JP2006306504A - カセット保管及び被処理板の処理設備 - Google Patents

Abstract

【課題】被処理板を収納するカセットの保管用自動倉庫と当該カセットから取り出した被処理板の加工処理を行う処理装置とが組み合わされた設備におけるカセット内の被処理板の支持位置の検出を自動倉庫内での搬送中に行えるようにする。
【解決手段】複数枚の被処理板を多段に収納するカセットＫを立体的に保管するカセット保管棚２５Ａと、この保管棚２５Ａに沿って走行可能で昇降キャレッジ６上にカセット移載手段７を備えた入出庫装置１と、この入出庫装置１により出庫されたカセットＫから被処理板を１枚ずつ取り出して処理装置３０Ａに供給する被処理板取り出し・搬入装置３１Ａとを備えたカセット保管及び被処理板の処理設備であって、前記入出庫装置１の昇降キャレッジ６上に、保管棚２５Ａ内からこの昇降キャレッジ６上に移されたカセットＫ内の被処理板のマッピングデータを得るための被処理板検出装置４２が搭載された構成。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体基板や液晶表示基板などの被処理板を複数段に収納するカセットの保管用自動倉庫と当該カセットから取り出した被処理版の加工処理を行う処理装置とが組み合わされたカセット保管及び被処理板の処理設備に関するものである。

半導体基板や液晶表示基板などの製造ラインにおいて被処理板の各種加工処理を行う場合、自動倉庫から入出庫装置で搬出されたカセット内の被処理板を、特許文献１に開示されたようなロボットや、特許文献２に開示されたような「カセット底部から当該カセット内に対し相対的に昇降出退移動する被処理板搬出用コンベヤを利用して最下段の被処理板から１枚ずつ搬出する搬出手段」によって１枚ずつ取り出し、これを次段の処理装置に送給するのであるが、カセット内の全ての段に被処理板が収納されているとは限らない。従って、カセット内から被処理板を１枚ずつ取り出すための前記ロボットや搬出手段に対して、カセット内の被処理板の収納位置情報、即ち、カセットごとの被処理板のマッピングデータを与え、このマッピングデータに基づいて前記ロボットや搬出手段を自動運転させることにより当該ロボットや搬出手段に空段に対する無駄な取り出し動作を行わせないようにし、次段の処理装置に対する被処理板の送給を能率良く行わせるようにすることが知られている。このカセットごとの被処理板のマッピングデータを得るための手段が、カセット内の被処理板を横側方から検出するセンサーを備えた被処理板検出装置であるが、従来のこの種の被処理板検出装置は、例えば特許文献３に記載されるように、被処理板を１枚ずつ取り出す手段の作業対象となるカセットの支持場所に併設されており、当該支持場所にセッティングされたカセットに対し被処理板の収納位置を検出するように構成されていた。
特開２００３−２６１２２１号公報 特開２００３−２９２１４９号公報 特開平７―２３１０３１号公報

上記のような従来の構成では、１つの自動倉庫から入出庫装置で出庫されたカセット内の被処理板を処理する処理装置が複数台並設されていて、各処理装置ごとにカセット内から被処理板を１枚ずつ取り出すロボットなどの取り出し手段が併設されている場合、各取り出し手段の作業場所ごとに上記の被処理板検出装置を設置する必要が生じ、設備コストが非常に高くなるばかりでなく、取り出し手段の作業場所にカセットがセッティングされた後に被処理板検出装置を動作させてマッピングデータを作成し、これを取り出し手段に与えてカセットからの被処理板の取り出し作用を開始させることになるので、取り出し手段の作業場所にカセットがセッティングされてから被処理板の取り出し開始までに多少の待ち時間を要することになり、サイクルタイムが長くなるという問題点があった。

本発明は上記のような従来の問題点を解消し得るカセット保管及び被処理板の処理設備を提供することを目的とするものであって、その手段を後述する実施形態の参照符号を付して示すと、複数枚の被処理板Ｐを多段に収納するカセットＫを立体的に保管するカセット保管棚２５Ａ，２５Ｂと、この保管棚２５Ａ，２５Ｂに沿って走行可能で昇降キャレッジ６上にカセット移載手段７を備えた入出庫装置１と、この入出庫装置１により出庫されたカセットＫから被処理板Ｐを１枚ずつ取り出して処理装置３０Ａ，３０Ｂに供給する被処理板取り出し・搬入装置３１Ａ，３１Ｂとを備えたカセット保管及び被処理板の処理設備であって、前記入出庫装置１の昇降キャレッジ６上に、保管棚２５Ａ内からこの昇降キャレッジ６上に移されたカセットＫ内の被処理板Ｐのマッピングデータを得るための被処理板検出装置４２が搭載された構成となっている。

上記構成の本発明を実施するについて、具体的には請求項２に記載のように、被処理板検出装置４２は、昇降キャレッジ６上のカセットＫの受け渡し経路の外側に配設し、この被処理板検出装置４２が備える被処理板検出用センサー４７は、昇降キャレッジ６上の所定位置に移されたカセットＫ内の被処理板Ｐに対する水平遠近方向に移動自在に構成することができる。この場合の具体的な構成としては、請求項３に記載のように、被処理板検出装置４２が備える被処理板検出用センサー４７を垂直軸心の周りで水平揺動自在な揺動体（アーム４６）に取り付け、当該揺動体（アーム４６）を、昇降キャレッジ６上の所定位置に移されたカセットＫ内の被処理板Ｐに対して前記センサー４７が離れる退避位置と当該カセットＫ内の被処理板Ｐに接近する検出作用位置との間で揺動させる駆動手段（アクチェーター４８）を設けたり、請求項４に記載のように、被処理板検出装置４２が備える被処理板検出用センサー４７を、昇降キャレッジ６上の所定位置に移されたカセットＫ内の被処理板Ｐに対して水平遠近方向に直線的に往復移動自在な可動体６３に取り付け、この可動体６３を、昇降キャレッジ６上の所定位置に移されたカセットＫ内の被処理板Ｐに対して前記センサー４７が離れる退避位置と当該被処理板Ｐに接近する作用位置との間で往復移動させる駆動手段（シリンダーユニット６４）を設けることができる。

尚、カセット移載手段７が昇降キャレッジ６に対して左右何れか一方に対してのみ出退移動自在なものであるときは、請求項５に記載のように、被処理板検出装置４２は、カセット移載手段７によるカセットＫの受け渡し経路の終端外側に配設し、この被処理板検出装置４２が備える被処理板検出用センサー４７は、カセット移載手段７によりカセット受け渡し経路の終端に引き込まれるときのカセットＫの移動により相対的に当該カセットＫ内に進入して被処理板Ｐの検出が可能なように定位置に固定することができる。

