KR20100016996A - 스토커 장치 - Google Patents

스토커 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20100016996A
KR20100016996A KR1020080076675A KR20080076675A KR20100016996A KR 20100016996 A KR20100016996 A KR 20100016996A KR 1020080076675 A KR1020080076675 A KR 1020080076675A KR 20080076675 A KR20080076675 A KR 20080076675A KR 20100016996 A KR20100016996 A KR 20100016996A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
ball
fork
support unit
positioning
Prior art date
Application number
KR1020080076675A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100998206B1 (ko
Inventor
김성헌
신대호
윤양수
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020080076675A priority Critical patent/KR100998206B1/ko
Publication of KR20100016996A publication Critical patent/KR20100016996A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100998206B1 publication Critical patent/KR100998206B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/12—Storage devices mechanical with separate article supports or holders movable in a closed circuit to facilitate insertion or removal of articles the articles being books, documents, forms or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

스토커 장치가 개시된다. 본 발명의 스토커 장치는, 다수의 기판이 수용되는 카세트(Cassette)를 하부에서 지지하며, 카세트 보관 선반에 카세트를 인입하거나 카세트 보관 선반으로부터 카세트를 반출하기 위하여 카세트를 핸들링하는 포크; 및 포크의 상단부에 마련되어 카세트를 지지하며, 카세트에 대한 포크의 상대적인 위치 설정을 위해 적어도 일부 영역이 카세트의 하부에 형성된 삽입홈에 대해 회전 가능하게 삽입되는 위치 설정용 회전볼을 각각 갖는 적어도 하나의 카세트 지지유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 포크의 상단부에 카세트를 로딩하는 과정 중에 발생될 수 있는 카세트 부쉬와 카세트 지지유닛 간의 갈림 현상을 저지할 수 있어 파티클(particle) 발생을 현저히 감소시킬 수 있다.
스토커, 포크, 자유 회전, 구름 마찰, 회전볼, 포크핀, 카세트, LCD

