JPH0940111A - 液晶表示装置用ガラス基板の移載方法および該方法に用いる装置 - Google Patents
液晶表示装置用ガラス基板の移載方法および該方法に用いる装置Info
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- JPH0940111A JPH0940111A JP18720595A JP18720595A JPH0940111A JP H0940111 A JPH0940111 A JP H0940111A JP 18720595 A JP18720595 A JP 18720595A JP 18720595 A JP18720595 A JP 18720595A JP H0940111 A JPH0940111 A JP H0940111A
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- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
Abstract
(57)【要約】
【課題】 素子領域を汚染せず、液晶表示装置の生産性
を向上させることができるガラス基板の移載方法を提供
する。 【解決手段】 ガラス基板に液晶表示を形成するための
領域外の周辺部に互いに対向する一対の係合部Ｓ３が形
成されている液晶表示装置用ガラス基板Ｇを収納した実
カセットＫ１から該ガラス基板Ｇを空カセットＫ２に移
載する移載方法であって、前記実カセットＫ１と空カセ
ットＫ２の載置部１、２のあいだにおいて、実カセット
Ｋ１からガラス基板Ｇを押し上げたのち、当該押し上げ
られたガラス基板Ｇの係合部Ｓ３を把持し、ついで空カ
セットＫ２内へガラス基板Ｇを収納する。
を向上させることができるガラス基板の移載方法を提供
する。 【解決手段】 ガラス基板に液晶表示を形成するための
領域外の周辺部に互いに対向する一対の係合部Ｓ３が形
成されている液晶表示装置用ガラス基板Ｇを収納した実
カセットＫ１から該ガラス基板Ｇを空カセットＫ２に移
載する移載方法であって、前記実カセットＫ１と空カセ
ットＫ２の載置部１、２のあいだにおいて、実カセット
Ｋ１からガラス基板Ｇを押し上げたのち、当該押し上げ
られたガラス基板Ｇの係合部Ｓ３を把持し、ついで空カ
セットＫ２内へガラス基板Ｇを収納する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置用ガラ
ス基板（以下、単にガラス基板という）の移載方法およ
び該方法に用いる装置に関する。さらに詳しくは、大型
で薄型の液晶表示装置を効率よく、かつ生産性を向上さ
せることができるガラス基板の移載方法および該方法に
用いる装置に関する。
ス基板（以下、単にガラス基板という）の移載方法およ
び該方法に用いる装置に関する。さらに詳しくは、大型
で薄型の液晶表示装置を効率よく、かつ生産性を向上さ
せることができるガラス基板の移載方法および該方法に
用いる装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来からＴＶ受像機やＯＡ機器などの画
面表示として液晶表示装置が用いられている。この液晶
表示装置を作製するのに用いられるガラス基板は、図６
〜７に示すように、製造工程においては、たとえば縦×
横×厚さの寸法が３００×４００×１．１（ｍｍ）また
は３７０×４７０×１．１（ｍｍ）のものが用いられ、
それぞれのガラス基板４１、４２から、液晶表示装置を
作製するのに必要な液晶表示を形成するための領域Ｓを
２面または４面取るようにしている。ところで、今後、
ますます液晶表示装置の低価格化および軽量化が急速に
進むことが考えられ、このような事態に応える対策とし
て、製品の多面取りのためのガラス基板の大型化と軽量
化のためのガラス基板の薄型化が必須となり、ガラス基
板の寸法（縦×横×厚さ）が５５０×６５０×０．７
（ｍｍ）、５５０×６５０×０．５（ｍｍ）またはこれ
以上の大型化と軽量化の寸法になることが考えられる。
しかしながら、ガラス基板の大型化および薄型化により
ガラス基板の自重が軽くなるとともに、ガラス基板に反
りが大きく発生しやすくなる。
面表示として液晶表示装置が用いられている。この液晶
表示装置を作製するのに用いられるガラス基板は、図６
〜７に示すように、製造工程においては、たとえば縦×
横×厚さの寸法が３００×４００×１．１（ｍｍ）また
は３７０×４７０×１．１（ｍｍ）のものが用いられ、
それぞれのガラス基板４１、４２から、液晶表示装置を