また、請求項６に記載のように、入出庫装置１の昇降キャレッジ６上にターンテーブル２０を設け、カセット移載手段７は前記ターンテーブル２０上に搭載して、当該ターンテーブル２０の回転により左右何れ側に対してもカセット受け渡しが可能なように構成し、前記被処理板検出装置４２は、前記ターンテーブル２０の回転に伴うカセット移載手段７やカセットＫの回転と干渉しない昇降キャレッジ６上の位置に配設することができる。この場合、請求項２に記載の構成（請求項３や４に記載の構成を含む）を組み合わせるのが好ましい。

上記のように入出庫装置１の昇降キャレッジ６上にカセット移載手段７を搭載するターンテーブル２０が設けられる場合、請求項７に記載のように、前記被処理板検出装置４２は、前記カセット移載手段６により受け渡しされるカセットＫと干渉しない位置で前記ターンテーブル２０上に配設することもできる。この場合には、請求項２に記載の構成（請求項３や４に記載の構成を含む）の他、請求項５に記載の構成も組み合わせることができる。

更に、請求項８に記載のように、被処理板検出装置４２が備える被処理板検出用センサー４７は、昇降キャレッジ６上の所定位置に移されたカセットＫ内の被処理板Ｐの周辺複数箇所（被処理板Ｐの一辺に対する複数箇所を含む）のそれぞれに対応して設けることができる。

また、請求項９に記載のように、入出庫装置１が、処理装置３０Ａ，３０Ｂから搬出された処理済みの被処理板Ｐが収納されたカセットＫをカセット保管棚２５Ａ，２５Ｂに戻す再入庫作業も行うように構成されている場合、当該入出庫装置１の昇降キャレッジ６上に搭載された前記被処理板検出装置４２は、再入庫されるカセットＫ内の被処理板Ｐのマッピングデータを得るための被処理板検出作業も行うように構成することができる。

上記構成の本発明に係るカセット保管及び被処理板の処理設備によれば、自動倉庫の入出庫装置により保管棚から被処理板取り出し・搬入装置へカセットを搬出する作業途中に、前記入出庫装置の昇降キャレッジ上にあるカセットに対して被処理板検出装置を働かせ、当該カセット内の被処理板のマッピングデータを得ることができるのであるから、被処理板取り出し・搬入装置へカセットが搬出される前に当該カセットの被処理板マッピングデータを当該被処理板取り出し・搬入装置の被処理板取り出し手段であるロボットなどに与え、被処理板取り出し・搬入装置に搬出されたカセットに対し時間遅れ無しに直ちに被処理板を１枚ずつ取り出す作業を開始させることができる。従って、被処理板取り出し・搬入装置へ搬出されたカセット内から被処理板を１枚ずつ取り出して処理装置に送給する一連の作業に要するサイクルタイムを短縮し、作業能率を高めることができる。また、１つの入出庫装置に対して複数の被処理板取り出し・搬入装置が設置されていて、これら各被処理板取り出し・搬入装置にカセットを分配するような大規模な設備である場合でも、各被処理板取り出し・搬入装置ごとに被処理板マッピングデータを得るための被処理板検出装置を設置する必要がなく、設備全体のコストダウンを図ることができる。

尚、請求項２に記載の構成によれば、入出庫装置の昇降キャレッジ上と保管棚との間のカセット移載手段によるカセットの受け渡しに影響を与えない位置に被処理板検出装置を搭載することができ、しかも当該被処理板検出装置が備える被処理板検出用センサーを動作させるときは、当該センサーをカセット内の被処理板に対して接近させることができるのであるから、被処理板検出装置を無理に小型化したり、被処理板から十分に離れていても正確に検出機能を発揮できるような特殊なセンサーを使用する必要がないので、本発明を容易且つ安価に実施することができる。この請求項２に記載の構成を採用する場合、請求項３に記載によれば、被処理板検出装置が備える被処理板検出用センサーを直線的に往復移動可能に構成する場合よりも被処理板検出装置の設置に必要な平面積を大巾に小さくすることができ、カセット移載手段によるカセット受け渡し経路脇の狭いスペース内にも被処理板検出装置を無理なく設置することができるが、カセットに被処理板検出装置を比較的接近させて配設することができる場合は、請求項４に記載の構成を採用することもできる。

勿論、カセット移載手段による昇降キャレッジ上のカセット受け渡し経路が当該昇降キャレッジの一側方から他側方へ横断するものではなく、昇降キャレッジ上の所定位置と当該昇降キャレッジの一側方との間でのみ構成される場合には、請求項５に記載の構成を採用することにより、請求項２に記載の構成（請求項３や４に記載の構成を含む）を採用する場合のように、被処理板検出装置が備える被処理板検出用センサーを移動させる必要がないので、構成が簡単になり、安価に実施することができ、しかも結果的には当該被処理板検出用センサーをカセット内に自動的に進入させて被処理板に接近させることができるので、被処理板から十分に離れていても正確に検出機能を発揮できるような特殊なセンサーを使用しなくとも確実に正確な検出を行わせることができる。

入出庫装置の昇降キャレッジ上に設けられるカセット移載手段としては、昇降キャレッジ上の左右横巾の中心位置をホームポジションとして左右何れ側にも進出移動できる左右スライド式のランニングフォーク形式のものでも利用できるが、このようなスライド式ランニングフォーク形式のカセット移載手段では、取り扱う被処理板の種類によっては摺動面からの磨耗粉の発生が悪影響を及ぼす恐れがある。従って、後述する実施形態で示すように、昇降キャレッジ上に設けられたターンテーブル上に、当該ターンテーブル上のホームポジションに対して片側へのみ進出可能なリンク形式のカセット移載手段（回転軸受け部だけであってスライドによる摺動面がないので磨耗粉の発生が殆どない）を搭載し、ターンテーブルの回転により左右何れ側に対してもカセット受け渡しが可能なように構成することが好ましいのであるが、このような自動倉庫に対して本発明を実施する場合は、請求項６や請求項７に記載の構成を採用することができる。

特に請求項７に記載の構成を採用するときは、請求項２に記載の構成（請求項３や４に記載の構成を含む）と請求項５に記載の構成の何れを組み合わせて実施する場合でも、昇降キャレッジ上に受け取ったカセットの左右向きを次に当該カセットを下ろす相手側の左右位置に応じて変えるためにターンテーブルを回転させている間も、被処理板検出装置による被処理板の検出時間に利用することができる。

