JP5681412B2 - 板状部材収納用ラック、板状部材移載設備、及び板状部材収納方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、本実施形態に係る移載設備10は、例えば、板状部材の一例である太陽光パネルを生産する工場1に設けられる。このような工場1には、太陽光パネルの基板となるガラス板2を処理するための複数の処理装置3,4(図1では2つのみを例示)が設置される。
図2に示すように、ラック12は、工場1の床面上に設置される基台31と、基台31上に支持されるラック本体32とを備える。基台31は前後方向に長尺であり、複数のラック本体32(図示例では6つ)が基台31上で前後方向に列を成すように設けられている。ラック本体32は、その内部に収納空間33を有し、また、トラックロボット11と面する側面に搬入口34を有している。収納空間33内には、複数のガラス板2を起立させ且つその板厚方向に隣り合うようにして前後方向(配列方向)に並べて収納することができる。搬入口34は、トラックロボット11から送られてくるガラス板2を、配列方向とは交差する水平の左方向又は右方向(搬入方向)に沿って収納空間33内に搬入させるための開口である。また、収納空間33内に収容されたガラス板2は搬入口34を介して搬出される。左側に配置されるラック12に着目すると、左方向が搬入方向となる。
基台31は、複数の脚36を介して工場1の床面に支持されるベッド部35を備え、ベッド部35は床面上方に水平に配置される。本実施形態のベッド部35は、矩形井桁状の骨組み構造を成している。具体的には、ベッド部35は、前後方向に平行に延びる一対の梁37を備えている。一対の梁37の上面には、左右方向に延びる複数の横桁38が前後方向に間隔をおいて固定されている。これら横桁38の上面側且つ一対の梁37の間には、複数の縦桁39が左右方向に間隔をおいて設けられている。各縦桁39は、複数の横桁38と直交し、交差する横桁38の上面に固定されている。また、各横桁38の左端部は左側の梁37から左方に突出し、各横桁38の右端部は右側の梁37から右方に突出している。脚36はこの横桁38の端部から下方に延在している。
図3及び図4に示すように、ベッド部35の一対の梁37の下面側には、並進機構46を介してラックロボット13のベース47が設けられている。ラックロボット13のベース47は、長尺のバー状に形成され、その長手方向が左右方向に向けられている。並進機構46は、例えばラック及びピニオンから成り、この場合、前後方向に延びる左右一対のラックギヤが各梁37の下面に取り付けられ、ベース47の上面の左右端部に各ラックギヤと噛合する左右一対のピニオンが取り付けられる。ベース47は中空に形成され、ベース47内には並進機構46を駆動するサーボモータ等のスロットアクチュエータ96(図11参照)が収容される。スロットアクチュエータ95が動作すると、並進機構46が駆動され、ラックロボット13のベース47が一対の梁37の下面側を前後方向に移動する。
図5はラック12を搬入方向から見て示す側面図である。図5に示すように、ラック12は、起立させられた各ガラス板2の上縁部を支持する複数の上側支持部61と、起立させられた各ガラス板2の下縁部を支持又は収容する支持収容部62とを備えている。本実施形態の支持収容部62には、各上側支持部61の下方に設けられた下側支持部63と、ガラス板2の配列方向において上側支持部61の端及び下側支持部63の端よりも外側(本実施形態では後側)に設けられ、搬入口34から収納空間33に搬入されるガラス板2の下縁部を収容する下縁部収容部64とが含まれる。上側支持部61及び下側支持部63は、収納空間33内に収容されるべきガラス板2の枚数に応じて設けられる。本実施形態では、下縁部収容部64もガラス板2の収容可能枚数に応じて設けられている。
図11に示すように、移載設備10は、コンベア5、トラックロボット11及びラックロボット13を制御する制御装置100を備えている。制御装置100は、例えば、マイクロコンピュータで構成され、そのI/Oで構成される入力部101、その内部メモリで構成される記憶部102、そのCPUで構成される演算部103、及びそのI/Oで構成される出力部104を有している。
図12は、1枚のガラス板2をラック12に収納するときのコンベア5、トラックロボット11及びラックロボット13の各アクチュエータの動作タイミングの一例を示すタイミング図である。図12に示す動作を繰り返し行うことにより、ガラス板2を1枚ずつ順次ラック12に収納することができる。
ガラス板2をラック12に収納するにあたっては、コンベア5のコンベアアクチュエータ90を作動させ、ホイール軸7上で水平に倒伏しているガラス板2を停止位置まで搬送する(図12中符号C1参照,図1参照)。ガラス板2がストッパ8に当接して停止位置に到達すると、コンベアアクチュエータ90を停止させる。これにより、コンベア5側において、ガラス板2をトラックロボット11に渡す準備が整うこととなる。
また、ガラス板2をラック12に収納するにあたっては、当該ガラス板2を収納空間33内のどの収納位置に収納するのか、より具体的にいえば、どの上側支持部61に上縁部を支持させ、どの支持収容部62に下縁部を収容及び支持させるのかを決める。このとき、ラックロボット13のスロットアクチュエータ96を作動させ、ラックロボット13を前後に移動させる(図12中符号R1参照)。ラックロボット13を前後方向に移動させるにあたっては、予めローラビーム48を退避位置まで下降させているため(図12中符号R6参照,図4左側参照)、ローラビーム48及びローラ54がラック12又は収納済のガラス板2と干渉するおそれはない。
