセットカバーに対して着脱自在に構成しても
よく、この構成によれば、ファンフィルタユニットを迅
速に取外して、カセット本体とカセットカバーを洗浄す
ることができる。また、前記カセットカバーの底面に水
抜き孔を設けるようにしてもよく（請求項２に記載の発
明）、この構成によれば、洗浄水が水抜き孔から排水さ
れるので、洗浄作業が容易である。

【００１１】上記目的を達成するため、自動搬送装置
は、前輪駆動または全輪駆動の三輪車とし、三輪車に代
えて、前後２輪駆動、三輪駆動又は全輪駆動の四輪車と
し、これらの三輪車又は四輪車において駆動車輪の径を
従動車輪の径より、大きくしてもよい。ここで、駆動車
輪は、モータ等の駆動装置から動力が伝達される車輪を
いい、従動車輪は、駆動装置から動力が伝達されず、駆
動車輪に従動する車輪をいい、以下も同様である。従来
のＡＧＶが図１９に示したような、真中に駆動車輪が配
置された車輪配置であることから、この車輪構成によれ
ば、前方の従動車輪がエレベータの篭の中に入った段階
で、篭がＡＧＶの重みで沈み、その結果、駆動車輪が空
回りするおそれがあった。そこで、本願発明の自動搬送
装置の車輪構成を上記のような三輪車或いは四輪車とし
て、エレベータの乗降りを円滑にさせて、クリーンルー
ムの多層化に対応できるＦＡ化を図り、ひいては、クリ
ーンルームの建築費の低減化を図るものである。

【００１２】上記目的を達成するため、それぞれ面取状
にテーパが設けられたエレベータの篭床とその篭床に対
向する乗降階の床に対応できるように、自動搬送装置
は、前輪駆動または全輪駆動の三輪車とし、三輪車に代
えて、前後２輪駆動、三輪駆動又は全輪駆動の四輪車と
し、これらの三輪車又は四輪車において駆動車輪の径を
従動車輪の径より、大きくしてもよい。これらの各発明
によれば、自動搬送装置の駆動車輪が、エレベータの篭
床と乗降階の床に接する自動搬送装置の駆動車輪の面積
が増えることにより、自動搬送装置のエレベータの乗降
りが円滑になる。よって上記発明と同様に、本願発明の
目的を達成することができる。

【００１３】上記目的を達成するため、面取状にテーパ
が設けられたエレベータの篭床とその篭床に対向する乗
降階の床に形成される隙間に対し、その隙間を解消する
装置を設置すると共に、自動搬送装置を、前輪駆動また
は全輪駆動の三輪車とし、三輪車に代えて、前後２輪駆
動、三輪駆動又は全輪駆動の四輪車とし、これらの三輪
車又は四輪車において駆動車輪の径を従動車輪の径よ
り、大きくしてもよい。これらの各発明によれば、自動
搬送装置の駆動車輪が、エレベータの篭床と乗降階の床
に形成される間隙を問題とせずに走行することができ、
自動搬送装置のエレベータの乗降りが円滑になる。よっ
て上記発明と同様に、本願発明の目的を達成することが
できる。

【００１４】上記目的を達成するため、自動搬送装置が
エレベータに乗り降りする際のコミニュケーションは、
自動搬送装置、エレベータの篭又は建物本体に設置され
る赤外線送受信装置を介して、ＣＩＭシステムにより行
われることを特徴とする自動搬送装置の制御方法とし
た。ここにＣＩＭシステムとは、Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ｉ
ｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇを意
味し、歩留りの向上、品質の向上、多品種生産への迅速
な対応、重労働からの解放等の安全性の向上を目的とし
て構築された、例えば分散処理のコンピュータシステム
である。この発明によれば、自動搬送装置のエレベータ
の乗降りが円滑になり、上記発明と同様に本願発明の目
的を達成することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】実施形態に係るカセット用ボック
ス（以下、スマートユニットという）の構成例を図面に
基づいて説明する。図１は、前記スマートユニット及び
同スマートユニットを搬送する自動搬送装置としてのＡ
ＧＶの斜視図、図２は前記スマートユニットの斜視図、
図３は同スマートユニットの分解斜視図、図４（イ）乃
至（ハ）は、それぞれ同スマートユニットを構成するフ
ァンフィルタユニット（以下、ＦＦＵという）の構成例
図である。前記スマートユニットについては、液晶生産
ラインに用いられる構成について説明する。このスマー
トユニットは半導体生産ラインにおいて、ウエハーを搬
送する場合においても有用である。なお、上記各図及び
後述する各図において、同一の構成は同一の符号で表
し、重複した説明を省略する。

