TWI408770B - The substrate moving out of the moving method and the substrate moving out of the system - Google Patents

Description

基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系統

本發明係關於一種基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系統，更詳細而言，係關於將薄型電視用玻璃基板等基板搬出及/或搬入於收納箱體之基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系統。

於液晶顯示面板或電漿顯示面板(PDP)等一般性製造製程中，複數個玻璃基板在收納於箱體內之狀態下在各製程間進行搬送。例如在液晶顯示面板之製造製程中，玻璃基板收納於箱體內，並於製程間進行搬送，在TFT(薄膜電晶體)形成製程及配線形成製程中，玻璃基板從箱體內取出後投入製程中。經製造之液晶顯示面板再次收納於箱體內，其後利用無人搬送車等搬送至檢查裝置。並且，從箱體內逐塊取出液晶顯示面板並供給至檢查裝置中，進而檢查後之液晶顯示面板再次收納於箱體內。

在上述製造製程中，要求具有可將玻璃基板從收納箱體(或向收納箱體)可靠地搬出及/或搬入(以下僅稱為搬出搬入)之功能之基板搬出搬入裝置，先前以來有進行各種研究。例如提出利用以下箱體之基板搬出搬入裝置：(i)從左右以多段狀張設金屬線，並於其上放置玻璃基板，以將其多段收納之箱體(例如參照專利文獻1)；(ii)將從箱體兩側向內部突出之短支持部、與從箱體裏側向面前側延伸之長支持部形成為多段狀，並於其上放置玻璃基板，以將其多段收納之箱體(例如參照專利文獻2)；(iii)將架設於箱體左右之梁構件設置成多段狀，並於該梁構件上設立用於支持基板之銷狀支承部之箱體(參照專利文獻3)等。

其中，隨著液晶電視、PDP等薄型顯示器之大畫面化，玻璃基板亦逐漸要求大型化。玻璃基板之尺寸最近從第六代(1.5 m×1.9 m)向第七代(1.9 m×2.2 m)與第八代(2.2 m×2.4 m)發展，要求開發出可將上述大型玻璃基板可靠地搬出搬入於收納箱體之基板搬出搬入裝置。進而，隨著薄型顯示器需求量之增加，其產量增加，因此要求開發段間距小之箱體結構，用以增加每單位空間體積之收納數量，以及開發可從上述箱體內可靠地搬出搬入基板之基板搬出搬入裝置。

尤其係(i)之箱體(以下稱為金屬線型箱體)雖然適於減小段間距而增加每單位空間體積之收納數量，但在進行基板之搬出搬入時，必須使箱體上升、或者使基板利用空氣上浮，故須要大型且複雜之設備，因此存在設備投資及設備運轉維持成本上漲之問題。另一方面，利用上述(ii)之箱體(以下稱為後撐型箱體)之基板搬出搬入裝置與利用金屬線型箱體之基板搬出搬入裝置相比，其結構並不複雜，又，與(iii)之箱體相比，具有可減小多段結構各段間之間距，以增加每單位空間體積之收納數量之優點。

然而，在將玻璃基板收納於大型玻璃基板用之後撐型箱體內時，從裏側向面前側(搬出搬入玻璃基板之開口部側)延伸之長支持部之前端側(面前側)產生撓曲，使玻璃基板在左右短支持部之間以撓曲之形態而收納。即，所收納之玻璃基板從箱體裏側向面前側向下側傾斜而撓曲，進而撓曲從左右短支持部向基板之中央變大。例如，即使構成收納使第七代(1.9 m×2.2 m)玻璃基板之各段間距為75 mm、且從裏側向面前側延伸之長支持部在寬度方向上以330 mm之間隔配設之後撐型箱體時，面前側之撓曲量亦為30 mm左右。上述撓曲程度在箱體之裏側較小，而在面前側較大，與其縱深方向上不同，因此，利用下述專利文獻4所提出之具有符合撓曲形態之手臂結構之機器人時，進入至箱體內之機器人之手及載置於其上之玻璃基板亦與箱體之支持部及已收納之玻璃基板產生緩衝，故難以將玻璃基板從箱體(或向收納箱體)可靠地搬出搬入。因此，在使用後撐型箱體時，減小多段結構中各段間之間距，以增加每單位空間體積之收納數量具有限度，已研討其解決對策。

專利文獻1：日本專利特開2005－64431號公報專利文獻2：日本專利特開2000－142876號公報專利文獻3：日本專利特開平11－35089號公報專利文獻4：日本專利特開2003－51525號公報

本發明係鑒於上述問題研製而成者，其目的在於提供一種基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系統(基板搬出搬入輔助裝置)，可將基板可靠地搬出及搬入於多段結構之基板收納箱體。

為達成上述目的，本發明之基板搬出搬入方法之特徵在於，使用具有手之機器人將基板搬入及搬出箱體，上述手用以放置上述基板於箱體，上述箱體係將從裏側向面前側延伸之長支持部以特定間隔呈多段狀排列，並將基板載置於各段長支持部上而以將其多段收納，包含支承步驟A，其係支承欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部，以擴大箱體內供上述手進入或後退之空間；並且使從上述箱體內搬出對象基板之搬出步驟及向上述箱體內搬入對象基板之搬入步驟與該支承步驟A一併進行。

根據本發明，藉由對長支持部進行支承之支承步驟A，可擴大箱體內供機器人進入或後退之空間，因此可減小多段結構中各段間之間距，以增加每單位空間體積之基板收納數量，並且在多段結構中各段間之間距較小時，對象基板或載置其之手亦不會與收納於對象基板上下之基板或載置上下基板之支持部(短支持部及長支持部等)產生緩衝而導致該等基板損傷，因此能夠將該等基板可靠地搬出搬入。

本發明之基板搬出搬入方法其特徵在於，對象基板之搬出步驟包含：以手位於上述支承之長支持部所載置之對象基板的下方之狀態，使上述手從上述箱體面前側向裏側進入之步驟；使上述手向上方移動，以將對象基板舉起至較上述長支持部上方之處之步驟；以及使放置有對象基板之手從裏側向面前側後退，以將對象基板向上述箱體外取出之步驟。

根據本發明，能夠從擴大後之空間內可靠地搬出對象基板，而不使其接觸上下載置之基板或支持部(短支持部及長支持部等)。

本發明之基板搬出搬入方法之特徵在於，在上述對象基板搬出步驟時之支承步驟A中，上述長支持部在下述情形時，其支承得到解除，即，在將對象基板向箱體外取出之步驟以後，或者在將對象基板上舉之步驟後且將對象基板向箱體外取出之步驟前。

根據本發明，基板搬出步驟時之支承步驟A可在上述兩種時序得到解除。其中，前者具有可使支承步驟A之時序簡單化之優點，後者具有可使利用手搬出基板時之空間更加擴大之優點。

本發明之基板搬出搬入方法之特徵在於，對象基板之搬入步驟包含：以對象基板位於較長支持部上方之處之狀態，使放置有對象基板之手從上述箱體面前側向裏側進入之步驟；使上述手向下方移動，以將對象基板載置於上述長支持部上之步驟；以及在手位於對象基板下方之狀態下，使上述手從裏側向面前側後退之步驟。

根據本發明，能夠向擴大後之空間內可靠地搬入對象基板，而不使其接觸上下載置之基板及支持基板支持部(短支持部及長支持部等)。

本發明之基板搬出搬入方法之特徵在於，在上述對象基板搬入步驟時之支承步驟A中，上述長支持部在下述情形時開始支承，即，在使手從箱體面前側向裏側進入之步驟之前，或者在使手從箱體面前側向裏側進入之步驟後且使手從裏側向面前側後退之步驟前。

根據本發明，基板搬入步驟時之支承步驟A可在上述兩種時序時開始。其中，前者可使支承步驟A之時序簡單化，後者可使利用手搬入基板時之空間更加擴大。又，可充分擴大供手後退之空間。

本發明之基板搬出搬入方法之特徵在於，在上述搬出步驟及搬入步驟中，進而包含支承步驟B，其係支承欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部之上一段長支持部；並且使從上述箱體內搬出對象基板之搬出步驟或者向上述箱體內搬入對象基板之搬入步驟與該支承步驟B一併進行。

根據本發明，由於進而包含對上一段長支持部進行支承之支承步驟B，因此在利用手搬出及搬入基板時，可使欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部與緊接其上方之長支持部之空間更加擴大。其結果為，在搬出對象基板時，使放置有基板之手從箱體內後退時之空間變大，在搬入對象基板時，使放置有基板之手向箱體內進入時之空間變大，因此能夠更加可靠地進行其等動作。

本發明之基板搬出搬入方法之特徵在於，在上述搬出步驟及搬入步驟中，進而包含下降步驟，其將欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部的下一段長支持部壓下；並且使從上述箱體內搬出對象基板之搬出步驟或者向上述箱體內搬入對象基板之搬入步驟與上述下降步驟一併進行。

根據本發明，由於進而包含將下一段長支持部壓下之下降步驟，因此在利用手搬出及搬入基板時，可使欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部與緊接其下方之長支持部之空間進一步擴大。其結果為，在搬出對象基板時，使未放置基板之空手進入箱體內時之空間變大，在搬入對象基板時，使未放置基板之空手從箱體內後退時之空間變大，因此能夠更加可靠地進行其等動作。

又，本發明之基板搬出搬入方法之特徵在於，使用具有手之機器人將基板搬入及搬出箱體，上述手用以放置上述基板於箱體，上述箱體將從裏側向面前側延伸之長支持部以特定間隔呈多段狀排列而將基板載置於各段長支持部上，以將其多段收納，且包含選自下述步驟中之至少一個步驟：支承步驟A，其支承欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部，以擴大箱體內供上述手進入或後退之空間；支承步驟B，其支承欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部之上一段長支持部，以擴大箱體內供上述手進入或後退之空間；以及下降步驟，其將欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部的下一段長支持部壓下，以擴大箱體內供上述手進入或後退之空間，並且使從上述箱體內搬出對象基板之搬出步驟或者向上述箱體內搬入對象基板之搬入步驟與選自該支承步驟A、該支承步驟B以及該下降步驟中之至少一個步驟一併進行。

根據本發明，由於搬出步驟及搬入步驟與選自支承步驟A、支承步驟B及下降步驟中之至少一個步驟一併進行，因此可擴大箱體內供機器人進入或後退之空間。其結果為，可減小多段結構中各段間之間距，以增加每單位空間體積之基板收納數量，並且在多段結構中各段間之間距較小時，對象基板或載置其之手亦不會與收納於對象基板上下之基板或載置上下基板之支持部(短支持部及長支持部等)產生緩衝而導致該等基板損傷，因此能夠將該等基板可靠地搬出搬入。

本發明之基板搬出搬入系統之特徵在於：包括：箱體，其將從裏側向面前側延伸之長支持部以特定間隔呈多段狀排列，且於各段長支持部上載置基板而將其多段收納；機器人，其具有上述基板放置用手，將上述基板搬入箱體內或者將上述基板從箱體內搬出；以及端部位置調整機構，其對上述長支持部進行支承或使其下降，上述端部位置調整機構為擴大用以使上述手從上述箱體面前側向裏側進入之空間或使上述手從上述箱體裏側向面前側後退之空間，而對選自下述長支持部之至少一個長支持部進行支承或使其下降，即，載置對象基板之長支持部、該長支持部之上一段長支持部、以及該長支持部之下一段長支持部。

根據本發明，藉由箱體、機器人以及端部位置調整機構而可擴大用以使手從箱體面前側向裏側進入之空間、或者使手從箱體裏側向面前側後退之空間，因此可減小多段結構中各段間之間距，以增加每單位空間體積之基板收納數量，並且在多段結構中各段間之間距較小時，對象基板或載置其之手亦不會與收納於對象基板上下之基板或載置上下基板之支持部(短支持部及長支持部等)產生緩衝而導致該等基板損傷，因此能夠將該等基板可靠地搬出搬入。又，本發明可藉由在先前後撐型箱體之基本構造上增加端部位置調整機構來實現，故無須使用具有特殊臂或機構之機器人，又，亦無須設置如先前其他基板搬出搬入方法中使用之複雜機構，因此可實現低成本。

