CN1304247C - 基片容纳托盘平板架及基片传送系统 - Google Patents

Abstract

一种基片容纳托盘平板架，以水平状态装基片，并包括用于插入基片取出工具的开口，该基片取出工具用于升高该基片，该基片容纳托盘平板架用于传送可被垂直叠放的基片容纳托盘，其中：该基片容纳托盘能被装到一上表面上；用于插入基片取出工具的开口，其位置与所安装的基片容纳托盘的开口相对。

Description

基片容纳托盘平板架及基片传送系统

技术领域

本发明涉及一种用于运输及传送基片的基片容纳托盘平板架，以及一种使用该基片容纳托盘平板架的基片传送系统。该基片例如可以是一种显示器玻璃基片，它可被用作液晶显示器装置或其它设备的显示面板。

背景技术

用于液晶显示装置的显示面板通常包括一对相对而置并被密封在一起的显示玻璃基片和一种被密封在这对玻璃基片之间的液晶材料。近来，厚度为0.7毫米或更小的玻璃基片被广泛地用于这种显示面板上。由于玻璃基片的尺寸在不断增加，因此被运送到显示面板生产工厂的该玻璃基片的平面面积也在不断增加，甚至于已经采用了边长为1.3米或更大的玻璃基片。

这种面积大且厚度薄的玻璃基片很容易弯曲并可能破裂。于是，搬运该玻璃基片是很困难的。因此，存在的一个问题是不可能以高效率来运送大量的玻璃基片。为解决该问题，日本特开平10-287382公开了一种基片容纳托盘，其用于容纳一个玻璃基片。该基片托盘盒的基片容纳部具有网格结构。该基片容纳托盘被构造成能够使大量基片容纳托盘垂直叠放。这种基片容纳托盘可容许面积大、厚度薄的基片被容纳在该托盘中而不弯曲，并在基片的运输过程中不破裂。由于大量基片托盘盒为运输和储存目的可被垂直叠放，因此空间效率可被提高，于是大量的玻璃基片可被有效地运输。

当大量垂直叠放的基片容纳托盘被运输时，大量垂直叠放的基片容纳托盘通常被安装到一平板架上，用于将其转运到卡车上和运输到生产工厂。

当大量叠放的基片容纳托盘被运送到生产工厂时，有必要将该垂直叠放的基片容纳托盘彼此相互分离，从而将基片从每一基片容纳托盘中取出。为了能够从每一基片容纳托盘中取出玻璃基片，例如可以采用下面的方法。每一基片容纳托盘都包括一位于底部上的开口。一具有销子状的基片取出工具被插入通过该开口，升起容纳在该基片容纳托盘内的玻璃基片。该基片通过具有手臂形状的基片传送设备被取出。

在该情形下，有必要将该垂直叠放的基片容纳托盘一个一个地分开并将已被分开的基片容纳托盘传送到基片取出工具所处的位置。因此，该操作效率较低。

而且，用于插入基片取出工具并设置在基片容纳托盘上的开口在该基片容纳托盘的运输过程中可能会使灰尘或其它东西进入到该基片容纳托盘中。这将导致容纳在基片容纳托盘内的玻璃基片受到污染。

发明内容

根据本发明的一方面，提供了一种基片容纳托盘平板架，以水平状态装基片，并包括用于插入基片取出工具的开口，该基片取出工具用于升高该基片，该基片容纳托盘平板架用于传送可被垂直叠放的基片容纳托盘，其中：该基片容纳托盘能被装到一上表面上；用于插入基片取出工具的开口，其位置与所安装的基片容纳托盘的开口相对。

在本发明的一个实施例中，基片取出工具插入开口通过活门部件开启/关闭。

在本发明一实施例中，一基片容纳托盘平板架在其上表面上设置有多个用于容纳基片的基片容纳托盘，所述基片容纳托盘平板架用于传送该基片容纳托盘，所述平板架包括：垂直贯穿的基片取出工具插入开口，用于从基片容纳托盘处取出基片，该插入开口允许基片取出工具将容纳在基片容纳托盘内的基片取出；活门部件，用于开启/关闭基片取出工具的插入开口。

在本发明一实施例中，一基片容纳托盘平板架，在其上表面上设置有多个用于容纳基片的基片容纳托盘，该基片容纳托盘平板架用于传送该基片容纳托盘，所述平板架包括：一平板架体，其包括垂直贯穿的平板架体开口；及活门体，其位于所述平板架体的上表面上，并包括与所述平板架体开口相对设置的活门体开口，其中：所述平板架体开口和所述活门体开口构成了用于插入基片取出工具的插入开口，该基片取出工具用于移动容纳在基片容纳托盘内的基片，该活门体包括用于开启/关闭该基片取出工具插入开口的活门部件。

在本发明一实施例中，所述活门部件以一水平方向滑动以便开启/关闭所述基片取出工具的插入开口。

在本发明一实施例中，一基片容纳托盘平板架，其包括：施力部分，其用于沿能够使基片取出工具插入开口关闭的方向对所述活门部件施加作用力；及活门开启/关闭机构，其能够在外力的作用下克服力施加部分的力沿着可将该基片取出工具插孔打开的方向使所述活门部件滑动。

