KR101014749B1 - 기판 보관용 카세트 시스템 - Google Patents

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Abstract

기판 보관용 카세트 시스템이 개시된다. 본 발명의 기판 보관용 카세트 시스템은, 외관을 형성하는 카세트 하우징과, 기판을 지지할 수 있도록 판면 방향을 따라 상호 나란하게 이격 배치되는 다수의 서포트 바아를 각각 가지며, 카세트 하우징 내의 높이 방향을 따라 상호 적층되어 결합되는 다수의 서포트 바아 유닛을 구비하는 기판 보관용 카세트; 및 기판 보관용 카세트의 양측 영역 중 적어도 어느 일 영역에서 카세트 하우징의 내부로 인입되어, 서포트 바아 유닛 상의 기판이 외부로 이송되거나 외부에 있는 기판이 서포트 바아 유닛 상으로 이송될 수 있도록, 다수의 서포트 바아를 상호 접근시키거나 이격시키는 구동용 로더를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 기판 보관용 카세트에 대한 기판의 적재 및 인출 작업이 자체적으로 진행됨으로써 종래와 달리 기판의 적재 및 인출 작업을 위한 로봇의 사용을 배제할 수 있으며, 따라서 로봇 출입을 위한 공간을 축소할 수 있어 기판 보관용 카세트에 보다 많은 수의 기판을 적재할 수 있으며, 또한 로봇 사용을 배제함으로써 그에 따른 비용을 절감할 수 있다.
기판, 카세트, 서포트 바아, 구동용 로더, 롤러

Description

기판 보관용 카세트 시스템{Cassette System for Storing the Substrate}
본 발명은, 기판 보관용 카세트 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판 보관용 카세트에 대한 기판의 적재 및 인출 작업이 자체적으로 진행됨으로써 종래와 달리 기판의 적재 및 인출 작업을 위한 로봇의 사용을 배제할 수 있으며, 따라서 로봇 출입을 위한 공간을 축소할 수 있어 기판 보관용 카세트에 보다 많은 수의 기판을 적재할 수 있는 기판 보관용 카세트 시스템에 관한 것이다.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.
평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 종래 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치인데, 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.
이러한 평면디스플레이(FPD) 중 하나인 박막트랜지스터(TFT, Thin Film Transistor) LCD(TFT-LCD)는, 2장의 얇은 상하 유리기판 사이에 고체와 액체의 중 간물질인 액정을 주입하고, 상하 유리기판의 전극 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자로서, 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능으로 인하여 빠른 속도로 기존의 음극선관(CRT)을 대체하고 있다. 현재, LCD는 전자시계를 비롯하여 모바일 폰, 전자계산기, TV, 노트북 PC 등 전자제품에서 자동차, 항공기의 속도표시판 및 운행시스템 등에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다.
한편, LCD를 비롯한 평면디스플레이용 기판(이하, 기판이라 명칭함)은, 보통 글래스(Glass) 재질로 이루어져, 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 특성인 취성을 갖고 있기 때문에 취급에 있어서 각별한 주의가 요구된다.
특히, 크기가 작은 기판이 아닌, 예컨대 가로/세로의 길이가 2미터 이상인 7-8세대용 기판이나 가로/세로의 길이가 3미터 이상인 11세대용 기판의 경우, 그 크기가 거대하기 때문에 이송에 있어 보다 각별한 주의가 요구된다.
따라서 이러한 기판들은 소위, 카세트(Cassette)라 하는 별도의 적재 박스에 층층히 보관된 후, 다음 공정으로 이송된다. 즉 기판을 제조하는 제조 공정에서, 임의의 공정이 완료된 기판들은 별도의 로봇에 의해 수 내지 수십 장씩 카세트에 적재되어 보관되며, 적재가 완료되면 카세트 그 자체로 다음 공정으로 이송되고, 해당 공정에 도달되면 다시 로봇에 의해 카세트 내에 적재된 기판들이 인출되어 해당 공정을 수행하게 된다.
이와 같이, 기판들은 카세트에 적재된 후에 공정 간을 이송하게 되므로 기판에 대한 이송 효율을 높이면서 생산량을 향상시키고자 한다면, 규격화된 단위 크기 의 카세트에 보다 많은 수의 기판을 적재하는 것이 유리하므로 이에 대한 연구가 계속 진행되고 있다.
종래 기술에서 널리 사용되고 있던 초기의 카세트 구조에 대해 설명하면, 초기의 카세트는 외관을 형성하는 카세트 하우징과, 카세트 하우징 내에서 기판들을 높이 방향으로 적재하기 위해 카세트 하우징의 내벽면 양측에 마련되어 기판의 양측면을 부분적으로 떠받쳐 지지하는 다수의 선반을 구비한다.
이와 같은 구조의 카세트는 이미 널리 사용되고 있는 방식이기는 하지만, 선반들이 기판의 양측면을 떠받쳐 지지하는 형태이기 때문에 작은 사이즈의 기판의 적재 및 인출 시 사용될 수는 있으나 대면적 기판, 예컨대 6세대 이상의 기판의 적재 및 인출 시 사용되기는 곤란하다. 이는, 면적뿐만 아니라 중량도 많이 나가는 대면적 기판의 양측면이 선반에 지지되는 경우 대면적 기판의 중앙 영역에서 처짐이 발생될 수 있고, 이러한 처짐으로 인해 기판을 적재 및 인출시키는 로봇의 핑거와 충돌이 빈번하게 발생되어 기판의 파손으로 이어질 수 있기 때문이다.
따라서 대면적 기판의 적재 및 인출 시에는 기존의 일반적인 카세트 구조에서 벗어나, 카세트 하우징 내에 층별로 지지플레이트를 형성하고, 기판의 처짐방지를 위해 지지플레이트 상에 다수의 핀을 더 장착한 구조의 새로운 타입의 카세트가 사용된 바 있다.
그런데, 이와 같이 핀에 의해 대면적 기판을 지지하는 종래의 카세트에 있어서는, 지지플레이트 상에 핀을 세워 장착하기 위해 핀의 높이만큼의 공간이 필요하고 또한 기판을 이송하는 로봇의 핑거의 상하 이동을 위한 공간이 필요하다는 구조 적인 한계로 인해, 규격화된 단위 크기의 카세트에 적재할 수 있는 기판의 개수가 제한적일 수밖에 없으며 따라서 기판의 보관 및 이송 효율이 저하될 수밖에 없는 문제점이 있다.
따라서, 로봇에 의해 기판의 적재 및 인출 작업이 진행되는 것을 배제할 있어 로봇의 출입을 위한 공간을 축소시킬 수 있으며, 이로 인해 종래보다 다수의 기판을 적재할 수 있는 구조를 구현할 있어 기판의 적재 및 이송 효율을 향상시킬 수 있는 새로운 구조의 카세트 시스템의 개발이 필요한 실정이다.