作製するのに必要な液晶表示を形成するための領域Ｓを
２面または４面取るようにしている。ところで、今後、
ますます液晶表示装置の低価格化および軽量化が急速に
進むことが考えられ、このような事態に応える対策とし
て、製品の多面取りのためのガラス基板の大型化と軽量
化のためのガラス基板の薄型化が必須となり、ガラス基
板の寸法（縦×横×厚さ）が５５０×６５０×０．７
（ｍｍ）、５５０×６５０×０．５（ｍｍ）またはこれ
以上の大型化と軽量化の寸法になることが考えられる。
しかしながら、ガラス基板の大型化および薄型化により
ガラス基板の自重が軽くなるとともに、ガラス基板に反
りが大きく発生しやすくなる。
【０００３】このような状況の中で、液晶表示装置の製
造工程においては、ガラス基板を搬送や保管用のカセッ
トから処理装置の薬液用カセットなどに自動的に移し換
える移載装置が用いられている。この移載装置は、たと
えば図８に示すように、架台５０に搬送用ロボット５１
が据え付けられている。そしてこの架台５０には、該ロ
ボット５１を挟むように、ガラス基板Ｇを収納した実カ
セット５２と空カセット５３が載置される。なお各カセ
ットは、両側板５４の内壁に支持溝５５が形成される箱
型をしており、たとえば実カセット５２には、ガラス基
板Ｇが２０枚収納されている（なお、図８は、見易くす
るために、現実の収納枚数よりもガラス基板の数を少な
くしている）。前記搬送用ロボット５１は、真空吸着穴
５６を有する前後進可能なスライダ５７を昇降および回
転させる駆動部５８から構成されている。この移載装置
による移載方法は、まず搬送用ロボット５１により、ス
ライダ５７を実カセット５２内の下段のガラス基板Ｇの
下方に矢印ａ方向に下降および矢印ｂ方向に前進させ、
１枚のガラス基板Ｇの裏面を吸着したのち矢印ｃ方向に
後退および矢印ｄ方向に上昇させる。ついで矢印ｅで示
す空カセット５３側へ旋回し、再び矢印ｆの方向にスラ
イダ５７を空カセット５３内の最上段に前進させ、ガラ
ス基板Ｇを移載する。そしてスライダ５７を矢印ｇの方
向に後退および矢印ｈの方向に旋回させたのち、前述の
動作を繰り返し、実カセット５２から空カセット５３へ
すべてのガラス基板Ｇの移し換えを行なっている。
造工程においては、ガラス基板を搬送や保管用のカセッ
トから処理装置の薬液用カセットなどに自動的に移し換
える移載装置が用いられている。この移載装置は、たと
えば図８に示すように、架台５０に搬送用ロボット５１
が据え付けられている。そしてこの架台５０には、該ロ
ボット５１を挟むように、ガラス基板Ｇを収納した実カ
セット５２と空カセット５３が載置される。なお各カセ
ットは、両側板５４の内壁に支持溝５５が形成される箱
型をしており、たとえば実カセット５２には、ガラス基
板Ｇが２０枚収納されている（なお、図８は、見易くす
るために、現実の収納枚数よりもガラス基板の数を少な
くしている）。前記搬送用ロボット５１は、真空吸着穴
５６を有する前後進可能なスライダ５７を昇降および回
転させる駆動部５８から構成されている。この移載装置
による移載方法は、まず搬送用ロボット５１により、ス
ライダ５７を実カセット５２内の下段のガラス基板Ｇの
下方に矢印ａ方向に下降および矢印ｂ方向に前進させ、
１枚のガラス基板Ｇの裏面を吸着したのち矢印ｃ方向に
後退および矢印ｄ方向に上昇させる。ついで矢印ｅで示
す空カセット５３側へ旋回し、再び矢印ｆの方向にスラ
イダ５７を空カセット５３内の最上段に前進させ、ガラ
ス基板Ｇを移載する。そしてスライダ５７を矢印ｇの方
向に後退および矢印ｈの方向に旋回させたのち、前述の
動作を繰り返し、実カセット５２から空カセット５３へ
すべてのガラス基板Ｇの移し換えを行なっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ガラス基板の移載方法はガラス基板の裏面を真空吸着し
て移しかえるため以下の問題点がある。
ガラス基板の移載方法はガラス基板の裏面を真空吸着し
て移しかえるため以下の問題点がある。
【０００５】ガラス基板の裏面を吸着するため、素子
作成領域に異物が付着する。
作成領域に異物が付着する。
【０００６】ガラス基板を水平状態で移しかえるた
め、大型で薄型のガラス基板では反りが発生し、真空吸
着不良が発生し移しかえが確実に行えない。
め、大型で薄型のガラス基板では反りが発生し、真空吸
着不良が発生し移しかえが確実に行えない。
【０００７】ガラス基板を水平搬送するため移載ロボ
ットの可動範囲が大きくなるため、移載装置の寸法が大
きくなり、装置価格が高くなる。
