JP3407306B2 - キャリア搬送車および露光システム - Google Patents
キャリア搬送車および露光システムInfo
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- JP3407306B2 JP3407306B2 JP193692A JP193692A JP3407306B2 JP 3407306 B2 JP3407306 B2 JP 3407306B2 JP 193692 A JP193692 A JP 193692A JP 193692 A JP193692 A JP 193692A JP 3407306 B2 JP3407306 B2 JP 3407306B2
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は大型のプレートの複数枚
を段積み状態で収納するキャリアを自在に搬送するため
のワゴン車に関するものであり、特に液晶デバイスの製
造に使われる投影露光装置、レーザリペア装置等へガラ
スプレートを供給するための搬送車に関するものであ
る。
を段積み状態で収納するキャリアを自在に搬送するため
のワゴン車に関するものであり、特に液晶デバイスの製
造に使われる投影露光装置、レーザリペア装置等へガラ
スプレートを供給するための搬送車に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶デバイス製造装置では、４０cm角以
上のサイズをもつガラスプレートに対して所望の加工を
施すことが行われている。投影露光装置においては、そ
のガラスプレートの表面にレジスト層が塗布され、液晶
表示パネル用のセルパターン配線パターン等を有するレ
チクル（マスク）を、投影光学系を介してレジスト層に
結像投影している。通常、露光対象となるガラスプレー
トはキャリアと呼ばれる専用の収納箱に保管される。キ
ャリアはその内壁に複数の段部を有し、この段部にガラ
スプレートの周辺が水平に載置される。またキャリア内
には同一サイズのプレートの複数枚が垂直方向に一定の
間隙をもって積み重ねられる。このため、プレートを満
載したキャリアの重量は相当なものとなる。また、この
ようなキャリアは投影露光装置のプレートローダ部のキ
ャリアステーション上に載置される。そしてキャリアス
テーション上のキャリア内から１枚のプレートを取り出
して投影露光装置またはレーザリペア装置のプレートス
テージ上へ搬送するために、多くの露光装置は自動ロー
ディング装置を備えている。
上のサイズをもつガラスプレートに対して所望の加工を
施すことが行われている。投影露光装置においては、そ
のガラスプレートの表面にレジスト層が塗布され、液晶
表示パネル用のセルパターン配線パターン等を有するレ
チクル（マスク）を、投影光学系を介してレジスト層に
結像投影している。通常、露光対象となるガラスプレー
トはキャリアと呼ばれる専用の収納箱に保管される。キ
ャリアはその内壁に複数の段部を有し、この段部にガラ
スプレートの周辺が水平に載置される。またキャリア内
には同一サイズのプレートの複数枚が垂直方向に一定の
間隙をもって積み重ねられる。このため、プレートを満
載したキャリアの重量は相当なものとなる。また、この
ようなキャリアは投影露光装置のプレートローダ部のキ
ャリアステーション上に載置される。そしてキャリアス
テーション上のキャリア内から１枚のプレートを取り出
して投影露光装置またはレーザリペア装置のプレートス
テージ上へ搬送するために、多くの露光装置は自動ロー
ディング装置を備えている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置では、重量のあるキャリアを人手で運搬してキャリ
アステーション上に載置しなければならず、その労力は
計り知れないものがあった。逆にその労力を考慮する
と、人手で運搬可能なキャリアの大きさ、重量、および
収納プレート枚数に制限を加えなければならなかった。
装置では、重量のあるキャリアを人手で運搬してキャリ
アステーション上に載置しなければならず、その労力は
計り知れないものがあった。逆にその労力を考慮する
と、人手で運搬可能なキャリアの大きさ、重量、および
収納プレート枚数に制限を加えなければならなかった。
【０００４】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たもので、キャリアの大きさ、重量等に制限されること
なくキャリアを運搬可動にするとともに、露光装置やレ
ーザリペア装置等のキャリアステーション部への受け渡
しを容易にした搬送車およびそのような搬送車を含む露
光システムを得ることを目的とする。
たもので、キャリアの大きさ、重量等に制限されること
なくキャリアを運搬可動にするとともに、露光装置やレ
ーザリペア装置等のキャリアステーション部への受け渡
しを容易にした搬送車およびそのような搬送車を含む露
光システムを得ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点の解決のため
に請求項１記載の発明では、板状部材を収納可能なキャ
リアを載置して手動、もしくは自動で走行可能なキャリ
ア搬送車において、前記キャリアの底部の一部分を保持
する載置面を有するとともに、該載置面上に前記キャリ
アの底部を水平面内で位置決めするための位置決め部が
形成されたキャリア載置台と、該キャリア載置台を保持
して床上、もしくは所定の軌道上を走行可能な台車と、
該台車上で前記キャリア載置台を水平面内で２次元に移
動可能に保持するスライド機構と、前記キャリア載置台
を前記台車上の所定位置に係止する係止手段と、を備え
た攻勢とした。請求項２記載の発明では、請求項１記載
のキャリア搬送車において、前記位置決め部が、前記載
置面から突出した少なくとも１つの突出部を有し、該突
出部が前記キャリアの底部に設けられた穴部に係合する
ことで前記キャリアの底部を位置決めするように構成し
た。請求項３記載の発明では、請求項１記載のキャリア
搬送車において、前記スライド機構が、前記キャリア載
置台を前記水平面内で第１の方向に案内する第１のガイ
ド部材と、前記キャリア載置台と前記第１のガイド部材
