JP2003309162A - 無人搬送車システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 巨大な空間をクリーンルームとする製造工程
においては、工程内全体の空気の清浄度を高めることは
困難であるため、無人搬送車の荷台や処理装置などを空
気清浄度が高い密閉空間とする方法が検討されている
が、無人搬送車に移載装置を搭載している場合、無人搬
送車を空気清浄度が高い密閉空間とするのは困難であ
る。また移載装置の分だけ無人搬送車の重量が増大す
る。 【解決手段】 無人搬送車１にフィルターファンユニッ
ト９を備えた局所クリーン庫６を設け、その内部の荷台
８に搬送物１０を載置し、処理装置１６側には液晶板１
１を移載する枚葉移載装置１９を備え、前記局所クリー
ン庫側扉７と、処理装置側扉１８とが対向するように、
無人搬送車を処理装置に密着・固定する搬送物係合機構
２５を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶パネ
ルなどを搬送する無人搬送車システムの構成に関する。
より詳細には、無人搬送車および処理装置の内部を空気
の清浄度が高いミニエンバイロンメントとし、搬送物が
清浄度の低い空気に触れないようにミニエンバイロンメ
ント間で移載する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶板などの大型板材を取り扱う
無人搬送車システムの多くは、クリーンルーム化された
工程内でオープンカセットに複数の液晶板を収納し、移
載装置が搭載された無人搬送車によりオープンカセット
を搬送する。そして、該移載装置により、処理装置に隣
接して設置された移載ステーションの所定の位置にオー
プンカセットを載置し、処理装置側に設けられた枚葉移
載装置で処理装置内に液晶板を一枚ずつ移載する。ある
いは無人搬送車に枚葉移載装置を搭載して、無人搬送車
の荷台に載置されたオープンカセットより液晶板を一枚
ずつ取り出し、処理装置に直接移載するものも検討され
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】オープンカセットに収
納して液晶板を搬送する方法では以下のような問題が起
こっている。すなわち、無人搬送車システムで取り扱う
搬送物である半導体ウエハや液晶板が大面積化すること
により生産性が向上する反面、その表面に空気中の微小
な塵挨が付着することによる製造歩留低下のリスクが大
きくなる。従って、クリーンルーム内の空気の清浄度は
より高いレベルが要求される傾向にある。しかし、巨大
な空間をクリーンルームとする製造工程においては、該
工程内全体の空気の清浄度を高めることは困難であると
ともに、クリーンルームの設備費・維持費の観点から見
ても好ましくない。そこで、無人搬送車の荷台や処理装
置などを密閉容器とし、該密閉容器内の空気のみを常に
高い清浄度に維持し（以後内部の空気を高い清浄度に維
持した小規模の密閉空間を「ミニエンバイロンメント」
と呼ぶことにする）、該密閉容器間で搬送物を移載する
方法が検討されている。しかし、従来の無人搬送車シス
テムに前記のようなミニエンバイロンメント間の移載を
行わせるには、次のような問題がある。

【０００４】第一に、高清浄度のミニエンバイロンメン
トを達成するには、無人搬送車にフィルターファンユニ
ット（以下「ＦＦＵ」と呼ぶ）を搭載し、無人搬送車側
の密閉容器内の空気を該ＦＦＵで循環処理する必要があ
るが、無人搬送車に搭載されている移載装置または枚葉
移載装置自身も密閉容器内に収納されなければならな
い。この場合、移載装置の動作等を考慮すると、無人搬
送車に設けられる密閉容器は非常に大きなものとなり、
無人搬送車が大型化してクリーンルーム内に占める搬送
経路の割合が大きくなってしまう上、メンテナンス性が
著しく損なわれる。また、従来から無人搬送車に移載装
置を搭載することは無人搬送車の大重量化を招いてい
た。しかも、移載装置の先端に搬送物を固定して伸ばし
たときに無人搬送車が転倒しないように、場合によって
は無人搬送車にウェイトを積載していた。これは排風経
路としても利用される、グレーチング床と呼ばれるクリ
ーンルームの床面強度から計算される搬送物の最大積載
量を減少させる要因の一つとなっていた。このような無
人搬送車にＦＦＵを搭載するとなれば搬送物の最大積載
量は更に減少してしまう。本発明は以上のような状況に
鑑み、搬送物の大面積化・大重量化に対応して、ミニエ
ンバイロンメント間の移載が容易で、かつ無人搬送車の
軽量化を可能とし、結果として搬送コストが低く、搬送
能力が大きい無人搬送車システムを提供するものであ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとす
る課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するた
めの手段を説明する。