本發明之基板搬出搬入方法之特徵在於，使用具有手之機器人將基板搬入或搬出箱體，上述手用以放置上述基板，上述箱體將支持部以特定間隔呈多段狀排列而於各段支持部上載置基板，以將其多段收納，並且具有可供上述基板搬入及搬出之開口，且包含支承步驟A，其支承欲搬出之對象基板或者已搬入之對象基板，確保箱體內供上述手進入或後退之空間，並且使上述對象基板之搬出步驟或搬入步驟之任一個與上述支承步驟A一併進行。

根據本發明，藉由支承基板之支承步驟A，可確保箱體內供機器人進入或後退之空間，因此可減小多段結構中各段間之間距，以增加每單位空間體積之基板收納數量，並且在多段結構中各段間之間距較小時，對象基板或載置其之手亦不會與收納於對象基板上下之基板或載置上下基板之支持部緩衝而導致該等基板損傷，因此能夠將該等基板可靠地搬出搬入。又，本發明即使具有先前箱體之基本結構，亦可藉由增加支承步驟A，以低成本實現可靠之基板搬入及搬出，而無須使用具有特殊臂或機構之機器人以及複雜之機構。

較好的是，本發明之基板搬出搬入方法中，上述搬出步驟包含：以上述手位於上述對象基板下方之狀態，使上述手從上述箱體之上述開口側向裏側進入之步驟；使上述手向上方移動，以將上述對象基板向上述支持部之上方舉起之步驟；以及使放置有上述對象基板之手從上述裏側向上述開口側後退，以將上述對象基板向上述箱體外取出之步驟；並且上述支承步驟A於使上述手從上述箱體之上述開口側向上述裏側進入之步驟之前開始。

根據本發明，由於支承步驟A開始於使手從箱體開口側向裏側進入之步驟之前，故在手進入時，位於其上側之對象基板在支承步驟A受到支承，於該對象基板及下一段基板之間，可充分確保可供手進入之空間。

較好的是，本發明之基板搬出搬入方法中，上述搬入步驟包含：以上述對象基板位於較上述支持部上方之處之狀態，使載置有上述對象基板之手從上述箱體之上述開口側向裏側進入之步驟；使上述手向下方移動，以將上述對象基板載置於上述支持部上之步驟；以及在手位於上述對象基板下方之狀態下，使上述手從上述裏側向上述開口側後退之步驟；並且上述支承步驟A於使上述手從上述裏側向上述開口側後退之步驟之前開始。

根據本發明，由於支承步驟A開始於使手從上述裏側向上述開口側後退之步驟之前，故在將對象基板載置於支持部上之後手後退時，位於其上側之對象基板在支承步驟A受到支承，於該對象基板及下一段基板之間，可充分確保可供手後退之空間。

較好的是，本發明之基板搬出搬入方法進而包含支承步驟B，其係支承下述支持部之上一段支持部上所載置之基板，上述支持部係載置有上述搬出步驟中欲搬出之上述對象基板之上述支持部、或者載置有上述搬入步驟中欲搬入之上述對象基板之上述支持部中任一者，並且使上述對象基板之搬出步驟或者上述對象基板之搬入步驟與該支承步驟B一併進行。

根據本發明，在基板搬出時，利用支承步驟B來支承對象基板之上一段基板，因此在對象基板與上一段基板之間，可確保將對象基板上舉之手後退所須之充足空間。另一方面，於基板搬入時，利用支承步驟B來支承欲載置搬入之對象基板之預定支持部的上一段支持部上所載置之基板，故在放置有對象基板之手與受到支承之上一段基板之間，可確保手後退所須之充足空間。因此，基板之搬入及搬出動作能更加可靠地進行。

較好的是，本發明之基板搬出搬入方法進而包含下降步驟，其將下述支持部之下一段支持部所載置之基板壓下，上述支持部載置有上述搬出步驟中欲搬出之上述對象基板之上述支持部、或者載置有上述搬入步驟中欲搬入之上述對象基板之上述支持部中任一個上述支持部；並且使上述對象基板之搬出步驟或者上述對象基板之搬入步驟與上述下降步驟一併進行。

根據本發明，於基板搬出時，利用下降步驟將對象基板之下一段基板壓下，因此於對象基板及下一段基板之間，可確保手進入所須之充足空間。另一方面，於基板搬入時，利用下降步驟將載置於搬入後支持部上之對象基板的下一段之基板壓下，故在對象基板及下一段基板之間，可確保手後退所須之充足空間。因此，能夠更加可靠地進行基板之搬入及搬出動作。

較好的是，本發明之基板搬出搬入方法中，上述支承步驟A、上述支承步驟B以及上述下降步驟藉由支承從上述箱體裏側向上述開口側延伸之支持部或者使其下降而進行。

根據本發明，由於支承步驟A、支承步驟B以及下降步驟並非直接支承基板或將其壓下，而係經由長支持部進行支承或使其下降，因此，並未直接對基板施加應力，又，可對基板全體均勻支承或使其下降，故支承步驟A、支承步驟B及下降步驟之精度提高。因此，能夠更加可靠地進行基板之搬入及搬出動作。

本發明之基板搬出搬入方法之特徵在於，使用具有手之機器人將基板搬入或搬出箱體，上述手用以放置上述基板於箱體，上述箱體係將支持部以特定間隔呈多段狀排列，且於各段之支持部上載置基板，以將其多段收納，並具有可供上述基板搬入及搬出之開口，且包含選自下述步驟中之至少一個步驟：支承步驟A，其支承欲搬出之對象基板或者已搬入之對象基板，確保箱體內供上述手進入或後退之空間；支承步驟B，其支承載置有欲搬出之上述對象基板或者已搬入之上述對象基板之上述支持部的上一段支持部所載置之基板；以及下降步驟，其將載置欲搬出之上述對象基板或者已搬入之上述對象基板之上述支持部的下一段支持部所載置之基板壓下；並且使從上述箱體內搬出對象基板之搬出步驟或者向上述箱體內搬入對象基板之搬入步驟與選自該支承步驟A、該支承步驟B以及下降步驟中之至少一個步驟一併進行。

根據本發明，由於搬出步驟及搬入步驟與選自支承步驟A、支承步驟B及下降步驟中之至少一個步驟一併進行，因此可擴大箱體內供機器人進入或後退之空間。其結果為，可減小多段結構中各段間之間距，以增加每單位空間體積之基板收納數量，並且在多段結構中各段間之間距較小時，對象基板或載置其之手亦不會與收納於對象基板上下之基板或載置上下基板之支持部產生緩衝而導致該等基板損傷，因此能夠將該等基板可靠地搬出搬入。又，本發明可藉由於先前箱體之基本結構上添加選自支承步驟A、支承步驟B以及下降步驟中之至少一個步驟而實現，無須具有特殊臂或機構之機器人，而且亦無須複雜之機構，因此能夠以低成本而實現可靠之基板搬入搬出。

較好的是，本發明之基板搬出搬入方法中，上述支承步驟A、上述支承步驟B以及上述下降步驟藉由支承從上述箱體裏側向上述開口側延伸之長支持部或者使其下降而進行。

根據本發明，由於支承步驟A、支承步驟B以及下降步驟並非直接對基板進行支承或將其壓下，而係經由長支持部進行支承或使其下降，因此，並未直接對基板施加應力，又，可對基板全體均勻支承或使其下降，故支承步驟A、支承步驟B及下降步驟之精度提高。因此，能夠更加可靠地進行基板之搬入及搬出動作。

本發明之基板搬出搬入系統之特徵在於：包括箱體，其將支持部以特定間隔呈多段狀排列，且於各段支持部上載置基板，以將其多段收納，並具有可供上述基板搬出及搬入之開口；機器人，其具有用以放置上述基板用之手，將上述基板搬入或搬出於上述箱體；以及基板搬出搬入輔助裝置，其在上述機器人進行基板搬出或搬入動作時，確保從上述箱體之上述開口側至裏側之間，供上述手進入或後退之空間。

根據本發明，藉由箱體、機器人以及基板搬出搬入輔助裝置而可確保供手從箱體面前側向開口側進入之空間、或者供手從箱體裏側向開口側後退之空間，因此，可減小多段結構箱體中各段間之間距，以增加每單位空間體積之基板收納數量，並且在多段結構中各段間之間距較小時，對象基板或載置其之手亦不會與收納於對象基板上下之基板或載置上下基板之支持部產生緩衝而導致該等基板損傷，因此能夠將該等基板可靠地搬出搬入。

又，較好的是，本發明之基板搬出搬入系統中，上述基板搬出搬入輔助裝置支承上述基板搬出時欲搬出之對象基板、或者上述基板搬入時欲搬入之對象基板中任一個對象基板，以確保箱體內供上述手進入或後退之空間。

根據本發明，藉由在先前箱體之基本結構中增加支承對象基板之基板搬出搬入輔助裝置，而可確保箱體內供機器人進入或後退之空間。又，無須使用具有特殊臂或機構之機器人，而且亦無須先前之其他基板搬出搬入方法中使用之複雜機構，故可以低成本減小多段結構中各段間之間距，由此增加每單位空間體積之基板收納數量。

較好的是，本發明之基板搬出搬入系統中，基板搬出搬入輔助裝置對載置有在基板搬出時欲搬出之對象基板之支持部、或者載置有在上述基板搬入時欲搬入之對象基板之支持部中任一個支持部之上一段或下一段支持部所載置的基板進行支承或使其下降，以確保箱體內供上述手進入或後退之空間。

根據本發明，由於支承載置對象基板之支持部之上一段或下一段基板或使其下降，因此在利用手進行基板之搬出及搬入時，可使對象基板與相鄰於其上下之基板的空間進一步擴大。其結果為，在搬出對象基板時，載置有基板之手從箱體內後退時之空間變大，在搬入對象基板時，載置有基板之手向箱體內進入時之空間變大，因此能夠更加可靠地進行基板之搬出搬入動作。

較好的是，本發明之基板搬出搬入系統包括基板搬出搬入輔助裝置以及對機器人進行連動控制之控制裝置。

根據本發明，由於具有對基板搬出搬入輔助裝置及機器人進行連動控制之控制裝置，故根據程式而於特定之對象基板位置進行存取之機器人，能夠藉由基板搬出搬入輔助裝置而支承特定之對象基板，以準確地確保供手進入及後退之空間。

本發明之基板搬出搬入系統之特徵在於，基板搬出搬入輔助裝置設置於箱體之開口部附近。此時較好的是，基板搬出搬入輔助裝置具有一軸或兩軸以上之滑動機構，用以支承至少一個基板或者使其下降。

本發明之基板搬出搬入系統之特徵在於，基板搬出搬入輔助裝置設置於機器人上。

根據本發明，藉由將基板搬出搬入輔助裝置設置於機器人之其他手上，而可無須於每個箱體上設置基板搬出搬入輔助裝置，故可提高降低成本之效果。

進而，在本發明之基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系統中，較好的是，使用如下之基板搬出搬入輔助裝置。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置包括桿及升降機構，上述桿設置為可進入及後退於箱體之基板收納區域，該箱體將基板以特定間隔呈多段狀積層而收納，並且具有供上述基板搬出搬入之開口；上述升降機構將上述桿以可沿上述基板之排列方向移動之方式而支持，在使用具有上述基板放置用手之機器人將上述基板搬入或搬出於上述箱體時，藉由進入至上述基板收納區域內之上述桿而支承上述基板或者使其下降，以確保上述箱體內供上述手進入或後退之空間。

根據該基板搬出搬入輔助裝置，利用由升降機構所支持之桿來確保或擴大上述箱體內供上述手進入或後退之空間，因此，可減小基板收納箱體之多段結構中各段間之間距，以增加每單位空間體積之收納數量。進而，能夠利用機器人可靠地搬出、搬入基板於上述基板收納箱體。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置中，上述桿藉由上述升降機構之驅動，而對選自下述基板中之至少一個基板進行支承或使其下降，上述基板係成為搬入或搬出上述箱體之對象之對象基板、上述對象基板之上一段所收納之基板、上述對象基板之下一段所收納之基板。