在本发明一实施例中，所述活门开启/关闭机构包括与所述活门部件相连接的线及多个操作工具，这些操作工具用于使所述活门部件滑动，以便在外力作用下通过牵引该线而开启所述基片取出工具插入开口。

在本发明一实施例中，所述活门部件位于所述活门体开口的上方并且可沿垂直方向旋转，以开启/关闭所述活门体开口。

在本发明一实施例中，所述活门部件通过插入到所述基片取出工具插入开口内的基片取出工具而得以支撑，并且该活门部件向上旋转以便开启所述基片取出工具插入开口。

根据本发明另一方面，提供了一种基片传送系统，其包括上述基片容纳托盘平板架，基片取出工具，以及一移动部分，该移动部分用于将所述基片容纳托盘平板架移动到基片取出工具所在的多个位置上，，所述系统包括：一施压部分，当所述移动部分将基片容纳托盘平板架移动到基片取出工具所处的位置时，该施压部分接触所述操作工具并推动该操作工具，所述施压部分以能够使活门部件滑动的方式推动所述操作工具，以便开启所述基片取出工具开口。

根据本发明的表面容纳托盘平板架包括多个用于插入基片取出工具的开口，该基片取出工具用于取出容纳在基片容纳托盘内的基片。因此，为了从垂直叠放的表面容纳托盘处取出基片，没有必要从表面容纳托盘平板架处移开该基片容纳托盘。这提高了从表面容纳托盘处取出基片的效率。该表面基片容纳托盘平板架还包括活门部件，其用于开启/关闭用于插入基片取出工具的开口。于是，在运输或传送基片容纳托盘的过程中，容纳在基片容纳托盘内的基片将不会受到不必要的污染。

因此，此处所描述的本发明具有如下优点：(1)提供一基片容纳托盘平板架，其优选地用于以高效率从大量基片容纳托盘处取出基片，每一该基片容纳托盘都容纳一基片；(2)提供一种可以防止尘土进入基片容纳托盘内的基片容纳托盘平板架，这样当多个分别容纳有一基片的基片容纳托盘被垂直叠放时及在其被运输或传送时，就能够防止容纳在基片容纳托盘内的基片受到污染；以及一基片传送系统，其能以一高效率方式从垂直叠放的基片容纳托盘中取出基片，每一该基片容纳托盘中都容纳有一个基片。

本领域普通技术人员在参照附图并阅读和理解下述详细说明后，本发明的这些及其它优点将变得更加明显。

附图说明

图1是一平面图，其示出了根据本发明可用于基片传送设备的基片容纳托盘的一个例子。

图2是该基片容纳托盘的透视图。

图3是该基片容纳托盘的剖视图。

图4是垂直叠放的基片容纳托盘的剖视图。

图5是一平面图，其示出了根据本发明一实施例的基片容纳托盘平板架的一个实例。

图6是该基片容纳托盘平板架的前视图。

图7是示出基片容纳托盘平板架操作的平面图。

图8是一平面图，其示出了根据本发明一基片传送系统的一个实例。

图9是该基片传送系统的前视图。

图10是该基片传送系统的一侧视图。

图11是显示该基片传送系统操作的示意图。

图12是显示该基片传送系统操作的示意图。

图13是显示该基片传送系统操作的示意图。

图14是显示该基片传送系统操作的示意图。

图15是显示该基片传送系统操作的示意图。

图16是显示该基片传送系统操作的示意图。

图17是显示该基片传送系统操作的示意图。

图18是显示该基片传送系统操作的示意图。

图19是显示该基片传送系统操作的示意图。

图20是显示该基片传送系统操作的示意图。

图21是本发明基片容纳托盘平板架另一实例的剖视图。

具体实施方式

下面，将参照附图对本发明的实施例作出描述。

根据本发明的基片容纳托盘平板架用于运输或传送基片。该基片例如可以是显示器的玻璃基片，其用于液晶显示装置或类似装置的显示面板。首先，将对利用根据本发明的基片容纳托盘平板架来传送基片容纳托盘的操作加以说明。

图1是根据本发明一实例的基片容纳托盘10的俯视图；图2是该基片容纳托盘10的透视图；图3是沿图1中A-A线的该基片容纳托盘10的剖视图。基片容纳托盘10用于容纳用于液晶显示面板的玻璃基片。特别地，该托盘用于容纳边长为1.3m或更长及厚度为0.7mm或更小的玻璃基片，以进行运输或传送。

基片容纳托盘10由泡沫聚乙烯树脂或类似物质整体模制而形成一薄的矩形平行六面体。该基片容纳托盘10包括：一矩形底部11，玻璃基片20能够以水平方式装在该底部上；以及一框架12，该框架沿着底部11的整个周边设置并向上凸出。该底部11可以和框架12由泡沫聚乙烯树脂或合成树脂泡沫材料或类似物质整体模制而成。该框架12可沿底部11的整个周边设置，这样该框架12环绕至少一部分玻璃基片20。该底部11可通过金属或其它材料来加固。