とを前記第１の方向と直交する第２の方向に案内する第
２のガイド部材とを備えた構成とした。請求項４記載の
発明では、請求項１記載のキャリア搬送車において、前
記板状部材を、液晶デバイスにおけるガラスプレートと
した。請求項５記載の発明では、板状部材を収納可能な
キャリアを保持するためのキャリア保持部材と、前記キ
ャリア保持部材を保持して床上、もしくは所定の軌道上
を走行可能な走行機構と、前記キャリア保持部材を、所
定の方向に移動可能に保持するスライド機構と、前記キ
ャリア保持部材を前記走行機構上の所定の位置に係止す
る係止手段と、を備え、前記キャリア保持部材が、前記
走行機構による走行中に前記キャリアの少なくとも一部
分と接触して該キャリアを保持する保持面を有し、前記
スライド機構が、前記キャリア保持部材を前記保持面内
で第１の方向に案内する第１のガイド部材と、前記キャ
リア保持部材と前記第１のガイド部材とを前記第１の方
向と直交する第２の方向に案内する第２のガイド部材と
を備え、前記係止手段の解除の後に前記保持面を含む面
内で前記キャリア保持部材を移動させるキャリア搬送車
を提供する。請求項６記載の発明では、請求項５記載の
キャリア搬送車において、前記保持面から突出した少な
くとも１つの突出部を有し、該突出部を前記キャリアの
外壁面に設けられた穴部に係合させることで前記キャリ
アを位置決めする位置決め手段を更に備える構成とし
た。請求項７の発明では、請求項５記載のキャリア搬送
車において、前記板状部材を、液晶デバイスにおけるガ
ラスプレートとした。請求項８記載の発明では、請求項
１から請求項７までのいずれか１項に記載されたキャリ
ア搬送車と、前記板状部材を載置するためのホルダーお
よび該ホルダー上に載置された前記板状部材に所定のパ
ターンを形成する光学系とを有する露光装置と、前記キ
ャリアと前記ホルダーとの間で前記板状部材の搬送を行
うローディング装置と、を備えた露光システムを提供す
る。請求項９記載の発明では、請求項８記載の露光シス
テムにおいて、さらに、前記キャリア搬送車と前記ロー
ディング装置との相対位置を規定する相対位置決め手段
を設けた。請求項１０記載の発明では、請求項８記載の
露光システムにおいて、前記ローディング装置が、前記
キャリアを上下に駆動する上下駆動手段と、前記板状部
材を保持した状態で旋回可能なローダ機構とを備えた構
成とした。請求項１１記載の発明では、板状部材に所定
の加工を行う処理装置に該板状部材を供給する板状部材
供給方法であって、請求項１から請求項８までのいずれ
か１項に記載されたキャリア搬送車を用いて前記板状部
材を前記処理装置まで搬送する板状部材供給方法を提供
する。請求項１２記載の発明では、板状部材を所定の位
置に載置止、マスク上に形成されたパターンを該板状部
材に露光する露光方法であって、請求項１１記載の板状
部材供給方法によって前記板状部材を供給する露光方法
を提供する。
に請求項１記載の発明では、板状部材を収納可能なキャ
リアを載置して手動、もしくは自動で走行可能なキャリ
ア搬送車において、前記キャリアの底部の一部分を保持
する載置面を有するとともに、該載置面上に前記キャリ
アの底部を水平面内で位置決めするための位置決め部が
形成されたキャリア載置台と、該キャリア載置台を保持
して床上、もしくは所定の軌道上を走行可能な台車と、
該台車上で前記キャリア載置台を水平面内で２次元に移
動可能に保持するスライド機構と、前記キャリア載置台
を前記台車上の所定位置に係止する係止手段と、を備え
た攻勢とした。請求項２記載の発明では、請求項１記載
のキャリア搬送車において、前記位置決め部が、前記載
置面から突出した少なくとも１つの突出部を有し、該突
出部が前記キャリアの底部に設けられた穴部に係合する
ことで前記キャリアの底部を位置決めするように構成し
た。請求項３記載の発明では、請求項１記載のキャリア
搬送車において、前記スライド機構が、前記キャリア載
置台を前記水平面内で第１の方向に案内する第１のガイ
ド部材と、前記キャリア載置台と前記第１のガイド部材
とを前記第１の方向と直交する第２の方向に案内する第
２のガイド部材とを備えた構成とした。請求項４記載の
発明では、請求項１記載のキャリア搬送車において、前
記板状部材を、液晶デバイスにおけるガラスプレートと
した。請求項５記載の発明では、板状部材を収納可能な
キャリアを保持するためのキャリア保持部材と、前記キ
ャリア保持部材を保持して床上、もしくは所定の軌道上
を走行可能な走行機構と、前記キャリア保持部材を、所
定の方向に移動可能に保持するスライド機構と、前記キ
ャリア保持部材を前記走行機構上の所定の位置に係止す
る係止手段と、を備え、前記キャリア保持部材が、前記
走行機構による走行中に前記キャリアの少なくとも一部
分と接触して該キャリアを保持する保持面を有し、前記
スライド機構が、前記キャリア保持部材を前記保持面内
で第１の方向に案内する第１のガイド部材と、前記キャ
リア保持部材と前記第１のガイド部材とを前記第１の方
向と直交する第２の方向に案内する第２のガイド部材と
を備え、前記係止手段の解除の後に前記保持面を含む面
内で前記キャリア保持部材を移動させるキャリア搬送車
を提供する。請求項６記載の発明では、請求項５記載の
キャリア搬送車において、前記保持面から突出した少な
くとも１つの突出部を有し、該突出部を前記キャリアの
外壁面に設けられた穴部に係合させることで前記キャリ
アを位置決めする位置決め手段を更に備える構成とし
た。請求項７の発明では、請求項５記載のキャリア搬送
車において、前記板状部材を、液晶デバイスにおけるガ
ラスプレートとした。請求項８記載の発明では、請求項
１から請求項７までのいずれか１項に記載されたキャリ
ア搬送車と、前記板状部材を載置するためのホルダーお
よび該ホルダー上に載置された前記板状部材に所定のパ
ターンを形成する光学系とを有する露光装置と、前記キ
ャリアと前記ホルダーとの間で前記板状部材の搬送を行
うローディング装置と、を備えた露光システムを提供す
る。請求項９記載の発明では、請求項８記載の露光シス
テムにおいて、さらに、前記キャリア搬送車と前記ロー
ディング装置との相対位置を規定する相対位置決め手段
を設けた。請求項１０記載の発明では、請求項８記載の