【０００６】即ち、請求項１においては、フィルターフ
ァンユニットと扉とを備えた局所クリーン庫を備えて搬
送物を該局所クリーン庫に収納して床上を走行する無人
搬送車と、搬送物を処理する処理装置とを備えた無人搬
送車システムであって、処理装置と無人搬送車とを密着
・固定する係合手段と、密着・固定した状態で無人搬送
車を停車させる駐車スペースとが設けられ、処理装置に
は、無人搬送車が密着・固定した状態で局所クリーン庫
の扉と重なる位置に配置される装置側扉と、局所クリー
ン庫内の搬送物を移載する移載装置とが設けられている
ものである。

【０００７】請求項２においては、局所クリーン庫の扉
がクリーン庫に対して着脱自在になされているものであ
る。

【０００８】請求項３においては、局所クリーン庫の扉
と装置側扉とは、密着させた状態で一体的に着脱自在に
構成され、処理装置には、局所クリーン庫の扉と装置側
扉とを密着させた状態で処理装置内に引き込むとともに
収納する扉開閉機構が設けられているものである。

【０００９】

【発明の実施の形態】次に、発明の実施の形態を説明す
る。図１は本実施例の無人搬送車の右側面図、図２は搬
送物の斜視図、図３は本実施例の無人搬送車システムの
全体構成を示す斜視図、図４は無人搬送車と移載エリア
とが密着固定されたときの側面一部断面図、図５は局所
クリーン庫側扉を示す斜視図である。

【００１０】本実施例の無人搬送車システムについて図
１から図５を用いて説明する。なお、以下の本実施例に
おいては、液晶パネル製造工程について説明するが、他
の板状の搬送物（半導体ウエハなど）にも応用可能であ
って限定されるものではない。

【００１１】まず図１にて無人搬送車１の説明を行う。
なお、以下の説明では図１中の矢印Ａの方向を無人搬送
車１の走行方向（前方）とする。本発明の無人搬送車１
は、本体２の上面後端に制御部３が設けられ、該制御部
３より上方にレーザー誘導システム４が突設される。該
レーザー誘導システム４により無人搬送車１は工程内各
所に配設された反射板２３・２３・・・（図３に図示）
を検知し、制御部２５にて、該制御部２５に予め記憶さ
れている走行経路地図と、該検知データとを基に無軌道
の床面を走行するようになっている。制御部２５では、
走行経路地図と、検知データとから現在位置を認識し、
例えば、走行経路地図に沿うように駆動輪のステアリン
グ方向を制御して走行方向を補正するとともに、駆動輪
に設けられているエンコーダの値を所定位置毎にリセッ
トして走行距離を修正しながら、走行経路地図に沿って
目的位置まで無人搬送車を案内するように制御してい
る。本体２には走行輪５・５・・・が回転自在に支持さ
れ、駆動モータ（図示せず）により走行輪５の一部また
は全部を駆動する。

