JP2006013385A - 搬送台車 - Google Patents

Abstract

【課題】複数台を連結して移動可能であり、各種装置のポートとの間でウェハキャリアを搬出入する効率に優れる搬送台車を提供する。
【解決手段】搬送台車１００は、ウェハキャリア１０１を保持するアーム１０３を有する。搬送台車１００は、手押し操作により移動可能である台車本体１０６と、台車本体１０６に設けられている連結部Ａと、を備える。連結部Ａは、搬送台車１００の台車本体１０６と、隣接する他の搬送台車１００の台車本体１０６と、を連結するとともに、台車本体１０６と他の台車本体１０６とを連結した状態で、台車本体１０６に対する他の台車本体１０６の相対位置を調整可能に構成されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、搬送台車に関する。

現在、直径が３００ｍｍ以上のウェハを複数収納して搬送するキャリアは、重量が７〜８ｋｇ以上と重くなっているので、通常は自動化を行って搬送している。しかし、自動化が行えない場合（カスタムＬＳＩの製造工程や試作ラインなどの場合）は、キャリアの搬送を人手で行う必要がある。

自動化されていない３００ｍｍ拡散ラインにおいては、一人が一つの３００ｍｍＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）を乗せることができる搬送台車（ＰＧＶ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ））を１台ずつ用いて、各装置間、装置棚間の搬送を実施している。

そのような搬送台車の例として、特許文献１に記載の技術がある。図５は、特許文献１に記載された従来の半導体基板用キャリアの搬送台車を示す斜視図である。

この搬送台車は、複数枚のウェハ１８が収納されるキャリア１０を荷台に載せ、人手により種々の方向に移動される台車本体１を備える。また、この搬送台車は、キャリア１０を移載すべき装置のステーション８に、台車本体１が衝突しない程度に近づいたとき、台車本体１を停止させる機能を有し、床面の孔１１に挿入して台車本体１の位置を固定するピン５を具備する、位置決め機構２を備えている。

また、台車本体１の荷台には、キャリア１０を載せた状態で一方向に伸び、ステーション８のレール１３上にキャリア１０を移載させるフォーク４が備えられている。また、台車本体１の荷台には、フォーク４の移動を案内するフォークガイド９が備えられている。さらに、ステーション８の正面に台車本体１が所定の距離に近づいたとき、ステーションのターゲットを検知する近接スイッチ３が台車本体１の正面に設けられている。

一方、台車本体１が方向変換や走行をし易いように、台車本体１の下面の四隅にキャスター１２が取り付けられている。そのため、ハンドル１５の操作によって、台車本体１を種々の方向に走行させることができる。また、位置決め機構２は、安価で単純な機構であって、筒部７内を摺動し床面にある孔１１に挿入されるレールピン５を備えている。なお、挿入すべき孔１１は大きくても直径４０ｍｍ程度であって、この挿入孔１１に足先を詰まらせることはない。また、このピン５は、台車本体１が走行中のときは、上に位置した状態を保っている。すなわち、ピン５が上に持ち上げられると、スリット１４をガイドとするレバー６が持ち上げられ、横方向の切り欠きに係止することで、このピン５は、上に位置した状態を保っている。

また、搬送台車に複数のキャリアをおいて運搬する例が、特許文献２に記載されている。
特開２００３−２４３４７３号公報 特開２０００−２５９４３号公報

しかしながら、従来技術は、以下の点で改善の余地を有していた。

第一に、特許文献１に記載の技術では、一人が一つの搬送台車を移動するため、キャリアの搬送効率が充分ではない。

第二に、特許文献２に記載の技術では、２つのキャリアを乗せることができる搬送台車が開示されているが、この技術では、各種装置のポートと搬送台車との間でウェハキャリアを搬出入する際、台車上でウェハキャリアをスライドさせて１つずつ搬出入を行う。このため、ウェハキャリアを搬送台車と各種装置のポートとの間で搬出入する効率が充分ではない。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、各種装置のポートとの間でウェハキャリアを搬出入する効率に優れる搬送台車を提供することにある。