本発明においては、走行する入出庫装置が備える昇降キャレッジ上またはこの昇降キャレッジ上のターンテーブル上に被処理板検出装置が配設されるので、入出庫装置の走行中や昇降キャレッジの昇降中、ターンテーブル上に被処理板検出装置が配設されるときは当該ターンテーブルの回転中も被処理板検出装置によるカセット内の被処理板の検出動作を行わせることができるのであるが、このような検出動作時期は、従来の床面上の設置設備に被処理板検出装置が併設される場合よりも振動や多少の揺れなどを伴うので、被処理板検出装置に使用されるセンサーによっては誤検出の可能性が高まる。このような場合に請求項８に記載の構成によれば、被処理板の周辺複数箇所のそれぞれに対応して被処理板検出用センサーが配設されているので、例えば１枚の検出対象の被処理板の周辺複数箇所に対応する複数のセンサーの検出結果が同一でないような場合には誤検出として認識させ、再度検出動作を実行させるなどの対策を自動的にとらせるような制御が可能になり、マッピングデータの精度が低下するのを防止できる。

更に、自動倉庫からカセットを処理装置に供給するような設備では、処理済みの被処理板が収納されたカセットを、当該自動倉庫の入出庫装置を利用して同自動倉庫の保管棚に再入庫し、処理済みの被処理板の搬送先の要求があるまで一時保管しておくことが行われるが、このような場合には、請求項９に記載の構成を採用することにより、処理装置から搬出された被処理板を空カセットに収納する作業場所に被処理板検出装置を併設する必要がなくなり、自動倉庫の入出庫装置が備えている被処理板検出装置を利用して、処理装置から搬出された処理済みの被処理板が収納されたカセット内の被処理板のマッピングデータを得ることができる。

以下に本発明の具体的実施例を添付図に基づいて説明すると、図１及び図２に示すように、この実施形態において利用する自動倉庫の入出庫装置１の基本構成は従来周知のものであって、床面側に付設された左右一対のガイドレール２に走行可能に支持された台車３の上に門形フレーム４を立設し、この門形フレーム４の前後一対の支柱部５ａ，５ｂ間で昇降可能な昇降キャレッジ６の上にカセット移載手段７を設けたものである。台車３には、ガイドレール２上を転動する４つの車輪８ａ〜８ｄと、片側のガイドレール２を前後２箇所で左右両側から挟む振れ止め用垂直軸ローラー９とが軸支されると共に、車輪８ａ〜８ｄの内、対角位置にある２つの車輪８ａ，８ｂを同期させて駆動する走行用駆動モーター１０ａ，１０ｂが搭載されている。従って、走行用駆動モーター１０ａ，１０ｂで車輪８ａ，８ｂを同期させて駆動することにより、入出庫装置１をガイドレール２に沿って前後任意の方向に走行させることができる。

昇降キャレッジ６は、門形フレーム４の前後一対の支柱部５ａ，５ｂ内に形成されている昇降用ガイドレール部に係合する前後一対の昇降体１１ａ，１１ｂと、両昇降体１１ａ，１１ｂの内側に連結されたサイドフレーム１２ａ，１２ｂと、両サイドフレーム１２ａ，１２ｂの下端部に前後両端部が左右水平連結軸１３で連結された本体フレーム１４とから成り、門形フレーム４の前後一対の支柱部５ａ，５ｂの上下両端内部に軸支された歯輪１５ａ，１５ｂ間及び１６ａ，１６ｂ間に掛張された昇降駆動用チエン１７ａ，１７ｂそれぞれの中間に前記昇降体１２ａ，１２ｂとカウンターウエイト１８ａ，１８ｂとが互いに逆方向に昇降運動するように介在され、下側の歯輪１５ａ，１６ａを同期させて駆動する昇降駆動用モーター１９ａ，１９ｂが設けられている。従って、昇降駆動用モーター１９ａ，１９ｂにより歯輪１５ａ，１６ａを同期させて駆動することにより、昇降駆動用チエン１７ａ，１７ｂを介して昇降キャレッジ６を門形フレーム４の前後一対の支柱部５ａ，５ｂ間で昇降させることができる。

昇降キャレッジ６上のカセット移載手段７は、昇降キャレッジ６の本体フレーム１４に設けられた垂直軸心の周りに回転自在なターンテーブル２０の上に設けられており、ターンテーブル２０上に軸支された一対の水平揺動主リンク２１ａ，２１ｂ、これら両主リンク２１ａ，２１ｂの先端に軸支された一対の水平揺動副リンク２２ａ，２２ｂ、これら両副リンク２２ａ，２２ｂの先端部で支持されたカセット支持フォーク２３、及び主リンク２１ａ，２１ｂの揺動運動に連動して副リンク２２ａ，２２ｂを逆向きに強制揺動させる連動手段２４ａ，２４ｂから成るものである。

このカセット移載手段７は、特開２００２−３７０１８４号公報に記載されたものと基本的に同一のものであルから、詳細な説明は省略するが、一対の主リンク２１ａ，２１ｂ及び一対の副リンク２２ａ，２２ｂが図２に実線で示すように外向きに突出する前後対称の山形状態にあるとき、カセット支持フォーク２３が後退限であるホームポジションに位置し、係る状態から一対の主リンク２１ａ，２１ｂをターンテーブル２０に搭載の駆動手段により互いに逆向きとなる外回りの方向に同一速度で連動揺動させることにより、連動手段２４ａ，２４ｂの働きで主リンク２１ａ，２１ｂに対し互いに逆向きとなる内回りの方向に同一速度で連動揺動する一対の副リンク２２ａ，２２ｂで支持されたカセット支持フォーク２３が、図２に仮想線で示す進出限位置まで左右水平方向に直線的に進出移動するものである。

而して、ホームポジション（後退限位置）にあるカセット支持フォーク２３は、昇降キャレッジ６の左右横巾のほぼ中心位置にあり、このときの一対の主リンク２１ａ，２１ｂ及び一対の副リンク２２ａ，２２ｂの姿勢に対し左右対称形となる姿勢までこれら一対の主リンク２１ａ，２１ｂ及び一対の副リンク２２ａ，２２ｂが揺動したとき、カセット支持フォーク２３が進出限位置に達することになり、係る状態でのカセット支持フォーク２３は、そのほぼ全体が昇降キャレッジ６に対し左右一側方に突出する状態となるように構成されている。また、ターンテーブル２０は、１８０度の範囲で正逆回転自在なものであって、当該ターンテーブル２０がその１８０度の回転範囲の一端回転限位置にあるとき、図示のようにカセット移載手段７のカセット支持フォーク２３がこの入出庫装置１の走行方向に対し直角向きで左右一側方に出退移動させることができ、係る状態からターンテーブル２０を他端回転限位置まで１８０度回転させたとき、カセット支持フォーク２３が左右反対向きに切り換わり、この入出庫装置１の走行方向に対し左右他側方に出退移動させることができるように構成されている。