底部11具有一稍大于玻璃基片20的矩形外形，其厚度为例如15mm。该玻璃基片20装在该底部11的上表面上。

在底部11的角附近和沿着四边位于底部11角之间的中间位置处，形成有正方形开口11a。该正方形开口11a还形成在该底部11的中心处。这样，该底部11具有九个排列成3×3矩阵的开口11a。开口11a设置在该底部11上，所以基片取出工具可被插入其中。该基片取出工具用于从基片容纳托盘10取出安装在该底部11上的玻璃基片20。

框架12沿底部11的整个周边设置，具有大约30mm的宽度。该框架12凸出一高度，该凸出高度高于底部11上表面约5mm。框架12环绕着被安装在底部11上的玻璃基片20的整个周边，沿水平方向距离玻璃基片20的边缘适当的距离。

啮合部分13沿该框架12的整个周边设置。该啮合部分13凸出一高度，该高度高于框架12的上表面。该啮合部分13的宽度为例如30mm，并从该框架12处水平地向外凸出。该啮合部分13具有矩形断面，其能够与用于夹紧的夹盘钉相啮合。该夹盘钉用于将基片容纳托盘10传送到指定位置。

啮合部分13的上表面处于水平状态，位于框架12的外部及其上表面之上。该框架12具有设置在该啮合部分13上表面和框架12上表面之间的台阶部分。该台阶垂直于框架12的顶面。该台阶沿该框架12的整个周边形成了定位部分14。

在具有上述结构的基片容纳托盘10中，玻璃基片20(例如，用于液晶面板的玻璃基片，具有0.7mm或更小的厚度)被容纳在该具有开口11a的底部11的上表面上。不含有电极或类似东西的液晶面板的玻璃基片20的一个表面与该底部11的上表面相接触。该底部11稍大于将要被容纳的玻璃基片20，这样，玻璃基片20被装在该底部11上，距离该框架12的边缘处有适当的距离。

如图4所示，多个基片容纳托盘10中的每一个都容纳有一玻璃基片20，该基片容纳托盘可垂直叠放并以该状态被运输或传送。上部基片容纳托盘10的框架12的底部11的底端与下部基片容纳托盘10的定位部分14相啮合。该定位部分14是位于下部基片容纳托盘10的啮合部分13的上表面和该框架12的上表面之间的台阶。该垂直叠放的基片容纳托盘10不会在水平方向上相对滑动。

例如，多个(例如，约60个)基片容纳托盘10中的每一个都容纳有一玻璃基片20，该基片容纳托盘可垂直叠放并被运输或传送。最上层的基片容纳托盘10的底部11的底端与设置在位于下层的基片容纳托盘10上端部的定位部分14相啮合。因此，设置在最上层基片容纳托盘10的框架12上部的啮合部分13与设置在位于下层的基片容纳托盘10的框架12上部的啮合部分13之间具有一适当空间。

根据本发明的该基片容纳托盘平板架可用于运输具有上述结构的基片容纳托盘。

图5是根据本发明一实例的基片容纳托盘平板架的平面图。图6是其前视图，图7是示出操作该基片容纳托盘平板架的平面图。

本发明的基片容纳托盘平板架A包括一平面平板架体70及一设置在该平板架70上的活门体80。

该活门体80包括一框架82。该框架82与上述设置在基片容纳托盘10上的框架12具有相似的结构。该基片容纳托盘10的框架12的底端叠放在框架82上，确定了框架12和框架82之间的位置关系。

框架82具有矩形外形并被一对增强框架83平均分隔为三个区域。由该增强框架83所分隔的框架82的区域包括第一、第二和第三平板81x、81y和81z。平板81x至81z覆盖框架82的整个区域。平板81x-81z的圆周部分被整体连接到框架82上，该框架82环绕平板81x-81z以及该增强框架83。

如图7所示，平板81x至81z分别包括在纵向中间位置处的活门体开口81b以及在纵向端部的活门体开口81c。当基片容纳托盘10被安装到活门体80上时，该活门体开口81b和81c分别与基片容纳托盘10的底部上的开口11a对准并相对而置。设置在第一平板81x上的三个活门体开口81b和81c以及设置在框架82两边的第三平板81z沿着框架82的侧边设置。设置在位于框架82中央的第二平板81y上的三个活门体开口81b和81c沿宽度方向定位在该第二平板81y的中央部分上。

位于平板81x至81z端部上的每一活门体开口81c具有一正方形外形，因此，基片取出工具34(见图7)可被插入到每一该活门体开口81c中。设置在平板81x至81z中央位置处的活门体开口81b具有一矩形外形，因此，一对基片取出工具34可被插入到每一该活门体开口81b中。该活门体开口81b的长边沿平板81x至81z的纵向延伸。在每一平板81x至81z上的三个活门体开口81b和81c分别通过第一、第二和第三活门体部件84x至84z开启/关闭。