【００１２】無人搬送車１の本体２の上面前部には局所
クリーン庫６が設けられ、該局所クリーン庫６の前面に
は、開放時に搬送物を通過可能な開口を形成し、閉鎖時
に外気を遮断可能な局所クリーン庫側扉７が設けられ、
局所クリーン庫６の内部には昇降機構などの動作部を持
たない荷台８が設けられる。前記局所クリーン庫側扉７
の詳細については後述する。制御部３と局所クリーン庫
６の間にはフィルターファンユニット（以下「ＦＦＵ」
という）９が設けられ、局所クリーン庫側扉７の閉鎖時
に局所クリーン庫６内の空気をファン（図示せず）でＦ
ＦＵ９側に吸引し、フィルター（図示せず）を通過させ
て清浄度を高めたのち局所クリーン庫６内に戻すことに
より、局所クリーン庫６内を高清浄度のミニエンバイロ
ンメントとしている。ＦＦＵ９の動作は制御部３により
制御されている。なお、工程内の空気をＦＦＵ９が吸
引、除塵して局所クリーン庫６内に供給し、局所クリー
ン庫６に穿設された排風孔（図示せず）より排風する方
式としても良い。

【００１３】次に、図２を用いて搬送物１０の説明を行
う。無人搬送車１により搬送される搬送物１０は液晶板
１１・１１・・・が収納されたオープンカセット１２で
あり、オープンカセット１２の内部左右側壁には、液晶
板１１の左右端部を支持する左右一対の棚１３・１３・
・・が多数段形成され、多数枚の液晶板１１・１１・・
・を互いに接触させずに搬送可能な構成としている。ま
た無人搬送車１で搬送する際には、図１に示すように、
オープンカセット１２の開口部１２ａが無人搬送車１の
前方を向くように局所クリーン庫６内の荷台８上に配置
する。

【００１４】続いて、本実施例の無人搬送車システムの
全体構成について、図３および図４を用いて説明する。
クリーンルーム床面に設置される処理装置１６は液晶パ
ネル製造工程における検査装置や製造装置、あるいは自
動倉庫などであり、移載エリア１５が隣接して設置され
る。処理装置１６および移載エリア１５は筐体で覆われ
るとともに、図示せぬフィルターファンユニットを備
え、処理装置１６の内部および移載エリア１５の内部を
ミニエンバイロンメントとすることが可能である。移載
エリア１５はその前面１５ａが無人搬送車１の走行経路
である走行レーン１４に面しており、該前面１５ａには
無人搬送車１を誘導するための反射板２３・２３・・・
および装置側扉１８・１８・・・が複数設けられる。装
置側扉１８の詳細については後述する。そして、移載エ
リア１５内部には、走行レーン１４に沿って平行に移動
可能なトラバーサ２４と、昇降・旋回機構を有する本体
２０と、伸縮可能なアーム２１と、液晶板１１を取り出
すためのピンセット２２とを備えた枚葉移載装置１９が
設けられる。

【００１５】無人搬送車１は、物品搬送時には、搬送物
１０（オープンカセット１２に液晶板１１・１１・・・
が収納されたもの）が、その開口部１２ａを無人搬送車
１の前方に向けるように荷台８に載置され、局所クリー
ン庫側扉７を閉鎖してＦＦＵ９を作動させ、局所クリー
ン庫６内の空気を高清浄度に維持しつつ、走行レーン１
４を走行する。そして、無人搬送車１はクリーンルーム
の各所、移載エリア１５および処理装置１６の壁面各所
に適宜設けられた反射板２３・２３・・・（本実施例に
おいては移載エリア１５の前面１５ａに設けられる）を
レーザー誘導システム４にて検知して現在の走行位置を
把握する。そして、移載エリア１５の前面１５ａに隣接
する走行レーン１４、および走行レーン１４を挟んで移
載エリア１５の前面１５ａの反対側に設けられる回避レ
ーン１７にて旋回し、局所クリーン庫側扉７と、移載エ
リア１５の前面１５ａに設けられた装置側扉１８とが密
着するように移動して走行レーン１４に停車する。走行
レーン１４は、無人搬送車１の走行経路と、無人搬送車
１が処理装置１６に密着・固定した状態で停止する際の
駐車スペースとを兼ねている。回避レーン１７は搬送物
１０を搬送中の無人搬送車１が旋回したり、あるいは図
３中の処理装置１６に液晶板１１を移載中の無人搬送車
１が停車しているときに、該処理装置１６を素通りして
別の処理装置（図示せず）などに向かう別の無人搬送車
１の走行経路として利用可能に構成される。なお、本実
施例では走行レーン１４に沿って処理装置１６が設けら
れ、移載中の無人搬送車１を回避するために走行レーン
１４から分岐する回避レーン（分岐レーン）１７が設け
られているが、走行レーン１４から分岐する分岐レーン
を設け、分岐レーンに沿って処理装置１６を設けるよう
にしても良い。このレイアウトにすると、速度を落とす
ことなく移載中の無人搬送車１を追い越すことができ
る。また、本実施例では、無人搬送車の誘導方式を、施
工やレイアウト変更等が容易なレーザー誘導方式として
いるが、床面に敷設された磁気テープに沿って走行する
磁気誘導方式や、床面に敷設された反射テープに沿って
走行する光誘導方式でも良い。