露光システムにおいて、前記ローディング装置が、前記
キャリアを上下に駆動する上下駆動手段と、前記板状部
材を保持した状態で旋回可能なローダ機構とを備えた構
成とした。請求項１１記載の発明では、板状部材に所定
の加工を行う処理装置に該板状部材を供給する板状部材
供給方法であって、請求項１から請求項８までのいずれ
か１項に記載されたキャリア搬送車を用いて前記板状部
材を前記処理装置まで搬送する板状部材供給方法を提供
する。請求項１２記載の発明では、板状部材を所定の位
置に載置止、マスク上に形成されたパターンを該板状部
材に露光する露光方法であって、請求項１１記載の板状
部材供給方法によって前記板状部材を供給する露光方法
を提供する。
【０００６】
【作用】各請求項に記載された発明においては、キャリ
アの大きさ、重量に制限されることなく容易に運搬可能
となる。また、キャリアを保持する部材がが台車または
走行機構上で可動できるように構成されているため、台
車または走行機構上からキャリアを受け取る際に安定な
受け渡し動作を行うことができる。さらに、キャリアを
台車または走行機構に載置した状態で走行させる際に
は、キャリアが不用意に移動することがないように、キ
ャリアを保持する部材にキャリアを台車または走行機構
に係止するための手段を設けたので、台車または走行機
構の移動時の振動等によるキャリアの位置ずれ等が防止
される。
アの大きさ、重量に制限されることなく容易に運搬可能
となる。また、キャリアを保持する部材がが台車または
走行機構上で可動できるように構成されているため、台
車または走行機構上からキャリアを受け取る際に安定な
受け渡し動作を行うことができる。さらに、キャリアを
台車または走行機構に載置した状態で走行させる際に
は、キャリアが不用意に移動することがないように、キ
ャリアを保持する部材にキャリアを台車または走行機構
に係止するための手段を設けたので、台車または走行機
構の移動時の振動等によるキャリアの位置ずれ等が防止
される。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の実施例によるワゴン（搬送
車）１１をステッパー方式の投影露光装置のためのプレ
ート供給に適用した場合の斜視図である。図１におい
て、水銀放電灯等の光源２からの照明光は楕円鏡１で集
光された後、不図示の照明光学系を介してレチクルＲを
均一な照度分布で照射する。レチクルＲに形成されたパ
ターンの透過光は投影レンズＰＬに入射し、その結像面
にパターン像として集光される。プレートＰは投影レン
ズＰＬの結像面と一致するようにホルダー３上に載置さ
れる。ホルダー３は、ベース５上をＸ方向とＹ方向とに
移動可能なＸＹステージ４上に取り付けられる。ＸＹス
テージ４はステップアンドリピート方式で移動する様に
作られているので、その移動ストロークもほぼプレート
のサイズ程度になる。
車）１１をステッパー方式の投影露光装置のためのプレ
ート供給に適用した場合の斜視図である。図１におい
て、水銀放電灯等の光源２からの照明光は楕円鏡１で集
光された後、不図示の照明光学系を介してレチクルＲを
均一な照度分布で照射する。レチクルＲに形成されたパ
ターンの透過光は投影レンズＰＬに入射し、その結像面
にパターン像として集光される。プレートＰは投影レン
ズＰＬの結像面と一致するようにホルダー３上に載置さ
れる。ホルダー３は、ベース５上をＸ方向とＹ方向とに
移動可能なＸＹステージ４上に取り付けられる。ＸＹス
テージ４はステップアンドリピート方式で移動する様に
作られているので、その移動ストロークもほぼプレート
のサイズ程度になる。
【０００８】さらにホルダー３上のプレートＰを交換す
るために、露光装置の正面側にはプレートローダ７が設
けられている。ローダ７は、キャリア８内のプレートＰ
とホルダー３上のプレートＰとを交換するために、直進
移動と旋回とが可能なアーム６を備えている。またアー
ム６は必要に応じて上下方向にも可動に設けられる。そ
してアーム６が図１の状態から反時計方向に９０°だけ
旋回した位置に、キャリア８が配置される。図１ではキ
ャリア８の下方にワゴン１１が待機した状態を示し、キ
ャリア８の底部は上下動機構１０によって上下動するエ
レベータ部９の上に載置されている。上下動機構１０は
ベース５、（及びプレートローダ部７）に対して水平面
内で予め定められた位置関係に配置される。またキャリ
ア８には、図１では示していないが、オペレータが運搬
し易いような取手が設けられている。図１でも明らかな
ように、ワゴン１１には４個のキャスターが設けられ、
クリーンルーム内の床上を自在に移動させることができ
る。また図１の露光装置本体、プレートローダ部、上下
動駆動部１０、エレベータ部９、及びキャリア８は、通
常はクラス１０程度のクリーンチャンバー内に収納され
るが、ワゴン１１とキャリア８の出し入れのために、チ
ャンバー正面側に専用の扉を設け、この扉を開けた状態
でワゴン１１をエレベータ部９の方向へ進入させ、キャ
リア８をエレベータ部９へ受け渡した後は、ワゴン１１
のみをチャンバー外へ退出させて扉を閉じるようにす
る。
るために、露光装置の正面側にはプレートローダ７が設
けられている。ローダ７は、キャリア８内のプレートＰ
とホルダー３上のプレートＰとを交換するために、直進
移動と旋回とが可能なアーム６を備えている。またアー
ム６は必要に応じて上下方向にも可動に設けられる。そ
してアーム６が図１の状態から反時計方向に９０°だけ
旋回した位置に、キャリア８が配置される。図１ではキ
ャリア８の下方にワゴン１１が待機した状態を示し、キ
ャリア８の底部は上下動機構１０によって上下動するエ
レベータ部９の上に載置されている。上下動機構１０は
ベース５、（及びプレートローダ部７）に対して水平面
内で予め定められた位置関係に配置される。またキャリ
ア８には、図１では示していないが、オペレータが運搬
し易いような取手が設けられている。図１でも明らかな
ように、ワゴン１１には４個のキャスターが設けられ、
クリーンルーム内の床上を自在に移動させることができ
る。また図１の露光装置本体、プレートローダ部、上下
動駆動部１０、エレベータ部９、及びキャリア８は、通
常はクラス１０程度のクリーンチャンバー内に収納され
