JP2007182325A - フラットパネルディスプレイの製造装置、フラットパネルディスプレイの製造装置用ストッカー、フラットパネルディスプレイの製造装置用ローダー、及びこれを用いたフラットパネルディスプレイの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】設置スペースを縮小するとともに、基板の配設に要する作業時間を短縮できるフラットパネルディスプレイの製造装置及びこれを用いた方法、並びにこれに適用されるストッカー及びローダーを提供する。
【解決手段】複数枚の基板１が収納されるカセット１００と、カセット１００が配設される棚２１０を備えたストッカー２００と、カセット１００内の各基板１を受け取って工程を実行する工程進行部６００と、少なくとも二つ以上のハンド部５２０を含み、ストッカー２００と工程進行部６００との間に位置し、ストッカー２００に配設されたカセット１００内の各基板１を受けて工程進行部６００に配設するローダー５００と、カセット１００から各基板１を取り出してローダー５００の各ハンド部５２０に配設する少なくとも一つの取り出し部３００とを含むフラットパネルディスプレイの製造装置を構成する。
【選択図】図３

Description

本発明は、フラットパネルディスプレイの製造装置及びその製造方法に関するもので、詳しくは、フラットパネルディスプレイ用の基板を各処理装置に搬送するフラットパネルディスプレイの製造装置及びこれを用いた製造方法、並びにこの装置に適用されるストッカー及びローダーに関するものである。

一般に、フラットパネルディスプレイは、ＣＲＴの重さ及び体積を減少するように構成された表示装置であり、その例として、液晶表示装置、電界放出表示装置、プラズマ表示パネル及び発光表示装置などが挙げられる。

上記のフラットパネルディスプレイのうち液晶表示装置は、通常、画像を表示する液晶パネルと、この液晶パネルに駆動信号を印加するための駆動部とに大きく区分される。また、液晶パネルは、所定空間を有して貼り合わせられた一対の基板と、各基板の間に形成された液晶層とから構成される。

ここで、各基板、或いは、各基板が貼り合わせられた一対の基板は、ロボットアームなどの搬送装置によって処理位置に搬入されるか、または、処理位置から搬出される。

図１は、従来の基板搬送のための装置のレイアウトを示した図である。

すなわち、従来の基板搬送のための装置は、ストッカー２０に保管されたカセット１０内の基板１がステージ部４０にそれぞれ搬送された後、ロボットアーム５０が、この搬送された基板１を処理装置６０に配設して搬送する構造となっている。

ここで、ロボットアーム５０は、ハンド部５１を有しており、回転及び前後移動可能に構成される。

しかしながら、従来の基板搬送のための装置は、ステージ部４０が存在することにより、全体的な設置スペース（フットプリント：ｆｏｏｔｐｒｉｎｔ）が大きくなるという問題点があった。

また、通常、カセット１０内に収納された基板１は、ロボットアーム５０のハンド部５１が各基板１の下側まで挿入されて個別に取り出されるので、基板１が処理装置に搬送されるまでの全体的な作業時間が長くという問題点があった。

さらに、カセット１０内に収納される各基板１は、少なくともロボットアーム５０のハンド部５１が挿入できる程度の間隔を維持する必要があり、カセット１０内に収納される基板１の数を増加させにくいという問題点があった。

本発明は上記の問題点を解決するためのもので、その目的は、設置スペースを縮小するとともに、基板の配設に要する作業時間を短縮できるフラットパネルディスプレイの製造装置及びこれを用いた方法、並びにこの装置に適用されるストッカー及びローダーを提供することにある。

上記目的を達成するための本発明に係るフラットパネルディスプレイの製造装置は、複数枚の基板が収納されるカセットと、カセットが配設される棚を備えたストッカーと、カセット内の複数枚の基板の各々を受け取って、工程を実行する工程進行部と、少なくとも二つ以上のハンド部を含んでおり、ストッカーと工程進行部との間に配設され、ストッカーに配設されたカセット内の基板を受け取って工程進行部に配設するローダーと、カセットから基板を取り出してローダーのハンド部に配設する取り出し部とを含むことを特徴とする。

また、上記目的を達成するための本発明に係るフラットパネルディスプレイの製造装置用ストッカーは、複数枚の基板を収納するカセットが配設される棚と、棚の下側に設けられたフレーム部と、フレーム部の上面に転がり可能に設置された転がり部と、転がり部を回転駆動させるための駆動部と、棚を昇降するための昇降部とを含むことを特徴とする。

