CN1991490A - 用于制造平板显示器的设备及制造该平板显示器的方法 - Google Patents

用于制造平板显示器的设备及制造该平板显示器的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1991490A
CN1991490A CNA2006101003750A CN200610100375A CN1991490A CN 1991490 A CN1991490 A CN 1991490A CN A2006101003750 A CNA2006101003750 A CN A2006101003750A CN 200610100375 A CN200610100375 A CN 200610100375A CN 1991490 A CN1991490 A CN 1991490A
Authority
CN
China
Prior art keywords
panel monitor
equipment
substrate
unit
flat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2006101003750A
Other languages
English (en)
Other versions
CN100592157C (zh
Inventor
黄胤镐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LG Display Co Ltd
Original Assignee
LG Philips LCD Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LG Philips LCD Co Ltd filed Critical LG Philips LCD Co Ltd
Publication of CN1991490A publication Critical patent/CN1991490A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100592157C publication Critical patent/CN100592157C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

用于制造平板显示器的设备及制造该平板显示器的方法。公开了一种用于制造的设备，其能够减少痕迹并且尽可能地减少装载基板的时间，还公开了使用该设备的方法。该设备包括：盒，用于容纳多个基板；具有架的储料器，在这些架上装载有盒；处理进展单元，用于接纳盒中的各个基板并且用于进行处理；装载器，具有至少两个手部并且设置在储料器与处理进展单元之间，以接纳在储料器上的盒中容纳的各基板并且将其提供给处理进展单元；以及至少一个取出单元，用于从盒取出各基板，并将各基板提供给装载器的手部。