るが、ワゴン１１とキャリア８の出し入れのために、チ
ャンバー正面側に専用の扉を設け、この扉を開けた状態
でワゴン１１をエレベータ部９の方向へ進入させ、キャ
リア８をエレベータ部９へ受け渡した後は、ワゴン１１
のみをチャンバー外へ退出させて扉を閉じるようにす
る。
【０００９】さて、図２は図１に示したワゴン１１の状
態を上方から見た図であり、図３は図２中のＡＡ矢視断
面図である。また図４はキャリア８の底板８の平面図で
ある。図２、図３において、ワゴン車１１の後部にはオ
ペレータが運搬し易いような取手１１Ａが設けられ、ワ
ゴン車１１の底部には床面上を転動するキャスター１１
Ｂが設けられる。ワゴン車１１の先端から中央付近まで
は、上下動用のエレベータ部９が進入し得るように切り
取られている。図３はエレベータ部９が最下方に位置し
た状態である。図２中の斜線部分はキャリア８が載置さ
れる領域を表わし、エレベータ部９が図３のように下方
にあるとき、キャリア８の底板８Ａは、キャリア載置板
２２上に保持される。この載置板２２はエレベータ部９
の上昇によって干渉しないようにコの字状に作られ、キ
ャリア８の底板８Ａの周辺部を保持する。またキャリア
８を載置板２２上で位置決めするために、底板８Ａには
図４のように２つの位置決め穴８Ｂ1 、８Ｂ2 がＸ方向
に離れて形成されている。この穴のうち穴８Ｂ2 はＸ方
向に延びた長穴となっている。そして２つの穴８Ｂ 1 、
８Ｂ2 は図２、図３に示すように載置板２２上に突出し
た位置決めピン２１Ｃ、２１Ｄに係合する。また底板８
Ａの２つの穴８Ｂ1 、８Ｂ2 の内側には、エレベータ部
９の載置面上に突出した位置決めピン２１Ａ、２１Ｂと
係合し得る位置決め穴８Ｂ3 、８Ｂ4 が形成されてい
る。これらピン２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄは図３
にあるように、先端（上端）部がテーパになっており、
各穴との係合を容易にしてある。さらに、載置板２２は
一対のリニアガイド（スライド機構）２３を介して中間
板２４上に取り付けられ、Ｘ方向（図３の紙面と垂直な
方向）に一定量だけ可動となっている。そして中間板２
４は一対のリニアガイド（スライド機構）２５を介して
ワゴン車１１上に取り付けられ、Ｙ方向（図３の紙面内
左右方向）に一定量だけ可動となっている。尚、上記中
間板２４も載置板２２と同じ形状、寸法に作られてい
る。また載置板２２、中間板２４はそのままではワゴン
車１１上で任意の方向に移動してしまうので、ワゴン車
１１に対して係止するためのロックピン２６が設けられ
る。ロックピン２６はオペレータが操作しやすいよう
に、手押し用の取手１１Ａとキャリア８との間に配置さ
れ、載置板２２、中間板２４の夫々に形成されたピン穴
を貫通してワゴン車１１のピン穴まで達するように作ら
れている。このロックピン２６によって載置板２２はＸ
方向の移動ストローク（例えば数mm〜１０mm程度）のほ
ぼ中間にロックされ、中間板２４はＹ方向の移動ストロ
ーク（例えば数mm〜１０mm程度）のほぼ中間にロックさ
れる。
態を上方から見た図であり、図３は図２中のＡＡ矢視断
面図である。また図４はキャリア８の底板８の平面図で
ある。図２、図３において、ワゴン車１１の後部にはオ
ペレータが運搬し易いような取手１１Ａが設けられ、ワ
ゴン車１１の底部には床面上を転動するキャスター１１
Ｂが設けられる。ワゴン車１１の先端から中央付近まで
は、上下動用のエレベータ部９が進入し得るように切り
取られている。図３はエレベータ部９が最下方に位置し
た状態である。図２中の斜線部分はキャリア８が載置さ
れる領域を表わし、エレベータ部９が図３のように下方
にあるとき、キャリア８の底板８Ａは、キャリア載置板
２２上に保持される。この載置板２２はエレベータ部９
の上昇によって干渉しないようにコの字状に作られ、キ
ャリア８の底板８Ａの周辺部を保持する。またキャリア
８を載置板２２上で位置決めするために、底板８Ａには
図４のように２つの位置決め穴８Ｂ1 、８Ｂ2 がＸ方向
に離れて形成されている。この穴のうち穴８Ｂ2 はＸ方
向に延びた長穴となっている。そして２つの穴８Ｂ 1 、
８Ｂ2 は図２、図３に示すように載置板２２上に突出し
た位置決めピン２１Ｃ、２１Ｄに係合する。また底板８
Ａの２つの穴８Ｂ1 、８Ｂ2 の内側には、エレベータ部
９の載置面上に突出した位置決めピン２１Ａ、２１Ｂと
係合し得る位置決め穴８Ｂ3 、８Ｂ4 が形成されてい
る。これらピン２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄは図３
にあるように、先端（上端）部がテーパになっており、
各穴との係合を容易にしてある。さらに、載置板２２は
一対のリニアガイド（スライド機構）２３を介して中間
板２４上に取り付けられ、Ｘ方向（図３の紙面と垂直な
方向）に一定量だけ可動となっている。そして中間板２
４は一対のリニアガイド（スライド機構）２５を介して
ワゴン車１１上に取り付けられ、Ｙ方向（図３の紙面内
左右方向）に一定量だけ可動となっている。尚、上記中
間板２４も載置板２２と同じ形状、寸法に作られてい
る。また載置板２２、中間板２４はそのままではワゴン
車１１上で任意の方向に移動してしまうので、ワゴン車
１１に対して係止するためのロックピン２６が設けられ
る。ロックピン２６はオペレータが操作しやすいよう
に、手押し用の取手１１Ａとキャリア８との間に配置さ
れ、載置板２２、中間板２４の夫々に形成されたピン穴
を貫通してワゴン車１１のピン穴まで達するように作ら
れている。このロックピン２６によって載置板２２はＸ
方向の移動ストローク（例えば数mm〜１０mm程度）のほ
ぼ中間にロックされ、中間板２４はＹ方向の移動ストロ
ーク（例えば数mm〜１０mm程度）のほぼ中間にロックさ
れる。
【００１０】ところでワゴン車１１をエレベータ部９に
対してＸ−Ｙ平面内で位置決めするために、ワゴン車１
１の先端部下方でＸ方向に離れた２ケ所に位置決めロー
ラ２７Ａ、２７Ｂが突出して軸支される。これらローラ
２７Ａ、２７ＢはＸ−Ｙ平面と垂直な回転軸を有し、Ｘ
−Ｙ平面内で回転可能に設けられる。一方、ローラ２７
Ａと対向する上下動駆動部１０の構造体部分には、Ｖ型