また、上記目的を達成するための本発明に係るフラットパネルディスプレイの製造装置用ローダーは、本体部と、本体部に結合され、その上面に基板が配設される少なくとも二つ以上のハンド部と、ハンド部のうち少なくともいずれか一つのハンド部の上面に設けられたローラとを含むことを特徴とする。

また、上記目的を達成するための本発明に係るフラットパネルディスプレイの製造方法は、ストッカーの棚に、複数枚の基板が収納されたカセットを配設する第１段階と、ストッカーに設置された取り出し部を駆動し、カセット内の基板を順次取り出すとともに、この取り出された基板をローダーに配設する第２段階と、ローダーを制御して、ローダーに配設された基板を工程進行部に配設する第３段階とを含むことを特徴とする。

本発明に係るフラットパネルディスプレイの製造装置においては、カセット内の基板をローダーに搬送するステージ部を削除することで、全体的な設置スペースを縮小できるという効果がある。

また、基板の搬送過程で、基板がローダーの各ハンド部との接触によって掻かれることを防止することにより、収率を向上できるという効果がある。

また、基板を搬送するのに要する時間を短縮できるという効果がある。

また、カセットに収納される基板の数を増加させることができるという効果がある。

また、ストッカー及びローダーが個別に使用可能であり、その他の処理装置にも適用されるので、使用上の有用性を向上できるという効果がある。

以下、本発明の好適な実施形態について、添付の図面に基づいて詳細に説明する。

実施の形態１．
図２は、本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置を概略的に示した図である。

図２に示すように、本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置は、カセット１００、ストッカー２００、工程進行部６００、ローダー５００及び取り出し部３００を含んでいる。

以下、本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置を、各構成要素別にさらに詳細に説明する。

まず、カセット１００について、図２及び図３に基づいて説明する。

カセット１００は、複数枚の基板１を運搬するために構成されたもので、本体１１０及び複数の支持突起１２０を含んでいる。

このとき、本体１１０は、その底面が開口された外観を有している。

また、各支持突起１２０は、本体１１０内側の側壁の上下方向に沿って、互いに一致する高さにそれぞれ形成される。各支持突起１２０の上面には、基板１がそれぞれ収納される。

各支持突起１２０間の上下間隔は、図１に示した一般的なカセット１０の各支持突起１２０間の上下間隔より狭く形成されるが、基板１の厚さよりも広く形成されることが好ましい。

本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置では、後述するローダー５００の各ハンド部５２０がカセット１００内に挿入されないので、各ハンド部５２０の厚さ以上の間隔を有する必要はない。

したがって、一つのカセット１００は、最大限に多くの基板１を収納することができる。

次に、ストッカー２００について、図２及び図３に基づいて説明する。

ストッカー２００は、カセット１００が保管される部位であり、カセット１００が配設される棚２１０を有する。

また、ストッカー２００は、棚２１０を昇降するための昇降部２２０をさらに備える。

この昇降部２２０を用いることで、カセット１００の内部から取り出される基板１の取り出し高さが常に一定に保たれる。

このとき、昇降部２２０は、棚２１０を昇降可能な構造であれば、如何なるものでも構わない。すなわち、昇降部２２０は、ステッピングモータを用いた構造、ボールスクリューを用いた構造、または、その他の多様な構造であってもよい。

本発明の実施の形態１における昇降部２２０は、ボールスクリューを用いた構造を有している。

すなわち、昇降部２２０は、棚２１０の両側部にそれぞれ結合された結合ブラケット２２１と、これら各結合ブラケット２２１のうち少なくともいずれか一つの結合ブラケット２２１を貫通するボールスクリュー２２２と、このボールスクリュー２２２を回転駆動するための駆動モータ２２３とを含んでいる。

特に、ストッカー２００は、棚２１０の昇降移動を支持するための支持部２３０をさらに備える。

支持部２３０は、棚２１０の昇降時、棚２１０がいずれかの方向に傾くことを防止し、棚２１０の昇降が円滑に行われるように案内する。ここで、支持部２３０によって、棚２１０の四隅が支持されている。

このとき、支持部２３０は、棚２１０の四隅を支持するＬＭ（Ｌｉｎｅａｒ Ｍｏｔｉｏｎ）ガイド２３１と、棚２１０の四隅に形成され、ＬＭガイド２３１が貫通されるガイドブラケット２３２とを含んでいる。