본 발명의 목적은, 기판 보관용 카세트에 대한 기판의 적재 및 인출 작업이 자체적으로 진행됨으로써 종래와 달리 기판의 적재 및 인출 작업을 위한 로봇의 사용을 배제할 수 있으며, 따라서 로봇 출입을 위한 공간을 축소할 수 있어 기판 보관용 카세트에 보다 많은 수의 기판을 적재할 수 있으며, 또한 로봇 사용을 배제함으로써 그에 따른 비용을 절감할 수 있는 기판 보관용 카세트 시스템을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 외관을 형성하는 카세트 하우징과, 기판을 지지할 수 있도록 판면 방향을 따라 상호 나란하게 이격 배치되는 다수의 서포트 바아를 각각 가지며, 상기 카세트 하우징 내의 높이 방향을 따라 상호 적층되어 결합되는 다수의 서포트 바아 유닛을 구비하는 기판 보관용 카세트; 및 상기 기판 보관 용 카세트의 양측 영역 중 적어도 어느 일 영역에서 상기 카세트 하우징의 내부로 인입되어, 상기 서포트 바아 유닛 상의 상기 기판이 외부로 이송되거나 상기 외부에 있는 기판이 상기 서포트 바아 유닛 상으로 이송될 수 있도록, 상기 다수의 서포트 바아를 상호 접근시키거나 이격시키는 구동용 로더를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템에 의해서 달성된다.
여기서, 상기 다수의 서포트 바아 유닛 각각은, 상기 다수의 서포트 바아가 판면 방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 상기 다수의 서포트 바아의 양단부를 연결하는 한 쌍의 연결 바아를 더 포함할 수 있다.
상기 서포트 바아 유닛의 상기 다수의 서포트 바아 중 상기 기판이 적재 및 인출되는 출입구 부분의 서포트 바아는, 상기 다수의 서포트 바아들이 접근 및 이격될 때 다른 서포트 바아들의 기준이 되도록, 상기 한 쌍의 연결 바아에 고정 결합될 수 있다.
상기 다수의 서포트 바아들이 상기 한 쌍의 연결 바아에 대해 슬라이딩 이동하여 상호 접근 및 이격 가능하도록, 상기 다수의 서포트 바아들은 상기 한 쌍의 연결 바아에 자바라 타입으로 결합될 수 있다.
상기 구동용 로더에 의해 상호 접근 및 이격 가능하도록 상기 다수의 서포트 바아들은 인접한 서포트 바아끼리 링크부재에 의해 링크 결합될 수 있다.
상기 구동용 로더는, 상기 기판 보관용 카세트를 지지하는 카세트 지지몸체의 양측에서 승하강 이동 가능하게 결합되는 로더 몸체부; 상기 카세트 하우징의 내측 방향으로 전진 및 후진 이동하도록 상기 로더 몸체부에 이동 가능하게 결합되 는 축지지부; 및 상기 축지지부의 길이 방향을 따라 형성된 이동레일을 따라 이동 가능하도록 상기 축지지부에 결합되며, 상기 다수의 서포트 바아에 접촉 지지되는 다수의 접촉지지부를 포함할 수 있다.
상기 구동용 로더는, 상기 다수의 접촉지지부가 상기 축지지부의 상기 이동레일을 따라 이동할 수 있도록 상기 다수의 접촉지지부를 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 선형 구동모터; 및 상기 축지지부를 상기 로더 몸체부에 대해 전후진 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 전후진 구동모터를 더 포함할 수 있다.
상기 구동용 로더는, 상기 다수의 접축지지부를 상기 축지지부에 대해 승하강 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 승하강 구동모터를 더 포함할 수 있다.
상기 전후진 구동모터는 상기 축지지부가 상기 로더 몸체부에 대해 리니어 모션으로 이동할 수 있도록 리니터 모터로 마련되며, 상기 선형 구동모터는 상기 다수의 접촉지지부가 상기 이동레일을 따라 리니어 모션으로 이동할 수 있도록 리니어 모터로 마련되며, 상기 승하강 구동모터는 실린터 타입의 에어 실린더 장치로 마련될 수 있다.
상기 다수의 서포트 바아 유닛 각각은, 상기 다수의 서포트 바아에 마련되어 상기 다수의 서포트 바아에 장력을 인가하는 장력 인가용 와이어; 및 상기 장력 인가용 와이어에 결합되어 상기 장력 인가용 와이어의 장력을 조절하는 장력 조절부를 더 포함할 수 있다.
상기 다수의 서포트 바아들의 상면에는 상기 기판을 지지하기 위한 핀 타입의 기판 지지부 복수 개가 규칙적으로 돌출 형성될 수 있다.
또한, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 외관을 형성하는 카세트 하우징과, 상기 카세트 하우징 내에 마련되어 기판이 층층히 보관되는 다수의 서포트 바아 유닛을 갖는 기판 보관용 카세트; 및 상기 기판 보관용 카세트의 양측 영역 중 적어도 어느 일 영역에서 상기 카세트 하우징의 내부로 인입되어, 회전 동작에 의해 상기 서포트 바아 유닛 상의 기판을 외부로 이송시키거나 상기 외부의 기판을 상기 서포트 바아 유닛 상으로 이송시키는 구동용 로더를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템에 의해서도 달성된다.
여기서, 상기 구동용 로더는, 상기 기판 보관용 카세트를 지지하는 카세트 지지몸체의 높이 방향으로 이동 가능하게 상기 카세트 지지몸체에 결합되는 로더 몸체부; 상기 카세트 하우징의 내측 방향으로 전진 및 후진 이동하도록 상기 로더 몸체부에 이동 가능하게 결합되는 축지지부; 상기 축지지부의 길이 방향을 따라 결합되며 정역 방향으로 회전 가능한 다수의 롤러축; 및 상기 다수의 서포트 바아들이 지지하는 상기 기판의 하면과 실질적으로 접촉하여 상기 기판을 이송시킬 수 있도록 상의 다수의 롤러축에 각각 결합되는 다수의 이송롤러를 포함할 수 있다.
상기 구동용 로더는, 상기 다수의 롤러축을 정역 방향으로 회전시키기 위한 구동력을 발생시키는 회전 구동모터; 및 상기 축지지부를 상기 로더 몸체부에 대해 전후진 이동시키는 구동력을 발생시키는 전후진 구동모터를 더 포함할 수 있다.
상기 구동용 로더는, 상기 롤러축을 상기 축지지부에 대해 승하강 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 승하강 구동모터를 더 포함할 수 있다.
상기 전후진 구동모터는 상기 축지지부가 상기 로더 몸체부에 대해 리니어 모션으로 이동할 수 있도록 리니어 모터로 마련되며, 상기 승하강 구동모터는 실린더 타입의 에어 실린더 장치로 마련될 수 있다.
