JP5792936B2 - 板状部材移載設備 - Google Patents
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Description
図1に示すように、ストッカ設備1は、1つの処理装置から別の処理装置に板状部材2を搬送する搬送路に設けられ、搬送されてくる板状部材2を一時的に蓄えておくための設備である。板状部材2は、例えば太陽光パネルや液晶パネル等で使用される大型のガラス板であり、以下では、ガラス板2として説明する。但し、板状部材2は、大型のガラス板に限定されず、鋼板や樹脂板であってもよく、板状の部材であればよい。本実施形態において、ストッカ設備1は、1つの処理装置から別の処理装置にガラス板2を搬送するホイールコンベア3に設けられている。
ストッカ設備1は、図1乃至図7に示すようにトラックロボット10及びラック32を備えている。ストッカ設備1では、複数のラック32が左右両側に夫々一列に並べられており、各列の間にトラックロボット10が設けられている。トラックロボット10は、図2乃至図4に示すようにスライド装置11を備えている。トラック側移動機構であるスライド装置11は、ガイドレール12とトラック側スライドアクチュエータ13(図5参照)とを有している。ガイドレール12は、設置場所の床等に取り付けられている。ガイドレール12は、その一端がホイールコンベア3付近に位置し、そこから複数のラック32の間を貫くように前後方向に延在している。また、ガイドレール12上には、トラック側走行基台14がスライド可能に取り付けられ、ガイドレール12の中には、トラック側スライドアクチュエータ13が収納されている。トラック側スライドアクチュエータ13は、例えばボールねじ機構及びサーボモータにより構成されており、トラック側走行基台14をガイドレール12に沿って前後方向にスライドさせるようになっている(図6の矢符A参照)。
<ラック及びラックロボット>
このように構成されるトラックロボット10の左右両側には、図3に示すような複数のラック基台31が夫々設けられている。ラック基台31は、図3に示すような台枠であり、設置場所の床等に固定されている。具体的に説明すると、ラック基台31は、平面視で矩形状に形成されており、4つの脚31a及び2つの梁部材31bを有している。4つの脚31aは、四隅に配置されており、梁部材31bは、左右に配置された一対の脚31aの上端部に掛け渡すように固定されている。このように固定されている2つの梁部材31bは、互いに平行、且つ前後方向に離れて位置している。また、2つの梁部材31bには、前後方向に延在する複数の横桁部材31cが掛け渡されており、その上にラック32が載せられている。
<ラックロボット>
ラックロボット40は、図4及び図9に示しており、左右両側に一台ずつ設けられ、ラック側移動機構41を備えている。ラック側移動機構41は、一対のガイドレール42,43を有している。一対のレール42,43は、前後方向に延在しており、各ラック基台31の2つの梁部材31bに掛け渡されている。一対のレール42,43は、梁部材31bの下面に固定されており、梁部材31bの左右両端部に離れて位置している。また、一対のレール42,43は、前後に隣接するラック基台31の一対のレール42,43に繋げて増設できるようになっており、複数のラック基台31を一列に並べることでそれらを前後方向に貫通する一対のリニアガイド44,45が形成されている。この一対のリニアガイド44,45には、ラック側走行基台46が掛け渡すように取り付けられている。
このように構成されるトラックロボット10及びラックロボット40には、図11(a)及び(b)に示すようなセンサ60が設けられている。センサ60は、例えばペア型のファイバーセンサであり、投光部60aと受光部60bとを有している。投光部60aは、例えばトラック側搬送基台25の左右両端面に夫々1つずつ取り付けられ、受光部60bは、例えばラック側搬送基台54の左右両端面のうちトラック側搬送基台25側の端面に取り付けられている。
図12は、制御装置29がトラックロボット10及びラックロボット40の動作を制御する際に基づいているダイヤグラム図を示している。ダイヤグラム図の一番左の構成欄には、各ロボット10,40のアクチュエータが示されており、その右側のダイヤグラム欄には、各構成のダイヤグラム、つまり各タイミングにおいて駆動させるアクチュエータに色を付けて示している。以下では、このダイヤグラム図を参照しながら、ガラス板2を収納及び取り出す際のトラックロボット10及びラックロボット40の動作について説明する。
次に、ラック32からガラス板2を取り出す(つまり、ラック32からガラス板2を搬出する)場合のトラックロボット10及びラックロボット40の動作について、図12等を参照しながら説明する。なお、ガラス板2の搬出作業は、ガラス板2の搬入作業の手順と逆の手順を踏むことで実行される作業のため、ガラス板2の搬出作業における各状態における図面として図13〜図22を参照する。
第2実施形態のストッカ設備1Aは、第1実施形態のストッカ設備1と構成が類似している。そこで、第2実施形態のストッカ設備1Aの構成については、第1実施形態のストッカ設備1の構成と異なる点についてだけ説明し、同じ点については同一の符号を付して説明を省略する。第3及び第4実施形態も同様である。
