JP2003243473A - 半導体基板用キャリアの搬送台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】狭いフロアを走行し装置のステ−ション８にキ
ャリア１０を移載する半導体基板用キャリアの搬送台車
において、走行の邪魔になる床面に突出するものが無
く、台車本体１の小回りを効かせる。 【解決手段】床面に突出させることのない位置決め機構
２を設け、台車本体１の正面にステ−ション８を認識す
る近接スイッチ３を配置し、台車本体１を近づけ、一対
の近接スイッチ３が同時に停止させ、位置決め機構２の
ピン５を床面の孔１１に挿入し台車本体１を固定してか
ら、キャリア１０の移載を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、加工物である複数
枚の半導体基板を収納する半導体基板用キャリアを荷台
に載せ人手で移動させ、半導体製造装置あるいは半導体
検査装置のステ−ションに荷台との間で半導体基板用キ
ャリアの受け渡しする半導体基板用キャリアの搬送台車
に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常近年、半導体装置の製造工程は、洗
浄工程、成膜工程、露光工程およびエッチング工程など
を繰り返して行う工程が含まれている。プロセス工程が
一定である大量生産のメモリなどのような場合は、軌道
を自動的に走行する無人搬送車を使用し工程間の搬送時
間、搬送経路の短縮を図りコスト低減を行っている。し
かし、カストマＩＣなどの半導体装置の製造工場や試作
工場においては、無人搬送車が走行する軌道がなく、狭
いフロアでも小回りの効く手動の台車が使用されてい
た。

【０００３】しかしながら、近年、ウェハの大型化に伴
い、ウェハの口径が３００ｍｍ以上になると、ウェハが
満載されたキャリアは８ｋｇ以上になり、力のない作業
者にとっては、重量のあるキャリアの受け渡しは困難を
極めた。

【０００４】このキャリアを容易に移載できる半導体キ
ャリアの移載装置が特開２０００−２５９４３号公報に
開示されている。この半導体キャリアの移載装置は、図
４に示すように、台車フレ−ム２２の上部に、操作ハン
ドル２３ａにより操作されるスライドテ−ブル２３が摺
動可能に支持され、スライドテ−ブル２３の摺動方向に
沿って並ぶ２つのキャリア２５が隣接して載置されてい
る。

【０００５】また、台車フレ−ム２２にスライドテ−ブ
ル２３の摺動方向と交叉する方向にハンドル２９の操作
で移動可能で、かつ、ペダル３０の操作によって上下方
向に移動可能な単一の移載ア−ム２７が設けられてい
る。この移載ア−ム２７にキャリア２５のフランジ部２
５ａに係止するスリット２７ａが設けられ、キャリア２
５の移載に用いられる。

【０００６】一方、台車フレ−ム２２の下部には、キャ
リア２５の移載すべき装置に対する位置決め部２１が設
けられている。この位置決め部２１は、プレ−ト２２台
車フレ−ム２２のＸ方向に位置決めを行うフック２３
と、台車フレ−ム２２のＹ方向の位置決めを行うホルダ
２４とが設けられ、このフック２３とホルダ２４とが移
載すべき装置に設けられた位置決めプレ−ト２５の上辺
と側辺とを係止することで、移載装置と装置の位置決め
を行っている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述した半導体キャリ
アの移載装置では、キャリアの受け渡しのために、移載
すべき装置から引き出される位置決めプレ−ト２５が床
面上に設けている。そして、この位置決めの際にＬ字状
の位置決めプレ−トに台車本体を誘導している。しかし
ながら、この誘導には熟練を必要とし通常の作業者では
難しく、台車本体にある位置決め部にこの位置決めプレ
−ト２５を衝突させたり擦ったりして、装置側に不必要
な振動を与える恐れがある。

【０００８】また、各移載すべき装置のそれぞれから路
面上から位置決めプレ−トが張り出していると安全上問
題がある。例えば、作業者が足を位置決めプレ−トに引
掛け怪我したりする。特に狭いフロアである路面に台車
を走行させることが危険な作業となる。さらに、キャリ
アの吊り上げ機構やキャリアをＸおよびＹ方向に移動さ
せるスライドテ−ブルなど複雑な機構を備えており、台
車自体のコストが高くなるという欠点がある。