本発明によれば、ウェハキャリアを載置し、手押し操作により移動可能である台車本体と、台車本体に設けられている連結部と、を備える搬送台車であって、連結部は、搬送台車の台車本体と、隣接する他の搬送台車の台車本体と、を連結するとともに、台車本体と他の台車本体とを連結した状態において台車本体に対する他の台車本体の相対位置を調整可能とするように構成された搬送台車が提供される。

この構成によれば、複数の搬送台車を一緒に運搬するために、搬送台車に連結部を設けており、この連結部は、複数の搬送台車を連結した状態で各搬送台車の相対位置を調整可能である。このため、半導体装置の製造ラインに設けられる各種装置（プロセス装置や検査装置）において、各種装置のポートとの間でのウェハキャリアの搬出入時に、各種装置のポートの間隔にあわせてウェハキャリアの位置を合わせることができる。よって、半導体装置の製造ラインに設けられる各種装置のポートに、複数の搬送台車を用いて、複数のウェハキャリアの搬出入を効率よく行うことが可能となる。
ここで、ウェハキャリアとは、ウェハやリング等の加工物を収納する容器である。

本発明によれば、特定の構成からなる連結部を備えるため、各種装置のポートとの間でウェハキャリアを搬出入する効率に優れる搬送台車が提供される。

本発明に係る搬送台車において、上記連結部は、上記相対位置を、台車本体と他の台車本体との連結方向に調整可能とするように構成することができる。

この構成によれば、複数の搬送台車を連結して搬送し、半導体装置の製造ラインに設けられている各種装置のポートとの間での搬出入を行うときに、各種装置のポート間隔が多少異なっていても、連結状態において複数の搬送台車の間隔を位置調整できるため、複数の搬送台車を複数のポートとの間で搬出入する効率を向上することが可能となる。

本発明に係る搬送台車において、上記連結部は、台車本体の移動平面において連結方向と直交する方向について、上記相対位置を調整可能とするように構成することができる。

この構成によれば、複数の搬送台車を連結して搬送し、半導体装置の製造ラインに設けられている各種装置のポートとの間での搬出入を行うときに、各種装置の備える複数のポートの開口面の位置が、ウェハキャリアの搬出入方向について多少ずれていても、連結状態において搬送台車の前後関係を位置調整できる。このため、複数の搬送台車を各種装置の備える複数のポートとの間で効率よく搬出入することが可能となる。そのため、各種装置のポートとの間でウェハキャリアを搬出入する効率が向上する。また、複数の搬送台車のうちの１台を各種装置のポートとの間で連結することが可能になる。このため、各種装置のポートとの間でウェハキャリアを搬出入する自由度が向上する。

本発明に係る搬送台車において、上記連結部は、台車本体の側面に設けられた第一連結部と、台車本体の側面と反対側の側面に設けられ、他の台車本体が備える第一連結部と連結する第二連結部と、を含む構成とすることができる。

この構成によれば、搬送台車の台車本体の互いに反対側に位置する両側面に第一連結部および第二連結部がそれぞれ設けられているため、搬送台車の台車本体と他の搬送台車の台車本体とを横方向に一列に連結することができる。このため、一人の搬送人員が、複数台の搬送台車を移動することが容易になる。

本発明に係る搬送台車において、第一連結部は、台車本体の側面に沿って延在形成され第二連結部と連結する案内部を含んでもよい。また、第二連結部は、案内部に沿って移動可能に連結される構成とすることができる。

この構成によれば、台車本体の側面に沿って延在する案内部が存在するため、第一連結部に連結方向のあそびがあることになり、搬送台車間の間隔をそのあそびの範囲で変えることが可能である。

本発明に係る搬送台車において、第二連結部は、台車本体から延出する延出部と、延出部に設けられ他の台車本体が備える第一連結部と係合する係合突起と、を含んでもよい。

この構成によれば、第一連結部と第二連結部とは、係合により連結するため、搬送台車と他の搬送台車とを容易に連結することができる。

本発明に係る搬送台車において、延出部の係合突起よりも台車本体側に、係合突起と係合する第一連結部の移動を規制する規制突起を備えてもよい。

この構成によれば、第一連結部は、係合突起および規制突起の間において移動可能であるため、搬送台車間の間隔をその係合突起および規制突起の間隔の範囲で変えることが可能である。

