JP4608954B2

JP4608954B2 - 搬送装置

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Publication number: JP4608954B2
Application number: JP2004170647A
Authority: JP
Inventors: 晋村山; 国煥都; 幸三濱田
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2004-06-09
Filing date: 2004-06-09
Publication date: 2011-01-12
Anticipated expiration: 2024-06-09
Also published as: JP2005350174A

Description

本発明は、搬送装置に係り、特に、平板状の被搬送物の重量をエアーフロート等で支持しつつ、ローラ等を用い厚さ方向で前記被搬送物を挟み込んで搬送するものに関する。

従来、ガラス基板をエアーフロートして前記ガラス基板の重量による前記ガラス基板の変形をおさえつつ、前記ガラス基板の下に設けられたローラを回転し、前記ガラス基板を搬送する搬送装置が知られている。

また、ガラス基板をエアーフロートしつつ、前記ガラス基板の幅方向の両端部に設けられたローラで、前記ガラス基板を前記幅方向から挟み込んで、前記ガラス基板を搬送する搬送装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
特開２００３−２９２１５３号公報

ところで、前記１つ目の従来の搬送装置では、ガラス基板の全重量が前記ローラにかかっているわけではないので、前記ローラと前記ガラス基板との間の摩擦力が小さくなり、前記ガラス基板を搬送する力が弱いという欠点がある。

前記２つ目の従来の搬送装置（特許文献１に記載の搬送装置）では、ガラス基板をこの幅方向からローラで挟み込んで、前記ガラス基板を搬送しているので、前記１つ目の従来の搬送装置よりも大きな力で、前記ガラス基板を搬送することができる。

ところで、前記特許文献１に記載の搬送装置では、前記ローラを用いてガラス基板を大きな力で挟み込むと、ガラス基板に挫屈が発生するおそれがある（前記各ローラで前記ガラス基板を挟み込む力がある値を超えると、前記ガラス基板がこの厚さ方向に急激に変形するおそれがある）ので、前記ガラス基板を大きな力で挟み込むことは難しい。

したがって、前記ガラス基板とローラとの間の摩擦力を高めることが難しく、前記ガラス基板を搬送しているときに、前記ガラス基板と前記ローラとの間でスリップが発生するおそれがあり、大きな力で前記ガラス基板を搬送することが困難であるという問題がある。

なお、大きな力でガラス基板を搬送できないと、ガラス基板を搬送する際のガラス基板の加速度を大きくすることができなくなり、すなわち、ガラス基板を大きな加速度で加速しまたは絶対値の大きな負の加速度で減速することができなくなり、ガラス基板を速く搬送することが困難になる。

前記問題は、ガラス基板を搬送する場合だけでなく、平板状の被搬送物を搬送する場合にも同様に発生する問題である。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、平板状の被搬送物を搬送するための力を加えて搬送する搬送装置において、前記被搬送物を搬送する場合、前記被搬送物の重量による被搬送物の撓みを極力抑えつつ、従来よりも大きな力で前記被搬送物を搬送することができる搬送装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、平板状の被搬送物を搬送するための力を加えて搬送方向へ搬送する搬送装置において、基台に設けられ、前記被搬送物との間に形成される空気膜によって、前記被搬送物の幅方向の中間部で前記被搬送物の重量を支えることが可能なエアー浮上用のユニット、前記基台に対して上下方向へ移動可能な第１の搬送力供給用ローラを用いて、前記被搬送物の幅方向の両端部側で前記被搬送物の下面に前記第１の搬送力供給用ローラの外周が接触し、第１の搬送力供給用アクチュエータにより前記第１の搬送力供給用ローラが回転駆動することによって、前記被搬送物を搬送するための力を前記被搬送物に加えることが可能な第１の搬送力供給手段と、前記基台に対して回転可能かつ上下方向へ移動不能な支持用ローラを用いて、前記被搬送物の幅方向の両端部側で前記被搬送物の上面に前記ローラの外周が接触することによって前記被搬送物を支持することが可能な支持手段と、前記第１の搬送力供給用ローラと前記支持用ローラとによって、前記被搬送物を前記被搬送物の厚さ方向から挟み込むことができるように、前記第１の搬送力供給用ローラを上方向へを付勢する付勢手段と、前記搬送方向からみて第１の搬送力供給手段の上流側及び下流側に設けられ、前記搬送方向に所定の間隔をあけて複数設けられた第２の搬送力供給用ローラを用いて、前記被搬送物の幅方向の両端部側で前記被搬送物の下面に前記第２の搬送力供給用ローラの外周が接触し、第２の搬送力供給用アクチュエータにより前記第２の搬送力供給用ローラが回転駆動することによって、前記被搬送物を搬送するための力を前記被搬送物に加えることが可能な第２の搬送力供給手段と、を有することを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の搬送装置において、前記付勢手段は、空気圧シリンダ、電磁ソレノイド、電動シリンダ、弾性体のうちの少なくともいずれかを用いて、前記第１の搬送力供給手段の前記第１の搬送力供給用ローラを上方向へ付勢する手段であることを特徴とする。