ットの可動範囲が大きくなるため、移載装置の寸法が大
きくなり、装置価格が高くなる。
【０００８】本発明は、叙上の事情に鑑み、素子領域を
汚染せず、液晶表示装置の生産性を向上させることがで
きるガラス基板の移載方法および該方法に用いる装置を
提供することを目的とする。
汚染せず、液晶表示装置の生産性を向上させることがで
きるガラス基板の移載方法および該方法に用いる装置を
提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板の移
載方法は、ガラス基板に液晶表示を形成するための領域
外の周辺部に互いに対向する一対の係合部が形成されて
いる液晶表示装置用ガラス基板を収納した実カセットか
ら該ガラス基板を空カセットに移載する移載方法であっ
て、前記実カセットと空カセットの載置部のあいだにお
いて、実カセットからガラス基板を押し上げたのち、当
該押し上げられたガラス基板の係合部を把持し、ついで
空カセット内へガラス基板を収納することを特徴として
いる。
載方法は、ガラス基板に液晶表示を形成するための領域
外の周辺部に互いに対向する一対の係合部が形成されて
いる液晶表示装置用ガラス基板を収納した実カセットか
ら該ガラス基板を空カセットに移載する移載方法であっ
て、前記実カセットと空カセットの載置部のあいだにお
いて、実カセットからガラス基板を押し上げたのち、当
該押し上げられたガラス基板の係合部を把持し、ついで
空カセット内へガラス基板を収納することを特徴として
いる。
【００１０】また本発明の装置は、ガラス基板に液晶表
示を形成するための領域外の周辺部に互いに対向する一
対の係合部が形成されている液晶表示装置用ガラス基板
を収納した実カセットから該ガラス基板を空カセットに
移載する装置であって、実カセットが載置される実カセ
ット載置部と、空カセットが載置される空カセット載置
部と、前記実カセットと空カセットのあいだにおけるス
テーションへ該実カセットと空カセットを移動させる移
動機構と、前記ステーションにおいて、前記実カセット
内のガラス基板を下方から押し上げるとともに、空カセ
ット内にガラス基板を挿入するときに該ガラス基板を下
方から受ける押し上げ機構と、前記押し上げられたガラ
ス基板の係合部を把持し引き上げるとともに、該ガラス
基板を空カセット内に降す移し換え機構を備えてなるこ
とを特徴としている。
示を形成するための領域外の周辺部に互いに対向する一
対の係合部が形成されている液晶表示装置用ガラス基板
を収納した実カセットから該ガラス基板を空カセットに
移載する装置であって、実カセットが載置される実カセ
ット載置部と、空カセットが載置される空カセット載置
部と、前記実カセットと空カセットのあいだにおけるス
テーションへ該実カセットと空カセットを移動させる移
動機構と、前記ステーションにおいて、前記実カセット
内のガラス基板を下方から押し上げるとともに、空カセ
ット内にガラス基板を挿入するときに該ガラス基板を下
方から受ける押し上げ機構と、前記押し上げられたガラ
ス基板の係合部を把持し引き上げるとともに、該ガラス
基板を空カセット内に降す移し換え機構を備えてなるこ
とを特徴としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
のガラス基板の移載方法および該方法に用いる装置を説
明する。
のガラス基板の移載方法および該方法に用いる装置を説
明する。
【００１２】図１は本発明のガラス基板の移載方法の一
実施例にかかわる移載装置を示す正面図、図２は図１に
おける実カセットの移動とガラス基板の引き上げの状態
を示す説明図、図３は図２における空カセットの移動と
ガラス基板の挿入の状態を示す説明図、図４は図３にお
ける空カセット内に複数枚のガラス基板が収納された状
態を示す説明図、図５は図１におけるガラス基板の一例
を示す斜視図である。
実施例にかかわる移載装置を示す正面図、図２は図１に
おける実カセットの移動とガラス基板の引き上げの状態
を示す説明図、図３は図２における空カセットの移動と
ガラス基板の挿入の状態を示す説明図、図４は図３にお
ける空カセット内に複数枚のガラス基板が収納された状
態を示す説明図、図５は図１におけるガラス基板の一例
を示す斜視図である。
【００１３】図１に示すように、本発明の移載方法にか
かわる移載装置は、架台Ｂに配置されており、ガラス基
板Ｇを、たとえば２０枚収納した実カセットＫ１が載置
される実カセット載置部１と、空カセットＫ２が載置さ
れる空カセット載置部２と、前記実カセット載置部１と