【００１６】前記スマートユニットの特徴は、密閉型キ
ャリアやＦＦＵを一体化した従来のＡＧＶに代え、図１
及び図２に示したように、ＦＦＵ付のカセット用ボック
スとした点である。

【００１７】このスマートユニット１は、被搬送物とし
てのＬＣＤのガラス、プラスチック等の基板を収納して
ＡＧＶ２に載せられ、液晶製造工程の工程間或は工程内
で搬送されるもので、カセット本体１０とカセットカバ
ー１１とＦＦＵ１２とから構成されている。

【００１８】前記カセット本体１０は、図２及び図３に
示したように、例えば２０枚程度の基板を所定間隔にて
鉛直方向に積層するように配置するもので、出来る限り
重量を軽減できるように柱状材１００，１００，１００
…を組合わせて構成されている。このカセット本体１０
は、既に市販されているカセット、ガラスサイズに応じ
て製造したカセットを用いる。

【００１９】前記カセットカバー１１は、開口面１１０
及び一面としての対向面１１１を除き、前記カセット本
体１０の４面を覆うもので、樹脂、ＡＬ等の金属板から
なり、これらの板材が前記柱状材１００を利用して、脱
着式或は固定式にビス止されて構成されている。後に詳
述するように、このカセットカバー１１の対向面１１１
には、前記ＦＦＵ１２が取付けられ、そのＦＦＵ１２か
ら、前記開口面１１０に向けて、水平層流が形成される
ようになっている。

【００２０】この水平層流（以下、水平フローともい
う）の風量や風速との関係で、前記開口面１１０でエア
ー巻込みが生じないようにカバー１１の長さ寸法Ｌを調
整する。前記開口面１１０は、基板の出入口になると共
に、前記水平フローの排気口にもなる。前記カバー１１
の底面１１２には、前記カセット本体１０及び前記カバ
ー１１を洗浄する際に必要となる１以上の水抜き孔１１
３が設けられている。前記水平フローの形成により、こ
のカセットカバー１１においては、塵埃の侵入を防ぐた
めのシール性は問題とならず、ドアが存在しない前記開
口面１１０や前記水抜き孔１１３を設けることができ
る。

【００２１】前記ＦＦＵ１２は、前記開口面１１０に向
けて、水平層流を形成するもので、例えば、アルミ、ス
テンレス製等の筐体１２０内に、ＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ或
はケミカルフィルタと、小風量、且つ、高静圧の小型フ
ァンを組込んだものである。この筐体１２０の縦横幅
は、前記対向面１１１にフィットするような寸法に形成
されている。

【００２２】前記フィルタとファンの組込の態様は、図
４（イ）に示したように、前記筐体１２０の吸込面１２
１にエアー吸込口１２２を設け、吹出面１２３にへパフ
ィルタ１２４を設け、それらの間にファン１２５を取り
付けたもの、同図（ロ）に示したように、前記ファン１
２５を複数台設置したもの、同図（ハ）のように筐体１
２０の上部に吸込面１２１とファン１２５とへパフィル
タ１２４を設け、吹出面にパンチングメタル１２６を張
って、前記フィルタ１２４からのエアーをエアガイド１
２７を介して、吹出面１２３へと導出すもの等がある。