每一活门部件84x至84z都具有矩形外形且其长度稍短于平板81x至81z的长度，因此在平板81x至81z端部上的活门体开口81c可被活门体部件84x至84z的端部覆盖。导轨85沿垂直于活门体部件84x至84z的纵轴方向设置在平板81x-81z两端上的开口81c的外侧。每一活门体部件84的两侧分别与该导轨85相啮合，使该活门体部件可以滑动。

导轨85设置在位于框架82两侧的第一和第三平板81x和81z上，分别从活门体开口81c的外侧向框架82中心部分的第二平板81y延伸。在平板81x和81z上的第一和第三活门体部件84x和84z位于该框架82的两侧，第一和第三平板81x和81z上的三个活门体开口81b和81c。活门体部件84x-84z沿导轨85从该处以彼此相对的方向朝着第二平板81y的中央滑动。于是，在第一和第三平板81x和81z上的三个活门体开口81b和81c分别被开启。

导轨85设置在位于框架82中央部分的第二平板81y上，而且对应于活门体开口81c被安装在在第三平板81z两端部上，因此，平板81y上的第二活门部件84y与第三平板81z上的第三活门部件84z可沿相同的方向滑动以便开启/关闭所有活门体开口81b和81c。

第一至第三平板81x-81z包括滑轨86，该滑轨86设置在两个位置处，从而沿纵向分割平板81x-81z。该滑轨平行于导轨85。滑块(未显示)被连接到平板81x-81z上活门部件84x-84z的底表面上。该滑块与滑轨86啮合而用于滑动。

一对拉簧88沿着可将所有活门体开口81b和81c关闭的方向牵引第一和第三平板81x和81z上的第一和第三活门部件84x和84z。在临近滑轨86处，拉簧88分别跨接在活门部件84x-84z和靠近该活门部件84x-84z的框架82之间的间隙。中央第二平板81y上的第二活门部件84y和第三平板81z上、与第二活门部件84y相同方向滑动的活门部件84z，通过连接线87a连接。第二活门部件84y和第三活门部件84a以一整体的方式滑动。通过牵引由连接线87a和一对拉簧88连接在一起的第三活门部件84z，该中心第二活门部件84y可被牵引。这样，在第二平板81y中心上的所有活门体开口81b和81c均被闭合。

通过第一牵引线87b，第一平板81x上的第一活门部件84x将第一平板81x上的所有活门体开口81b和81c开启。该第一牵引线87b穿过设置在中央第二平板81y上的第一套管87d延伸。该第一套管87d沿第二平板81y上的其中一个导轨85的外侧、第一平板81x上的导轨85的外侧以及靠近第一平板81x的框架82的纵向侧边延伸。第一牵引线87b的一端贯穿第一套管87d延伸，该套管87d连接到一滑动杆87f的基座部分。该滑动杆87f沿框架82的纵向设置，并可以滑动。

第二牵引线87c的一个端部被连接到该中央第二平板81y的第二活门部件84y之上。该第二牵引线87c牵引该第二活门部件84y从而开启该中央第二平板81上的所有活门体开口81b和81c。该第二牵引线87c贯穿设置在第一平板81x上的第二套管87e。该第二套管87e沿第一平板81x上的导轨85(与第一套管87d延伸时所沿着的同一导轨)的外侧、与第一套管87d一起、接近第一平板81x的框架82的纵边延伸。第二牵引线87c的一端部贯穿第二套管87，该套管87和第一牵引线87b一起被连接到滑动杆87f的基座部分。滑动杆87e沿框架82的纵轴方向设置，可以滑动。

当与第一牵引线87b相连接的第一活门部件84x通过用于牵引该第一活门部件84x的拉簧88将第一平板81x上的所有活门体开口81b和81c都关闭，与第二牵引线87c相连接的中央第二活门部件84y通过用于拉动该第三活门部件84z的拉簧88将中央第二平板81y上的所有活门体开口81b和81c打开时，滑动杆87f由第一和第二牵引线87b和87c牵引，并沿纵向从框架82处凸出。

当一外力施加到滑动杆87f时，滑动杆87f沿纵向滑动以致其不从框架82处凸出。从而，第一和第二牵引线87b和87c被牵引。第一平板81x上的第一活门部件84x和中央第二平板81y上的第二活门部件84y滑动，以便开启第一平板81x和第二平板81y上的所有活门体开口81b和81c。

当中央第二活门部件84y被第二牵引线87b牵引时，通过连接线87c与第二活门部件84y相连接的第三活门部件84z与第二活门部件84y整体滑动，以便开启第三平板81z上的所有活门体开口81b和81c。滑动杆87f是一用于使滑动部件84x-84z滑动的操作装置。第一和第二牵引线87b和87c由滑动杆87f牵引，滑动杆87f及类似物均是活门开启/关闭机构的一部分。

