JPH0178030U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0178030U JPH0178030U JP1987172811U JP17281187U JPH0178030U JP H0178030 U JPH0178030 U JP H0178030U JP 1987172811 U JP1987172811 U JP 1987172811U JP 17281187 U JP17281187 U JP 17281187U JP H0178030 U JPH0178030 U JP H0178030U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate support
- groove
- cassette
- substantially parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
Description
第１図〜第７図は本考案の実施例を示すもので
あつて、第１図は基板を収容、支持したカセツト
（基板支持装置）の側面図、第２図はカセツトの
斜視図、第３図は基板を収容、支持した他の例に
よるカセツトの側面図、第４図ａ、第５図ａ及び
第６図ａは基板をカセツトから取出して搬送装置
へ移動させる手順を示す要部概略平面図、第４図
ｂ、第５図ｂ及び第６図ｂは基板をカセツトから
取出して搬送装置へ移動させる手順を示す要部概
略断面図、第７図ａ，ｂ，ｃ及びｄはウオーキン
グビーム搬送装置の動作を示す要部概略正面図、
である。第８図は基板を収容、支持した従来のカ
セツトの側面図である。 なお、図面に示された符号に於いて、１，１１
……カセツト、２，１２……カセツト側壁、３，
１３……溝、３ａ，１３ａ……基板載置面、３ｂ
，１３ｂ……溝底面、４……カセツト開口、５…
…プラツトフオーム、６……基板取出し装置、７
……フオーク、９……基板、１０……ウオーキン
グビーム搬送装置、１９……位置ずれした基板、
である。
あつて、第１図は基板を収容、支持したカセツト
（基板支持装置）の側面図、第２図はカセツトの
斜視図、第３図は基板を収容、支持した他の例に
よるカセツトの側面図、第４図ａ、第５図ａ及び
第６図ａは基板をカセツトから取出して搬送装置
へ移動させる手順を示す要部概略平面図、第４図
ｂ、第５図ｂ及び第６図ｂは基板をカセツトから
取出して搬送装置へ移動させる手順を示す要部概
略断面図、第７図ａ，ｂ，ｃ及びｄはウオーキン
グビーム搬送装置の動作を示す要部概略正面図、
である。第８図は基板を収容、支持した従来のカ
セツトの側面図である。 なお、図面に示された符号に於いて、１，１１
……カセツト、２，１２……カセツト側壁、３，
１３……溝、３ａ，１３ａ……基板載置面、３ｂ
，１３ｂ……溝底面、４……カセツト開口、５…
…プラツトフオーム、６……基板取出し装置、７
……フオーク、９……基板、１０……ウオーキン
グビーム搬送装置、１９……位置ずれした基板、
である。
Claims (1)
- 略平行の互いに対向した複数の基板支持部を有
し、これらの基板支持部に夫々設けられた溝に、
略平行の対向辺が挿入された状態で基板が略水平
に支持される基板支持装置に於いて、前記溝の基
板支持面に連設された溝底面が前記基板支持面よ
り大きな勾配で外方へ拡がるように傾斜している
ことを特徴とする基板支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987172811U JPH0178030U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987172811U JPH0178030U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0178030U true JPH0178030U (ja) | 1989-05-25 |
Family
ID=31464761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987172811U Pending JPH0178030U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0178030U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10231023A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板搬送方法および基板搬送カセット |
-
1987
- 1987-11-11 JP JP1987172811U patent/JPH0178030U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10231023A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板搬送方法および基板搬送カセット |
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