トラック制御部28及びラック制御部59は、まず第1実施形態のストッカ設備1におけるステップS1〜S9と同様の制御を行う。つまり、ホイールコンベア3上を移動する2枚のガラス板2Aをストッパ6で止め(ステップS31)、トラック制御部28は、フリップ17を前方に回動させて起こして2枚のガラス板2Aをその上に載せる(ステップS32)。更に、トラック制御部28は、フリップ17の傾きが角度αになるまでフリップ17を起こしながらトラック側走行基台14を収納位置まで移動させる(ステップS33)。
<ガラス板の取り出し動作>
ラック側搬送基台54を降ろしている間、トラック制御部28は、トラック側スライドアクチュエータ13を駆動し、2枚のガラス板2Aが左右に並べて収納された収納位置までトラック側搬送基台25を移動させる(ステップS51)。ラック制御部59は、ラック側搬送基台54を待機位置まで降ろした後、トラック制御部28の制御に並行してラック側スライドアクチュエータ50を駆動し、ラック側搬送基台54を収納位置へと移動させる(ステップS52)。ラック制御部59は、続けてラック側昇降アクチュエータ58を駆動し、ラック側搬送基台54を搬送位置まで上昇させてローラ55の上面にガラス板2Aを載せる(ステップS53)。
[第3実施形態]
第3実施形態のストッカ設備1Bでは、トラックロボット10Bが更に昇降機構を有している。トラック側搬送基台25は、このトラック側昇降機構を介してトラック側走行基台14の前部に取付けられている。トラック側昇降機構は、トラック側昇降アクチュエータ71により構成されている。トラック側昇降アクチュエータ71は、例えば空気圧シリンダから成り、トラック側搬送基台25を上下に昇降可能に構成されている(図26参照の矢符H参照)。
第4実施形態のストッカ設備1Cでは、トラックロボット10Cがトラック側搬送基台25を有しておらず、その代わりにラックロボット40Cにラック側トラバース機構72を有している。ラック側トラバース機構72は、ラック側走行基台46に設けられており、ボールねじ機構等によって構成されるラック側トラバースアクチュエータ73を有している。搬送機構であるラック側搬送機構51では、ラック側搬送基台54Cがこのラック側トラバース機構72を介してラック側走行基台46に取付けられている。ラック側トラバースアクチュエータ73は、待機位置に位置するラック側搬送基台54Cを左右方向に横移動可能(図27の矢符I参照)に構成されており、ラック側搬送基台54Cは、横移動させることでフリップ17を有するトラックロボット10C側とラック32側との間を架け渡すように横方向に延在する(図27参照)。
本実施形態において、トラック側走行基台14を動かす際、ガラス板2が支持板20に支持されているだけであるが、支持板20に吸着機構を設けてガラス板2を吸着するようにしてもよい。また、吸着機構でなくチャック等を設けて、トラック側走行基台14を動かすときだけガラス板2をフリップ17に把持させるような構成であってもよい。
2,2A ガラス板
10,10A〜10C トラックロボット
11 スライド装置
16 フリップ回動機構
17 フリップ
21 球面ローラ
22 支持部
24 トラック側搬送機構
26 ローラ
32 ラック
33a 底桁
40,40C ラックロボット
41 ラック側移動機構
51 ラック側搬送機構
55 ローラ
60 センサ
Claims (10)
- 支持部で支持されて搬送方向に延在するように立てられた複数の板状部材を前記搬送方向に交差する配列方向に並べて収納し、且つ挿入口から前記複数の板状部材を前記搬送方向に夫々搬入及び搬出可能に構成されたラックと、
前記挿入口から前記板状部材を前記搬送方向に前記ラックに搬入し又は前記ラックから搬出する板状部材移載機構と、を備える板状部材移載設備であって、
前記板状部材移載機構は、
前記ラックの前記挿入口に臨むトラック側空間に位置し、前記板状部材を支持して前記搬送方向に平行な回動軸線回りに回動可能なフリップを有し、前記フリップを回動させることによってコンベア上に載置された前記板状部材を前記フリップに載せて立て又は前記フリップを回動させて前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置するフリップ回動機構と、
前記搬送方向に延在し、前記フリップ回動機構により立てられた前記板状部材を前記搬送方向に送る送り部を有する搬送機構と、
前記フリップ回動機構及び前記搬送機構を前記配列方向に移動させる移動機構と、を備えており、
前記コンベアは、複数のホイール軸によって構成されるホイールコンベアであり、
前記フリップは、前記コンベア上に載置された前記板状部材を載せる、又は前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置する際にホール軸の間に入るようになっており、
前記フリップ回動機構は、前記コンベア上に載置された前記板状部材を載せる、又は前記板状部材を倒して前記コンベア上に載置する際、前記フリップが前記ホイール軸と面一又はそれより下側に位置するように前記フリップを倒すようになっており、
前記搬送機構は、前記トラック側空間と前記ラックとの間で前記送り部により前記板状部材を立った状態で受け渡しするように構成されている、板状部材移載設備。 - 前記搬送機構は、前記送り部であるトラック側送り部を有し、前記トラック側空間に配置されているトラック側搬送機構と、前記送り部であるラック側送り部を有し、前記ラックに配置されるラック側搬送機構とによって構成される、請求項1に記載の板状部材移載設備。
