JP4602359B2 - 液晶基板の搬送装置 - Google Patents
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この液晶の製造設備は、大形の基板Wを対象とするもので、製造装置等5との間での基板Wの搬送を、基板1枚単位で行うようにしたものである。
そして、この液晶の製造設備に適用した基板の搬送装置は、少なくともハンド11の可動範囲内の任意の位置へ複数枚の基板Wを収容可能なカセット3を搬送・移載することが可能な搬送移載機1(本実施例においては、搬送移載機1により、昇降装置34と、複数台のカセット3を収容可能なカセット収納棚(ストッカ)Sとの間で、カセット3の搬送・移載を行うようにしているが、搬送移載機1により基板Wを、基板1枚単位で搬送・移載するようにすることもできる。)を備え、基板Wを収容可能なカセット3Aを昇降装置34に載置し、昇降装置34と製造装置等5との間に配設した基板移載機構としてのコンベア機構4の移載面と、カセット3Aの基板収納位置とが一致するようにカセット3Aを昇降することにより、カセット3Aとコンベア機構4との間で基板Wを同一の高さで移載するようにしている。
これにより、高いクリーン度が要求される製造装置等5を、発塵の多い搬送移載機1等から隔離することができる。
なお、区画壁7に形成したスリット部71には、シャッタ(図示省略)を配設することもできるが、スリット部71を基板Wが通過可能な範囲の小さい寸法に形成することにより、シャッタを配設することなく区画壁7により区画された製造装置等5を配設した区画R1を高いクリーン度に維持することができる。
これにより、区画壁7により区画された製造装置等5及びコンベア機構4を配設した区画R1内を高いクリーン度に維持することができる。
このように、各製造装置等5に配設した昇降装置34間、昇降装置34と複数台のカセット3を収容可能なカセット収納棚Sとの間でカセット3の搬送を行うようにすることにより、多数の基板Wの搬送を効率よく行うことができる。
このカセット3Aは、図3以下に示すように、カセット3Aの基板収納部31に複数の並列する支持部材32を延設し、該支持部材32を上下に複数段設置することにより複数の基板Wを収納できるようにしている(他のカセット3も同様)。
ところで、この例においては、基板収納部31の支持部材32を、基板収納部31の両側から対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部材32を延設するようにしているが、支持部材32の形状は、これに限定されず、例えば、支持部材32を基板収納部31の両側に架け渡すようにすることもできる。
そして、この基板Wの搬送機構は、カセット3Aを載置する昇降装置34と、カセット3A、すなわち、基板収納部31の昇降により支持部材32間に挿入され、支持部材32に支持された基板Wを受け取る複数の搬送用支持部材35と、この搬送用支持部材35の先端に設けられ、受け取った基板Wを基板収納部31の外に送り出す送り機構36とを備えている。
この昇降装置34は、台車により移動可能に設けられたベース37に固定されている。
この搬送用支持部材35は、基板Wを幅方向と長さ方向で略均等に支持できるように、複数の搬送用支持部材35が所定の配置でベース37に固定されている。
この送り機構36は、駆動ローラをモータ(図示省略)により回転させることにより、受け取った基板Wを基板収納部31の前又は後方向に搬送して送り出すことができる。
なお、基板収納部31内に収納されている基板Wは、搬送用支持部材35と送り機構36によって、下位に位置するものから順に取り出されるようにしている。
そして、このエア浮上機構38は、位置決め機構39により基板Wの位置修正を行った後は、エア噴出を止めて基板Wを直接支持し、さらに下降することにより、正確に位置決めした状態で基板Wを送り機構36に受け渡すことができるようにしている。
なお、一方のプッシュロッドの先端にはばね部材が配設されており、基板Wの損傷が防止できるように配慮されている。
このコンベア機構4は、送り機構36と同一の高さで基板Wを支持する送りローラ41と、この送りローラ41によりコンベア機構4上に載置された基板Wを持ち上げ、例えば、製造装置等5の基板置台51等に受け渡すハンド42とを備えている。
なお、本実施例においては、1個のハンド42を備えるようにしているが、これに限定されず、例えば、上下複数段に重畳したハンド42を備えることもできる。
送りローラ41は、回転駆動することにより、送り機構36により送り出された基板Wをコンベア機構4上に導入する。
また、ハンド42は送りローラ41の隙間に設けられており、図10(b)〜(g)に示すように、昇降モータ42a及び前後進モータ42bにより昇降と前後移動が可能であるとともに、基板Wを吸着するための真空吸着機構43が多数設けられている。
図3(a)において、基板収納部31内には、基板Wが支持部材32によって支持されており、基板Wは上下に複数枚収納されている。
この場合、図3(b)に示すように、取り出し対象となる1番下位の基板Wは、基板収納部31内にて位置がずれた状態にある。
そして、図4(d)に示すように、エア浮上機構38のエア噴出を止め、基板Wをエア浮上機構38上に載置する。
図6(h)に示すように、コンベア機構4のハンド42が上昇すると、基板Wはコンベア機構4から離れて、ハンド42の上に載せられる。
次いで、図7(j)に示すように、ハンド42が下降して、基板Wはカセット3Aの基板置台51の支持棒52の上に載せられる。
そして、図9(m)に示すように、基板置台51は製造装置等5の内部に移動する。
また、カセット3Aの全高を低くすることができるとともに、製造装置等5を配設した区画R1の高さを低減し、設備の構築コストを低減することができる。
11 ハンド
2 レール
3 カセット
3A カセット
31 基板収納部
32 支持部材
34 昇降装置
35 搬送用支持部材
36 送り機構
37 ベース
38 エア浮上機構
39 位置決め機構
4 基板移載機(コンベア機構)
41 送りローラ
42 ハンド
43 真空吸着機構
5 製造装置等
51 基板置台
52 支持棒
6 空気清浄機構
7 区画壁
71 スリット部
R1 区画
R2 区画
S カセット収納棚
W 液晶基板
Claims (1)
- 複数台のカセットを収容可能なストッカと製造装置又は検査装置との間で、1枚単位で液晶基板の受け渡しを行うようにした液晶基板の搬送装置であって、基板を収容可能なカセットをストッカ内の昇降装置に載置し、昇降装置と製造装置又は検査装置との間に配設した基板移載機構の移載面と、前記カセットの基板収納位置とが一致するようにカセットを昇降することにより、当該位置の基板を、カセットの基板の送り方向に間隔をあけて、該送り方向と直交する内側方向に向けて延出して配設された複数の基板の支持部材の各支持部材間に挿入される、基板の送り方向及び該送り方向と直交する方向に間隔をあけて配設した複数の棒状の搬送用支持部材の先端に1個ずつ設けられた送り機構としての駆動ローラ上に受け取り、該基板を、該駆動ローラからなる送り機構によって、基板移載機構に同一の高さ位置で移載するようにするとともに、前記送り機構の各搬送用支持部材の間の基板の送り方向と直交する方向に間隔をあけて昇降可能に設けられ、前記送り機構の受け取り位置の上方で基板をエア浮上させながら支持するエア浮上機構と、該エア浮上機構により浮上支持した基板の位置を修正する位置決め機構とを備え、かつ、ストッカと基板移載機構との間に区画壁を配設し、該区画壁に基板が通過可能なスリット部を形成し、前記区画壁により区画された製造装置又は検査装置及び基板移載機構を配設した区画の内圧を、昇降装置、カセットを搬送・移載する搬送移載機及び複数台のカセットを収容可能なカセット収納棚を配設したストッカの内圧より高く維持するようにしたことを特徴とする液晶基板の搬送装置。
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