【００２３】このＦＦＵ１２のファン等への電力は、Ａ
ＧＶ２側から供給されるようになっており、ＦＦＵ１２
の筐体底面１２８に、電極１２９が設けられ、この電極
１２９に対応するように、ＡＧＶ２側にも電極が設けら
れている。この場合、スマートユニット１をＡＧＶ２に
搭載した後、数秒後に通電されるようにタイマ等で制御
され、電極１２９の保護が図られている。

【００２４】前記ＦＦＵ１２による水平フローの風量及
び速度は、自由に制御することができ、クリーンルーム
の状態やＡＧＶ２の走行速度等により調整することがで
きる。そして、前記ＡＧＶ２が、工程間或は工程内のイ
ンターフェイスとなるローダアンローダステーション８
（図１５参照）側に停止した時点で、前記ファン１２５
の回転が停止される。通常、ローダアンローダステーシ
ョン８では、その上部から下方に向って、ダウン層流が
形成されており（図１５参照）、前記ファン１２５の回
転が停止することで、スマートユニット１の水平層流と
の競合が避られ、乱気流の発生を防ぐことができる。な
お、スマートユニット１がローダアンローダステーショ
ン８側に移載された時点で、ローダアンローダステーシ
ョン８側から電力の供給を受けて、所定時間、ファン１
２５が回転を継続した後、回転を停止するようにしても
よい。ローダアンローダステーション８側への移載後の
ファン１２５の回転時間は、ローダアンローダステーシ
ョン８の環境に応じて自由に設定できる。なお、種々の
ＡＧＶに対応できるように、スマートユニット１自体に
バッテリー等の電源を組込んでもよい。

【００２５】上記のように構成されたＦＦＵ１２は、前
記カセットカバー１１に対し、着脱自在に取付けられ、
同カバー１１及びカセット本体１０を洗浄する際に、Ｆ
ＦＵ１２を前記カセットカバー１１から簡単に着脱でき
るようになっている。この実施形態では、スライド落込
み方式を採用しており、図３に示したように、前記筐体
１２０の吹出面１２３の両サイドの外周には凸状の係止
部１２０ａ，１２０ａが形成されている。一方、前記カ
セットカバー１１の対向面１１１の左右両サイド１１１
ａ，１１１ａには、前記係止部１２０ａ，１２０ａを落
とし込むことができる溝部が形成され、さらに底辺１１
１ｂには支持片が形成されている。よって、前記ＦＦＵ
１２を前記カバー１１の溝部から引抜き、そのまま洗浄
することができ、先述のように、洗浄水はカバー１１の
前記水抜き孔１１３から排水される。

【００２６】その他、脱着方式として、図５に示したク
ランプ方式、ビス止め方式、マグネットキャッチ方式で
もよい。

【００２７】上記構成のスマートユニット１によれば、
ＦＦＵ１２の水平フローにより、カバー１１内は、常に
プラス圧となっており、カセット本体１０がカバー１１
により密閉されていなくともカセット本体１０内のクリ
ーン度を保持できるようになっている。従って、カセッ
ト本体１０とカバー１１とＦＦＵ１２の密閉度は、完全
であることを要しないことから、製造コストを低減させ
ることができる。即ち、密閉ボックスを採用すれば、開
閉用のドアーオープナーが多数台必要となり、コストア
ップとシステムの信頼性が低下し、クリーンルームのス
ペース拡大化を招く。

【００２８】また、図６に示したように、鉛直方向に所
定間隔を開けて配置された基板Ｃ，Ｃ，Ｃ…に対し、水
平フローが電極バターン等の形成される基板面の塵埃を
掃くように流れるので、カセット本体１０内を高クリー
ン度に保つことができる。よって、クラス１０，０００
−０．５μｍのクリーンルーム内で、クラス１０以上の
クリード度を達成することができ、クリーンルームの局
所化にも適合するスマートユニット１を提供することが
できる。