本発明に係る搬送台車において、係合突起または規制突起が位置調整可能に構成されてもよい。

この構成によれば、係合突起および規制突起の間隔は調整可能であるため、半導体装置の製造ラインに設けられている各種装置のポート間隔に応じて、搬送台車間の間隔の可変範囲を適宜調整することが可能になる。

本発明に係る搬送台車において、第二連結部の先端部は傾斜案内面を有し、第二連結部の傾斜案内面に第一連結部が押しつけられたとき、第二連結部が揺動して第一連結部に係合するように構成することができる。

この構成によれば、搬送人員が搬送台車を他の搬送台車に押しつけることにより、第一連結部と第二連結部とが係合して、複数の搬送台車が連結される。このため、搬送台車を連結する際の作業性が向上する。

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

図１は、実施の形態に係る搬送台車を説明するための図である。図１（ａ）は、搬送台車の斜視図である。図１（ｂ）は、搬送台車の平面図である。図１（ｃ）は、搬送台車の正面図である。図１（ｄ）は、搬送台車の一部の拡大図である。

本実施形態に係る搬送台車１００の構成について、以下説明する。

本実施形態に係る搬送台車１００は、複数の半導体ウェハなどが収納された、ＦＯＵＰをはじめとするウェハキャリア１０１を載置し得る搬送台車１００であり、ウェハキャリア１０１を荷台１０５に載せ、手押し操作により移動可能な搬送台車である。

すなわち、この搬送台車１００は、ウェハキャリア１０１を載置する荷台１０５を有する。また、この搬送台車１００は、手押し操作により移動可能である台車本体１０６と、台車本体１０６に設けられている連結部Ａと、を備える。この連結部Ａは、搬送台車１００の台車本体１０６と、隣接する他の搬送台車１００の台車本体１０６と、を連結するとともに、台車本体１０６と他の台車本体１０６とを連結した状態で、台車本体１０６に対する他の台車本体１０６の相対位置を調整可能に構成されている。

また、この搬送台車１００は、プロセス装置や検査装置のポート部（図示せず）との間で、ウェハキャリア１０１の受渡しをするために、ウェハキャリア１０１の受け部１０２を保持し得るアーム部１０３を備える。この受け部１０２は、ウェハキャリア１０１の搬送・移送用のガイド機構として機能する。

このアーム部１０３が、ウェハキャリア１０１の受け部１０２を保持し、ウェハキャリア１０１を前後に移動させて、各種装置のポート部との間でウェハキャリア１０１の搬出入を行う。この際、各種装置のポート部と搬送台車１００との位置あわせは、各種装置毎にあらかじめ決められた位置マークに、搬送台車１００の位置あわせ部（図示せず）を一致させて行う。

この搬送台車１００は、アーム部１０３を前後に駆動可能なように、アーム駆動部１０４を備える。この搬送台車１００は、搬送人員の手押しにより移動可能なように、台車本体の下部に４つの車輪１０７（キャスター）を備える。この搬送台車１００は、搬送人員が搬送台車を手押しにより移動させることが容易になるように、人の手によりグリップされるハンドル（不図示）を備える。

また、上記の連結部Ａは、搬送台車１００の一方の側面に設けられた第一連結部１０８と、この側面の反対側に存在する搬送台車１００の側面に設けられた第二連結部１０９とを含む。第一連結部１０８は、搬送台車１００の側面部に沿って延在する棒状の部材であり、材料はステンレスなどの金属の棒やパイプである。この棒状の部材は、両端で２本の別の棒状の部材を介して搬送台車１００の側面に連結されている。そして、搬送台車１００の側面と、棒状の部材と、２本の別の棒状の部材とであわせて環状構造を形成している。

環状構造のうち搬送台車１００の側面に沿って延在する部分（棒状の部材からなる案内部）は、搬送台車１００の側面から適当な間隙をあけて設けられる。このため、複数の搬送台車１００の間隔を、この間隙の幅の範囲で変化させることができる。また、環状構造のうち搬送台車１００の側面に沿って延在する部分（棒状の部材からなる案内部）は、一定の長さを有する。このため、複数の搬送台車１００の互いの相対位置を、連結方向と直交する方向について、この長さの範囲で調整することができる。