次に、工程進行部６００に対して説明する。

工程進行部６００は、各カセット１００内の基板１を受け取った後、フラットパネルディスプレイの製造のための工程が実行される部分である。

このとき、工程進行部６００として、フラットパネルディスプレイの製造に用いられる装置（例えば、貼り合わせ装置、露光装置、ディスペンサー装置など）が挙げられる。

次に、ローダー５００について、図４に基づいて説明する。

ローダー５００は、ストッカー２００と工程進行部６００との間に配設されており、ストッカー２００に配設されたカセット１００内の各基板１を受け取って工程進行部６００に直接搬送する。

ローダー５００は、本体部５１０と、少なくとも二つ以上のハンド部５２０とを含んでいる。

本体部５１０は、ローダー５００の外観を構成している。

このとき、本体部５１０は、回転可能に構成されることが好ましい。

また、各ハンド部５２０は、本体部５１０の円周面に結合され、その上面には基板１が配設される。

特に、各ハンド部５２０のうち少なくとも一つのハンド部５２０は、ローラ５３０を有している。

このとき、ローラ５３０は、ハンド部５２０の長手方向に沿って複数個設置され、ローラ５３０の上面高さは、その他のハンド部５２０の上面高さとほぼ同一になるように構成される。

さらに、ハンド部５２０は、ローラ５３０を回転駆動するための駆動モータ（図示せず）を備える。

さらに、各ハンド部５２０は、ハンド部５２０に配設される基板１を吸着するための吸着部を備える。これにより、基板１が工程進行部６００に搬送される途中で、ローダー５００の振動によって基板１が各ハンド部５２０から分離することを防止できる。

このとき、吸着部は、各ハンド部５２０の上面を貫通する真空ホール５４１と、空気吸入力を発生する真空ポンプ（図示せず）と、空気吸入力を真空ホール５４１に伝える真空流路（図示せず）とを含んでいる。

さらに、各ハンド部５２０は、ハンド部５２０の上部に向かって空気を吐出する空気吐出部を備える。これにより、基板１が各ハンド部５２０に配設される途中で、基板１が各ハンド部５２０によって掻かれることを防止できる。

空気吐出部は、各ハンド部５２０の上面を貫通する吐出ホール５５１と、空気吐出力を発生する空気吐出ポンプ（図示せず）と、空気吐出力を吐出ホール５５１に伝える空気流路（図示せず）とを含んでいる。

このとき、吐出ホール５５１は、真空ホール５４１の形成位置と重複しないように、各ハンド部５２０の長手方向に沿って複数個形成されることが好ましい。

次に、取り出し部３００について、図２及び図３に基づいて説明する。

取り出し部３００は、カセット１００から各基板１を取り出し、各ハンド部５２０の上面に各基板１を配設するためのもので、少なくとも一つ設置される。

取り出し部３００は、フレーム部３１０、転がり部３２０及び駆動部（図示せず）を含んでいる。

ここで、フレーム部３１０は、ストッカー２００の棚２１０の下側に設けられ、取り出し部３００の本体をなす部分であり、少なくとも一つ備えられることが好ましい。

また、転がり部３２０は、フレーム部３１０の上面に転がり可能に設置されたローラである。このとき、転がり部３２０は、フレーム部３１０の長手方向に沿って少なくとも一つ設置される。

また、駆動部は、転がり部３２０を回転駆動させるための動力源である。

このとき、駆動部は、通常のモータなどで構成されることが好ましい。

特に、フレーム部３１０が複数個設けられる場合、駆動部は、各転がり部３２０の全てにそれぞれ備えられるか、または、各転がり部３２０のうち一部のみに備えられる。なお、全ての転がり部３２０をベルトやチェーンなどで連結し、一つの駆動部の駆動によって転がり部３２０全体が同時に駆動されるように構成することもできる。

本発明の実施の形態１における駆動部は、各フレーム部３１０の全てにそれぞれ備えられる。

以下、本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置を用いて、カセット１００内に収納された各基板１を工程進行部６００に搬送する一連の過程を具体的に説明する。

まず、ストッカー２００の棚２１０にカセット１００が配設される。このとき、カセット１００は、図示してない別のローダーによって棚２１０に搬送されるか、または、コンベヤーなどによって棚２１０に搬送される。