Description

用于制造平板显示器的设备及制造该平板显示器的方法
技术领域
本发明涉及用于制造平板显示器的设备及制造该平板显示器的方法，更具体地，涉及一种将用于平板显示器的基板转移到各个处理的结构以及一种转移该基板的方法。
背景技术
通常，平板显示设备是被设计为减小了大体积和大重量、阴极射线管缺陷的显示设备，在该平板显示设备中有液晶显示器、场发光显示器、等离子显示板和发光显示器。
平板显示器当中的液晶显示器包括液晶板以及用于将驱动信号施加给液晶板的驱动器，该液晶板包括彼此装配为保持预定间隔的一对基板，以及形成在这两个基板之间的液晶层。
此处，各基板或者通过装配基板而制成的装配基板被诸如机械臂的载运器载运到处理地点或者从处理地点取出。
图1例示了用于载运基板的常规设备的布局。
换言之，用于载运基板的常规设备的布局被构造为，将在储料器20中存储的盒10中的多个基板1分别载运到台40，并且机械臂50装载所载运的基板1并将其转移到处理设备60。
此时，机械臂50具有手部51，手部51旋转并且向前和向后移动。
然而，用于载运基板的常规设备的布局的缺陷在于由于台40而形成了大的椭圆痕迹。
此外，为了取出容纳在盒10中的基板1，由于机械臂50的手部51被操作以进入各个基板1的下侧并且分别地取出这些基板1，因此在基板1被转移到处理设备之前必然经过长的椭圆工作时间(oval workingtime)。
此外，由于各个基板1必须保持使机械臂50的手部51足够进入的最小间隙，所以难以增加在盒10中容纳的基板1的数量。
发明内容
因此，本发明旨在一种用于制造平板显示器的设备及其方法，其基本上克服了由于现有技术的局限性和不足引起的一个或更多个问题。
本发明的一个目的是提供一种用于制造的设备，其能够将痕迹以及用于装载基板的工作时间缩减得尽可能短，并且提供一种使用该设备的方法以及该设备中采用的储料器和装载器。
本发明的其它优点、目的和特征将部分地在以下说明中提出，部分地基于以下检验而对于本领域技术人员变得显见，或者可以通过对本发明的实践而习得。本发明的目的和其它优点可以通过在所撰写的说明书及其权利要求以及附图中具体指出的结构而实现和获得。
为了实现这些目的和其它优点并根据本发明的目的，如此处具体实施和广泛说明地，一种用于制造平板显示器的设备，包括：盒，用于容纳多个基板；具有架的储料器，在这些架上装载有盒；处理进展单元，用于接纳盒中的各个基板并且用于进行处理；装载器，具有至少两个手部并且被布置在储料器与处理进展单元之间，以将容纳在储料器上的盒中的各基板提供给处理进展单元；以及至少一个取出单元，用于从盒取出各基板，并将各基板提供给装载器的手部。
在本发明的另一方面，一种制造平板显示器用设备的储料器，包括：支架，其上放置有用于容纳多个基板的盒；设置在架下侧的框架；安装在架上侧的至少一个滚动单元；用于使滚动单元滚动的驱动单元；以及提升单元，用于提升架。
在本发明的又一方面，一种制造平板显示器用设备的装载器，包括：主体；至少两个手部，与该主体耦合以将基板装载在其上侧上；以及至少一个辊，设置在各手部的任何一个的上侧。
在本发明的又一方面，一种制造平板显示器的方法，包括以下步骤：(1)将其中容纳有多个基板的盒提供给储料器的架；(2)通过驱动储料器中安装的取出单元并且将所取出的基板提供给储料器，来相继取出盒中的各基板；以及(3)控制装载器以将所接纳的基板提供给处理进展单元。
应当理解，本发明的以上总体说明和以下详细说明都是示例性和说明性的，并且旨在提供权利要求所述的本发明的进一步说明。
附图说明
附图被包括来提供本发明的进一步理解并且被并入并构成本申请的一部分，附图示出了本发明的实施例并与说明书一起用于解释本发明的原理。在这些附图中：
图1是例示了用于制造平板显示器的常规设备的布局的示意平面图；
图2是例示了根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备的布局的示意平面图；
图3是例示了根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备的盒、储料器和排出单元的主要部分的示意立体图；
图4是例示了根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备的装载器的主要部分的示意立体图；
图5是例示了根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备的操作的立体图；以及
图6是例示了根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备的操作的平面图。
具体实施方式
下面将具体说明本发明的用于制造平板显示器的设备的优选实施例以及使用该设备的方法，其示例在图1到图6中示出。
附图2是例示了根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备的布局的示意平面图。
如该图所示，根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备大致包括盒100、储料器200、处理进展单元600、装载器500和取出(withdrawing)单元300。
下面将具体说明以上组成部分。