第二連結部１０９は、棒状部材の先端に係合突起部１１０を有する形状である。第二連結部１０９の係合突起部１１０が第一連結部１０８とかみ合うことで、隣接する複数の搬送台車１００が互いに連結される。第二連結部１０９は１台の搬送台車につき１つ以上あればよいが、図１では、第二連結部１０９を２箇所設けた例を示した。

第二連結部１０９は、図１で示したように、突起部を２つ（係合突起部１１０および規制突起部１１１）設けることもできる。この係合突起部１１０および規制突起部１１１の間の領域幅１１２の範囲で、複数の搬送台車１００の間隔を変化させることができる。

第二連結部１０９は、台車本体１０６による第二連結部１０９の支持部を中心として回転できるように設置されている。また、第二連結部１０９の先端部は、傾斜案内面を有し、第二連結部１０９の傾斜案内面に第一連結部１０８を押しつけると、第二連結部１０９が上下動（揺動）して第一連結部１０９に係合するように構成されている。このように構成することで、搬送人員が搬送台車１００同士を押しつけ、第二連結部１０９の傾斜案内面に第一連結部１０８を押しつけることにより、第一連結部１０８と第二連結部１０９との連結を容易に行うことができる。

また、搬送人員が、手元に設けられているレバー（不図示）を操作すると、第二連結部１０９は特定方向（図１の場合には上方向）に回転するように構成されている。例えば、上記レバーと第二連結部１０９とはワイヤーで連結されており、搬送人員によるレバーの一方向への操作により、ワイヤーが巻き上げられて、ワイヤーに連結する第二連結部１０９が上方向に回転する構成とすることができる。このように構成することで、搬送人員によるレバーの操作により、第一連結部１０８と第二連結部１０９との切離を容易に行うことができる。

本実施形態に係る搬送台車の作用効果について、以下説明する。

第１に、搬送人員が複数台の搬送台車１００を連結して移動可能である。

この搬送台車１００では、ウェハキャリア１０１を一つ乗せるタイプの搬送台車を２つ連結（連結）させて搬送人員が手押し搬送を行うことができる。また、３つ以上の搬送台車１００を連結させて手押し搬送することもできる。したがって、搬送台車１００の移動効率が向上する。

第２に、各種装置のポートとの間でウェハキャリア１０１を搬出入する効率が向上する。

連結させた複数の搬送台車１００は、台車本体１０６と他の台車本体１０６との中心部を結ぶ連結方向（Ｘ軸方向）、および台車本体１０６の移動平面において上記連結方向と直交する方向（Ｙ軸方向）について、台車本体１０６と他の台車本体１０６との相対位置を調整可能な稼動部分を有する連結部Ａを備える。ここで、連結方向とは、台車本体と他の台車本体との中心部同士を結ぶ直線方向を意味する。このため、各種装置のポートの間隔が異なる場合においても、搬送台車１００を連結させたままで、２つの搬送台車１００上のウェハキャリア１０１を、それぞれ効率よく、各種装置のポートとの間で移載（搬出入）できる。

より具体的には、第二連結部１０９は棒状部材の先端部に２箇所の突起（係合突起１１０および規制突起１１１）を有し、その突起の間隔の範囲で搬送台車１００間の間隔を一定の範囲で変えることができる。このため、各種装置（プロセス装置や検査装置）のポートとの間でのウェハキャリア１０１の搬出入時に、各種装置のポートの間隔にあわせてウェハキャリア１０１の位置を合わせることができる。その結果、複数の装置のポート部にそれぞれ効率よくキャリアの搬出入を行うことが可能となる。したがって、プロセス装置や検査装置などの各種装置でのウェハキャリア１０１の搬出搬入を効率的に行うことができる。

第３に、各種装置のポートとの間でウェハキャリア１０１を搬出入する自由度が向上する。

この搬送台車１００では、複数の連結された搬送台車１００が独立しており容易に分離できる。このため、連結部分のあそび領域の調整による複数の搬送台車１００の相対位置の調整ではよけきれない障害物等がある場合は、複数の搬送台車１００同士の連結部Ａを分離して移動させ、それぞれ各種装置のポートにウェハキャリア１０１を移載することが可能となる。