上記構成の入出庫装置１は、例えば図３に示すようなカセット保管及び被処理板の処理設備において使用される。即ち、図３に示すカセット保管及び被処理板の処理設備では、上記構成の入出庫装置１とその走行経路の左右両側に立設された保管棚２５Ａ，２５Ｂとから成る自動倉庫に、入庫用コンベヤ２６に接続された入庫台２７、出庫用コンベヤ２８に接続された出庫台２９、及び複数の処理装置３０Ａ，３０Ｂが併設され、各処理装置３０Ａ，３０Ｂと自動倉庫との間には、被処理板取り出し・搬入装置３１Ａ，３１Ｂと処理済みの被処理板の搬出・収納装置３２Ａ，３２Ｂとが併設されている。

保管棚２５Ａ，２５Ｂは、入出庫装置１のカセット移載手段７によりカセットＫが受け渡しされるカセット収納区画３３を立体的に備えたものであり、被処理板取り出し・搬入装置３１Ａ，３１Ｂは、保管棚２５Ａ内の適当位置にあるカセット収納区画３３を利用して保管棚２５Ａ内に設置した被処理板取り出し部３４と、取り出された被処理板Ｐを処理装置３０Ａ，３０Ｂに送給する搬入用コンベヤ３５とから構成され、被処理板の搬出・収納装置３２Ａ，３２Ｂは、保管棚２５Ａ内の適当位置にあるカセット収納区画３３を利用して保管棚２５Ａ内に設置した被処理板収納部３６と、処理済みの被処理板Ｐを被処理板収納部３６に搬送する搬出用コンベヤ３７とから構成されている。

被処理板取り出し部３４は、入出庫装置１により保管棚２５Ａ，２５Ｂ内の特定のカセット収納区画３３から取り出されて被処理板取り出し部３４の定位置に移載されたカセットＫ内から被処理板Ｐを１枚ずつ取り出して搬入用コンベヤ３５に送り出すもので、例えば特許文献１に記載されたように被処理板Ｐを掬い出すハンドを備えたロボットや、特許文献２に記載されたようにカセット底部から当該カセット内に対し相対的に昇降出退移動する被処理板搬出用コンベヤを利用して最下段の被処理板Ｐから１枚ずつ搬出する搬出手段が使用される。被処理板収納部３６は、この被処理板収納部３６の定位置に移載された空カセットＫ内に処理済みの被処理板Ｐを１枚ずつ挿入収納するもので、前記被処理板取り出し部３４に使用されるロボットや、特許文献２に記載されたようにカセット底部から当該カセット内に対し相対的に昇降出退移動する被処理板搬入用コンベヤを利用して最上段から被処理板Ｐを１枚ずつ挿入収納する搬入手段が使用される。

尚、被処理板取り出し部３４において被処理板Ｐの取り出しにより空になったカセットＫは、入出庫装置１により保管棚２５Ａ，２５Ｂに入庫保管するかまたは空き状態の被処理板収納部３６に移載することができる。被処理板収納部３６に対しては、保管棚２５Ａ，２５Ｂ内で保管されている空カセットＫが入出庫装置１により供給されるが、被処理板取り出し部３４から被処理板収納部３６へ空カセットＫを搬送する搬送手段により空カセットＫを被処理板収納部３６に供給させることもできる。

また、入出庫装置１でカセットＫを被処理板取り出し部３４に直接移載し、そして被処理板収納部３６で処理済みの被処理板Ｐが挿入収納されたカセットＫを入出庫装置１で直接受け取るように構成された設備を説明したが、図４に示すように被処理板取り出し・搬入装置３１には、入出庫装置１でカセットＫを搬入用カセット受け部３８に移載し、この搬入用カセット受け部３８から被処理板取り出し部３４にカセットＫを搬入すると共に当該被処理板取り出し部３４で空になったカセットＫを搬出用カセット受け部３９に送り出すカセット搬送手段を設けることができるし、処理済みの被処理板の搬出・収納装置３２には、入出庫装置１で空カセットＫを搬入用空カセット受け部４０に移載し、この搬入用空カセット受け部４０から被処理板収納部３６に空カセットＫを搬入すると共に当該被処理板収納部３６で所要枚数の処理済みの被処理板Ｐが挿入収納されたカセットＫを搬出用カセット受け部４１に送り出すカセット搬送手段を設けることができる。搬出用カセット受け部３９に搬出された空カセットＫや、搬出用カセット受け部３９に搬出された処理済みの被処理板Ｐが挿入収納されたカセットＫは、入出庫装置１により保管棚２５Ａ，２５Ｂ内に入庫保管することができる。

勿論、各処理装置と自動倉庫との間に配設する被処理板取り出し・搬入装置と処理済みの被処理板の搬出・収納装置の構成は、上記のものに限定されず、要は入出庫装置１で保管棚２５Ａ，２５Ｂ内から取り出されて所定位置に搬出されたカセットＫから被処理板Ｐを１枚ずつ取り出して処理装置に送給し、処理装置から送り出される処理済みの被処理板Ｐを空カセットＫ内に１枚ずつ挿入収納したカセットＫを入出庫装置１で保管棚２５Ａ，２５Ｂ内に入庫保管できるように構成されておれば良い。勿論、本発明においては、被処理板取り出し・搬入装置は必須であるが、処理済みの被処理板の搬出・収納装置は必須ではない。例えば、処理装置から送り出された処理済みの被処理板を挿入収納したカセットＫは、入出庫装置１で元の保管棚２５Ａ，２５Ｂ内に入庫保管せず、別の加工処理装置や別の保管設備に専用の搬送装置で搬送するように構成された設備であっても良い。

上記構成のカセット保管及び被処理板の処理設備においては、入庫台２７に送り込まれた処理前の被処理板が収納されたカセットＫは、入出庫装置１により保管棚２５Ａ，２５Ｂ内の空いているカセット収納区画３３内に入庫保管され、処理装置３０Ａ，３０Ｂまたは被処理板取り出し・搬入装置３１，３１Ａ，３１Ｂにおける被処理板取り出し部３４からの要求に応じて、入出庫装置１により保管棚２５Ａ，２５Ｂから取り出されて被処理板取り出し・搬入装置３１，３１Ａ，３１Ｂのカセット受取位置に搬出される。そしてこの被処理板取り出し・搬入装置３１，３１Ａ，３１Ｂの被処理板取り出し部３４においてカセットＫ内から被処理板Ｐが１枚ずつ取り出されて処理装置３０Ａ，３０Ｂに送給されることになる。処理装置３０Ａ，３０Ｂで処理されて送り出される被処理板Ｐは、処理済みの被処理板の搬出・収納装置３２，３２Ａ，３２Ｂにおける被処理板収納部３６において空のカセットＫに１枚ずつ挿入収納され、所要枚数の処理済みの被処理板Ｐが収納されたカセットＫが再び入出庫装置１により保管棚２５Ａ，２５Ｂ内に入庫保管される。この保管棚２５Ａ，２５Ｂ内に保管された処理済みの被処理板Ｐが収納されたカセットＫは、次段からの要求に応じて入出庫装置１により出庫台２９に出庫され、出庫用コンベヤ２９により搬出される。