【０００９】従って、本発明の目的は、狭いフロアでも
小回り効きキャリアの移載ができる安価な半導体基板用
キャリアの搬送台車を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、複数枚
の半導体基板を収納するキャリアを荷台に載せ人手によ
り搬送台車本体を移動させ半導体製造装置あるいは検査
装置に近づき停止し、前記装置のステ−ションと前記荷
台との間で前記キャリアの受け渡しを行う半導体基板用
キャリアの搬送台車において、前記装置のステ−ション
に前記搬送台車本体が衝突しない程度に近づいたとき前
記搬送台車本体を停止させるとともに位置固定しかつ床
面に設けられる位置決め機構を備える半導体基板用キャ
リアの搬送台車である。

【００１１】また、前記搬送台車本体が前記装置のステ
−ションに近づいた時、前記装置のステ−ション位置を
認識する認識手段を備えることが望ましい。さらに、前
記位置決め機構は、路面上に開けられた孔に挿入される
ピンを備えるか、または、前記装置側の床面に配置され
るとともに該床面に平行な凹みをもつブロックと、該ブ
ロックの凹み入り込むとともに前記搬送台車本体に取付
けられる突起部材とを備えることが望ましい。

【００１２】一方、前記認識手段は、前記搬送台車本体
に取付けられる近接センサを備えるかまたは、前記搬送
台車本体に取付けられるＣＣＤカメラを備えることが望
ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。

【００１４】図１は本発明の一実施の形態における半導
体基板用キャリアの搬送台車を示す斜視図である。この
搬送台車は、図１に示すように、複数枚のウェハ１８が
収納されるキャリア１０を荷台に載せ人手により種々の
方向に移動される台車本体１と、キャリア１０を移載す
べき装置のステ−ション８に台車本体１が衝突しない程
度に近づいたとき台車本体１を停止させ床面の孔１１に
挿入し台車本体１の位置を固定するピン５を具備する位
置決め機構２とを備えている。

【００１５】また、台車本体１の荷台には、キャリア１
０を載せ一方向に伸びキャリア１０をステ−ション８の
レ−ル１３上にキャリア１０を移載させるフォ−クア４
と、このフォ−ク４の移動を案内するフォ−クガイド９
とが備えられている。さらに、ステ−ション８の正面に
台車本体１が所定の距離に近づいたとき、ステ−ション
のタ−ゲットを検知する近接スイッチ３が台車本体１の
正面に設けられている。

【００１６】一方、台車本体１は方向変換や走行し易い
ように、台車本体１の下面の四隅にキャスタ−１２が取
り付けられており、ハンドル１５の操作によって台車本
体１を種々の方向に走行させることができる。また、位
置決め機構２は、安価 で単純な機構であって、筒部７
内を摺動し床面にある孔１１に挿入されるピン５を備え
ている。なお、挿入すべき孔１１は大きくても直径４０
ｍｍ程度であって、この挿入孔１１に足先を詰まらせる
ことはない。また、このピン５は、台車本体１が走行中
では、レバ−６によりスリット１４をガイドにし上に持
ち上げられ横方向の切り欠きにレバ−６を係止すること
で上に位置した状態を保っている。

【００１７】図２（ａ）〜（ｄ）は図１の搬送台車のキ
ャリアの移載について説明するための図である。まず、
図２（ａ）および（ｂ）に示すように、ハンドル１５を
押し台車本体１を矢印の方向に移動させる。次に、図２
（ｃ）に示すように、台車本体１の正面とステ−ション
８の正面とが、例えば、５ｍｍ程度に近づくと、近接ス
イッチ３がタ−ゲット３ａを検知すると、近接スイッチ
３が動作しハンドル１５のランプ（図示せず）が点灯す
る。

【００１８】このランプは近接スイッチ３と対になって
いるので、いづれかがランプが点灯しなかったら、台車
本体１の正面がステ−ション８の正面とに傾きがあるか
らである。従って 、点灯しないランプのある方向にハ
ンドル１５を押し傾きを修正する。両方のランプが点灯
したら、ピン５が、床面の孔１１に一致しているか確認
し、ピン５を孔１１に挿入する。

【００１９】次に、図２（ｄ）に示すように、ピン５に
固定された台車本体１のフォ−クがキャリア１０を載
せ、ステ−ション８のレ−ル１３上に伸びキャリア１０
をレ−ル１３に移載する。フォ−クは元の位置に戻りキ
ャリア１０の移載が完了する。

【００２０】図３（ａ）および（ｂ）は本発明の他の実
施における半導体基板用キャリアの搬送台車を説明する
ための側面図および部分断面図である。この搬送台車
は、図３に示すように、台車本体１の位置決め機構が前
述の実施の形態における機構と異なる。すなわち、台車
本体１の前面に突出する突起部３２を設け、ステ−ショ
ン８の下方の床面にブロック３１を配置し、台車本体１
がステ−ション８に近づいたとき、突起部３２はブロッ
ク３１の凹み３３に挿入され、ブロック３１の凹み３３
の奥にスプリング３６で付勢されたボ−ル３４が突起部
３２の窪み３５に入り込み台車本体１が位置決めされ
る。

