JP2005350174A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 前記平板の重量を支えるエアーフロート5と、ローラ15を用いて前記平板の厚さ方向の一方の面で前記平板を搬送するための力を加えることが可能な第1の搬送力供給手段7と、ローラ17を用いて前記平板の他方の面で前記平板を支持する第2の被搬送物支持手段9と、前記第1の搬送力供給手段7と前記第2の被搬送物支持手段9とによって、前記平板を挟み込むことができるように、前記第1の搬送力供給手段7のローラ15を付勢する付勢手段11とを有する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る搬送装置1の概略構成を示す斜視図である。
図7は、本発明の第2の実施形態に係る搬送装置の一部を示す図であり、図5に対応した図である。
図8は、本発明の第3の実施形態に係る搬送装置の一部を示す図であり、図5に対応した図である。
図9は、本発明の第4の実施形態に係る搬送装置に使用される第1の被搬送物支持手段5の概略構成を示す斜視図である。
5 第1の被搬送物支持手段
7 第1の搬送力供給手段
9 第2の被搬送物支持手段
11 付勢手段
13、57 第1の被搬送物支持部材
15、17、39、43 ローラ
31 第2の搬送力供給手段
35、37 ベルト
51 超音波発生素子
W1 ガラス基板(被搬送物)
Claims (8)
- 平板状の部位を備えた被搬送物を搬送するための力を、前記平板状の部位に加えて搬送する搬送装置において、
前記被搬送物の重量を支えることが可能な第1の被搬送物支持手段と;
回転する第1の部材を用いて、前記被搬送物の平板状部位の厚さ方向の一方の面で、前記被搬送物を搬送するための力を、前記被搬送物に加えることが可能な第1の搬送力供給手段と;
前記被搬送物の平板状部位の厚さ方向の他方の面で、第2の部材を用いて、前記被搬送物を支持することが可能な第2の被搬送物支持手段と;
前記第1の搬送力供給手段の第1の部材と前記第2の被搬送物支持手段の第2の部材とによって、前記被搬送物の前記平板状部位をこの平板状部位の厚さ方向で挟み込むことができるように、前記第1の搬送力供給手段の第1の部材、前記第2の被搬送物支持手段の第2の部材のうちの少なくとも一方を付勢する付勢手段と;
を有することを特徴とする搬送装置。 - 請求項1に記載の搬送装置において、
前記第1の被搬送物支持手段は、第1の被搬送物支持部材から噴出する空気により前記被搬送物と前記第1の被搬送物支持部材との間に形成される薄い空気膜によって、前記被搬送物の重量の一部を支する手段であり、または、前記第1の被搬送物支持手段は、前記第1の被搬送物支持部材を超音波振動子で振動させることにより前記被搬送物と前記第1の被搬送物支持部材との間に形成される薄い空気膜によって、前記被搬送物の重量の一部を支持する手段であり、
前記第1の搬送力供給手段の前記第1の部材はローラであり、
前記第1の搬送力供給手段は、前記被搬送物の平板状部位の厚さ方向の一方の面に前記ローラの外周が接触し前記ローラが回転駆動することによって、前記被搬送物を搬送するための力を、前記被搬送物に加えることが可能な手段であり、または、前記第1の搬送力供給手段は、前記被搬送物の平板状部位の厚さ方向の一方の面に、前記ローラに掛けられ前記ローラが回転駆動することによって移動するベルトが接触することによって、前記被搬送物を搬送するための力を、前記被搬送物に加えることが可能な手段であり、
前記第2の被搬送物支持手段の前記第2の部材はローラであり、
前記第2の被搬送物支持手段は、前記被搬送物の平板状部位の厚さ方向の他方の面に前記ローラの外周が接触することによって前記被搬送物を支持し、または、前記第2の被搬送物支持手段は、前記被搬送物の平板状部位の厚さ方向の他方の面に、前記ローラに掛けられたベルトが接触することによって、前記被搬送物を支持することが可能な手段であり、または、前記第2の被搬送物支持手段は、第2の被搬送物支持部材から噴出する空気により前記被搬送物と前記第2の被搬送物支持部材との間に形成される薄い空気膜によって、前記被搬送物を支持することが可能な手段であり、または、前記第2の被搬送物支持手段は、前記第2の被搬送物支持部材を超音波振動子で振動させることにより前記被搬送物と前記第2の被搬送物支持部材との間に形成される薄い空気膜によって、前記被搬送物を支持することが可能な手段であり、
前記第2の被搬送物支持手段は、前記被搬送物の平板状部位を間にして、前記第1の搬送力供給手段に対向して設けられていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1または請求項2に記載の搬送装置において、
前記被搬送物は、平板状であって矩形状の部材であり、前記被搬送物が、水平方向であって前記被搬送物の長さ方向に搬送されるように構成されていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の搬送装置において、
前記第1の被搬送物支持手段は、前記被搬送物の幅方向の中間部で、前記被搬送物の重量を支える手段であり、
前記第1の搬送力供給手段は、前記被搬送物の幅方向の両端部側で、前記被搬送物を搬送するための力を前記被搬送物に加える手段であり、
前記第2の被搬送物支持手段は、前記被搬送物の幅方向の両端部側で、前記被搬送物を支持する手段であることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の搬送装置において、
前記第2の被搬送物支持手段は、前記被搬送物の上側に設けられていると共に、前記第2の被搬送物支持手段の前記第2の部材は、前記被搬送物の厚さ方向への移動を規制されており、
前記第1の搬送力供給手段は、前記被搬送物の下側に設けられていると共に、前記第1の搬送力供給手段の第1の部材が、前記被搬送物の下側に設けられている前記付勢手段によって上方向に付勢されるように構成されていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の搬送装置において、
前記付勢手段は、空気圧シリンダ、電磁ソレノイド、電動シリンダ、バネ等の弾性体のうちの少なくともいずれかを用いて、前記付勢を行う手段であることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の搬送装置において、
前記第1の搬送力供給手段、前記第2の被搬送物支持手段が設けられている箇所とは異なる箇所に、回転する第3の部材を用いて、前記被搬送物を搬送するための力を、前記被搬送物の平板状部位の厚さ方向の下側の面で、前記被搬送物に加えることが可能な第2の搬送力供給手段を有すると共に、前記第1の搬送力供給手段と前記第2の被搬送物支持手段とは、前記被搬送物を搬送する際に前記被搬送物が加速または減速する領域に設置されていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項7に記載の搬送装置において、
前記第2の搬送力供給手段の前記第3の部材はローラであり、
第2の搬送力供給手段は、前記被搬送物の平板状部位の厚さ方向の一方の面に前記ローラの外周が接触し前記ローラが回転駆動することによって、前記被搬送物を搬送するための力を、前記被搬送物に加えることが可能な手段であり、または、前記第2の搬送力供給手段は、前記被搬送物の平板状部位の厚さ方向の一方の面に、前記ローラに掛けられ前記ローラが回転駆動することによって移動するベルトが接触することによって、前記被搬送物を搬送するための力を、前記被搬送物に加えることが可能な手段であることを特徴とする搬送装置。
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