Description

스토커 장치{Stocker Apparatus}
본 발명은, 스토커 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 포크의 상단부에 카세트를 로딩하는 과정 중에 발생될 수 있는 카세트 부쉬와 카세트 지지유닛 간의 갈림 현상을 저지할 수 있는 스토커 장치에 관한 것이다.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.
평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치인데, 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.
이러한 평면디스플레이(FPD) 중 하나인 박막트랜지스터(TFT, Thin Film Transistor) LCD(TFT-LCD)는, 2장의 얇은 상하 유리기판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입하고, 상하 유리기판의 전극 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자로서, 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능으로 인하여 빠른 속 도로 기존의 음극선관(CRT)을 대체하고 있다. 현재, LCD는 전자시계를 비롯하여 모바일 폰, 전자계산기, TV, 노트북 PC 등 전자제품에서 자동차, 항공기의 속도표시판 및 운행시스템 등에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다.
한편 LCD와 같은 평면디스플레이에서 글래스(Glass) 기판의 역할과 기능은 중요한데, 이는 글래스 기판에 형성되는 다수의 회로소자의 기능에 따라 평면디스플레이의 전체적인 품질이 많은 영향을 받기 때문이다.
글래스 기판은 일반적으로 유리 재질로 이루어져, 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 특성인 취성을 갖고 있기 때문에 취급에 있어서 특별한 주의가 요구된다. 따라서 LCD를 제조하는 제조공정에서 글래스 기판을 훼손 없이 효율적으로 이송, 보관할 수 있다면, 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 LCD의 품질도 유지할 수 있을 것이다.
LCD 또는 LCD 기판을 제조하는 제조공정에서 임의의 공정이 완료된 글래스(Glass) 기판들은 일반적으로 카세트(Cassette)에 탑재되고 글래스(Glass) 기판들이 탑재된 카세트들은 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 운반되기 전에, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 글래스 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위하여, 카세트 보관 시스템의 카세트 보관 선반에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비로 운반된다.
이 때 카세트를 카세트 보관 선반에 인입 및 인출시키기 위하여 카세트 보관 선반의 전방에는 카세트를 핸들링하는 스토커 장치가 이동 가능하게 장착된다. 스토커 장치는, 일반적으로 카세트 보관 선반의 전방에 마련된 레일을 따라 선형 이 동하는 스토커 본체와, 스토커 본체의 높이 방향을 따라 이동 가능하게 마련되어 직접 카세트를 핸들링하는 포크를 구비한다. 포크는 카세트를 적절히 핸들링할 수 있도록 X, Y 및 Z축 방향으로 이동 가능하게 마련된다.
도 1은 종래의 일 실시 예에 따른 스토커 장치의 카세트 지지부에 카세트가 삽입 결합되는 동작을 개략적으로 도시한 도면으로서, 이에 도시된 바와 같이, 카세트(105)의 하단부에는 카세트(105)를 지지시키기 위한 삽입홈(106)들이 형성되어 있으며, 포크(110)의 상단부에는 이러한 삽입홈(106)에 부분적으로 삽입되는 고정 포크핀(130)이 돌출 형성되어 있다. 이는 포크(110)의 상면으로 카세트(105)가 그대로 올려지면 포크(110)로부터 카세트(105)가 이탈되거나 낙하될 수 있으므로 포크(110)의 상단부에는 카세트(105)의 하단부에 형성된 삽입홈(106)에 삽입되어 카세트(105)의 흔들림을 저지하는 고정 포크핀(130)이 마련되는 것이다.
이러한 고정 포크핀(130)은 돌기 형상으로 마련되며, 포크(110)의 상단부에 고정 결합되는 구조를 갖는다. 따라서, 카세트(105)의 삽입홈(106)에 돌기 형상의 고정 포크핀(130)이 부분적으로 삽입되면 카세트(105)는 견고한 위치를 유지할 수 있다.
그런데, 도 1에 개략적으로 도시된 바와 같이, 포크(110)에 마련된 카세트 지지부(130)가 카세트(105)의 하단부에 마련된 삽입홈(106)에 부분적으로 삽입될 때, 가령 카세트(105)와 포크(110)의 적절히 배치되지 않을 경우 고정 포크핀(130)의 상단부와 카세트 부쉬(107)가 직접 맞닿아 마찰이 발생하게 되고, 이로 이해 고정 포크핀(130) 및 카세트 부쉬(107) 간의 갈림 현상이 나타나 금속의 파티 클(particle)이 발생될 수 있으며 이로 인해 작업 환경이 오염되는 문제점이 있다.
따라서, 포크의 상단부에 카세트를 견고히 지지하면서도 포크의 상단부에 카세트가 로딩될 때 카세트와 포크 간의 마찰로 인한 갈림 현상을 저지할 수 있는 새로운 구조의 스토커 장치의 개발이 필요한 실정이다.
본 발명의 목적은, 포크의 상단부에 카세트를 로딩하는 과정 중에 발생될 수 있는 카세트 부쉬와 카세트 지지유닛 간의 갈림 현상을 저지할 수 있어 파티클(particle) 발생을 현저히 감소시킬 수 있는 스토커 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 다수의 기판이 수용되는 카세트(Cassette)를 하부에서 지지하며, 카세트 보관 선반에 상기 카세트를 인입하거나 상기 카세트 보관 선반으로부터 상기 카세트를 반출하기 위하여 상기 카세트를 핸들링하는 포크; 및 상기 포크의 상단부에 마련되어 상기 카세트를 지지하며, 상기 카세트에 대한 상기 포크의 상대적인 위치 설정을 위해 적어도 일부 영역이 상기 카세트의 하부에 형성된 삽입홈에 대해 회전 가능하게 삽입되는 위치 설정용 회전볼을 각각 갖는 적어도 하나의 카세트 지지유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치에 의해서 달성된다.