第４に、搬送台車１００を連結、分離する際の作業性が向上する。

この搬送台車１００では、連結部Ａの第二連結部１０９は、棒状部材の先端部に係合突起１１０を有し、この係合突起１１０が第一連結部１０８とかみ合い、複数の搬送台車１００が連結される。このとき、第一連結部１０８と第二連結部１０９とが接触した状態で、第二連結部１０９を第一連結部１０８の方向に移動させる外力が加わると、第一連結部１０８と第二連結部１０９とが連結する。

より具体的には、第二連結部１０９と台車本体１０６との連結部Ａは、第二連結部１０９に外力が加わると、第二連結部１０９が特定方向（上方向）に動作し、第二連結部１０９に加わる外力が低減すると、前記第二連結部が前記特定方向と反対方向に動作する。このため、搬送人員が搬送台車１００を他の搬送台車１００に押しつけることにより、第一連結部１０８と第二連結部１０９とが連結して、複数の搬送台車１００が連結される。したがって、搬送台車１００を連結する際の作業性が向上する。

また、搬送人員が手元のレバーを操作することにより、切り離しも自由に行うことができる。すなわち、搬送人員が手元のレバーを操作すると、ワイヤが巻き上げられ、ワイヤに連結する第二連結部１０９に外力が加わり、第二連結部１０９が特定方向（上方向）に動作する。その後、搬送人員が手元のレバーを逆方向に操作すると、ワイヤが引き下げられ、第二連結部１０９に加わる外力が低減し、第二連結部１０９が特定方向と反対方向（下方向）に動作し、第一連結部１０８と第二連結部１０９とが連結して、複数の搬送台車１００が連結される。

このように、複数の搬送台車１００間の連結部Ａの連結、切離しが容易に行える構成にすることで、搬送台車１００間の連結、切離しを自在に行うことができる。したがって、この搬送台車１００によれば、搬送人員の作業性が向上するので、ウェハキャリア１０１の運搬、各種装置のポートでのウェハキャリア１０１の受け渡しを効率的に行うことができる。

本実施形態に係る搬送台車の作用効果について、以下さらに詳細に説明する。

図２は、実施の形態に係る搬送台車を連結した状態を説明するための平面図である。図２（ａ）は、搬送台車同士が連結した状態の図である。図２（ｂ）は、ポート間隔にあわせて搬送台車同士の間隔を広げた状態の図である。図２（ｃ）は、ポート間隔にあわせて搬送台車同士の間隔を狭めた状態の図である。これらの図は、装置のポート間隔に応じて、連結部のあそびを利用して、搬送台車同士の相対位置を変える様子を示している。

より具体的には、まず、図２（ａ）に示すように、互いに隣接する台車本体１０６の対向する側面にそれぞれ設けられている第１の連結部１０８と第２の連結部１０９とからなる連結機構を連結状態にすることにより、搬送台車ＤＡと搬送台車ＤＢとを連結する。

そして、図２（ｂ）に示すように、装置１１４のポートＰ１およびポートＰ２のポート間隔Ｌ１が大きい場合には、搬送人員はハンドル１１３により搬送台車ＤＡ、ＤＢを移動させて、搬送台車ＤＡ、ＤＢ間の連結部のあそびの範囲内で、台車本体１０６同士の間隔を広げるように調整する。このようにすれば、搬送台車ＤＡ、ＤＢの間隔を、ポート間隔Ｌ１にあわせて容易に広げることができる。したがって、搬送台車ＤＡ、ＤＢを連結させたままで、２つの搬送台車ＤＡ、ＤＢ上のウェハキャリアを、それぞれ効率よく、ポートＰ１およびポートＰ２に移載できる。

また、図２（ｃ）に示すように、装置１１５のポートＰ１およびポートＰ２のポート間隔Ｌ２が小さい（Ｌ１>Ｌ２の式を満たす）場合には、搬送人員はハンドル１１３により搬送台車ＤＡ、ＤＢを移動させて、搬送台車間の連結部のあそびの範囲内で、台車本体１０６同士の間隔を狭めるように調整する。このようにすれば、搬送台車ＤＡ、ＤＢの間隔をポート間隔Ｌ１にあわせて容易に狭めることができる。したがって、搬送台車ＤＡ、ＤＢを連結させたままで、２つの搬送台車ＤＡ、ＤＢ上のウェハキャリアを、それぞれ効率よく、ポートＰ１およびポートＰ２に移載できる。