本発明によれば、平板状の被搬送物を搬送するための力を加えて搬送する搬送装置において、前記被搬送物を搬送する場合、前記被搬送物の重量による被搬送物の撓みを極力抑えつつ、従来よりも大きな力で前記被搬送物を搬送することができるという効果を奏する。

［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る搬送装置１の概略構成を示す斜視図である。

図２は、図１におけるＩＩＡ―ＩＩＢ断面を示す図であると共に、被搬送物の搬送方向に直交した平面による前記搬送装置１の断面を示す図である。

図３は、搬送装置１の正面図であり、図１におけるＩＩＩ矢視を示す図である。

図４は、図１におけるＩＶＡ―ＩＶＢ断面を示す図であると共に、被搬送物の搬送方向に延伸していると共に上下方向に延伸している平面による前記搬送装置１の断面を示す図である。

搬送装置１は、平板状の被搬送物を搬送するための力を加えて前記被搬送物をたとえば水平方向に搬送する装置である。

なお、前記被搬送物として、たとえば、矩形状で平板状に形成され液晶の基板として使用されるガラス基板Ｗ１を考えることができる。また、前記ガラス基板Ｗ１はこの長さ方向に搬送されると共に、前記ガラス基板Ｗ１を搬送する場合、前記搬送装置１は、たとえばクリーンルーム内に設置されて使用される。

前記搬送装置１には、基台３が設けられており、搬送される前記ガラス基板Ｗ１と非接触な状態で前記ガラス基板Ｗ１の重量を支えることが可能な第１の被搬送物支持手段５が、前記基台３に設けられている。なお、前記第１の被搬送物支持手段５は、前記ガラス基板Ｗ１の重量によって前記ガラス基板Ｗ１物が撓むことを防止するために設けられているものである。

また、前記基台３には、前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を、前記ガラス基板Ｗ１に加えることが可能な第１の搬送力供給手段７が設けられている。この第１の搬送力供給手段７は、前記基台３に回転（自転）可能に支持されている第１の部材を直接的にまたは間接的に用いて、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向の一方の面で、前記搬送するための力を前記ガラス基板Ｗ１に加えるようになっている。

さらに、前記基台３には、搬送される前記ガラス基板Ｗ１を支持することが可能な第２の被搬送物支持手段９が設けられている。この第２の被搬送物支持手段９は、前記ガラス基板Ｗ１を間にして前記第１の搬送力供給手段７に対向して設けられている。また、前記第２の被搬送物支持手段９は、前記基台３に回転可能に支持されている第２の部材を直接的にまたは間接的に用いて、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向の他方の面で、前記ガラス基板Ｗ１を支持することができるようになっている。

さらに、前記搬送装置１には、前記第１の搬送力供給手段７の第１の部材と前記第２の被搬送物支持手段９の第２の部材とによって、前記ガラス基板Ｗ１をこの厚さ方向で挟み込むことができるように、前記第１の搬送力供給手段７の第１の部材を付勢可能な付勢手段１１が設けられている。

なお、前記付勢手段１１で、前記第１の搬送力供給手段７の第１の部材の代わりに、前記第２の被搬送物支持手段９の第２の部材を付勢するようにしてもよいし、前記第１の搬送力供給手段７の第１の部材と前記第２の被搬送物支持手段９の第２の部材との両方で付勢するようにしてもよい。すなわち、前記第１の搬送力供給手段７の第１の部材、前記第２の被搬送物支持手段９の第２の部材のうちの少なくとも一方を付勢するようになっていればよい。

ここで、前記搬送装置１について、例を掲げて詳しく説明する。

前記第１の被搬送物支持手段５は、被搬送物支持部材（エアー浮上用のユニット）１３から噴出する空気により前記ガラス基板Ｗ１と前記被搬送物支持部材１３との間に形成される薄い空気膜によって、（いわゆるエアーフロートによって、）前記ガラス基板Ｗ１の重量の一部を支持するようになっている。

より詳しく説明すると、被搬送物支持部材１３は直方体状に形成されている。また、前記被搬送物支持部材１３は、厚さ方向の一方の面が搬送される前記ガラス基板Ｗ１の下面と僅かに離れて前記ガラス基板Ｗ１の下面と平行になるように、前記搬送されるガラス基板Ｗ１の幅方向の中間部で、前記基台３に設置されている。

また、前記被搬送物支持部材１３は、たとえば、通気性を備えたセラミックスで形成されており、図示しない圧縮空気供給手段によって供給された圧縮空気が、前記被搬送物支持部材１３の前記ガラス基板（搬送されるガラス基板）Ｗ１に対向する面から噴出して、前記ガラス基板Ｗ１の重量の一部を、前記搬送されるガラス基板Ｗ１の幅方向の中間部で支えることができるようになっている。