また、カセット１００内には、複数枚の基板１が互いに所定間隔を有して収納されている。このような状態は、図３に示したとおりである。

続いて、ローダー５００が駆動されるとともに、ローダー５００の各ハンド部５２０は、基板１を受け取るために、ストッカー２００に面する位置に配置される。

このとき、各ハンド部５２０は、取り出し部３００の転がり部３２０とほぼ同じ高さに配置され、各ハンド部５２０の終端は、取り出し部３００の基板取り出し側に配置される。

上記のような一連の過程が完了すると、昇降部２２０の駆動モータ２２３が駆動されて、ボールスクリュー２２２が回転駆動されることで、ボールスクリュー２２２に結合ブラケット２２１が結合された棚２１０は、ボールスクリュー２２２の回転に応じて下方移動する。このとき、支持部２３０のガイドブラケット２３２が各ＬＭガイド２３１の支持を受けることで、棚２１０は、安定して下方移動する。

このとき、棚２１０の下方移動距離は、カセット１００内に収納された複数枚の基板１のうち、最下端に位置した基板１が取り出し部３００の転がり部３２０に当接する程度の距離である。カセット１００内に収納された基板１のうち、最下端に位置した基板１がカセット１００の中間位置に位置する場合、昇降部２２０は、図５に示した状態になるように駆動される。ここで、下方移動距離は、別の位置センサ（図示せず）などによって確認されることが好ましい。

そして、棚２１０の下方移動が完了すると、取り出し部３００の駆動部（図示せず）が駆動されて、転がり部３２０が回転駆動される。

これによって、転がり部３２０の上面に当接する基板１は、カセット１００から取り出され、続いて、ローダー５００の各ハンド部５２０の上面に配設される。このような状態は、図２に示すとおりである。

このとき、ローダー５００は、各ハンド部５２０に備えられた空気吐出部を制御し、空気吐出ポンプを駆動することで、空気が吐出ホール５５１を通して吐出される。

したがって、各ハンド部５２０の上面に配設される基板１は、ハンド部５２０の上面と当接しなくなるので、基板１がハンド部５２０の上面によって掻かれる問題点を防止できる。

また、上記のように各ハンド部５２０の上面に配設される基板１は、各ハンド部５２０のうち少なくとも一つのハンド部５２０の上面に備えられたローラ５３０によって、各ハンド部５２０の上面に一層安定して配設される。

そして、基板１が各ハンド部５２０の上面に配設された後、ローダー５００は、空気吐出ポンプの動作を中止すると同時に、空気吸着部を制御して真空ポンプを駆動することで、空気吸入力が真空ホール５４１を通して供給される。

これによって、基板１が各ハンド部５２０の上面に吸着固定されるので、ローダー５００が移動する場合も、基板１が各ハンド部５２０から分離することを防止できる。

その後、ローダー５００は、１８０゜回転した後、基板１を工程進行部６００に搬送する。このような状態は、図６に示したとおりである。

ローダー５００が基板１を工程進行部６００に搬送する過程において、ローダー５００は、ストッカー２００の棚２１０が段階的に下方移動するように昇降部２２０を制御する。このとき、取り出し部３００の駆動部は、駆動されないことが好ましい。

その結果、上記のような一連の過程が繰り返して実行されることで、カセット１００内に収納された基板１が工程進行部６００に搬送され、工程進行部６００での工程が実行される。

そして、工程進行部６００での工程が完了した基板１は、上述した基板１の配設過程とは逆順に、カセット１００内に再び収納される。

すなわち、工程が完了した基板１は、ローダー５００によって工程進行部６００から取り出し部３００に配設され、続いて、ローダー５００の各ハンド部５２０の上面に配設された基板１は、取り出し部３００の逆動作によってカセット１００内の最上段から順に収納される。

一方、本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置のストッカー２００が取り出し部３００と一体に構成される場合、単体のストッカー２００を、あらゆるフラットパネルディスプレイの製造のための工程に適用することができる。

すなわち、取り出し部３００がストッカー２００と一体に形成される場合、ストッカー２００は、カセット１００を保管する役割のみならず、カセット１００内に収納された基板１を順次取り出すか、または、外部から搬送された基板１を受け取って、基板１をカセット１００内に順次収納する役割も果たす。

また、本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置のローダー５００も、単体のローダー５００を、あらゆるフラットパネルディスプレイの製造のための工程に適用することができる。

すなわち、各ハンド部５２０のうち少なくともいずれか一つのハンド部５２０の上面に少なくとも一つのローラ５３０が備わることで、基板１を受け取る場合、または基板１を配設する場合に、基板１と各ハンド部５２０の上面との接触によって基板１が掻かれることを防止できる。