このように、本実施形態に係る搬送台車ＤＡ、ＤＢによれば、搬送台車ＤＡ、ＤＢ間の連結部にあそびがあるので、搬送台車ＤＡ、ＤＢを連結したままで、搬送台車ＤＡ、ＤＢから効率よくポートＰ１およびポートＰ２に、複数のウェハキャリアを効率よく移載することができる。すなわち、装置のポート間隔Ｌ１、Ｌ２が異なる場合でも、搬送台車ＤＡ、ＤＢの間隔を連結部で調整することで、それぞれの装置のポートＰ１およびポートＰ２に搬送台車ＤＡ、ＤＢを位置合わせをすることができるので、複数のウェハキャリアの搬出または搬入を効率よく行うことができる。

図３は、実施の形態に係る搬送台車を連結した状態を説明するための平面図である。図３（ａ）は、一方の搬送台車のみをポートに連結する状態の図である。図３（ｂ）は、他方の搬送台車のみをポートに連結する状態の図である。である。図３（ｃ）は、複数の搬送台車を分離して一方の搬送台車のみをポートに連結する状態の図である。

図３（ａ）に示すように、装置１１６のポートＰ１およびポートＰ２のうち、ポートＰ２にのみ台車ＤＢを連結する必要がある場合には、搬送人員はハンドル１１３により搬送台車ＤＡ、ＤＢを移動させて、搬送台車ＤＡ、ＤＢ間の連結部のあそびの範囲内で、台車本体１０６同士の前後関係を調整し、搬送台車ＤＢが相対的に前に出るようにする。その結果、ポートＰ２に連結する必要のある搬送台車ＤＢのみを容易に前に出すことができる。したがって、搬送台車ＤＡ、ＤＢを連結させたままで、搬送台車ＤＢ上のウェハキャリアのみを、ポートＰ２に移載できる。

また、図３（ｂ）に示すように、装置１１６のポートＰ１およびポートＰ２のうち、ポートＰ１にのみ台車ＤＡを連結する必要がある場合には、搬送人員はハンドル１１３により搬送台車ＤＡ、ＤＢを移動させて、搬送台車ＤＡ、ＤＢ間の連結部のあそびの範囲内で、台車本体１０６同士の前後関係を調整し、搬送台車ＤＡが相対的に前に出るようにする。その結果、ポートＰ１に連結する必要のある搬送台車ＤＡのみを容易に前に出すことができる。したがって、搬送台車ＤＡ、ＤＢを連結させたままで、搬送台車ＤＡ上のウェハキャリアのみを、ポートＰ１に移載できる。

上記の説明では、互いに連結された状態の搬送台車ＤＡ、ＤＢの一方のウェハキャリアを、ポートＰ１またはポートＰ２に移す場合の例を示した。このように、搬送台車ＤＡ、ＤＢの連結部は、連結方向のみならず、前後方向にもあそびがあるので、キャリアを受け渡しする搬送台車のみポート部に接合することができる。

また、図３（ｃ）に示すように、装置１１７のポートＰ１の脇に障害物１１８が存在しており、搬送台車ＤＡ、ＤＢを連結したままでは、搬送台車ＤＢをポートＰ１に連結することが困難な場合には、搬送人員は手元のレバー（不図示）を操作することにより、第１の連結部１０８と第２の連結部１０９とからなる連結機構を容易に切離状態にすることができる。その結果、ポートＰ１に連結する必要のある搬送台車ＤＢのみを単独で移動させ、障害物１１８に邪魔されることなくポートＰ１に連結させることができる。したがって、搬送台車ＤＡ、ＤＢを切り離した状態で、搬送台車ＤＢ上のウェハキャリアのみを、ポートＰ１に移載できる。

このように、本実施形態に係る搬送台車ＤＡ、ＤＢによれば、搬送台車ＤＡ、ＤＢ間の連結部にあそびがあるので、搬送台車ＤＡ、ＤＢの前後関係を必要に応じて調整することができる。このため、搬送台車ＤＡ、ＤＢを連結したままで、搬送台車ＤＡ、ＤＢの一方のみを前に出すことができる。その結果、ポートＰ１またはポートＰ２の一方のみに、搬送台車ＤＡ、ＤＢの一方のみに載置されているウェハキャリアを移載することができる。

