JPH10231023A - 基板搬送方法および基板搬送カセット - Google Patents
基板搬送方法および基板搬送カセットInfo
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- JPH10231023A JPH10231023A JP9038707A JP3870797A JPH10231023A JP H10231023 A JPH10231023 A JP H10231023A JP 9038707 A JP9038707 A JP 9038707A JP 3870797 A JP3870797 A JP 3870797A JP H10231023 A JPH10231023 A JP H10231023A
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67775—Docking arrangements
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 近年のＬＣＤやＰＤＰの大型化に対応するに
は、製造面においては効率のよい大型基板搬送技術が要
求されており、この要求に対応できる所要スペースの小
さい大型基板搬送方法、および、それを可能とする基板
搬送カセットが必要となっている。 【解決手段】 複数の基板を収納した基板搬送カセット
５０と、その基板搬送カセット５０を積載する台車５５
と、垂直方向に回動する回動アーム７１を有する複数の
カセット保持台７０とから成り、他のカセット保持台の
近傍から搬送先のカセット保持台の近傍へ台車５５で運
ばれてきた基板搬送カセット５０を、搬送先のカセット
保持台７０の回動アーム７１により台車５５の下方から
上方へ持ち上げて、台車５５からカセット保持台７０に
基板搬送カセット５０を移すものである。
は、製造面においては効率のよい大型基板搬送技術が要
求されており、この要求に対応できる所要スペースの小
さい大型基板搬送方法、および、それを可能とする基板
搬送カセットが必要となっている。 【解決手段】 複数の基板を収納した基板搬送カセット
５０と、その基板搬送カセット５０を積載する台車５５
と、垂直方向に回動する回動アーム７１を有する複数の
カセット保持台７０とから成り、他のカセット保持台の
近傍から搬送先のカセット保持台の近傍へ台車５５で運
ばれてきた基板搬送カセット５０を、搬送先のカセット
保持台７０の回動アーム７１により台車５５の下方から
上方へ持ち上げて、台車５５からカセット保持台７０に
基板搬送カセット５０を移すものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＬＣＤ（液晶ディス
プレイ）やＰＤＰ（プラズマディスプレイ）等を製造す
る際の基板搬送方法および基板搬送カセットに関するも
のである。
プレイ）やＰＤＰ（プラズマディスプレイ）等を製造す
る際の基板搬送方法および基板搬送カセットに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＬＣＤやＰＤＰは、用途面から
は、より見やすく、より表現力のあるディスプレイとし
てサイズの大型化が求められ、また製造コスト面から
は、１枚の基板から多数のパネルを取ることが求められ
ている。その要求に応えるためにパネルの基板サイズは
大型化の一途を辿っている。特に、ＰＤＰにおいては、
ＬＣＤよりも大きなサイズの生産が容易であるので、特
に大型の基板が要求されており、製造する際に効率のよ
い大型基板搬送技術が必要となる。
は、より見やすく、より表現力のあるディスプレイとし
てサイズの大型化が求められ、また製造コスト面から
は、１枚の基板から多数のパネルを取ることが求められ
ている。その要求に応えるためにパネルの基板サイズは
大型化の一途を辿っている。特に、ＰＤＰにおいては、
ＬＣＤよりも大きなサイズの生産が容易であるので、特
に大型の基板が要求されており、製造する際に効率のよ
い大型基板搬送技術が必要となる。
【０００３】以下図面を参照しながら、従来の基板搬送
方法の一例について説明する。図１９は従来の基板搬送
カセット（以下カセットと略す）１０と台車２０とカセ
ット保持台３０とを用いた基板搬送方法を模式的に側面
図で示すものである。図１９において、カセット１０は
複数の基板１を収納している。カセット１０に設けら
れ、基板１をピッチＰだけ空けて保持するための棚部は
図示を省略してある。また図１９は、自動あるいは手押
しにより、カセット１０を積載した台車２０を、前の工
程のカセット保持台（図示せず）の近傍から次の工程の
カセット保持台３０の近傍に移動して来た状態を示して
いる。次に、台車２０は、図２０に示すように台車２０
に設けられた腕２１ａ、２１ｂを矢印Ａの向きに延ばし
て、カセット１０をカセット保持台３０の上まで移送
し、腕２１ａ、２１ｂを矢印Ｂの向きに下げてカセット
１０をカセット保持台３０の所定の位置に置く。３１
は、腕２１ａ、２１ｂとカセット保持台３０との干渉を
避けるための窪みである。さらに腕２１ａ、２１ｂが矢
印Ａとは逆向きに縮んで台車２０に収納され、図２１の
状態となる。引き続いて、カセット保持台３０に設けら
れた基板整列バー３２により、基板１をカセット１０の
基板出入り方向（矢印Ｃ方向）と直交する方向の中央部
に整列させる。これは、公知のロボット（図示せず）
で、図２０に示すカセット保持台３０に対して台車２０
とは反対側（図２０のＨＤ側）から基板１をカセット１
０より矢印Ａ方向へ抜き出す時に、基板１が図２２に示
すカセット１０の側板１１に当たらないようにするた
め、あるいは、ロボットがカセット１０から抜いた基板
１を、基板処理装置（図示せず）の所定の位置に正確に
置けるようにするために行われる。この基板１を整列さ
せる動作を図２１の正面図を示す図２２を用いて説明す
る。図２２において基板整列バー３２をエアシリンダー
（図示せず）等で矢印Ｄ方向に押し込むと、図２３に示
すように基板整列バー３２が一点鎖線で示す位置３２ａ
まで進み、それまで図２２に示すように不揃いであった
基板１の両側面を押して、全ての基板１をカセット１０
の前記基板出入り方向（図２１の矢印Ｃ方向）と直交す
る方向（図２３の矢印Ｄ、Ｅ方向）の中央部に位置させ
る。次に基板整列バー３２を矢印Ｅ方向にエアシリンダ
ー等で駆動して元の位置に戻して整列動作を終了する。
方法の一例について説明する。図１９は従来の基板搬送
カセット（以下カセットと略す）１０と台車２０とカセ
ット保持台３０とを用いた基板搬送方法を模式的に側面
図で示すものである。図１９において、カセット１０は
複数の基板１を収納している。カセット１０に設けら
れ、基板１をピッチＰだけ空けて保持するための棚部は
図示を省略してある。また図１９は、自動あるいは手押
しにより、カセット１０を積載した台車２０を、前の工
程のカセット保持台（図示せず）の近傍から次の工程の
カセット保持台３０の近傍に移動して来た状態を示して
いる。次に、台車２０は、図２０に示すように台車２０
に設けられた腕２１ａ、２１ｂを矢印Ａの向きに延ばし
て、カセット１０をカセット保持台３０の上まで移送
し、腕２１ａ、２１ｂを矢印Ｂの向きに下げてカセット
１０をカセット保持台３０の所定の位置に置く。３１
は、腕２１ａ、２１ｂとカセット保持台３０との干渉を
避けるための窪みである。さらに腕２１ａ、２１ｂが矢
印Ａとは逆向きに縮んで台車２０に収納され、図２１の
状態となる。引き続いて、カセット保持台３０に設けら
れた基板整列バー３２により、基板１をカセット１０の
基板出入り方向（矢印Ｃ方向）と直交する方向の中央部
に整列させる。これは、公知のロボット（図示せず）
で、図２０に示すカセット保持台３０に対して台車２０
とは反対側（図２０のＨＤ側）から基板１をカセット１
０より矢印Ａ方向へ抜き出す時に、基板１が図２２に示
すカセット１０の側板１１に当たらないようにするた
め、あるいは、ロボットがカセット１０から抜いた基板
１を、基板処理装置（図示せず）の所定の位置に正確に
置けるようにするために行われる。この基板１を整列さ
せる動作を図２１の正面図を示す図２２を用いて説明す
る。図２２において基板整列バー３２をエアシリンダー
（図示せず）等で矢印Ｄ方向に押し込むと、図２３に示
すように基板整列バー３２が一点鎖線で示す位置３２ａ
まで進み、それまで図２２に示すように不揃いであった
基板１の両側面を押して、全ての基板１をカセット１０
の前記基板出入り方向（図２１の矢印Ｃ方向）と直交す
る方向（図２３の矢印Ｄ、Ｅ方向）の中央部に位置させ
る。次に基板整列バー３２を矢印Ｅ方向にエアシリンダ
ー等で駆動して元の位置に戻して整列動作を終了する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、図１９に示す基板の長さＬが長くなる
と、台車２０とカセット保持台３０との全体の長さＳ1
がきわめて長くなる。カセット保持台３０は、基板処理
装置の基板出入り口に配置されるので、その基板処理装
置の台数が多くなると台車２０とカセット保持台３０の
占める面積がきわめて大きくなり、大きなクリーンルー