根據該基板搬出搬入輔助裝置，按照基板尺寸、箱體之基板收納間距、以及手之尺寸，支承對象基板、收納於其上一段之基板、或者收納於其下一段之基板中之至少一個基板或使其下降，藉此確保或擴大手進入及後退所須之空間。而且，支承或下降之基板可按照基板尺寸、箱體之基板收納間距、以及手之尺寸進行適當選擇。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置中，上述桿與上述基板抵接，以支承上述基板或者使其下降。

根據該基板搬出搬入輔助裝置，由於桿與基板抵接，以支承基板或使其下降，故可利用先前之箱體，而無須增加新零件，即可以簡單之構成而擴大供機器人之手進入及後退之空間。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置在上述箱體具有從其裏側向上述開口側延伸以載置上述基板之長支持部時，上述桿與上述長支持部抵接，對上述長支持部進行支承或使其下降。

根據該基板搬出搬入輔助裝置，在具有從裏側向開口側延伸而載置基板之長支持部之後撐型箱體中，支承後撐架或使其下降，故基板不會產生損傷，因此能夠可靠地確保供手進入及後退之空間。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置中，上述升降機構具有與上述箱體所載置之上述基板大致平行之橫樑，上述桿包含：從上述橫樑向上述箱體之上述基板積層方向突出而設立之垂直支承部、以及從其前端向與上述積層方向大致平行之方向延伸設置之爪部。

根據該基板搬出搬入輔助裝置，利用升降機構之橫樑能夠可靠地支承桿，並且桿由垂直支承部與爪部而構成，故在對基板進行搬出搬入時，可避免機器人之手與橫樑產生緩衝，因此利用爪部能夠對基板進行可靠地支承或使其下降。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置在上述橫樑上配設複數個上述桿。

根據該基板搬出搬入輔助裝置，由於在橫樑上配設複數個桿，故複數個桿在複數個部位大致均勻地作用於基板上，以擴大供手進入及後退之空間，因而不會對基板施加過度之應力，故不會使其破損，由此能夠可靠地搬出搬入基板。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置中，上述垂直支承部可旋轉地設立於上述橫樑上，上述爪部利用上述垂直支承部之旋轉驅動，向上述基板收納區域伸出。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置中，上述爪部從上述垂直支承部之前端向上述基板收納區域延伸而設置，並且上述垂直支承部或上述爪部對於上述基板收納區域被直線往復驅動，以使上述爪部向上述基板收納區域伸出。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置中，上述爪部以可圍繞與上述橫樑平行之軸而旋轉之方式軸支於垂直支承部之前端，並且將上述爪部驅動旋轉，以向上述基板收納區域伸出。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置中，在上述爪部之前端設置有輥。藉此，基板不會受到損傷，故能夠可靠地支承及下降，以進行基板之搬入搬出。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置中，上述橫樑沿上述基板之積層方向設置有複數個。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置中，上述複數個橫樑分別獨立地被升降驅動。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置包括控制裝置，其對應於上述機器人將基板搬入及搬出於上述箱體，來控制上述升降機構之升降及上述桿向上述基板收納區域之進入及後退。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置以與上述箱體之上述開口相對之方式而設立成門型。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置安裝在包圍上述箱體之上述開口之框體上。

較好的是，本發明之基板搬出搬入輔助裝置安裝於載置上述箱體之箱體座上。

再者，本申請中，所謂"支承"係指從下側支承支持部，亦包含使支持部之撓曲消失之某種程度的上舉之意。

藉由上述支承，可擴大收納於箱體中之上下相鄰之基板與基板間之空間，或者使基板之撓曲消失，以確保相鄰基板與基板間之特定空間。進而，本申請案之"支承"及"下降"係為確保必要寬度之空間，而對基板之撓曲向期望方向進行操作或修正之意。

根據本發明之基板搬出搬入方法，可擴大箱體中供機器人進入或後退之空間，因而可減小多段結構中各段間之間距，以增加每單位空間體積之基板收納數量，並且此時亦能夠可靠地搬出搬入基板。又，本發明可藉由在先前之後撐型箱體之基本結構中添加支承步驟來實現，無須具有特殊臂或機構之機器人，而且亦無須設置先前其他基板搬出搬入方法中使用之複雜機構，因此能夠以低成本而實現。

根據本發明之基板搬出搬入系統，藉由箱體、機器人以及端部位置調整機構，可擴大供手從箱體面前側向裏側進入之空間、或者供手從箱體裏側向面前側後退之空間，因此可減小多段結構中各段間之間距，以增加每單位空間體積之基板收納數量，並且於此情形時，亦能夠可靠地搬出搬入基板。又，本發明可藉由在先前之後撐型箱體之基本構造上增加端部位置調整機構來實現，無須使用具有特殊臂或機構之機器人，而且亦無須設置先前其他基板搬出搬入方法中使用之複雜機構，因此能夠以低成本而實現。

下面參照附圖，對本發明之基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系統之實施形態進行說明。再者，以下以附圖為例進行說明，而本發明之技術範圍並非限定於以下說明及圖示例。

(基板搬出搬入系統之概要)

圖1係表示本發明之基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系統之裝置構成之一例的立體圖。本發明之基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系統如圖1所示，其基本構成包括：多段收納基板1之箱體11、將基板1搬入到箱體11中或將基板1從箱體11中搬出之機器人21、以及支承箱體11所具有之長支持部或使其下降之端部位置調整機構31。並且，端部位置調整機構31上連接有控制其動作之控制器70，機器人21上連接有機器人控制器71。再者，為能該些進行連動控制，序列器72與控制器70連接。

再者，圖1中，箭頭X表示機器人21之手22進入、後退(以下將進入及/或後退如此表示)之方向，箭頭Y表示機器人21沿箱體11之積層方向移動之方向。又，圖1之例中，端部位置調整機構31呈門型結構，其在兩側支柱40、40間至少設置一根上下升降之橫樑34，且配置於箱體11之前面側(機器人側)，並安裝在箱體座2上。箱體11例如可利用自動搬送車而移載至箱體座2上。再者，本實施形態中，端部位置調整機構31係從供箱體11中基板1搬出及搬入之開口側(面前側)支承長支持部(或支持部)之端部或者使其下降。

於該端部位置調整機構31中，門型結構之支柱40、40與橫樑34主要構成升降機構300。又，在升降機構300之橫樑34上，設置有支承構件，其可與長支持部之面前側端部抵接，且可在箱體11之基板收納區域進入、後退。並且，升降機構300以沿基板之積層方向可移動之方式而支持支承構件，並且利用升降機構300之移動來支承與支承構件抵接之長支持部之端部、或者使其下降，以確保機器人21之手22在箱體11內進入、後退之空間。進而，橫樑34可為一根，但較好的是設置為兩根或三根，此時能夠更加良好地確保機器人21之手22進入、後退之空間。

本實施形態中，端部位置調整機構31作為輔助機器人21進行基板搬出搬入之基板搬出搬入輔助裝置而發揮作用。又，如此基板搬出搬入輔助裝置中，設置有可在箱體11之基板收納區域進入、後退之支承構件，故不限定於對長支持部之端部進行支承或使其下降之結構，亦可係對基板1直接支承或使其下降之結構。總之，只要為可靠地輔助基板1之搬出搬入而作用在基板1上，以擴大呈多段狀排列(積層)而收納之基板之積層間距、或調整基板之撓曲，以確保機器人21之手22進入、後退之空間即可。

再者，具有直接作用於基板1以支承基板1或者使其下降之結構之基板搬出搬入輔助裝置不僅適用於具有長支持部之後撐型箱體，亦可在專利文獻3之箱體及基板處理加工裝置等中，在所收納或載置之基板上產生撓曲時適用。再者，在擴大基板之積層間距、或調整基板之撓曲時，較好的是，在撓曲最大之位置對支持部或基板進行支承或者使其下降。尤其係在本實施形態中，對長支持部之面前(開口)側之端部或基板之開口側進行支承或使其下降。再者，本實施形態中，對長支持部之端部進行支承或使其下降，但並非限定於端部，亦可為長支持部之任意位置。

其次，對構成本發明之基板搬出搬入系統之各裝置進行說明。

(基板收納箱體)

首先，對本發明之基板搬出搬入系統中使用之基板收納箱體(以下稱為箱體)之一例進行說明。圖2~圖4係表示構成本發明之基板搬出搬入系統之箱體之一例的概略圖。更詳細而言，圖2係表示載置基板之任意段之結構的概略俯視圖，圖3係表示將基板多段收納之形態之概略側視圖，圖4係表示將基板多段收納之形態之概略前視圖。

箱體11由上下框體17、18；面前側框體19；左右框體12；以及裏側框體13而構成，面前側框體19具有無邊框之開口部19a，以使安裝具有載置基板1之四根手叉23之手22的機器人21可在箱體11內進入、後退。

在載置基板1之任意段之結構中，將圖2中虛線所示之基板1利用包含短支持部14及長支持部15之支持部加以支持並收納。短支持部14從機器人21方向觀察，以從箱體11之左右兩側向內部延伸之方式，在左右框體12上從裏側向面前側方向以特定間距而設置複數個。短支持部14之長度無特別限定，但較好的是，設置成可穩定支持至少基板1、且與兩側之手叉23不接觸之長度。各短支持部14間之特定間距亦無特別限定，但較好的是，設置成可穩定支持至少基板1之間距。作為短支持部14，較好地使用例如輕量且高強度之鋁合金製或炭素材料(石墨軸等)等之棒，並且較好的是，其前端設置橡膠等彈性材料，以防止與基板1接觸而損傷。

長支持部15從機器人21方向觀察，以從箱體11之裏側向面前側之開口部19a延伸之方式，在裏側框體13上，於基板1之左右寬度方向以特定間距設置複數個。長支持部15之長度較好的是，延伸至後述之端部位置調整機構31可對其支持之位置處，通常較好的是，延伸至與面前側之框體19重疊之位置處。在裏側框體13上設置之複數個長支持部15於基板1之左右寬度方向上之間距並無特別限定，但較好的是設置成特定間距，以與圖2中虛線所示之手叉23在俯視時相互交替。作為長支持部15，較好地使用例如輕量且高強度之鋁合金製或炭素材料(石墨軸等)等之棒，並且較好的是，在至少與基板1接觸之側設置橡膠等彈性材料，以防止與基板1產生接觸損傷。該長支持部15具有由端部位置調整機構31所支持之端部16，但該端部16亦可如圖2所示，為直徑小一圈之構件，或亦可為直徑相同之構件。進而，在使用直接支承基板1或使其下降之結構的基板搬出搬入裝置時，可省去端部16，長支持部15之長度不必製作成到達箱體11之開口部之程度。於此情形時，可將長支持部15之成本較低地控制。

箱體11如圖3及圖4所示，其係將由載置基板1之短支持部14與長支持部15所構成之段以特定間距呈多段狀積層而成之結構。

載置基板1之各段於積層方向之間距並無特別限定，只要設定成能容許手22之手叉23進入、後退之間隔即可。再者，本實施形態中，因使用後述之端部位置調整機構31，故可將各段(基板積層)之間距設定為相對大型化之基板1較窄之間距。因此，箱體11可設計成使各段間距減小，以增加每單位空間體積之基板收納塊數，以此而易於應對基板之增產。

(基板搬出搬入輔助裝置)

其次，參照圖2至圖4，對本實施形態中作為基板搬出搬入輔助裝置之端部位置調整機構31之概要進行說明。再者，圖3中省略基板1之顯示。端部位置調整機構31主要由支承構件30及升降機構300而構成，其設置於供具有手叉23之手22出入之箱體11的面前側框體19之開口部19a附近。