여기서, 상기 적어도 하나의 카세트 지지유닛은, 상기 카세트 보관 선반을 향하는 상기 포크의 전방 양측 코너 영역에 각각 마련되는 2개의 볼 타입(ball type) 카세트 지지유닛인 것이 바람직하다.
상기 볼 타입 카세트 지지유닛은, 상기 포크의 상단부에 결합되며, 상기 위치 설정용 회전볼이 부분적으로 삽입되어 결합되는 회전볼 몸체를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 회전볼 몸체는, 상단부가 반구 형상으로 함몰 형성되며, 함몰된 부분으로 상기 위치 설정용 회전볼이 결합되는 볼하우징; 및 상기 위치 설정용 회전볼의 적어도 일부분이 상부로 노출되도록 상기 볼하우징을 감싸며 마련되며, 상면은 상기 카세트의 저면이 접촉 지지되고, 하단부는 상기 포크의 상면에 결합되는 카세트 지지 플레이트를 포함할 수 있다.
상기 볼하우징의 상기 함몰된 부분에는 상기 위치 설정용 회전볼이 제자리에서 자유 회전 가능하도록 다수의 구름볼이 규칙적으로 배치되는 것이 바람직하다.
상기 볼하우징의 상기 함몰된 부분에는 상기 다수의 구름볼이 위치를 유지하며 제자리에서 자유 회전할 수 있도록 다수의 그루브(Groove)가 표면으로부터 함몰 형성되는 것이 바람직하다.
상기 카세트 지지 플레이트의 상단부에는 상기 볼하우징으로부터 상기 위치 설정용 회전볼이 이탈하는 것을 저지하기 위한 이탈 저지부가 마련될 수 있다.
상기 이탈 저지부는 상기 카세트 지지 플레이트의 두께 방향을 따라 원 모양으로 관통 형성된 관통공에 의해 마련되며, 상기 관통공의 직경은 상기 카세트 고정 회전볼의 직경에 비해 작은 것이 바람직하다.
상기 카세트 지지 플레이트는 UHMW-PE(Ultra High Molecular Weight Polyethylene) 재질로 마련되며, 상기 기판은 액정디스플레이(Liquid Crystal Display)용 패널인 것이 바람직하다.
또한, 상기 스토커 장치는, 상기 볼 타입 카세트 지지유닛으로부터 이격된 상기 포크의 후방 양측 코너 영역에 마련되어 상기 볼 타입 카세트 지지유닛과 함께 상기 카세트를 지지하는 2개의 핀 타입(pin type) 카세트 지지유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 핀 타입(pin type) 카세트 지지유닛은, 상기 카세트의 하부에 형성된 삽입홈에 삽입되는 핀 형상의 위치 고정용 포크핀; 및 상기 위치 고정용 포크핀의 적어도 일부분이 상부로 노출되도록 상기 위치 고정용 포크핀을 부분적으로 감싸며 마련되며, 상부는 상기 카세트의 저면이 접촉 지지되고, 하부는 상기 포크의 상면에 결합되는 카세트 지지 플레이트를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 포크의 상단부에 카세트를 로딩하는 과정 중에 발생될 수 있는 카세트 부쉬와 카세트 지지유닛 간의 갈림 현상을 저지할 수 있어 파티클(particle) 발생을 현저히 감소시킬 수 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커 장치가 카세트 보관 선반에 배치된 상태를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 스토커 장치의 포크에 카세트가 로딩된 상태를 도시한 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 볼 타입 카세트 지지유닛의 내부 구성을 설명하기 위하여 부분적으로 절개한 절개 사시도이며, 도 5는 도 4의 단면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 볼 타입 카세트 지지유닛과 카세트가 구름 마찰하며 결합되는 동작을 설명하기 위한 도면이며, 도 7은 도 3에 도시된 핀 타입 카세트 지지유닛의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커 장치(1)는, 스토커 본체(10)와, 스토커 본체(10)에 대해 승강 가능하게 결합되며, 카세트 보관 선반(3)에 카세트(5)를 인입하거나 카세트 보관 선반(3)으로부터 카세트(5)를 반출하기 위하여 카세트(5)를 핸들링하는 포크(20)와, 포크(20)의 전방 양측 코너 영역에 각각 마련되어 카세트(5)를 지지하며, 포크(20)에 대한 카세트(5)의 상대적인 위치 설정을 위해 카세트(5)의 하단부에 형성된 삽입홈(6)에 회전 가능하게 삽입되는 위치 설정용 회전볼(31)을 구비하는 한 쌍의 볼 타입(ball type) 카세트 지지유닛(30)과, 볼 타입 카세트 지지유닛(30)으로부터 이격된 포크(20)의 후방 양측 코너 영역에 마련되어 카세트(5)를 지지하는 한 쌍의 핀 타입(pin type) 카세트 지지유닛(70)을 포함한다.
먼저, 스토커 본체(10)는 카세트 보관 선반(3)의 전방에 배치된다. 이러한 스토커 본체(10)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 카세트 보관 선반(3)의 폭 방향을 따라 마련되는 레일을 따라 이동 가능하게 배치되는 이동바디(11)와, 이동바디(11)의 양측에서 상방으로 기립 형성되는 한 쌍의 수직프레임(13)과, 한 쌍의 수직프레임(13)을 상부에서 연결하는 상부프레임(15)을 구비한다. 여기서, 이동바디(11)의 하부에 휠(16)이 장착되어 스토커 본체(10)는 원하는 선반의 전방으로 이동할 수 있다. 또한 포크(20)가 높이 방향으로 이동 가능함으로써 카세트(5)를 로딩한 포크(20)가 해당 선반의 높이로 정확하게 이동할 수 있다. 즉, 폭 방향으로의 위치 설정은 이동바디(11)에 의해 이루어지고, 높이 방향으로의 위치 설정은 포크(20)의 이동에 의해 이루어져 포크(20)는 원하는 선반으로 원활하게 이동할 수 있다.