【００２９】また、このスマートユニット１は、クリー
ンルーム内のみならず、クリーンルームから別のクリー
ンルームに基板等を搬送する場合にも有効である。さら
に、液晶工場のみならず、半導体工場、搬送物をクリー
ンな状態で搬送する必要がある場所に全て使用できる。

【００３０】なお、上記実施形態では、カセット本体１
０とカセットカバー１１は別体であるが、カセットカバ
ー１１の内壁に前記柱状部１００，１００，１００…を
形成すれば、一体的に成形することもできる。

【００３１】前記ＡＧＶ２としては、どのような構成の
ものでもよいが、例えばクリーンルーム床面に貼付けら
れたマグネットテープが発生する磁界をコイルでキャッ
チして、オートマチック・ステアリングを行う電磁誘導
式の無人搬送車を用いる。

【００３２】また、この実施形態では、図１のように前
記ＡＧＶ２を小型化し、ローダアンローダステーション
８に潜り込み可能に構成した上で、前記スマートユニッ
ト１を載せるテーブル２０及び前記スマートユニット１
の電極１２９に対応する電極（図示せず）を設けてい
る。このＡＧＶ２では、ローダーアンローダーステーシ
ョン８に潜り込むことができるので、ＡＧＶ２の走行す
る工程間搬送用の通路、工程内搬送用の通路の幅を狭め
ることができる。よってクリーンルーム全体の施工面積
を縮小することができて、この面でクリーンルームの建
築費やランニングコストを低減化することができる。ま
た、従来のように、カセット本体１０の大きさ毎に、別
々のＡＧＶを用いる必要がなくなり、一台のＡＧＶ２
で、各種のスマートユニットを搬送することができる。
さらに、このＡＧＶ２では、ローダーアンローダーステ
ーション８においてスマートユニット１を降ろすだけで
よいので、ＦＦＵを一体化した従来のＡＧＶに比べ、移
載時間を大幅に短縮させることができる。よって、ＡＧ
Ｖ２の稼動率が向上することで、ＡＧＶ自体の台数を減
らすことができる。

【００３３】前記テーブル２０は、昇降及び回転できる
ように構成されており、ローダーアンローダーステーシ
ョンにおける移載動作の円滑化が図られている。またテ
ーブル２０の昇降制御だけであるので、位置決めが簡単
である。

【００３４】前記ＡＧＶ２は、エレベータへの乗込み／
乗降りを容易にする車輪配置とした点、多層階にわたる
ＦＡ化にも対応できるようにした点にも特徴がある。即
ち、前記ＡＧＶ２の車輪は、図７に示したように、三輪
車として、進行方向の前輪２１の一輪駆動車輪（この場
合２２，２３は従動車輪）、或は三輪駆動車輪２１，２
２，２３としている。これは、本願発明の目的であるク
リーンルームの建築費の低減化を達成するための１つの
手段であって、エレベーターを利用した多層階に亘る液
晶生産ラインや半導体生産ラインを構築する場合に、そ
のエレベーターの乗り降りに適したＡＧＶを提供するも
のである。

【００３５】この実施形態に係るＡＧＶ２は、三輪車で
あるので、上述のような従来のＡＧＶの図１９に示した
駆動車輪（ハッチングされた車輪）の空回りがなくな
り、スムーズにエレベーターへの乗り降りが行われる。
図８のような四輪車で、２４，２７の前後２輪の駆動車
輪（この場合２５，２６は従動車輪）、２４乃至２７の
内の３輪又は２４乃至２７の４輪を駆動車輪としても同
様の効果を得ることができる。また、上記図７及び図８
の車輪構成において、駆動車輪の径を従動車輪より大き
くしたり、同じ径でも図１９の従来機より径を大きくし
てもよい。以上のようなＡＧＶ２によれば、多層階に亘
り、ＦＡ化される生産ラインを構築する有効な手段とな
り、クリーンルームの建築費の低減化にも繋がる。

