JP2006347424A - 搬送台車 - Google Patents
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Abstract
【課題】
手動のみで、所望の位置に効率的にカセットを位置決めできる搬送台車を提供する。
【解決手段】
カセットCを所望の棚段まで上昇させる場合、比較的変換比の小さな油圧ジャッキ5を用いて、作業者の力を中間部4の上昇力に変換するので、中間部4を粗動させながら上昇させることができ、それにより上昇時間を短縮できる。一方、所望の棚段が近づいたときは、比較的変換比の大きな機械式ジャッキ7を用いて、作業者の力を保持部6の上昇力に変換するので、保持部6を微動させながら上昇させることができ、所望の棚段に対して精度良く静止させることが可能となる。又、保持部6がオーバーハングしていると、カセットCを移送させやすいというメリットがある。
【選択図】 図2
手動のみで、所望の位置に効率的にカセットを位置決めできる搬送台車を提供する。
【解決手段】
カセットCを所望の棚段まで上昇させる場合、比較的変換比の小さな油圧ジャッキ5を用いて、作業者の力を中間部4の上昇力に変換するので、中間部4を粗動させながら上昇させることができ、それにより上昇時間を短縮できる。一方、所望の棚段が近づいたときは、比較的変換比の大きな機械式ジャッキ7を用いて、作業者の力を保持部6の上昇力に変換するので、保持部6を微動させながら上昇させることができ、所望の棚段に対して精度良く静止させることが可能となる。又、保持部6がオーバーハングしていると、カセットCを移送させやすいというメリットがある。
【選択図】 図2
Description
本発明は、半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車に関する。
半導体製造工程に用いるマスクは、ゴミなどの異物の付着を防止するためにカセットに密封されて、マスクチェンジャ装置のマスクストッカに搬送される。マスクストッカに搬送されたカセットから、ロボットによりマスクが取り出され、露光装置に装填されるようになっている。しかるに、ある種のマスクとカセットを合わせた重量は50kg以上となり、これを一人の作業者が手で把持して搬送することは困難である。そこで、搬送台車に、マスクを収容したカセットを搭載して搬送することが行われている。例えば特許文献1には、搬送する感光板の姿勢を変更できる搬送台車が開示されている。
特開2003−140323号公報
しかるに、マスクストッカには、複数のカセットを収容できる収容部が設けられており、通常は収容部は上下方向に並んでいる。従って、重量が50kg以上となるマスクを収容したカセットを搬送する場合、搬送台車から所定の高さにある収容部までカセットを持ち上げたり下ろしたりする作業が必要となるが、これも一人の作業者が行うことは困難であるが、クレーンやホイストを用いると、作業が大がかりとなり時間がかかる。これに対し、特許文献1に記載の搬送台車を流用してカセットを搬送した場合、カセットの姿勢を変更できても、高さ位置を変更することはできないという問題がある。
一方、搬送台車にモータなどの動力源を搭載し、カセットの昇降を行うことも考えられる。しかしながら、搬送台車は、工程の都合に応じて、半導体製造工場内をランダムに移動するものであり、従ってモータに電力を供給する電源コードを引きずりながら移動することは作業に支障を与える恐れがある。これに対し、コードレスとするためにバッテリーを搭載すると、搬送台車の重量が増大し、これを手押しする作業者の負担が大となる。更に、工数低減のため搬送作業の効率化も要求されている。
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、手動のみで、所望の位置に効率的にカセットを位置決めできる搬送台車を提供することを目的とする。
本発明の搬送台車は、半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車において、
前記カセットを保持する保持部と、
前記保持部を支持する中間部と、
作業者の力により、前記中間部に対して前記保持部を重力方向に移動させる第1のリフト手段と、
前記中間部を支持する、複数の車輪を備えたベース部と、
作業者の力により、前記ベース部に対して前記中間部を重力方向に移動させる第2のリフト手段と、を有し、
前記第1のリフト手段は、作業者の力を前記保持部の上昇力に変換する第1変換機構を有し、
前記第2のリフト手段は、作業者の力を前記中間部の上昇力に変換する第2変換機構を有し、
前記第1変換機構の変換比は、前記第2変換機構の変換比より大きく、
前記保持部は、前記中間部に対してオーバーハングしていることを特徴とする。
前記カセットを保持する保持部と、
前記保持部を支持する中間部と、
作業者の力により、前記中間部に対して前記保持部を重力方向に移動させる第1のリフト手段と、
前記中間部を支持する、複数の車輪を備えたベース部と、
作業者の力により、前記ベース部に対して前記中間部を重力方向に移動させる第2のリフト手段と、を有し、
前記第1のリフト手段は、作業者の力を前記保持部の上昇力に変換する第1変換機構を有し、
前記第2のリフト手段は、作業者の力を前記中間部の上昇力に変換する第2変換機構を有し、
前記第1変換機構の変換比は、前記第2変換機構の変換比より大きく、
前記保持部は、前記中間部に対してオーバーハングしていることを特徴とする。
本発明の搬送台車によれば、前記カセットを所望の位置まで上昇させる場合、まず前記第2のリフト手段を用いて、比較的変換比の小さな第2変換機構により、作業者の力を前記中間部の上昇力に変換するので、前記中間部を粗動させながら上昇させることができ、それにより上昇時間を短縮できる。一方、所望の上昇位置が近づいたときは、前記第1のリフト手段を用いて、比較的変換比の大きな第1変換機構により、作業者の力を前記保持部の上昇力に変換するので、前記保持部を微動させながら上昇させることができ、所望の位置に対して精度良く静止させることが可能となる。又、前記保持部がオーバーハングしていると、前記カセットを移送させやすい。加えて、電力が不要であるため、前記搬送台車を簡素で低コストなものとできる。