空カセット載置部２とのあいだにおいて、前記架台Ｂに
内蔵される押し上げ機構３と該押し上げ機構３の上部に
配置され、一対の把持手段を有する上下動可能な移し換
え機構４と、前記実カセットＫ１と空カセットＫ２を前
記押し上げ機構３上のステーションＳに移動させる移動
機構から構成されており、前記載置部１、２には、各カ
セットＫ１、Ｋ２を９０°回転させる反転部５、６が設
置されている。実カセットの材料としては、ＰＥＩ（ポ
リエーテルイミド）や導電性フィラー（セラミックウイ
スカー）入りＰＥＩなど、空カセットの材料としては、
テフロンなどを用いることができる。
かわる移載装置は、架台Ｂに配置されており、ガラス基
板Ｇを、たとえば２０枚収納した実カセットＫ１が載置
される実カセット載置部１と、空カセットＫ２が載置さ
れる空カセット載置部２と、前記実カセット載置部１と
空カセット載置部２とのあいだにおいて、前記架台Ｂに
内蔵される押し上げ機構３と該押し上げ機構３の上部に
配置され、一対の把持手段を有する上下動可能な移し換
え機構４と、前記実カセットＫ１と空カセットＫ２を前
記押し上げ機構３上のステーションＳに移動させる移動
機構から構成されており、前記載置部１、２には、各カ
セットＫ１、Ｋ２を９０°回転させる反転部５、６が設
置されている。実カセットの材料としては、ＰＥＩ（ポ
リエーテルイミド）や導電性フィラー（セラミックウイ
スカー）入りＰＥＩなど、空カセットの材料としては、
テフロンなどを用いることができる。
【００１４】前記ガラス基板Ｇは、液晶表示装置を作製
するのに用いられる製造工程中のガラス基板であり、そ
の大きさの例としては、縦×横×厚さの寸法が５５０×
６５０×０．７（ｍｍ）または５５０×６５０×０．５
（ｍｍ）であるものをあげることができるが、これらに
限定されるものではない。図５に示すように、このガラ
ス基板Ｇには、液晶表示を形成させるための領域（素子
領域）Ｓが９面に区画されている。この区画数は、領域
Ｓの寸法およびガラス基板の寸法を考慮して適宜選定さ
れる。ガラス基板には、前記領域Ｓ外の周辺部Ｓ２に互
いに対向する一対の係合部Ｓ３が形成されている。この
一対の係合部Ｓ３は、周辺部Ｓ２の対向辺Ｓ２ａとＳ２
ｂ、および対向辺Ｓ２ｃとＳ２ｄにそれぞれ設けられて
いるが、本発明では、少なくとも１つの対向辺に設けれ
ばよい。また係合部Ｓ３の形成位置は、とくに限定され
るものではないが、たとえば図５に示されるガラス基板
（５５０×６５０×０．７ｍｍ）における係合部Ｓ３の
形成位置は、コーナー部Ｓ１ａから約１０〜１５ｍｍに
するのがガラス基板を把持した時にガラス基板が横振れ
しない点が好ましい。なお本発明における係合部として
は、図５に示すような三角形状の切欠のほか、四角形
状、半円弧、多角形、ひょうたんなどの多角形状の切欠
や半円弧形状、楕円形状またはひょうたん形状などの曲
面形状の切欠や丸穴または角穴などの貫通穴などを用い
ることができる。
するのに用いられる製造工程中のガラス基板であり、そ
の大きさの例としては、縦×横×厚さの寸法が５５０×
６５０×０．７（ｍｍ）または５５０×６５０×０．５
（ｍｍ）であるものをあげることができるが、これらに
限定されるものではない。図５に示すように、このガラ
ス基板Ｇには、液晶表示を形成させるための領域（素子
領域）Ｓが９面に区画されている。この区画数は、領域
Ｓの寸法およびガラス基板の寸法を考慮して適宜選定さ
れる。ガラス基板には、前記領域Ｓ外の周辺部Ｓ２に互
いに対向する一対の係合部Ｓ３が形成されている。この
一対の係合部Ｓ３は、周辺部Ｓ２の対向辺Ｓ２ａとＳ２
ｂ、および対向辺Ｓ２ｃとＳ２ｄにそれぞれ設けられて
いるが、本発明では、少なくとも１つの対向辺に設けれ
ばよい。また係合部Ｓ３の形成位置は、とくに限定され
るものではないが、たとえば図５に示されるガラス基板
（５５０×６５０×０．７ｍｍ）における係合部Ｓ３の
形成位置は、コーナー部Ｓ１ａから約１０〜１５ｍｍに
するのがガラス基板を把持した時にガラス基板が横振れ
しない点が好ましい。なお本発明における係合部として
は、図５に示すような三角形状の切欠のほか、四角形
状、半円弧、多角形、ひょうたんなどの多角形状の切欠
や半円弧形状、楕円形状またはひょうたん形状などの曲
面形状の切欠や丸穴または角穴などの貫通穴などを用い
ることができる。
【００１５】前記押し上げ機構３としては、エアシリン
ダー、油圧シリンダー、ボールネジとモーターの組合せ
などを用いることができる。
ダー、油圧シリンダー、ボールネジとモーターの組合せ