さらに、各ハンド部５２０は、ハンド部５２０の上部に向かって空気を吐出する空気吐出部を備えることで、基板１が掻かれることをさらに防止できる。

また、本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置のストッカー２００は、棚２１０が昇降しないように構成されてもよい。すなわち、取り出し部３００のフレーム部３１０を昇降可能に構成することで、棚２１０が昇降する効果と同一の効果を得られる。

以上説明したように、本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置は、多様に変更可能であり、この製造装置構成する個々の部品をその他の装置に適用することができる。そのため、本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置は、有用な発明である。

本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置においては、カセット１００内の基板１をローダー５００に搬送するステージ部を削除することで、全体的な設置スペースを最大限に縮小できるという効果がある。

また、基板１の搬送過程で、基板１がローダー５００の各ハンド部５２０との接触によって掻かれることを防止することにより、収率を向上できるという効果がある。

また、基板１を搬送するのに要する時間を最小化できるという効果がある。

また、カセット１００に収納される基板１の数を最大化できるという効果がある。

また、ストッカー２００及びローダー５００が個別に使用可能であり、その他の処理装置にも適用されるので、使用上の有用性を向上できるという効果がある。

従来のフラットパネルディスプレイの製造装置のレイアウト構造を示した概略的な平面図である。 本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置のレイアウト構造を示した概略的な平面図である。 本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置のうち、カセット、ストッカー及び取り出し部の要部を示した概略的な斜視図である。 本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置のうち、ローダーの要部を示した概略的な斜視図である。 本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置の動作状態を説明するための斜視図である。 本発明の実施の形態１に係るフラットパネルディスプレイの製造装置の動作状態を説明するための平面図である。

符号の説明

１ 基板、１００ カセット、１１０ 本体、１２０ 支持突起、２００ ストッカー、２１０ 棚、２２０ 昇降部、２２１ 結合ブラケット、２２２ ボールスクリュー、２２３ 駆動モータ、２３０ 支持部、２３１ ＬＭガイド、２３２ ガイドブラケット、３００ 取り出し部、３１０ フレーム部、３２０ 転がり部、５００ ローダー、５１０ 本体部、５２０ ハンド部、５３０ ローラ、５４１ 真空ホール、５５１ 吐出ホール、６００ 工程進行部。

Claims (28)