また、前記搬送装置１には、前記搬送装置１が搬送しているガラス基板Ｗ１の位置（ガラス基板Ｗ１の搬送方向における位置）を検出可能な被搬送物位置検出手段（図示せず）が設けられていると共に、図１や図４に示すように、前記被搬送物支持部材１３は、前記ガラス基板Ｗ１の搬送方向で適数に分割されて配置されている。

そして、前記被搬送物位置検出手段が検出したガラス基板Ｗ１の位置に応じて、前記適数に分割された被搬送物支持部材１３のうち、前記ガラス基板Ｗ１の重量を支持するために必要な被搬送物支持部材１３からのみ空気を噴出するように、前記搬送装置１の制御装置（図示せず）の制御の下、制御することができるようになっている。

なお、図１や図４では、各被搬送物支持部材１３を、ガラス基板Ｗ１の搬送方向で互いに隣接させて隙間なく設けてあるが、必ずしもこのように隙間なく設ける必要はなく、所定の間隔をあけて設けてもよい。

さらに、通気性のセラミックスに代えて、通気性の焼結金属等で前記各被搬送物支持部材１３を構成してもよい。さらにまた、通気性を備えておらず材質で充填されている金属等の部材を用い、この金属等の部材の、前記ガラス基板Ｗ１の下面に対向する面に複数の穴を設け、これらの穴から圧縮空気を噴出させて前記ガラス基板Ｗ１を支持するようにしてもよい。

また、前記第１の搬送力供給手段７の前記第１の部材は、前記基台３に回転可能に支持されている第１の搬送力供給用ローラ１５で構成されている。

そして、前記第１の搬送力供給手段７は、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向の一方の面（たとえば下面）に前記ローラ１５の外周が接触し、前記ガラス基板Ｗ１の重量の一部を支持しつつ、前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を、前記ガラス基板Ｗ１に加えることが可能なようになっている。なお、前記ローラ１５は、図示しない電気モータ等の第１の搬送力供給用アクチュエータにより回転駆動するようになっている。

また、前記第２の被搬送物支持手段（支持手段）９の前記第２の部材は、たとえば、前記基台３に回転可能に支持されている支持用ローラ１７で構成されている。

そして、前記第２の被搬送物支持手段９は、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向の他方の面（たとえば上面）に前記ローラ１７の外周が接触することによって前記ガラス基板Ｗ１を支持することができるようになっている。なお、前記ローラ１５を回転駆動することに加えて、前記ローラ１７をも、図示しない電気モータ等のアクチュエータにより回転駆動させてもよい。

また、前記第２の被搬送物支持手段９は、前記ガラス基板Ｗ１を間にして、前記第１の搬送力供給手段７に対向して設けられている。すなわち、たとえば、前記ローラ１５とガラス基板Ｗ１との接触点と、前記ローラ１７と前記ガラス基板Ｗ１との接触点とは、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向（上下方向）から眺めた場合、互いが重なるように設けられている。

また、前記第１の搬送力供給手段７は、前記ガラス基板Ｗ１の幅方向の両端部側で、前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を前記ガラス基板Ｗ１に加え、前記第２の被搬送物支持手段９は、前記ガラス基板Ｗ１の幅方向の両端部側で、前記ガラス基板Ｗ１を支持するようになっている。

すなわち、たとえば、前記第１の搬送力供給手段７のローラ１５が、前記ガラス基板Ｗ１の幅方向の両端部側で、前記ガラス基板Ｗ１に接触しており、また、前記第２の被搬送物支持手段９のローラ１７も、前記ガラス基板Ｗ１の幅方向の両端部側で、前記ガラス基板Ｗ１に接触している。

前記第２の被搬送物支持手段９のローラ１７は、前記ガラス基板Ｗ１の上側に設けられている。そして、前記第２の被搬送物支持手段９の前記ローラ１７は、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向への移動を規制されている。

すなわち、前記ローラ１７の回転中心軸は、前記基台３に対して上下方向に移動しないように固定されており、前記ローラ１７は、前記基台３に対して回転することができるが、前記ローラ１７（ローラ１７の回転中心軸）は、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向（上下方向）には移動することができないようになっている。

なお、前記ローラ１７（ローラ１７の回転中心軸）は、前記ガラス基板Ｗ１の搬送方向や幅方向にも移動することができないようになっているが、たとえば、前記ローラ１７（ローラ１７の回転中心軸）が、前記ガラス基板Ｗ１の搬送方向に移動可能になっていてもよい。