駒２８が設けられ、ローラ２７Ｂと対向する構造体部分
には平型駒２９が設けられる。Ｖ型駒２８はローラ２７
ＡをＸ方向とＹ方向の両方向に関して位置規定し、平型
駒２９はＹ方向に関してローラ２７Ｂを位置規定する。
従ってローラ２７Ａ、２７Ｂが対応する駒２８、２９に
当接するようにワゴン車１１を位置決めすると、ワゴン
車１１は自ずと図２のようにエレベータ部９に対して位
置合わせされる。またその状態で、載置板２２、中間板
２４が移動ストローク内で移動しても、エレベータ部９
と接触、もしくは当接しないようになっている。さらに
図２のようにローラ２７Ａ、２７Ｂによって位置決めが
達成された状態のとき、エレベータ部９に植設されたピ
ン２１Ａ、２１Ｂはキャリア８の底板８Ａの穴８Ｂ3 、
８Ｂ4 と正確に上下方向で対向することになる。
対してＸ−Ｙ平面内で位置決めするために、ワゴン車１
１の先端部下方でＸ方向に離れた２ケ所に位置決めロー
ラ２７Ａ、２７Ｂが突出して軸支される。これらローラ
２７Ａ、２７ＢはＸ−Ｙ平面と垂直な回転軸を有し、Ｘ
−Ｙ平面内で回転可能に設けられる。一方、ローラ２７
Ａと対向する上下動駆動部１０の構造体部分には、Ｖ型
駒２８が設けられ、ローラ２７Ｂと対向する構造体部分
には平型駒２９が設けられる。Ｖ型駒２８はローラ２７
ＡをＸ方向とＹ方向の両方向に関して位置規定し、平型
駒２９はＹ方向に関してローラ２７Ｂを位置規定する。
従ってローラ２７Ａ、２７Ｂが対応する駒２８、２９に
当接するようにワゴン車１１を位置決めすると、ワゴン
車１１は自ずと図２のようにエレベータ部９に対して位
置合わせされる。またその状態で、載置板２２、中間板
２４が移動ストローク内で移動しても、エレベータ部９
と接触、もしくは当接しないようになっている。さらに
図２のようにローラ２７Ａ、２７Ｂによって位置決めが
達成された状態のとき、エレベータ部９に植設されたピ
ン２１Ａ、２１Ｂはキャリア８の底板８Ａの穴８Ｂ3 、
８Ｂ4 と正確に上下方向で対向することになる。
【００１１】以上のような構成において、図１の露光装
置にプレートキャリア８をセットするには、ワゴン車１
１上の載置板２２、中間板２４をロックピン２６で係止
した状態で、キャリア８をピン２１Ｃ、２１Ｄと係合す
るように載置板２２上に載置する。オペレータはその状
態でワゴン車１１を露光装置のところまで押していき、
チャンバーの正面側の扉を開き、チャンバー内にワゴン
車１１を進入させる。このとき位置決めローラ２７Ａ、
２７Ｂが対応する駒２８、２９に確実に当接するように
取手１１ＡをＹ方向に押圧する。もちろん、このときエ
レベータ部９は図３のように下方の退避位置にセットさ
れている。
置にプレートキャリア８をセットするには、ワゴン車１
１上の載置板２２、中間板２４をロックピン２６で係止
した状態で、キャリア８をピン２１Ｃ、２１Ｄと係合す
るように載置板２２上に載置する。オペレータはその状
態でワゴン車１１を露光装置のところまで押していき、
チャンバーの正面側の扉を開き、チャンバー内にワゴン
車１１を進入させる。このとき位置決めローラ２７Ａ、
２７Ｂが対応する駒２８、２９に確実に当接するように
取手１１ＡをＹ方向に押圧する。もちろん、このときエ
レベータ部９は図３のように下方の退避位置にセットさ
れている。
【００１２】次にロックピン２６を引きぬいて載置板２
２、中間板２４を運動可能にする。その後、チャンバー
の扉近傍に設けられたスイッチを押すと、上下動駆動部
１０はエレベータ部９を上昇させ、キャリア８は載置板
２２からエレベータ部９へ受け渡される。そしてエレベ
ータ部９が所定の高さ位置で停止すると、オペレータは
ワゴン車１１をチャンバーの扉から引き出し、チャンバ
ーの扉を閉じてスタートスイッチを押す。これにより、
搬送アーム６はキャリア８内のプレートＰの搬送及び露
光装置の動作が開始する。尚、エレベータ部９がキャリ
ア受け取りのために上昇した位置では、キャリア８内の
最下段のプレートがアーム６によって取り出せるように
なっており、エレベータ部９は露光処理の枚数によって
一段ずつキャリア８を下方へ移動させていく。
２、中間板２４を運動可能にする。その後、チャンバー
の扉近傍に設けられたスイッチを押すと、上下動駆動部
１０はエレベータ部９を上昇させ、キャリア８は載置板
２２からエレベータ部９へ受け渡される。そしてエレベ
ータ部９が所定の高さ位置で停止すると、オペレータは
ワゴン車１１をチャンバーの扉から引き出し、チャンバ
ーの扉を閉じてスタートスイッチを押す。これにより、
搬送アーム６はキャリア８内のプレートＰの搬送及び露
光装置の動作が開始する。尚、エレベータ部９がキャリ
ア受け取りのために上昇した位置では、キャリア８内の
最下段のプレートがアーム６によって取り出せるように
なっており、エレベータ部９は露光処理の枚数によって
一段ずつキャリア８を下方へ移動させていく。
【００１３】さて、キャリア８内の全プレートに対する
露光が終了したら、エレベータ部９はキャリア８を最も
上方へ移動させる。その段階でチャンバー外壁に設けら
れたアラーム（パトライト等）が起動され、その露光装
置がキャリア交換を要求していることを表示する。この
アラームを知ったオペレータは、ロックピン２６で載置
板２２を規制した空のワゴン車１１を押して行き、チャ
ンバーの扉を開いた後、ワゴン車１１を位置決め位置ま
で押す。ローラ２７Ａ、２７Ｂ、駒２８、２９によって
ワゴン車１１の位置出しができたら、オペレータはロッ
クピン２６を引きぬくとともに、エレベータ部９を降下
させるようにスイッチを押す。これによってエレベータ
部９上のキャリア８は載置板２２上に受け渡され、エレ
ベータ部９は下方の退避位置まで移動して停止する。そ
の後オペレータはロックピン２６によって載置板２２を
係止し、ワゴン車１１をチャンバー内から引き出す。
露光が終了したら、エレベータ部９はキャリア８を最も
上方へ移動させる。その段階でチャンバー外壁に設けら
れたアラーム（パトライト等）が起動され、その露光装
置がキャリア交換を要求していることを表示する。この
アラームを知ったオペレータは、ロックピン２６で載置
板２２を規制した空のワゴン車１１を押して行き、チャ
ンバーの扉を開いた後、ワゴン車１１を位置決め位置ま
