KR20200060239A - 이재장치 - Google Patents

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KR20200060239A
KR20200060239A KR1020190130739A KR20190130739A KR20200060239A KR 20200060239 A KR20200060239 A KR 20200060239A KR 1020190130739 A KR1020190130739 A KR 1020190130739A KR 20190130739 A KR20190130739 A KR 20190130739A KR 20200060239 A KR20200060239 A KR 20200060239A
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lifting
turning
cassette
transfer device
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KR1020190130739A
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히데츠구 차타니
케이스케 시로이시
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

카세트(90)를 적재해서 수평방향으로 출퇴 이동시키는 포크부(21)와, 포크부(21)를 선회하는 선회부(24)와, 포크부(21)를 승강하는 승강부(31)를 구비하고, 승강부(31)는 선회부(24)에 의해 선회되는 포크부(21)의 선회 원(R)보다 외측에 배치되는 이재장치(20)이다.

Description

이재장치{TRANSFER APPARATUS}
본 발명은 물품을 적재해서 수평방향으로 출퇴 이동시키는 포크부와, 포크부를 선회하는 선회부와, 포크부를 승강하는 승강부를 구비하는 이재장치에 관한 것이다.
상기 이재장치로서는, 예를 들면 기판을 수용하는 카세트(물품)로서 반송대차에 의해 반송되는 카세트를 처리 장치인 챔버에 이재하는 장치가 있다(예를 들면 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1의 이재장치에 있어서는, 반송대차 유닛에 의해 반송되는 카세트를 카세트 반송 유닛(이재장치)이 반송대차 유닛으로부터 챔버의 상방에 설치되는 수하대에 이재한다. 또는, 챔버에 있어서 처리된 기판을 수용한 카세트를 카세트 반송 유닛이 상기 수하대로부터 반송대차 유닛에 이재한다.
카세트 반송 유닛은 카세트를 적재해서 수평방향으로 출퇴 이동시키는 포크부와, 상기 포크부를 선회하는 선회부와, 포크부를 승강하는 승강부를 구비한다. 카세트 반송 유닛은 반송대차 유닛을 향해서 신장시킨 포크부를 승강부에 의해 카세트의 하방으로부터 상승시킴으로써 포크부에 카세트를 적재시킨다. 그리고, 카세트 반송 유닛은 카세트를 적재한 포크부를 굴곡시킨 상태에서 선회부에 의해 선회시킴으로써 카세트를 챔버의 상방의 수하대까지 이재한다.
한국등록특허 제10-1511963호 공보
그러나, 상기와 같은 종래의 이재장치에 있어서는, 포크부보다 낮은 위치에 승강부를 배치하고, 또한 승강부의 하방에 선회부를 배치하는 구성이기 때문에, 포크부의 하방 또는 근방에 승강부 및 선회부의 설치 스페이스를 확보하지 않으면 안되어, 이재장치 전체의 저상화가 어렵다고 하는 문제가 있었다.
또한, 종래의 이재장치에 있어서는, 승강부가 포크부의 근방에 배치되어 있기 때문에, 포크부의 출퇴 이동이 승강부의 배치에 의해 2방향 또는 3방향으로 제한된다고 하는 문제가 있었다.
그래서, 본 발명은 물품을 적재해서 수평방향으로 출퇴 이동시키는 포크부의 출퇴 이동이 4방향에 있어서 가능함과 아울러, 장치 전체의 저상화가 가능한 이재장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이상이며, 다음에 이 발명의 구성을 설명한다.
즉, 본 발명의 이재장치는 물품을 적재해서 수평방향으로 출퇴 이동시키는 포크부와, 상기 포크부를 선회하는 선회부와, 상기 포크부를 승강하는 승강부를 구비하고, 상기 승강부는 상기 선회부에 의해 선회되는 상기 포크부의 선회 원보다 외측에 배치되는 것이다.
상기 구성에서는 승강부가 선회부에 의해 선회되는 상기 포크부의 선회 원보다 외측에 배치됨으로써 승강부와 포크부가 떨어진 위치에 배치됨과 아울러, 승강부가 상기 포크부의 선회 원보다 외측의 위치에서 포크부의 승강을 행한다.