また、本実施形態に係る搬送台車ＤＡ、ＤＢによれば、搬送台車ＤＡ、ＤＢを互いに切離してポートＰ１またはポートＰ２に接合することもできる。搬送台車ＤＡ、ＤＢを連結する連結部は、簡単な操作で着脱ができるので、連結、切り離しを迅速に行うことができる。このため、障害物１１８などが存在し、搬送台車ＤＡ、ＤＢを互いに連結した状態では、搬送台車ＤＡ、ＤＢの一方をポートＰ１またはポートＰ２に接合することが困難な場合にも、搬送台車ＤＡ、ＤＢを容易に切離すことができる。その結果、搬送台車ＤＡ、ＤＢの一方を、障害物１１８に邪魔されることなく、容易にポートＰ１に連結させることができる。

一方、図４は、実施の形態に係る連結機構を備えない搬送台車を参考として説明するための平面図である。図４（ａ）は、搬送台車同士の間隔がポート間隔よりもやや大きい状態の図である。図４（ｂ）は、搬送台車同士の間隔がポート間隔より狭い状態の図である。

図４（ａ）に示すように、装置１１４では、装置のポートＰ１およびポートＰ２の間隔がＬ１である。そして、このポート間隔Ｌ１にあわせて、搬送台車ＤＡ、ＤＢの間隔をＬ１よりもやや大きい程度に設定する。そうすると、異なる装置１１５のポートＰ１およびポートＰ２の間隔がＬ２の場合、装置Ｂのポート間隔Ｌ２は、搬送台車ＤＡ、ＤＢの間隔よりも大きいこととなる。このため、搬送台車ＤＡ、ＤＢが互いに連結した状態で、搬送台車ＤＡ、ＤＢを効率よくポートＰ１およびポートＰ２に連結することは困難である。その結果、搬送台車ＤＡ、ＤＢとポートＰ１およびポートＰ２との間で、複数のウェハキャリアの搬出搬入を効率よく行うことは困難である。

図４に示すように、実施の形態に係る連結機構を備えない搬送台車ＤＡ、ＤＢを用いる場合には、搬送台車ＤＡ、ＤＢを連結して運搬できるため、複数の搬送台車ＤＡ、ＤＢを一人の搬送人員により効率的に搬送することが可能となる。しかし、通常、半導体装置の製造ラインに設けられている各種装置のウェハキャリアを受渡しするポートＰ１およびポートＰ２の間隔はまちまちである。このため、搬送台車ＤＡ、ＤＢとポートＰ１およびポートＰ２との間で、複数のウェハキャリアを一緒に受け渡しすることは困難である。

これに対して、図２および図３に示すように、本実施形態に係る連結機構を備える搬送台車ＤＡ、ＤＢを用いる場合には、搬送台車ＤＡ、ＤＢ間の連結部のあそびの範囲内で、搬送台車ＤＡ、ＤＢ同士の間隔を調整できる。また、搬送台車ＤＡ、ＤＢ同士の前後関係も調整できる。このため、各種装置のポート間隔Ｌ１、Ｌ２がまちまちであっても、搬送台車ＤＡ、ＤＢとポートＰ１およびポートＰ２との間で、複数のウェハキャリアを一緒に受け渡しすることは容易である。

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

たとえば、図２および図３で説明した例では、搬送台車ＤＡ、ＤＢを２台連結した例で説明したが、特に限定する趣旨ではない。例えば、３台以上の搬送台車を連結して搬送人員が手押しで搬送し、３つ以上のポート部と連結して、３つ以上のウェハキャリアの搬出入を行うこともできる。