ムが必要となる。クリーンルームを大きくするとクリー
ンルームの建設費が高くなるばかりでなく、クリーン度
維持のための運転コストが大きくなり、生産コストが高
くなるという問題点があった。
うな構成では、図１９に示す基板の長さＬが長くなる
と、台車２０とカセット保持台３０との全体の長さＳ1
がきわめて長くなる。カセット保持台３０は、基板処理
装置の基板出入り口に配置されるので、その基板処理装
置の台数が多くなると台車２０とカセット保持台３０の
占める面積がきわめて大きくなり、大きなクリーンルー
ムが必要となる。クリーンルームを大きくするとクリー
ンルームの建設費が高くなるばかりでなく、クリーン度
維持のための運転コストが大きくなり、生産コストが高
くなるという問題点があった。
【０００５】本発明は上記問題点に鑑み、台車とカセッ
ト保持台との全体の長さを小さくできる基板搬送方法お
よび基板搬送カセットを提供することを目的とする。
ト保持台との全体の長さを小さくできる基板搬送方法お
よび基板搬送カセットを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の請求項１記載の本発明の基板搬送方法は、
基板を収納した基板搬送カセットを積載した台車をカセ
ット保持台の近傍へ移動し、前記カセット保持台に設け
られた回動アームにより前記基板搬送カセットを持ち上
げて、前記台車上の前記基板搬送カセットを前記カセッ
ト保持台に移すものである。この方法によって、カセッ
ト保持台の長さは回動アームとその駆動部を収納する長
さ有ればよいので、台車とカセット保持台のトータル長
さを従来の構成よりも飛躍的に小さくすることができ
る。
めに本発明の請求項１記載の本発明の基板搬送方法は、
基板を収納した基板搬送カセットを積載した台車をカセ
ット保持台の近傍へ移動し、前記カセット保持台に設け
られた回動アームにより前記基板搬送カセットを持ち上
げて、前記台車上の前記基板搬送カセットを前記カセッ
ト保持台に移すものである。この方法によって、カセッ
ト保持台の長さは回動アームとその駆動部を収納する長
さ有ればよいので、台車とカセット保持台のトータル長
さを従来の構成よりも飛躍的に小さくすることができ
る。
【０００７】請求項２記載の本発明の基板搬送方法は、
基板を収納した基板搬送カセットを積載した台車をカセ
ット保持台の近傍へ移動し、前記カセット保持台に設け
られた回動アームにより前記基板搬送カセットを持ち上
げて、前記台車上の前記基板搬送カセットを前記カセッ
ト保持台に移し、前記カセット保持台上で前記基板搬送
カセットを前記台車とは反対方向に所要距離送るもので
ある。この方法によって、カセットを台車側と反対方向
に寄せてカセット保持台上に載置できるのでカセット保
持台の反台車側から基板を抜き出す距離を短くすること
ができる。したがって、カセットから基板を抜き出すロ
ボットのストロークを短くすることができ、ロボットを
安価に構成することが出来る。
基板を収納した基板搬送カセットを積載した台車をカセ
ット保持台の近傍へ移動し、前記カセット保持台に設け
られた回動アームにより前記基板搬送カセットを持ち上
げて、前記台車上の前記基板搬送カセットを前記カセッ
ト保持台に移し、前記カセット保持台上で前記基板搬送
カセットを前記台車とは反対方向に所要距離送るもので
ある。この方法によって、カセットを台車側と反対方向
に寄せてカセット保持台上に載置できるのでカセット保
持台の反台車側から基板を抜き出す距離を短くすること
ができる。したがって、カセットから基板を抜き出すロ
ボットのストロークを短くすることができ、ロボットを
安価に構成することが出来る。
【０００８】請求項３記載の本発明の基板搬送方法は、
基板を収納した基板搬送カセットを積載した台車をカセ
ット保持台へ移動し、前記台車の外周両側面を挟むよう
に前記カセット保持台に設けられた少なくとも一組のロ
ーラの間に前記台車を押し込んで位置決めするものであ
る。この方法によって、作業者が手押しで台車を位置決
めする場合、その台車の外周側面を見ながらその外周側
面が前記ガイドローラに接触するように押し込めば容易
に位置決めできるので良好な作業性を得ることができ
る。
基板を収納した基板搬送カセットを積載した台車をカセ
ット保持台へ移動し、前記台車の外周両側面を挟むよう
に前記カセット保持台に設けられた少なくとも一組のロ
ーラの間に前記台車を押し込んで位置決めするものであ
る。この方法によって、作業者が手押しで台車を位置決
めする場合、その台車の外周側面を見ながらその外周側
面が前記ガイドローラに接触するように押し込めば容易
に位置決めできるので良好な作業性を得ることができ
る。
【０００９】請求項４記載の本発明の基板搬送方法は、
請求項１または２に記載の基板搬送方法において、基板
搬送カセットと台車、および、前記基板搬送カセットと
カセット保持台の回動アームとは各々嵌合部を有してお
り、外形寸法の異なる複数の前記基板搬送カセットが共
通のサイズの前記嵌合部を有するものを使用するもので
ある。この方法によって、サイズの異なるカセットでも
台車やカセット保持台の寸法を変える必要はないので、
異なるサイズの基板を効率よく工程に流すことができ
る。
請求項１または２に記載の基板搬送方法において、基板
搬送カセットと台車、および、前記基板搬送カセットと
カセット保持台の回動アームとは各々嵌合部を有してお
り、外形寸法の異なる複数の前記基板搬送カセットが共
通のサイズの前記嵌合部を有するものを使用するもので
ある。この方法によって、サイズの異なるカセットでも
台車やカセット保持台の寸法を変える必要はないので、
異なるサイズの基板を効率よく工程に流すことができ
る。
【００１０】請求項５記載の本発明の基板搬送カセット
は、基板を収納するカセット本体と、このカセット本体
への前記基板の出入口を開閉する開閉部材と、前記基板
の出入口側とは反対側である前記基板の後端の両端角部
に近接し、前記基板の後端部を前記カセット本体の前記
基板の出入り方向と直交する方向の中央部に位置決めす
る基板後端位置決め部材と、前記開閉部材に設けられて
あって、前記基板の出入口側である前記基板の前端の両
端角部に近接し、前記基板の前端部を前記カセット本体
の前記基板の出入り方向と直交する方向の中央部に位置
決めする基板前端位置決め部材とを有するものである。
この構成によって、開閉部材の開閉によって基板をカセ
ットの中央部へ整列することができるのでカセット保持
台で基板整列する必要がない。したがって、請求項１記
載の搬送を行わしめるためのカセット保持台の構造が非
常に簡単となる。
は、基板を収納するカセット本体と、このカセット本体
への前記基板の出入口を開閉する開閉部材と、前記基板
の出入口側とは反対側である前記基板の後端の両端角部
に近接し、前記基板の後端部を前記カセット本体の前記
基板の出入り方向と直交する方向の中央部に位置決めす
る基板後端位置決め部材と、前記開閉部材に設けられて
あって、前記基板の出入口側である前記基板の前端の両
端角部に近接し、前記基板の前端部を前記カセット本体
の前記基板の出入り方向と直交する方向の中央部に位置
決めする基板前端位置決め部材とを有するものである。
この構成によって、開閉部材の開閉によって基板をカセ
ットの中央部へ整列することができるのでカセット保持
台で基板整列する必要がない。したがって、請求項１記
載の搬送を行わしめるためのカセット保持台の構造が非
常に簡単となる。
【００１１】請求項６記載の本発明の基板搬送カセット
は、基板を収納するカセット本体と、このカセット本体
への前記基板の出入口以外の５面を塞ぐカバーと、前記
出入口を開閉可能な前面カバーと、前記基板の出入口側
とは反対側である前記基板の後端の両端角部に近接し、
前記基板の後端部を前記カセット本体の前記基板の出入
り方向と直交する方向の中央部に位置決めする基板後端
位置決め部材と、前記前面カバーに設けられてあって、
前記基板の出入口側である前記基板の前端の両端角部に
近接し、前記基板の前端部を前記カセット本体の前記基
板の出入り方向と直交する方向の中央部に位置決めする
基板前端位置決め部材とを有するものである。この構成
によって、請求項５と同様の効果と、更にカセットの６
面を塞いだことによって、クリーン度の悪い環境中を搬
送しても内部の基板は汚染されないので、基板搬送路の
クリーン度を落とすことができるようになる。したがっ
てクリーンルームの建設費が安価になるばかりでなく、
クリーン度維持のための運転コストも低くすることがで
きる。
は、基板を収納するカセット本体と、このカセット本体
への前記基板の出入口以外の５面を塞ぐカバーと、前記
出入口を開閉可能な前面カバーと、前記基板の出入口側
とは反対側である前記基板の後端の両端角部に近接し、
前記基板の後端部を前記カセット本体の前記基板の出入
り方向と直交する方向の中央部に位置決めする基板後端
位置決め部材と、前記前面カバーに設けられてあって、
前記基板の出入口側である前記基板の前端の両端角部に
近接し、前記基板の前端部を前記カセット本体の前記基
板の出入り方向と直交する方向の中央部に位置決めする