升降機構300主要由兩側支柱40、40及以架設於其間之形態所設置之橫樑34而構成，在支柱40、40內，例如設置有藉由使用正時皮帶輪及正時皮帶之驅動系統，來使具有向基板1之積層方向延伸之線性導向器及滑動器之裝置動作之裝置。

支承構件30設置於橫樑34之與長支持部15之端部16對應之部分，以藉由升降機構300之驅動而對長支持部15之端部16進行支承或使其下降，且該支承構件30可在箱體11之基板收納區域內進入、後退。並且，支承構件30在進入箱體11之基板收納區域時，與長支持部15抵接，以能夠對長支持部15進行支承或使其下降。該支承構件30設置於與各段之長支持部15之端部16相同之位置上，為能夠對各段之所有長支持部15進行支承或使其下降，而設置成與各段之長支持部15相同之數量。支承構件30之形狀與長度無特別限定，但較好的是，如圖3所示，形成數厘米左右之長度。再者，在橫樑34上進而設置映射傳感器(mapping sensor)41，由此可檢測收納於箱體11中之基板1之位置。

上述端部位置調整機構31以如下方式而動作：調整構成特定段之長支持部15之端部16的位置、或者收納於該段之基板1之端部位置，以擴大供具有手叉23之手22從箱體11之面前側向裏側進入之空間及/或從裏側向面前側後退之空間。例如，如圖3及圖4所示，在升降機構300之橫樑34及支承構件30對載置從最上段起的第二段基板1a之長支持部15a進行支承時，其下一段基板1c以撓曲之狀態載置於長支持部15c上，因此基板1a與基板1c間之空間充分擴大，使手叉23能夠可靠地進入、後退。再者，本實施形態之端部位置調整機構31中，未圖示之其他橫樑及支承構件對最上段基板1b之長支持部15b進行支承，藉此亦可充分確保基板1a與基板1b間之空間。

此處，載置基板1c之長支持部15c以下之段亦載置並收納基板1(圖3中省略圖示)，而成為撓曲之狀態。即，所收納之基板1與載置其之長支持部15從箱體11之裏側朝面前側向下傾斜地撓曲，進而撓曲從左右短支持部14向基板中央變大(參照圖4)。如此箱體11之各段間之空間對於手叉23之進入、後退並不充足，但藉由端部位置調整機構31中升降機構300之橫樑34及支承構件30之支承，而能夠確保可供手叉23進入、後退之空間。

上述端部位置調整機構31可如圖1所示，從箱體座2豎起設置，亦可設置於箱體11之面前側的框體19上。如此端部位置調整機構31如圖2~圖4所示，因設置於箱體11之開口部附近，為對至少一個端部16(16a、16b、16c)進行支承或使其下降，而具有一軸或兩軸以上之升降機構300。設置於箱體11之開口部附近之端部位置調整機構31較好的是，併用兩軸或兩軸以上之複數個滑動機構。

(基板搬送機器人)

其次，對本發明之基板搬出搬入系統中使用之基板搬送機器人進行說明。本發明中所使用之機器人只要具有能夠實現本發明之基板搬出搬入方法之手即可，並無特別限定，其可使用各種形態之機器人。

圖5係表示本發明中使用之機器人的驅動形態之模式圖。機器人21可具有一個手，但較好地使用如圖5所示具有兩隻手22a、22b者。於圖5中，機器人21具有：第一手22a，其將安裝有四根手叉23a之手支持部24a利用兩個臂部25a、26a而驅動，以及第二手22b，其將同樣安裝有四根手叉23b之手支持部24b利用兩個臂部25b、26b而驅動(以下，只要無特殊說明，將具有手叉之手僅稱為"手")。與先前基板搬出搬入系統同樣地，在本發明之基板搬出搬入系統中，較好地使用具有兩隻手22a、22b之機器人21。具有兩隻手22a、22b之機器人21由於各個手22a、22b獨立地動作，故可高效地進行搬出搬入。再者，圖5中符號27表示基座。

圖6及圖7係表示本發明中所使用之具有端部位置調整機構之機器人的具體一例之右視圖(圖6A)、前視圖(圖6B)及俯視圖(圖7)。再者，與圖5之基板搬送機器人相同之結構，隨附相同符號，以省略其詳細說明。該機器人21具有兩隻手22a、22b，進而具備端部位置調整機構31。兩隻手22a、22b安裝於升降軸29上，以此安裝於基座27上。基座27利用地腳螺栓等固定於固定框架28或固定導軌上。另一方面，端部位置調整機構31配置於手叉之前端附近，其具有可使該端部位置調整機構31伸縮之滑動構件35a。又，端部位置調整機構31具有用以支承長支持部15之端部16或者使其下降之升降構件35。並且，於升降構件35之前端設置有配設支承構件30之橫樑34。於本發明中，由於具有可使端部位置調整機構31伸縮及升降之機構(升降構件35)，故可支承長支持部15之端部16或使其下降，因而在手22a、22b將基板搬出搬入時，能夠可靠地進行該搬出搬入。再者，手叉例如可由碳纖維及樹脂之複合材料等而構成，由此可實現高剛性與輕量化，因無特別限定，故亦可使用金屬等。

本發明中，在使用圖6及圖7所示之具有端部位置調整機構31之機器人21時，不必將圖1~圖4所示之端部位置調整機構31設置於箱體11附近。

(基板搬出搬入方法)

其次，對利用上述基板搬出搬入系統之本發明之基板搬出搬入方法進行說明。圖8係用於說明本發明之基板搬出搬入方法之概略俯視圖。該圖係表示收納有基板之一段結構之俯視圖A及其左視圖(從基板搬出搬入方向觀察之圖)，其表示從箱體11之裏側框體13延伸之三根長支持部15由端部位置調整機構31所具有之三個支承構件30進行支承、或者使其下降之形態。再者，機器人21之手22之手叉23隔以各長支持部15而等間隔地設置四根。在以下所示之各形態中，設置端部位置調整機構之部位無特別限定，其可設置於箱體之開口部附近，亦可設置於機器人上。再者，載置於長支持部15及短支持部14上之基板省略其圖示。

圖9~圖14係表示本發明之基板搬出搬入方法之各例的概念性說明圖。對於上述基板1載置於箱體11上時產生之撓曲，省略其圖示。本發明之基板搬出搬入方法係使用用以將基板搬入及搬出於上述箱體11之機器人21之方法，其特徵在於：包含支承步驟A，其支承欲載置對象基板1a之長支持部15a之面前側端部16a、或者載置有對象基板1a之長支持部15a之面前側端部16a，以擴大箱體內供手22進入或後退之空間，對象基板之搬出步驟及搬入步驟與支承步驟A一併進行。對具有上述特徵之基板搬出搬入方法之第一形態至第六形態依次進行說明。

圖9係第一形態之基板搬出搬入方法之說明圖。再者，圖中箭頭H表示基板搬出時手22之移動方向(以下圖10~圖14中相同)。搬出步驟包含：支承步驟A，其支承載置有對象基板1a之長支持部15a之端部16a；進入步驟(S1)，其使手22從箱體之面前側向裏側進入，以使手22位於長支持部15a上所載置之對象基板1a之下方；上舉步驟(S3)，其使手22向上方移動(S2)，以將對象基板1a上舉至長支持部15a之上方；以及取出步驟(S5)，其使載置有對象基板1a之手22從裏側向面前側後退(S4)，以將對象基板1a向箱體外取出，該等步驟依照該順序而進行。於該搬出步驟中，藉由支承步驟A可擴大箱體內供空手22進入之空間，故可消除手22與載置於上下段之基板1b、1c或支持部(短支持部14及長支持部15b、15c)之接觸。其結果為，能夠可靠地進行搬出步驟。

於該搬出步驟時之支承步驟A係支承構件30將長支持部15a之端部16a在其位置上保持、或者以稍微上推之方式加以保持之步驟，於圖9之第一形態中，搬出步驟時之支承步驟A係於使手22從面前側向裏側進入之步驟(S1)以前開始，且搬出步驟時之支承步驟A係於將對象基板1a向箱體外取出之步驟(S5)以後解除。

搬入步驟以與上述搬出步驟相反之順序而進行，向與箭頭H之相反之方向驅動手22。首先，搬入步驟包含：支承步驟A，其支承欲載置對象基板1a之長支持部15a之端部16a；進入步驟(S5及S4)，其使載置有對象基板1a之手22從箱體之面前側向裏側進入，以使對象基板1a位於長支持部15a之上方；載置步驟(S3)，其使手22向下方移動，以將對象基板1a載置於長支持部15a上；以及後退步驟(S1)，其在手22位於對象基板1a下方之狀態(S2)下，使手22從裏側向面前側後退，該等步驟依照該順序而進行。於該搬入步驟中，因支承步驟A而使載置對象基板1a之長支持部15a未撓曲，故可將對象基板1a可靠地載置於該長支持部15a上。又，可防止在將對象基板1a載置於長支持部15a及短支持部14上之後，箱體內之供空手22後退之空間擴大或縮小，因此可消除手22與上下長支持部15b、15c之接觸。其結果為，能夠可靠地執行搬入步驟。

與上述搬出步驟時同樣，搬入步驟時之支承步驟A係支承構件30將長支持部15a之端部16a在其位置上保持、或者以稍微上推之方式加以保持之步驟，於圖9之第一形態中，搬入步驟時之支承步驟A係於載置有對象基板1a之手22從面前側向裏側進入之步驟(S4)以前開始，且搬入步驟時之支承步驟A係於將空手22向箱體外取出之步驟(S1)之後解除。

圖10係第二形態之基板搬出搬入方法之說明圖。該第二形態之方法中之搬出步驟除支承步驟A之解除時序與上述第一形態之方法中之搬出步驟稍微不同以外，與第一形態之方法相同，故重複之部分省略其說明。即，第二形態之方法中之搬出步驟包含：支承步驟A，其支承載置有對象基板1a之長支持部15a之端部16a；進入步驟(S1)，其使手22從箱體之面前側向裏側進入，以使手22位於長支持部15a上所載置之對象基板1a之下方；上舉步驟(S3及S4)，其使手22向上方移動(S2)，以將對象基板1a上舉至長支持部15a之上方；解除步驟，其與該上舉步驟同時或在上舉步驟之後，解除支承步驟A；以及取出步驟(S5)，其使載置有對象基板1a之手22從裏側向面前側後退，以將對象基板1a向箱體外取出，該等步驟依照該順序而進行。於該搬出步驟中，由於支承步驟A解除後，長支持部15a之前端側向下方撓曲，故載置有對象基板1a之手22能夠可靠地進行後退。

搬入步驟中，除支承步驟A開始之時序與上述第一形態之方法中之搬入步驟稍有不同以外，其與第一形態之方法相同，故重複之部分省略說明。因此，第二形態之方法中之搬入步驟包含：進入步驟(S5及S4)，其使載置有對象基板1a之手22從箱體之面前側向裏側進入；支承步驟A，其支承欲載置對象基板1a之長支持部15a之端部16a；載置步驟(S3)，其與該支承步驟A同時或在支承步驟A之後，使手22向下方移動，以將對象基板1a載置於長支持部15a上；以及後退步驟(S1)，其在手22位於對象基板1a下方之狀態(S2)下，使手22從裏側向面前側後退，該等步驟依照該順序而進行。於該搬入步驟中，與上述第一形態之基板搬出搬入方法相比，載置有對象基板1a之手22能夠更加可靠地進入。

圖11係第三形態之基板搬出搬入方法之說明圖。該第三形態之方法之特徵在於：於上述第一形態及第二形態之方法中之搬出步驟及搬入步驟，進而包含支承步驟B，其支承對欲載置對象基板1a之長支持部15a或者載置有對象基板1a之長支持部15a之上一段長支持部15b的面前側之端部16b，且將對象基板1a從箱體內搬出之搬出步驟以及將對象基板1a搬入箱體內之搬入步驟與該支承步驟B一併進行。