などを用いることができる。
【００１６】前記移し換え機構４における一対の把持手
段は、一対の把持グリップ７と、該グリップ７を左右に
移動させる駆動部８から構成され、該駆動部８が右ねじ
と左ねじが該設された送ねじ９とモータ１０とからなっ
ている。そしてこの一対の把持手段は、レール１１に案
内されるスライダ１２上に設けられる。
段は、一対の把持グリップ７と、該グリップ７を左右に
移動させる駆動部８から構成され、該駆動部８が右ねじ
と左ねじが該設された送ねじ９とモータ１０とからなっ
ている。そしてこの一対の把持手段は、レール１１に案
内されるスライダ１２上に設けられる。
【００１７】前記移動機構としては、搬送ロボット、移
動テーブル、カムとモーターの組合せなどを用いること
ができる。
動テーブル、カムとモーターの組合せなどを用いること
ができる。
【００１８】つぎに本発明の移載装置の動作について説
明する。まず図１に示すように、前工程、たとえばＡＧ
Ｖ（自動搬送車）などで搬送されて来た前記基板ガラス
Ｇを収納する実カセットＫ１、および空カセットＫ２を
それぞれ実カセット載置部１および空カセット載置部２
における反転部５、６に載置する。そして載置完了後、
動作スイッチ（図示せず）をＯＮにし、実カセットＫ１
内のガラス基板Ｇが垂直になるように反転部５で９０°
反転するとともに、空カセットＫ２も反転部６で９０°
反転する。ついで図２に示すように、前記移動機構によ
り実カセットＫ１が矢印Ａで示す押し上げ機構３上のス
テーションＳに移動され、定位置の検出をしたのち、押
し上げ機構３のロッド３ａを上昇し、押上板３ｂで複数
枚のガラス基板Ｇを矢印Ｂの方向へ押し上げる。ここ
で、ガラス基板Ｇの係合部Ｓ３が実カセットＫ１の上端
側に突き出されると、前記移し換え機構４におけるスラ
イダ１２が下降し、一対の把持グリップ７でガラス基板
Ｇの係合部Ｓ３を把持する。そののち、ガラス基板Ｇは
吊り下げられた状態で、スライダ１２の上昇とともに実
カセットＫ１から完全に引き抜かれる。一方、前記ロッ
ド３ａは矢印Ｃの方向に下降する。つぎに図３に示すよ
うに複数枚抜き出された実カセットＫ１は、再び移動機
構により矢印Ｄ方向に移動し、元の載置部１まで戻され
る。この実カセットＫ１の移動と同時に空カセットＫ２
が矢印Ａ１の方向のステーションＳ位置まで移動する。
この空カセットＫ２が完全に停止したのち、前記スライ
ダ１２が矢印Ｅの方向へ下降し、空カセットＫ２内にガ
ラス基板Ｇを挿入するとともに、ロッド３ａがＦ方向へ
上昇し、該ガラス基板Ｇを下方から受ける。ついで一対
の把持グリップ７を開き、ガラス基板Ｇをロッド３ａの
押上板３ｂに載せつつ、ロッド３ａを下降させ、ガラス
基板Ｇを完全に空カセットＫ２内に収納する。収納完了
後は、図４に示すように、当該空カセットＫ２を矢印Ｄ
１の方向へ移動すると同時に、図２に示すように実カセ
ットＫ１を再び矢印Ａの方向へ移動し、ステーションＳ
の位置に載置し、残りのガラス基板Ｇを前述のごとく順
次空カセットＫ２内に移し換えていく。なお本実施例で
は、前記反転部により実カセットを９０°回転させるよ
うにしているが、本発明においては、反転部を用いるこ
となく、直接作業者により反転させてもよい。
明する。まず図１に示すように、前工程、たとえばＡＧ
Ｖ（自動搬送車）などで搬送されて来た前記基板ガラス
Ｇを収納する実カセットＫ１、および空カセットＫ２を
それぞれ実カセット載置部１および空カセット載置部２
における反転部５、６に載置する。そして載置完了後、
動作スイッチ（図示せず）をＯＮにし、実カセットＫ１
内のガラス基板Ｇが垂直になるように反転部５で９０°
反転するとともに、空カセットＫ２も反転部６で９０°
反転する。ついで図２に示すように、前記移動機構によ
り実カセットＫ１が矢印Ａで示す押し上げ機構３上のス
テーションＳに移動され、定位置の検出をしたのち、押
し上げ機構３のロッド３ａを上昇し、押上板３ｂで複数
枚のガラス基板Ｇを矢印Ｂの方向へ押し上げる。ここ
で、ガラス基板Ｇの係合部Ｓ３が実カセットＫ１の上端
側に突き出されると、前記移し換え機構４におけるスラ
イダ１２が下降し、一対の把持グリップ７でガラス基板
Ｇの係合部Ｓ３を把持する。そののち、ガラス基板Ｇは
吊り下げられた状態で、スライダ１２の上昇とともに実
カセットＫ１から完全に引き抜かれる。一方、前記ロッ
ド３ａは矢印Ｃの方向に下降する。つぎに図３に示すよ
うに複数枚抜き出された実カセットＫ１は、再び移動機
構により矢印Ｄ方向に移動し、元の載置部１まで戻され
る。この実カセットＫ１の移動と同時に空カセットＫ２