実施の形態に係る搬送台車を説明するための図である。図１（ａ）は、搬送台車の斜視図である。図１（ｂ）は、搬送台車の平面図である。図１（ｃ）は、搬送台車の正面図である。図１（ｄ）は、搬送台車の一部の拡大図である。 実施の形態に係る搬送台車を連結した状態を説明するための平面図である。図２（ａ）は、搬送台車同士が連結した状態の図である。図２（ｂ）は、ポート間隔にあわせて搬送台車同士の間隔を広げた状態の図である。図２（ｃ）は、ポート間隔にあわせて搬送台車同士の間隔を狭めた状態の図である。 実施の形態に係る搬送台車を連結した状態を説明するための平面図である。図３（ａ）は、一方の搬送台車のみをポートに連結する状態の図である。図３（ｂ）は、他方の搬送台車のみをポートに連結する状態の図である。である。図３（ｃ）は、複数の搬送台車を分離して一方の搬送台車のみをポートに連結する状態の図である。 実施の形態に係る連結機構を備えない搬送台車を参考として説明するための平面図である。図４（ａ）は、搬送台車同士の間隔がポート間隔よりもやや大きい状態の図である。図４（ｂ）は、搬送台車同士の間隔がポート間隔より狭い状態の図である。 従来の半導体基板用キャリアの搬送台車を示す斜視図である。

符号の説明

１ 台車本体
２ 位置決め機構
３ 近接スイッチ
４ フォーク
５ ピン
６ レバー
７ 筒部
８ ステーション
９ フォークガイド
１０ キャリア
１１ 孔
１２ キャスター
１３ レール
１５ ハンドル
１８ ウェハ
１００ 搬送台車
１０１ ウェハキャリア
１０２ 受け部
１０３ アーム部
１０４ アーム駆動部
１０５ 荷台
１０６ 台車本体
１０７ 車輪
１０８ 第一連結部
１０９ 第二連結部
１１０ 係合突起部
１１１ 規制突起部
１１３ ハンドル
１１４ 装置
１１５ 装置
１１６ 装置
１１７ 装置
１１８ 障害物
ＤＡ 搬送台車
ＤＢ 搬送台車
Ｐ１ ポート
Ｐ２ ポート
Ｌ１ ポート間隔
Ｌ２ ポート間隔

Claims (9)

1. ウェハキャリアを載置し、手押し操作により移動可能である台車本体と、
   前記台車本体に設けられた連結部と、
   を備える搬送台車であって、
   前記連結部は、前記搬送台車の台車本体と、隣接する他の搬送台車の台車本体と、を連結するとともに、前記台車本体と前記他の台車本体とを連結した状態において前記台車本体に対する前記他の台車本体の相対位置を調整可能とするように構成されたことを特徴とする搬送台車。
2. 請求項１に記載の搬送台車において、
   前記連結部は、前記相対位置を、前記台車本体と前記他の台車本体との連結方向に調整可能とするように構成されたことを特徴とする搬送台車。
3. 請求項１または２に記載の搬送台車において、
   前記連結部は、前記台車本体の移動平面において前記連結方向と直交する方向について、前記相対位置を調整可能とするように構成されたことを特徴とする搬送台車。
4. 請求項１乃至３いずれかに記載の搬送台車において、
   前記連結部は、
   前記台車本体の側面に設けられた第一連結部と、
   前記台車本体の前記側面と反対側の側面に設けられ、前記他の台車本体が備える第一連結部と連結する第二連結部と、
   を含む
   ことを特徴とする搬送台車。
5. 請求項４に記載の搬送台車において、
   前記第一連結部は、前記台車本体の側面に沿って延在形成され前記第二連結部と連結する案内部を含み、
   前記第二連結部は、前記案内部に沿って移動可能に連結されることを特徴とする搬送台車。
6. 請求項４または５に記載の搬送台車において、
   前記第二連結部は、前記台車本体から延出する延出部と、該延出部に設けられ前記他の台車本体が備える第一連結部と係合する係合突起と、を含むことを特徴とする搬送台車。
7. 請求項６に記載の搬送台車において、
   前記延出部の前記係合突起よりも前記台車本体側に、
   前記係合突起と係合する第一連結部の移動を規制する規制突起を備えることを特徴とする搬送台車。
8. 請求項７に記載の搬送台車において、
   前記係合突起または前記規制突起が位置調整可能に構成されていることを特徴とする搬送台車。
9. 請求項４乃至８いずれかに記載の搬送台車において、
   前記第二連結部の先端部は傾斜案内面を有し、前記第二連結部の前記傾斜案内面に前記第一連結部が押しつけられたとき、前記第二連結部が揺動して前記第一連結部に係合するように構成されていることを特徴とする搬送台車。

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