【００２１】また、この位置決め機構の場合は、ブロッ
ク３１の凹み３３に突起部３２を挿入するために、台車
本体１を精密に走行させなければならない。そこで、こ
の実施の形態では、突起部３２の付近にＣＣＤカメラ１
７を配置し、モニタ１６をハンドル１５の近くに配置
し、タ−ゲット１７ａを撮像しながら台車本体１を走行
させる。具体的には、モニタ１６に映し出されるタ−ゲ
ット画像がモニタ１５の基準画像と一致させこれら画像
どうしにずれが起きないよに台車本体１を走行させる。

【００２２】ブロック３１の凹み３３に突起部３２が入
ると、台車本体１の走行に多少の抵抗の感触があるが、
そのまま台車本体１を押し、ブロック３１と突起部３２
と接続させる。そして、この状態で、前述したように、
レ−ル１３へのキャリア１０の移載を行う。このブロッ
ク３１は床面より突出するので、足など踏み入れさせ怪
我が起きないように、安全のためのブロック包囲板３６
を設けることが望ましい。なお、ブロック３１に挿入さ
れる突起部３２の係止機構を、スプリングに付勢された
ボ−ルで説明したが、この機構に限定するものではな
い。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、キャリア
を移載すべき装置の周囲の床面から突出する部材が無く
すとともに装置の付近に台車本体を位置固定する位置固
定手段と、台車本体に位置固定手段を認識手段を設ける
ことによって、狭いフロアでも台車本体を装置に衝撃を
与えることなくキャリアの移載ができる。また、複雑な
機構を無くし、単純な機構で位置固定手段を構成するこ
とによって安価で得られると言う効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態における半導体基板用キ
ャリアの搬送台車を示す斜視図である。

【図２】図１の搬送台車のキャリアの移載について説明
するための図である。

【図３】本発明の他の実施における半導体基板用キャリ
アの搬送台車を説明するための側面図および部分断面図
である。

【図４】従来の一例を示す半導体基板用キャリアの搬送
台車の斜視図である。

【符号の説明】

１ 台車本体 ２ 位置決め機構 ３ 近接スイッチ ３ａ,１７ａ タ−ゲット ４ フォ−ク ５ ピン ６ レバ− ７ 筒部 ８ ステ−ション ９ フォ−クガイド １０ キャリア １１ 孔 １２ キャスタ− １３ レ−ル １４ スリット １５ ハンドル １６ モニタ １７ ＣＣＤカメラ １８ ウェハ ３１ ブロック ３２ 突起部 ３３ 凹み ３４ ボ−ル ３５ 窪み

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数枚の半導体基板を収納するキャリア
   を荷台に載せ人手により搬送台車本体を移動させ半導体
   製造装置あるいは検査装置に近づき停止し、前記装置の
   ステ−ションと前記荷台との間で前記キャリアの移載を
   行う半導体基板用キャリアの搬送台車において、前記装
   置のステ−ションに前記搬送台車本体が衝突しない程度
   に近づいたとき前記搬送台車本体を停止させるとともに
   位置固定しかつ床面に設けられる位置決め機構を備える
   ことを特徴とする半導体基板用キャリアの搬送台車。
2. 【請求項２】 前記搬送台車本体が前記装置のステ−シ
   ョンに近づいた時に、前記装置のステ−ション位置を認
   識する認識手段を備えることを特徴とする請求項１記載
   の半導体基板用キャリアの搬送台車。
3. 【請求項３】 前記位置決め機構は、路面上に開けられ
   た孔に挿入されるピンを備えることを特徴とする請求項
   １または請求項２記載の半導体基板用キャリアの搬送台
   車。
4. 【請求項４】 前記認識手段は、前記搬送台車本体に取
   付けられる近接センサを備えることを特徴とする請求項
   ２記載の半導体基板用キャリアの搬送台車。
5. 【請求項５】 前記位置決め機構は、前記装置側の床面
   に配置されるとともに該床面に平行な凹みをもつブロッ
   クと、該ブロックの凹み入り込むとともに前記搬送台車
   本体に取付けられる突起部材とを備えることを特徴とす
   る請求項１または請求項２記載の半導体基板用キャリア
   の搬送台車。
6. 【請求項６】 前記認識手段は、前記搬送台車本体に取
   付けられるＣＣＤカメラを備えることを特徴とする請求
   項２記載の半導体基板用キャリアの搬送台車。