포크(20)는, 한 쌍의 수직프레임(13)을 따라 승강하여 카세트(5)를 선반에 인입하거나 카세트 보관 선반(3)으로부터 카세트(5)를 인출하기 위하여 카세트(5)를 직접적으로 핸들링하는 부분이다. 이러한 포크(20)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 수직프레임(13)에 승강 가능하게 결합되는 포크본체(21)와, 포크본체(21)의 상단부에 결합되는 한 쌍의 로봇암(23)과, 한 쌍의 로봇암(23)의 일단부에 결합되며 카세트(5)를 로딩하는 사각틀 형상의 카세트 로딩 프레임(25)을 구비한다.
한 쌍의 로봇암(23)은 각각 , 제1 암(23a)과, 제2 암(23b)을 구비한다. 제1 암(23a)은 포크본체(21)에 대해 회동 가능하게 결합되고, 제2 암(23b)은 제1 암(23a)에 대해 회동 가능하게 결합된다. 따라서 로봇암(23)의 접철 동작에 의해 카세트 로딩 프레임(25)은 카세트 보관 선반(3) 방향으로 전진할 수 있으며 또한 그 반대 방향으로 후퇴할 수 있고 이러한 동작에 의해 카세트(5)를 카세트 보관 선 반(3)의 해당 선반에 인입하거나 해당 선반으로부터 카세트(5)를 외부로 인출할 수 있다.
한편, 카세트(5)를 포크(20)에 로딩한 상태로 이동 시 포크(20)에 대한 카세트(5)의 위치가 정확히 유지되어야 한다. 즉, 카세트(5)를 로딩한 상태로 스토커 본체(10)가 레일(2)을 따라 이동하거나 또는 포크(20)가 수직프레임(13)의 높이 방향으로 승강할 때 포크(20)에 대한 카세트(5)의 위치가 틀어지거나 또는 이동 중 발생 가능한 진동에 의해 포크(20)로부터 카세트(5)가 낙하되는 등의 문제가 발생되어서는 안 된다.
따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 카세트 로딩 프레임(25)의 네 모서리 영역에는 포크(20)에 대한 카세트(5)의 정확한 위치를 유지시키기 위한 카세트 지지유닛(30, 70)이 각각 마련되어 있다.
이 때 네 모서리 영역에 실질적으로 동일한 카세트 지지유닛이 장착될 수 있으나, 본 실시 예에서는, 카세트 보관 선반(3)을 향하는 카세트 로딩 프레임(25)의 전방(도 3의 'A' 방향) 양측 코너 영역에는 볼 타입 카세트 지지유닛(30)이 각각 장착되고, 볼 타입 카세트 지지유닛(30)과 이격된 카세트 로딩 프레임(25)의 후방 영역에는 한 쌍의 핀 타입 카세트 지지유닛(70)이 장착된다.
전술한 바와 같이, 카세트(5)의 하부에는 카세트(5)와 포크(20) 간의 위치를 얼라인(align)하기 위한 네 개의 삽입홈(6, 도 6 참조)이 마련되어 있다. 다시 말해, 이러한 삽입홈(6)들에 한 쌍의 볼 타입 카세트 지지유닛(30)의 일부분과 핀 타입 카세트 지지유닛(70)의 일부분이 삽입 결합되는 것이며, 이러한 결합에 의해 포 크(20)에 대한 카세트(5)의 위치가 견고히 유지될 수 있는 것이다.
그런데, 종래의 일 실시 예에 따른 스토커 장치(101)의 경우 카세트(105)의 삽입홈(106)이 포크(120)의 고정 포크핀(130)에 결합되는 과정에서 카세트(105)의 하단부에 마련된 카세트 부쉬(107)와 고정 포크핀(130)의 상단부가 충돌하여 갈림 현상이 발생되고 이로 인해 금속의 파티클(particle)이 발생되어 작업 환경이 오염되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 실시 예에서는 이러한 문제점을 해결하기 위해, 즉 카세트(5)의 하단부에 마련된 카세트 부쉬(7)와 카세트 지지유닛(30, 70)의 충돌 시 갈림 현상이 발생되는 것을 저지하기 위해, 카세트 보관 선반(3)을 향하는 카세트 로딩 프레임(25)의 전방 양측 코너 영역에는 볼 타입 카세트 지지유닛(30)이 각각 장착된다.
볼 타입 카세트 지지유닛(30)은 카세트(5)의 하부에 마련된 카세트 부쉬(7)와 충돌되는 경우 충돌에 의해 발생되는 충격량을 흡수하는 방향으로 자유 회전함으로써 카세트 부쉬(7) 또는 카세트 지지유닛(30) 간에 갈림 현상이 발생되는 것을 저지할 수 있다.
이러한 볼 타입 카세트 지지유닛(30)의 구성에 대해서 보다 상세히 설명하면, 본 실시 예의 볼 타입(ball type) 카세트 지지유닛(30)은, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 카세트(5)의 하단부에 형성된 삽입홈(6)에 회전 가능하게 삽입되는 위치 설정용 회전볼(31)과, 카세트 로딩 프레임(25)의 상단부에 결합되며 위치 설정용 회전볼(31)이 부분적으로 삽입되는 회전볼 몸체(33)를 구비한다.
위치 설정용 회전볼(31)은, 카세트(5)의 하단부에 형성된 삽입홈(6)에 삽입 되는 부분으로서 포크(20)에 대한 카세트(5)의 정확한 위치를 얼라인(align)할 뿐만 아니라 카세트(5)가 포크(20)로부터 이탈되는 것을 저지하는 역할을 한다. 또한, 삽입홈(6)에 위치 설정용 회전볼(31)이 삽입되는 과정에서 삽입홈(6)과 위치 설정용 회전볼(31)의 위치가 상호 대응되지 않아 삽입홈(6)의 인접 부분인 카세트 부쉬(7)와 위치 설정용 회전볼(31) 간의 충돌이 발생되는 경우, 충돌에 의해 발생되는 충격량을 상쇄하는 방향으로 자유 회전함으로써 즉, 카세트 부쉬(7)와 위치 설정용 회전볼(31)이 구름 마찰함으로써 카세트 부쉬(7)와 위치 설정용 회전볼(31) 간의 갈림 현상이 발생되는 것을 저지할 수 있다.
회전볼 몸체(33)는, 위치 설정용 회전볼(31)이 자유 회전 가능하게 결합되는 부분으로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 위치 설정용 회전볼(31)이 부분적으로 인입되어 결합될 수 있도록 상부가 반구 형상으로 함몰 형성된 볼하우징(34)과, 위치 설정용 회전볼(31)의 일부분이 상부로 노출되도록 볼하우징(34)을 감싸며 마련되는 카세트 지지 플레이트(35)를 구비한다.