基板前端位置決め部材とを有するものである。この構成
によって、請求項５と同様の効果と、更にカセットの６
面を塞いだことによって、クリーン度の悪い環境中を搬
送しても内部の基板は汚染されないので、基板搬送路の
クリーン度を落とすことができるようになる。したがっ
てクリーンルームの建設費が安価になるばかりでなく、
クリーン度維持のための運転コストも低くすることがで
きる。
【００１２】請求項７記載の本発明の基板搬送カセット
は、基板を収納するカセット本体と、このカセット本体
の前記基板の出入口以外の面を塞ぐカバーと、前記出入
口を開閉可能な前面カバーと、前記カセット本体の下部
に設けた車輪とからなるものである。この構成によっ
て、基板サイズが大きくなって基板入りカセットの重量
が大きくなっても台車無しでも容易に、しかも基板を汚
染させることなく、例えば床上を転がせて移動させるこ
とができるので緊急時に優れた対応性を発揮することが
できる。
は、基板を収納するカセット本体と、このカセット本体
の前記基板の出入口以外の面を塞ぐカバーと、前記出入
口を開閉可能な前面カバーと、前記カセット本体の下部
に設けた車輪とからなるものである。この構成によっ
て、基板サイズが大きくなって基板入りカセットの重量
が大きくなっても台車無しでも容易に、しかも基板を汚
染させることなく、例えば床上を転がせて移動させるこ
とができるので緊急時に優れた対応性を発揮することが
できる。
【００１３】請求項８記載の本発明の基板搬送カセット
は、基板を収納するカセット本体と、前記基板の縁部に
当接して基板を支持する複数の基板支持部材とからなる
基板搬送カセットであって、前記基板支持部材を、垂直
方向に設けた複数の軸と、この軸に回転可能に上下方向
位置を規制部材で規制して設けた複数の回転支持部材と
により構成したものである。この構成によって、手作業
で基板をカセットに出し入れする場合、基板を支持する
支持部材に基板が衝突した時でもその支持部材が回転す
るので衝突のショックが緩和され、発塵を最小限にする
ことができる。
は、基板を収納するカセット本体と、前記基板の縁部に
当接して基板を支持する複数の基板支持部材とからなる
基板搬送カセットであって、前記基板支持部材を、垂直
方向に設けた複数の軸と、この軸に回転可能に上下方向
位置を規制部材で規制して設けた複数の回転支持部材と
により構成したものである。この構成によって、手作業
で基板をカセットに出し入れする場合、基板を支持する
支持部材に基板が衝突した時でもその支持部材が回転す
るので衝突のショックが緩和され、発塵を最小限にする
ことができる。
【００１４】請求項９記載の本発明の基板搬送カセット
は、基板を収納するカセット本体と、前記基板の縁部に
当接して前記基板を支持する複数の基板支持部材とから
なる基板搬送カセットであって、前記基板支持部材を、
垂直方向に設けた複数の軸と、その軸に回転可能に上下
方向位置を規制部材で規制して設けた複数の回転支持部
材とにより構成し、前記回転支持部材と前記規制部材と
の接触回転により発生したダストを受けるダスト受け鍔
を前記回転支持部材に形成したものである。この構成に
よって、回転接触部から発生するダストがカセット内の
空間に拡散する前に受けることができるので基板の汚染
を防止することができる。
は、基板を収納するカセット本体と、前記基板の縁部に
当接して前記基板を支持する複数の基板支持部材とから
なる基板搬送カセットであって、前記基板支持部材を、
垂直方向に設けた複数の軸と、その軸に回転可能に上下
方向位置を規制部材で規制して設けた複数の回転支持部
材とにより構成し、前記回転支持部材と前記規制部材と
の接触回転により発生したダストを受けるダスト受け鍔
を前記回転支持部材に形成したものである。この構成に
よって、回転接触部から発生するダストがカセット内の
空間に拡散する前に受けることができるので基板の汚染
を防止することができる。
【００１５】請求項１０記載の本発明の基板搬送カセッ
トは、基板を収納するカセット本体と、前記基板の縁部
に当接して前記基板を支持する複数の基板支持部材とか
らなる基板搬送カセットであって、前記基板支持部材
を、垂直方向に設けた複数の軸と、この軸に回転可能に
上下方向位置を規制部材で規制して設けた複数の回転支
持部材とにより構成し、前記回転支持部材を円筒部と基
板を支持する鍔部とにより構成し、前記円筒部の上部の
側面と前記円筒部の底面とのなす角度は、前記円筒部の
下部の側面と前記円筒部の底面とのなす角度よりも大き
く、前記円筒部の下部の下部大径端部と前記基板の縁部
とが近接したものである。この構成によって、回転支持
部材の円筒部の下部外周面の下部大径端部を基板の縁部
に近接させられるので、その基板を位置決めすることが
でき、請求項５記載の基板搬送カセットと同様にカセッ
ト保持台で基板整列する必要がない。したがって、基板
搬送を行わしめるためのカセット保持台の構造が非常に
簡単となる。
トは、基板を収納するカセット本体と、前記基板の縁部
に当接して前記基板を支持する複数の基板支持部材とか
らなる基板搬送カセットであって、前記基板支持部材
を、垂直方向に設けた複数の軸と、この軸に回転可能に
上下方向位置を規制部材で規制して設けた複数の回転支
持部材とにより構成し、前記回転支持部材を円筒部と基
板を支持する鍔部とにより構成し、前記円筒部の上部の
側面と前記円筒部の底面とのなす角度は、前記円筒部の
下部の側面と前記円筒部の底面とのなす角度よりも大き
く、前記円筒部の下部の下部大径端部と前記基板の縁部
とが近接したものである。この構成によって、回転支持
部材の円筒部の下部外周面の下部大径端部を基板の縁部
に近接させられるので、その基板を位置決めすることが
でき、請求項５記載の基板搬送カセットと同様にカセッ
ト保持台で基板整列する必要がない。したがって、基板
搬送を行わしめるためのカセット保持台の構造が非常に
簡単となる。
【００１６】請求項１１記載の本発明の基板搬送カセッ
トは、請求項１０に記載の基板搬送カセットにおいて、
カセット本体への基板の出入口を開閉する開閉部材と、
前記基板の出入口側とは反対側である前記基板の後端に
近接した基板後端位置決め部材と、前記開閉部材に設け
られてあって、前記基板の出入口側である前記基板の前
端に近接した基板前端位置決め部材とを有するものであ
る。この構成によって請求項６記載の基板搬送カセット
の場合と同様の効果を奏することができる。
トは、請求項１０に記載の基板搬送カセットにおいて、
カセット本体への基板の出入口を開閉する開閉部材と、
前記基板の出入口側とは反対側である前記基板の後端に
近接した基板後端位置決め部材と、前記開閉部材に設け
られてあって、前記基板の出入口側である前記基板の前
端に近接した基板前端位置決め部材とを有するものであ
る。この構成によって請求項６記載の基板搬送カセット
の場合と同様の効果を奏することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。
て、図面を参照しながら説明する。
【００１８】（実施の形態１）図１および図２は本発明
の一実施の形態における基板搬送方法の基本動作を説明
するための図である。図１において、カセット５０は複
数の基板４１を収納している。カセット５０内に設けら
れ、基板４１をピッチＰだけ空けて保持するための棚部
は図示を省略してある。また図１は、自動あるいは手押
しにより、カセット５０を積載した台車５５を、前の工
程のカセット保持台（図示せず）の近傍から次の工程の
カセット保持台７０の近傍に移動させ、台車５５を位置
決めした状態を示している。必要に応じて台車５５に公
知のブレーキ装置を設けて、その状態でブレーキをかけ
るようにしてもよい。また、カセット保持台７０から公
知のフックを伸ばして台車５５に引っ掛けて、台車５５
がカセット保持台７０から大きく離れるのを防止するよ
うにしてもよい。
の一実施の形態における基板搬送方法の基本動作を説明
するための図である。図１において、カセット５０は複
数の基板４１を収納している。カセット５０内に設けら
れ、基板４１をピッチＰだけ空けて保持するための棚部
は図示を省略してある。また図１は、自動あるいは手押
しにより、カセット５０を積載した台車５５を、前の工
程のカセット保持台（図示せず）の近傍から次の工程の
カセット保持台７０の近傍に移動させ、台車５５を位置
決めした状態を示している。必要に応じて台車５５に公
知のブレーキ装置を設けて、その状態でブレーキをかけ
るようにしてもよい。また、カセット保持台７０から公
知のフックを伸ばして台車５５に引っ掛けて、台車５５
がカセット保持台７０から大きく離れるのを防止するよ
うにしてもよい。
【００１９】次に、カセット保持台７０は、図１に示す
ように回動アーム７１を軸７２を中心として矢印Ｈ方向
に回動させ、図２に示すようにカセット５０を持ち上げ
て保持する。５６は、回動アーム７１と台車５５との干
渉を避けるための逃がし部を示す。７３は、カセット保
持台７０が倒れないように床５に固定するためのアンカ
ーボルトを示す。
ように回動アーム７１を軸７２を中心として矢印Ｈ方向