【００１６】以下では本発明の要部である、無人搬送車
１から処理装置１６への液晶板１１の移載作業について
説明する。ミニエンバイロンメントとした無人搬送車１
の局所クリーン庫６と、同じくミニエンバイロンメント
とした処理装置１６および移載エリア１５との間で、外
気（ここでは、ミニエンバイロンメント内の空気と比較
して清浄度が低いクリーンルーム内の空気を指す）に触
れることなく液晶板１１を移載するためには、まず、無
人搬送車１を移載エリア１５に対して所定の位置に固定
し、局所クリーン庫側扉７と移載エリア１５の装置側扉
１８とを密着させ、かつ該密着部周囲よりミニエンバイ
ロンメント内に外気が流入しない手段を講じた上で局所
クリーン庫側扉７および装置側扉１８を開放し、移載エ
リア１５側から局所クリーン庫６内に枚葉移載装置１９
のピンセット２２を進入させ、該ピンセット２２に液晶
板１１を固定して取り出し、処理装置１６内に移載する
という一連の作業が円滑に行われる必要がある。

【００１７】前述した無人搬送車１を移載エリア１５に
対して所定の位置に固定し、局所クリーン庫側扉７と移
載エリア１５の装置側扉１８とを密着させる手段である
搬送車係合機構２５について図３および図４を用いて説
明する。

【００１８】前記搬送車係合機構２５は主に、移載エリ
ア１５の前面１５ａの内面に設けられたフック動作部２
６、係合フック２７、フック孔３９および無人搬送車１
の前面に設けられた係合孔２８からなる。図４に示すよ
うに、係合フック２７は側面視略Ｌ字型であり、枢着部
２７ａ、胴体部２７ｂおよび当接部２７ｃからなる。係
合フック２７は枢着部２７ａにてフック動作部２６に回
動可能に、かつ枢着部２７ａが無人搬送車１を移載エリ
ア１５側へに引き寄せる方向に進退可能に枢着される。
係合フック２７は、使用しないときは凹部２６ａに収納
されて移載エリア１５の前面１５ａから突出しない位置
（立設姿勢）にあり、無人搬送車１を移載エリア１５に
対して固定するときは、フック動作部２６により前記立
設姿勢から無人搬送車１の方へ略９０度回動し、移載エ
リア１５の前面１５ａに穿設されたフック孔３９より突
出する。そして、無人搬送車１の前面に設けられた係合
孔２８に胴体部２７ｂの先端より突設される当接部２７
ｃがはまり込む。このとき、当接部２７ｃは床面に対し
て水平な姿勢となる胴体部２７ｂの先端より下向きに突
出し、該当接部２７ｃが係合孔２８の下部より上方に突
設された係合部２８ａと係合する。さらに係合フック２
７はフック動作部２６により無人搬送車１を移載エリア
１５側に引き寄せる方向に移動し、当接部２７ｃと係合
部２８ａとは係合孔２８内で強く当接して、無人搬送車
１と移載エリア１５とを所定の位置で固定する。フック
動作部２６はモータやエアーシリンダーなどのアクチュ
エータで構成される。なお、搬送車係合機構２５の構成
については、本実施例では移載エリア１５側にフック動
作部２６と係合フック２７を設け、無人搬送車１側に係
合孔２８を設ける構成としたが、フック動作部と係合フ
ックを無人搬送車に設け、移載エリア側に係合孔を設け
る構成としても同様の効果を奏する。ただし、無人搬送
車の軽量化の観点からは、本実施例の如くフック動作部
２６が移載エリア１５側に設けられる構成とするのが好
ましい。また、搬送車係合機構２５の構造については、
本実施例に限られず、無人搬送車１と移載エリア１５と
を密着固定可能な構造であればよい。