前記第1のリフト手段は、作業者の手の力を入力するハンドルを備えており、前記第2のリフト手段は、作業者の足の力を入力するペダルを備えていると、強い力が必要になるときには、脚力を用いることによって粗動させ、それにより重いカセットを容易に上昇させることができ、一方、所望の位置に近づいたときは、手の力を用いて微動させることで、精度良い位置あわせが可能となる。
前記カセットを保持した前記保持部の重心は、重力方向に投影したときに、前記複数の車輪で囲われた領域内に位置するようになっていると、安定しやすい。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1、2は、本実施の形態にかかる搬送台車の側面図であり、図1は、搬送時の状態を示し、図2は、リフト時の状態を示している。尚、図において上下が重力方向である。
図において、4つの車輪1を下面に取り付けたベース部2は、図で左端から斜め上方に向かって延在するようにして、作業者が手で押すための取手3を取り付けている。ベース部2の上方には、それと平行に中間部4が配置されている。中間部4は、ベース部2に対して油圧ジャッキ5により支持されている。中間部4と油圧ジャッキとで第2のリフト手段を構成する。
図2に示すように、第2変換機構である油圧ジャッキ5は、作業者が足で踏むことのできるペダル5aと、ペダル5aの往復揺動運動により油圧を発生する油圧シリンダ5bと、油圧シリンダ5b内に発生した油圧により伸長するピストンロッド5cと、ピストンロッド5cにより駆動されるX字状に交差し互いにピン結合されたリンク部材5d,5eとから構成されている。一方のリンク部材5dの右端は、ベース部2に対して枢動可能に配置され、他方のリンク部材5eの右端は、中間部4に枢動可能に配置されており、他方のリンク部材5eの自由端をピストンロッド5cにより押圧することで、リンク部材5d、5eはベース部2に対して中間部4をリフトさせることができるようになっている。
中間部4の上方には、それと平行に筐体状の保持部6が配置されている。保持部6は、中間部4に対して機械式ジャッキ7により支持されている。保持部6と、機械式ジャッキ7とで第1のリフト手段を構成する。
図2に示すように、第1変換機構である機械式ジャッキ7は、作業者が足で回すことができるハンドル7aと、ハンドル7aに連結されたねじ軸7bと、ねじ軸7bにより駆動されるX字状に交差し互いにピン結合されたリンク部材7c,7dとから構成されている。一方のリンク部材7cの右端は、中間部4に対して枢動可能に配置され、他方のリンク部材7dの右端は、中間部4に枢動可能に配置されている。他方のリンク部材7dの自由端に形成された雌ねじに、ねじ軸7bが螺合しているので、ねじ軸7bを回転させることにより、リンク部材7c、7dは中間部7に対して保持部6をリフトさせることができるようになっている。
例えば、ペダル5aを1ストローク踏み込めば中間部4が5cm上昇し、ハンドル7aを1回転させれば保持部6が1cm上昇するというように、第1変換機構の変換比は、前記第2変換機構の変換比より大きくなっている。更に、図に示すように、保持部6は中間部4に対してオーバーハングして(その右端からはみ出して)いる。
保持部6の上部には一対のレール6aが図で左右方向に延在するように設けられ、かかるレール6aに沿って、案内される形でスライド台8が移動可能に支持されている。スライド台8上には、マスクMを収容したカセットCが搭載されている。カセットCは、下面に複数の車輪を有しており、スライド台8からマスクストッカMSに移動する際に、移動が容易となっている。
なお、図示していないが、カセットCを保持した保持部6の重心は、重力方向に投影したときに、複数の車輪で囲われた領域内に位置するようになっているので、カセットCの搬送時に搬送台車が横転するなどの不具合が抑制される。
次に、本実施の形態にかかる搬送台車の動作について説明する。作業者は、取手3を把持してカセットCを搭載した搬送台車を押しながら、所定のマスクストッカMSまで移動する。このとき、保持部6は最も低い位置にしておくと、重心が低くなり搬送が安定するので好ましい。
マスクストッカMSの下部には、ストッパSTが配置されている。作業者が、マスクストッカMSの搬送場所に対して搬送台車を接近させたとき、ストッパSTに車輪1が当接することで、カセットを移送できる所定位置に到達したことがわかる。
搬送台車を所定位置に寄せた後、作業者は、マスクストッカMSにおけるカセットCを移送したい棚段に合わせて保持部6を上昇させる。具体的には、作業者が、足でペダル5aを踏むことで中間部4が粗動するので、短時間でリフトを行うことができる。一方、カセットCを移送したい棚段が近づいた時点で、作業者は、ハンドル7aを回転させると、保持部6が微動するので、カセットCを移送したい棚段に精度良く位置あわせすることができる。
スライド台8の上面と、移送したい棚段の上面の水平方向位置が一致した時点で、作業者は、スライド台8を図2の右方へと押し出して、マスクストッカMSの棚段に当接させる。それによりスライド台8と棚段とのスキマがなくなるので、作業者はカセットCを棚段に押し出せば、車輪の転動により、カセットCは、スムーズに棚段へと移動する。尚、マスクストッカMSよりカセットCを搬送台車に載せる場合には、以上と逆の手順で作業を行えばよい。
本実施の形態によれば、カセットCを所望の棚段まで上昇させる場合、比較的変換比の小さな油圧ジャッキ5を用いて、作業者の力を中間部4の上昇力に変換するので、中間部4を粗動させながら上昇させることができ、それにより上昇時間を短縮できる。一方、所望の棚段が近づいたときは、比較的変換比の大きな機械式ジャッキ7を用いて、作業者の力を保持部6の上昇力に変換するので、保持部6を微動させながら上昇させることができ、所望の棚段に対して精度良く静止させることが可能となる。又、保持部6がオーバーハングしていると、カセットCを移送させやすいというメリットがある。