に回動させ、図２に示すようにカセット５０を持ち上げ
て保持する。５６は、回動アーム７１と台車５５との干
渉を避けるための逃がし部を示す。７３は、カセット保
持台７０が倒れないように床５に固定するためのアンカ
ーボルトを示す。
【００２０】上記回動アーム７１に回動動作を与える方
法の一例を図３を用いて説明する。７４は公知のエアシ
リンダーで、本体下端７４ａおよびロッド７４ｂの各先
端はピン７５、７６で各々カセット保持台７０および回
動アーム７１に接続されている。エアシリンダー７４の
ロッド７４ｂが伸びると、一点鎖線で示すように回動ア
ーム７１は矢印Ｈ方向に回動する。エアシリンダー７４
の代わりにモータとねじおよびナットを用いた駆動方法
としてもよい。
法の一例を図３を用いて説明する。７４は公知のエアシ
リンダーで、本体下端７４ａおよびロッド７４ｂの各先
端はピン７５、７６で各々カセット保持台７０および回
動アーム７１に接続されている。エアシリンダー７４の
ロッド７４ｂが伸びると、一点鎖線で示すように回動ア
ーム７１は矢印Ｈ方向に回動する。エアシリンダー７４
の代わりにモータとねじおよびナットを用いた駆動方法
としてもよい。
【００２１】以上の構成によれば、図２に示す台車５５
とカセット保持台７０の全体の長さＳ2を図１９に示す
従来の全体の長さＳ1よりも飛躍的に小さくすることが
できる。カセット保持台は基板処理装置の基板出入り口
に配置されるので、基板処理装置、台車、カセット保持
台を含む総合面積を従来よりも著しく小さくできる。し
たがってクリーンルームの所要面積を小さくできるの
で、その建設費を安価にできるばかりでなく、クリーン
度維持のための運転コストも削減できるという大きな効
果を発揮することができる。
とカセット保持台７０の全体の長さＳ2を図１９に示す
従来の全体の長さＳ1よりも飛躍的に小さくすることが
できる。カセット保持台は基板処理装置の基板出入り口
に配置されるので、基板処理装置、台車、カセット保持
台を含む総合面積を従来よりも著しく小さくできる。し
たがってクリーンルームの所要面積を小さくできるの
で、その建設費を安価にできるばかりでなく、クリーン
度維持のための運転コストも削減できるという大きな効
果を発揮することができる。
【００２２】（実施の形態２）次に本発明の他の実施の
形態における基板搬送方法を図４〜図６を用いて説明す
る。
形態における基板搬送方法を図４〜図６を用いて説明す
る。
【００２３】図４はカセット６０を基板を省略して示す
ものである。図５は、このカセット６０とこのカセット
６０に適用する台車８０と回動アーム９１とを、図４の
Ｋ−Ｋ断面で示すものである。図６は、図５においてカ
セット６０を取り外した状態で、台車８０と回動アーム
９１とを上から見た図である。図６において、９０は、
図１に示したカセット保持台７０と同様なカセット保持
台で、回動アーム９１を有している。９３は図１に示し
た軸７２と同様な軸を示す。
ものである。図５は、このカセット６０とこのカセット
６０に適用する台車８０と回動アーム９１とを、図４の
Ｋ−Ｋ断面で示すものである。図６は、図５においてカ
セット６０を取り外した状態で、台車８０と回動アーム
９１とを上から見た図である。図６において、９０は、
図１に示したカセット保持台７０と同様なカセット保持
台で、回動アーム９１を有している。９３は図１に示し
た軸７２と同様な軸を示す。
【００２４】図４および図５において、６１はカセット
６０の下部に設けた車輪であり、６２、６３は同じくピ
ンを示す。図５および図６において、８２は台車８０に
設けた凹部で、ピン６２が嵌合可能になっている。９２
は回動アーム９１に設けた凹部で、ピン６３が嵌合可能
になっている。図５からわかるように、カセット６０が
台車８０で運ばれている時は、ピン６２は凹部８２に嵌
合しているので、カセット６０は台車８０の所定位置か
らずれることはない。また、回動アーム９１でカセット
６０を持ち上げる時は、ピン６３が凹部９２に嵌合する
ので、カセット６０が回動アーム９１の所定の位置から
ずれることはない。
６０の下部に設けた車輪であり、６２、６３は同じくピ
ンを示す。図５および図６において、８２は台車８０に
設けた凹部で、ピン６２が嵌合可能になっている。９２
は回動アーム９１に設けた凹部で、ピン６３が嵌合可能
になっている。図５からわかるように、カセット６０が
台車８０で運ばれている時は、ピン６２は凹部８２に嵌
合しているので、カセット６０は台車８０の所定位置か
らずれることはない。また、回動アーム９１でカセット
６０を持ち上げる時は、ピン６３が凹部９２に嵌合する
ので、カセット６０が回動アーム９１の所定の位置から
ずれることはない。
【００２５】ここで、カセットに収納する基板のサイズ
が変わるとカセットのサイズも変わる。図４および図５
に示すように、例えば基板サイズが小さくなってカセッ
ト６０の長さが、Ｌ1からＬ2になり、カセット６０の幅
Ｗ1がＷ2になった場合でも、カセット６０の前端からピ
ン６２、６３までの寸法Ｌ3、ピン６２、６３の中心間
ピッチＷ3を共通化、すなわちカセット６０と台車８０
および回動アーム９１との嵌合部の寸法を共通化してお
くと、サイズの異なるカセットでも台車やカセット保持
台の寸法を変える必要はないので、異なるサイズの基板
を効率よく工程に流すことができる。
が変わるとカセットのサイズも変わる。図４および図５
に示すように、例えば基板サイズが小さくなってカセッ
ト６０の長さが、Ｌ1からＬ2になり、カセット６０の幅
Ｗ1がＷ2になった場合でも、カセット６０の前端からピ
ン６２、６３までの寸法Ｌ3、ピン６２、６３の中心間
ピッチＷ3を共通化、すなわちカセット６０と台車８０
および回動アーム９１との嵌合部の寸法を共通化してお
くと、サイズの異なるカセットでも台車やカセット保持
台の寸法を変える必要はないので、異なるサイズの基板
を効率よく工程に流すことができる。
【００２６】（実施の形態３）次に本発明の他の実施の
形態における基板搬送方法を、実施の形態２の場合と同
一構成要素は同一番号にて図７〜図９を用いて説明す
る。
形態における基板搬送方法を、実施の形態２の場合と同
一構成要素は同一番号にて図７〜図９を用いて説明す
る。
【００２７】図７および図８は図６と同様に、台車８０
とカセット保持台１００とその回動アーム１０１とを、
カセット６０を取り外した状態で上から見た図である。
図７において、カセット送り部材１０３は図６に示した
凹部９２と同様な凹部１０２を有している。１０４は回
動アーム１０１に固定された公知のエアシリンダを示
す。そのロッド１０５はカセット送り部材１０３に接続
されている。上記構成により、エアシリンダ１０４を動
作させ、そのロッド１０５を伸ばすとカセット送り部材
１０３は、図８に示すように矢印Ｊ1方向に送られる。
この時、カセット６０は凹部１０２に嵌合するピン６３
により送られて、図９に示すようにカセット６０の前端
６０ａがカセット保持台１００の前端位置１００ａまで
送られる。このようにカセット６０を、回動アーム１０
１により持ち上げてこのカセット６０をカセット保持台
１００に移し、さらにそのカセット保持台１００上でカ
セット６０を台車８０とは反対のＪ1方向に所要距離送
ることにより、カセット６０を台車側と反対方向に寄せ
てカセット保持台１００上に載置できるので、図９に示
すようにカセット保持台１００に対して台車８０の反対
側すなわちＨＤ側から基板を抜き出す距離を、図２の場
合よりも距離Ｌ4だけ短くすることができる。したがっ
て、カセット６０から基板４１をロボット（図示せず）
で抜き出す場合、ロボットの動作ストロークを短くでき
るので、ロボットを安価に構成することができる。
とカセット保持台１００とその回動アーム１０１とを、
カセット６０を取り外した状態で上から見た図である。
図７において、カセット送り部材１０３は図６に示した
凹部９２と同様な凹部１０２を有している。１０４は回
動アーム１０１に固定された公知のエアシリンダを示
す。そのロッド１０５はカセット送り部材１０３に接続
されている。上記構成により、エアシリンダ１０４を動
作させ、そのロッド１０５を伸ばすとカセット送り部材
１０３は、図８に示すように矢印Ｊ1方向に送られる。
この時、カセット６０は凹部１０２に嵌合するピン６３
により送られて、図９に示すようにカセット６０の前端
６０ａがカセット保持台１００の前端位置１００ａまで
送られる。このようにカセット６０を、回動アーム１０
１により持ち上げてこのカセット６０をカセット保持台
１００に移し、さらにそのカセット保持台１００上でカ
セット６０を台車８０とは反対のＪ1方向に所要距離送
ることにより、カセット６０を台車側と反対方向に寄せ
てカセット保持台１００上に載置できるので、図９に示
すようにカセット保持台１００に対して台車８０の反対
側すなわちＨＤ側から基板を抜き出す距離を、図２の場
合よりも距離Ｌ4だけ短くすることができる。したがっ
て、カセット６０から基板４１をロボット（図示せず）
で抜き出す場合、ロボットの動作ストロークを短くでき
るので、ロボットを安価に構成することができる。
【００２８】次に、台車８０をカセット保持台１００の