【００１９】続いて、局所クリーン庫側扉７と移載エリ
ア１５の装置側扉１８とを密着させ、かつ該密着部周囲
よりミニエンバイロンメント内に外気が流入しない手段
を講じた上で局所クリーン庫側扉７および装置側扉１８
を開放する方法について、図３から図５を用いて説明す
る。

【００２０】図４に示すように、搬送車係合機構２５に
より無人搬送車１と移載エリア１５とを固定したとき
に、無人搬送車１の前面に設けられた局所クリーン庫側
扉７と、移載エリア１５の前面１５ａに設けられた装置
側扉１８とが対向かつ密着する。局所クリーン庫６の前
面の外縁部６ａはＯリングやゴムパッキンなど弾性材料
からなるリング状部材であり、搬送車係合機構２５によ
り無人搬送車１と移載エリア１５とが固定されたとき
に、該外縁部６ａは弾性変形して外気の流入を防止す
る。なお外縁部６ａを移載エリア１５の前面１５ａ側に
設けても同様の効果を奏する。

【００２１】図５に示すように、局所クリーン庫側扉７
は主にケース２９、外蓋３０、および左右一対のロック
機構３１Ｒ・３１Ｌからなる。ロック機構３１Ｒ・３１
Ｌとは略同じ構成であり、ディスク３３、ロッド３４・
３４、ロックバー３５・３５、ツマミ部３７および凹部
３８からなる。

【００２２】ケース２９は内部が中空の箱形状であり、
装置側扉１８と密着する面となる外蓋３０をネジ止め可
能に構成している。また、ケース２９内部には一対のロ
ック機構３１Ｒ・３１Ｌが設けられており、外蓋３０に
はディスク３３・３３と対面する位置に操作孔３２Ｒ・
３２Ｌが穿設され、装置側扉１８側からロック機構３１
Ｒ・３１Ｌを操作することが可能である。なお、図５で
はロック機構３１Ｒは局所クリーン庫側扉７を局所クリ
ーン庫６から外すときの配置（以後この状態を「アンロ
ック状態」と呼ぶ）とし、ロック機構３１Ｌは局所クリ
ーン庫側扉７を局所クリーン庫６に固定するときの配置
（以後この状態を「ロック状態」と呼ぶ）としている。

【００２３】ディスク３３はケース２９の内壁面２９ａ
に回転可能に軸支される。一対のロッド３４・３４は、
その一端がディスク３３の平面部上で、かつディスク３
３の回転軸から離れた位置に回動可能に軸支され、他端
がロックバー３５の一端に回動可能に軸支される。ま
た、一対のロッド３４・３４のディスク３３上における
軸支位置は、ディスク３３の回転軸に対して点対称で、
かつアンロック状態のときにディスク３３の回転軸の左
右に来るように構成される。ロックバー３５・３５は、
ロッド３４が軸支されている側の反対側の先端が、ケー
ス２９の上面および下面に設けられた突出口３６・３６
に上下方向に摺動可能に挿入されており、アンロック状
態ではロックバー３５がケース２９の外側に突出しない
ように構成される。さらに、ディスク３３の平面部の中
心からディスク３３の回転軸方向（すなわち、外蓋３０
に向かって）に操作ツマミ３７が突設される。操作ツマ
ミ３７の外形は直方体状であり、図５中のロック機構３
１Ｒのようにアンロック状態のときに下向きとなる側面
部に側面視凹型の切欠きが設けられ、該切欠きが凹部３
８となる。また、図４に示すように操作ツマミ３７・３
７の先端部は、外蓋３０に穿設された操作孔３２Ｒ・３
２Ｌより装置側扉１８の方へ突出するように構成され
る。