該第三形態之方法的特徵在於，上述支承步驟B之開始及解除與支承步驟A同時進行，其他方面與第一形態及第二形態之方法相同。根據該第三形態之方法，由於進而包含支承上一段長支持部15b之面前側端部16b之支承步驟B，故在利用手22進行基板之搬出及搬入時，可使欲載置對象基板1a之長支持部15a或者載置有對象基板1a之長支持部15a與緊接其上方之長支持部15b的空間進一步擴大。其結果為，在對象基板1a搬出時，供載置有基板之手22從箱體內後退時之空間變大，在對象基板1a搬入時，供載置有基板之手22向箱體內進入時之空間變大，故能夠更加可靠地進行該等動作。再者，圖11中，流程(1)係在與第一形態相同時序時所進行。流程(2)係在與第二形態相同時序時所進行。

圖12係第四形態之基板搬出搬入方法之說明圖。該第四形態之方法之特徵在於，在圖11所示之第三形態之方法的搬出步驟及搬入步驟中，進而包含下降步驟，其將欲載置對象基板1a之長支持部15a或者載置有對象基板1a之長支持部15a之下一段長支持部15c的面前側端部16c壓下，將對象基板1a從箱體內搬出之搬出步驟及將對象基板1a搬入箱體內之搬入步驟與該下降步驟一併進行。

該第四形態之方法的特徵在於，上述下降步驟之開始及解除與支承步驟A及支承步驟B同時進行，其他方面與上述第三形態之方法相同。根據該第四形態之方法，由於進而包含將下一段長支持部15c之面前側端部16c壓下之下降步驟，故在利用手22進行基板之搬出及搬入時，可使欲載置對象基板1a之長支持部15a或者載置有對象基板1a之長支持部15a與緊接其下方之長支持部15c的空間進一步擴大。其結果為，在對象基板1a搬出時，供載置有基板之手22從箱體內後退時之空間變大，在對象基板1a搬入時，供載置有基板之手22向箱體內進入時之空間變大，故能夠更加可靠地進行該等動作。

圖13係第五形態之基板搬出搬入方法之說明圖。該第五形態之方法在圖12所示之第四形態之方法的搬出步驟及搬入步驟中，對欲載置對象基板1a之長支持部15a或者載置有對象基板1a之長支持部15a進行支承之支承步驟A之開始及解除時序與上述第二形態之方法相同。

即，第五形態之方法中之搬出步驟包含：支承步驟A，其支承載置有對象基板1a之長支持部15a之端部16a；支承步驟B，其與該支承步驟A同時支承該長支持部15a之上一段長支持部15b之端部16b；下降步驟，其與該支承步驟A、B同時將該長支持部15a之下一段長支持部15c之端部16c壓下；進入步驟(S1~S2)，其使手22從箱體之面前側向裏側進入，以使使手22位於載置於長支持部15a上之對象基板1a之下方；上舉步驟(S3及S4)，其使手22向上方移動，以將對象基板1a上舉至長支持部15a之上方；解除步驟，其與該上舉步驟同時或在上舉步驟之後，解除支承步驟A；以及取出步驟(S5)，其使載置有對象基板1a之手22從裏側向面前側後退，以將對象基板1a向箱體外取出，該等步驟依照該順序而進行。繼而，最後解除支承步驟B與下降步驟。

又，第五形態之方法中之搬入步驟包含：支承步驟B，其支承欲載置對象基板1a之長支持部15a之上一段長支持部15b的端部16b；下降步驟，其與該支承步驟B同時將該長支持部15a之下一段長支持部15c端部16c壓下；進入步驟(S5及S4)，其使載置有對象基板1a之手22從箱體之面前側向裏側進入到載置對象基板1a之長支持部15a之上方位置；支承步驟A，其支承載置對象基板1a之長支持部15a之端部16a；載置步驟(S3)，其與該支承步驟A同時或在支承步驟A之後，使手22向下方移動，以將對象基板1a載置在長支持部15a上；以及後退步驟(S1)，其在手22位於對象基板1a下方之狀態(S2)下，使手22從裏側向面前側後退，該等步驟依照該順序而進行。繼而，最後解除支承步驟A、B與下降步驟。

該第五形態之方法在進行基板之搬出步驟或搬入步驟之任一情形時，均可將手22進入時及後退時之空間最大幅度地擴大，故能夠更加可靠地進行該等動作。

圖14係第六形態之基板搬出搬入方法之說明圖。該第六形態之方法與上述第一至第五形態之方法不同，其特徵在於：包含支承步驟B，其支承欲載置對象基板1a之長支持部15a之端部16b或者載置有對象基板1a之長支持部15a的上一段長支持部15b之端部16b，以及下降步驟，其將欲載置對象基板1a之長支持部15a或者載置有對象基板1a之長支持部15a的下一段長支持部15c之端部16c壓下，且不對長支持部15a之端部16a進行支承或使其下降。於該第六形態中，亦可實施支承步驟B與下降步驟中之任一步驟，而非雙方。

該第六形態之發明並非如上述第一至第五形態之方法，支承欲載置對象基板1a之長支持部15a或者載置有對象基板1a之長支持部15a，而係支承該長支持部15a之上一段長支持部15b，並且使下一段長支持部15c下降。藉由如此支承步驟B及/或下降步驟，可使長支持部15a與緊接其上方之長支持部15b之空間以及緊接其下方之長支持部15c之空間進一步擴大。其結果為，在進行對象基板1a之搬出及搬入時，或將供手22進入或後退之空間增大，因此能夠可靠地進行其等動作。再者，於第五形態中，較理想的是，支承步驟B與下降步驟在S1之前執行，且在S4或S5之後解除。

如上所述，根據本發明之基板搬出搬入方法，在使用設計成各段之間距減小，以增加每單位空間體積之基板收納數量之箱體時，亦能夠可靠地進行基板之搬出及搬入。

上述本發明可藉由在先前後撐型箱體之基本構造上增加端部位置調整機構來實現，因此無須具有特殊臂或機構之機器人，而且無須設置先前其他基板搬出搬入方法中使用之複雜機構，由此可實現低成本。

(端部位置調整機構)

其次，詳細說明對長支持部之面前側端部進行支承或使其下降之端部位置調整機構，作為基板搬出搬入輔助裝置之一例。如上所述，端部位置調整機構31係用以擴大供手22從箱體11之面前側向裏側進入之空間、以及供手22從箱體11之裏側向面前側後退之空間的裝置，如上述第一形態至第六形態之方法所述，其係支承選自載置對象基板1a之長支持部15a之端部16a、該長支持部15a之上一段長支持部15b之端部16b、以及該長支持部15a之下一段長支持部15c之端部16c中之至少一個端部或者使其下降之裝置。

上述端部位置調整機構31可如設於圖1之箱體座2上之形態，設置於箱體11之面前側開口部附近，亦可如圖6及圖7所示之形態，設置於機器人上。在將端部位置調整機構31設置於箱體11之開口部19a附近時，當然可為一軸，而較好的是可設置兩軸或兩軸以上之複數個升降機構。又，在將端部位置調整機構設置於機器人上時，藉由將端部位置調整機構設於機器人之其他手之前端，而可無須於箱體或每個箱體上設置端部位置調整機構，故可提高降低成本之效果。

圖15係表示安裝於箱體之開口部附近的端部位置調整機構31之一例之前視圖，圖16至圖18係端部位置調整機構中各要素之放大圖。圖16係圖15中A部分之放大圖，圖17係圖16之側視圖。圖18係圖15中B部分之放大圖，圖18(a)係其俯視圖，圖18(b)係其前視圖，圖18(c)係其側視圖。再者，該等圖15至圖18係透視圖，表示內部結構。

端部位置調整機構31係安裝於箱體之面前側框體19上者，其安裝在該基板搬入搬出之開口部19a附近，以與機器人之動作連動，對長支持部15之端部16進行支承或使其下降。再者，端部位置調整機構31亦可設立於箱體座2上(參照圖1)，以與箱體11之框體19對向。進而，亦可替代長支持部15之端部16，作為從開口部19a側支承基板或者使其下降之端部位置調整機構而發揮作用。再者，符號41係映射傳感器，且係用於檢測基板位置者。

端部位置調整機構31藉由橫樑34而形成為門型結構，該橫樑34具有：安裝在箱體之面前側框體19上之左右支柱40、40；以及架設於該左右支柱40、40之間可沿基板之積層方向移動、且具有複數個作為支承構件之桿30。再者，本實施形態中，橫樑34係構成以使桿30可沿基板之積層方向移動之方式而支持之升降機構300之一部分者，下側橫樑34a與上側橫樑34b形成藉由連接構件34c在上下方向隔開一定距離而連結成一體之結構。又，支柱40及橫樑34形成為中空形狀，於其內部內置有後述之滑動機構400及桿30之驅動機構。由於採用內置該等機構之結構，而可抑制因端部位置調整機構31之驅動所產生塵埃，故液晶顯示面板及電漿顯示面板(PDP)之製造步驟所要求之清潔環境不會受到污染。

於左右支柱40、40上，設置左右一對直動導向裝置(稱作線性運動導向器)，作為使橫樑34升降之滑動機構400，該直動導向裝置包含導軌35、以及於該導軌35上滑動之三個托架48所構成之滑動器49。進而，於支柱40、40之一端設置有傳遞升降驅動源42之驅動力之皮帶輪47a，於其另一端旋轉自如地軸支從動皮帶輪47b。並且，於皮帶輪47a及從動皮帶輪47b之間安裝有正時皮帶36，該正時皮帶36之兩端連結於滑動器49上，藉此形成為無端皮帶狀。因此，滑動器49對應驅動源對皮帶輪47a之旋轉驅動，而可在基板積層方向即上下方向上移動。並且，滑動器49支持橫樑34而進行升降。再者，圖15中最上部虛線所示之橫樑34表示上升至最上部之橫樑34。

又，於左右支柱40、40內具有某程度之空間，故在一側支柱40之空間內插入可移動之纜線支架50。再者，纜線支架50係對各種纜線等進行捆匝收納者，上述各種纜線用以對驅動後述桿30之空氣供給管及映射傳感器41之信號線等之橫樑34進行控制，其一端連接於滑動器49，其另一端固定在與導軌35對向之支柱40之內壁。纜線支架50對應於滑動器49之升降移動而於支柱40內移動，並將其以不阻礙其升降移動之方式而設置。

其次，參照圖16，對滑動機構400之升降驅動源42進行說明。本實施形態之升降驅動源42係伺服馬達42。該伺服馬達42之驅動旋轉經由耦合器43與軸承(支持單元)44而傳遞給減速機45。來自伺服馬達42之旋轉驅動力經由連接於減速機45上之軸46而傳遞給左右支柱40、40之皮帶輪47a。並且，滑動器49對應於皮帶輪47a之旋轉而受到升降驅動。又，圖15中，右側支柱40之皮帶輪47a設置成直接連接於軸46之一端而進行旋轉驅動。另一方面，圖15中左側支柱40之皮帶輪47a經由連接於軸46之另一端之軸承(支持單元)51、接頭52、耦合器53以及主動軸54而旋轉驅動。再者，從防塵方面而言較理想的是，減速機45、軸承(支持單元)51、接頭52、耦合器53及主動軸54等與支柱40及橫樑34同樣地，收容於形成為中空形狀之框架55中。

本實施形態中，升降驅動源42設置於支柱40之外部，其亦可設置於支柱40內之空間中。又，既可利用分別獨立之升降驅動源來驅動左右支柱40內之滑動機構400，亦可作為由線性馬達直接驅動之結構。以此，升降驅動源並非限定於伺服馬達，其亦可進行使用DC馬達或線性馬達等之各種變形。同樣地，升降驅動機構亦並非限定於本實施形態。

圖17係端部位置調整機構31之側面放大圖。端部位置調整機構31利用安裝夾具81，固定於例如箱體之面前側框體19上。再者，端部位置調整機構31之固定方法與固定位置並無特別限定，其亦可安裝於箱體座2之側面。