前述したコンベア5側におけるガラス板2を渡す準備、及びトラックロボット11側におけるガラス板2の受取り準備が整い、且つラックロボット13の前後方向の移動が完了しているときには、トラックロボット11のフリップアクチュエータ92を作動させ、ファング25が起立していくようエンドエフェクタ23を揺動する(図12中符号T2参照)。この揺動を続けるに従って、ガラス板2の平面がコロ28の表面で支持され、また、ガラス板2のトラックロボット11に面した縁部が支持ブロック27で支持される。そして、この状態を維持しつつ、ガラス板2がコンベア5から離隔してファング25と共に起立していく。これによりガラス板2がコンベア5からトラックロボット11のエンドエフェクタ23に移載されたこととなる。
トラックロボット11側及びラックロボット13側の双方においてガラス板2の搬入準備が整うと、トラックロボット11のローラアクチュエータ94及びラックロボット13のローラアクチュエータ97を作動させ、トラックロボット11のローラ30及びラックロボット13のローラ54を互いに同方向に同速で同時的に回転させる(図12中符号T6及びR3参照)。
ガラス板2を収納空間33内に搬入し終えた後には、ガラス板2がより直立に近い姿勢で起立するよう、ガラス板2の姿勢を変更させる動作が実行される。
ガラス板2をラック本体32ごと搬送できるようにするため、上記実施形態ではフォークリフト9のフォークが差し込まれるフォークポケット45を設けるようにしたが、同様の作用を達成するため、例えばラック本体が基台上をスライド可能であってもよい。
図17は拘束部材275の変形例を示している。図17に示すように、拘束部材275は、ラック本体232の上縦桁243を上下に貫通する貫通孔221内に上縦桁243の上側から挿通されるシャンク222を有しており、このシャンク222の下端部は上縦桁243の下面側の収納空間33内に配置されている。シャンク222の下端部には断面略矩形状の拘束片280が固定されている。拘束片280の下面には左右方向に延びる拘束溝284が形成されている。他方、上縦桁243に形成された貫通孔221は上部と下部とで径が異なっており、上部は下部よりも大きい径を有している。この大径となる貫通孔221の下部には、コイルスプリング223が収容されている。コイルスプリング223はシャンク222を外囲するよう設けられ、コイルスプリング223の軸線方向一端部は、貫通孔221の上部と下部との境界部に形成されたリング状のバネ座に固定され、軸線方向他端部は拘束片280の上面に固定されている。拘束片280及びシャンク222はコイルスプリング223により下方に付勢される。他方、シャンク222の上端部には、径方向に突出する鍔部224が形成されており、鍔部224は貫通孔221の上部よりも大きい径を有している。このため、コイルスプリング223により付勢されるシャンク222及び拘束片280は、常には、鍔部224と上縦桁243の上面とが当接することによって下方への移動が規制される。
図18〜図20は、支持収容部362,462,562の変形例を示している。上記実施形態では、下側支持部63の第1溝86が円弧状の断面形状を有しているが、第1溝386及び第1底面386aの断面形状は上記のものに限られず、図18に示すように例えばV状であってもよい。なお、下縁部収容部64の溝87及び第2底面87aの形状についても適宜変更可能である。
10 移載設備
11 トラックロボット(移載装置)
12 ラック
13 ラックロボット(姿勢変更機構)
31 基台
32 ラック本体
33 収納空間
34 搬入口
61 上側支持部
62 支持収容部
63 下側支持部
64 下縁部収容部
71 支持ローラ
74 クリアランス
75 拘束部材
80,81 拘束片
82,83 対向面
82a,83a テーパ面
84 拘束溝
85 パッド
86 第1溝
86a 第1底面
87 第2溝
87a 第2底面
94 ローラアクチュエータ
96 トラックアクチュエータ(第1駆動部)
97 リフトアクチュエータ(第2駆動部)
98 ローラアクチュエータ
Claims (12)
- 複数の板状部材を起立させ且つその板厚方向に隣り合うように配列方向に並べて収納する収納空間、及び前記収納空間内に板状部材を前記配列方向と交差する水平な搬入方向に搬入させるための搬入口を有するラック本体と、
前記収納空間に前記搬入方向から見て前記配列方向に配置され、前記複数の板状部材の上縁部をそれぞれ支持する複数の上側支持部と、
前記収納空間に前記複数の上側支持部の下方に設けられ、前記起立させられた複数の板状部材の下縁部を支持する下側支持部と、
前記収納空間に、前記配列方向において前記複数の上側支持部の端及び前記下側支持部の端より外側に設けられ、前記搬入口から前記収納空間内に搬入される板状部材の下縁部を収容する下縁部収容部と、を備え、
少なくとも1つの前記上側支持部は、前記搬入され前記下縁部収容部にその下縁部が収容された前記板状部材の上縁部を該板状部材が傾いた状態で支持することが可能なように構成され、