【００２４】このように構成することにより、図５中の
ロック機構３１Ｒの操作ツマミ３７を半時計回りに９０
度回転させると、ロック機構３１Ｒのディスク３３も同
様に半時計回りに９０度回転し、図５中のロック機構３
１Ｌと同じ状態になる。すなわち、ロッド３４・３４の
ディスク３３上における軸支位置は、ディスク３３の回
転軸に対して点対称で、かつディスク３３の回転軸の上
下に位置する。その結果、ディスク３３の上下に位置す
るロックバー３５・３５は、それぞれケース２９の上面
および下面に設けられた突出口３６・３６より先端が突
出するように摺動する。そして、図４に示すように、局
所クリーン庫６の開口部で、局所クリーン庫側扉７を該
開口部に固定するときに突出口３６・３６・・・と対向
する部位には、該突出口３６より突出したロックバー３
５・３５・・・の先端部がはまり込むロック孔６ｂ・６
ｂ・・・が穿設されるとともに、ケース２９と当接する
部位にはＯリング６ｃが設けられる。従って、ロック状
態では局所クリーン庫６から局所クリーン庫側扉７が脱
落せず、局所クリーン庫６に外気が流入しない。

【００２５】一方、図４に示すように、装置側扉１８は
主に胴体４０、操作ディスク４１、操作モータ４２、係
合体４３、Ｏリング４４などからなる。

【００２６】胴体４０は移載エリア１５を閉鎖している
ときに、局所クリーン庫側扉７と対向する面が局所クリ
ーン庫側扉７の外蓋３０と密着するとともに、移載エリ
ア１５の前面１５ａ内壁と当接する部位にはＯリング４
４が設けられ、移載エリア１５内に外気が流入しない構
成となっている。操作ディスク４１は外形が円柱形状で
あり、その上下平面の中心を結ぶ軸がディスク３３の回
転軸（すなわちツマミ部３７の回転軸）と一直線となる
ように、前記胴体４０の局所クリーン庫側扉７と対向す
る面に回転可能に嵌挿される。また操作ディスク４１に
は局所クリーン庫側扉７と装置側扉１８とが密着したと
きにツマミ部３７を受容する、該ツマミ部３７と略同形
状の受容孔４１ａが穿設される。そして操作ディスク４
１は操作モータ４２を駆動源として回転動作するように
構成される。さらに、操作ディスク４１がツマミ部３７
を受容したときに、ツマミ部３７の凹部３８と対面する
受容孔４１ａ側面には係合体４３が設けられる。該係合
体３７には、受容孔４１ａ内側に突出して凹部３８と係
合してツマミ部３７が受容孔４１ａから外れないよう
に、または受容孔４１ａから退避してツマミ部３７が受
容孔４１ａから外れるように動作させるアクチュエータ
（図示せず）が備えられる。上記操作ディスク４１、受
容孔４１ａ、操作モータ４２、係合体４３など、ロック
機構３１Ｒ・３１Ｌを操作するとともに、局所クリーン
庫側扉７と装置側扉１８とを係合固定する部位を総称し
て操作機構４５と呼ぶ。

【００２７】上記の如く局所クリーン庫側扉７および装
置側扉１８を構成することにより、操作機構４５を作動
させて、ツマミ部３７が受容孔４１ａに嵌合している状
態で、操作ディスク４１を移載エリア１５内部から見て
（図４中の矢印Ｂの方向に見て）時計回りに９０度回転
させると、ロック状態にあるロック機構３１Ｒ・３１Ｌ
はアンロック状態となる。そして、係合体４３をツマミ
部３７の凹部３８に係合させた状態で扉開閉機構（図示
せず）を作動させ、局所クリーン庫側扉７と装置側扉１
８とが一体となって移載エリア１５内（図４中の点線
部）に収納される。このとき、外縁部６ａにより局所ク
リーン庫６および移載エリア１５には外気が流入せず、
局所クリーン庫６、移載エリア１５および処理装置１６
内の空気の清浄度を維持した状態で液晶板１１・１１・
・・の移載が可能となる。