- 前記トラック側搬送機構と前記ラック側搬送機構は、前記トラック側送り部と前記ラック側送り部との間で立った状態で前記板状部材を受け渡しするように構成されている、請求項2に記載の板状部材移載装置。
- 前記移動機構は、前記トラック側搬送機構を前記配列方向に移動させるトラック側移動機構と、前記ラック側搬送機構を前記配列方向に移動させるラック側移動機構とによって構成される、請求項2又は3に記載の板状部材移載設備。
- 前記トラック側移動機構は、前記トラック側搬送機構と一緒に前記フリップ回動機構を前記配列方向に移動するように構成されている、請求項2乃至4の何れか1つに記載の板状部材移載設備。
- 前記ラックは、複数の支持部材を有し、
前記複数の支持部材は、前記搬送方向に間隔をあけて配置され、その上面で前記板状部材を夫々支持可能に構成されており、
前記ラック側送り部は、ラック側送り部面上を移動させて前記板状部材を送るラック側駆動部材を有し、
前記ラック側搬送機構は、前記ラック側送り部面が前記支持部材の上面より高い位置にあるラック側搬送位置と、前記ラック側送り部面が前記支持部材の上面より低い位置にあるラック側待機位置との間で前記ラック側送り部を昇降可能に構成されている、請求項2乃至5の何れか1つに記載の板状部材移載設備。 - 前記トラック側送り部は、前記トラック側送り部面上を移動させて前記板状部材を送るトラック側駆動部材を有し、
前記トラック側搬送機構は、前記トラック側送り部面が前記ラック側搬送位置に対応する前記ラック側送り部面と実質的に同じ高さにあるトラック側搬送位置と、前記トラック側送り部面が前記支持部材の上面より低い待機位置との間で前記トラック側送り部を昇降可能に構成されている、請求項6に記載の板状部材移載設備。 - 前記トラック側送り部と前記ラック側送り部とが前記搬送方向に並んでいるか否かを検出する位置検出センサを更に備え、
前記トラック側送り部及び前記ラック側送り部は、これらが前記搬送方向に並んでいることが前記位置検出センサで検出されると、前記板状部材の受け渡しを行うように構成されている、請求項2乃至7の何れか1つに記載の板状部材移載設備。 - 前記フリップ回動機構は、前記移動機構により移動する際に前記フリップを回動させて該フリップに支持された前記板状部材を倒すように構成されている、請求項1乃至8の何れか1つに記載の板状部材移載設備。
- 前記フリップは、転動可能な複数の球面ローラを有し、前記複数の球面ローラにより前記板状部材の背面を支持するように構成されている、請求項1乃至9の何れか1つに記載の板状部材移載設備。
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CN109230458B (zh) * | 2018-10-30 | 2024-03-29 | 佛山维尚家具制造有限公司 | 一种定制家具板件上料装置 |
KR102171411B1 (ko) * | 2018-11-19 | 2020-10-28 | 삼성전자주식회사 | 라우팅 공정이 행해진 단위 기판을 이송하여 세워진 상태로 정렬시키는 기판 정렬 이송 시스템 및 이에 사용되는 기판 스탠딩 정렬 장치 |
CN109335702B (zh) * | 2018-11-27 | 2021-06-15 | 桃江县大丰木业有限责任公司 | 一种板材加工专用堆垛机 |
CN109352759B (zh) * | 2018-11-27 | 2021-11-12 | 桃江县大丰木业有限责任公司 | 一种板材加工热压成型系统 |
JP7195990B2 (ja) * | 2019-03-25 | 2022-12-26 | 大和エンジニアリング株式会社 | 板状部材の搬送システム |
CN110482220A (zh) * | 2019-07-26 | 2019-11-22 | 蚌埠凯盛工程技术有限公司 | 一种玻璃基板存储工艺、装置及应用 |
CN110775631A (zh) * | 2019-09-28 | 2020-02-11 | 浙江雅市晶科技有限公司 | 一种立式基板(玻璃)搬运装置 |
CN110775632A (zh) * | 2019-09-28 | 2020-02-11 | 浙江雅市晶科技有限公司 | 一种立式玻璃搬运机构 |
CN110979912B (zh) * | 2019-11-19 | 2023-09-05 | 哈工大机器人南昌智能制造研究院 | 一种板类零件的存放装置及其存取方法 |
KR102249114B1 (ko) * | 2020-01-09 | 2021-05-07 | 신비앤텍 주식회사 | 스토커 |
CN111776745B (zh) * | 2020-07-13 | 2022-02-18 | 芜湖乐维汽车装备设计有限公司 | 一种汽车挡风玻璃转运装配夹持装置 |
CN112124966B (zh) * | 2020-09-23 | 2022-05-06 | 佛山市南海斯维雅玻璃有限公司 | 一种玻璃生产用辅助运输设备 |
