JP2014078657A - カセット着脱台車 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】台車本体2と、台車本体2内に配設され収容カセット1a、1bを保持する保持面200、201を有する保持手段21と、台車本体2を移動させる移動手段3とからなり、台車本体2の側面には加工装置4と当接する当接面2aを有し、収容カセット1a、1bの下部とカセット載置手段40の載置面400及び保持面200、201との間に摩擦軽減手段15aを配設したカセット着脱台車1を構成し、移動手段3によって台車本体2を移動させて当接面2aを加工装置4の側面4aに当接させて行う収容カセット1a、1bのカセット載置手段40の載置面400への移動を、摩擦軽減手段15aによってスムーズかつ容易とする。
【選択図】図4
Description
1a、1b:収容カセット
10:側板 100:収容棚
11:天井板 110:把持部
12:底板 13:背止部 14:開口部
15a:摩擦軽減手段 15:車輪
2:台車本体 2a:当接面 2b:凸部
20:開口部
21:保持手段 210、201:保持面
22:昇降手段
220:ボールネジ 221:ベルト 222:モータ
3:移動手段 30:車輪
4:加工装置 4a:側面 4b:凹部
40:カセット載置手段 400:載置面 401:ストッパ
41:搬出入口 42:着脱領域
43:加工領域 44:洗浄領域
50:チャックテーブル
51:加工手段 510:切削ブレード
52:洗浄手段 520:洗浄テーブル
53:第1の搬送手段 530:搬出入部
531:移送部
531a:ボールネジ 531b:ガイドレール 531c:モータ
531d:ガイドブロック 531e:吸着部
532:仮置きテーブル
54:第2の搬送手段
540:ボールネジ 541:ボールネジ 542:モータ 543:ガイドブロック
544:吸着部
W:半導体ウェーハ(被加工物) W1:表面 W2:裏面
D:デバイス S:切削ライン
T:粘着テープ F:フレーム
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、被加工物が収容された収容カセットが載置される載置面を有するカセット載置手段と、該チャックテーブルと該収容カセットとの間で被加工物を搬送する搬送手段と、を備えた加工装置において、該カセット載置手段の載置面に対する該収容カセットの着脱を行うカセット着脱台車であって、
台車本体と、該台車本体内に配設され該収容カセットを保持する保持面を有する保持手段と、該台車本体を移動させる移動手段とからなり、該台車本体の側面には該加工装置と当接する当接面を有し、
該収容カセットの下部と該カセット載置手段の該載置面及び該保持面との間に摩擦軽減手段が配設され、
該移動手段によって該台車本体を移動させて該当接面を該加工装置の側面に当接させ、該収容カセットが該カセット載置手段の該載置面に移動すること、を特徴とするカセット着脱台車。 - 前記保持手段を昇降させる昇降手段を備え、
前記保持面は上下方向に2以上配設されており、
該2以上の保持面は、該昇降手段により順次該カセット載置手段の該載置面と同じ高さ位置に位置づけられ、
該カセット載置手段の該載置面に対し、加工済みの被加工物が収容された該収容カセットと未加工の被加工物が収容された収容カセットとを入れ替え可能とすること、を特徴とする請求項1に記載のカセット着脱台車。
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2012
- 2012-10-12 JP JP2012226797A patent/JP2014078657A/ja active Pending
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