昇降自在に設けられた支持体を備え、前記支持体を前記下縁部収容部内に位置させて前記搬入口から前記収納空間内に搬入される板状部材の下縁部を該支持体に支持させ、その後、前記収納空間内に搬入された板状部材を下から持ち上げ、板状部材の下縁部が前記支持体に支持されている状態から前記下側支持部に支持されている状態へと変更させるよう前記支持体を移動させる姿勢変更機構、を更に備え、各前記上側支持部は、前記板状部材の下縁部が前記下側支持部に支持された状態において前記板状部材の上縁部を支持するように構成されている、板状部材収納用ラック。 - 前記搬入方向から見て前記配列方向において前記上側支持部と同位置に設けられた拘束部材を更に備え、
前記拘束部材は、板状部材の下縁部が前記下縁部収容部に収容されているときには当該板状部材と非係合となり且つ板状部材の下縁部が前記下側支持部に支持されているときには当該板状部材の上縁部を拘束するように、前記ラック本体に設けられている、請求項1に記載の板状部材収納用ラック。 - 前記拘束部材は、前記配列方向に互いに離れた一対の拘束片を有し、
前記下側支持部に支持されている板状部材の上縁部が、前記一対の拘束片の間に形成される拘束溝に嵌まり込んで前記一対の拘束片によって拘束される、請求項2に記載の板状部材収納用ラック。 - 前記一対の拘束片が、互いに対向する対向面をそれぞれ有し、
一対の前記対向面の少なくとも一方の下端部には、前記拘束溝の前記配列方向における寸法が下方に向かうに従って大きくなるよう、テーパ面が形成されている、請求項3に記載の板状部材収納用ラック。 - 前記下縁部収容部が、前記下側支持部よりも低く配置されている、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の板状部材収納用ラック。
- 前記下側支持部が、板状部材の下縁部が係合する溝を有している、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の板状部材収納用ラック。
- 前記下側支持部が、前記収納空間が許容する板状部材の収納可能枚数に対応する数だけ設けられ、当該収納可能枚数に対応する数の下側支持部が前記配列方向に連続する2つ以上の下側支持部からなる1つ以上のグループに分かれており、前記グループと前記下縁部収容部とが1対1で対応するように設けられている、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の板状部材収納用ラック。
- 前記姿勢変更機構が、前記ラック本体の下部に設けられ、前記上側支持部及び前記下側支持部に支持された板状部材を前記配列方向に移動させることが可能に構成されている、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の板状部材収納用ラック。
- 前記姿勢変更機構は、前記支持体を上下方向に移動させる第1駆動部と、前記支持体を前記配列方向に移動させる第2駆動部とを有する、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の板状部材収納用ラック。
- 前記ラック本体の底部をスライド可能に支持する基台、を更に備える、請求項1乃至9のいずれか1項に記載の板状部材収納用ラック。
- 請求項1に記載の板状部材収納用ラックと、
前記板状部材収納用ラックに板状部材を搬入し又は前記板状部材収納用ラックから板状部材を搬出する移載装置と、を備える、板状部材移載設備。 - 複数の板状部材を起立させ且つその板厚方向に隣り合うように配列方向に並べて収納する収納空間、及び前記収納空間内に板状部材を前記配列方向と交差する水平な搬入方向に搬入させるための搬入口を有するラック本体と、
前記収納空間に前記搬入方向から見て前記配列方向に配置され、前記複数の板状部材の上縁部をそれぞれ支持する複数の上側支持部と、
前記収納空間に前記複数の上側支持部の下方に設けられ、前記起立させられた複数の板状部材の下縁部を支持する下側支持部と、
前記収納空間に、前記配列方向において前記複数の上側支持部の端及び前記下側支持部の端より外側に設けられ、前記搬入口から前記収納空間内に搬入される板状部材の下縁部を収容する下縁部収容部と、を備える板状部材収納用ラックに板状部材を収納するための方法であって、
起立させた板状部材の上縁部を前記上側支持部に支持させかつ当該板状部材の下縁部を前記下縁部収容部に収容させるようにして当該板状部材を、前記搬入口を介して前記収納空間内へと前記搬入方向に沿って搬入し、
前記収納空間内に収納された板状部材を前記下縁部収容部から持ち上げ、
該持ち上げた板状部材の下縁部を前記配列方向に移動させ、
該移動させた板状部材を降ろして板状部材の下縁部を前記下側支持部に支持させ、当該板状部材の上縁部を前記上側支持部に支持させる、板状部材収納方法。
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JP2756734B2 (ja) * | 1991-03-22 | 1998-05-25 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 表面処理装置のウエハ移替装置 |
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