【００３６】多層階に亘るＦＡ化には、ＡＧＶ２の円滑
な乗降りのために、図９に示すようにエレベター３の篭
床３０と乗降階の床４を加工することも有効である。即
ち、図９（イ）乃至（ハ）に示したように、エレベター
３の篭床３０の端部と床４の端部に、それぞれ面取状に
対向するテーパ３１，４０を付ける構成である。篭床３
０が床４と略同一平面状に停止した場合（図９
（イ））、篭床３０が床４より高い位置で停止した場合
（図９（ロ））、逆に篭床３０が床４より低い位置で停
止した場合（図９（ハ））、或はＡＧＶ２の乗込時に篭
３０が沈んでも、前記各テ―パ３１，４０により駆動車
輪の接地面積を広く確保することができ、ＡＧＶ２のス
ムーズな乗降りを助けることになる。

【００３７】その他、図１０のように、エレベターの篭
床３０と床４の隙間を解消する装置を、床４に出没可能
に取付けられ、且つ、バネで付勢されるスペーサ５とこ
のバネのストッパ等から構成し、エレベター３の停止時
に、前記スペーサ５が篭床３０と床４の隙間をうめるよ
うに飛び出すようにしてもよい。この場合、エレベター
の篭床３０には前記テ―パと同様な面取３１を設ける。
また、エレベター３が停止した後、エレベターが床４側
に隙間を縮めるように移動する装置を設けてもよい。

【００３８】さらに、図１２のように床４側に回転式の
渡板６を設け、エレベターが停止した後に、その渡板６
を回転させて、隙間に渡し、ＡＧＶ２を乗り込み易くし
てもよい。

【００３９】次に、前記ＡＧＶ２に対する制御方法を説
明する。前記ＡＧＶ２は、図１３に示したようなＣＩＭ
（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｍａｎｕ
ｆａｃｔｕｒｉｎｇ）システムによって運用されてい
る。このＣＩＭシステムは、ホストコンピュータ７に接
続された生産制御装置７０と、この生産制御装置７０に
ラン接続された工程間搬送制御装置７１と、各工程を処
理する例えば、透明電極膜被着制御装置７２、露光処理
制御装置７３、エッチング処理制御装置７４、液晶セル
組立制御装置７５と、前記工程間搬送制御装置７１にラ
ン接続されたクリーンストッカー制御装置７１Ａ，７１
Ｂと、自動搬送装置制御装置７１Ｃと、各工程の各制御
装置７２〜７５にてラン接続された工程内搬送用制御装
置７６と、真空蒸着装置制御装置７７と、洗浄機制御装
置７８等からなる。

【００４０】このＣＩＭシステムにより、前記ＡＧＶ２
への指示は、生産計画を管理する前記生産制御装置７０
を通じ前記工程間搬送制御装置７１や工程内搬送用制御
装置７６に伝えられる。そして、前記工程間搬送制御装
置７１は、有軌道空間走行車等の自動搬送装置、クリー
ンストッカー、基板移載ロボット等をコントロールす
る。また、前記工程内搬送用制御装置７６は、各工程の
制御装置７２乃至７５等の搬送指示に基づき、前記ＡＧ
Ｖ２を制御する。

【００４１】例えば、図１４のように工程間のステーシ
ョン７９Ａで搬送物が発生すれば、前記自動搬送装置制
御装置７１Ｃの光伝送装置７１０により、空荷で通過中
のＡＧＶ２に呼込みをかけて、そのＡＧＶ２に前記スマ
ートユニット１等の搬送物を積込むことかできる。そし
て、ＡＧＶ２が行先を記憶して自動走行し、目的のステ
ーション７９Ｂに搬送物を受渡すと同時に、光伝送装置
７１０により、前記自動搬送装置制御装置７１Ｃ及び工
程間搬送制御装置７１を通じて、生産制御装置７０に搬
送完了の信号を送信する。

【００４２】工程内搬送では、各工程の制御装置７２〜
７５の要求に基づき、工程内搬送用制御装置７６がＡＧ
Ｖに前記スマートユニット１を搭載させて、要求された
ロードアンロードステーション８に向けて前記スマート
ユニット１を搬送する。