で押す。ローラ２７Ａ、２７Ｂ、駒２８、２９によって
ワゴン車１１の位置出しができたら、オペレータはロッ
クピン２６を引きぬくとともに、エレベータ部９を降下
させるようにスイッチを押す。これによってエレベータ
部９上のキャリア８は載置板２２上に受け渡され、エレ
ベータ部９は下方の退避位置まで移動して停止する。そ
の後オペレータはロックピン２６によって載置板２２を
係止し、ワゴン車１１をチャンバー内から引き出す。
【００１４】以上、本実施例では、ワゴン車１１の載置
板２２とエレベータ部９との間でキャリアを受け渡すと
き、載置板２２は２次元に可動となっているため、各ピ
ン２１Ａ〜２１Ｄと底板８Ａの穴８Ｂ1 〜８Ｂ4 との係
合の際に不要な力が加わらないようになる。すなわち受
け渡しの際にピン２１Ａ〜２１Ｄと対応する穴８Ｂ1 〜
８Ｂ4 とがわずかにずれて対向していたとしても、載置
板２２が自在にＸＹ方向に微動するため、ピン２１Ａ〜
２１Ｄと穴８Ｂ1 〜８Ｂ4 とは確実に係合することにな
る。
板２２とエレベータ部９との間でキャリアを受け渡すと
き、載置板２２は２次元に可動となっているため、各ピ
ン２１Ａ〜２１Ｄと底板８Ａの穴８Ｂ1 〜８Ｂ4 との係
合の際に不要な力が加わらないようになる。すなわち受
け渡しの際にピン２１Ａ〜２１Ｄと対応する穴８Ｂ1 〜
８Ｂ4 とがわずかにずれて対向していたとしても、載置
板２２が自在にＸＹ方向に微動するため、ピン２１Ａ〜
２１Ｄと穴８Ｂ1 〜８Ｂ4 とは確実に係合することにな
る。
【００１５】以上本実施例では、ワゴン車１１をオペレ
ータが手押しするものとしたが、軌道（ガイドレール、
あるいは磁気誘導路）上を無人で自走する構成にしても
よい。またワゴン車１１上でのキャリア８の不要な移動
を防止するために、ロックピン２６を設けたが、これは
そのような方式に限られるものではない。要は載置板２
２がワゴン車１１上の所定位置に係止されさえすればよ
いので、機械的なフック機構にしてもよいし、電磁ロッ
ク方式にしてもよい。さらに、ワゴン車１１の位置決め
ローラ２７Ａ、２７Ｂを鉄等の磁性材とし、Ｖ型駒２
８、平型駒２９を電磁石等で磁化させるようにすると、
ワゴン車１１のエレベータ部９との位置決め状態を持続
させることができるので操作性が向上する。またそのよ
うに磁力によってワゴン車１１を保持できると、その場
所をワゴン車の収納スペースとして設定することがで
き、省スペース化がはかれる。
ータが手押しするものとしたが、軌道（ガイドレール、
あるいは磁気誘導路）上を無人で自走する構成にしても
よい。またワゴン車１１上でのキャリア８の不要な移動
を防止するために、ロックピン２６を設けたが、これは
そのような方式に限られるものではない。要は載置板２
２がワゴン車１１上の所定位置に係止されさえすればよ
いので、機械的なフック機構にしてもよいし、電磁ロッ
ク方式にしてもよい。さらに、ワゴン車１１の位置決め
ローラ２７Ａ、２７Ｂを鉄等の磁性材とし、Ｖ型駒２
８、平型駒２９を電磁石等で磁化させるようにすると、
ワゴン車１１のエレベータ部９との位置決め状態を持続
させることができるので操作性が向上する。またそのよ
うに磁力によってワゴン車１１を保持できると、その場
所をワゴン車の収納スペースとして設定することがで
き、省スペース化がはかれる。
【００１６】ところで、上記実施例の構成をベースにし
て、自動化をはかったワゴン車、及びキャリア搬送方式
が考えられる。もちろんワゴン車の自走化もその一環で
あるが、特にワゴン車のエレベータ部９に対する位置決
め完了を検出するセンサーを設け、そのセンサー出力に
応答してロックピン２６を解除したり、エレベータ部９
を自動的に上下動させるようにすれば、オペレータの操
作はかなり簡単になる。またワゴン車上の載置板２２、
中間板２４はロックピン２６によって係止されるが、そ
れぞれコイルバネ、引張りバネ等の付勢部材のみで常時
はニュートラル位置（移動ストロークの中点）に付勢さ
れるような構成であってもよい。この場合、載置板２２
の不要な移動が完全に係止されるわけではないが、ロッ
クピン２６の取り扱いを考えなくてよい点では簡便にな
る。
て、自動化をはかったワゴン車、及びキャリア搬送方式
が考えられる。もちろんワゴン車の自走化もその一環で
あるが、特にワゴン車のエレベータ部９に対する位置決
め完了を検出するセンサーを設け、そのセンサー出力に
応答してロックピン２６を解除したり、エレベータ部９
を自動的に上下動させるようにすれば、オペレータの操
作はかなり簡単になる。またワゴン車上の載置板２２、
中間板２４はロックピン２６によって係止されるが、そ
れぞれコイルバネ、引張りバネ等の付勢部材のみで常時
はニュートラル位置（移動ストロークの中点）に付勢さ
れるような構成であってもよい。この場合、載置板２２
の不要な移動が完全に係止されるわけではないが、ロッ
クピン２６の取り扱いを考えなくてよい点では簡便にな
る。
【００１７】
【発明の効果】以上、請求項に記載された各発明によれ
ば、キャリアと搬送車、搬送車と搬送先の装置本体とを
容易に位置決めできる、又、キャリアの大きさ、重量に
制限されることなく容易に運搬可能になる。また、請求
項２〜７に記載された発明では、キャリアを搬送先の装
置側に受け渡すときに、キャリアが搬送車上で２次元運
動できるようになっているから、キャリア底面と載置板
との係合力又は搬送先の装置とのキャリア底面との係合
力、すなわち摩擦力を小さくすることができ、ダストの
発生や係合部の摩擦による位置決め精度の悪化を小さく
抑える効果もある。
ば、キャリアと搬送車、搬送車と搬送先の装置本体とを
容易に位置決めできる、又、キャリアの大きさ、重量に
制限されることなく容易に運搬可能になる。また、請求
項２〜７に記載された発明では、キャリアを搬送先の装
置側に受け渡すときに、キャリアが搬送車上で２次元運
動できるようになっているから、キャリア底面と載置板
との係合力又は搬送先の装置とのキャリア底面との係合
力、すなわち摩擦力を小さくすることができ、ダストの
発生や係合部の摩擦による位置決め精度の悪化を小さく
抑える効果もある。
【図１】本発明の実施例による搬送車を投影露光装置へ
のプレートキャリア供給に使う場合の構成を示す斜視図
のプレートキャリア供給に使う場合の構成を示す斜視図