入出庫装置１と、入庫台２７、保管棚２５Ａ，２５Ｂのカセット収納区画３３、被処理板取り出し・搬入装置３１，３１Ａ，３１Ｂのカセット受取位置、処理済みの被処理板の搬出・収納装置３２，３２Ａ，３２Ｂのカセット搬出位置、及び出庫台２９との間のカセットＫの受け渡し作業は、カセット受け渡しレベルにカセット移載手段７を対応させるための昇降キャレッジ６の昇降動作、入出庫装置１に対するカセット受け渡し対象の左右位置に応じたターンテーブル２０の回転動作、カセット支持フォーク２３の進出限位置への進出動作、カセット移載のための昇降キャレッジ６の昇降動作、及びカセット支持フォーク２３の後退限位置（ホームポジション）への後退動作によって行われる。

而して上記設備では、被処理板取り出し・搬入装置３１，３１Ａ，３１Ｂの被処理板取り出し部３４に送り込まれるカセットＫ、即ち、処理前の被処理板Ｐが収納されたカセットＫは、その前工程において必ず入出庫装置１により搬送される機会を持つことになり、処理済みの被処理板Ｐが収納されたカセットＫは、保管棚２５Ａ，２５Ｂに再入庫されるときに必ず入出庫装置１により搬送される機会を持つことになる。本発明はこの機会を利用してカセットＫ内の被処理板Ｐの支持位置情報、即ち、マッピングデータを得ることができるように、図１及び図２に示すように、入出庫装置１の昇降キャレッジ６上に被処理板検出装置４２を設けるものである。

具体的に説明すると、この実施形態における被処理板検出装置４２は、ターンテーブル２０を回転させてカセット支持フォーク２３やその上に支持されたカセットＫの向きを左右逆向きに転向させるときに当該カセット支持フォーク２３やカセットＫと干渉しない位置、即ち、即ち、図２に示すカセット支持フォーク２３やその上に支持されたカセットＫの回転領域Ａの外側に位置するように、昇降キャレッジ６における片側のサイドフレーム１２ｂの内側に取り付けられたもので、図５及び図６に示すように、固定フレーム４３と、上下両端が同心状の垂直支軸４４ａ，４４ｂにより固定フレーム４３に軸支された回転フレーム４５と、この回転フレーム４５に一端部が取り付けられて水平横方向に延出する上下複数段のアーム４６と、各アーム４６の先端部上側に取り付けられた被処理板検出用センサー４７と、下側垂直支軸４４ｂを介して回転フレーム４５をほぼ９０度の範囲内で正逆回転駆動するためのアクチェーター（電動モーター、油圧または空圧シリンダー、油圧モーター、ソレノイドなど）４８とから構成されたものである。尚、各アーム４６の長さを短くするために、垂直軸心の周りに揺動する１つの揺動体の端部に上下複数段にセンサー４７を取り付けても良い。

上記構成の被処理板検出装置４２によれば、カセット移載手段７のカセット支持フォーク２３に支持されて昇降キャレッジ６上の定位置にカセットＫが引き込まれた状態において、入出庫装置１の走行中など、次にカセット移載手段７で当該カセットＫが被処理板取り出し・搬入装置３１，３１Ａ，３１Ｂのカセット受取位置に移すまでの適当な時期（勿論、カセットＫの向きを左右逆向きに転向させるときは、ターンテーブル２０の回転の前後適当な時期）にアクチェーター４８を作動させ、回転フレーム４５を介して全てのアーム４６を、カセットＫの横側方で当該カセットＫの側辺と平行な退避姿勢から正方向にほぼ９０度回転させ、各被処理板検出用センサー４７をカセットＫ内に上下複数段に所定間隔で支持されている被処理板Ｐに対する検出位置に接近させることができる。

上記の被処理板検出装置４２を昇降キャレッジ６上に備えた構成によれば、上記のように入出庫装置１で搬送中の処理前または処理済みの被処理板Ｐを収納したカセットＫに対して被処理板検出装置４２を上記のように作動させ、各段のセンサー４７を、当該カセットＫ内の各段の被処理板Ｐに対して離れた退避位置から各段の被処理板Ｐに接近した検出作用位置に切り換え、カセットＫ内の各段の被処理板支持位置における被処理板Ｐの有無を検出させ、その検出信号に基づいて当該カセットＫにおける被処理板のマッピングデータを自動作成させることができる。このようにして得られたカセットＫごとの被処理板のマッピングデータは、上記実施形態では当該カセットＫが被処理板取り出し・搬入装置３１，３１Ａ，３１Ｂの被処理板取り出し部３４に送り込まれたときの当該被処理板取り出し部３４の「被処理板を１枚ずつ取り出す手段」の制御に使用され、当該カセットＫ内の実際に被処理板Ｐが在席する段の被処理板支持位置に対して「被処理板を１枚ずつ取り出す手段」を作用させることができる。

図７〜図１１は、被処理板検出装置４２をターンテーブル２０上に設置した実施形態を示している。この実施形態に示す被処理板検出装置４２は、ターンテーブル２０に対して後退限位置（ホームポジション）にあるカセット支持フォーク２３上の定位置に支持されているカセットＫのフォーク進出方向側の端部の左右両側に配置された２つの前側検出ユニット４２ａ，４２ｂと、ターンテーブル２０に対して後退限位置にあるカセット支持フォーク２３上の定位置に支持されているカセットＫのフォーク進出方向とは反対側の端部の後側左右二箇所に配置された２つの後側検出ユニット４２ｃ，４２ｄとを備えているが、後述するように全ての検出ユニット４２ａ〜４２ｄを必須とするわけではない。