其次，橫樑34如圖16之放大圖所示，其下側橫樑34a與上側橫樑34b藉由連接構件34c，於上下方向隔開一定距離而連接成一體。在下側橫樑34a與上側橫樑34b上，分別以特定間隔而設置相同數量之作為支承構件之桿30(參照圖15)，使其上下對向。再者，桿30係在端部位置調整機構31作動而對長支持部15或基板進行支承或使其下降時，與長支持部15或基板抵接，以對其進行支承或保持下降狀態之構件。

該橫樑34之兩端經由軸承固持器82而連接於左右滑動器49上。以此方式，橫樑34藉由滑動器49之升降而可於基板積層方向上移動。再者，左右軸承固持器82用於在左右滑動器49之升降移動量產生誤差時，對該誤差進行修正，以去除橫樑34與滑動器49之間產生之應力，來使左右滑動器49之驅動、即橫樑34之升降動作順利進行。

又，在橫樑34上安裝有映射傳感器41。該映射傳感器41係向箱體之基板收納部射出激光，並接收收納於箱體內之基板之反射光，以檢查基板之收納位置者。藉由對來自映射傳感器41之檢測信號進行運算，而可控制端部位置調整機構31及與其連動之機器人21之作動。

其次，參照圖16及圖18，對作為支承構件之桿30及其驅動機構進行說明。圖18(a)(b)(c)表示未向箱體11伸出之狀態下之桿30(支承構件)。又，桿30分別設置於下側橫樑34a及上側橫樑34b上，但其結構及驅動相同，故以下對橫樑34之桿30作進一步說明。

桿30包含爪部32及作為垂直支承部之爪延伸部67a。再者，爪延伸部67a構成爪軸67之一部分，爪部32從爪軸67之前端側向與基板大致平行之方向延伸。爪軸67以與基板積層方向平行之形態貫穿橫樑34，並以可轉動之方式軸支於軸承69、69上。因此，爪部32藉由爪軸67之轉動而能夠在與箱體之長支持部15或收納於箱體內之對象基板抵接之位置(箱體11之基板收納區域)進入、後退。再者，在爪部32之前端安裝有輥33，使與所支承或下降之對象基板1接觸時之滑動性提高。即，爪部32對應於橫樑34之升降作動，而可從上側及下側之雙方抵接於長支持部15或對象基板。

又，爪延伸部67a作為垂直支承部，在桿30對長支持部15或對象基板進行支承或使其下降時，使橫樑34與爪部32充分地分開，以可在進入後退之手22與橫樑34未產生緩衝之狀態下支承基板或使其下降。因此，爪延伸部67a之長度係如此確定之：藉由選擇下側橫樑34a與上側橫樑34b之間隔、箱體11內之基板1之積層間距、以及作為端部位置調整機構31之作為調整對象之基板，而決定以確保容許手22進入、後退之空間。此處，手位置之選擇係指選擇支承作為搬出搬入對象之對象基板、支承對象基板之上一段基板、或者，使對象基板之下一段基板下降、將該等支承及下降加以組合。再者，下側橫樑34a與上側橫樑34b設置成，兩者間之間隔可容許機器人21之手22通過，且可對與配置在各橫樑上之桿30鄰接之段之基板進行支承或使其下降。

其次，在爪軸67之軸支於軸承69、69上之部分的中間，以與爪軸67一體旋轉之方式固定有連接構件66。與連接構件66之固定於爪軸67之側的相反側之端部，可動地連接有桿63之桿端65、65。桿63可藉由空氣缸61而向靠近或遠離支柱40之方向進行往復運動。並且，桿端65、65藉由桿63之往復運動而向圖18中之箭頭W方向往復移動，連接構件66受到其推壓而與圖18中之箭頭R方向大致呈90°地往復轉動。藉此，爪軸67亦轉動，設於其前端之桿30轉動90°，並且在與箱體之長支持部15或收納於箱體內之對象基板1可抵接之位置進入、後退。再者，桿63在配置於空氣缸61側時，一端側藉由接頭62與空氣缸61連結，另一端側作為桿端65與連接構件66連接，而在配置於各桿30之間時，兩端具有桿端65，兩端側連結於連接構件66。

在本實施形態中，桿30之驅動源係空氣缸61，但並非限於此，亦可使用螺線管或線性馬達等。又，作為驅動傳遞機構，除利用連接構件66及桿63之機構以外，亦可根據驅動源而使用齒條小齒輪機構或凸輪機構。桿30之驅動源及驅動機構並非限定於本實施形態。

如此構成之端部位置調整機構31以如下方式進行動作。例如在利用滑動機構400使橫樑34升降至對象基板1附近之特定位置以後，使空氣缸61驅動，以使桿30繞轉。即，向基板收納區域伸出。

其後，使滑動機構400微動，以使桿30與長支持部15或對象基板1抵接，進而驅動滑動機構，支承對象基板1或使其下降，以確保期望之空間。藉由反覆執行上述動作，而可實施本發明之基板搬出搬入方法之形態。

(系統之控制)

其次，對執行本發明之基板搬出搬入方法的基板搬出搬入系統之控制進行說明。基板搬出搬入系統係使作為基板搬出搬入輔助裝置之端部位置調整機構31及機器人21連動驅動者，故作為此控制裝置，連接有控制器70、機器人控制器71及序列器72(參照圖1)。圖19係表示本發明之基板搬出搬入系統的控制裝置之方框圖。

端部位置調整機構31之控制器70藉由匯流排而連接有CPU(中央處理器)701、ROM 702、RAM 703、EEPROM 704、通信部705、外部輸入輸出I/F 706及驅動控制部707。

CPU 701係控制器70之控制中樞，其執行對端部位置調整機構31之進行控制之運算處理。

ROM 702作為儲存端部位置調整機構31之作動程式之程式儲存部而發揮作用。又，RAM 703及EEPROM 704與CPU 701互為介面。RAM 703隨機寫入及讀出變量。EEPROM 704可進行任意次電性儲存之刪除、寫入，即使外部未供給電力，亦可保持儲存。例如將映射傳感器41對基板位置之檢測資料儲存於EEPROM 704中。

通信部705具有複數個I/F(介面)，分別與機器人控制器71及序列器72等連接，輸入或輸出用以控制端部位置調整機構31(基板搬出搬入系統)之各種數據及程式。又，外部輸入輸出I/F 706與設在端部位置調整機構31之映射傳感器41等連接。

驅動控制部707接收經CPU 701之運算處理所得之控制指令，來控制升降機構300及桿30之驅動源(驅動軸)之驅動。該驅動控制部707根據端部位置調整機構31之驅動軸數量，具有與各驅動軸對應之相同數量之驅動控制器。

機器人控制器71之結構與端部位置調整機構31之控制器70大致相同。即，具有進行運算處理之CPU、儲存作動程式之ROM、作為工作區之RAM及EEPROM、通信部、外部輸入輸出I/F、以及控制各驅動軸之驅動之驅動控制部等，且該機器人控制器71係控制機器人21之驅動軸者。

序列器72上裝設有CPU，與端部位置調整機構31之控制器70及機器人控制器71連接，將端部位置調整機構31與機器人21之驅動控制於特定時序而進行。再者，控制器70、機器人控制器71以及序列器72之連接係並聯，且可以任意順序而連接。又，根據須要，亦可自序列器72連接一個控制器(控制器70或機器人控制器71)，進而亦可從該控制器連接複數個其他控制器。即，亦可將複數個端部位置調整機構31及複數個機器人21連接於一個序列器72上，構成複雜之基板搬出搬入系統。又，序列器72亦可以通常之個人計算機而替代。

其次，對上述由構成控制裝置之基板搬出搬入系統之作動進行說明。

其作動依照以下順序而進行。再者，此處作為進行直接支承基板之動作之基板搬出搬入系統而說明，但即使在利用基板下降動作而擴大用以進行基板搬出搬入之空間時，或者在基板支承與下降之兩動作時，進而對長支持部進行支承或使其下降時，亦可藉由同樣之作動而進行。

(1)序列器72向端部位置調整機構31之控制器70發出檢查有無基板1之映射指令。

(2)控制器70從ROM 702調出映射作動執行程式，根據該程式，從驅動控制部707向端部位置調整機構31發出映射動作執行命令。藉由上述命令，端部位置調整機構31例如使升降機構300向基板1之積層方向從箱體11之最下段位置驅動至最上段位置，利用映射傳感器41進行掃描，檢測出箱體11中之基板1之載置位置(各段是否收納有基板1)。

(3)控制器70經由外部輸入輸出I/F 706而接收來自映射傳感器41之有無基板1之檢測信號。並且，藉由CPU 701之運算處理，而取得關於箱體11中之基板1之收納數量及收納段之位置的基板收納資訊。根據須要，將該基板收納資訊儲存於EEPROM 704中。

(4)控制器70將基板收納資訊與映射作結束之報告一併通知給序列器72。

(5)序列器72根據基板收納資訊，向控制器70發出對成為基板之搬出或搬入對象之特定收納段進行之存取指令。

(6)控制器70從ROM 702調出基板支承動作之執行程式，根據該程式及基板收納資訊，從驅動控制部707對端部位置調整機構31發出基板支承動作之執行命令。並且，如上所述，升降驅動機構300及桿30受到驅動，對基板1進行支承而處於支承狀態。

(7)控制器70例如根據來自端部位置調整機構31之停止信號，而取得成為基板支承狀態之端部位置調整機構31之端部調整動作結束資訊。

(8)控制器70接收端部調整動作結束資訊，向機器人控制器71通知端部調整動作結束資訊。與此同時或之前，向機器人控制器71通知包含關於機器人21所要搬出搬入對象基板1之特定收納段的位置資訊之基板收納資訊。

(9)機器人控制器71接收端部調整動作結束資訊，向機器人21發出執行命令，其指示特定收納段之對象基板1之搬入或搬出動作。再者，該命令係基於預先儲存於機器人控制器71之程式儲存部的動作程式者。

(10)當機器人21結束特定之搬入或搬出動作時，向機器人控制器71通知其動作結束資訊。

(11)機器人控制器71向控制器70通知機器人21之動作結束資訊。進而，將該動作結束資訊經由控制器70之通信部705而通知給序列器72，對象基板1搬出搬入於特定收納段之動作結束。

(12)有接收機器人21之動作結束資訊之控制器70與上述(11)同時或緊接其前或其後，向端部位置調整機構31發出解除基板支承動作之動作執行命令，故基板1之支承受到解除。再者，該解除動作與(6)同樣地，根據從ROM 702調出之執行程式而進行。

(13)最後，在須要繼續進行基板搬出搬入時，有接收機器人之動作結束資訊之序列器72為於成為下一動作對象之下一收納段進行其他基板1之搬出或搬入，而向控制器70發出對下一收納段之存取指令。並且，反覆執行上述(6)以後之作動，直至預定之基板搬出搬入結束。

藉此，本發明之基板搬出搬入系統受到包含端部位置調整機構31之控制器70、機器人21之機器人控制器71及序列器72之控制裝置之控制，因此作為基板搬出搬入輔助裝置之端部位置調整機構31與機器人21連動驅動。即，在本發明之基板搬出搬入系統中，端部位置調整機構31在驅動機器人21之前，於搬出搬入對象基板1之特定收納段進行存取，以對基板進行支承或使其下降。另一方面，機器人21根據來自控制裝置之命令與資訊，執行基板1之於箱體11之特定收納段之搬入及搬出。此時，特定收納段之位置資訊由機器人21識別，並且利用端部位置調整機構31而擴大或確保可供機器人21之手22於特定收納段進入、後退之空間，故能夠可靠地進行基板之搬出及搬入。

又，在機器人21之作動中，無須對搬入對象基板1之特定收納段或搬出對象基板1之位置進行掃描檢測，因此機器人21能夠於特定收納段以高速且正確地搬出搬入基板1。

進而，端部位置調整機構31在進行映射傳感器41之基板位置掃描及基板之支承或下降之執行、解除動作，以及為該執行、解除而進行橫樑34之升降動作等動作之期間，機器人21可在對搬出搬入於箱體11之對象基板1進行處理之其他裝置中進行存取、或者可將對象基板1搬出搬入於其他箱體11。因此，在本發明之基板搬出搬入系統中，不會使搬送時間作為步驟等待時間而浪費，故可提高基板製造步驟之效率。