活门体80设置在平板架体70之上。平板架体70包括平板架体开口71(见图6)，该开口与活门体80的第一至第三平板81x-81z上的所有活门体开口81b和81c相对应。平板架体开口71以一垂直方向贯穿该平板架体70。上述基片取出工具34分别插入到该平板架体开口71中。平板架体开口71及上述活门体开口81b和81c形成了用于插入基片取出工具的开口。基片取出工具34被插入到该开口中。平板架体70包括在其每一侧面的侧面开口72。叉式升降机的叉子被插入到该侧面开口72中。

具有上述结构的基片容纳托盘平板架A被用于运输或传送多个(例如，约60个)垂直叠放的基片容纳托盘10，每一该托盘10容纳有玻璃基片20。

60个都容纳有玻璃基片20的基片容纳托盘10垂直叠放并被装在基片容纳托盘平板架A的活门体80上。最底层基片容纳托盘10的位置关系由活门体80的框架82来决定，并且其在水平方向上相对于彼此不滑动。在该情形下，通过活门部件84x-84z，基片容纳托盘平板架10的活门体80的所有活门体开口81b和81c被关闭。

当60个垂直叠放的基片容纳托盘10装在基片容纳托盘平板架A上时，基片容纳托盘平板架A可通过例如叉式升降机转移到卡车的货架上。在该情形下，由于基片容纳托盘平板架10的活门体80的所有活门体开口81b和81c都被关闭，最底层基片容纳托盘10的开口11a被活门体80以基本上密封的方式覆盖。因此，可阻止灰尘通过该开口11a进入最底层基片容纳托盘10。

用于覆盖位于基片容纳托盘10上表面的开口部分的盖子以基本上密封的方式连接到最上层的基片容纳托盘10。该盖子阻止灰尘从上表面进入到最上层的基片容纳托盘10中。垂直叠放的基片容纳托盘10具有通过其上层的基片容纳托盘10以一基本上密封的方式所覆盖的上表面，以及通过其下层的基片容纳托盘10以一基本上密封的方式所覆盖的开口11a。因此，容纳在每一基片容纳托盘内的玻璃基片20可被防止由灰尘或类似东西造成的污染。

以该方式，垂直叠放的基片容纳托盘10被装到基片容纳托盘平板架上，该平板架通过卡车运输到例如液晶显示装置生产工厂。

在液晶显示装置等的生产厂中，包括垂直叠放的基片容纳托盘10的基片容纳托盘平板架A被输送到生产厂并被转移到该生产厂的基片传送系统。

图8是基片传送系统机构的平面透视图，图9是其前视图。基片传送系统30包括一个支座31。在该支座31内，12个基片取出工具34中的每一个都具有销子的形状，它们被垂直定位。一升降台33以水平态设置在该支座31内，可被上下移动。包括垂直叠放基片容纳托盘10的基片容纳托盘平板架A被装到该升降台33上。基片取出工具34沿垂直方向贯穿该升降台33。

在支座31上，设置有一托盘保持单元32。该托盘保持单元32保持装到升降台33上的基片容纳托盘平板架A上的垂直叠放的基片容纳托盘10。

在支座31的侧面上，设置有一辊式输送机40。该辊式输送机40将包括垂直叠放基片容纳托盘10的基片容纳托盘平板架A移向支座31内的升降台33。升降台33向上移动到高于基片取出工具34时，该辊式输送机40的转移区与升降台33的上表面处于相同的高度。

该升降台33包括一施压板38。该施压板38抵靠基片容纳托盘平板架A的滑动杆87f并压滑动杆87f。施压板38设置在与辊式输送机40相反的一侧。当基片容纳托盘平板架A被输送到升降台33时，基片容纳托盘平板架A的滑动杆87f受到施压板38的压力而滑向一位置，不从基片容纳托盘平板架A的框架82凸出。于是，基片容纳托盘平板架A的活门体80的活门部件84x-84z滑动，从而开启所有活门体开口81b和81c。

托盘保持单元32包括一对彼此相对的托盘边保持部分32a。设置该托盘边保持部分32a的目的为用于保持垂直叠放的基片容纳托盘10的相对侧边。

每一托盘边保持部分32a包括一沿基片容纳托盘10的相应边水平设置的长形盘状支架32b，三个托盘边啮合部件32c等间隔地设置在该支架32b上。该支架32b沿设置在支座31的上表面上的一对滑轨32d是可滑动的，这样该支架32b靠近或远离容纳在托盘保持单元32内的基片容纳托盘10而移动。支架32b的这种运动由设置在支座31上表面上的液压缸32e驱动，该液压缸与每一托盘边啮合部件32c相对应。

设置在一个支架32b上的三个托盘边啮合部件32c与设置在另一个支架32b上的三个托盘边啮合部件32c彼此相应地面对。在面向相对的托盘边啮合部件32c的每一托盘边啮合部件32c的表面上，设置有多个啮合爪32f。该多个啮合爪32f为垂直排列，并分别与多个垂直叠放的基片容纳托盘10的啮合部分13相啮合。