が矢印Ａ１の方向のステーションＳ位置まで移動する。
この空カセットＫ２が完全に停止したのち、前記スライ
ダ１２が矢印Ｅの方向へ下降し、空カセットＫ２内にガ
ラス基板Ｇを挿入するとともに、ロッド３ａがＦ方向へ
上昇し、該ガラス基板Ｇを下方から受ける。ついで一対
の把持グリップ７を開き、ガラス基板Ｇをロッド３ａの
押上板３ｂに載せつつ、ロッド３ａを下降させ、ガラス
基板Ｇを完全に空カセットＫ２内に収納する。収納完了
後は、図４に示すように、当該空カセットＫ２を矢印Ｄ
１の方向へ移動すると同時に、図２に示すように実カセ
ットＫ１を再び矢印Ａの方向へ移動し、ステーションＳ
の位置に載置し、残りのガラス基板Ｇを前述のごとく順
次空カセットＫ２内に移し換えていく。なお本実施例で
は、前記反転部により実カセットを９０°回転させるよ
うにしているが、本発明においては、反転部を用いるこ
となく、直接作業者により反転させてもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したとおり、この発明の移載方
法では、ガラス基板の外周の係合部を把持して垂直に移
載するため、素子領域を汚染することがなくパターン欠
陥が減少する。その結果、大型で薄型のガラス基板大巾
な歩留りが向上するため、液晶表示装置の生産性が向上
する。
法では、ガラス基板の外周の係合部を把持して垂直に移
載するため、素子領域を汚染することがなくパターン欠
陥が減少する。その結果、大型で薄型のガラス基板大巾
な歩留りが向上するため、液晶表示装置の生産性が向上
する。
【図１】本発明のガラス基板の移載方法の一実施例にか
かわる移載装置を示す正面図である。
かわる移載装置を示す正面図である。
【図２】図１における実カセットの移動とガラス基板の
引き上げの状態を示す説明図である。
引き上げの状態を示す説明図である。
【図３】図２における空カセットの移動とガラス基板の
挿入の状態を示す説明図である。
挿入の状態を示す説明図である。
【図４】図３における空カセット内に複数枚のガラス基
板が収納された状態を示す説明図である。
板が収納された状態を示す説明図である。
【図５】図１におけるガラス基板の一例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図６】従来のガラス基板の一例を示す斜視図である。
【図７】従来のガラス基板の他の例を示す斜視図であ
る。
る。
【図８】従来の移載装置を示す斜視図である。
１ 実カセット載置部 ２ 空カセット載置部 ３ 押し上げ機構 ４ 移し換え機構 ５、６ 反転部 ７ 一対の把持グリップ Ｇ ガラス基板 Ｋ１ 実力セット Ｋ２ 空力セット Ｓ３ 係合部
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス基板に液晶表示を形成するための
領域外の周辺部に互いに対向する一対の係合部が形成さ
れている液晶表示装置用ガラス基板を収納した実カセッ
トから該ガラス基板を空カセットに移載する移載方法で
あって、前記実カセットと空カセットの載置部のあいだ
において、実カセットから前記ガラス基板を押し上げた
のち、当該押し上げられたガラス基板の係合部を把持
し、ついで空カセット内へガラス基板を収納することを
特徴とする液晶表示装置用ガラス基板の移載方法。 - 【請求項２】 ガラス基板に液晶表示を形成するための
領域外の周辺部に互いに対向する一対の係合部が形成さ
れている液晶表示装置用ガラス基板を収納した実カセッ
トから該ガラス基板を空カセットに移載する装置であっ
て、実カセットが載置される実カセット載置部と、空カ
セットが載置される空カセット載置部と、前記実カセッ
トと空カセットのあいだにおけるステーションへ該実カ
セットと空カセットを移動させる移動機構と、前記ステ
ーションにおいて、前記実カセット内のガラス基板を下
方から押し上げるとともに、空カセット内にガラス基板
を挿入するときに該ガラス基板を下方から受ける押し上
げ機構と、前記押し上げられたガラス基板の係合部を把
持し引き上げるとともに、該ガラス基板を空カセット内
に降す移し換え機構を備えてなることを特徴とする液晶