前側検出ユニット４２ａ，４２ｂ及び後側検出ユニット４２ｃ，４２ｄを支持する検出ユニット支持用枠組み体４９は、ターンテーブル２０上に基部が固定されて斜め前方にＶ字形に延出する支持フレーム５０ａとターンテーブル２０上に基部が固定されて斜め後方にＶ字形に延出する支持フレーム５０ｂとでターンテーブル２０上に支持されたもので、前側支持フレーム５０ａの先端部上で支持された前側水平材５１、後側支持フレーム５０ｂの先端部上で支持された後側水平材５２、前後両水平材５１，５２の両端部上に立設された支柱材５３ａ，５３ｂ及び５４ａ，５４ｂ、カセット支持フォーク２３の出退移動に伴うカセットＫの受け渡し経路に対して同一側に位置する支柱材５３ａ，５４ａの上端部間及び支柱材５３ｂ，５４ｂの上端部間にそれぞれ架設された水平連結材５５ａ，５５ｂ、後側の支柱材５４ａ，５４ｂの上端部間に架設された水平連結材５６、上端が水平連結材５５ａ，５５ｂの前端寄り位置に結合され且つ下端が前側の支柱材５３ａ，５３ｂの下端に水平連結材５７ａ，５７ｂを介して結合された前側検出ユニット支持用支柱材５８ａ，５８ｂ、及び後側水平材５２とその真上の水平連結材５６との間で左右両端寄り位置に結合された後側検出ユニット支持用支柱材５９ａ，５９ｂから構成されたものである。検出ユニット支持用枠組み体４９を支持する前後の支持フレーム５０ａ，５０ｂは、ターンテーブル２０上でのカセット移載手段７における水平揺動主リンク２１ａ，２１ｂの前後水平揺動運動の領域と平面視において重ならないように配置され、前後の水平材５１，５２は、前記カセット移載手段７における水平揺動副リンク２２ａ，２２ｂの水平揺動運動の領域の下側に配置されている。また、検出ユニット支持用枠組み体４９を構成する各材５３ａ〜５９ｂは、ターンテーブル２０に対して後退限位置（ホームポジション）に向かって後退移動するカセット支持フォーク２３及び当該フォーク２３上のカセットＫと干渉しないような位置に配置されていることは当然である。勿論、検出ユニット支持用枠組み体４９の構造がこの実施形態で示したものに限定されないことも当然である。

各検出ユニット４２ａ〜４２ｂは、基本的な構成が同一のもので、図１１にも示すように、取付板６０に取り付けられたスライドレール６１に下端部がスライダー６２を介して当該スライドレール６１の長さ方向に往復移動可能に支持された可動体６３と、この可動体６３を往復移動させる駆動手段として取付板６０と可動体６３との間に介装されたシリンダーユニット６４と、可動体６３に取り付けられた複数の被処理板検出用センサー４７とから構成されている。前記可動体６３は、その往復移動方向、即ち、スライドレール６１の長さ方向に対して直交して起立する帯状板から成り、前側２つの検出ユニット４２ａ，４２ｂは、可動体６３の往復移動方向がカセットＫの受け渡し経路方向に対し直交する水平方向となるように、取付板６０を利用して前記検出ユニット支持用枠組み体４９における前側左右の前側検出ユニット支持用支柱材５８ａ，５８ｂに取り付けられ、後側２つの検出ユニット４２ｃ，４２ｄは、可動体６３の往復移動方向がカセットＫの受け渡し経路方向と同一の水平方向となるように、取付板６０を利用して前記検出ユニット支持用枠組み体４９における後側左右の後側検出ユニット支持用支柱材５９ａ，５９ｂに取り付けられている。

而して、各検出ユニット４２ａ〜４２ｄのセンサー４７は、可動体６３が後退限位置（退避位置）にあるとき、カセット支持フォーク２３の出退移動に伴う当該フォーク２３上のカセットＫの受け渡し経路の外側にあって、当該カセットＫと干渉することはない。そしてカセット支持フォーク２３が後退限位置（ホームポジション）に達したとき、各センサー４７はカセットＫ内の各段の被処理板Ｐに対応することになる。係る状態で各検出ユニット４２ａ〜４２ｄのシリンダーユニット６４（駆動手段）を作動させて可動体６３を進出限位置（作用位置）まで水平直線的に進出移動させることにより、前側２つの検出ユニット４２ａ，４２ｂの各センサー４７がカセットＫ内に左右両側から入り込んで、各段被処理板Ｐの左右両側辺の前端寄り二箇所に接近した検出位置に位置すると共に、後側２つの検出ユニット４２ｃ，４２ｄの各センサー４７がカセットＫ内に後側から入り込んで、各段被処理板Ｐの後側辺の左右両端寄り二箇所に接近した検出位置に位置することになる。

上記のように、カセット移載手段７によりカセットＫが保管棚２５Ａ，２５Ｂなどから昇降キャレッジ６上の所定位置に移されたとき（カセットＫを定位置で支持するカセット支持フォーク２３がホームポジションまで後退したとき）、各検出ユニット４２ａ〜４２ｄの可動体６３を退避位置から作用位置に進出移動させて各段センサー４７を検出位置に切り換えることにより、昇降キャレッジ６上の所定位置に移されたカセットＫ内の各段被処理板支持レベルでの被処理板Ｐの有無を各センサー４７により検出させることができるのである。この被処理板検出装置４２による検出動作は、カセットＫが昇降キャレッジ６上の所定位置に移された以降、例えばカセットＫの左右向きの変更のためのターンテーブル２０の回転動作、昇降キャレッジ６の昇降動作、入出庫装置１の走行動作など行われている間にも実行可能である。

而してこの実施形態では、被処理板検出装置４２が備える４つの検出ユニット４２ａ〜４２ｄにより、１枚の被処理板Ｐの周辺複数箇所（具体的には周辺四箇所）を同時に検出させることができるので、例えば、同一レベルの４つのセンサー４７が全て同一の検出状態（被処理板があるときは全てのセンサー４７がＯＮ、無いときは全てのセンサー４７がＯＦＦ）であれば正常検出、そうでなければ異常検出と認識させ、異常検出の場合は、この検出動作時におけるターンテーブル２０の回転動作、昇降キャレッジ６の昇降動作、入出庫装置１の走行動作などに発生する振動に起因する異常検出があり得るので、直ちにまたは設定時間経過後に再度検出を行わせ、それでも異常検出であるならば、被処理板検出装置４２の異常として必要な対策を自動的に実行させることができる。勿論、このような目的を達成するためであっても、上記実施形態における４つの検出ユニット４２ａ〜４２ｄの全てが必要であるわけではなく、例えば４つの検出ユニット４２ａ〜４２ｄの内、任意の少なくとも２つの検出ユニットのみを採用することができる。また、図１〜図６の実施形態においても、センサー４７の位置を切り換える手段として揺動体（アーム４６）を使用した１つの検出ユニットのみから成る被処理板検出装置４２をターンテーブル２０の左右両側に配設することもできる。