또한, 볼하우징(34)의 상부 내면에는 위치 설정용 회전볼(31)이 자유 회전 가능하도록 다수의 구름볼(36)이 배치되어 있다. 그리고 볼하우징(34)의 함몰된 부분에는 다수의 그루브(39)가 규칙적으로 함몰 형성되어 있으며, 이러한 그루브(39)에 구름볼(36)이 자유 회전 가능하도록 배치된다. 따라서 위치 설정용 회전볼(31)에 외력이 가해지는 경우, 가령 예를 들면 위치 설정용 회전볼(31)이 카세트(5)의 하부에 마련된 카세트 부쉬(7)에 충돌되는 경우 위치 설정용 회전볼(31)은 소정의 방향으로 자유 회전함으로써 충돌에 의해 발생되는 충격량을 현저히 감소시킬 수 있으며 따라서 갈림 현상이 발생되는 것을 저지할 수 있다.
카세트 지지 플레이트(35)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 카세트(5)의 삽입홈(6, 도 6 참조)에 인접한 카세트 부쉬(7, 도 6 참조)를 접촉 지지함으로써 카세트 로딩 프레임(25)에 카세트(5)가 균형 있게 지지될 수 있도록 한다. 이러한 카세트 지지 플레이트(35)는 카세트(5)의 삽입홈(6)에 삽입되는 위치 설정용 회전볼(31)의 일부분만이 상부로 노출되도록 볼하우징(34)을 감싸며 마련된다. 이를 위해 카세트 지지 플레이트(35)의 상부 중앙 영역에는 위치 설정용 회전볼(31)이 부분적으로 관통되는 관통공(37)이 관통 형성되어 있다.
이 때, 관통공(37)은 위치 설정용 회전볼(31)이 상부로 일부 노출될 수 있도록 할 뿐만 아니라 관통공(37)에 의해 위치 설정용 회전볼(31)이 외부로 이탈되는 것을 방지하는 이탈 저지부(38)가 마련될 수 있다. 즉, 위치 설정용 회전볼(31)은 자유 회전이 가능하도록 볼하우징(34)에 단순히 로딩되는 구조를 갖기 때문에 위치 설정용 회전볼(31)의 이탈을 저지하는 별도의 구성이 요구된다. 따라서 본 실시 예의 카세트 지지 플레이트(35)의 상부 중앙 영역에 위치 설정용 회전볼(31)의 형상에 대응되는 관통공(37)을 관통 형성하되 관통공(37)의 직경을 위치 설정용 회전볼(31)의 직경(D, 도 5 참조)보다 작게 함으로써 위치 설정용 회전볼(31)이 제자리에서 자유 회전 가능하되 볼하우징(34)의 외부로 이탈되는 것을 저지한다.
카세트 지지 플레이트(35)는 카세트(5)의 하부에 마련된 카세트 부쉬(7)가 직접 접촉되는 부분이기 때문에 UHMW-PE(Ultra High Molecular Weight Polyethylene) 재질로 마련될 수 있다. 따라서 본 실시 예의 카세트 지지 플레이 트(35)는, 우레탄 등으로 제작되던 종래의 고정 포크핀(130, 도 1 참조)에 비해, 향상된 내마모성 및 내충격성 등을 갖는다.
이상 설명한 바와 같이, 볼 타입 카세트 지지유닛(30)은, 포크(20)에 대한 카세트(5)의 위치를 정확히 얼라인할 수 있도록 하며, 또한 카세트 부쉬(7)와 위치 설정용 회전볼(31) 간의 충돌 시 발생되는 충격량을 상쇄하는 방향으로 위치 설정용 회전볼(31)이 자유 회전함으로써 마찰로 인한 갈림 현상이 발생되는 것을 저지할 수 있으며, 따라서 파티클 발생을 현저히 감소시킬 수 있다.
한편, 볼 타입 카세트 지지유닛(30)의 위치 설정용 회전볼(31)은 종래의 고정 포크핀(130, 도 1 참조)에 비해 더 큰 폭을 갖도록 마련될 수 있다. 여기서, 위치 설정용 회전볼(31)의 폭이란 위치 설정용 회전볼(31)의 직경(D)을 말하는 것이 아니며 카세트 지지 플레이트(35) 외측으로 노출된 위치 설정용 회전볼(31)의 하단의 폭(b, 도 5 참조)을 가리킨다. 종래의 일 실시 예에 따른 고정 포크핀(130)은 카세트(5)의 삽입홈(6)에 삽입되는 과정에서 충돌이 발생되는 것을 저지하기 위한 방법으로 삽입홈(6)에 삽입되는 카세트 지지부의 폭(d)을 다소 작게 마련하였는데, 본 실시 예의 카세트 지지유닛(30)의 위치 설정용 회전볼(31)은 카세트 부쉬(7)와 충돌이 발생되더라도 위치 설정용 회전볼(31)의 자유 회전에 의해 충돌에 의해 발생되는 충격량을 감소시킬 수 있기 때문에 삽입홈(6)의 폭 길이와 실질적으로 유사한 폭(b)을 갖도록 마련될 수 있다. 따라서 포크(20)에 대한 카세트(5)의 얼라인을 보다 정확히 할 수 있으며, 카세트(5)의 운반을 보다 안정적으로 할 수 있는 장점이 있다.
다만, 이러한 볼 타입 카세트 지지유닛(30)이 카세트 로딩 프레임(25)의 네 코너 영역에 각각 마련되어 카세트(5)를 지지할 수도 있으나, 본 실시 예에서는 카세트 로딩 프레임(25)의 후방 양측 코너 영역에는 볼 타입 카세트 지지유닛(30)이 아닌 핀 타입 카세트 지지유닛(70)이 마련된다. 이는, 카세트(5)의 삽입홈(6)에 삽입되는 카세트 지지유닛이 모두 볼 타입 카세트 지지유닛(30)으로 마련되게 되면 과도한 충격이 스토커 장치(1)에 주어질 때 위치 설정용 회전볼(31)의 자유 회전하는 특성에 의해 카세트(5)가 포크(20)로부터 이탈될 우려가 있기 때문이다.
또한, 핀 타입 카세트 지지유닛(70)이 마련되는 카세트 로딩 프레임(25)의 후방 영역은 로봇암(23)에 인접하게 위치하기 때문에 카세트 로딩 프레임(25)에 반복적으로 카세트(5)를 로딩하더라도 처짐이 거의 발생되지 않으며, 따라서 볼 타입 카세트 지지유닛(30)처럼 자유 회전에 의해 위치 설정은 하지 않지만 삽입홈(6)과 핀 타입 카세트 지지유닛(70)의 얼라인은 정확하게 이루어질 수 있으나, 그에 반해, 볼 타입 카세트 지지유닛(30)이 마련되는 카세트 로딩 프레임(25)의 전방 영역은 카세트(5)와 먼저 접촉되는 부분이고 카세트(5)의 하중에 의해 처짐이 발생되기 쉽기 때문에 삽입홈(6)과 볼 타입 카세트 지지유닛(30) 간의 위치가 맞지 않을 수 있기 때문이다. 따라서 카세트 부쉬(7)와 접촉 시 자유 회전하는 위치 설정용 회전볼(31)을 구비한 볼 타입 카세트 지지유닛(30)이 카세트 로딩 프레임(25)의 전방 양측 코너에만 마련되는 것이다.
즉, 카세트 로딩 프레임(25)의 후방 영역에는 고정형인 핀 타입 카세트 지지유닛(70)이 마련되어 카세트(5)를 견고히 지지할 수 있도록 하되 삽입홈(6)과 먼저 정렬을 시도하고 처짐이 발생될 수 있는 카세트 로딩 프레임(25)의 전방 영역에는 회전형인 볼 타입 카세트 지지유닛(30)이 마련되어 카세트(5)와 포크(20) 간의 결합이 갈림 현상 없이 유연하게 이루어질 수 있는 것이다.