幅方向に位置決めする方法の一例を図１０を用いて説明
する。
幅方向に位置決めする方法の一例を図１０を用いて説明
する。
【００２９】この方法は、実施の形態１または２の場合
にも適用できる。カセット保持台９５はカセット保持台
１００と同様で、ブラケット９６と軸９７に回転自在に
支持された例えば外周がゴム製のガイドローラ９８を２
個１組有している。他のカセット保持台の近傍から搬送
先のカセット保持台の近傍へ、動力あるいは手押しによ
り運ばれてきた台車８０は、その外周側面８０ａ、８０
ｂがガイドローラ９８同士間に挟まれてガイドされてカ
セット保持台９５の所定の位置に位置決めされる。この
作業は、台車８０の外周側面８０ａ、８０ｂのいずれか
一方を作業者が見て、その側のガイドローラ９８に接触
するように台車８０を押し込むことにより行われ、容易
に位置決めできるので良好な作業性を得ることができ
る。
にも適用できる。カセット保持台９５はカセット保持台
１００と同様で、ブラケット９６と軸９７に回転自在に
支持された例えば外周がゴム製のガイドローラ９８を２
個１組有している。他のカセット保持台の近傍から搬送
先のカセット保持台の近傍へ、動力あるいは手押しによ
り運ばれてきた台車８０は、その外周側面８０ａ、８０
ｂがガイドローラ９８同士間に挟まれてガイドされてカ
セット保持台９５の所定の位置に位置決めされる。この
作業は、台車８０の外周側面８０ａ、８０ｂのいずれか
一方を作業者が見て、その側のガイドローラ９８に接触
するように台車８０を押し込むことにより行われ、容易
に位置決めできるので良好な作業性を得ることができ
る。
【００３０】以上の実施の形態１〜３においては、回動
アーム７１、９１、１０１で直接カセット５０、６０を
持ち上げたが、車輪６１を持ち上げてもよい。
アーム７１、９１、１０１で直接カセット５０、６０を
持ち上げたが、車輪６１を持ち上げてもよい。
【００３１】（実施の形態４）次に本発明の一実施の形
態における基板搬送カセットを図１１〜図１３を用いて
説明する。
態における基板搬送カセットを図１１〜図１３を用いて
説明する。
【００３２】図１１および図１２はそれぞれカセット１
１０の側面図および平面図である。カセット１１０は、
上面１１０ａ、下面１１０ｂ、両側面１１０ｃ、１１０
ｄおよび後面１１０ｊがカバーで塞がれており、カセッ
ト５０、６０と同様に内部に基板１２１を収納してい
る。前面カバー１１１は、カセット１１０に設けたブラ
ケット１１２のピン１１３に回動自在に支持されてい
る。パッキン１１４は、前面カバー１１１に設けられて
おり、カセット１１０の前面１１０ｅに密着している。
図１３に示すようにロックレバー１１５は、前面カバー
１１１と薄肉のヒンジ部１１６で接続されており、一端
にロック解除突起１１７、他端にロック爪１１８がそれ
ぞれ形成されている。そのロック爪１１８はカセット１
１０の側面の凹部１１０ｆに係合すると、前面カバー１
１１はパッキン１１４を介してカセット１１０の前面１
１０ｅを密閉する。ロック解除突起１１７を押すと、ロ
ックレバー１１５は図１３の一点鎖線で示すようにヒン
ジ部１１６を中心に回動し、ロック爪１１８は凹部１１
０ｆから外れ、図１１の矢印Ｎに示すように前面カバー
１１１を開くことができる。
１０の側面図および平面図である。カセット１１０は、
上面１１０ａ、下面１１０ｂ、両側面１１０ｃ、１１０
ｄおよび後面１１０ｊがカバーで塞がれており、カセッ
ト５０、６０と同様に内部に基板１２１を収納してい
る。前面カバー１１１は、カセット１１０に設けたブラ
ケット１１２のピン１１３に回動自在に支持されてい
る。パッキン１１４は、前面カバー１１１に設けられて
おり、カセット１１０の前面１１０ｅに密着している。
図１３に示すようにロックレバー１１５は、前面カバー
１１１と薄肉のヒンジ部１１６で接続されており、一端
にロック解除突起１１７、他端にロック爪１１８がそれ
ぞれ形成されている。そのロック爪１１８はカセット１
１０の側面の凹部１１０ｆに係合すると、前面カバー１
１１はパッキン１１４を介してカセット１１０の前面１
１０ｅを密閉する。ロック解除突起１１７を押すと、ロ
ックレバー１１５は図１３の一点鎖線で示すようにヒン
ジ部１１６を中心に回動し、ロック爪１１８は凹部１１
０ｆから外れ、図１１の矢印Ｎに示すように前面カバー
１１１を開くことができる。
【００３３】図１２において、基板後端位置決め部材１
１０ｇ、１１０ｈは、カセット１１０に設けられて各々
基板１２１の後端角部のコーナカット１２１ａ、１２１
ｂに所要の隙間を持って近接し、その基板１２１の後端
部１２１ｅをカセット１１０の前記基板出入り方向と直
交する方向、すなわち図１２のＴ方向の中央部に位置決
めする。基板前端位置決め部材１１１ａ、１１１ｂは、
前面カバー１１１に設けられて各々基板１２１の前端角
部のコーナカット１２１ｃ、１２１ｄに所要の隙間を持
って近接し、前記と同様、基板１２１の前端部１２１ｆ
をＴ方向の中央部に位置決めする。この所要の隙間は、
ロボット（図示せず）がカセット１１０から抜いた基板
１２１を基板処理装置（図示せず）の所定の位置に置け
るように、基板１２１がカセット１１０の中央部に位置
決めされた状態に保つことができる程度の隙間であれば
よい。また、基板前端位置決め部材１１１ａ、１１１ｂ
は各々基板１２１のコーナカット１２１ｃ、１２１ｄに
当接してもよい。基板後端位置決め部材１１０ｇ、１１
０ｈは各々基板１２１のコーナカット１２１ａ、１２１
ｂに当接してもよい。コーナカット１２１ｃは、基板の
向きを特定するために他のコーナカットよりも大きくし
てあるが、その必要がなければ同じ大きさでもよい。
１０ｇ、１１０ｈは、カセット１１０に設けられて各々
基板１２１の後端角部のコーナカット１２１ａ、１２１
ｂに所要の隙間を持って近接し、その基板１２１の後端
部１２１ｅをカセット１１０の前記基板出入り方向と直
交する方向、すなわち図１２のＴ方向の中央部に位置決
めする。基板前端位置決め部材１１１ａ、１１１ｂは、
前面カバー１１１に設けられて各々基板１２１の前端角
部のコーナカット１２１ｃ、１２１ｄに所要の隙間を持
って近接し、前記と同様、基板１２１の前端部１２１ｆ
をＴ方向の中央部に位置決めする。この所要の隙間は、
ロボット（図示せず）がカセット１１０から抜いた基板
１２１を基板処理装置（図示せず）の所定の位置に置け
るように、基板１２１がカセット１１０の中央部に位置
決めされた状態に保つことができる程度の隙間であれば
よい。また、基板前端位置決め部材１１１ａ、１１１ｂ
は各々基板１２１のコーナカット１２１ｃ、１２１ｄに
当接してもよい。基板後端位置決め部材１１０ｇ、１１
０ｈは各々基板１２１のコーナカット１２１ａ、１２１
ｂに当接してもよい。コーナカット１２１ｃは、基板の
向きを特定するために他のコーナカットよりも大きくし
てあるが、その必要がなければ同じ大きさでもよい。
【００３４】基板後端位置決め部材１１０ｇ、１１０ｈ
あるいは基板前端位置決め部材１１１ａ、１１１ｂのう
ち少なくとも一方が弾性部材である場合は、基板前端位
置決め部材１１１ａ、１１１ｂ、基板後端位置決め部材
１１０ｇ、１１０ｈを基板１２１のコーナカットに密接
させてもよい。
あるいは基板前端位置決め部材１１１ａ、１１１ｂのう
ち少なくとも一方が弾性部材である場合は、基板前端位
置決め部材１１１ａ、１１１ｂ、基板後端位置決め部材
１１０ｇ、１１０ｈを基板１２１のコーナカットに密接
させてもよい。
【００３５】以上の構成により、前面カバー１１１を閉
めれば基板後端位置決め部材１１０ｇ、１１０ｈ、およ
び基板前端位置決め部材１１１ａ、１１１ｂにより基板
１２１はカセット１１０の中央部に位置決めされ、カセ
ット１１０を台車等で搬送する時に振動や衝撃が加わっ
ても基板１２１の位置がカセットの中央部からずれるこ
とはない。したがって、例えば、このカセット１１０を
図１の実施の形態１のように台車５５でカセット保持台
７０の近傍に送り、その台車５５がカセット保持台７０
の近傍に位置決めされる前に、あるいは位置決めされた
後に前面カバー１１１を開ければ、基板１２１はカセッ
ト１１０の中央部に位置決めされた状態が維持される。
もちろん、この時台車５５の位置決め操作、カセットの
回動アームによる持ち上げ動作において、基板１２１が
カセット１１０の中央部からずれるほどの衝撃が生じて
はならないが、通常の操作、動作では問題が発生するほ
どずれることはない。
めれば基板後端位置決め部材１１０ｇ、１１０ｈ、およ
び基板前端位置決め部材１１１ａ、１１１ｂにより基板
１２１はカセット１１０の中央部に位置決めされ、カセ
ット１１０を台車等で搬送する時に振動や衝撃が加わっ
ても基板１２１の位置がカセットの中央部からずれるこ
とはない。したがって、例えば、このカセット１１０を
図１の実施の形態１のように台車５５でカセット保持台
７０の近傍に送り、その台車５５がカセット保持台７０
の近傍に位置決めされる前に、あるいは位置決めされた
後に前面カバー１１１を開ければ、基板１２１はカセッ
ト１１０の中央部に位置決めされた状態が維持される。
もちろん、この時台車５５の位置決め操作、カセットの