CN114803238A (zh) * | 2021-01-27 | 2022-07-29 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 一种用于玻璃的全自动化立式仓储车 |
CN117383255B (zh) * | 2023-12-11 | 2024-02-27 | 江苏南晶红外光学仪器有限公司 | 一种镀膜玻璃生产中的取片装置 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS632888Y2 (ja) * | 1986-09-18 | 1988-01-25 | ||
JPH0632888Y2 (ja) * | 1989-01-09 | 1994-08-31 | 株式会社幸袋工作所 | 鋼板収納庫 |
US6121743A (en) | 1996-03-22 | 2000-09-19 | Genmark Automation, Inc. | Dual robotic arm end effectors having independent yaw motion |
AT405618B (de) * | 1996-07-03 | 1999-10-25 | Lisec Peter | Vorrichtung zum sortieren von glastafelzuschnitten |
JP3618972B2 (ja) * | 1997-09-30 | 2005-02-09 | セントラル硝子株式会社 | ガラス板の供給装置 |
IT1315001B1 (it) * | 2000-05-12 | 2003-01-21 | Antonio Piazza | Magazzino a telai inclinati estraibili per lo stoccaggio e lamovimentazione di prodotti lastriformi. |
TW200404726A (en) * | 2002-09-02 | 2004-04-01 | Tani Denki Kogyo Kk | Transfer device |
CA2460859A1 (en) * | 2003-03-13 | 2004-09-13 | Bromer Inc. | Storage system for glass offcuts |
CN2885790Y (zh) | 2005-11-18 | 2007-04-04 | 陈福文 | 框架式收放板机 |
CN2871455Y (zh) * | 2005-11-18 | 2007-02-21 | 陈福文 | 框架式薄板插板收放板机的结构改良 |
ITPD20060363A1 (it) * | 2006-10-03 | 2008-04-04 | Antonio Piazza | Attrezzatura per la movimentazione di prodotti lastriformi |
JP2009238904A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板収納装置 |
US8647042B2 (en) * | 2008-07-15 | 2014-02-11 | Billco Manufacturing Incorporated | Glass cutting line with integral offal storage and retrieval system and method |
DE102008045370B4 (de) * | 2008-09-02 | 2010-07-08 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Transport großflächiger, dünner Glasplatten |
IT1396296B1 (it) * | 2009-10-06 | 2012-11-16 | Bottero Spa | Impianto per l'alimentazione lastre di vetro. |
IT1396297B1 (it) * | 2009-10-06 | 2012-11-16 | Bottero Spa | Impianto per l'alimentazione di lastre di vetro ad almeno una linea di lavorazione lastre e sistema produttivo comprendente tale impianto. |
JP5677773B2 (ja) * | 2010-07-09 | 2015-02-25 | 川崎重工業株式会社 | 板状部材移載設備 |
JP5681412B2 (ja) * | 2010-08-27 | 2015-03-11 | 川崎重工業株式会社 | 板状部材収納用ラック、板状部材移載設備、及び板状部材収納方法 |
US9004839B2 (en) * | 2011-10-18 | 2015-04-14 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Glass substrate storage and transportation system and a glass substrate storage platform |
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