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、その発明の範囲内で変更・改良が可能であることはもちろんである。第1のリフト手段に機械式ジャッキ、或いはその他の手動式ジャッキを用いても良いし、第2のリフト手段に油圧ジャッキ、或いはその他の手動式を用いても良い。
1 車輪
2 ベース部
3 取手
4 中間部
5 油圧ジャッキ
5a ペダル
5b 油圧シリンダ
5c ピストンロッド
5d リンク部材
5e リンク部材
6 保持部
6a レール
7 中間部
7 機械式ジャッキ
7a ハンドル
7b ねじ軸
7c リンク部材
7d リンク部材
8 スライド台
C カセット
M マスク
MS マスクストッカ
ST ストッパ
2 ベース部
3 取手
4 中間部
5 油圧ジャッキ
5a ペダル
5b 油圧シリンダ
5c ピストンロッド
5d リンク部材
5e リンク部材
6 保持部
6a レール
7 中間部
7 機械式ジャッキ
7a ハンドル
7b ねじ軸
7c リンク部材
7d リンク部材
8 スライド台
C カセット
M マスク
MS マスクストッカ
ST ストッパ
Claims (3)
- 半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車において、
前記カセットを保持する保持部と、
前記保持部を支持する中間部と、
作業者の力により、前記中間部に対して前記保持部を重力方向に移動させる第1のリフト手段と、
前記中間部を支持する、複数の車輪を備えたベース部と、
作業者の力により、前記ベース部に対して前記中間部を重力方向に移動させる第2のリフト手段と、を有し、
前記第1のリフト手段は、作業者の力を前記保持部の上昇力に変換する第1変換機構を有し、
前記第2のリフト手段は、作業者の力を前記中間部の上昇力に変換する第2変換機構を有し、
前記第1変換機構の変換比は、前記第2変換機構の変換比より大きく、
前記保持部は、前記中間部に対してオーバーハングしていることを特徴とする搬送台車。 - 前記第1のリフト手段は、作業者の手の力を入力するハンドルを備えており、前記第2のリフト手段は、作業者の足の力を入力するペダルを備えていることを特徴とする請求項1に記載の搬送台車。
- 前記カセットを保持した前記保持部の重心は、重力方向に投影したときに、前記複数の車輪で囲われた領域内に位置するようになっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送台車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005177643A JP2006347424A (ja) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 搬送台車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005177643A JP2006347424A (ja) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 搬送台車 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006347424A true JP2006347424A (ja) | 2006-12-28 |
Family
ID=37643700
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005177643A Pending JP2006347424A (ja) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 搬送台車 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006347424A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009063903A1 (ja) * | 2007-11-15 | 2009-05-22 | Nikon Corporation | マスクケース、搬送装置、露光装置、マスク搬送方法及びデバイス製造方法 |
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CN107671582A (zh) * | 2017-08-29 | 2018-02-09 | 浙江昊能光电有限公司 | 一种用于高效切片机上的主轴更换装置 |
CN117049067A (zh) * | 2023-09-02 | 2023-11-14 | 烟台笃创金属科技有限公司 | 节能门窗框转运组件 |
-
2005
- 2005-06-17 JP JP2005177643A patent/JP2006347424A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5316420B2 (ja) * | 2007-11-15 | 2013-10-16 | 株式会社ニコン | マスクケース、搬送装置、搬送方法、露光装置及びデバイス製造方法 |
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KR101183043B1 (ko) | 2008-12-12 | 2012-09-20 | 가부시키가이샤 아이에이치아이 | 기판을 보관 및 공급하는 시스템 |
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