一个托盘保持部分32a的液压缸32e与另一个托盘保持部分32a的液压缸32e被同步驱动。于是，这一对支架32b彼此同步地靠近或远离基片容纳托盘10而移动。设置在该对支架32b上的托盘边啮合部件32c，也彼此同步地靠近或远离基片容纳托盘10而移动。当托盘边啮合部件32c接近基片容纳托盘10时，设置在托盘边啮合部件32c上的啮合爪32f与基片容纳托盘10的啮合部分13相啮合。利用这种结构，可水平保持基片容纳托盘10。

设置在支座31内的升降台33包括一矩形框架33b，以及排列成网格的一对条棒33c和33d。该一对条棒33c基本上平行于支架32b而延伸，而该对条棒33d横跨并基本上垂直于条棒33c。条棒33d通过一支撑臂33e在其两端被支撑。该支撑臂33e被连接到一升降单元35。

在支座31内，设置有多个(本例中为12个)基片取出工具34，该基片取出工具与用于插入基片容纳托盘平板架A的所有基片取出工具的开口相对应。每一基片取出工具34被垂直设置，从而其贯穿装在升降台33上的、基片容纳托盘平板架A上的基片容纳托盘10的开口11a。

设置升降单元35的目的是用于升起和降下升降台33。借助于一升降部分33f，该升降单元35可用来整体升起和降下升降台33的多个支撑臂33e。该升降部分33f包括一滚珠丝杠机构。特别地，借助于一升降部分33f，升降单元35可用来整体升起和降下升降台33的多个支撑臂33e。该滚珠丝杠机构为一常用的形式，即，包括滚珠丝杠和与该滚珠丝杠相啮合的滑块。当该滚珠丝杠正向旋转时，升降台33向上移动；而当该滚珠丝杠反向旋转时，升降台33向下移动。升降单元35包括驱动马达35a和减速器35b。通过减速器35b，驱动马达35a的旋转被传递给滚珠丝杠机构。

具有上述结构的基片传送系统30的操作如下。在支座31内的升降台33被移动到最上层位置。所有基片取出工具34都位于该升降台33的下部。这是用于运输平板架的状态。此时，托盘保持部分32a的支架32b不会彼此接触。在每一支架32b上的三个托盘边啮合部件32c也不会彼此接触。随后，包括垂直叠放基片容纳托盘10的基片容纳托盘平板架A通过辊式输送机40传送。基片容纳托盘平板架A位于辊式输送机40之上，这样，滑动杆87f位于辊式输送机40传送方向的下游，并被传送。将要被该辊式输送机40传送的基片容纳托盘平板架A被装到支座31上的升降台33之上。

当基片容纳托盘平板架A被装到升降台33之上时，基片容纳托盘平板架A的滑动杆87f与位于辊式输送机40对向侧边上的施压板38相抵靠。滑动杆87f由施压板38推动，并滑动，因此其不从基片容纳托盘平板架A处凸出。连接到该滑动杆87f的第一和第二牵引线87b和87c被整体牵引。这样，基片容纳托盘平板架A的活门体80之上的第一至第三活门84x-84z开启第一至第三平板81x-81z的所有活门体开口81b和81c。

当基片容纳托盘平板架A的活门体80上的所有活门体开口81b和81c被开启时，如图11所示，除最底层基片容纳托盘10之外，升降台33的高度被调整，使基片容纳托盘10与设置在托盘边部件32c上的啮合爪32f相啮合。换句话说，该最底层基片容纳托盘10不与啮合爪32f相啮合。当升降台33的高度被这样调整时，支座31上表面上的液压缸32e彼此同步地被驱动，从而每一托盘保持部分32a上的三个托盘边啮合部件32c相互靠近。

于是，如图12所示，除最底层基片容纳托盘10之外，基片容纳托盘10通过啮合爪32f的啮合部分与其相啮合。除最底层基片容纳托盘10之外，基片容纳托盘10由托盘保持单元32保持。最底层基片容纳托盘10仍然保持在升降台33的基片容纳托盘平板架A之上，不被托盘保持单元32保持。

随后，如图13所示，升降台33通过升降单元35向下移动。装在该升降台33上的基片容纳托盘平板架A以及最底层基片容纳托盘10也向下移动。当升降台33向下移动时，设置在支座31内的基片取出工具34贯穿升降台33、以及装到该升降台33上的基片容纳托盘平板架A的用于插入基片取出工具的开口(该开口是打开的)，并且基片取出工具34被插入到最底层基片容纳托盘10的底部11的开口11a中。

当该升降台33进一步向下移动时，如图14所示，每一基片取出工具34的顶端接触容纳在最底层基片容纳托盘10内的玻璃基片20的底表面，该基片容纳托盘10装在升降台33上的基片容纳托盘平板架A之上。随后，当最底层基片容纳托盘10由基片取出工具34支撑时，玻璃基片20相对于该最底层基片容纳托盘10被提升。即，每一基片取出工具34的顶端位于最底层基片容纳托盘10的上方。(基片取出工具34相对于基片容纳托盘10向上移动。)当玻璃基片20被完全升高到最底层基片容纳托盘10的上方时，该玻璃基片20被水平保持在预定高度，而其仍然由基片取出工具34所支撑。