【図２】ワゴン車の構成を示す平面図
【図３】図２のワゴン車のＡＡ矢視断面図
【図４】プレートキャリアの底板を示す平面図
Ｐ プレート
８ キャリア
１１ ワゴン車
２２ キャリア載置板
２４ 中間板
２３、２５ リニアガイド
２６ ロックピン
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｂ６５Ｇ 35/00 Ｂ６５Ｇ 35/00 Ｚ
47/52 １０１ 47/52 １０１Ｚ
49/06 49/06 Ｚ
(56)参考文献 特開 平３−285342（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−37627（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−82884（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−74898（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−48185（ＪＰ，Ａ)
特開 昭54−179671（ＪＰ，Ａ)
実開 平３−64923（ＪＰ，Ｕ)
実開 平２−126736（ＪＰ，Ｕ)
実公 平３−285342（ＪＰ，Ｙ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
B65G 49/06 - 49/07
B60P 1/00
B60P 1/64
B61F 47/00
B62B 5/00
B65G 47/52
B65G 1/00 - 1/20
B66F 9/00 - 11/04
B25J 5/00 - 9/08
B25J 11/00
B25J 17/00 - 19/00
B25J 21/00 - 21/02
Claims (12)
- 【請求項１】 板状部材を収納可能なキャリアを載置し
て手動、もしくは自動で走行可能なキャリア搬送車にお
いて、 前記キャリアの底部の一部分を保持する載置面を有する
とともに、該載置面上に前記キャリアの底部を水平面内
で位置決めするための位置決め部が形成されたキャリア
載置台と、 該キャリア載置台を保持して床上、もしくは所定の軌道
上を走行可能な台車と、 該台車上で前記キャリア載置台を水平面内で２次元に移
動可能に保持するスライド機構と、 前記キャリア載置台を前記台車上の所定位置に係止する
係止手段と、を備えたことを特徴とするキャリア搬送
車。 - 【請求項２】 前記位置決め部は、前記載置面から突出
した少なくとも１つの突出部を有し、該突出部が前記キ
ャリアの底部に設けられた穴部に係合することで前記キ
ャリアの底部を位置決めすることを特徴とする請求項１
に記載されたキャリア搬送車。 - 【請求項３】 前記スライド機構は、前記キャリア載置
台を前記水平面内で第１の方向に案内する第１のガイド
部材と、前記キャリア載置台と前記第１のガイド部材と
を前記第１の方向と直交する第２の方向に案内する第２
のガイド部材とを備えていることを特徴とする請求項１
に記載されたキャリア搬送車。 - 【請求項４】 前記板状部材は、液晶デバイスにおける
ガラスプレートであることを特徴とする請求項１に記載
されたキャリア搬送車。 - 【請求項５】 板状部材を収納可能なキャリアを保持す
るためのキャリア保持部材と、 該キャリア保持部材を保持して床上、もしくは所定の軌
道上を走行可能な走行機構と、 前記キャリア保持部材を、所定の方向に移動可能に保持
するスライド機構と、 前記キャリア保持部材を前記走行機構上の所定位置に係
止する係止手段と、を備え、 前記キャリア保持部材が、前記走行機構による走行中に
前記キャリアの少なくとも一部と接触して該キャリアを
保持する保持面を有し、 前記スライド機構が、前記キャリア保持部材を前記保持
面内で第１の方向に案内する第１のガイド部材と、前記
キャリア保持部材と前記第１のガイド部材とを前記第１
の方向と直交する第２の方向に案内する第２のガイド部
材とを備え、前記係止手段の解除の後に前記保持面を含
む面内で前記キャリア保持部材を移動させること特徴と
するキャリア搬送車。 - 【請求項６】 前記保持面から突出した少なくとも１つ
の突出部を有し、該突出部を前記キャリアの外壁面に設
けられた穴部に係合することで前記キャリアを位置決め
する位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項５に
記載されたキャリア搬送車。 - 【請求項７】 前記板状部材は、液晶デバイスにおける
ガラスプレートであることを特徴とする請求項５に記載
されたキャリア搬送車。 - 【請求項８】 請求項１から請求項７までのいずれか１
項に記載されたキャリア搬送車と、 前記板状部材を載置するためのホルダーと、該ホルダー
上に載置された前記板状部材に所定のパターンを形成す
る光学系とを有する露光装置と、 前記キャリアと前記ホルダーとの間で前記板状部材の搬
送を行うローディング装置と、を備えたことを特徴とす
る露光システム。 - 【請求項９】 前記キャリア搬送車と前記ローディング
装置との相対位置を規定する相対位置決め手段を備えた
ことを特徴とする請求項８に記載された露光システム。 - 【請求項１０】 前記ローディング装置は、前記キャリ
アを上下に駆動する上下動駆動手段と、前記板状部材を
保持した状態で旋回可能なローダ機構とを備えているこ
とを特徴とする請求項８に記載された露光システム。 - 【請求項１１】 板状部材に所定の加工を行う処理装置
に該板状部材を供給する板状部材供給方法であって、 請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載された
キャリア搬送車を用いて前記板状部材を前記処理装置ま
で搬送することを特徴とする板状部材供給方法。 - 【請求項１２】 板状部材を所定の位置に載置し、マス
ク上に形成されたパターンを該板状部材に露光する露光
方法であって、 請求項１１記載の板状部材供給方法によって前記板状部