상기 다수의 서포트 바아 유닛은, 상기 카세트 하우징 내에서, 판면 방향 및 높이 방향을 따라 행렬 타입으로 배치되는 다수의 서포트 바아; 및 상기 카세트 하우징 내에서 높이 방향을 따라 마련되어, 상기 다수의 서포트 바아들 중 상호 같은 열을 갖는 서포트 바아들의 양단부들을 연결하는 다수의 연결 바아를 포함할 수 있다.
상기 다수의 서포트 바아 유닛은, 상기 다수의 서포트 바아에 마련되어 상기 다수의 서포트 바아에 장력을 인가하는 장력 인가용 와이어; 및 상기 장력 인가용 와이어에 결합되어 상기 장력 인가용 와이어의 장력을 조절하는 장력 조절부를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 보관용 카세트 시스템은, 상기 기판을 상기 기판 보관용 카세트의 상기 서포트 바아 유닛에 인입하거나 상기 서포트 바아 유닛으로부터 상기 기판을 인출하는 경우, 상기 기판을 이송하는 외부의 이송컨베이어와 작업이 진행될 상기 서포트 바아 유닛의 높이를 맞추기 위해, 상기 기판 보관용 카세트를 높이 방향으로 승하강 이동시키는 카세트 승하강 구동유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 카세트 승하강 구동유닛은, 상기 구동용 로더가 이동 가능하게 마련되는 카세트 지지몸체; 및 상기 기판 보관용 카세트를 지지하도록 상기 카세트 지지몸체에 마련되며, 상기 기판 보관용 카세트를 승하강 이동시키는 카세트 승하강 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판 보관용 카세트에 대한 기판의 적재 및 인출 작업이 자체적으로 진행됨으로써 종래와 달리 기판의 적재 및 인출 작업을 위한 로봇의 사용을 배제할 수 있으며, 따라서 로봇 출입을 위한 공간을 축소할 수 있어 기판 보관용 카세트에 보다 많은 수의 기판을 적재할 수 있으며, 또한 로봇 사용을 배제함으로써 그에 따른 비용을 절감할 수 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 보관용 시스템의 구성을 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 2는 도 1의 일부분을 자세히 도시한 확대 사시도이고, 도 3 내지 도 5는 도 2에 도시된 구동용 로더에 의해 다수의 서포트 바아가 상호 접근 또는 이격되는 동작을 설명하기 위한 도면들이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 다른 기판 보관용 카세트 시스템(101)은, 기판(G)이 적재되는 다수의 서포트 바아 유닛(120)을 갖는 기판 보관용 카세트(110)와, 카세트 하우징(111)의 양측 영역에서 카세트 하우 징(111)의 내부로 인입되어 서포트 바아 유닛(120) 상의 기판(G)을 외부에 마련된 이송컨베이어(미도시)로 이송하거나 이송컨베이어에 있는 기판(G)을 서포트 바아 유닛(120) 상으로 이송시키는 구동용 로더(140)와, 기판 보관용 카세트(110)를 지지하며 기판 보관용 카세트(110)의 높이를 조절하여 이송컨베이어와 작업이 진행된 서포트 바아 유닛(120)의 높이를 실질적으로 일치시키는 카세트 승하강 구동유닛(190)을 포함한다.
먼저, 기판 보관용 카세트(110)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 외관을 형성하는 카세트 하우징(111, Cassette Housing)과, 카세트 하우징(111) 내에서 높이 방향으로 적층되어 결합되며 각각의 상부에 기판(G)이 로딩되는 다수의 서포트 바아 유닛(120)을 구비한다.
카세트 하우징(111)은, 다수의 서포트 바아 유닛(120)이 높이 방향으로 적층되어 결합될 수 있도록 내부가 빈 박스 형상의 외곽 틀이다. 이러한 카세트 하우징(111)에 의해서 서포트 바아 유닛(120)은 그 위치를 견고히 유지할 수 있다.
다수의 서포트 바아 유닛(120)은 각각 기판(G)이 직접적으로 로딩되어 보관되는 부분으로서, 종래보다 얇은 두께로 마련되어 규격화된 단위 크기의 카세트 하우징(111)에 보다 많은 수의 서포트 바아 유닛(120)을 적층하여 결합시킬 수 있으며, 따라서 종래보다 많은 수의 기판(G)을 보관할 수 있어 기판(G)의 보관 및 이송 효율을 종래보다 향상시킬 수 있다.
여기서, 서포트 바아 유닛(120)의 높이 방향으로의 길이를 종래보다 작게 할 수 있는 이유는, 후술할 구동용 로더(140)에 의해 기판(G)의 적재 및 인출 작업이 진행됨으로써, 종래와 같이 기판(G)의 이송을 위한 로봇(미도시)의 핑거가 서포트 바아 유닛(120)의 사이로 인입되는 것을 배제할 수 있으며, 따라서 각 서포트 바아 유닛(120)의 두께를 줄일 수 있기 때문이다. 이에 대해서는 구동용 로더(140)의 설명 시 상세히 설명하기로 한다.
이러한 다수의 서포트 바아 유닛(120)의 구성에 대해 설명하면, 다수의 서포트 바아 유닛(120)은 각각, 도 2에 도시된 바와 같이, 로딩될 기판(G)의 판면 방향을 따라 상호간 나란하게 배열되어 상부에 기판(G)을 지지하는 다수의 서포트 바아(121)와, 다수의 서포트 바아(121)가 판면 방향, 즉 기판(G)의 이송 방향을 따라 슬라이딩 이동할 수 있도록 다수의 서포트 바아(121)의 양단부를 연결하는 한 쌍의 연결 바아(125)와, 서포트 바아(121)의 길이 방향을 따라 서포트 바아(121)의 내측에 결합되어 서포트 바아(121)에 장력을 인가하는 장력 인가용 와이어(미도시)와, 장력 인가용 와이어의 장력을 조절하는 장력 조절부(미도시)를 포함한다.
다수의 서포트 바아(121)는 연결 바아(125)를 따라 슬라이딩 이동 가능한 구조를 가짐으로써, 상호간 접근하거나 이격될 수 있다. 다만, 기판(G)이 출입되는 출입구 부분의 서포트 바아(121a)는 연결 바아(125)에 고정 결합되어 다른 서포트 바아(121)들의 기준 바아가 되며, 따라서 나머지 서포트 바아(121)들은 고정 결합된 서포트 바아(121a)에 대해 접근하여 기판(G)을 외부로 이송시킬 수 있으며, 또는 연결 바아(125)에 고정 결합된 서포트 바아(121a)에 대해 이격되어 외부의 기판(G)을 서포트 바아(121)의 상부로 이송시킬 수 있다.