【００２８】続いて、移載エリア１５に配置される枚葉
移載装置１９により、無人搬送車１の荷台８に載置され
たオープンカセット１２内の液晶板１１・１１・・・は
一枚ずつ取り出され、処理装置１６内に直接移載され
る。液晶板１１・１１・・・の移載作業完了後、局所ク
リーン庫側扉７および装置側扉１８は再び閉じられ、無
人搬送車１は旋回して走行レーン１４に復帰する。

【００２９】なお、局所クリーン庫側扉７および装置側
扉１８の構造は、本実施例に限定されるものではなく、
装置側扉１８側からロック状態とアンロック状態を変更
でき、装置側扉１８と一体化して開放されるものであれ
ばよい。また、装置側扉１８と局所クリーン庫側扉７と
が一体化せずとも、例えば装置側扉１８と局所クリーン
庫側扉７とが対面する位置で無人搬送車１前面と移載エ
リア１５壁面を密着後、装置側扉１８が移載エリア１５
内に、局所クリーン庫側扉７が無人搬送車１内にそれぞ
れ収納される構造でも良い。また、局所クリーン庫側扉
７および装置側扉１８を巻き上げロール式の扉としても
良い。要は、外気が流入することなく、局所クリーン庫
６内の液晶板１１・１１・・・を処理装置１６に移載可
能な構造であれば良い。

【００３０】外気の流入を防止する手段としては、局所
クリーン庫６内部、および移載エリア１５内部の気圧を
外気圧より高くする、または前記外縁部６ａの弾性材料
などと前記内部気圧上昇を組み合わせることも考えられ
る。

【００３１】また、本実施例では搬送物１０であるオー
プンカセット１２内に収納された液晶板１１・１１・・
・を枚葉移載装置１９により一枚ずつ処理装置１６に移
載する構成としたが、搬送物１０そのものを処理装置１
６内に移載してもよく、あるいは搬送物１０のオープン
カセットに蓋を設け、密閉式の搬送物としてもよい。

【００３２】クリーンルーム内の空気の清浄度が十分に
高い状態に維持するのが容易な場合や、クリーンルーム
内の空気の清浄度と、処理装置１６および移載エリア１
５内の空気の清浄度とが同じでも良い場合は、本実施例
の無人搬送車１に搭載されている局所クリーン庫６およ
びＦＦＵ９を省略し、移載エリア１５および処理装置１
６内の図示せぬ空気浄化装置や装置側扉１８などを省略
しても同様の効果を奏する。

【００３３】本実施例では、無人搬送車１の前部に局所
クリーン庫６が配置され、無人搬送車１の前面に局所ク
リーン庫側扉７、および搬送車係合機構２５の係合孔２
８を設けたが、これらを無人搬送車の後面に設ける構成
としても良い。要は無人搬送車の走行手段（本実施例で
は走行輪５・５・・・）により移載エリア１５に設けら
れた装置側扉１８と局所クリーン庫側扉７とが容易に密
着できるように構成されていれば良い。

【００３４】以上のように構成することにより、本発明
の無人搬送車システムは従来の無人搬送車システムと比
較して、次のような利点がある。第一に、従来の無人搬
送車システムでは困難であったミニエンバイロンメント
間の移載が容易になり、製造工程全体のクリーン度を上
げずとも大面積の液晶板等を取り扱うことが可能とな
る。第二に、従来の無人搬送車に搭載されていた移載装
置を省略したので無人搬送車の軽量化が可能である。