回動アームによる持ち上げ動作において、基板１２１が
カセット１１０の中央部からずれるほどの衝撃が生じて
はならないが、通常の操作、動作では問題が発生するほ
どずれることはない。
【００３６】以上の構成によれば、前面カバー１１１の
開閉によって基板１２１をカセット１１０の中央部へ整
列することができるので、カセット保持台で基板整列す
る必要がない。したがって図２１、図２２、図２３に示
すような従来の基板整列機構は必要としないので、カセ
ット保持台の構造が非常に簡単となる。
開閉によって基板１２１をカセット１１０の中央部へ整
列することができるので、カセット保持台で基板整列す
る必要がない。したがって図２１、図２２、図２３に示
すような従来の基板整列機構は必要としないので、カセ
ット保持台の構造が非常に簡単となる。
【００３７】また、カセット１１０の前面１１０ｅを除
く５面を固定カバーで塞ぎ、前面を密閉可能な前面カバ
ー１１１で塞ぐことにより、クリーン度の悪い環境中を
搬送しても内部の基板は汚染されないので、基板搬送路
のクリーン度を落とすことができるようになる。したが
ってクリーンルームの建設費が安価になるばかりでな
く、クリーン度維持のための運転コストも低くすること
ができる。
く５面を固定カバーで塞ぎ、前面を密閉可能な前面カバ
ー１１１で塞ぐことにより、クリーン度の悪い環境中を
搬送しても内部の基板は汚染されないので、基板搬送路
のクリーン度を落とすことができるようになる。したが
ってクリーンルームの建設費が安価になるばかりでな
く、クリーン度維持のための運転コストも低くすること
ができる。
【００３８】クリーン環境が整備されている環境で用い
る場合は、前記５面を塞ぐ必要はなく、また、カセット
１１０の前面１１０ｅも密閉する必要はなく、前面カバ
ー１１１には基板前端位置決め部材１１１ａ、１１１ｂ
を設けておけばよい。
る場合は、前記５面を塞ぐ必要はなく、また、カセット
１１０の前面１１０ｅも密閉する必要はなく、前面カバ
ー１１１には基板前端位置決め部材１１１ａ、１１１ｂ
を設けておけばよい。
【００３９】また、カセット１１０に図４に示す車輪６
１を設けておけば、基板サイズが大きくなって基板入り
カセットの重量が大きくなっても、台車なしでも容易
に、しかも基板を汚染させることなく、例えば床上等を
転がして移動させることができるので、緊急時に優れた
対応性を発揮することができる。
１を設けておけば、基板サイズが大きくなって基板入り
カセットの重量が大きくなっても、台車なしでも容易
に、しかも基板を汚染させることなく、例えば床上等を
転がして移動させることができるので、緊急時に優れた
対応性を発揮することができる。
【００４０】（実施の形態５）次に本発明の他の実施の
形態における基板搬送カセットを図１４および図１５を
用いて説明する。
形態における基板搬送カセットを図１４および図１５を
用いて説明する。
【００４１】図１４は、図１９のカセット１０の説明時
に説明を省略した、基板４１を間隔Ｐだけ空けて保持す
るための棚部の構造を断面で示す図である。図１５は図
１４の要部拡大図である。図１４および図１５におい
て、軸１３０はカセットの本体（図示せず）に設けら
れ、複数の回転支持部材１４０を公知の止輪１３１でピ
ッチＰだけ空けて回転自在に支持する。基板支持鍔１４
１はその回転支持部材１４０に形成され、基板４１の縁
部４１ａをその上面１４１ａに載置し、ピッチＰだけ空
けて複数の基板４１を支持する。小径鍔１４２は回転支
持部材１４０に形成され、凹部１４２ａを有している。
この凹部１４２ａは、止輪１３１と回転支持部材１４０
との回転接触により発生したダスト１５０を受ける。し
たがって小径鍔１４２は、ダスト受け鍔としての役目を
果たすことになる。
に説明を省略した、基板４１を間隔Ｐだけ空けて保持す
るための棚部の構造を断面で示す図である。図１５は図
１４の要部拡大図である。図１４および図１５におい
て、軸１３０はカセットの本体（図示せず）に設けら
れ、複数の回転支持部材１４０を公知の止輪１３１でピ
ッチＰだけ空けて回転自在に支持する。基板支持鍔１４
１はその回転支持部材１４０に形成され、基板４１の縁
部４１ａをその上面１４１ａに載置し、ピッチＰだけ空
けて複数の基板４１を支持する。小径鍔１４２は回転支
持部材１４０に形成され、凹部１４２ａを有している。
この凹部１４２ａは、止輪１３１と回転支持部材１４０
との回転接触により発生したダスト１５０を受ける。し
たがって小径鍔１４２は、ダスト受け鍔としての役目を
果たすことになる。
【００４２】以上の回転可能な回転支持部材１４０の基
板支持鍔１４１により基板４１を支持する構成とするこ
とにより、手作業で基板４１をカセットに出し入れする
場合、基板４１が回転支持部材１４０の基板支持鍔１４
１や、外周がテーパ状に形成された円筒部１４３に衝突
した時でも、回転支持部材１４０が回転するので衝突の
ショックが緩和され、発塵を最小限に抑制することがで
きる。
板支持鍔１４１により基板４１を支持する構成とするこ
とにより、手作業で基板４１をカセットに出し入れする
場合、基板４１が回転支持部材１４０の基板支持鍔１４
１や、外周がテーパ状に形成された円筒部１４３に衝突
した時でも、回転支持部材１４０が回転するので衝突の
ショックが緩和され、発塵を最小限に抑制することがで
きる。
【００４３】また、ダスト受け鍔としての役目を果たす
小径鍔１４２を回転支持部材１４０に設けることによ
り、回転接触部から発生するダストがカセット内の空間
に拡散する前に受けることができるので、基板の汚染を
防止することができる。
小径鍔１４２を回転支持部材１４０に設けることによ
り、回転接触部から発生するダストがカセット内の空間
に拡散する前に受けることができるので、基板の汚染を
防止することができる。
【００４４】（実施の形態６）次に本発明の他の実施の
形態における基板搬送カセットを図１６および図１７を
用いて説明する。
形態における基板搬送カセットを図１６および図１７を
用いて説明する。
【００４５】最近は、基板の端面の面取りは図１６
（ａ）に示す直線状の面取りから同図（ｂ）に示す曲線
状のアール面取りに変わってきている。その理由は、基
板搬送時に搬送通路に端面が衝突した場合、図１６
（ａ）の直線状の面取りのエッジ１６０が欠けやすいこ
とに対し、図１６（ｂ）のアール面取りはそのようなエ
ッジがなく滑らかであるので欠けにくいことにある。ま
たこのアール面取りを有する基板が、その基板よりも柔
らかい物をそのアール面取り部で擦った場合でも相手を
削りにくいことも特徴である。この特徴を生かしたカセ
ットの構造について図１７を用いて説明する。
（ａ）に示す直線状の面取りから同図（ｂ）に示す曲線
状のアール面取りに変わってきている。その理由は、基
板搬送時に搬送通路に端面が衝突した場合、図１６
（ａ）の直線状の面取りのエッジ１６０が欠けやすいこ
とに対し、図１６（ｂ）のアール面取りはそのようなエ
ッジがなく滑らかであるので欠けにくいことにある。ま
たこのアール面取りを有する基板が、その基板よりも柔
らかい物をそのアール面取り部で擦った場合でも相手を
削りにくいことも特徴である。この特徴を生かしたカセ
ットの構造について図１７を用いて説明する。
【００４６】図１７は、図１４と同様に、基板１７１を
間隔Ｐだけ空けて保持するための棚部の構造を断面で示
す図である。図１７に示すように、回転支持部材１８０
は基板支持鍔１８１、小径鍔１８２、円筒部１８３から
なり、基板支持鍔１８１はその回転支持部材１８０に形
成され、基板１７１の縁部１７１ａをその上面１８１ａ
に載置し、ピッチＰだけ空けて複数の基板１７１を支持
する。円筒部１８３は基板支持鍔１８１間の略中央部よ
り上の部分の円筒部上部１８３−１と下の部分の円筒部
下部１８３−２とからなり、円筒部上部１８３−１およ
び円筒部下部１８３−２の外径はそれぞれ上方から下方
へいくにしたがって大きくなっている。また、円筒部上
部１８３−１の側面と底面とのなす角度は、円筒部下部
１８３−２の側面と底面とのなす角度よりも大きく形成
している。すなわち、円筒部上部１８３−１よりも円筒
部下部１８３−２の方が、より下広がりとなっている。
このようにすると、ロボット（図示せず）がカセットに
基板１７１を挿入するときは、基板支持鍔１８１間の略
中央部の位置Ｐｃで行うので、円筒部１８３と基板１７
１の端面１７１−１との間隔Ｄｃは十分あり基板１７１
と回転支持部材１８０とが衝突することはない。ロボッ
トがこの位置Ｐｃで基板１７１を挿入した後降下させる
と、基板１７１は基板支持鍔１８１上の位置Ｐｓに載置
される。この状態では、円筒部下部１８３−２の底面側
外周面である下部大径端部１８３−３と基板１７１の端
面１７１−１との間隔Ｄｓは狭いので、基板１７１は基
板搬送中に位置が大きくずれることはない。すなわち基
板１７１はＴ方向の中央部に位置決めされたことにな
る。位置Ｐｃにおいて基板１７１がＴ方向の中央部から
ずれていた場合は、基板１７１が位置Ｐｓに降下する
時、基板１７１の端面１７１−１が円筒部下部１８３−
２に接触するが、前述したように端面１７１−１にはア