首先，将参照附图2和3对盒100进行说明。
盒100被构造为载运多个基板1并且包括主体110和多个装载突出部120。
在这种情况下，主体110是用于形成外观的部分，并且其底部打开。
此外，各装载突出部120分别形成在主体110的内侧壁中，以沿着主体110的内侧壁相互对应。在装载突出部120的各自上侧，分别装载有基板1。
各装载突出部120之间的垂直距离比常规盒10的各装载突出部之间的距离窄，但是该垂直距离优选地大于基板1的厚度。
在根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备中，由于下述的装载器500的各个手部510没有进入盒100，所以该距离无需大于各手部510的厚度。
由此，单独的盒100可以容纳尽可能多的基板。
接下来，将参照附图2和3说明储料器200。
储料器200是存储有盒100的部分，并且具有其上放置盒100的架210。
此外，储料器200进一步优选地包括用于升降架210的升降机220。
这是为了保持将基板1从盒100取出处的高度统一。
在这种情况下，如果升高架210，则任何设备可以用作升降机220。换言之，升降机可以是使用步进电机的设备、使用滚珠螺杆的设备以及其它各种设备。
在本发明的此优选实施例中，提供升降机220作为使用滚珠螺杆的示例。
为此，升降机220包括与架210的横面(lateral side)耦合的耦合支架221、穿透各耦合支架221中的任何一个的滚珠螺杆，以及用于旋转滚珠螺杆222的驱动电机223。
具体地，储料器220优选地进一步包括用于支持架210的提升的支承单元230。
该支承单元230防止当架210被提升时架210向某一方向倾斜，并且引导架210的平滑提升。换言之，架210的四个角可以被支承单元230所支承。
在这种情况下，优选地，支承单元230包括用于支承架210的四个角的线性运动(LM)引导装置231，以及形成在架210的四个角处并且使得LM引导装置231穿过其中的引导支架232。
接下来，处理进展单元600。
处理进展单元600是用于接纳各盒100中的基板1的部分，并且用于进行制造平板显示器的处理。
在这种情况下，处理进展单元600包括在制造平板显示器时使用的至少一个设备(如装配设备、曝光设备、分注器(dispenser)等)。
接下来，将参照附图4说明装载器500。
装载器500布置在储料器200与处理进展单元600之间，并且直接接纳存储在储料器200中的盒1中的各基板1，以将其转移到处理进展单元600。
装载器500包括主体510和至少两个手部520。
在这种情况下，主体510优选地旋转。
此外，各手部520耦合到主体510的周围，并且基板1装载在手部520上。
具体地，各手部520中的至少一个优选地还包括至少一个辊530。
多个辊530优选地安装在手部520的纵向上。优选地，辊530的上侧的水平面(level)几乎等于其它手部520的上侧的水平面。
不必说，手部520可以还包括用于驱动辊530的驱动电机(未示出)。
此外，优选地，各手部520还包括用于吸附其上所装载的基板1的吸附部分。这是为了防止由于转移基板1的过程中装载器500的震动而使得基板1与各手部520分离。
吸附单元包括：穿过各手部520的上侧的真空孔541；用于产生吸气力的真空泵(未示出)；以及用于将吸气力传送到真空孔541的真空通道(未示出)。
此外，优选地，各手部520还包括用于向上排气的排气单元。这是为了防止基板1在装载到各手部520上的过程中被各手部520擦划。
排气口包括：穿过各手部520的上侧的排气孔551；用于产生排气力的排气泵(未示出)；以及用于将排气力传送到排气孔551的空气通道(未示出)。
在这种情况下，排气孔551优选地形成在各手部520的纵向上的这些真空孔541的其它位置中。
接下来，将参照附图2和3说明取出单元300。
取出单元300被构造为从盒100取出各基板1并且将该基板1装载到各手部520的上侧，取出单元300的数量为至少一个。
取出单元300包括框架310、滚动单元320和驱动单元(未示出)。
这里，框架310被构造为布置在储料器200的架210的下侧，并且用于形成取出单元300的主体，框架310的数量优选地为至少一个。
此外，滚动单元320是安装在框架310上侧上以进行滚动的多个辊。沿着框架310的纵向设置至少一个(优选地为多个)滚动单元320。
此外，驱动单元用作用于驱动滚动单元320的电源。
在这种情况下，驱动单元优选地包括常规电机。
具体地，当框架310的数量是多个，则驱动单元可以设置在所有或者一些滚动单元320中。不必说，驱动单元可以被构造为使得所有滚动单元通过带或者链相互连接，并且单独的驱动单元同时驱动整个滚动单元320。
在本发明的优选实施例中，驱动单元分别安装在各框架310中。
下面，将详细说明使用根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备将容纳在盒100中的基板1运送到处理进展单元600的处理。
首先，将盒100设置在储料器200的架210上。此时，可以通过图中未示出的独立的装载器或者运输机将盒100载运到架210上。
此外，将多个基板1以在其间保持预定距离的方式容纳在盒100中。这在附图3中示出。