前記第１の搬送力供給手段７のローラ１５は、前記ガラス基板Ｗ１の下側に設けられている。そして、図５（図３におけるＶ部の拡大図）に示すように、前記第１の搬送力供給手段７の前記ローラ１５が、前記ガラス基板Ｗ１の下側に設けられている前記付勢手段１１の例である空気圧シリンダ２１によって上方向に付勢されるように構成されている。

より詳しく説明すると、前記空気圧シリンダ２１の本体部２１Ａは前記基台３に固定され、前記空気圧シリンダ２１のピストンロッド（前記空気圧シリンダの上方に突出しているピストンロッド）２１Ｂに、前記ローラ１５が回転（自転）可能に支持されており、前記空気圧シリンダ２１のヘッド側（ピストンロッド２１Ｂの反対側）の部屋に圧縮空気を供給することにより、前記ローラ１５が上方向に付勢されて移動するようになっている。

なお、空気圧シリンダ２１に代えて、電磁ソレノイド、電動シリンダ、バネ等の弾性体のうちの少なくともいずれかを用いて、前記ローラ１５を付勢するようにしてもよい。

図５は、前記ピストンロッド２１Ｂが引っ込んだ状態（前記ローラ１５が最も下側に位置している状態）を示しており、この状態で前記ローラ１５の上にガラス基板Ｗ１を載置した場合、このガラス基板Ｗ１の上面と、前記ローラ１５の上方に存在している前記第２の被搬送物支持手段９の前記ローラ１７との間には、隙間Δｘが形成されている。

そして、前記空気圧シリンダ２１によって、前記ピストンロッド２１Ｂ（前記ローラ１５）を上方向に移動させると、図６に示すように、前記ローラ１５が上方に前記隙間Δｘの距離だけ移動し、さらに前記ローラ１５が上方向に付勢され、前記各ローラ１５、１７で前記ガラス基板Ｗ１をこの厚さ方向で挟み込むようになっている。

また、前記第１の搬送力供給手段７のローラ１５は、動力伝達手段２３を介して、前述したように、図示しない電気モータ等の第１の搬送力供給用アクチュエータを介して回転駆動するようになっている。

たとえば、前記第１の搬送力供給手段７のローラ１５には、このローラ１５と同じ軸を回転中心にして回転するプーリ２５が一体的に設けられており、また、このプーリ２５から所定の距離だけ離れたところには、電気モータで回転駆動するプーリ２７が設けられており、前記各プーリ２５、２７は、タイミングベルト２９等で連動連結されている。

なお、前記空気圧シリンダ２１によって、前記ローラ１５（プーリ２５）が上下方向に移動しても、この移動距離Δｘは僅かであるので、前記プーリ２７の回転中心の位置が固定されておりまた前記タイミングベルト２９の張力を調整するための補助プーリ等を設けなくても、前記プーリ２７の回転力を前記プーリ２５に伝達することができる。

また、前記第１の搬送力供給手段７、前記第２の被搬送物支持手段９が設けられている箇所とは異なる箇所には、前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を、前記ガラス基板Ｗ１に加えることが可能な第２の搬送力供給手段３１が設けられている。この第２の搬送力供給手段３１は、前記基台３に回転可能に支持され回転（自転）する第３の部材を直接的にまたは間接的に用いて、前記搬送するための力を、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向の下側の面で、前記ガラス基板Ｗ１に加えるようになっている。

前記第２の搬送力供給手段３１の前記第３の部材は、たとえば、前記基台３に回転可能に支持されている第２の搬送力供給用ローラ３３で構成されている。

前記ローラ３３は、前記ガラス基板Ｗ１の搬送方向で、所定の間隔をあけて複数設けられている。そして、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向の一方の面（たとえば下面）に前記各ローラ３３の外周が接触し、前記ローラ３３が図示しない動力伝達手段を介して図示しない電気モータ等の第２の搬送力供給用アクチュエータにより回転駆動することによって、前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を、前記ガラス基板Ｗ１に加えることが可能なようになっている。

なお、前記各ローラ３３は、前記第１の搬送力供給手段７のローラ１５や前記第２の被搬送物支持手段９のローラ１７と同様に、前記ガラス基板Ｗ１の幅方向の両端部側で、前記ガラス基板Ｗ１に接触し、前記ガラス基板Ｗ１の重量の一部を支えつつ、前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を前記ガラス基板Ｗ１に加えるようになっている。また、前記第１の搬送力供給手段７のローラ１５の周速と、前記各ローラ３３の周速とは、互いにほぼ一致している。

また、前記各ローラ３３は、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向への移動を規制されている。

すなわち、前記各ローラ３３の回転中心軸は、前記基台３に対して移動しないように固定されており、したがって、前記各ローラ３３は、前記基台３に対して回転することができるが、前記各ローラ３３（各ローラ３３の回転中心軸）は、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向（上下方向）等には移動することができないようになっている。

また、前記各ローラ３３の上端部と、図５に示すように下側に位置している前記第１の搬送力供給手段７のローラ１５の上端部とは、ほぼ同一平面に存在し、前記ガラス基板Ｗ１を支持するようになっている。