ール面取りがなされており、円筒部下部１８３−２が樹
脂材料であっても削られにくいのでダストは発生しにく
い。以上の構成によって支障なくＴ方向の基板位置決め
が可能となる。なお、円筒部上部１８３−１の外径は上
方から下方にかけて同じであってもよい。
間隔Ｐだけ空けて保持するための棚部の構造を断面で示
す図である。図１７に示すように、回転支持部材１８０
は基板支持鍔１８１、小径鍔１８２、円筒部１８３から
なり、基板支持鍔１８１はその回転支持部材１８０に形
成され、基板１７１の縁部１７１ａをその上面１８１ａ
に載置し、ピッチＰだけ空けて複数の基板１７１を支持
する。円筒部１８３は基板支持鍔１８１間の略中央部よ
り上の部分の円筒部上部１８３−１と下の部分の円筒部
下部１８３−２とからなり、円筒部上部１８３−１およ
び円筒部下部１８３−２の外径はそれぞれ上方から下方
へいくにしたがって大きくなっている。また、円筒部上
部１８３−１の側面と底面とのなす角度は、円筒部下部
１８３−２の側面と底面とのなす角度よりも大きく形成
している。すなわち、円筒部上部１８３−１よりも円筒
部下部１８３−２の方が、より下広がりとなっている。
このようにすると、ロボット（図示せず）がカセットに
基板１７１を挿入するときは、基板支持鍔１８１間の略
中央部の位置Ｐｃで行うので、円筒部１８３と基板１７
１の端面１７１−１との間隔Ｄｃは十分あり基板１７１
と回転支持部材１８０とが衝突することはない。ロボッ
トがこの位置Ｐｃで基板１７１を挿入した後降下させる
と、基板１７１は基板支持鍔１８１上の位置Ｐｓに載置
される。この状態では、円筒部下部１８３−２の底面側
外周面である下部大径端部１８３−３と基板１７１の端
面１７１−１との間隔Ｄｓは狭いので、基板１７１は基
板搬送中に位置が大きくずれることはない。すなわち基
板１７１はＴ方向の中央部に位置決めされたことにな
る。位置Ｐｃにおいて基板１７１がＴ方向の中央部から
ずれていた場合は、基板１７１が位置Ｐｓに降下する
時、基板１７１の端面１７１−１が円筒部下部１８３−
２に接触するが、前述したように端面１７１−１にはア
ール面取りがなされており、円筒部下部１８３−２が樹
脂材料であっても削られにくいのでダストは発生しにく
い。以上の構成によって支障なくＴ方向の基板位置決め
が可能となる。なお、円筒部上部１８３−１の外径は上
方から下方にかけて同じであってもよい。
【００４７】次に、Ｔ方向と直交する方向にも基板を位
置決めする場合のカセットの実施例を図１８を用いて説
明する。
置決めする場合のカセットの実施例を図１８を用いて説
明する。
【００４８】図１８はカセット１９０の平面図である。
図１８において、カセット１９０は、上面、下面、両側
面１９０ｃ、１９０ｄおよび後面１９０ｊがカバーで塞
がれており、内部に基板１７１を収納している。前面カ
バー１９１は、図１１に示した前面カバー１１１と同様
に回動自在に支持されている。パッキン１１４は図１１
に示したものと同様である。
図１８において、カセット１９０は、上面、下面、両側
面１９０ｃ、１９０ｄおよび後面１９０ｊがカバーで塞
がれており、内部に基板１７１を収納している。前面カ
バー１９１は、図１１に示した前面カバー１１１と同様
に回動自在に支持されている。パッキン１１４は図１１
に示したものと同様である。
【００４９】基板後端位置決め部材１９０ｇはカセット
１９０に設けられ、基板１７１の後端面１７１ｅに所要
の隙間を持って近接する。基板前端位置決め部材１９１
ａは前面カバー１９１に設けられ、基板１７１の前端面
１７１ｆに所要の隙間を持って近接する。この所要の隙
間は、ロボット（図示せず）がカセット１９０から抜い
た基板１７１を基板処理装置（図示せず）の所定の位置
に置けるように、基板１７１がカセット１９０の中央部
に位置決めされた状態に保つことができる程度の隙間で
あればよい。また、基板前端位置決め部材１９１ａと基
板後端位置決め部材１９０ｇは、各々基板１７１の前端
面１７１ｆと後端面１７１ｅに当接してもよい。基板後
端位置決め部材１９０ｇあるいは基板前端位置決め部材
１９１ａの少なくとも一方が弾性部材である場合は、基
板前端位置決め部材１９１ａと基板後端位置決め部材１
９０ｇは、各々基板１７１の前端面１７１ｆと後端面１
７１ｅに密接させてもよい。
１９０に設けられ、基板１７１の後端面１７１ｅに所要
の隙間を持って近接する。基板前端位置決め部材１９１
ａは前面カバー１９１に設けられ、基板１７１の前端面
１７１ｆに所要の隙間を持って近接する。この所要の隙
間は、ロボット（図示せず）がカセット１９０から抜い
た基板１７１を基板処理装置（図示せず）の所定の位置
に置けるように、基板１７１がカセット１９０の中央部
に位置決めされた状態に保つことができる程度の隙間で
あればよい。また、基板前端位置決め部材１９１ａと基
板後端位置決め部材１９０ｇは、各々基板１７１の前端
面１７１ｆと後端面１７１ｅに当接してもよい。基板後
端位置決め部材１９０ｇあるいは基板前端位置決め部材
１９１ａの少なくとも一方が弾性部材である場合は、基
板前端位置決め部材１９１ａと基板後端位置決め部材１
９０ｇは、各々基板１７１の前端面１７１ｆと後端面１
７１ｅに密接させてもよい。
【００５０】以上の構成によれば、基板１７１は円筒部
下部１８３−２の下部大径端部１８３−３によりＴ方向
の中央部に位置決めされ、また、基板後端位置決め部材
１９０ｇと基板前端位置決め部材１９１ａとによりカセ
ット１９０の前後方向（Ｔ方向と直交する方向）の中央
部に位置決めされる。
下部１８３−２の下部大径端部１８３−３によりＴ方向
の中央部に位置決めされ、また、基板後端位置決め部材
１９０ｇと基板前端位置決め部材１９１ａとによりカセ
ット１９０の前後方向（Ｔ方向と直交する方向）の中央
部に位置決めされる。
【００５１】したがって、実施の形態４と同様に基板１
７１をカセット１９０の中央部へ整列することができる
ので従来の基板整列機構は必要とせず、カセット保持台
の構造を非常に簡単にすることができる。
７１をカセット１９０の中央部へ整列することができる
ので従来の基板整列機構は必要とせず、カセット保持台
の構造を非常に簡単にすることができる。
【００５２】本実施の形態の利点は、実施の形態４に比
較してコーナカットの精度を必要としないことにある。
較してコーナカットの精度を必要としないことにある。
【００５３】
【発明の効果】以上説明したように本発明の基板搬送方
法によれば、台車とカセット保持台の全体の長さを従来
の構成よりも飛躍的に小さくすることができ、カセット
保持台は基板処理装置の基板出入り口に配置されるの
で、基板処理装置、台車、カセット保持台を含む総合面
積を従来よりも著しく小さくできる。したがってクリー
ンルームの所要面積を小さくできるので、その建設費を
安価にできるばかりでなく、クリーン度維持のための運
転コストも削減できるという大きな効果を発揮すること
ができる。また、カセットを台車側と反対方向に寄せて
保持台上に載置できるので、カセットから基板を抜き出
すロボットを安価に構成することができる。さらに、搬
送作業が良好となり、異なるサイズの基板を効率よく工
程に流すことができる。
法によれば、台車とカセット保持台の全体の長さを従来
の構成よりも飛躍的に小さくすることができ、カセット
保持台は基板処理装置の基板出入り口に配置されるの
で、基板処理装置、台車、カセット保持台を含む総合面
積を従来よりも著しく小さくできる。したがってクリー
ンルームの所要面積を小さくできるので、その建設費を
安価にできるばかりでなく、クリーン度維持のための運
転コストも削減できるという大きな効果を発揮すること
ができる。また、カセットを台車側と反対方向に寄せて
保持台上に載置できるので、カセットから基板を抜き出
すロボットを安価に構成することができる。さらに、搬
送作業が良好となり、異なるサイズの基板を効率よく工
程に流すことができる。
【００５４】また、本発明の基板搬送カセットによれ
ば、カセット保持台の構造を非常に簡単にすることがで
きるだけでなく、基板搬送路のクリーン度を落とすこと
ができるようになるので、クリーンルームの建設費が安
価になるばかりでなく、クリーン度維持のための運転コ
ストも低くすることができる。また、基板サイズが大き
くなって基板入りカセットの重量が大きくなっても台車
なしでも容易に、しかも基板を汚染させることなく、例
えば床上等を転がせて移動させることができるので緊急
時に優れた対応性を発揮することができる。さらに、手
作業で基板をカセットに出し入れする場合、基板を支持
する支持部材に基板が衝突した時でもその支持部材が回
転するので、衝突のショックが緩和され、発塵を最小限
にすることができるだけでなく、回転接触部から発生す
るダストがカセット内の空間に拡散する前に受けること
ができるので、基板の汚染を防止することができる。
ば、カセット保持台の構造を非常に簡単にすることがで
きるだけでなく、基板搬送路のクリーン度を落とすこと
ができるようになるので、クリーンルームの建設費が安
価になるばかりでなく、クリーン度維持のための運転コ
ストも低くすることができる。また、基板サイズが大き