当玻璃基片20处于该状态时，升降台33停止。随后，玻璃基片20从基片取出工具34处被释放并通过一传送部件传送到一预定位置。

作为传送部件，例如可使用日本特开平No.2001-93969所描述的一种吸附臂。该吸附臂包括一对彼此平行并处于同一高度的吸附垫。每一吸附垫为一扁平板状外形并具有约20mm的厚度。该吸附垫能真空吸附玻璃基片20的底表面。该吸附臂如下操作。每一吸附垫被插入到被基片取出工具34升高并水平保持的玻璃基片20下方的位置，然后向上滑动。当玻璃基片20被置于该吸附臂上时，其被真空吸附到该吸附臂上。随后，该玻璃基片20被传送到预定位置。

当由基片取出工具34所保持的玻璃基片20如上文所述被移动时，升降台33通过升降单元35向上移动。于是，玻璃基片20从最底层基片容纳托盘10处被取走，该托盘10被装在基片容纳托盘平板架A上并与升降台33一起向上移动。如图15所示，最底层基片容纳托盘10接触次底层基片容纳托盘10(即，多个基片容纳托盘10中的最底层基片容纳托盘10通过托盘保持单元32保持)。随后，升降台33的向上移动停止。

如图16所示，支架32b由液压缸33e驱动而彼此远离对方移动。于是，垂直叠放的基片容纳托盘10的啮合部分13从与托盘保持部分32a的托盘边啮合部件32c的啮合状态释放，并且该啮合部分13依靠在基片容纳托盘10之上，而该托盘10装在升降台33的基片容纳托盘平板架A上。最底层的基片容纳托盘10不容纳玻璃基片20。预定数量的垂直叠放基片容纳托盘10坐落在升降台33的基片容纳托盘平板架A之上。

如图17所示，升降台33向下移动相应于一个基片容纳托盘10的距离。除不容纳有玻璃基片20的最底层基片容纳托盘10以及次底层基片容纳托盘10之外(即，最底层基片容纳托盘10包括在每一个托盘都容纳有一玻璃基片20的多个基片容纳托盘10中)，升降台33的高度被调整，从而基片容纳托盘10与啮合爪32f相啮合。当升降台33的高度被这样调整时，液压缸32e彼此同步地被驱动，从而托盘保持部分32a彼此靠近地移动。

这样，如图18所示，除不容纳有玻璃基片20的最底层基片容纳托盘10以及次底层基片容纳托盘10之外，基片容纳托盘10与设置在每一托盘保持部分32a上的三个托盘边啮合部件32c的相应啮合爪32f相啮合。除最底层及次底层基片容纳托盘10之外，基片容纳托盘10通过托盘保持单元32保持。最底层及次底层基片容纳托盘10保持在升降台33的基片容纳托盘平板架A上，而不被托盘保持单元32保持。

这样，升降台33通过升降单元35向下移动。设置在升降台33上基片容纳托盘平板架A上的最底层及次底层基片容纳托盘10也向下移动。当升降台33向下移动时，设置在支座31内的基片取出工具34贯穿该升降台33及基片容纳托盘平板架A，且该基片取出工具34被顺序插入到最底层及次底层基片容纳托盘10的开口11a中。

当升降台33进一步向下移动时，如图19所示，每一基片取出工具34的顶端接触容纳在次底层基片容纳托盘10内的玻璃基片20的底表面。随后，当次底层基片容纳托盘10通过基片取出工具34支撑时，玻璃基片20相对于该次底层基片容纳托盘10被提升。当玻璃基片20被完全提升到高于次底层基片容纳托盘10时，该玻璃基片20以预定高度被水平保持，并且其仍然被基片取出工具34所支撑。

当玻璃基片20处于该状态时，升降台33停止。随后，玻璃基片20从基片取出工具34处被释放并通过传送部件，例如吸附臂，传送到预定位置。

当玻璃基片20如上文所述被移动时，玻璃基片20已从最底层及次底层基片容纳托盘10处取出，但该最底层及次底层基片容纳托盘10仍保持在升降台33的基片容纳托盘平板架A之上。

通过重复上述操作，由托盘保持单元32保持的最底层基片容纳托盘10被放置在基片容纳托盘10上，而该基片容纳托盘10被顺序放置在升降台33上的基片容纳托盘平板架A之上。通过升降台33的向下移动，设置在平台部分33a上的基片容纳托盘10内所容纳的玻璃基片20从该基片容纳托盘10处被取出，而该基片容纳托盘通过基片取出工具34水平地支撑。被取出的玻璃基片20随后被传送。

结果，如图20所示，多个不包括玻璃基片20的基片容纳托盘10保持在升降台33上的基片容纳托盘平板架A之上。这些垂直叠放的基片容纳托盘10从升降台33上的基片容纳托盘平板架A处被传送。