さらに、第１の被搬送物支持手段５の前記被搬送物支持部材１３の上面は、前記各ローラ３３や前記ローラ１５よりも僅かに下側に位置している。

また、図６に示すように、前記第１の搬送力供給手段７のローラ１５が上方に移動し、前記各ローラ１５、１７で前記ガラス基板Ｗ１を挟み込んだときには、前記ガラス基板Ｗ１が僅かに変形し、前記ガラス基板Ｗ１が、前記各ローラ１５、１７、３３に接するようになっている。

また、図３に示すように、前記第１の搬送力供給手段７と前記第２の被搬送物支持手段９とは、前記ガラス基板Ｗ１を搬送する際に前記ガラス基板Ｗ１が加速または減速する領域に設置されている。

より詳しく説明すれば、ガラス基板Ｗ１が図３に矢印ＡＲ１で示す方向に搬送されているものとすると、ガラス基板Ｗ１が図３の右側の位置（長さ寸法Ｌ１で示した位置）ＰＳ１から、図３の左側の位置（長さ寸法Ｌ３で示した位置）ＰＳ３のところまで搬送される間に、ガラス基板Ｗ１が加速または減速されるようになっている。

つまり、前記位置ＰＳ１と前記位置ＰＳ３とは、前記ガラス基板Ｗ１の搬送方向で一部が互いに重なり合っており、この重なり合っている部位に、前記第１の搬送力供給手段７のローラ１５と前記第２の被搬送物支持手段９のローラ１７とが設けられ、ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を前記ガラス基板Ｗ１に加えるようになっている。

また、前記搬送装置１には、この搬送装置１が搬送しているガラス基板Ｗ１の位置（ガラス基板Ｗ１の搬送方向における位置）を検出可能な被搬送物位置検出手段（図示せず）が設けられており、前記被搬送物位置検出が検出したガラス基板Ｗ１の位置に応じて、前記搬送装置１の制御装置の制御の下、前記付勢手段１１による前記ガラス基板の挟み込みをオン・オフするようになっている。

たとえば、ガラス基板Ｗ１が前記各ローラ１５、１７のところに存在していないときには、前記空気圧シリンダ２１で、前記ローラ１５を下側に位置させておく。そして、搬送装置１で搬送されているガラス基板Ｗ１の前端が、前記各ローラ１５、１７の間を通過した直後に、前記ローラ１５を上昇させて前記ガラス基板Ｗ１を前記ローラ１７と前記ローラ１５とで挟み込む（挟み込みをオンする）。

また、搬送装置１で搬送されているガラス基板Ｗ１の後端が、前記各ローラ１５、１７の間を通過する直前に、前記ローラ１５を下降させて前記ローラ１７と前記ローラ１５とによる前記ガラス基板Ｗ１の挟み込みを解除する（挟み込みをオフする）。

さらには、前記ガラス基板Ｗ１が、前記ガラス基板Ｗ１への加速減速が必要な位置に存在している場合にのみ、前記各ローラ１５、１７で前記ガラス基板Ｗ１を挟み込み、前記ガラス基板Ｗ１を搬送（加速または減速）するための力を、前記ガラス基板Ｗ１に加えるようにしてもよい。

搬送装置１によれば、第１の被搬送物支持手段５によって、前記ガラス基板Ｗ１の重量を支えているので、前記ガラス基板Ｗ１を搬送しているときに、前記ガラス基板Ｗ１の重量による前記ガラス基板Ｗ１の撓みを極力抑えることができる。

また、搬送装置１によれば、各ローラ１５、１７を用い前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向から前記ガラス基板Ｗ１を挟み込んでいるので、大きな力で前記ガラス基板Ｗ１を挟みこんでも、前記ガラス基板Ｗ１がほとんど変形せず、したがって、前記各ローラ１５、１７と前記ガラス基板Ｗ１との間の摩擦力を大きくすることができ、前記各ローラ１５、１７と前記ガラス基板Ｗ１との間でのスリップが発生しにくくなり、従来よりも大きな力で前記ガラス基板Ｗ１を搬送することができる。

また、大きな力でガラス基板Ｗ１を搬送することができるので、ガラス基板Ｗ１を搬送する際のガラス基板Ｗ１の加速度を大きくすることができ、すなわち、ガラス基板Ｗ１を大きな加速度で加速しまたは絶対値の大きな負の加速度で減速することができ、ガラス基板Ｗ１を速く搬送することが容易になる。

ところで、特許文献１に記載の前記従来の搬送装置では、被搬送物の挫屈を避けるために、ローラで被搬送物を挟み込む力を微妙に調整する必要があり、この必要性のために、ローラを支持する機構が複雑になるおそれがあるが、搬送装置１によれば、大きな力で各ローラ１５、１７がガラス基板Ｗ１を挟みこんでもガラス基板Ｗ１はほとんど変形しないので、ガラス基板Ｗ１を挟み込む力を微妙に調整する必要がなく、各ローラ１５、１７を支持する機構を簡素化することができる。