尚、図７〜図１１に示した実施形態の被処理板検出装置４２における各検出ユニット４２ａ〜４２ｄの構成において、垂直に起立する長尺の帯状板から成る可動体６３は、取付板６０、スライドレール６１、スライダー６２、及びシリンダーユニット６４から成る支持・駆動ユニットに下端部が支持されているが、この場合、当該可動体６３の振れ止めのために、当該可動体６３の上端部を案内するガイドレール６５を検出ユニット支持用支柱材５８ａ〜５９ｂに取り付けることができる。勿論、前記支持・駆動ユニットのスライドレール６１をシリンダーユニット６４の上下両側に振り分けて２本並設したすることにより、可動体６３の振れ止め効果を高めるならば、この支持・駆動ユニットのみで可動体６３を支持させることもできる。また、可動体６３の高さ方向中間部を前記支持・駆動ユニットにより支持させることもできるし、場合によっては、可動体６３の上下両端部をスライドレールに支持させ、当該可動体６３の中間高さ位置をシリンダーユニット６４で往復駆動させるように構成しても良い。更に、スライドレールに代えてリンク機構により可動体６３を直線的に水平方向往復移動自在に支持させることもできるし、駆動手段としてもシリンダーユニット６４に限定されるものではない。

図１２及び図１３に示す実施形態は、上記図７〜図１１に示す実施形態における被処理板検出装置４２のカセット周囲４箇所の検出ユニット４２ａ〜４２ｄの内、前側２つの検出ユニット４２ａ，４２ｂを無くし、カセット移載手段７によるカセットＫの受け渡し経路の終端外側に位置する後側２つの検出ユニット４２ｃ，４２ｄのみで被処理板検出装置４２を構成している。そしてこの後側２つの検出ユニット４２ｃ，４２ｄは、カセットＫ内の各段被処理板Ｐに対応する上下複数段の被処理板検出用センサー４７が取り付けられた垂直部材（可動体６３に相当する部材）６６を検出ユニット支持用枠組み体４９の後側検出ユニット支持用支柱材５９ａ，５９ｂにブラケット６７を介して固着することにより構成すると共に、カセット移載手段７によりカセット受け渡し経路の終端に引き込まれるときのカセットＫの移動により、両検出ユニット４２ｃ，４２ｄの各被処理板検出用センサー４７が相対的に当該カセットＫ内に進入して被処理板Ｐの検出が行えるように構成している。

従って、この実施形態における検出ユニット支持用枠組み体４９では、前側水平材５１の左右両端部と後側の支柱材５４ａ，５４ｂの上端部（水平連結材５６の左右両端部）とが斜め連結材６８ａ，６８ｂにより連結され、前側２つの検出ユニット４２ａ，４２ｂを支持するための部材は全て除かれている。

上記のように、被処理板検出用センサー４７が定位置に固定された後側２つの検出ユニット４２ｃ，４２ｄのみから成る被処理板検出装置４２を備えた実施形態では、カセット移載手段７がカセット保管棚２５Ａ，２５ＢからカセットＫを掬い上げて昇降キャレッジ６上の所定位置、即ち、ターンテーブル２０上でカセット移載手段７によるカセット受け渡し経路の終端位置に引き込んだとき、カセット移載手段７のカセット支持フォーク２３上で支持されている当該カセットＫの移動終盤の後退移動時に、後側２つの検出ユニット４２ｃ，４２ｄにおける各被処理板検出用センサー４７が相対的に当該カセットＫ内に進入し、当該カセットＫが前記カセット受け渡し経路の終端位置に達したとき、各被処理板検出用センサー４７が当該カセットＫ内の各段の被処理板Ｐに対する検出位置に達することになるので、この後、ターンテーブル２０の回転でカセット移載手段７によるカセット受け渡し方向が切り換えられる間でも、後側２つの検出ユニット４２ｃ，４２ｄにおける各被処理板検出用センサー４７の検出動作を実行させて、当該カセットＫ内の被処理板Ｐのマッピングデータを自動作成することができる。

勿論、入出庫装置１の走行と昇降キャレッジ６の昇降動作とによりカセットＫを目的の場所に搬送した後、カセット移載手段７で昇降キャレッジ６上（ターンテーブル２０上）の所定位置に支持されているカセットＫを入出庫装置１から搬出させるとき、その搬出方向に応じてターンテーブル２０を１８０度回転させたとき、または回転させないときに関係なく、カセット移載手段７によるカセットＫの送り出し時に後側２つの検出ユニット４２ｃ，４２ｄにおける各被処理板検出用センサー４７は相対的に当該カセットＫ内から後方に脱出するだけで、カセットＫの送り出しに支障を来すことはない。

尚、この実施形態において、カセットＫの移動に伴って当該カセットＫ内に対し相対的に出退移動する検出ユニットとして、カセットＫの後側辺の左右２箇所に対応する２つの検出ユニット４２ｃ，４２ｄを設けたが、カセットＫの後側辺の１箇所に相対的に出退移動する１つの検出ユニットを設けることもできる。勿論、この実施形態における位置固定の後側少なくとも１つの検出ユニット（具体例は２つの検出ユニット４２ｃ，４２ｄ）と、先の実施形態で示した前側の検出ユニット、即ち、カセットＫ内の被処理板Ｐに対し水平遠近方向に移動可能な検出ユニット（具体例は２つの検出ユニット４２ａ，４２ｂであるが、何れか一方だけでも良い）とを組み合わせて実施することも可能である。

被処理板検出用センサー４７としては反射式光電センサーが使用でき、その被処理板Ｐに対する検出位置は、各段の被処理板Ｐの周辺の上側（または下側）に平面視において重なる位置であり、従って、最上段（または最下段）のセンサー４７を除く全てのセンサー４７は、上下に隣り合う被処理板Ｐの間に進入した状態で各段の被処理板Ｐの周辺表面（または裏面）を検出する。しかしながら被処理板検出用センサー４７の種類は限定されるものではなく、例えば被処理板Ｐの外周端面を反射式光電センサーで検出するものであっても良い。この場合、被処理板検出用センサー４７の被処理板Ｐに対する検出位置は、各段の被処理板Ｐの外周端面に接近した位置となり、上下に隣り合う被処理板Ｐの間に進入させる必要はない。また、被処理板検出用センサーとしては、投光器と受光器の対を使用する透過型光電センサーを使用することもできるし、被処理板Ｐによっては接触式のセンサーを使用することもできる。

また、カセットＫ内の全ての被処理板支持位置に同時に対応させることができるように、被処理板検出用センサー４７を上下複数段に設けた被処理板検出装置を例示したが、例えば１つの被処理板検出用センサーを被処理板Ｐに対して離れた退避位置から当該被処理板Ｐに接近した検出作用位置との間で位置切り換え可能に構成すると共に検出作用位置にある１つの被処理板検出用センサーを昇降移動させて各段の被処理板支持位置における被処理板の有無を検出させるように構成された被処理板検出装置を利用することもできる。

入出庫装置の側面図である。 入出庫装置の要部と保管棚の一部とを示す横断平面図である。 カセット保管及び被処理板の処理設備の全体を示す概略平面図である。 同設備の変形例を示す要部の概略平面図である。 被処理板検出装置の横断平面図である。 同被処理板検出装置の一部切欠き正面図である。 別の実施形態を示す要部の平面図である。 図７に示す実施形態の要部の正面図である。 図７に示す実施形態の要部の背面図である。 図７に示す実施形態の要部の側面図である。 図７に示す実施形態に使用される検出ユニットの要部を示す立面図である。 更に別の実施形態を示す要部の平面図である。 図１２に示す実施形態の要部の側面図である。

符号の説明

１ 入出庫装置
２ ガイドレール
３ 台車
４ 門形フレーム
５ａ，５ｂ 支柱部
６ 昇降キャレッジ
７ カセット移載手段
２０ ターンテーブル
２１ａ，２１ｂ 水平揺動主リンク
２２ａ，２２ｂ 水平揺動副リンク
２３ カセット支持フォーク
２４ａ，２４ｂ 連動手段
２５Ａ，２５Ｂ 保管棚
３０Ａ，３０Ｂ 処理装置
３１，３１Ａ，３１Ｂ 被処理板取り出し・搬入装置
３２，３２Ａ，３２Ｂ 処理済みの被処理板の搬出・収納装置
３３ カセット収納区画
３４ 被処理板取り出し部
３５ 搬入用コンベヤ
３６ 被処理板収納部
３７ 搬出用コンベヤ
３８ 搬入用カセット受け部
３９，４１ 搬出用カセット受け部
４０ 搬入用空カセット受け部
４２ 被処理板検出装置
４２ａ〜４２ｄ 検出ユニット
４３ 固定フレーム
４４ａ，４４ｂ 同心状の垂直支軸
４５ 回転フレーム
４６ アーム
４７ 被処理板検出用センサー
４８ アクチェーター
４９ 検出ユニット支持用枠組み体
５０ａ，５０ｂ 支持フレーム
６０ 取付板
６１ スライドレール
６３ 可動体
６４ シリンダーユニット（駆動手段）
６５ 振れ止め用ガイドレール

Claims (9)

1. 複数枚の被処理板を多段に収納するカセットを立体的に保管するカセット保管棚と、この保管棚に沿って走行可能で昇降キャレッジ上にカセット移載手段を備えた入出庫装置と、この入出庫装置により出庫されたカセットから被処理板を１枚ずつ取り出して処理装置に供給する被処理板取り出し・搬入装置とを備えたカセット保管及び被処理板の処理設備であって、前記カセット入出庫装置の昇降キャレッジ上に、保管棚内からこの昇降キャレッジ上に移されたカセット内の被処理板のマッピングデータを得るための被処理板検出装置が搭載されている、カセット保管及び被処理板の処理設備。
2. 被処理板検出装置は、前記カセット移載手段によるカセットの受け渡し経路の外側に配設され、この被処理板検出装置が備える被処理板検出用センサーは、前記カセット移載手段により昇降キャレッジ上の所定位置に移されたカセット内の被処理板に対する水平遠近方向に移動自在に構成されている、請求項１に記載のカセット保管及び被処理板の処理設備。
3. 被処理板検出装置が備える被処理板検出用センサーは、垂直軸心の周りで水平揺動自在な揺動体の先端に取り付けられ、この揺動体を、昇降キャレッジ上の所定位置に移されたカセット内の被処理板に対して前記センサーが離れた退避位置と当該カセット内の被処理板に接近した作用位置との間で揺動させる駆動手段が設けられた、請求項２に記載のカセット保管及び被処理板の処理設備。
4. 被処理板検出装置が備える被処理板検出用センサーは、昇降キャレッジ上の所定位置に移されたカセット内の被処理板に対して水平遠近方向に直線的に往復移動自在な可動体に取り付けられ、この可動体を、昇降キャレッジ上の所定位置に移されたカセット内の被処理板に対して前記センサーが離れた退避位置と当該カセット内の被処理板に接近した作用位置との間で往復移動させる駆動手段が設けられた、請求項２に記載のカセット保管及び被処理板の処理設備。
5. 被処理板検出装置は、前記カセット移載手段によるカセットの受け渡し経路の終端外側に配設され、この被処理板検出装置が備える被処理板検出用センサーは、前記カセット移載手段によりカセット受け渡し経路の終端に引き込まれるときのカセットの移動により相対的に当該カセット内に進入して被処理板の検出が可能なように定位置に固定されている、請求項１に記載のカセット保管及び被処理板の処理設備。
6. 入出庫装置の昇降キャレッジ上にはターンテーブルが設けられ、カセット移載手段は前記ターンテーブル上に搭載されて、当該ターンテーブルの回転により左右何れ側に対してもカセット受け渡しが可能なように構成され、前記被処理板検出装置は、前記ターンテーブルの回転に伴うカセット移載手段やカセットの回転と干渉しない昇降キャレッジ上の位置に配設されている、請求項１〜４の何れか１項に記載のカセット保管及び被処理板の処理設備。
7. 入出庫装置の昇降キャレッジ上にはターンテーブルが設けられ、カセット移載手段は前記ターンテーブル上に搭載されて、当該ターンテーブルの回転により左右何れ側に対してもカセット受け渡しが可能なように構成され、前記被処理板検出装置は、前記カセット移載手段により受け渡しされるカセットと干渉しない位置で前記ターンテーブル上に配設されている、請求項１〜５の何れか１項に記載のカセット保管及び被処理板の処理設備。
8. 被処理板検出装置が備える被処理板検出用センサーは、昇降キャレッジ上の所定位置に移されたカセット内の被処理板の周辺複数箇所のそれぞれに対応して設けられている、請求項１〜７の何れか１項に記載のカセット保管及び被処理板の処理設備。
9. 入出庫装置は、処理装置から搬出された処理済みの被処理板が収納されたカセットをカセット保管棚に戻す再入庫作業も行うもので、当該入出庫装置の昇降キャレッジ上に搭載された前記被処理板検出装置は、再入庫されるカセット内の被処理板のマッピングデータを得るための被処理板検出作業も行うように構成された、請求項１〜８の何れか１項に記載のカセット保管及び被処理板の処理設備。