在这种状态下，当处理被进行时，装载器500被驱动，并且装载器500的各手部520被置于面对储料器520并且准备来接纳基板1。
此时，将各手部520置于与取出单元300的滚动单元320的高度大致相等的高度，并且各手部520的末端位于取出单元300的基板取出侧。
当完成了以上顺序处理时，升降机220的驱动电机223被驱动以旋转滚珠螺杆222，从而其中耦合支架221与滚珠螺杆222相耦合的架210根据滚珠螺杆222的旋转而向下移动。此时，支承单元230的引导支架232由各LM引导装置231所支承，从而使架210稳定地向下移动。
架210的向下行进距离是直到容纳在盒100中的基板1中的位于最低处的基板1与取出单元300的滚动单元320相接触时的距离。如果容纳在盒100中的基板1的最低处的基板1位于盒100的中间位置的附近，则升降机220被驱动以得到图5所示的状态。该距离优选地由独立位置传感器(未示出)来检查。
当架210的向下运动完成时，取出单元300的驱动单元(未示出)被驱动，并且滚动单元320被驱动。
通过这样，将与滚动单元320的上侧接触的基板1从盒100取出，并且被进一步设置在装载器500的各手部520的上侧。该状态在图2中示出。
此外，在这种状态下，装载器500对在各手部520中设置的排气单元进行控制以驱动排气泵，从而经由排出孔551排出空气。
由此，设置在各手部520上侧上的基板1不与各手部520的上侧接触，从而防止基板1被各手部520的上侧擦划。
此外，这样，通过设置在各手部520中的至少一个上的辊520，将设置在各手部520的上侧上的基板1更加稳定地装载到各手部520的上侧上。
当完成了将基板1装载到各手部520的上侧时，装载器500停止排气泵并且控制吸气单元以驱动真空泵，从而经由真空孔541提供吸气力。
通过这样，基板1被吸附并被固定在各手部520的上侧，并且即使装载器500移动也防止基板1滑动(flow)。
此后，装载器500旋转180度，并且将基板1转移到处理进展单元600。该状态在图6中示出。
装载器500在将基板1转移到处理进展单元600的过程中控制升降机，以使得盒200的架210被驱动以逐步向下移动。不必说，此时，优选地不驱动取出单元300的驱动单元。
因此，重复进行上述顺序处理，从而将容纳在盒100中的基板1运送到处理进展单元600，并且对其进行相应的处理。
按照与基板1的装载处理相反的顺序，将在处理进展单元600中经完全处理的基板1容纳在盒100中。
换言之，通过装载器500将经完全处理的基板1从处理进展单元600提供给取出单元300，并且将放置在装载器500的各手部520的上侧上的基板1进一步从盒1的最上侧相继容纳在盒1中。
同时，当将根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备的储料器200与取出单元300形成为一体时，只可将该单独的储料器200应用于制造每个平板显示器的处理。
换言之，当取出单元300与储料器200形成为一体时，储料器200用于容纳盒100，并且用于相继地取出容纳在盒100中的基板1或者将从外部传送的基板1相继容纳在盒100内。
此外，可以将根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备的装载器500作为单独的设备应用于制造每个平板显示器的处理。
换言之，装载器500被构造为使得在各手部520中的任何一个的上侧上设置至少一个辊，从而可以防止由于当接纳或者提供基板1时基板1与各手部520的上侧之间的接触而使基板1被擦划。
此外，由于各手部520包括用于向上排气的排气单元，所以防止基板被擦划的功能不会失败。
此外，根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备的储料器200可以被构造为使得架210不会提升。换言之，取出单元300被构造为提升框架310，从而可以获得与架210提升相同的效果。
如上所述，根据本发明优选实施例的用于制造平板显示器的设备可以被按照各种方式来修改和变化，并且因为该设备的多个单独部件可以应用于其它设备，所以本发明的用于制造平板显示器的设备非常有用。
如上所述，根据本发明的用于制造平板显示器的设备，可以获得以下效果。
首先，根据本发明的用于制造平板显示器的设备，去除了用于将盒中的基板传送到装载器的台，并且尽可能地减少了椭圆形痕迹。
其次，根据本发明的用于制造平板显示器的设备，在转移基板的过程中，防止基板与装载器的各手部接触而被擦划，从而提高了生产率。
第三，根据本发明的用于制造平板显示器的设备，使转移基板所需的时间最短。
第四，根据本发明的用于制造平板显示器的设备，可以使容纳在盒中的基板的数量最大化。
第五，根据本发明的用于制造平板显示器的设备，可以单独地使用储料器和装载器，并且它们可以应用于其它各种处理设备，从而可以增加本发明的制造设备的利用率。对于本领域技术人员很显然，可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下进行各种修改和变型。由此，本发明旨在覆盖本发明的修改和变型，只要它们落入所附权利要求及其等价物的范围之内。
本申请要求于2005年12月29日提交的韩国专利申请No.10-2005-133997的优先权，在此通过引用并入其全部公开。