また、搬送装置１によれば、ガラス基板Ｗ１に各ローラ１５、１７が接触するので、大きな力でガラス基板Ｗ１を挟み込んでいるにもかかわらず、前記特許文献１に記載の従来の搬送装置（ガラス基板の幅方向の端面とローラとが接していることにより、ガラス基板とローラとの接触部の面積が小さくなっている搬送装置）よりも、各ローラ１５、１７にかかる単位面積あたりの圧力を小さくすることができ、各ローラ１５、１７やガラス基板Ｗ１の磨耗を抑制することができ、ガラス基板Ｗ１の搬送中における粉塵（各ローラ１５、１７やガラス基板Ｗ１の磨耗により発生する粉塵）の発生を抑制することができる。

また、搬送装置１によれば、前述したように、大きな力でガラス基板Ｗ１を挟みこんでも、ガラス基板Ｗ１がほとんど変形しないので、特許文献１に記載の前記従来の搬送装置のように、ローラで挟み込むことによってガラス基板Ｗ１が挫屈変形等して、エアーフロート用の被搬送物支持部材（エアー浮上用のユニット）１３に接触するおそれがなく、ガラス基板Ｗ１に傷がつくおそれがなくなる。

また、搬送装置１によれば、いわゆるエアーフロートによってガラス基板Ｗ１の重量の一部を支持しているので、簡素な構成でガラス基板Ｗ１を支持することができると共に、ガラス基板Ｗ１と被接触な状態でガラス基板Ｗ１を支持することができ、ガラス基板Ｗ１に傷がつくことを防ぐことができ、またガラス基板Ｗ１に塵が付着することを回避することができる。

また、搬送装置１によれば、各ローラ１５、１７によってガラス基板Ｗ１を挟み込んでいると共に、ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を前記ガラス基板Ｗ１に加えているので、前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を前記ガラス基板Ｗ１に加えるための機構が簡素になっている。

さらに、搬送装置１によれば、前記第１の被搬送物支持手段５の前記被搬送物支持部材１３が、前記ガラス基板Ｗ１の搬送方向で適数に分割されて配置されていると共に、前記搬送装置１が搬送している前記ガラス基板Ｗ１の位置（前記ガラス基板Ｗ１の搬送方向における位置）を検出し、この検出したガラス基板Ｗ１の位置に応じて、前記適数に分割された被搬送物支持部材１３のうち、前記ガラス基板Ｗ１の重量を支持するために必要な被搬送物支持部材１３からのみ空気を噴出するように制御するので、ガラス基板Ｗ１を支持するための空気が無駄に噴出されることがなくなる。また、空気の噴出量を少なくすることができるので、搬送装置１をクリーンルームに設置して使用する場合、クリーンルーム内のクリーン環境を維持しやすくなる。

また、搬送装置１によれば、前記第１の搬送力供給手段７が、前記ガラス基板Ｗ１の幅方向の両端部側で前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を前記ガラス基板Ｗ１に加え、前記第２の被搬送物支持手段９が、前記ガラス基板Ｗ１の幅方向の両端部側で、前記ガラス基板Ｗ１を支持しているので、前記ガラス基板Ｗ１の幅方向の中間部が、前記第１の搬送力供給手段７や前記第２の被搬送物支持手段９を構成している各ローラ１５、１７の接触によって、汚染されるおそれがなく、液晶パネルのガラス基板Ｗ１を搬送する搬送装置として、搬送装置１を好適に採用することができる。

また、搬送装置１によれば、前記第１の搬送力供給手段７は、前記ガラス基板Ｗ１の下側に設けられていると共に、前記第１の搬送力供給手段７のローラ１５が、前記ガラス基板Ｗ１の下側に設けられている前記付勢手段１１によって上方向に付勢されるように構成されている一方、前記第２の被搬送物支持手段９は、前記ガラス基板Ｗ１の上側に設けられていると共に、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向等には移動できないように固定されている。

すなわち、稼動する部分が多く粉塵が発生しやすい前記第１の搬送力供給手段７や前記付勢手段１１が前記ガラス基板Ｗ１の下部側に設けられ、稼動する部分が少なく粉塵が発生しにくい前記第２の被搬送物支持手段９が前記ガラス基板Ｗ１の上部側に設けられているので、前記搬送装置１をクリーンルームで使用しガラス基板Ｗ１を搬送している場合、粉塵が前記ガラス基板Ｗ１に付着等しにくくなる。