材を供給することを特徴とする露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP193692A JP3407306B2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | キャリア搬送車および露光システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP193692A JP3407306B2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | キャリア搬送車および露光システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05190644A JPH05190644A (ja) | 1993-07-30 |
| JP3407306B2 true JP3407306B2 (ja) | 2003-05-19 |
Family
ID=11515498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP193692A Expired - Lifetime JP3407306B2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | キャリア搬送車および露光システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3407306B2 (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10231023A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板搬送方法および基板搬送カセット |
| JPH10297742A (ja) * | 1997-04-22 | 1998-11-10 | Tokin Corp | ドッキング装置 |
| JPH11255321A (ja) * | 1998-03-11 | 1999-09-21 | Shinko Electric Co Ltd | 手押し台車 |
| JP2000072226A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-07 | Tomuko:Kk | 無軌道移動装置の位置決め機構 |
| DE19845350C1 (de) * | 1998-10-02 | 1999-12-23 | Ortner Reinraumtechnik Gmbh Vi | Fahrbarer an einer Maschine festlegbarer Transportwagen |
| JP2000332079A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Tdk Corp | 半導体製造装置用ロードポート、ロードポート取り付け機構及びロードポート取り付け方法 |
| JP2002060055A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-02-26 | Fujitsu Ltd | 搬送台車の固定装置 |
| EP1231626A1 (en) * | 2001-02-10 | 2002-08-14 | Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG | Measurement arrangement |
| US6639654B2 (en) * | 2001-04-27 | 2003-10-28 | Nikon Corporation | Wafer stage carrier and removal assembly |
| JP2003140323A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 運搬用台車および感光板の運搬方法 |
| JP2008036818A (ja) * | 2004-11-22 | 2008-02-21 | Noriaki Yonezawa | バッグおよびその装飾方法の応用 |
| KR101699983B1 (ko) * | 2007-11-15 | 2017-01-26 | 가부시키가이샤 니콘 | 마스크 케이스, 반송 장치, 노광 장치, 마스크 반송 방법 및 디바이스 제조 방법 |
| JP5106363B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2012-12-26 | ミライアル株式会社 | ウエハ収納容器 |
| JP6822133B2 (ja) * | 2016-12-22 | 2021-01-27 | Tdk株式会社 | 搬送容器接続装置、ロードポート装置、搬送容器保管ストッカー及び搬送容器接続方法 |
| CN106829361A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-06-13 | 郑飞 | 一种墙板可视重量运输装置 |
| CN106697820B (zh) * | 2016-12-23 | 2018-12-21 | 台州市三鼎机电股份有限公司 | 一种可视重量搬运装置 |
| CN113044562A (zh) * | 2021-02-08 | 2021-06-29 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种自动上下料数控加工设备 |
| CN113479580A (zh) * | 2021-06-09 | 2021-10-08 | 哈尔滨宇龙自动化有限公司 | 一种适用于多规格多种类电气柜体移动小车 |
-
1992
- 1992-01-09 JP JP193692A patent/JP3407306B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05190644A (ja) | 1993-07-30 |
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|---|---|---|---|
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