表示装置用ガラス基板の移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18720595A JP3531044B2 (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 液晶表示装置用ガラス基板の移載方法および該方法に用いる装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18720595A JP3531044B2 (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 液晶表示装置用ガラス基板の移載方法および該方法に用いる装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0940111A true JPH0940111A (ja) | 1997-02-10 |
| JP3531044B2 JP3531044B2 (ja) | 2004-05-24 |
Family
ID=16201936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18720595A Expired - Fee Related JP3531044B2 (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 液晶表示装置用ガラス基板の移載方法および該方法に用いる装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3531044B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6398610B1 (en) | 1999-01-08 | 2002-06-04 | Nec Corporation | Display panel production line |
| JP2002166234A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-06-11 | Sharp Corp | 薄形板状半導体部品の検査分類システム |
| JP2002277887A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Sony Corp | 液晶の封止方法、液晶の封止加圧ユニット、および液晶の封止装置 |
| KR100835824B1 (ko) * | 2003-12-23 | 2008-06-05 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 수직 웨이퍼 그립핑 장치 |
| KR100865823B1 (ko) * | 2005-03-29 | 2008-10-28 | 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 | 유리판의 이동 탑재 장치, 삽입 방법, 삽입 장치 및 유리판 수납용 상자형 용기의 위치 조정 장치 |
| US7881819B2 (en) | 2005-03-29 | 2011-02-01 | Seiko Epson Corporation | Substrate transfer apparatus, method of transferring substrate, and method of manufacturing electro-optical device |
-
1995
- 1995-07-24 JP JP18720595A patent/JP3531044B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| KR100865823B1 (ko) * | 2005-03-29 | 2008-10-28 | 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 | 유리판의 이동 탑재 장치, 삽입 방법, 삽입 장치 및 유리판 수납용 상자형 용기의 위치 조정 장치 |
| US7881819B2 (en) | 2005-03-29 | 2011-02-01 | Seiko Epson Corporation | Substrate transfer apparatus, method of transferring substrate, and method of manufacturing electro-optical device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3531044B2 (ja) | 2004-05-24 |
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