また、搬送装置１によれば、空気圧シリンダ２１を用いて、前記ローラ１５の付勢を行っているので、一定の力でガラス基板Ｗ１を挟み込むことを容易に行なうことができ、また、空気圧シリンダ２１を用いているので、搬送装置１をクリーンルームで使用しているときに前記空気圧シリンダ２１を駆動している空気が何らかの要因で僅かに漏れても、クリーンルームの環境が悪化するおそれは少ない。

さらに、搬送装置１によれば、前記第１の搬送力供給手段７が設けられている箇所とは異なる箇所に回転するのローラ３３を用いて、前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向の下側の面で、前記ガラス基板Ｗ１に加えるので、前記ガラス基板Ｗ１を安定した状態で搬送することができる。

また、前記第１の搬送力供給手段７と前記第２の被搬送物支持手段９とは、前記ガラス基板Ｗ１を搬送する際に前記ガラス基板Ｗ１が加速または減速する領域に設置されているので、前記第１の搬送力供給手段７と前記第２の被搬送物支持手段９が無駄に設置されることなく、前記ガラス基板Ｗ１の加速減速を確実に行なうことができる。

また、前記第１の搬送力供給手段７、前記第２の被搬送物支持手段９が設けられている箇所とは異なる箇所に、前記第２の搬送力供給手段３１が設けられているので、前記第１の搬送力供給手段７、前記第２の被搬送物支持手段９が設けられていない箇所では、前記搬送装置１の上部が開放しており、この開放している部位を利用して、ガラス基板Ｗ１を前記搬送装置１に投入し、または、ガラス基板Ｗ１を前記搬送装置１から排出することができる。

また、搬送装置１では、たとえば、ガラス基板Ｗ１が前記各ローラ１５、１７のところに存在していないときには、前記空気圧シリンダ２１で、前記ローラ１５を下側に位置させておき、搬送装置１で搬送されているガラス基板Ｗ１の前端が、前記各ローラ１５、１７の間を通過した直後に、前記ローラ１５を上昇させて前記ガラス基板Ｗ１を前記ローラ１７と前記ローラ１５で挟み込み、搬送装置１で搬送されているガラス基板Ｗ１の後端が、前記各ローラ１５、１７の間を通過する直前に、前記ローラ１５を下降させて前記ローラ１７と前記ローラ１５とによる前記ガラス基板Ｗ１の挟み込みを解除するようになっている。

したがって、このように、各ローラ１５、１７でガラス基板Ｗ１を挟み込むタイミングを制御することによって、搬送中の前記ガラス基板Ｗ１を前記各ローラ１５、１７で挟みやすくなる。たとえば、搬送中の前記ガラス基板Ｗ１の前端が前記各ローラ１５、１７のところに到達するときに、前記ガラス基板Ｗ１の前端が前記各ローラ１５、１７にひっかかることを防止することができる。

なお、前記搬送装置１では、ガラス基板Ｗ１を水平方向に搬送しているが、必ずしも水平ではなく、水平面に僅かに傾いた方向にガラス基板Ｗ１を搬送する場合にも、前記搬送装置１を使用することができる。

［第２の実施形態］
図７は、本発明の第２の実施形態に係る搬送装置の一部を示す図であり、図５に対応した図である。

前記第２の実施形態に係る搬送装置では、前記第２の被搬送物支持手段９が、前記ガラス基板Ｗ１の下側に設けられており、前記第２の被搬送物支持手段９のローラ１７（ローラ１７の回転中心軸）が、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向への移動を規制されており、前記第１の搬送力供給手段７のローラ１５が前記ガラス基板Ｗ１上側に設けられていると共に、前記ガラス基板Ｗ１上側に設けられている前記付勢手段１１（空気圧シリンダ２１）によって、前記ローラ１５が下方向に付勢されるように構成されている点が、前記第１の実施形態に係る搬送装置１と異なり、その他の点は、前記第１の実施形態に係る搬送装置１と同様に構成され、ほぼ同様の効果を奏するようになっている。

［第３の実施形態］
図８は、本発明の第３の実施形態に係る搬送装置の一部を示す図であり、図５に対応した図である。

第３の実施形態に係る搬送装置では、前記第１の搬送力供給手段７が、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向の一方の面（たとえば、下側の面）に接触するベルトコンベヤ３４のベルト３５によって、前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を、前記ガラス基板Ｗ１に加えることが可能なように構成されており、また、前記第２の被搬送物支持手段９が、前記ガラス基板Ｗ１の厚さ方向の他方の面（たとえば、上側の面）に接触するベルトコンベヤ３６のベルト３７によって、前記ガラス基板Ｗ１を支持するように構成されている点が、前記第１の実施形態に係る搬送装置１と異なり、その他の点は、前記第１の実施形態に係る搬送装置１と同様に構成されほぼ同様の効果を奏する。