如上文所述，根据本发明的基片传送系统30能以高的效率从垂直叠放的基片容纳托盘10处取出玻璃基片20。由于基片容纳托盘10向上和向下移动以便从那里取出玻璃基片20，该基片传送设备30的平面尺寸相对较小并且其结构相对简单。

基片传送系统30也用于将玻璃基片20放置在每一个多个垂直叠放的基片容纳托盘10中。为此目的，该基片传送系统30以反向上述工艺而操作。

在上述实施例中，设置在基片容纳托盘平板架A的活门体80内的活门部件84x-84z相对于各自的平板81x-81z滑动。但是，本发明并不限定于此。例如，如图21所示，活门部件84x-84z可被连接到平板81x-81z的各自上表面上，这样活门部件84x-84z可以沿一垂直方向旋转。在该情形下，通过螺旋弹簧84a向活门部件84x-84z施加力，从而关闭活门体开口81b和81c。在该结构中，基片取出工具34向上插入到活门体开口81b和81c中。当活门部件84x-84z通过基片取出工具34支撑时，其向上旋转。于是，活门体开口81b和81c被打开。

将被容纳在基片容纳托盘10内的基片并不限定于用于显示器的玻璃基片，也可以是例如半导体基片。

根据本发明，从基片容纳托盘取出各种型号基片的操作效率可被提高。而且，在运输该基片容纳托盘的过程中，可以防止基片受到污染。

在不偏离本发明范围和精神的前提下，各种其它的改进对于本领域普通技术人员而言是明显的并可被容易地作出。相应地，权利要求不应被限定于前述的描述，而是可被广泛地解释。

本申请要求2003年9月26日提交的日本专利申请No.2003-336499的优先权，其全部内容在此被作为本申请的参考。

Claims (10)

1、一种基片容纳托盘平板架，以水平状态装基片，并包括用于插入基片取出工具的开口，该基片取出工具用于升高该基片，该基片容纳托盘平板架用于传送可被垂直叠放的基片容纳托盘，其中：

该基片容纳托盘能被装到一上表面上；

用于插入所述基片取出工具的开口的位置与所安装的基片容纳托盘的开口相对。

2、如权利要求1所述的基片容纳托盘平板架，其特征在于，该基片取出工具插入开口由活门部件开启/关闭。

3、如权利要求2所述的基片容纳托盘平板架，其特征在于，所述活门部件能沿水平方向滑动以开启/关闭所述基片取出工具插入开口。

4、如权利要求3所述的基片容纳托盘平板架，包括：

施力部分，其沿着关闭所述基片取出工具插入开口的方向向所述活门部件施加力；以及

活门开启/关闭机构，其响应于外力使所述活门部件沿着开启所述基片取出工具插入开口的方向，抵抗所述施力部分而滑动。

5、如权利要求4所述的基片容纳托盘平板架，其特征在于，所述活门开启/关闭机构包括连接到所述活门部件的线及操作工具，该操作工具响应于外力，通过牵引所述线使所述活门部件滑动，以开启所述基片取出工具插入开口。

6、如权利要求2所述的基片容纳托盘平板架，其特征在于，所述活门部件位于所述活门体开口的上方并且沿垂直方向旋转以开启/关闭所述活门体开口。

7、如权利要求6所述的基片容纳托盘平板架，其特征在于，所述活门部件由插入到所述基片取出工具插入开口内的基片取出工具支撑，并且其向上旋转以开启所述基片取出工具插入开口。

8、一种基片容纳托盘平板架，在其上表面上具有用于容纳基片的基片容纳托盘，该基片容纳托盘平板架用于传送该基片容纳托盘，所述平板架包括：

垂直贯穿的基片取出工具插入开口，用于从该基片容纳托盘处取出基片，该基片取出工具插入开口允许基片取出工具取出被容纳在该基片容纳托盘内的基片；

活门部件，用于开启/关闭所述基片取出工具插入开口。

9、一种基片容纳托盘平板架，在其上表面上具有用于容纳基片的基片容纳托盘，该基片容纳托盘平板架用于传送该基片容纳托盘，所述平板架包括：

平板架体，其包括垂直贯穿的平板架体开口；及

活门体，其位于所述平板架体的上表面上，并包括与所述平板架体开口相对设置的活门体开口，其中：

所述平板架体开口和所述活门体开口构成了基片取出工具插入开口，该开口用于插入基片取出工具，所述基片取出工具用于取出容纳在基片容纳托盘内的基片，以及

该活门体包括用于开启/关闭该基片取出工具插入开口的活门部件。

10、一种基片传送系统，其包括根据权利要求5所述的基片容纳托盘平板架、基片取出工具、以及一移动部分，该移动部分用于移动所述基片容纳托盘平板架到达有所述基片取出工具的位置，所述系统包括：

施压部分，当所述移动部分将基片容纳托盘平板架移动到基片取出工具所处的位置时，该施压部分接触所述操作工具并推动该操作工具，所述施压部分推所述操作工具，使所述活门部件滑动而开启所述基片取出工具开口。

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