1. 複数枚の基板が収納されるカセットと、
   前記カセットが配設される棚を備えたストッカーと、
   前記カセット内の前記複数枚の基板の各々を受け取って、工程を実行する工程進行部と、
   少なくとも二つ以上のハンド部を含んでおり、前記ストッカーと前記工程進行部との間に配設され、前記ストッカーに配設された前記カセット内の前記基板を受け取って前記工程進行部に配設するローダーと、
   前記カセットから前記基板を取り出して前記ローダーの前記ハンド部に配設する取り出し部と
   を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造装置。
2. 前記カセットは、
   底面が開口した外観を有する本体と、
   前記本体内側の側壁の上下方向に沿って備えられ、前記基板が収納される複数の支持突起と
   を含むことを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置。
3. 前記ストッカーは、前記棚を昇降するための昇降部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置。
4. 前記昇降部は、
   前記棚の両側部にそれぞれ結合された結合ブラケットと、
   それぞれの前記結合ブラケットのうち少なくともいずれか一つの結合ブラケットを貫通するボールスクリューと、
   前記ボールスクリューを回転駆動するための駆動モータと
   を含むことを特徴とする請求項３に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置。
5. 前記ストッカーは、前記棚の昇降移動を支持するための支持部をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置。
6. 前記支持部は、前記棚の角部を支持するためのＬＭガイドを有することを特徴とする請求項５に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置。
7. 前記ローダーの前記ハンド部のうち少なくとも一つのハンド部は、ローラを有していることを特徴とする請求項１または請求項３に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置。
8. 前記ローダーの前記ハンド部は、前記ハンド部に配設される前記基板を吸着するための吸着部を備えることを特徴とする請求項１または請求項３に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置。
9. 前記吸着部は、
   前記ハンド部の上面を貫通する真空ホールと、
   空気吸入力を発生する真空ポンプと、
   前記空気吸入力を前記真空ホールに伝える真空流路と
   を含むことを特徴とする請求項８に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置。
10. 前記ローダーの前記ハンド部は、前記ハンド部の上部に向かって空気を吐出する空気吐出部をさらに備えることを特徴とする請求項８に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置。
11. 前記空気吐出部は、
    前記ハンド部の上面を貫通する吐出ホールと、
    空気吐出力を発生する空気吐出ポンプと、
    前記空気吐出力を前記吐出ホールに伝える空気流路と
    を含むことを特徴とする請求項１０に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置。
12. 前記取り出し部は、
    前記ストッカーの前記棚の下側に設けられたフレーム部と、
    前記フレーム部の上面に転がり可能に設置された転がり部と、
    前記転がり部を回転駆動させるための駆動部と
    を含むことを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置。
13. 複数枚の基板を収納するカセットが配設される棚と、
    前記棚の下側に設けられたフレーム部と、
    前記フレーム部の上面に転がり可能に設置された転がり部と、
    前記転がり部を回転駆動させるための駆動部と、
    前記棚を昇降するための昇降部と
    を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造装置用ストッカー。
14. 前記昇降部は、
    前記棚の両側部にそれぞれ結合された結合ブラケットと、
    前記結合ブラケットのうち少なくともいずれか一つの結合ブラケットを貫通するボールスクリューと、
    前記ボールスクリューを回転駆動するための駆動モータと
    を含むことを特徴とする請求項１３に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置用ストッカー。
15. 前記棚の昇降移動を支持するための支持部をさらに備えることを特徴とする請求項１３または１４に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置用ストッカー。
16. 前記支持部は、前記棚の四隅を支持するためのＬＭガイドを有することを特徴とする請求項１５に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置用ストッカー。
17. 本体部と、
    前記本体部に結合され、その上面に基板が配設される少なくとも二つ以上のハンド部と、
    前記ハンド部のうち少なくともいずれか一つのハンド部の上面に設けられたローラと
    を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造装置用ローダー。
18. 前記ローダーの前記ハンド部は、前記ハンド部に配設される前記基板を吸着するための吸着部を備えることを特徴とする請求項１７に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置用ローダー。
19. 前記吸着部は、
    前記ハンド部の上面を貫通する真空ホールと、
    空気吸入力を発生する真空ポンプと、
    前記空気吸入力を前記真空ホールに伝える真空流路と
    を含むことを特徴とする請求項１８に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置用ローダー。
20. 前記ハンド部は、前記ハンド部の上部に向かって空気を吐出する空気吐出部をさらに備えることを特徴とする請求項１７または１８に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置用ローダー。
21. 前記空気吐出部は、
    前記ハンド部の上面を貫通する吐出ホールと、
    空気吐出力を発生する空気吐出ポンプと、
    前記空気吐出力を前記吐出ホールに伝える空気流路と
    を含むことを特徴とする請求項２０に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置用ローダー。
22. 前記ハンド部は、前記ローラを回転駆動するための駆動モータをさらに備えることを特徴とする請求項１７または１８に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置用ローダー。
23. 前記ハンド部は、前記ハンド部の上部に向かって空気を吐出する空気吐出部をさらに備えることを特徴とする請求項２２に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置用ローダー。
24. 前記空気吐出部は、
    前記ハンド部の上面を貫通する吐出ホールと、
    空気吐出力を発生する空気吐出ポンプと、
    前記空気吐出力を前記吐出ホールに伝える空気流路と
    を含むことを特徴とする請求項２３に記載のフラットパネルディスプレイの製造装置用ローダー。
25. ストッカーの棚に、複数枚の基板が収納されたカセットを配設する第１段階と、
    前記ストッカーに設置された取り出し部を駆動し、前記カセット内の前記基板を順次取り出すとともに、この取り出された前記基板をローダーに配設する第２段階と、
    前記ローダーを制御して、前記ローダーに配設された前記基板を工程進行部に配設する第３段階と
    を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
26. 前記第２段階で前記取り出し部によって前記基板が順次取り出されるとき、前記ストッカーの前記棚は、段階的に下方移動するように制御されることを特徴とする請求項２５に記載のフラットパネルディスプレイの製造方法。
27. 前記第２段階の間に、前記ローダーによって空気吐出部を制御して、前記ローダーに配設された前記基板の底面に向かって空気を吐出する第４段階をさらに含むことを特徴とする請求項２５に記載のフラットパネルディスプレイの製造方法。
28. 前記第２段階によって前記ローダーへの前記基板の配設が完了した後に、前記ローダーによって吸着部を制御して、前記ローダーに配設された前記基板をハンド部の上面に吸着固定する第５段階をさらに含むことを特徴とする請求項２５または２７に記載のフラットパネルディスプレイの製造方法。

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