Claims (26)

1、一种用于制造平板显示器的设备，包括：
盒，用于容纳多个基板；
具有多个架的储料器，在这些架上装载有盒；
处理进展单元，用于接纳盒中的各个基板并且用于进行处理；
装载器，具有至少两个手部并且设置在储料器与处理进展单元之间，以将在储料器上的盒中容纳的各基板提供给处理进展单元；以及
至少一个取出单元，用于从盒中取出各基板，并将各基板提供给装载器的至少一个手部。
2、根据权利要求1所述的用于制造平板显示器的设备，其中所述盒包括：
主体，用于形成外观并且具有开口的底部；以及
多个装载突出部，在纵向上设置在主体内侧壁中，在这些装载突出部上装载有基板。
3、根据权利要求1所述的用于制造平板显示器的设备，其中所述储料器进一步包括用于提升架的升降机。
4、根据权利要求3所述的用于制造平板显示器的设备，其中所述升降机包括：
耦合支架，分别与架的侧面耦合；
滚珠螺杆，穿过各耦合支架中的任何一个；以及
驱动电机，用于驱动滚珠螺杆。
5、根据权利要求3所述的用于制造平板显示器的设备，其中所述储料器还包括用于支承所述架的提升的支承单元。
6、根据权利要求5所述的用于制造平板显示器的设备，其中所述支承单元包括用于支承所述架的四个角的线性运动引导装置。
7、根据权利要求1所述的用于制造平板显示器的设备，其中所述装载器的手部中的至少一个包括至少一个辊。
8、根据权利要求1所述的用于制造平板显示器的设备，其中所述装载器的各手部包括用于吸附装载在其上的基板的至少一个吸附单元。
9、根据权利要求8所述的用于制造平板显示器的设备，其中所述吸附单元包括：
真空孔，穿过各手部的上侧；
真空泵，用于生成吸气力；以及
真空通道，用于将吸气力传送到真空孔。
10、根据权利要求8所述的用于制造平板显示器的设备，其中所述装载器的各手部还包括用于向上排气的排气单元。
11、根据权利要求10所述的用于制造平板显示器的设备，其中所述排气单元包括：
排出孔，穿过各手部的上侧；
排气泵，用于产生排气力；以及
空气通道，用于将排气力传送到排出孔。
12、根据权利要求1所述的用于制造平板显示器的设备，其中取出单元包括：
设置在所述储料器的架下侧的框架；
安装在要滚动的框架的上侧的至少一个滚动单元；以及
驱动单元，用于使滚动单元滚动。
13、一种制造平板显示器用设备的储料器，包括：
支架，其上放置有容纳了多个基板的盒；
设置在架下侧的框架；
安装在框架上侧的至少一个滚动单元；
用于使滚动单元滚动的驱动单元；以及
用于提升架的提升单元。
14、根据权利要求13所述的制造平板显示器用设备的储料器，其中所述提升单元包括：
耦合支架，分别与架的侧面耦合；
滚珠螺杆，穿过各耦合支架中的任何一个；以及
驱动电机，用于驱动滚珠螺杆。
15、根据权利要求13所述的制造平板显示器用设备的储料器，还包括用于支承架的提升的支承单元。
16、根据权利要求15所述的制造平板显示器用设备的储料器，其中所述支承单元包括用于支承架的四个角的线性运动引导装置。
17、一种制造平板显示器用设备的装载器，包括：
主体；
至少两个手部，与该主体耦合以将基板装载在其上侧上；以及
至少一个辊，设置在各手部的至少一个的上侧。
18、根据权利要求17所述的制造平板显示器用设备的装载器，其中各手部包括用于吸附装载在其上的基板的至少一个吸附单元。
19、根据权利要求18所述的制造平板显示器用设备的装载器，其中吸附单元包括：
真空孔，穿过各手部的上侧；
真空泵，用于产生吸气力；以及
真空通道，用于将吸气力传送到真空孔。
20、根据权利要求18所述的制造平板显示器用设备的装载器，其中装载器的各手部还包括用于向上排气的排气单元。
21、根据权利要求20所述的制造平板显示器用设备的装载器，其中排气单元包括：
排出孔，穿过各手部的上侧；
排气泵，用于产生排气力；以及
空气通道，用于将排气力传送到排出孔。
22、根据权利要求17所述的制造平板显示器用设备的装载器，还包括用于驱动所述至少一个辊的驱动电机。
23、一种制造平板显示器的方法，包括以下步骤：
(1)将其中容纳有多个基板的盒提供给储料器的架；
(2)通过驱动在储料器中安装的取出单元并且将取出的基板提供给储料器，来相继取出盒中的各基板；以及
(3)控制装载器以将所接纳的基板提供给处理进展单元。
24、根据权利要求23所述的制造平板显示器的方法，其中当在步骤(2)中由取出单元相继取出了各基板时，架控制子以逐步向下移动。
25、根据权利要求23所述的制造平板显示器的方法，还包括步骤(4)，控制排气单元以将空气朝向在步骤(2)中使用装载器所接纳的基板的下侧排出。
26、根据权利要求23所述的制造平板显示器的方法，还包括步骤(5)，控制吸附单元，从而当通过执行步骤(2)而将基板提供给装载器时使用装载器将所接纳的基板吸附并固定在各手部的上侧。
CN200610100375A 2005-12-29 2006-06-30 用于制造平板显示器的设备 Expired - Fee Related CN100592157C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050133997A KR101192751B1 (ko) 2005-12-29 2005-12-29 평판표시장치 제조 장비 및 이를 이용한 평판표시장치 제조방법
KR1020050133997 2005-12-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1991490A true CN1991490A (zh) 2007-07-04
CN100592157C CN100592157C (zh) 2010-02-24