【００４３】この場合、ＡＧＶ２の進行方向に対して、
ＦＦＵ１２を前方に、開口面１１０を後方に位置させて
走行させることが望ましい。これは水平フローの有効性
を確保するためである。

【００４４】目的の各工程のロードアンロードステーシ
ョン８前に到着したＡＧＶ２は、図１５に示したよう
に、スマートユニット１の開口面１１０をステーション
側に向け、テーブル２０を上昇させる。そして、例え
ば、テーブル２０に設けられた２条の凹部とスマートユ
ニット１の底面間に、ステーション８に設けられたフォ
ークを差込みつつ、前記ＡＧＶ２を潜込ませて、駐車さ
せる。そして、前記工程内搬送用制御装置７６の司令に
基づき、テーブル２０を下降させて前記スマートユニッ
ト１をステーション側に載せる。その後、工程内搬送用
制御装置７６の司令に基づき、移載ロボット８０が基板
を一枚毎にプロセス装置側に移し、枚葉処理が開始され
る。

【００４５】前記ＡＧＶ２をエレベータに乗降りさせる
場合の制御は、前記駆動車輪に対する駆動制御手段を備
え、且つ、この制御手段に接続されるとともに、ＡＧＶ
２に搭載された赤外線通信機（赤外線送受信装置）９
と、建物本体或はエレベータ３内に設置され、且つ、前
記工程間搬送制御装置７１又は前記工程内搬送用制御装
置７６に接続された赤外線通信機９を介して、前記ＣＩ
Ｍシステムによって行う。

【００４６】最後に、上記スマートユニット１、ＡＧＶ
２を用いることによるコスト面の効果を表１に基づいて
説明する。この表１は、図１７に示した液晶工場を現状
のモデルとして、作成したものである。また、同表中の
ＡＧＶ通路幅の削減率は、図１８（イ）に示した現状の
工場に必要な通路幅と、同図（ロ）のローダアンローダ
ステーション８に潜り込み可能な前記ＡＧＶを用いた場
合の通路幅の比較を根拠とするものである。

【表１】

【００４７】この表１から明らかなように、上記スマー
トユニット１、ＡＧＶ２を用いて算定したコスト削減率
は、約５７パーセントであった。

【００４８】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、ファン
フィルタユニットにより、カセットカバーの一面から開
口面に向けて清浄な空気等の水平層流が形成されるの
で、被搬送物を常に無塵状態に維持することができる。
また、本発明に係るカセット用ボックスでは、前記開口
面から、被搬送物を出し入れだるので、開閉用のドアー
オープナーが不要であり、その分、コストダウンが図ら
れる。さらに、ドアーオープナーが不要となるので、ド
アーオープナーの保守管理等も不要となり、システムの
信頼性が向上するし、クリーンルームのスペース拡大化
を招くこともない。また、ファンフィルタユニットを迅
速に取外して、カセット本体とカセットカバーを洗浄す
ることができる。

【００４９】請求項２に記載の発明によれば、洗浄水が
水抜き孔から排水されるので、洗浄作業が容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施形態に係るカセット用ボックスとＡＧＶ
の斜視図、