【００３５】

【発明の効果】本発明は、以上のように構成したので、
以下に示すような効果を奏する。

【００３６】即ち、請求項１に示す如く、フィルターフ
ァンユニットと扉とを備えた局所クリーン庫を備えて搬
送物を該局所クリーン庫に収納して床上を走行する無人
搬送車と、搬送物を処理する処理装置とを備えた無人搬
送車システムであって、処理装置と無人搬送車とを密着
・固定する係合手段と、密着・固定した状態で無人搬送
車を停車させる駐車スペースとが設けられ、処理装置に
は、無人搬送車が密着・固定した状態で局所クリーン庫
の扉と重なる位置に配置される装置側扉と、局所クリー
ン庫内の搬送物を移載する移載装置とが設けられている
ので、局所クリーン庫と処理装置とを密着・固定させた
状態で移載するため、搬送物を局所クリーン庫と処理装
置との間で容易に移載することができる。その際に、処
理装置に設けた移載装置で移載することにより、従来、
処理装置に設けられていた移載ステーションを無くすこ
とができるとともに、移載ステーションに物品を移載す
るために無人搬送車に必要であった移載装置や昇降装
置、そして移載中の転倒を防止するウェイト等の大重量
の装置が不要となる。このため、処理装置を小型化する
ことができ、ミニエンバイロンメントにする面積を削減
することができるとともに、無人搬送車を軽量化するこ
とができ、軽量化の分だけ搬送物の重量を増やす（搬送
物のサイズを大型化する）ことが可能になる。この結
果、搬送にかかるコストを低減することができるととも
に、搬送能力を向上させることができる。

【００３７】請求項２に示す如く、局所クリーン庫の扉
がクリーン庫に対して着脱自在になされているので、局
所クリーン庫の扉を装置側扉と一体化させた状態で開放
させることが可能になり、局所クリーン庫の扉を開閉す
る手段を処理装置側に設けることが可能になる。

【００３８】請求項３に示す如く、局所クリーン庫の扉
と装置側扉とは、密着させた状態で一体的に着脱自在に
構成され、処理装置には、局所クリーン庫の扉と装置側
扉とを密着させた状態で処理装置内に引き込むとともに
収納する扉開閉機構が設けられているので、局所クリー
ン庫の扉と装置側扉とを一体化させた状態で開放させる
ことができ、扉を開放する機構を処理装置側に設けるこ
とで無人搬送車の重量をより軽量化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例の無人搬送車の右側面図。

【図２】搬送物の斜視図。

【図３】本実施例の無人搬送車システムの全体構成を示
す斜視図。

【図４】無人搬送車と移載エリアとが密着固定されたと
きの側面一部断面図。

【図５】局所クリーン庫側扉を示す斜視図。

【符号の説明】

１ 無人搬送車 ６ 局所クリーン庫 ７ 局所クリーン庫側扉 ８ 荷台 ９ フィルターファンユニット（ＦＦＵ） １０ 搬送物 １１ 液晶板 １２ オープンカセット １５ 移載エリア １６ 処理装置 １８ 装置側扉 １９ 枚葉移載装置 ２５ 搬送車係合機構 ３１Ｒ・３１Ｌ ロック機構 ４５ 操作機構

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フィルターファンユニットと扉とを備え
   た局所クリーン庫を備えて搬送物を該局所クリーン庫に
   収納して床上を走行する無人搬送車と、搬送物を処理す
   る処理装置とを備えた無人搬送車システムであって、 処理装置と無人搬送車とを密着・固定する係合手段と、
   密着・固定した状態で無人搬送車を停車させる駐車スペ
   ースとが設けられ、処理装置には、無人搬送車が密着・
   固定した状態で局所クリーン庫の扉と重なる位置に配置
   される装置側扉と、局所クリーン庫内の搬送物を移載す
   る移載装置とが設けられていることを特徴とする無人搬
   送車システム。
2. 【請求項２】 局所クリーン庫の扉がクリーン庫に対し
   て着脱自在になされていることを特徴とする請求項１に
   記載の無人搬送車システム。
3. 【請求項３】 局所クリーン庫の扉と装置側扉とは、密
   着させた状態で一体的に着脱自在に構成され、処理装置
   には、局所クリーン庫の扉と装置側扉とを密着させた状
   態で処理装置内に引き込むとともに収納する扉開閉機構
   が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の無
   人搬送車システム。