본 발명의 이재장치는, 상기 이재장치에 있어서, 상기 선회부에 의해 선회되는 상기 포크부의 선회 원보다 외측에 4개의 지주를 구비하고, 상기 4개의 지주의 각각에 상기 승강부를 설치하고, 상기 포크부는 상기 4개의 지주에 지지됨과 아울러, 상기 4개의 지주의 각각에 설치되는 상기 승강부에 의해 승강되는 것이다.
상기 구성에서는, 포크부의 승강을 4개의 지주의 각각에 설치되는 승강부에 의해 행한다. 즉, 포크부의 승강을 4축에 의해 행한다.
본 발명의 이재장치는, 상기 이재장치에 있어서, 이재장치 전체를 수평방향으로 이동시키기 위한 주행부를 구비하는 것이다.
상기 구성에서는, 주행부를 주행시킴으로써 이재장치 전체가 수평방향으로 이동한다.
본 발명의 이재장치에 의하면, 승강부가 선회부에 의해 선회되는 상기 포크부의 선회 원보다 외측에 배치됨으로써, 승강부와 포크부가 떨어진 위치에 배치된다. 그 때문에, 포크부의 하방에 승강부의 설치 스페이스를 확보할 필요가 없어서, 이재장치 전체의 저상화를 용이하게 행할 수 있다.
또한, 승강부와 포크부가 떨어진 위치에 배치되기 때문에, 포크부의 출퇴 이동이 승강부의 배치에 의해 제한되지 않고, 포크부를 4방향으로 출퇴 이동시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 이재장치가 설치되는 제조 설비의 평면도이다.
도 2a는 동 이재장치에 있어서 포크부의 굴신식 암을 굴곡시켰을 경우의 사시도이다.
도 2b는 동 이재장치에 있어서 포크부의 굴신식 암을 신장시켰을 경우의 사시도이다.
도 3a는 동 이재장치에 있어서 포크부의 굴신식 암을 굴곡시켰을 경우의 평면도이다.
도 3b는 동 이재장치에 있어서 포크부의 굴신식 암을 신장시켰을 경우의 평면도이다.
본 발명에 따른 이재장치(20)에 대하여 설명한다.
도 1에 나타나 있는 바와 같이, 이재장치(20)는 반도체 제품 또는 액정표시 소자 제품을 제조하는 제조 설비(10)에 설치되는 장치이다. 보다 상세하게는, 이재장치(20)는 반도체 제품 또는 액정표시소자 제품의 재공품인 기판에 대하여 증착 처리를 행하는 증착장치(11)에 부설되는 장치이다. 또한, 이재장치(20)는 증착장치(11)에 부설되는 장치이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 증착장치(11) 등의 처리장치 사이, 또는 반송대차와 처리장치 사이 등에서 물품의 이재를 행하기 위해서 부설되는 장치이면, 증착장치(11) 이외의 장치에 부설되는 장치이어도 상관없다.
제조 설비(10)에 있어서는, 판상체의 기판을 수용한 카세트(90)(「물품」의 일례)가 대차 주행 레일(12)을 따라 주행하는 반송대차(13)에 의해, 증착장치(11) 근방까지 반송된다. 반송대차(13)에 의해 반송되는 카세트(90)는 그 일방 측면 또는 양 측면이 개구된 대략 상자형 형상의 부재에 의해 형성된다. 카세트(90)는 그 내부에 복수의 기판을 수용 가능하게 구성되어 있다.
반송대차(13)에 의해 반송되는 카세트(90)는 이재장치(20)에 의해 반송대차(13)로부터 반출되어, 증착장치(11)의 상방에 설치되는 승강 이재기(14)의 수하대(15)에 이재된다. 승강 이재기(14)의 수하대(15)에 이재된 카세트(90)는 승강 이재기(14)의 록킹부(14a)에 의해 그 상부가 로킹되고, 로킹된 상태에서 수하대(15)의 하방에 설치되는 증착장치(11)의 로드 포트(11a)까지 하강해서 이재된다.
한편으로, 증착장치(11)에 의해 처리된 기판을 수용하는 카세트(90)는 그 상부가 로드 포트(11a)의 상방으로부터 하강하는 승강 이재기(14)의 록킹부(14a)에 의해 로킹되고, 록킹된 상태에서 수하대(15)까지 상승해서 이재된다. 수하대(15)에 이재된 카세트(90)는 이재장치(20)에 의해 수용되고 반송대차(13)에 이재된다.