여기서, 서포트 바아(121)들이 상호간 이격된 상태는 서포트 바아 유닛(120) 이 기판(G)을 로딩하고 있는 상태를 가리키며, 따라서 이때에는 연결 바아(125)에 대해 서포트 바아(121)들의 위치가 견고히 유지되어야 한다. 이에, 연결 바아(125)의 상면에는 서포트 바아(121)들의 하단부가 인입되는 다수의 인입홈(126)이 형성되어 있으며, 이러한 인입홈(126)에 의해 서포트 바아(121)들이 흔들림 없이 기판(G)을 안정적으로 지지할 수 있다.
자세히 후술하겠지만, 서포트 바아(121)는 연결 바아(125)의 인입홈(126)으로부터 상부로 이격된 후 구동용 로더(140)에 의해 슬라이딩 이동하기 때문에, 연결 바아(125)에 인입홈(126)이 형성되더라도 서포트 바아(121)는 연결 바아(125)에 대해 원활하게 이동할 수 있다.
그리고 서포트 바아(121)의 상면에는, 기판(G)이 부분적으로 로딩될 수 있도록 다수의 기판 지지부(122)가 규칙적으로 돌출 형성되어 있다. 기판 지지부(122)는, 다양한 형상으로 마련될 수 있으나, 본 실시 예의 기판 지지부(122)는 기판(G)에 스크래치 등의 파손이 발생되는 것을 저지하기 위해 상단부가 라운딩(rouding) 처리된 핀(Pin)으로 마련된다. 다만, 본 실시 예에서는 기판 지지부(122)가 핀으로 마련된다고 상술하였으나, 핀이 아닌 제자리에서 구름 회전이 가능한 볼캐스터(Ball Caster) 등으로 마련되어도 무방하다 할 것이다.
한편, 다수의 서포트 바아(121)의 상부에 기판(G)이 로딩되는데, 가령 기판(G)이 대면적 기판(G)인 경우, 서포트 바아(121)는 기판(G)의 무게에 의해 하방으로 처질 수 있으며, 본 실시 예와 같이 각 서포트 바아 유닛(120)의 두께를 슬림화하는 경우 상호 인접한 서포트 바아(121) 유닛(120) 간의 간섭이 발생될 수 있 다. 또한, 서포트 바아(121) 유닛(120)에 처짐이 발생되는 경우 기판(G)에도 역시 처짐이 발생되어 기판(G) 보관의 신뢰성이 저하될 수 있다.
따라서, 본 실시 예의 서포트 바아(121) 유닛(120)의 각 서포트 바아(121) 내측에는 장력 인가용 와이어가 결합되며, 한 쌍의 연결 바아(125) 중 하나의 연결 바아(125)에는 장력 인가용 와이어의 장력을 조절하는 장력 조절부가 마련된다.
장력 인가용 와이어는, 강도가 우수한 와이어(wire)로 제작된다. 이러한 장력 인가용 와이어는, 서포트 바아(121)의 길이 방향을 따라 서포트 바아(121)의 내측에 결합되되 일단부는 한 쌍의 연결 바아(125) 중 하나의 연결 바아(125)에 고정 결합되고 타단부는 다른 연결 바아(125)에 마련된 장력 조절부에 결합된다. 따라서 장력 조절부에 의해 장력 인가용 와이어를 당기는 경우, 즉 장력 인가용 와이어에 장력을 인가하는 경우 장력 인가용 와이어가 팽팽하게 되어 장력 인가용 와이어가 상대 이동 가능하게 결합되는 서포트 바아(121) 역시 팽팽하게 되고, 이에 따라 서포트 바아(121)의 상부에 대면적의 기판(G)이 로딩되더라도 기판(G)에 처짐이 발생되는 것을 저지할 수 있다.
그리고, 다수의 서포트 바아 유닛(120)들은 높이 방향으로 적층되어 결합되는데, 이 때 다수의 서포트 바아 유닛(120)이 상호 정확하게 결합될 수 있도록 연결 바아(125)의 양단부에는 높이 방향으로 관통 형성된 관통홀(미도시)이 형성되어 있으며, 이러한 관통홀들에 결합 바아(미도시)가 결합되어 높이 방향으로 적층된 다수의 서포트 바아(121) 유닛(120)의 위치를 견고히 할 수 있다. 다만, 본 실시 예에서는, 연결 바아(125)에 관통 형성된 관통홀들에 결합 바아가 결합되어 서포트 바아(121) 유닛(120)들이 상호간 결합된다고 상술하였으나, 이는 하나의 실시 예일 뿐이며, 카세트 하우징(111)에 서포트 바아 유닛(120)이 결합되는 틀이 형성되어 다수의 서포트 바아 유닛(120)이 높이 방향으로 견고하게 적층 결합될 수도 있을 것이다.
한편, 전술한 바와 같이, 본 실시 예의 기판 보관용 카세트 시스템(101)은, 로봇에 의해 기판(G)을 이송하는 것이 아니라 구동용 로더(140)에 의해 기판(G)을 이송하기 때문에, 로봇의 출입을 위한 공간을 축소할 수 있어 서포트 바아 유닛(120)의 두께를 슬림화할 수 있으며, 이로 인해 기판(G)의 보관 효율 및 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
본 실시 예의 구동용 로더(140)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 보관용 카세트(110)를 지지하는 카세트 지지몸체(191)에 결합되는 로더 몸체부(141)와, 카세트 하우징(111)의 내측 방향으로 전진 및 후진 이동하도록 로더 몸체부(141)에 이동 가능하게 결합되는 축지지부(145)와, 축지지부(145)의 길이 방향을 따라 형성된 이동레일(146)을 따라 이동 가능하도록 축지지부(145)에 결합되며 다수의 서포트 바아(121)에 접촉 지지되어 다수의 서포트 바아(121)를 상호간 접근 또는 이격시키는 다수의 접촉지지부(143)를 포함한다.
또한 구동용 로더(140)는, 전술한 각 구성들의 구동을 위해, 다수의 구동모터를 더 구비한다. 보다 상세히 설명하면, 다수의 접촉지지부(143)가 축지지부(145)의 이동레일을 따라 선형 이동할 수 있도록 다수의 접촉지지부(143)를 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 선형 구동모터(미도시)와, 축지지부(145)를 로더 몸체부(141)에 대해 전후진 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 전후진 구동모터(미도시)와, 다수의 접촉지지부(143)를 축지지부(145)에 대해 승하강 이동시키기 위한 구동력을 발생시키기 위한 구동력을 발생시키는 승하강 구동모터(미도시)가 더 마련되는 것이다.
각 구성에 대해 설명하면, 먼저 다수의 접촉지지부(143)는, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 서포트 바아(121)를 직접 파지하여 서포트 바아(121)를 상호 접근시키거나 이격시키는 역할을 담당한다. 이러한 접촉지지부(143)는 서포트 바아(121)의 수에 대응되게 마련되며, 단면이 사각형인 서포트 바아(121)의 하단부 일부를 감싸며 지지할 수 있도록 양측부가 상부로 연장된 'U'자 형상을 갖는다.