【図２】 実施形態に係るカセット用ボックスの斜視
図、

【図３】 実施形態に係るカセット用ボックスの分解斜
視図、

【図４】 （イ）乃至（ハ）は、前記カセット用ボック
スを構成するファンフィルタユニットの構成例図、

【図５】 実施形態に係るカセット用ボックスであっ
て、別例の構成図、

【図６】 実施形態に係るカセット用ボックスの要部断
面図、

【図７】 実施形態に係るＡＧＶの車輪配置図、

【図８】 実施形態に係るＡＧＶの車輪配置図、

【図９】 （イ）乃至（ハ）は、同ＡＧＶのエレベータ
への乗込説明図、

【図１０】 同ＡＧＶのエレベータへの乗込説明図、

【図１１】 同ＡＧＶのエレベータへの乗込説明図、

【図１２】 同ＡＧＶのエレベータへの乗込説明図、

【図１３】 実施形態に係るＣＩＭシステムの構成例
図、

【図１４】 実施形態に係るＣＩＭシステムの構成例
図、

【図１５】 実施形態に係るＣＩＭシステムの構成例
図、

【図１６】 実施形態に係るＣＩＭシステムの構成例
図、

【図１７】 現状の液晶工場のレイアウト図、

【図１８】 （イ）は従来の液晶工場の通路レイアウト
図、（ロ）は本願発明に係る液晶工場の通路レイアウト
図、

【図１９】 従来のＡＧＶの車輪構成図。

【符号の説明】

１ スマートユニット ２ ＡＧＶ １０ カセット本体 １１ カセッ
トカバー １２ ＦＦＵ １００ 柱状材 １１０ 開口面 １１１ 対向面 １１２ 底面 １１３ 水抜き孔 １２０ 筐体 １２１ 吸込面 １２２ エア
ー吸込口 １２３ 吹出面 １２４ へ
パフィルタ １２５ ファン １２６ パン
チングメタル １２７ エアガイド １２８ 筐
体底面 １２９ 電極 １２０ａ，１
２０ａ 係止部 １１１ａ，１１１ａ 左右両サイド １１１ｂ 底
辺 ２０ テーブル ２１ 乃至２７ 車輪 ３ エレベター ３０ 篭床 ４ 床４ ３１，４０
テーパ ５ スペーサ ６ 渡板 ７０ 生産制御装置 ７１ 工程間
搬送制御装置 ７２ 透明電極膜被着制御装置 ７３ 露光処
理制御装置 ７４ エッチング処理制御装置 ７５ 液晶セ
ル組立制御装置 ７１Ａ，７１Ｂ クリーンストッカー制御装置 ７１Ｃ 自動搬送装置制御装置 ７６ 工程内
搬送用制御装置 ７７ 真空蒸着装置制御装置 ７８ 洗浄機
制御装置 ７９Ａ ステーションで ７１０ 光伝
送装置 ８ ロードアンロードステーション ８０ 移載ロボット ９ 赤外線通信機

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平11−322068（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−175426（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−243199（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−274282（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−37628（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−207944（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−96348（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−225547（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−39710（ＪＰ，Ｕ) 国際公開99／028968（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68 G65G 49/00 G65G 49/06 G65G 49/07

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 自動搬送装置により搬送されるカセット
   用ボックスであって、 被搬送物を収容するカセット本体と、この本体をカバー
   するカセットカバーと、このカバーの一面に取付けられ
   たファンフィルタユニットから前記カセット用ボックス
   を構成し、 前記カセット本体は、前記被搬送物を所定間隔にて鉛直
   方向に積層するように配置し且つ重量軽減のため柱状材
   を組合わせて構成され、 前記カセットカバーは、開口面及び前記一面としての対
   向面を除き、前記カセット本体の４面を覆い、前記ファ
   ンフィルタユニットを前記一面にフィットさせるように
   位置させ、前記ファンフィルタユニットにより、カセッ
   トカバーの前記一面から前記開口面に向けて、水平層流
   を形成すると共に、前記自動搬送装置の進行方向に対し
   て、前記ファンフィルタユニットを前方に、前記開口面
   を後方に位置させ、 且つ、前記ファンフィルタユニット筐体の吹出面の両サ
   イドの外周には凸状の係止部を形成し、一方、前記カセ
   ットカバーの対向面の左右両サイドには、前記係止部を
   落とし込む溝部が形成され、底辺には支持片が形成さ
   れ、前記ファンフィルタユニットは、カセットカバーに
   対して着脱自在に構成されていることを特徴とするカセ
   ット用ボックス。
2. 【請求項２】 前記カセットカバーの底面には水抜き孔
   が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のカ
   セット用ボックス。