より詳しく説明すれば、前記第１の搬送力供給手段７の前記ベルトコンベヤ３４は、複数のローラ３９を備えており、前記各ローラ３９に前記ベルト３５が掛けられている。また、前記各ローラ３９のうちの少なくとも１つのローラが、前記ローラ１５と同様に、動力伝達手段４１を介し図示しない電気モータ等のアクチュエータで回転駆動することにより、前記ベルトコンベヤ３４のベルト３５が移動し、前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を、前記ガラス基板Ｗ１に加えるようになっている。

また、前記ベルトコンベヤ３４（ベルト３５）は、空気圧シリンダ２１によって、上下方向に移動することができるようになっており、後述するベルトコンベヤ３６と協働して、ガラス基板Ｗ１を上下方向から挟み込むこことができるようになっている。

また、前記第２の被搬送物支持手段９の前記ベルトコンベヤ３６は、複数のローラ４３を備えており、前記各ローラ４３に前記ベルト３７が掛けられている。なお、ベルトコンベヤ３６が、前記ローラ１７と同様に上下方向には移動することができないようになっている。

なお、前記第２の搬送力供給手段３１を、ベルトコンベヤのベルトを前記ガラス基板Ｗ１に接触させこのベルトコンベヤのベルトを移動することで前記ガラス基板Ｗ１を搬送するための力を前記ガラス基板Ｗ１に加えるような構成のものにしてもよい。

さらに、前記第２の被搬送物支持手段９を、被搬送物支持部材から噴出する空気により前記ガラス基板Ｗ１と前記被搬送物支持部材との間に形成される薄い空気膜によって、前記ガラス基板Ｗ１を支持するように構成してもよい。

本発明の第１の実施形態に係る搬送装置の概略構成を示す斜視図である。図１におけるＩＩＡ―ＩＩＢ断面を示す図であると共に、被搬送物の搬送方向に直交した平面による前記搬送装置の断面を示す図である。搬送装置の正面図であり、図１におけるＩＩＩ矢視を示す図である。図１におけるＩＶＡ―ＩＶＢ断面を示す図であると共に、被搬送物の搬送方向に延伸していると共に上下方向に延伸している平面による前記搬送装置の断面を示す図である。図３におけるＶ部の拡大図である。図３におけるＶ部の拡大図である。本発明の第２の実施形態に係る搬送装置の一部を示す図であり、図５に対応した図である。本発明の第３の実施形態に係る搬送装置の一部を示す図であり、図５に対応した図である。

１搬送装置
５第１の被搬送物支持手段
７第１の搬送力供給手段
９第２の被搬送物支持手段
１１付勢手段
１３、５７第１の被搬送物支持部材
１５、１７、３９、４３ローラ
３１第２の搬送力供給手段
３５、３７ベルト
５１超音波発生素子
Ｗ１ガラス基板（被搬送物）

Claims

平板状の被搬送物を搬送するための力を加えて搬送方向へ搬送する搬送装置において、
基台に設けられ、前記被搬送物との間に形成される空気膜によって、前記被搬送物の幅方向の中間部で前記被搬送物の重量を支えることが可能なエアー浮上用のユニット、
前記基台に対して上下方向へ移動可能な第１の搬送力供給用ローラを用いて、前記被搬送物の幅方向の両端部側で前記被搬送物の下面に前記第１の搬送力供給用ローラの外周が接触し、第１の搬送力供給用アクチュエータにより前記第１の搬送力供給用ローラが回転駆動することによって、前記被搬送物を搬送するための力を前記被搬送物に加えることが可能な第１の搬送力供給手段と、
前記基台に対して回転可能かつ上下方向へ移動不能な支持用ローラを用いて、前記被搬送物の幅方向の両端部側で前記被搬送物の上面に前記ローラの外周が接触することによって前記被搬送物を支持することが可能な支持手段と、
前記第１の搬送力供給用ローラと前記支持用ローラとによって、前記被搬送物を前記被搬送物の厚さ方向から挟み込むことができるように、前記第１の搬送力供給用ローラを上方向へを付勢する付勢手段と、
前記搬送方向からみて第１の搬送力供給手段の上流側及び下流側に設けられ、前記搬送方向に所定の間隔をあけて複数設けられた第２の搬送力供給用ローラを用いて、前記被搬送物の幅方向の両端部側で前記被搬送物の下面に前記第２の搬送力供給用ローラの外周が接触し、第２の搬送力供給用アクチュエータにより前記第２の搬送力供給用ローラが回転駆動することによって、前記被搬送物を搬送するための力を前記被搬送物に加えることが可能な第２の搬送力供給手段と、
を有することを特徴とする搬送装置。
請求項１に記載の搬送装置において、
前記付勢手段は、空気圧シリンダ、電磁ソレノイド、電動シリンダ、弾性体のうちの少なくともいずれかを用いて、前記第１の搬送力供給手段の前記第１の搬送力供給用ローラを上方向へ付勢する手段であることを特徴とする搬送装置。