상술한 바와 같이, 이재장치(20)는 카세트(90)를 적재해서 수평방향으로 출퇴 이동시키는 것이다. 이재장치(20)는 반송대차(13)로부터 카세트(90)를 반출하고, 반출된 카세트(90)를 승강 이재기(14)의 수하대(15)에 이재한다. 또한, 이재장치(20)는 수하대(15)로부터 카세트(90)를 수용하고, 수용한 카세트(90)를 반송대차(13)에 이재한다.
도 1∼도 3b에 나타나 있는 바와 같이, 이재장치(20)는 카세트(90)를 적재해서 수평방향으로 출퇴 이동시키는 포크부(21)와, 포크부(21)를 선회하는 선회부(24)와, 포크부(21) 및 선회부(24)를 지지하는 4개의 지주(26)와, 포크부(21)를 승강하는 승강부(31)와, 이재장치(20) 전체를 수평방향으로 이동시키는 주행부(34)로 주로 구성되어 있다.
포크부(21)는 그 상면에 카세트(90)를 적재하기 위한 적재부(22a)를 갖는 포크(22)와, 포크(22)를 수평방향으로 출퇴 이동시키기 위한 굴신식 암(23)과, 굴신식 암(23)을 구동시키는 구동 모터(도시하지 않음)로 주로 구성되어 있다.
포크(22)는 카세트(90)를 적재해서 이재가능한 대략 장방 형상의 프레임체에 의해 구성된다. 포크(22)는 프레임체의 상부에 적재부(22a)가 형성되어 있다. 포크(22)는 구동 모터의 구동에 의해 굴신식 암(23)을 굴신시킴으로써 반송대차(13) 및 수하대(15)에 대하여 출퇴 이동을 행한다.
굴신식 암(23)은 굴신 가능한 한 쌍의 암 형상의 부재에 의해 구성되어 있다. 굴신식 암(23)은 그 선단부에 포크(22)의 기단부가 부착된다. 굴신식 암(23)은 그 기단부가 선회부(24)에 선회 가능하게 연결되어 있다. 굴신식 암(23)은 구동 모터의 구동에 의해 한 쌍의 암 형상의 부재를 신장시킴으로써, 포크(22)를 전방방향으로 수평으로 이동시킨다. 굴신식 암(23)은 구동 모터의 구동에 의해 한 쌍의 암 형상의 부재를 굴곡시킴으로써, 포크(22)를 후방방향으로 수평으로 이동시킨다.
선회부(24)는 굴신식 암(23)을 지지하기 위한 선회대(25)와, 선회대(25)를 선회 구동시키는 선회 구동 모터(도시하지 않음)로 주로 구성되어 있다. 선회대(25)는 이재장치(20)의 중심부에 설치된다. 선회대(25)는 선회 구동 모터의 구동에 의해 선회축(25a)을 회동시킴으로써 회동한다. 선회대(25)는 그 상부에 굴신식 암(23)의 기단부가 연결되어 있다. 선회대(25)가 선회 구동 모터의 구동에 의해 회동함으로써 굴신식 암(23)이 선회한다.
4개의 지주(26)는 지주 본체(27)와, 지주 본체(27)를 지지하는 기대(28)로 구성되어 있다. 지주 본체(27)는 각재에 의해 형성된다. 지주 본체(27)는 그 길이방향의 높이가 포크(22)가 출퇴 이동하는 수평방향의 궤도보다 낮아지도록 구성되어 있다. 즉, 지주 본체(27)는 포크(22)의 출퇴 이동을 제한하지 않는(포크(22)와 간섭하지 않는) 높이로 구성되어 있다. 도 3a에 나타나 있는 바와 같이, 4개의 지주(26)는 선회부(24)에 의해 선회되는 포크부(21)의 선회 원(R)보다 외측에 배치되어 있다. 즉, 4개의 지주(26)는 굴신식 암(23)이 굴곡된 상태에서 포크(22)가 선회했을 때에, 포크(22)의 선단 및 기단과 접촉하지 않는 위치(포크(22)의 선단 및 포크(22)의 기단과 간섭하지 않는 위치)에 배치되어 있다. 여기에서, 포크부(21)의 선회 원(R)이란, 굴신식 암(23)이 굴곡된 상태에서 포크(22)가 선회했을 때에, 포크(22)의 선단 및 포크(22)의 기단이 이동함으로써 형성되는 원 궤도를 말한다.