핀 타입 카세트 지지유닛(70)의 구성에 대해서 설명하면, 핀 타입(pin type) 카세트 지지유닛(70)은, 도 7에 개략적으로 도시된 바와 같이, 카세트(5)의 로딩 시 카세트(5)의 하부(후반부 저면)에 형성된 삽입홈(6)에 삽입되는 위치 고정용 포크핀(71)과, 위치 고정용 포크핀(71)의 일부분이 상부로 노출되도록 위치 고정용 포크핀(71)을 부분적으로 감싸며 마련되는 카세트 지지 플레이트(73)를 구비한다.
여기서 위치 고정용 포크핀(71)은 카세트 지지 플레이트(73)의 상부로 부분적으로 돌출 형성되지만, 전술한 위치 설정용 회전볼(31)과는 달리 카세트 지지 플레이트(73)에 고정 설치되는 구조를 갖는다. 따라서 위치 고정용 포크핀(71)이 카세트(5)의 삽입홈(6)에 결합된 경우 포크(20)에 대한 카세트(5)의 위치를 견고히 유지시킬 수 있다. 한편, 카세트 지지 플레이트(73)는 전술한 볼 타입 카세트 지지유닛(30)의 카세트 지지 플레이트(35, 도 5 참조)와 실질적으로 유사한 구조를 가지므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
이하에서는, 이러한 구성을 갖는 스토커 장치(1)의 동작 과정 중 포크(20)가 카세트 보관 선반(3)으로부터 카세트(5)를 인출하는 과정에 대해서 설명하기로 한다.
먼저, 카세트(5)가 보관되는 카세트 보관 선반(3)의 전방에 스토커 장치(1)를 설치한다. 이어서 작업이 진행될 카세트 보관 선반(3)의 해당 선반으로부터 카 세트(5)를 인출하기 위해서, 스토커 본체(10)를 해당 선반이 위치하는 장소로 이동시킨 후 포크(20)를 해당 선반의 높이로 승강시킨다. 이후, 로봇암(23)을 구동시켜 포크(20)의 카세트 로딩 프레임(25)이 해당 선반 내측으로 인입되도록 한다.
카세트 로딩 프레임(25)을 해당 선반에 인입한 후, 카세트(5)를 카세트 로딩 프레임(25)에 로딩하기 위해서 카세트 로딩 프레임(25)의 카세트 지지유닛(30, 70)과 카세트(5)의 삽입홈(6)의 위치를 얼라인한다. 이어서 카세트 로딩 프레임(25)을 상방으로 약간 이동시켜 카세트 지지유닛(30, 70)이 삽입홈(6)에 삽입되도록 한다. 즉, 카세트 로딩 프레임(25)의 전방 양 코너 영역에 마련된 볼 타입 카세트 지지유닛(30)의 위치 설정용 회전볼(31)을 카세트(5)의 삽입홈(6)에 삽입 결합시키고, 또한 카세트 로딩 프레임(25)의 후방 양 코너 영역에 마련된 핀 타입 카세트 지지유닛(70)의 위치 고정용 포크핀(71)을 카세트(5)의 삽입홈(6)에 삽입시키는 것이다.
이 때, 카세트 로딩 프레임(25)의 전반부는 삽입홈(6)이 먼저 접촉되는 부분이고 구조상 상대적으로 후반부에 비해 처짐이 많이 발생될 수 있어 카세트(5)의 삽입홈(6)과 볼 타입 카세트 지지유닛(30)의 위치 설정 회전볼의 위치가 정확히 얼라인되지 못할 수 있고 이로 인해 카세트(5)의 하단부에 마련된 카세트 부쉬(7)와 위치 설정용 회전볼(31) 간의 충돌이 발생될 수 있으나, 이 때 위치 설정용 회전볼(31)이 충격을 상쇄하는 방향으로 자유 회전하며 카세트(5)의 삽입홈(6)에 삽입되기 때문에 갈림 현상이 발생되는 것을 저지할 수 있으며 따라서 파티클 발생을 현저히 감소시킬 수 있다.
카세트 로딩 프레임(25)에 카세트(5)를 로딩한 후, 로봇암(23)을 구동시켜 카세트(5)가 로딩된 카세트 로딩 프레임(25)을 해당 선반으로부터 후퇴시키고, 이어서 스토커 본체(10)의 이동에 의해 다음 작업공간으로 카세트(5)를 운반한다.
이와 같이, 본 실시 예에 의하면, 카세트(5)의 하부에 형성된 삽입홈(6)에 포크(20)의 카세트 지지유닛(30, 70)이 삽입 결합될 때, 가령 카세트 로딩 프레임(25)의 볼 타입 카세트 지지유닛(30)과 카세트(3)의 삽입홈(6)의 위치가 정확히 일치하지 않아 카세트 부쉬(7)와 볼 타입 카세트 지지유닛(30)이 충돌하게 되더라도 볼 타입 카세트 지지유닛(30)의 위치 설정용 회전볼(31)이 충돌에 의해 발생되는 충격량을 상쇄하는 방향으로 자유 회전함으로써 마찰에 의한 갈림 현상이 발생되는 것을 저지할 수 있으며, 또한 포크(20)에 대한 카세트(5)의 전체적인 위치를 견고히 유지할 수 있는 효과가 있다.
전술한 실시 예에서는, 볼 타입 카세트 지지유닛이 카세트 로딩 프레임의 전방 영역에 마련되고 핀 타입 카세트 지지유닛이 카세트 로딩 프레임의 후방 영역에 마련된다고 상술하였으나, 카세트의 이탈 염려가 없다면 카세트 로딩 프레임의 네 영역 모두 볼 타입 카세트 지지유닛으로 마련되어도 무방하다 할 것이다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예는 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
도 1은 종래의 일 실시 예에 따른 스토커 장치의 카세트 지지부에 카세트가 삽입 결합되는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토커 장치가 카세트 보관 선반에 배치된 상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 스토커 장치의 포크에 카세트가 로딩된 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 볼 타입 카세트 지지유닛의 내부 구성을 설명하기 위하여 부분적으로 절개한 절개 사시도이다.
도 5는 도 4의 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 볼 타입 카세트 지지유닛과 카세트가 구름 마찰하며 결합되는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 3에 도시된 핀 타입 카세트 지지유닛의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 스토커 장치 3 : 카세트 보관 선반
10 : 스토커 본체 20 : 포크
25 : 카세트 로딩 프레임 30 : 볼 타입 카세트 지지유닛
31 : 위치 설정용 회전볼 33 : 회전볼 몸체
34 : 볼 하우징 35 : 카세트 지지 플레이트
36 : 구름볼 38 : 이탈 저지부
70 : 핀 타입 카세트 지지유닛 71 : 위치 고정용 포크핀

Claims (11)

  1. 다수의 기판이 수용되는 카세트(Cassette)를 하부에서 지지하며, 카세트 보관 선반에 상기 카세트를 인입하거나 상기 카세트 보관 선반으로부터 상기 카세트를 반출하기 위하여 상기 카세트를 핸들링하는 포크; 및
    상기 포크의 상단부에 마련되어 상기 카세트를 지지하며, 상기 카세트에 대한 상기 포크의 상대적인 위치 설정을 위해 적어도 일부 영역이 상기 카세트의 하부에 형성된 삽입홈에 대해 회전 가능하게 삽입되는 위치 설정용 회전볼을 각각 갖는 적어도 하나의 카세트 지지유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 카세트 지지유닛은, 상기 카세트 보관 선반을 향하는 상기 포크의 전방 양측 코너 영역에 각각 마련되는 2개의 볼 타입(ball type) 카세트 지지유닛인 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 볼 타입 카세트 지지유닛은,
    상기 포크의 상단부에 결합되며, 상기 위치 설정용 회전볼이 부분적으로 삽입되어 결합되는 회전볼 몸체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 회전볼 몸체는,
    상단부가 반구 형상으로 함몰 형성되며, 함몰된 부분으로 상기 위치 설정용 회전볼이 결합되는 볼하우징; 및
    상기 위치 설정용 회전볼의 적어도 일부분이 상부로 노출되도록 상기 볼하우징을 감싸며 마련되며, 상면은 상기 카세트의 저면이 접촉 지지되고, 하단부는 상기 포크의 상면에 결합되는 카세트 지지 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 볼하우징의 상기 함몰된 부분에는 상기 위치 설정용 회전볼이 제자리에서 자유 회전 가능하도록 다수의 구름볼이 규칙적으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 볼하우징의 상기 함몰된 부분에는 상기 다수의 구름볼이 위치를 유지하며 제자리에서 자유 회전할 수 있도록 다수의 그루브(Groove)가 표면으로부터 함몰 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 카세트 지지 플레이트의 상단부에는 상기 볼하우징으로부터 상기 위치 설정용 회전볼이 이탈하는 것을 저지하기 위한 이탈 저지부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 이탈 저지부는 상기 카세트 지지 플레이트의 두께 방향을 따라 원 모양으로 관통 형성된 관통공에 의해 마련되며, 상기 관통공의 직경은 상기 카세트 고정 회전볼의 직경에 비해 작은 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 카세트 지지 플레이트는 UHMW-PE(Ultra High Molecular Weight Polyethylene) 재질로 마련되며, 상기 기판은 액정디스플레이(Liquid Crystal Display)용 패널인 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 볼 타입 카세트 지지유닛으로부터 이격된 상기 포크의 후방 양측 코너 영역에 마련되어 상기 볼 타입 카세트 지지유닛과 함께 상기 카세트를 지지하는 2개의 핀 타입(pin type) 카세트 지지유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 핀 타입(pin type) 카세트 지지유닛은,
    상기 카세트의 하부에 형성된 삽입홈에 삽입되는 핀 형상의 위치 고정용 포크핀; 및
    상기 위치 고정용 포크핀의 적어도 일부분이 상부로 노출되도록 상기 위치 고정용 포크핀을 부분적으로 감싸며 마련되며, 상부는 상기 카세트의 저면이 접촉 지지되고, 하부는 상기 포크의 상면에 결합되는 카세트 지지 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.
KR1020080076675A 2008-08-05 2008-08-05 스토커 장치 KR100998206B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080076675A KR100998206B1 (ko) 2008-08-05 2008-08-05 스토커 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080076675A KR100998206B1 (ko) 2008-08-05 2008-08-05 스토커 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100016996A true KR20100016996A (ko) 2010-02-16
KR100998206B1 KR100998206B1 (ko) 2010-12-03

Family

ID=42088786

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080076675A KR100998206B1 (ko) 2008-08-05 2008-08-05 스토커 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100998206B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102146124B1 (ko) * 2020-03-16 2020-08-19 코리아테크노(주) 로드포트의 풉 안내구조

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101992776B1 (ko) * 2013-01-15 2019-06-25 에스케이실트론 주식회사 마운팅 유닛
CN111215996A (zh) * 2020-01-10 2020-06-02 京东方科技集团股份有限公司 支撑件、载物组件和加工玻璃的装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100660773B1 (ko) * 2006-01-09 2006-12-22 에스지서보(주) 볼트랜스퍼 장치
KR200414926Y1 (ko) * 2006-01-09 2006-04-27 (주)상아프론테크 기판 적재용 카세트

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102146124B1 (ko) * 2020-03-16 2020-08-19 코리아테크노(주) 로드포트의 풉 안내구조

Also Published As

Publication number Publication date
KR100998206B1 (ko) 2010-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101058187B1 (ko) 기판 보관용 카세트 시스템
KR100973190B1 (ko) 기판 이송용 카세트 및 기판 이송용 로봇, 그리고 그것들을구비한 기판 이송용 카세트 시스템
KR100998206B1 (ko) 스토커 장치
KR101613119B1 (ko) 스토커 장치
KR20080019899A (ko) 스토커 장치
KR102085715B1 (ko) 기판반전장치
KR101576544B1 (ko) 스토커 장치
JPH11227943A (ja) 基板移載装置
KR101203894B1 (ko) 기판 그립 장치
KR101000494B1 (ko) 이송장치
KR100759890B1 (ko) 스토커 장치
US20090156082A1 (en) Apparatus for Transferring Substrate
KR101895273B1 (ko) 스토커용 헤더 회동장치
KR20080002372A (ko) 서셉터 및 이를 구비한 기판이송장치
KR101014749B1 (ko) 기판 보관용 카세트 시스템
KR101979075B1 (ko) 클린룸용 스택커
KR102070853B1 (ko) 스토커용 수평지지대의 수평 지지장치
KR102178615B1 (ko) 센터링 장치
KR20100006088A (ko) 기판정렬수단을 구비한 진공공정장치
KR101570078B1 (ko) 카세트 턴장치
KR101514212B1 (ko) 스토커 장치 및 이를 구비한 스토커 시스템
KR20110033670A (ko) 스토커
KR101218552B1 (ko) 슬라이딩을 방지하는 기판이송로봇
KR102099658B1 (ko) 기판 디태치 장치 및 방법
KR101570083B1 (ko) 자기 부상 이송 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131023

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141014

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151020

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171011

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181031

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190930

Year of fee payment: 10