くなって基板入りカセットの重量が大きくなっても台車
なしでも容易に、しかも基板を汚染させることなく、例
えば床上等を転がせて移動させることができるので緊急
時に優れた対応性を発揮することができる。さらに、手
作業で基板をカセットに出し入れする場合、基板を支持
する支持部材に基板が衝突した時でもその支持部材が回
転するので、衝突のショックが緩和され、発塵を最小限
にすることができるだけでなく、回転接触部から発生す
るダストがカセット内の空間に拡散する前に受けること
ができるので、基板の汚染を防止することができる。
【図１】本発明の実施の形態１における基板搬送方法を
説明するための一部切欠側面図
説明するための一部切欠側面図
【図２】同実施の形態における動作を説明するための一
部切欠側面図
部切欠側面図
【図３】同実施の形態における要部動作を説明するため
の側面図
の側面図
【図４】本発明の実施の形態２における基板搬送方法を
説明するための側面図
説明するための側面図
【図５】図４のＫ−Ｋ線断面を台車を含めて示す断面図
【図６】同実施の形態における台車と回動アームの平面
図
図
【図７】本発明の実施の形態３における基板搬送方法を
説明するための平面図
説明するための平面図
【図８】同実施の形態における動作を説明するための平
面図
面図
【図９】同実施の形態における動作を説明するための一
部切欠側面図
部切欠側面図
【図１０】同実施の形態におけるその他の基板搬送方法
の例を示す平面図
の例を示す平面図
【図１１】本発明の実施の形態４における基板搬送カセ
ットの側面図
ットの側面図
【図１２】同実施の形態における平面図
【図１３】同実施の形態における要部拡大図
【図１４】本発明の実施の形態５における基板搬送カセ
ットの要部断面図
ットの要部断面図
【図１５】同実施の形態における要部拡大断面図
【図１６】本発明の実施の形態６の説明のための基板の
端面拡大図
端面拡大図
【図１７】本発明の実施の形態６における基板搬送カセ
ットの要部断面図
ットの要部断面図
【図１８】同実施の形態における平面図
【図１９】従来の基板搬送方法を説明するための側面図
【図２０】同方法における動作を説明するための側面図
【図２１】同方法における動作を説明するための側面図
【図２２】同方法における動作を説明するための正面図
【図２３】同方法における動作を説明するための正面図
４１、１２１、１７１ 基板 ５０、６０、１１０、１９０ カセット ５５、８０ 台車 ６１ 車輪 ６２、６３ ピン ７０、９０、１００ カセット保持台 ７１、９１、１０１ 回動アーム ８０ａ、８０ｂ 台車の外周側面 ８２、９２ ピンに嵌合する凹部 ９８ ガイドローラ １０３ カセット送り部材 １１０ｇ、１１０ｈ、１９０ｇ 基板後端位置決め部材 １１１、１９１ 前面カバー １１１ａ、１１１ｂ、１９１ａ 基板前端位置決め部材 １１４ パッキン １２１ｅ、１７１ｅ 基板後端面 １２１ｆ、１７１ｆ 基板前端面 １３０ 軸 １３１ 止輪 １４０、１８０ 回転支持部材 １４１、１８１ 基板支持鍔 １４２ 小径鍔 １５０ ダスト １８３ 円筒部 １８３−１ 円筒部上部 １８３−２ 円筒部下部 １８３−３ 下部大径端部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 北川 清彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 田口 尊之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (11)
- 【請求項１】 基板を収納した基板搬送カセットを積載
した台車をカセット保持台の近傍へ移動し、前記カセッ
ト保持台に設けられた回動アームにより前記基板搬送カ
セットを持ち上げて、前記台車上の前記基板搬送カセッ
トを前記カセット保持台に移すことを特徴とする基板搬
送方法。 - 【請求項２】 基板を収納した基板搬送カセットを積載
した台車をカセット保持台の近傍へ移動し、前記カセッ
ト保持台に設けられた回動アームにより前記基板搬送カ
セットを持ち上げて、前記台車上の前記基板搬送カセッ
トを前記カセット保持台に移し、前記カセット保持台上
で前記基板搬送カセットを前記台車とは反対方向に所要
距離送ることを特徴とする基板搬送方法。 - 【請求項３】 基板を収納した基板搬送カセットを積載
した台車をカセット保持台へ移動し、前記台車の外周両
側面を挟むように前記カセット保持台に設けられた少な
くとも一組のローラの間に前記台車を押し込んで位置決
めすることを特徴とする基板搬送方法。 - 【請求項４】 基板搬送カセットと台車、および、前記
基板搬送カセットとカセット保持台の回動アームとは各
々嵌合部を有しており、外形寸法の異なる複数の前記基
板搬送カセットが共通のサイズの前記嵌合部を有するこ
とを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送方
法。 - 【請求項５】 基板を収納するカセット本体と、このカ
セット本体への前記基板の出入口を開閉する開閉部材
と、前記基板の出入口側とは反対側である前記基板の後
端の両端角部に近接し、前記基板の後端部を前記カセッ
ト本体の前記基板の出入り方向と直交する方向の中央部
に位置決めする基板後端位置決め部材と、前記開閉部材
に設けられてあって、前記基板の出入口側である前記基
板の前端の両端角部に近接し、前記基板の前端部を前記
カセット本体の前記基板の出入り方向と直交する方向の
中央部に位置決めする基板前端位置決め部材とを有する
ことを特徴とする基板搬送カセット。 - 【請求項６】 基板を収納するカセット本体と、このカ
セット本体への前記基板の出入口以外の５面を塞ぐカバ
ーと、前記出入口を開閉可能な前面カバーと、前記基板
の出入口側とは反対側である前記基板の後端の両端角部
に近接し、前記基板の後端部を前記カセット本体の前記
基板の出入り方向と直交する方向の中央部に位置決めす
る基板後端位置決め部材と、前記前面カバーに設けられ
てあって、前記基板の出入口側である前記基板の前端の
両端角部に近接し、前記基板の前端部を前記カセット本
体の前記基板の出入り方向と直交する方向の中央部に位
置決めする基板前端位置決め部材とを有することを特徴
とする基板搬送カセット。 - 【請求項７】 基板を収納するカセット本体と、このカ
セット本体の前記基板の出入口以外の面を塞ぐカバー
と、前記出入口を開閉可能な前面カバーと、前記カセッ
ト本体の下部に設けた車輪とからなる基板搬送カセッ
ト。 - 【請求項８】 基板を収納するカセット本体と、前記基
板の縁部に当接して基板を支持する複数の基板支持部材
とからなる基板搬送カセットであって、前記基板支持部
材を、垂直方向に設けた複数の軸と、この軸に回転可能
に上下方向位置を規制部材で規制して設けた複数の回転
支持部材とにより構成したことを特徴とする基板搬送カ
セット。 - 【請求項９】 基板を収納するカセット本体と、前記基
板の縁部に当接して前記基板を支持する複数の基板支持
部材とからなる基板搬送カセットであって、前記基板支
持部材を、垂直方向に設けた複数の軸と、この軸に回転
可能に上下方向位置を規制部材で規制して設けた複数の
回転支持部材とにより構成し、前記回転支持部材と前記
規制部材との接触回転により発生したダストを受けるダ
スト受け鍔を前記回転支持部材に形成したことを特徴と
する基板搬送カセット。 - 【請求項１０】 基板を収納するカセット本体と、前記
基板の縁部に当接して前記基板を支持する複数の基板支
持部材とからなる基板搬送カセットであって、前記基板
支持部材を、垂直方向に設けた複数の軸と、この軸に回
転可能に上下方向位置を規制部材で規制して設けた複数
の回転支持部材とにより構成し、前記回転支持部材を円
筒部と基板を支持する鍔部とにより構成し、前記円筒部
の上部の側面と前記円筒部の底面とのなす角度は、前記
円筒部の下部の側面と前記円筒部の底面とのなす角度よ
りも大きく、前記円筒部の下部の下部大径端部と前記基
板の縁部とが近接したことを特徴とする基板搬送カセッ
ト。 - 【請求項１１】 カセット本体への基板の出入口を開閉
する開閉部材と、前記基板の出入口側とは反対側である
前記基板の後端に近接した基板後端位置決め部材と、前
記開閉部材に設けられてあって、前記基板の出入口側で
ある前記基板の前端に近接した基板前端位置決め部材と
を有することを特徴とする請求項１０に記載の基板搬送
カセット。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9038707A JPH10231023A (ja) | 1997-02-24 | 1997-02-24 | 基板搬送方法および基板搬送カセット |
| US09/025,812 US6099241A (en) | 1997-02-24 | 1998-02-19 | Substrate transfer method and substrate transfer cassette |
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