(變形例)

如第三形態至第六形態，在對兩個以上長支持部15之端部16分別獨立地進行支承或使其下降時，須要獨立地驅動兩個或三個橫樑。其變形例以下說明。

例如，可作為使橫樑之連接構件34c在基板積層方向、即上下方向上伸縮驅動，且在其上下端部支持下側橫樑34a及上側橫樑34b之結構。此時，藉由依次或獨立驅動滑動機構400及伸縮驅動之連接構件34c，而可分別對期望之長支持部或基板進行支承或使其下降。又，在下側橫樑34a之下側，進而可將其他橫樑固定或以能夠上下移動之方式而設置。又，亦可替代連接部34c之伸縮驅動，而在連接部34c設置升降滑動機構。任一情形下均較好的是，相應於各橫樑之驅動而驅動分別配設之桿30。

作為其他例，亦可設置複數個滑動機構400，分別與橫樑34連接，以使複數個橫樑34升降。於此情形時，較好的是，分別利用複數個滑動機構與空氣缸61而使桿30獨立地進行繞轉動作。

其次，圖20至圖22表示桿30之變形例。圖20係使桿301於收納在箱體11內之基板之開口部19a側的端部或其收納區域，以直角方式直線性伸出之變形例之俯視圖。在圖20中，(a)係表示桿30伸出後進入狀態之俯視圖，(b)係表示桿30從基板收納區域後退之狀態之俯視圖，(c)係其前視圖。於該變形例中，在橫樑34中內置有與桿之數量對應之複數個螺線管或空氣缸等線性驅動裝置(未圖示)，藉此而使桿301向圖中箭頭L1之方向進行直線往復驅動。該桿301在線性驅動裝置上直接設立有垂直支承部(爪延伸部)，並且從設在橫樑34上之導向缺口部34d向基板積層方向延伸(參照圖20(c))。其他構成與上述實施形態相同，對相同構成標記同一符號，以省略其說明。藉由該變形例，桿301相對於基板而進行直線性進入、後退動作，故即使在對基板直接支承或使其下降時，基板亦幾乎不會受損。

其次，圖21中與上述變形例同樣地，表示使桿302相對於收納在箱體11內之基板之開口部19a側的端部或者其收納區域，以直角方式直線性伸出之其他變形例。於該變形例中，替代橫樑34，使用未內置驅動機構之桿體340。在桿體340上以特定間隔而固定有桿302。桿體340藉由可向圖中箭頭L2之方向進行往復驅動之水平滑動器83而支持左右兩端。水平滑動器83例如藉由與支柱40內之滑動器49連接之空氣缸裝置等，而沿基板搬出搬入方向進行與支柱40之分離驅動，並且藉由滑動機構400而可於基板搬送方向以可升降之方式而支持。因此，桿302可藉由水平滑動器83而可於收納在箱體1l內之基板1及其收納區域進入、後退。再者，桿302之形狀與上述實施形態相同，故省略其說明。根據該變形例，由於作為橫樑之桿體340上不具備驅動機構，故可最小限度地抑制基板附近之塵埃。又，能夠以簡單之結構而提供高精度且廉價之橫樑。

圖22進而表示其他變形例。圖22中，(a)係本變形例之橫樑之前視圖，(b)係其主要部分之放大側視圖，(c)係其主要部分之放大前視圖。該變形例之桿303由爪部320與垂直支承部670所構成。垂直支承部670在與箱體11之基板積層方向平行之方向上，垂直設立於橫樑34上。在垂直支承部670之前端部，經由軸321而可轉動地軸支有爪部320。又，從內置於橫樑34內之驅動傳遞機構(未圖示)，藉由皮帶322而對軸321傳遞用以轉動之驅動力。爪部320接收來自皮帶322之驅動力，向圖中箭頭R2方向轉動，以可進入、後退於基板1之收納區域。藉此，本變形例之桿303可藉由在基板1之收納區域內進入、後退之爪部320及設置有其之橫樑34之升降動作，來對基板或長支持部進行支承或使其下降。

其次，在上述實施形態中，作為基板收納箱體11，亦主要具有從裏側延伸至開口部或其附近、用以保持基板之長支持部15，但本發明亦可較好地應用於其他基板收納箱體。將對該基板收納箱體進行說明。在以下說明中，對與上述實施形態相同之構成隨附同一符號，省略其說明。

圖23係表示應用本發明之基板搬出搬入裝置之箱體的其他例之俯視圖。此處，箱體110在收納基板1之各段具有載置基板之長支持部150。該長支持部150未延伸至箱體110之開口部19a，其具有基板搬出搬入方向之1/5左右之長度，從裏側框體13而延伸出。即使於如此箱體110中，亦可在開口部19a側設置作為基板搬出搬入輔助裝置之端部位置調整機構31。於此情形時，桿30對基板1之開口部19a附近之部分進行支承或使其下降。再者，圖23中，顯示桿30進入基板收納區域內之狀態。

圖24係表示應用本發明之基板搬出搬入裝置之箱體之進而其他例之俯視圖。箱體111在收納基板1之各段不具有載置基板之長支持部，而在裏側框體13上設置有支持基板1之突起151。並且，利用該突起151與短支持部14而構成載置並收納基板1之段。該箱體係收納較小型基板者，於液晶顯示面板及電漿顯示面板(PDP)等後半製造製程中，較多應用於大型基板被分割切斷、且已進行某種程度之加工之製程中。於如此箱體111中，亦可在開口部19a側設置作為基板搬出搬入輔助裝置之端部位置調整機構31。此時，桿30成為對基板1之開口部19a附近之部分進行支承或使其下降者。圖24中，顯示桿30進入基板收納區域之狀態。

如上所述，根據本發明之基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系統，藉由箱體11、機器人21及作為基板搬出搬入輔助裝置之端部位置調整機構31，而可擴大供手22從箱體11面前側向裏側進入之空間、或者擴大供手22從箱體11之裏側向面前側後退之空間，因此可減小多段構造中各段間之間距，以增加每單位空間體積之基板收納數量，並且在此情形時，亦能夠可靠地搬出搬入基板。又，本發明可藉由在先前之後撐型箱體之基本構造上增加端部位置調整機構來實現，無須具有特殊臂或機構之機器人，而且，亦無須設置先前其他基板搬出搬入方法中使用之複雜機構，故可實現低成本。

1．．．基板(對象基板)

2．．．箱體座

11．．．箱體

12、13、17、18、19．．．框體

14．．．短支持部

15、15a、15b、15c．．．長支持部

16、16a、16b、16c．．．端部

21．．．機器人

22．．．手

23．．．手叉

24．．．手支持部

25、26．．．臂

27．．．基座

28．．．固定框架

29．．．升降軸

30．．．支承構件(桿)

31．．．端部位置調整機構(基板搬出搬入輔助裝置)

32．．．爪部

33．．．輥

34．．．橫樑

35．．．線性導向器

36．．．正時皮帶

40．．．支柱

41．．．映射傳感器

42．．．升降驅動源(伺服馬達)

43．．．耦合器

44．．．軸承

45．．．減速機

46．．．軸

47．．．正時皮帶輪

48．．．托架

49．．．滑動器

50．．．纜線支架

51．．．軸承

52．．．接頭

53．．．耦合器

54．．．主動軸

55．．．框架

61．．．空氣缸

62．．．接頭

63．．．桿

65．．．桿端

66．．．連接構件

67．．．爪軸

67a．．．爪延伸部(垂直支承部)

69．．．軸承

70．．．控制器

71．．．機器人控制器

72．．．序列器

82．．．軸承固持器

圖1係表示本發明之基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系統之裝置構成之一例的立體圖。

圖2係表示構成本發明之基板搬出搬入系統之箱體之一例的概略俯視圖。

圖3係表示構成本發明之基板搬出搬入系統之箱體之一例的概略側視圖。

圖4係表示構成本發明之基板搬出搬入系統之箱體之一例的概略前視圖。

圖5係表示本發明中所使用之機器人之驅動形態的模式圖。

圖6係表示本發明中所使用之機器人之具體一例的右視圖(A)及前視圖(B)。

圖7係表示本發明中所使用之機器人之具體一例的俯視圖。

圖8(A)、(B)係用以說明本發明之基板搬出搬入方法之概略俯視圖。

圖9(S1)~(S5)係第一形態之基板搬出搬入方法之說明圖。

圖10(S1)~(S5)係第二形態之基板搬出搬入方法之說明圖。

圖11(S1)~(S5)係第三形態之基板搬出搬入方法之說明圖。

圖12(S1)~(S5)係第四形態之基板搬出搬入方法之說明圖。

圖13(S1)~(S5)係第五形態之基板搬出搬入方法之說明圖。

圖14(S1)~(S5)係第六形態之基板搬出搬入方法之說明圖。

圖15係表示安裝於箱體開口部附近之端部位置調整機構之一例的前視圖(透視圖)。

圖16係圖15中A部分之各要素之放大圖(透視圖)。

圖17係圖16之側視圖(透視圖)。

圖18係圖15中B部分之各要素之放大圖(透視圖)，(a)係俯視圖，(b)係前視圖，(c)係側視圖。

圖19係表示本發明之基板搬出搬入系統之控制裝置之方框圖。

圖20(a)~(c)係本發明之基板搬出搬入裝置之變形例之示意圖。

圖21係本發明之基板搬出搬入裝置之變形例之示意圖。

圖22(a)~(c)係本發明之基板搬出搬入裝置之變形例之示意圖。

圖23係表示應用本發明之基板搬出搬入裝置之箱體的其他例之俯視圖。

圖24係表示應用本發明之基板搬出搬入裝置之箱體的其他例之俯視圖。

1a、1b、1c．．．基板

15a、15b、15c．．．長支持部

16a．．．端部

22．．．手

30．．．支承構件

Claims (39)

1. 一種基板搬出搬入方法，其特徵在於：使用具有手之機器人將基板搬入及搬出箱體，上述手用以放置上述基板於箱體，上述箱體係將從裏側向面前側延伸之長支持部以特定間隔呈複數段狀排列，並將基板載置於各段長支持部上而將其複數段收納，包含支承步驟A，其係支承欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部，以擴大箱體內供上述手進入或後退之空間；並且使從箱體內搬出對象基板之搬出步驟及向箱體內搬入對象基板之搬入步驟與上述支承步驟A一併進行。
2. 如請求項1之基板搬出搬入方法，其中，對象基板之搬出步驟包含：以手位於上述支承之長支持部所載置之對象基板的下方之狀態，使上述手從上述箱體面前側向裏側進入之步驟；使上述手向上方移動，以將對象基板舉起至較上述長支持部上方之處之步驟；以及使放置有對象基板之手從裏側向面前側後退，以將對象基板向上述箱體外取出之步驟。
3. 如請求項2之基板搬出搬入方法，其中，在上述支承步驟A中，上述長支持部在下述情形時，其支承得到解除，即，在將對象基板向箱體外取出之步驟以後，或者在將對象基板上舉之步驟後且將對象基板向箱體外取出之步驟前。
4. 如請求項1之基板搬出搬入方法，其中，對象基板之搬 入步驟包含：以對象基板位於較長支持部上方之處之狀態，使放置有對象基板之手從上述箱體之面前側向裏側進入之步驟；使上述手向下方移動，以將對象基板載置於上述長支持部上之步驟；以及在手位於對象基板下方之狀態下，使上述手從裏側向面前側後退之步驟。
5. 如請求項4之基板搬出搬入方法，其中，在上述支承步驟A中，上述長支持部在下述情形時開始支承，即，在使手從箱體之面前側向裏側進入之步驟以前，或者在使手從箱體之面前側向裏側進入之步驟後且使手從裏側向面前側後退之步驟前。
6. 如請求項1至5中任一項之基板搬出搬入方法，其中，在上述搬出步驟及搬入步驟中，進而包含支承步驟B，其係支承欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部之上一段長支持部；並且使從上述箱體內搬出對象基板之搬出步驟或者向上述箱體內搬入對象基板之搬入步驟與該支承步驟B一併進行。
7. 如請求項1至5中任一項之基板搬出搬入方法，其於上述搬出步驟及搬入步驟中，進而包含下降步驟，其將欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部的下一段長支持部壓下；並且使從上述箱體內搬出對象基板之搬出步驟或者向上述箱體內搬入對象基板之搬入步驟與上述下降步驟一併進行。
8. 一種基板搬出搬入方法，其特徵在於：使用具有手之機器人將基板搬入及搬出於箱體，上述 手用以放置上述基板於箱體，上述箱體係將從裏側向面前側延伸之長支持部以特定間隔呈複數段狀排列，且將基板載置於各段長支持部上而將其複數段收納；包含選自下述步驟中之至少一個步驟：支承步驟A，其支承欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部，以擴大箱體內供上述手進入或後退之空間；支承步驟B，其支承欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部之上一段長支持部，以擴大箱體內供上述手進入或後退之空間；以及下降步驟，其將欲載置對象基板之長支持部或者載置有對象基板之長支持部的下一段長支持部壓下，以擴大箱體內供上述手進入或後退之空間；並且使從上述箱體內搬出對象基板之搬出步驟或者向上述箱體內搬入對象基板之搬入步驟與選自該支承步驟A、該支承步驟B以及該下降步驟中之至少一個步驟一併進行。
9. 一種基板搬出搬入系統，其特徵在於：包括：箱體，其將從裏側向面前側延伸之長支持部以特定間隔呈複數段狀排列，且於各段長支持部上載置基板而將其複數段收納；機器人，其具有上述基板放置用手，將上述基板搬入箱體內或者將上述基板從箱體內搬出；以及端部位置調整機構，其對上述長支持部進行支承或者使其下降；上述端部位置調整機構為擴大用以使上述手從上述箱體面前側向裏側進入之空間、或者使上述手從上述箱體 裏側向面前側後退之空間，而對選自下述長支持部之至少一個長支持部進行支承或使其下降，即，載置對象基板之長支持部、該長支持部之上一段長支持部、以及該長支持部之下一段長支持部。
10. 一種基板搬出搬入方法，其特徵在於：使用具有手之機器人將基板搬入或搬出箱體，上述手用以放置上述基板，上述箱體將支持部以特定間隔呈複數段狀排列，且於各段支持部上載置基板而將其複數段收納，並且具有可供上述基板搬入及搬出之開口，包含支承步驟A，其支承欲搬出之對象基板或者已搬入之對象基板，確保箱體內供上述手進入或後退之空間；並且使上述對象基板之搬出步驟或搬入步驟之任一個與上述支承步驟A一併進行。
11. 如請求項10之基板搬出搬入方法，其中上述搬出步驟包含：以上述手位於上述對象基板下方之狀態，使上述手從上述箱體之上述開口側向裏側進入之步驟；使上述手向上方移動，以將上述對象基板向上述支持部之上方舉起之步驟；以及使放置有上述對象基板之手從上述裏側向上述開口側後退，以將上述對象基板向上述箱體外取出之步驟；並且上述支承步驟A於使上述手從上述箱體之上述開口側向上述裏側進入之步驟之前開始。
12. 如請求項10之基板搬出搬入方法，其中上述搬入步驟包含：以上述對象基板位於較上述支持部上方之處之狀態，使放置有上述對象基板之手從上述箱體之上述開口 側向裏側進入之步驟；使上述手向下方移動，以將上述對象基板載置於上述支持部上之步驟；以及在手位於上述對象基板下方之狀態下，使上述手從上述裏側向上述開口側後退之步驟；並且上述支承步驟A於使上述手從上述裏側向上述開口側後退之步驟之前開始。
13. 如請求項10至12中任一項之基板搬出搬入方法，其中進而包含支承步驟B，其係支承下述支持部之上一段支持部上所載置之基板，上述支持部係載置有上述搬出步驟中欲搬出之上述對象基板之上述支持部、或者載置有上述搬入步驟中欲搬入之上述對象基板之上述支持部中任一者；並且使上述對象基板之搬出步驟或者上述對象基板之搬入步驟與該支承步驟B一併進行。
14. 如請求項10至12中任一項之基板搬出搬入方法，其中進而包含下降步驟，其將下述支持部之下一段支持部所載置之基板壓下，上述支持部係載置有上述搬出步驟中欲搬出之上述對象基板之上述支持部、或者載置有上述搬入步驟中欲搬入之上述對象基板之上述支持部中任一者；並且使上述對象基板之搬出步驟或者上述對象基板之搬入步驟與上述下降步驟一併進行。
15. 如請求項10至12中任一項之基板搬出搬入方法，其中，上述支承步驟A、上述支承步驟B以及上述下降步驟藉由支承從上述箱體之裏側向上述開口側延伸之支持部或者使其下降而進行。
16. 一種基板搬出搬入方法，其特徵在於： 使用具有手之機器人將基板搬入或搬出箱體，上述手用以放置上述基板於箱體，上述箱體係將支持部以特定間隔呈複數段狀排列，且於各段支持部上載置基板而將其複數段收納，並具有可供上述基板搬入及搬出之開口，包含選自下述步驟中之至少一個步驟：支承步驟A，其支承欲搬出之對象基板或者已搬入之對象基板，以確保箱體內供上述手進入或後退之空間；支承步驟B，其支承載置有欲搬出之上述對象基板或者已搬入之上述對象基板之上述支持部的上一段支持部所載置之基板；以及下降步驟，其將載置欲搬出之上述對象基板或已搬入之上述對象基板的上述支持部之下一段支持部所載置之基板壓下；並且使從上述箱體內搬出對象基板之搬出步驟或者向上述箱體內搬入對象基板之搬入步驟與選自該支承步驟A、該支承步驟B以及該下降步驟中之至少一個步驟一併進行。
17. 如請求項16之基板搬出搬入方法，其中上述支承步驟A、上述支承步驟B以及上述下降步驟藉由支承從上述箱體裏側向上述開口側延伸之支持部或者使其下降而進行。
18. 一種基板搬出搬入系統，其特徵在於：包括：箱體，其將支持部以特定間隔呈複數段狀排列，且於各段支持部上載置基板而將其複數段收納，並具有可供上述基板搬出及搬入之開口；機器人，其具有 用以放置上述基板之手，將上述基板搬入或搬出上述箱體；以及基板搬出搬入輔助裝置，其在上述機器人進行基板搬出或搬入動作時，確保從上述箱體之上述開口側至裏側之間，上述手進入或後退之空間；上述基板搬出搬入輔助裝置具備支承構件、及將上述支承構件以可沿上述基板之排列方向移動之方式支持之升降機構；上述支承構件與上述支持部抵接而支承上述支持部或使其下降，以消除上述支持部之撓曲，或與上述基板抵接而支承上述基板或使其下降，以對上述基板之撓曲向期望方向進行操作或修正。
19. 如請求項18之基板搬出搬入系統，其中上述基板搬出搬入輔助裝置對在上述基板搬出時欲搬出之對象基板或者在上述基板搬入時欲搬入之對象基板中任一個上述對象基板進行支承，以確保箱體內供上述手進入或後退之空間。
20. 如請求項18或19之基板搬出搬入系統，其中上述基板搬出搬入輔助裝置對載置有在上述基板搬出時欲搬出之對象基板的上述支持部、或者載置有在上述基板搬入時欲搬入之對象基板的上述支持部中任一個上述支持部之上一段或下一段支持部所收容之基板進行支承或使其下降，以確保箱體內供上述手進入或後退之空間。
21. 如請求項18或19之基板搬出搬入系統，其中進而包括控制裝置，對上述基板搬出搬入輔助裝置及上述機器人進行連動控制。
22. 如請求項18或19之基板搬出搬入系統，其中上述基板搬出搬入輔助裝置設置於上述箱體之上述開口部附近。
23. 如請求項22之基板搬出搬入系統，其中上述基板搬出搬入輔助裝置具有一軸或兩軸以上之滑動機構，用以支承上述至少一個基板或者使其下降。
24. 如請求項18或19之基板搬出搬入系統，其中上述基板搬出搬入輔助裝置設置於上述機器人上。
25. 一種基板搬出搬入輔助裝置，其特徵在於：包括桿，其設置為可進入及後退於箱體之基板收納區域，上述箱體將基板以特定間隔呈複數段狀積層而收納，並且具有供上述基板搬出搬入之開口；以及升降機構，其將上述桿以可沿上述基板之排列方向移動之方式而支持，在使用具有上述基板放置用手之機器人將上述基板搬入或搬出上述箱體時，藉由進入至上述基板收納區域之上述桿而支承上述基板或者使其下降，以確保上述箱體內供上述手進入或後退之空間；上述桿與上述基板抵接而支承上述基板或者使其下降。
26. 一種基板搬出搬入輔助裝置，其特徵在於：包括桿，其設置為可進入及後退於箱體之基板收納區域，上述箱體將基板以特定間隔呈複數段狀積層而收納，並且具有供上述基板搬出搬入之開口；以及升降機構，其將上述桿以可沿上述基板之排列方向移動之方式而支持，在使用具有上述基板放置用手之機器人將上述基板搬 入或搬出上述箱體時，藉由進入至上述基板收納區域之上述桿而支承上述基板或者使其下降，以確保上述箱體內供上述手進入或後退之空間；在上述箱體具有從其裏側向上述開口側延伸以載置上述基板之長支持部時，上述桿與上述長支持部抵接，而支承上述長支持部或使其下降。
27. 如請求項25或26之基板搬出搬入輔助裝置，其中上述桿藉由上述升降機構之驅動，而對選自下述基板之至少一塊基板進行支承或使其下降，上述基板係成為搬入或搬出上述箱體之對象之對象基板、上述對象基板之上一段所收納之基板、上述對象基板之下一段所收納之基板。
28. 如請求項25或26之基板搬出搬入輔助裝置，其中上述升降機構具有與上述箱體所載置之上述基板平行之橫樑，上述桿包含：從上述橫樑向上述箱體之上述基板積層方向突出而設立之垂直支承部，以及從其前端向與上述積層方向平行之方向延伸而設置之爪部。
29. 如請求項28之基板搬出搬入輔助裝置，其中於上述橫樑上配設有複數個上述桿。
30. 如請求項28之基板搬出搬入輔助裝置，其中上述垂直支承部以可旋轉之方式設立於上述橫樑上，並且藉由其旋轉驅動，而使上述爪部向上述基板收納區域伸出。
31. 如請求項28之基板搬出搬入輔助裝置，其中上述爪部設置成從上述垂直支承部之前端向上述基板收納區域延 伸，並且上述垂直支承部或上述爪部係對於上述基板收納區域直線往返而被驅動，以使上述爪部向上述基板收納區域伸出。
32. 如請求項28之基板搬出搬入輔助裝置，其中上述爪部以可繞與上述橫樑平行之軸而旋轉之方式軸支於垂直支承部之前端，並且將上述爪部旋轉驅動，以向上述基板收納區域伸出。
33. 如請求項28之基板搬出搬入輔助裝置，其中於上述爪部之前端設置有輥。
34. 如請求項28之基板搬出搬入輔助裝置，其中上述橫樑沿上述基板之積層方向設置有複數段。
35. 如請求項34之基板搬出搬入輔助裝置，其中上述複數個橫樑分別獨立地被升降驅動。
36. 如請求項25或26之基板搬出搬入輔助裝置，其中包括控制裝置，其對應於上述機器人將基板搬入及搬出於上述箱體，來控制上述升降機構之升降及上述桿向上述基板收納區域之進入及後退。
37. 如請求項25或26之基板搬出搬入輔助裝置，其中以與上述箱體之上述開口相對之方式而設立成門型。
38. 如請求項25或26之基板搬出搬入輔助裝置，其中安裝於包圍上述箱體之上述開口之框體上。
39. 如請求項25或26之基板搬出搬入輔助裝置，其中安裝於載置上述箱體之箱體座上。