도 2a, 도 2b, 도 3a 및 도 3b에 나타나 있는 바와 같이, 4개의 지주(26) 중 이웃하는 지주(26) 사이에는, 브릿지 부재인 요크부(29)가 설치되어 있다. 즉, 4개의 지주(26)가 요크부(29)를 통해서 연결되어 있다. 요크부(29)는 2방향으로 끼운 핀 구조(핀 접합)에 의해 구성된다. 요크부(29)를 핀 구조에 의해 구성함으로써, 카세트(90)의 이재시에 발생하는 승강부(31)의 승강 가이드(33)나 접합부에의 응력을 경감하고, 또한 부품 오차, 장착 오차를 흡수할 수 있다.
4개의 지주(26)는 요크부(29) 및 요크부(29) 사이를 지지하는 지지 부재(30)를 개재해서 포크부(21) 및 선회부(24)를 지지한다.
승강부(31)는 4개의 지주(26)의 각각에 설치되어 있다. 즉, 이재장치(20)에 있어서는, 승강부(31)가 선회부(24)에 의해 선회되는 포크부(21)의 선회 원(R)보다 외측에 설치되어 있다. 승강부(31)가 포크부(21)의 선회 원(R)보다 외측에 배치되됨으로써, 승강부(31)와, (굴신식 암(23)의 굴곡시의) 포크부(21)가 떨어진 위치가 된다. 그 때문에, 포크부(21)의 하방에 승강부(31)의 설치 스페이스를 확보할 필요가 없어서, 포크부(21) 및 선회부(24)를 낮은 위치에 배치할 수 있다. 즉, 이재장치(20) 전체의 저상화를 용이하게 행할 수 있다.
또한, 승강부(31)는 포크부(21)로부터 떨어진 위치에 배치되고, 또한 포크(22)가 출퇴 이동하는 높이보다 낮게 형성된 4개의 지주(26)에 설치되어 있기 때문에, 포크(22)의 출퇴 이동시에 포크(22)와 접촉하는 일이 없다. 그 때문에, 포크(22)의 출퇴 이동이 승강부(31)의 배치에 의해 제한되지 않고, 포크(22)를 4방향으로 출퇴 이동시킬 수 있다.
도 2a 및 도 2b에 나타나 있는 바와 같이, 승강부(31)는 지주(26)를 따라 설치되어 승강축으로서 기능하는 나사축, 및 상기 나사축의 회전에 따라 나사축에 대하여 나사 결합 진퇴동작 가능한 가동부를 갖는 볼나사 기구(32)와, 지주(26)를 따라 설치되고 볼나사 기구(32)의 가동부를 가이드하는 승강 가이드(33)로 주로 구성되어 있다. 승강부(31)는 볼나사 기구(32)의 가동부가 요크부(29)에 연결되어 있다. 승강부(31)는 도시하지 않은 승강 모터의 구동에 의해 볼나사 기구(32)의 나사축을 회전시킨다. 상기 나사축의 회전에 의해 볼나사 기구(32)의 가동부가 나사축을 따라 이동한다. 상기 가동부의 이동에 의해 요크부(29)가 지주(26)를 따라 승강한다. 그리고, 요크부(29)가 승강함으로써 포크부(21) 및 선회부(24)가 승강한다.
4개의 지주(26)에 설치되는 승강부(31)는 4개의 볼나사 기구(32)와, 4개의 승강 모터를 각각 동기시킴으로써 포크부(21)를 승강시킨다. 즉, 이재장치(20)에 있어서는, 4개의 지주(26)의 각각에 포크부(21)를 승강시키기 위한 승강 모터(승강 구동부)를 설치하고, 4개의 지주(26)에 설치한 4체의 승강 모터에 의해 4개의 지주(26)에 설치한 4개의 나사축을 구동(4축 구동)시킴으로써 포크부(21)를 승강시킨다. 승강부(31)를 4축 구동으로 함으로써, 카세트(90)의 이재시에 이재측(굴신식 암(23)이 신장하는 측, 포크(22)의 선단측)의 승강부(31)의 승강 모터에 걸리는 부하를 반이재측(포크(22)의 기단측)의 승강부(31)의 승강 모터에 의해 보조할 수 있다. 그 때문에, 4개의 지주(26)에 설치되는 4체의 승강 모터의 모터 용량을 작게 할 수 있다.