Family

ID=38213856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200610100375A Expired - Fee Related CN100592157C (zh) 2005-12-29 2006-06-30 用于制造平板显示器的设备

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7857571B2 (zh)
JP (1) JP2007182325A (zh)
KR (1) KR101192751B1 (zh)
CN (1) CN100592157C (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101726903B (zh) * 2008-10-13 2013-04-24 华映视讯（吴江）有限公司 治具
CN112010040A (zh) * 2020-08-10 2020-12-01 Tcl华星光电技术有限公司 基板传送装置
CN112456148A (zh) * 2020-12-04 2021-03-09 九江华秋电路有限公司 一种用于pcb板加工的自动上料装置

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090016862A1 (en) * 2007-07-12 2009-01-15 Gould Richard H Method and apparatus for providing flat panel display environmental isolation
JP5459268B2 (ja) * 2011-06-15 2014-04-02 株式会社安川電機 基板搬送用ハンドおよび基板搬送用ハンドを備えた基板搬送装置
KR101394482B1 (ko) * 2012-01-31 2014-05-14 (주)에스티아이 기판 처리장치
US20140037405A1 (en) * 2012-07-31 2014-02-06 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co. Ltd. Warehouse System
CN102773641B (zh) * 2012-08-08 2014-09-03 成都先进功率半导体股份有限公司 一种焊线机下料部料盒承载装置
CN102897536B (zh) * 2012-11-02 2015-04-15 深圳市华星光电技术有限公司 用于搬运平板的传输系统及其机械装置和搬运方法
CN203601864U (zh) * 2013-10-24 2014-05-21 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 输送装置
KR101921481B1 (ko) 2017-03-17 2018-11-26 주식회사 에스에프에이 마스크 스토커
CN116926513B (zh) * 2023-09-15 2024-01-09 广州市艾佛光通科技有限公司 一种pecvd设备