이러한 다수의 접촉지지부(143)에 의해 서포트 바아(121)가 상호간 접근되는 경우, 기판(G)은 기판 보관용 카세트(110)로부터 외부의 이송컨베이어로 이송되는 것이며, 또는 서포트 바아(121)가 상호간 접근되어 있다가 상호 이격되는 경우, 외부의 이송컨베이어로부터 기판 보관용 카세트(110)의 내부로 기판(G)이 이송되는 것이다.
축지지부(145)는 연결 바아(125)와 실질적으로 나란하게 마련되어 서포트 바아(121) 방향으로 전진 및 후진 이동할 수 있으며, 그 상면에는 다수의 접촉지지부(143)가 길이 방향으로 이동할 수 있도록 이동레일(146)이 형성되어 있다. 따라서 다수의 접촉지지부(143)는 다수의 서포트 바아(121) 각각을 파지한 상태로 이동레일(146)을 따라 슬라이딩 이동할 수 있으며, 이로 인해 기판(G)의 적재 및 인출 작업이 원활하게 진행될 수 있다.
선형 구동모터는 축지지부(145)의 이동레일을 따라 다수의 접촉지지부(143)가 리니어 모션(linear motion)으로 이동할 수 있도록 리니어 모터로 마련된다. 다만, 본 실시 예에서는, 선형 구동모터가 리니어 모터로 마련된다고 설명하였으나, 서보모터 등으로 마련될 수도 있을 것이다.
전후진 구동모터는, 로더 몸체부(141)에 장착되며, 전술한 바와 같이, 로더 몸체부(141)에 대해 축지지부(145)를 기판(G)의 이송 방향의 가로 방향으로 전후진 이동시키는 역할을 담당한다. 이러한 전후진 구동모터는 전술한 선형 구동모터와 마찬가지로 정밀한 제어가 가능한 리니어 모터로 마련될 수 있다.
한편, 전술한 바와 같이, 연결 바아(125)에는 서포트 바아(121)의 위치를 견고히 유지시키기 위한 인입홈(126)이 형성되어 있다. 따라서, 서포트 바아(121)를 상호간 접근시켜 기판(G)을 이송시키기 위해서는 연결 바아(125)의 인입홈(126)으로부터 서포트 바아(121)를 들어올려야 한다.
이에, 본 실시 예의 구동용 로더(140)는, 전술한 바와 같이, 축지지부(145)에 대해 다수의 접촉지지부(143)를 승하강 이동시키기 위한 승하강 구동모터를 더 구비한다. 이러한 승하강 구동몸체에 의해 다수의 접촉지지부(143)가 승하강함으로써 다수의 접촉지지부(143)는 서포트 바아(121)를 연결 바아(125)로부터 소정 간격 들어올릴 수 있으며, 이후 선형 구동모터에 의해 서포트 바아는 기판(G)이 출입하는 출입구 방향으로 모아질 수 있다.
이러한 승하강 구동모터는 정밀한 제어가 가능한 실린터 타입의 에어 실린더(Air Cylinder) 장치로 마련된다. 다만, 이는 하나의 실시 예일 뿐이며, 유압 실 린더 장치 또는 서보모터 등이 승하강 구동모터에 적용될 수도 있을 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시 예의 기판 보관용 카세트 시스템(101)은 종래와 달리 별도의 로봇이 기판 보관용 카세트(110)에 기판(G)을 적재 및 인출하는 것이 아니라 구동용 로더(140)가 기판(G)의 적재 및 인출 작업을 실행하기 때문에, 기판(G)을 각각 적재하는 서포트 바아 유닛(120)의 두께를 슬림화할 수 있으며, 따라서 규격화된 크기의 카세트 하우징(111)에 보다 많은 수의 서포트 바아 유닛(120)을 적재 결합할 수 있어 기판(G)의 보관 및 이송 효율을 종래보다 향상시킬 수 있다.
그런데, 이와 같이, 구동용 로더(140)에 의해 기판 보관용 카세트(110)로부터 기판(G)이 외부로 인출되거나 또는 외부의 기판(G)이 기판 보관용 카세트(110)의 내부로 인입되기 위해서는, 기판 보관용 카세트(110)의 전면에 기판(G) 이송을 위한 이송컨베이어가 마련되어 있어야 한다.
또한, 작업이 진행될 해당 서포트 바아 유닛(120)과, 이송컨베이어와의 상면의 높이를 맞추기 위해, 기판 보관용 카세트(110)는 높이 방향으로 승하강 이동할 수 있어야 한다.
따라서, 본 실시 예의 기판 보관용 카세트 시스템(101)은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 보관용 카세트(110)를 지지할 뿐만 아니라 기판 보관용 카세트(110)를 높이 방향으로 승하강 이동시키는 카세트 승하강 구동유닛(190)을 더 포함한다.
카세트 승하강 구동유닛(190)은, 외관을 형성하는 카세트 지지몸체(191)와, 카세트 지지몸체(191)의 양측부에 마련되어 기판 보관용 카세트(110)를 지지하며 또한 기판 보관용 카세트(110)를 승하강 이동시키는 카세트 승하강 구동부(192)를 구비한다.
카세트 지지몸체(191)는, 전술한 바와 같이, 기판 보관용 카세트(110)가 내측에서 승하강 이동할 수 있도록 양측부가 형성되어 있으며, 이러한 양측부에 구동용 로더(140)가 각각 장착된다. 따라서, 구동용 로더(140)는 카세트 하우징(111)의 양측 영역으로 인입할 수 있다.
카세트 승하강 구동부(192)는, 기판 보관용 카세트(110)를 지지하는 카세트지지부(193)와, 카세트지지부(193)를 승하강 이동시키는 카세트 승하강구동모터(194)를 구비한다. 카세트 승하강구동모터(194)의 구동력에 의해 카세트지지부(193)는 승하강 이동하여 외부의 이송컨베이어에 대한, 작업이 진행될 해당 서포트 바아 유닛(120)의 높이를 맞출 수 있으며, 따라서 기판(G)의 적재 및 인출 작업이 원활하게 진행될 수 있다.
다만, 본 실시 예에서는, 기판 보관용 카세트(110)가 카세트 승하강 구동유닛(190)에 의해 승하강 이동하여 이송컨베이어에 대한 해당 서포트 바아 유닛(120)의 위치를 조절한다고 상술하였으나, 이송컨베이어를 승하강 이동시켜 기판 보관용 카세트(110)에 대한 이송컨베이어의 상대적인 위치를 조절할 수도 있을 것이다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 보관용 카세트 시스템(101)의 기판(G) 적재 및 인출 과정에 대해서 설명하기로 한다.
먼저 기판(G)의 인출 과정에 대해서 설명하면, 카세트 승하강 구동유닛(190) 에 의해 이송컨베이어에 대한 기판 보관용 카세트(110)의 위치를 조절한다. 즉, 작업이 진행될 해당 서포트 바아 유닛(120)의 상면과 이송컨베이어의 상면의 위치를 일치시킨다.
이후, 구동용 로더(140)를 카세트 하우징(111) 내부로 인입시켜 구동용 로더(140)의 다수의 접촉지지부(143)가 해당 서포트 바아 유닛(120)의 서포트 바아에 접촉 지지되도록 한다. 이에 대해 보다 상세히 설명하면, 구동용 로더(140)의 전후진 구동모터에 의해 축지지부(145)를 구동시켜 다수의 접촉지지부(143)가 서포트 바아(121)의 하부에 위치하도록 하고, 이어서 승하강 구동모터에 의해 다수의 접촉지지부(143)를 승강시켜 다수의 접촉지지부(143)가 서포트 바아(121)에 접촉 지지되도록 하고, 다음으로 선형 구동모터에 의해 다수의 접촉지지부(143)를 이동시킴으로써 서포트 바아(121)들이 선단부에 위치한 서포트 바아(121a) 방향으로 접근되도록 한다.
이러한 과정에 의해, 서포트 바아(121)의 상부에 놓인 기판(G)은 출입구 방향으로 이송되어 이송컨베이어로 이동하게 된다.
반면에, 기판(G)의 적재 과정은, 전술한 기판(G)의 인출 과정과 실질적으로 유사하게 진행되되 서포트 바아(121)들이 상호 접근하는 것이 아니라, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상호 이격되는 방향으로 작업이 진행된다. 즉 구동용 로더(140)에 의해 상호 접근 상태를 유지하던 서포트 바아(121)가 이송컨베이어로부터 기판(G)을 받은 후, 상호 이격됨으로써 기판(G)이 해당 서포트 바아 유닛(120)의 상부로 적재되는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 기판 보관용 카세트(110)에 대한 기판(G)의 적재 및 인출 작업이 자체적으로 진행됨으로써 종래와 달리 기판(G)의 적재 및 인출 작업을 위한 로봇의 사용을 배제할 수 있으며, 따라서 로봇 출입을 위한 공간을 축소할 수 있어 카세트 하우징(111)에 기판(G)을 적재할 수 있는 보다 많은 수의 서포트 바아 유닛(120)을 적층 결합시킬 수 있으며, 또한 로봇 사용을 배제함으로써 그에 따른 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.
한편, 이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 보관용 카세트 시스템을 설명하면 다음과 같다. 단, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 보관용 카세트 시스템에서 설명한 바와 동일한 것에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 보관용 시스템의 일부 구성을 확대한 확대 사시도이고, 도 7 내지 도 9는 도 6에 도시된 구동용 로더의 동작을 순차적으로 도시한 도면이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 보관용 카세트 시스템(201)은, 기판 보관용 카세트(210)와, 기판 보관용 카세트(210)의 양측 영역에서 카세트 하우징(211)의 내부로 인입되어 회전 동작에 의해 서포트 바아 유닛(220) 상의 기판(G)을 외부로 이송시키거나 외부의 기판(G)을 서포트 바아 유닛(220) 상으로 이송시키는 구동용 로더(240)와, 기판 보관용 카세트(210)를 지지하며 기판 보관용 카세트(210)의 높이를 조절하여 이송컨베이어와 작업이 진행된 서포트 바아 유닛(220)의 높이를 실질적으로 일치시키는 카세트 승하강 구동유 닛(290)을 포함한다.
본 실시 예의 기판 보관용 카세트(210)는, 외관을 형성하는 카세트 하우징(211)과, 카세트 하우징(211) 내에 마련되어 다수의 기판(G)을 층층히 지지하는 다수의 서포트 바아 유닛(220)을 구비한다.
다수의 서포트 바아 유닛(220)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 카세트 하우징(211) 내에서, 판면 방향 및 높이 방향을 따라 행렬 타입으로 배치되는 다수의 서포트 바아(221)와, 카세트 하우징(211) 내에서 높이 방향을 따라 마련되어 다수의 서포트 바아(221)들 중 상호 같은 열을 갖는 서포트 바아(221)들의 양단부들을 연결하는 다수의 연결 바아(225)를 구비한다.
각 서포트 바아(221)의 상면에는, 기판(G)을 지지하기 위한 기판 지지부(222), 즉 본 실시 예의 볼캐스터(222, Ball Caster)가 돌출 형성되어 있다. 이러한 볼캐스터(222)는 제자리에서 구름 회전할 수 있기 때문에 기판(G)의 이송 작업 시 기판(G)에 스크래치 등이 발생되는 것을 저지할 수 있다.
본 실시 예의 구동용 로더(240)는, 도 7 내지도 9에 도시된 바와 같이, 회전 동작에 의해 기판(G)을 이송할 수 있도록, 기판 보관용 카세트(210)를 지지하는 카세트 지지몸체(291)에 결합되는 로더 몸체부(241)와, 로더 몸체부(241)에 이동 가능하게 결합되어 카세트 하우징(211)의 내측 방향으로 전진 및 후진 이동하는 축지지부(245)와, 축지지부(245)의 길이 방향을 따라 결합되며 정역 방향으로 회전 가능한 다수의 롤러축(243)과, 기판(G)을 서포트 바아(221)로부터 약간 들어올린 후 기판(G)을 이송시킬 수 있도록 다수의 롤러축(243)에 각각 결합되어 롤러축(243)의 회전 시 같이 회전하는 다수의 이송롤러(244)를 구비한다.
또한 구동용 로더(240)는, 각 구성들의 구동을 위해, 다수의 구동모터를 더 구비한다. 보다 상세히 설명하면, 다수의 롤러축(243)을 정역 방향으로 회전시키는 롤러 회전 구동모터(미도시)와, 축지지부(245)를 로더 몸체부(241)에 대해 전후진 이동시키기 위한 전후진 구동모터(미도시)와, 이송롤러(244)가 결합된 롤러축(243)을 축지지부(245)에 대해 승하강 이동시키기 위한 승하강 구동모터(미도시)가 더 마련되는 것이다.
이러한 구성에 의해, 구동용 로더(240)의 이송롤러(244)는 작업이 진행될 해당 서포트 바아 유닛(220)의 하부로 이동한 후 기판(G)을 상방으로 약간 들어올린 후 기판(G)을 외부로 이송시킬 수 있다. 또한, 반대 과정 또한 진행할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 보관용 카세트 시스템(201)의 기판(G)의 적재 및 인출 과정에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 기판(G)의 인출 과정에 대해 설명하면, 도 7에 도시된 바와 같이, 우선 기판(G)이 인출된 해당 서포트 바아 유닛(220)의 높이로 카세트 승하강 구동유닛(290)의 카세트 승하강구동모터(294)에 의해 구동용 로더(240)를 승강시킨다. 이후, 전후진 구동모터를 구동시켜 이송롤러(244)가 인출될 기판(G)의 하부에 위치하도록 축지지부(245)를 로더 몸체부(241)에 대해 전진시킨다(도 8 참조). 다음으로, 승하강 구동모터에 의해 롤러축(243)을 승강시켜 기판(G)의 양측부를 서포트 바아(221)로부터 약간 들어올린다(도 9 참조). 이어서, 회전 구동모터에 의해 이송롤러(244)를 일방향으로 회전시켜 기판(G)을 외부로 인출한다. 인출된 기판(G)은 외 부에 마련된 이송컨베이어의 상면으로 이송된다.
한편, 기판(G)의 적재 과정에 대해 설명하면, 기판(G)이 적재될 해당 서포트 바아 유닛(220) 상으로 기판(G)이 적재될 수 있도록 기판 보관용 카세트(210)의 높이를 조절한다. 이후, 기판(G)이 적재될 해당 서포트 바아 유닛(220) 사이로 구동용 로더(240)의 이송롤러(244)가 위치할 수 있도록 구동용 로더(240)를 구동시킨다. 이어서, 구동용 로더(240)의 이송롤러(244)를 타방향으로 회전시켜 기판(G)이 해당 서포트 바아 유닛(220)의 상부로 인입되도록 한다. 다음으로, 롤러축(243)을 하강시켜 기판(G)을 서포트 바아 유닛(220)의 볼캐스터(222)에 로딩시키고, 이어서 전후진 구동모터를 작동시켜 이송롤러(244)를 서포트 바아(221)에 대해 후진시킨다.
이와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 의하면, 기판 보관용 카세트(210)에 대한 기판(G)의 적재 및 인출 작업이 자체적으로 진행됨으로써 종래와 달리 기판(G)의 적재 및 인출 작업을 위한 로봇의 사용을 배제할 수 있으며, 따라서 로봇 출입을 위한 공간을 축소할 수 있어 카세트 하우징(211)에 기판(G)을 적재할 수 있는 보다 많은 수의 서포트 바아 유닛(220)을 적층 결합시킬 수 있으며, 또한 로봇 사용을 배제함으로써 그에 따른 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.
한편, 이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기판 보관용 카세트 시스템을 설명하면 다음과 같다. 단, 본 발명의 일 실시 예와 다른 실시 예에 따른 기판 보관용 카세트 시스템에서 설명한 바와 동일한 것에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기판 보관용 카세트 시스템이 구비하는 서포트 바아 유닛의 사시도로서, 이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기판 보관용 카세트 시스템의 서포트 바아 유닛(320)은, 전술한 일 실시 예의 서포트 바아 유닛(120, 도 3 참조)과는 달리, 상호 나란하게 배열되는 다수의 서포트 바아(321)들이 연결 바아(325)의 내측에 형성되는 이동레일(326)을 따라 이동할 때, 상호 접근 및 이격이 원활하게 이루어질 수 있도록 인접한 서포트 바아(321)끼리 링크부재(328)로 연결되어 있으며, 이러한 링크부재(328)를 구동용 로더(미도시)가 구동시킴으로써 서포트 바아(321)들의 상호 접근 및 이격이 이루어질 수 있다.
즉, 링크부재(328)의 동작에 의해 서포트 바아(321)가 일측으로 상호 접근되는 경우 기판(G)은 외부로 이송될 수 있으며, 링크부재(328)의 동작에 의해 서포트 바아(321)가 타측으로 상호 이격되는 경우 외부의 기판(G)은 해당 서포트 바아 유닛(320)의 상부로 이송될 수 있는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 또 다른 실시 예에 의하면, 기판 보관용 카세트에 대한 기판(G)의 적재 및 인출 작업이 자체적으로 진행됨으로써 종래와 달리 기판(G)의 적재 및 인출 작업을 위한 로봇의 사용을 배제할 수 있으며, 따라서 로봇 출입을 위한 공간을 축소할 수 있어 카세트 하우징에 기판(G)을 적재할 수 있는 보다 많은 수의 서포트 바아 유닛을 적층 결합시킬 수 있으며, 또한 로봇 사용을 배제함으로써 그에 따른 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.
전술한 일 실시 예에서는, 다수의 접촉지지부가 축지지부에 대해 승하강 이 동되는 구조를 가짐으로써 서포트 바아에 대한 접촉지지부의 위치를 조절한다고 상술하였으나, 로더 몸체부가 카세트 지지몸체에 대해 승하강 이동함으로써 서포트 바아에 대한 접촉지지부의 위치를 조절할 수도 있을 것이다.
전술한 다른 실시 예에서는, 다수의 롤러축이 축지지부에 대해 승하강 이동되는 구조를 가짐으로써 서포트 바아에 대한 이송롤러의 위치를 조절한다고 상술하였으나, 로더 몸체부가 카세트 지지몸체에 대해 승하강 이동함으로써 서포트 바아에 대한 이송롤러의 위치를 조절할 수도 있을 것이다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 보관용 시스템의 구성을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 일부분을 자세히 도시한 확대 사시도이다.
도 3 내지 도 5는 도 2에 도시된 구동용 로더에 의해 다수의 서포트 바아가 상호 접근 또는 이격되는 동작을 설명하기 위한 도면들이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 보관용 시스템의 일부 구성을 확대한 확대 사시도이다.
도 7 내지 도 9는 도 6에 도시된 구동용 로더의 동작을 순차적으로 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기판 보관용 카세트 시스템이 구 비하는 서포트 바아 유닛의 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
101 : 기판 보관용 카세트 시스템 110 : 기판 보관용 카세트
111 : 카세트 하우징 120 : 서포트 바아 유닛
121 : 서포트 바아 125 : 연결 바아
140 : 구동용 로더 141 : 로더 몸체부
143 : 접촉지지부 145 : 축지지부
190 : 카세트 승하강 구동유닛 191 : 카세트 승하강 구동부

Claims (20)

  1. 외관을 형성하는 카세트 하우징과, 기판을 지지할 수 있도록 판면 방향을 따라 상호 나란하게 이격 배치되는 다수의 서포트 바아를 각각 가지며, 상기 카세트 하우징 내의 높이 방향을 따라 상호 적층되어 결합되는 다수의 서포트 바아 유닛을 구비하는 기판 보관용 카세트; 및
    상기 기판 보관용 카세트의 양측 영역 중 적어도 어느 일 영역에서 상기 카세트 하우징의 내부로 인입되어, 상기 서포트 바아 유닛 상의 상기 기판이 외부로 이송되거나 상기 외부에 있는 기판이 상기 서포트 바아 유닛 상으로 이송될 수 있도록, 상기 다수의 서포트 바아를 상호 접근시키거나 이격시키는 구동용 로더를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 서포트 바아 유닛 각각은,
    상기 다수의 서포트 바아가 판면 방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 상기 다수의 서포트 바아의 양단부를 연결하는 한 쌍의 연결 바아를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 서포트 바아 유닛의 상기 다수의 서포트 바아 중 상기 기판이 적재 및 인출되는 출입구 부분의 서포트 바아는, 상기 다수의 서포트 바아들이 접근 및 이격될 때 다른 서포트 바아들의 기준이 되도록, 상기 한 쌍의 연결 바아에 고정 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 다수의 서포트 바아들이 상기 한 쌍의 연결 바아에 대해 슬라이딩 이동하여 상호 접근 및 이격 가능하도록, 상기 다수의 서포트 바아들은 상기 한 쌍의 연결 바아에 자바라 타입으로 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 구동용 로더에 의해 상호 접근 및 이격 가능하도록 상기 다수의 서포트 바아들은 인접한 서포트 바아끼리 링크부재에 의해 링크 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 구동용 로더는,
    상기 기판 보관용 카세트를 지지하는 카세트 지지몸체의 양측에서 승하강 이동 가능하게 결합되는 로더 몸체부;
    상기 카세트 하우징의 내측 방향으로 전진 및 후진 이동하도록 상기 로더 몸 체부에 이동 가능하게 결합되는 축지지부; 및
    상기 축지지부의 길이 방향을 따라 형성된 이동레일을 따라 이동 가능하도록 상기 축지지부에 결합되며, 상기 다수의 서포트 바아에 접촉 지지되는 다수의 접촉지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 구동용 로더는,
    상기 다수의 접촉지지부가 상기 축지지부의 상기 이동레일을 따라 이동할 수 있도록 상기 다수의 접촉지지부를 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 선형 구동모터; 및
    상기 축지지부를 상기 로더 몸체부에 대해 전후진 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 전후진 구동모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 구동용 로더는,
    상기 다수의 접촉지지부를 상기 축지지부에 대해 승하강 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 승하강 구동모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 전후진 구동모터는 상기 축지지부가 상기 로더 몸체부에 대해 리니어 모션으로 이동할 수 있도록 리니터 모터로 마련되며,
    상기 선형 구동모터는 상기 다수의 접촉지지부가 상기 이동레일을 따라 리니어 모션으로 이동할 수 있도록 리니어 모터로 마련되며,
    상기 승하강 구동모터는 실린터 타입의 에어 실린더 장치로 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 서포트 바아 유닛 각각은,
    상기 다수의 서포트 바아에 마련되어 상기 다수의 서포트 바아에 장력을 인가하는 장력 인가용 와이어; 및
    상기 장력 인가용 와이어에 결합되어 상기 장력 인가용 와이어의 장력을 조절하는 장력 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 다수의 서포트 바아들의 상면에는 상기 기판을 지지하기 위한 핀 타입의 기판 지지부 복수 개가 규칙적으로 돌출 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  12. 외관을 형성하는 카세트 하우징과, 상기 카세트 하우징 내에 마련되어 기판이 층층히 보관되는 다수의 서포트 바아 유닛을 갖는 기판 보관용 카세트; 및
    상기 기판 보관용 카세트의 양측 영역 중 적어도 어느 일 영역에서 상기 카세트 하우징의 내부로 인입되어, 회전 동작에 의해 상기 서포트 바아 유닛 상의 기판을 외부로 이송시키거나 상기 외부의 기판을 상기 서포트 바아 유닛 상으로 이송시키는 구동용 로더를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 구동용 로더는,
    상기 기판 보관용 카세트를 지지하는 카세트 지지몸체의 높이 방향으로 이동 가능하게 상기 카세트 지지몸체에 결합되는 로더 몸체부;
    상기 카세트 하우징의 내측 방향으로 전진 및 후진 이동하도록 상기 로더 몸체부에 이동 가능하게 결합되는 축지지부;
    상기 축지지부의 길이 방향을 따라 결합되며 정역 방향으로 회전 가능한 다수의 롤러축; 및
    상기 다수의 서포트 바아들이 지지하는 상기 기판의 하면과 실질적으로 접촉하여 상기 기판을 이송시킬 수 있도록 상의 다수의 롤러축에 각각 결합되는 다수의 이송롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 구동용 로더는,
    상기 다수의 롤러축을 정역 방향으로 회전시키기 위한 구동력을 발생시키는 회전 구동모터; 및
    상기 축지지부를 상기 로더 몸체부에 대해 전후진 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 전후진 구동모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 구동용 로더는,
    상기 롤러축을 상기 축지지부에 대해 승하강 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 승하강 구동모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 전후진 구동모터는 상기 축지지부가 상기 로더 몸체부에 대해 리니어 모션으로 이동할 수 있도록 리니어 모터로 마련되며,
    상기 승하강 구동모터는 실린더 타입의 에어 실린더 장치로 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  17. 제12항에 있어서,
    상기 다수의 서포트 바아 유닛은,
    상기 카세트 하우징 내에서, 판면 방향 및 높이 방향을 따라 행렬 타입으로 배치되는 다수의 서포트 바아; 및
    상기 카세트 하우징 내에서 높이 방향을 따라 마련되어, 상기 다수의 서포트 바아들 중 상호 같은 열을 갖는 서포트 바아들의 양단부들을 연결하는 다수의 연결 바아를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 다수의 서포트 바아 유닛은,
    상기 다수의 서포트 바아에 마련되어 상기 다수의 서포트 바아에 장력을 인가하는 장력 인가용 와이어; 및
    상기 장력 인가용 와이어에 결합되어 상기 장력 인가용 와이어의 장력을 조절하는 장력 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  19. 제1항 또는 제 12항에 있어서,
    상기 기판을 상기 기판 보관용 카세트의 상기 서포트 바아 유닛에 인입하거나 상기 서포트 바아 유닛으로부터 상기 기판을 인출하는 경우, 상기 기판을 이송하는 외부의 이송컨베이어와 작업이 진행될 상기 서포트 바아 유닛의 높이를 맞추 기 위해, 상기 기판 보관용 카세트를 높이 방향으로 승하강 이동시키는 카세트 승하강 구동유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 카세트 승하강 구동유닛은,
    상기 구동용 로더가 이동 가능하게 마련되는 카세트 지지몸체; 및
    상기 기판 보관용 카세트를 지지하도록 상기 카세트 지지몸체에 마련되며, 상기 기판 보관용 카세트를 승하강 이동시키는 카세트 승하강 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 보관용 카세트 시스템.
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