4개의 지주(26) 사이에 설치되는 요크부(29)의 하방에는 각 지주(26)에 설치되는 승강부(31)에 있어서의 승강 엇갈림(각 축의 엇갈림량)을 검지하는 거리계(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 상기 거리계가 검지한 요크부(29)의 승강 거리로부터 각 요크부(29)의 승강 거리의 엇갈림을 산출함으로써, 요크부(29)를 승강시키는 각 승강부(31)에 있어서의 승강 엇갈림량을 검지한다. 상기 거리계에 의해 각 승강부(31)에 있어서의 승강 엇갈림을 검지함으로써, 상기 승강 엇갈림이 소정의 엇갈림량 이상일 경우에는, 승강부(31)에 의한 포크부(21)의 승강을 정지시켜서, 포크부(21)의 승강시에 발생하는 볼나사 기구(32)에의 과잉의 부하를 경감하고 있다.
도 1∼도 3b에 나타나 있는 바와 같이, 주행부(34)는 4개의 지주(26)의 각 기대(28)에 설치되는 주행 가이드(35)와, 각 기대(28)의 하방에 부설되는 주행 레일(36)로 구성되는 슬라이딩 기구이다. 주행부(34)는 도시하지 않은 주행 구동부에 의해 이재장치(20) 전체를 수평방향(주행방향)으로 이동시킨다.
도 1에 나타나 있는 바와 같이, 주행 가이드(35)는 주행 레일(36)을 따라 슬라이딩 가능한 블록 부재에 의해 구성된다.
주행 레일(36)은 평면으로 볼 때에 반송대차(13)의 정지 위치로부터 증착장치(11)(수하대(15))의 설치 위치를 향해서 소정의 길이로 연장 설치되어 있다.
상기 도시하지 않은 주행 구동부는, 예를 들면 주행 레일(36)을 따라 설치되는 랙과, 주행 가이드(35)에 회전가능하게 설치되고 상기 랙에 결합하는 피니언을 구비하고, 상기 피니언의 회전에 의해 주행 가이드(35)를 주행 레일(36)을 따라 슬라이딩시키는 랙 앤드 피니언 기구에 의해 구성된다.
다음에, 이재장치(20)에 의한 카세트(90)의 이재방법에 대해서 설명한다.
도 1∼도 3b에 나타나 있는 바와 같이, 예를 들면 카세트(90)를 반송대차(13)로부터 승강 이재기(14)의 수하대(15)에 이재하는 경우에는, 우선 4개의 지주(26)의 각각에 설치되는 승강부(31)에 의해 포크부(21) 및 선회부(24)를 하강시킨다. 이 때, 4개의 지주(26)의 각각에 설치되는 승강부(31)의 승강 모터가 동기해서 구동하고, 볼나사 기구(32)의 가동부가 승강 가이드(33)를 따라 하강한다. 이것에 의해, 4개의 지주(26) 사이를 지지하는 4개소의 요크부(29), 및 요크부(29)를 지지하는 지지 부재(30)의 각각이 대략 동일한 하한량으로 하강하고, 요크부(29) 및 지지 부재(30)의 하강과 아울러, 포크부(21) 및 선회부(24)가 하강한다. 이때, 포크부(21) 및 선회부(24)는 4개의 지주(26)에 의해 둘러싸여 형성되는 공간 내에 들어가도록 하강한다.
포크부(21)가 하강하면, 포크부(21)의 구동 모터의 구동에 의해 굴신식 암(23)이 신장하고, 포크(22)가 반송대차(13) 상에 적재되어 있는 카세트(90)의 하방 위치까지 이동한다. 포크(22)가 카세트(90)의 하방 위치까지 이동하면, 승강부(31)의 승강 모터의 각각이 동기해서 구동하고, 볼나사 기구(32)의 가동부가 승강 가이드(33)를 따라 상승한다. 이것에 의해, 포크부(21)가 상승해서 포크(22)의 적재부(22a)에 카세트(90)가 적재된다. 그리고, 카세트(90)가 포크(22)에 의해 반송대차(13)로부터 들어올려진다.
카세트(90)가 반송대차(13)로부터 들어올려지면, 포크부(21)의 구동 모터의 구동에 의해 굴신식 암(23)이 굴곡하고, 포크(22)가 이재장치(20)의 중심 위치까지 이동한다. 그리고, 선회부(24)의 선회 구동 모터의 구동에 의해 선회대(25)가 회전하고, 포크부(21)가 승강 이재기(14)의 수하대(15)의 방향으로 선회한다.
포크부(21)가 선회하면, 포크부(21)의 구동 모터의 구동에 의해 굴신식 암(23)이 신장하고, 포크(22)가 수하대(15)의 상방 위치까지 이동한다. 그리고, 승강부(31)의 승강 모터의 구동에 의해 포크부(21)가 하강한다. 이것에 의해, 포크(22) 상의 카세트(90)는 수하대(15)까지 하강한다. 그리고, 포크(22)가 수하대(15)를 통과해서 하강했을 때에, 카세트(90)가 포크(22)로부터 수하대(15)에 이재된다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 이재장치(20)는 승강부(31)가 선회부(24)에 의해 선회되는 포크부(21)의 선회 원(R)보다 외측에 배치됨으로써 승강부(31)와 포크부(21)가 떨어진 위치에 배치된다. 그 때문에, 포크부(21)의 하방에 승강부(31)의 설치 스페이스를 확보할 필요가 없어서, 이재장치(20) 전체의 저상화를 용이하게 행할 수 있다. 또한, 승강부(31)와 포크부(21)가 떨어진 위치에 배치되기 때문에, 포크부(21)의 출퇴 이동이 승강부(31)의 배치에 의해 제한되지 않고, 포크부(21)를 4방향으로 출퇴 이동시킬 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 이재장치(20)에 의해 이재되는 물품은 카세트(90)에 한정되는 것은 아니고, 포크부(21)에 의해 이재 가능한 물품이면 상관없다.
20: 이재장치 21: 포크부
24: 선회부 26: 지주
31: 승강부 34: 주행부
90: 카세트(물품) R: 선회 원

Claims (3)

  1. 물품을 적재해서 수평방향으로 출퇴 이동시키는 포크부와,
    상기 포크부를 선회하는 선회부와,
    상기 포크부를 승강하는 승강부를 구비하고,
    상기 승강부는 상기 선회부에 의해 선회되는 상기 포크부의 선회 원보다 외측에 배치되는 것을 특징으로 하는 이재장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 선회부에 의해 선회되는 상기 포크부의 선회 원보다 외측에 4개의 지주를 구비하고,
    상기 4개의 지주의 각각에 상기 승강부를 설치하고,
    상기 포크부는 상기 4개의 지주에 지지됨과 아울러, 상기 4개의 지주의 각각에 설치되는 상기 승강부에 의해 승강되는 것을 특징으로 하는 이재장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    이재장치 전체를 수평방향으로 이동시키기 위한 주행부를 구비하는 것을 특징으로 하는 이재장치.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101511963B1 (ko) 2013-09-16 2015-04-14 주식회사 에스에프에이 카세트 공급시스템

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6056799A (ja) * 1983-09-08 1985-04-02 本田技研工業株式会社 重量物積載治具
JP2005311287A (ja) 2004-03-26 2005-11-04 Shinko Electric Co Ltd 基板搬入出装置
JP4502127B2 (ja) 2005-04-01 2010-07-14 株式会社ダイフク カセット保管及び被処理板の処理設備
JP4189685B2 (ja) * 2005-08-04 2008-12-03 株式会社ダイフク 台車式搬送装置
JP4793654B2 (ja) * 2006-06-13 2011-10-12 株式会社ダイフク スライド式のフォーク装置
TWI408090B (zh) * 2007-06-28 2013-09-11 Daifuku Kk 物品保管庫
JP4321631B2 (ja) * 2007-07-05 2009-08-26 村田機械株式会社 搬送システム、搬送方法および搬送車
CN101804903A (zh) * 2009-02-18 2010-08-18 村田机械株式会社 蛙腿型移载装置
CN108657761A (zh) * 2018-07-13 2018-10-16 大连誉洋工业智能有限公司 存取机构

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101511963B1 (ko) 2013-09-16 2015-04-14 주식회사 에스에프에이 카세트 공급시스템

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