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01297835A (ja) 1988-05-25 1989-11-30 Nec Kyushu Ltd ウェーハ受け渡し装置
US5036951A (en) * 1990-06-04 1991-08-06 Frangos John W Elevator-type storage system
DE4416103C2 (de) * 1994-04-19 1999-01-07 Bellheimer Metallwerk Gmbh Hochregal
JP2000289979A (ja) 1999-04-05 2000-10-17 Toray Ind Inc 垂直搬送装置および垂直搬送方法並びに薄膜付き基板の製造装置および製造方法
JP2003095409A (ja) 2001-09-21 2003-04-03 Tani Electronics Corp プリント基板用ストッカー
US7040525B2 (en) 2002-03-20 2006-05-09 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Stage structure in bonding machine and method for controlling the same
CN1325981C (zh) 2002-03-20 2007-07-11 Lg.菲利浦Lcd株式会社 粘合机中的工作台结构及其控制方法
JP2004179580A (ja) 2002-11-29 2004-06-24 Daiichi Shisetsu Kogyo Kk 板状部材の搬送装置
JP2004266014A (ja) 2003-02-28 2004-09-24 V Technology Co Ltd 平板状ワークの作業装置
KR100555620B1 (ko) 2003-10-28 2006-03-03 주식회사 디엠에스 기판 운반시스템 및 운반방법
JP4731815B2 (ja) 2004-01-23 2011-07-27 株式会社日立プラントテクノロジー 基板収納装置
JP4495509B2 (ja) 2004-04-30 2010-07-07 株式会社ダイヘン トランスファロボット
JP4608954B2 (ja) 2004-06-09 2011-01-12 株式会社Ｉｈｉ 搬送装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101726903B (zh) * 2008-10-13 2013-04-24 华映视讯（吴江）有限公司 治具
CN112010040A (zh) * 2020-08-10 2020-12-01 Tcl华星光电技术有限公司 基板传送装置
CN112456148A (zh) * 2020-12-04 2021-03-09 九江华秋电路有限公司 一种用于pcb板加工的自动上料装置

Also Published As

Publication number Publication date
US7857571B2 (en) 2010-12-28
CN100592157C (zh) 2010-02-24
KR20070070950A (ko) 2007-07-04
JP2007182325A (ja) 2007-07-19
KR101192751B1 (ko) 2012-10-18
US20070154298A1 (en) 2007-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1991490A (zh) 用于制造平板显示器的设备及制造该平板显示器的方法
CN1274567C (zh) 基片传送装置、取出基片的方法和容纳基片的方法
CN1284710C (zh) 在水平和垂直方向输送衬底的装置
CN1304247C (zh) 基片容纳托盘平板架及基片传送系统
CN1611429A (zh) 平板显示器传送系统和方法
CN1941314A (zh) 基板处理装置以及基板搬送方法
CN1924660A (zh) 基板处理装置、负载锁定室单元和搬送装置的搬出方法
CN101801645B (zh) 粘合基板制造装置和粘合基板制造方法
CN1532128A (zh) 基板搬运系统
CN1574271A (zh) 基板运送装置和基板运送方法以及真空处理装置
CN1725076A (zh) 制造平板显示器的系统和方法
CN103303676A (zh) 一种取放大尺寸液晶基板的自动化设备
CN1780542A (zh) 面板组装装置及面板组装方法
CN1699126A (zh) 用于传送面板的装置
CN1718521A (zh) 基板处理装置
CN1925126A (zh) 升降机构及搬送装置
CN1403352A (zh) 货物搬运设备
JP2010149962A (ja) 液晶ガラス基板搬送装置
CN1574272A (zh) 基板输送装置和基板输送方法及真空处理装置
CN1296145C (zh) 基板处理装置、涂敷装置及涂敷方法
CN1847117A (zh) 叠层基板输送装置
CN1577720A (zh) 输送和处理衬底的对接型系统和方法
CN1728356A (zh) 基板处理装置
CN101033037A (zh) 堆垛机
CN1903683A (zh) 基板处理装置及处理方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100224

Termination date: 20210630

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee