TW202023924A - 移載裝置 - Google Patents

Abstract

移載裝置20包括：前叉部21，載置匣盒90並使其於水平方向上進退移動；旋回部24，使前叉部21旋回；以及升降部31，使前叉部21升降；且升降部31配置於較前叉部21的旋回圈R更靠外側的位置，且所述前叉部21是藉由旋回部24而旋回。

Description

移載裝置

本發明是有關於一種移載裝置，其包括：前叉（fork）部，載置物品並使其於水平方向上進退移動；旋回部，使前叉部旋回；以及升降部，使前叉部升降。

作為所述移載裝置，例如有將匣盒（cartridge）（物品）移載至處理裝置即腔室（chamber）的裝置，所述匣盒收容基板且藉由搬運台車而搬運（例如，參照專利文獻1）。於專利文獻1的移載裝置中，匣盒搬運單元（移載裝置）將藉由搬運台車單元而搬運的匣盒，自搬運台車單元移載至接載台，所述接載台設置於腔室的上方。或者，匣盒搬運單元將收容有基板的匣盒，自所述接載台移載至搬運台車單元，所述基板是於腔室中經處理的基板。 匣盒搬運單元包括：前叉部，載置匣盒並使其於水平方向上進退移動；旋回部，使所述前叉部旋回；以及升降部，使前叉部升降。匣盒搬運單元藉由升降部，而使前叉部自匣盒的下方上升，藉此使匣盒載置於前叉部，所述前叉部朝向搬運台車單元而伸長。繼而，匣盒搬運單元藉由旋回部而使載置有匣盒的前叉部於屈曲的狀態下旋回，藉此將匣盒移載至腔室的上方的接載台為止。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]韓國註冊專利第10-1511963號公報

[發明所欲解決之課題]

但是，於如上所述的先前的移載裝置中，是如下的結構，即，將升降部配置於低於前叉部的位置，進而將旋回部配置於升降部的下方，因此必須於前叉部的下方或附近確保升降部及旋回部的設置空間，從而存在整個移載裝置的低地板化困難的問題。 又，於先前的移載裝置中，升降部配置於前叉部的附近，因此存在如下的問題：前叉部的進退移動因升降部的配置而限制於兩個方向或三個方向上。

因此，本發明的目的在於提供一種移載裝置，前叉部能夠於四個方向上進退移動，並且能夠實現整個裝置的低地板化，所述前叉部載置物品並使其於水平方向上進退移動。 [解決課題之手段]

以上是本發明所欲解決之課題，其次，說明用以解決所述課題之手段。

即，本發明的移載裝置包括：前叉部，載置物品並使其於水平方向上進退移動；旋回部，使所述前叉部旋回；以及升降部，使所述前叉部升降；且所述升降部配置於較所述前叉部的旋回圈更靠外側的位置，且所述前叉部是藉由所述旋回部而旋回。 於所述結構中，升降部配置於較所述前叉部的旋回圈更靠外側的位置，所述前叉部藉由所述旋回部而旋回，從而將升降部與前叉部配置於相離的位置，並且升降部於較所述前叉部的旋回圈更靠外側的位置進行前叉部的升降。

關於本發明的移載裝置，於所述移載裝置中，於較所述前叉部的旋回圈更靠外側的位置包括四根支柱，於所述四根支柱分別設置所述升降部，所述前叉部是支持於所述四根支柱，並且藉由分別設置於所述升降部而升降。 於所述結構中，藉由升降部而進行前叉部的升降，所述升降部設置於四根支柱的各個支柱。即，藉由四軸而進行前叉部的升降。

關於本發明的移載裝置，所述移載裝置包括移行部，所述移行部用以使整個移載裝置於水平方向上移動。 於所述結構中，藉由使移行部移行，而使整個移載裝置於水平方向上移動。 [發明的效果]

根據本發明的移載裝置，升降部配置於較所述前叉部的旋回圈更靠外側的位置，從而將升降部與前叉部配置於相離的位置，所述前叉部藉由所述旋回部而旋回。因此，無需於前叉部的下方確保升降部的設置空間，可容易地進行整個移載裝置的低地板化。 又，由於將升降部與前叉部配置於相離的位置，因此前叉部的進退移動不會因升降部的配置而受到限制，可使前叉部於四個方向上進退移動。

對本發明的移載裝置20進行說明。 如圖1所示，移載裝置20是設置於製造設備10的裝置，所述製造設備10用於製造半導體製品或液晶顯示元件製品。更詳細而言，移載裝置20是附設於蒸鍍裝置11的裝置，所述蒸鍍裝置11對半導體製品或液晶顯示元件製品的在製品即基板進行蒸鍍處理。再者，移載裝置20雖是附設於蒸鍍裝置11的裝置，但並不限定於此，只要是為了於蒸鍍裝置11等處理裝置之間、或搬運台車與處理裝置之間等進行物品的移載而附設的裝置，便亦可為附設於蒸鍍裝置11以外的裝置。 於製造設備10中，收容有板狀體的基板的匣盒90（「物品」的一例）是藉由沿台車移行軌道12移行的搬運台車13而搬運至蒸鍍裝置11附近為止。藉由搬運台車13而搬運的匣盒90包含一側面或兩側面為開口的大致箱型形狀的構件。匣盒90是於其內部能夠收容多個基板而構成。 藉由搬運台車13而搬運的匣盒90藉由移載裝置20而自搬運台車13搬出，並移載至升降移載機14的接載台15，所述升降移載機14設置於蒸鍍裝置11的上方。已移載至升降移載機14的接載台15的匣盒90藉由升降移載機14的卡止部14a而使其上部卡止，於經卡止的狀態下，下降至蒸鍍裝置11的裝載端口（load port）11a為止而移載，所述蒸鍍裝置11設置於接載台15的下方。 另一方面，收容已藉由蒸鍍裝置11而處理的基板的匣盒90使其上部藉由升降移載機14的卡止部14a而卡止，並於經卡止的狀態下，上升至接載台15為止而移載，所述升降移載機14是自裝載端口11a的上方下降。已移載至接載台15的匣盒90由移載裝置20接收，並移載至搬運台車13。

如上所述，移載裝置20是載置匣盒90並使其於水平方向上進退移動的裝置。移載裝置20自搬運台車13搬出匣盒90，並將所搬出的匣盒90移載至升降移載機14的接載台15。又，移載裝置20自接載台15接收匣盒90，並將所接收的匣盒90移載至搬運台車13。 如圖1至圖3B所示，移載裝置20主要包括：前叉部21，載置匣盒90並使其於水平方向上進退移動；旋回部24，使前叉部21旋回；四根支柱26，支持前叉部21及旋回部24；升降部31，使前叉部21升降；以及移行部34，使整個移載裝置20於水平方向上移動。

前叉部21主要包括：前叉22，包括載置部22a，所述載置部22a用以將匣盒90載置於其上表面；屈伸式臂23，用以使前叉22於水平方向上進退移動；以及驅動馬達（未圖示），使屈伸式臂23驅動。 前叉22包括能夠載置並移載匣盒90的大致長方形狀的框體。前叉22於框體的上部形成有載置部22a。前叉22藉由驅動馬達的驅動而使屈伸式臂23屈伸，藉此相對於搬運台車13及接載台15進行進退移動。 屈伸式臂23包括能夠屈伸的一對臂狀的構件。屈伸式臂23於其前端部安裝前叉22的基端部。屈伸式臂23將其基端部能夠旋回地連結於旋回部24。屈伸式臂23藉由驅動馬達的驅動而使一對臂狀的構件伸長，藉此使前叉22向前水平移動。屈伸式臂23藉由驅動馬達的驅動而使一對臂狀的構件屈曲，藉此使前叉22向後水平移動。

旋回部24主要包括：旋回台25，用以支持屈伸式臂23；以及旋回驅動馬達（未圖示），使旋回台25旋回驅動。 旋回台25設置於移載裝置20的中心部。旋回台25是藉由旋回驅動馬達的驅動而使旋回軸25a轉動而轉動。旋回台25於其上部連結著屈伸式臂23的基端部。旋回台25藉由旋回驅動馬達的驅動而轉動，藉此使得屈伸式臂23旋回。 四根支柱26包括支柱本體27、及支持支柱本體27的基台28。支柱本體27包含方材。支柱本體27是以如下的方式構成：其長度方向上的高度低於前叉22進行進退移動的水平方向上的軌道。即，支柱本體27是以不限制前叉22的進退移動（與前叉22不相干擾）的高度而構成。如圖3A所示，四根支柱26配置於較前叉部21的旋回圈R更靠外側的位置，所述前叉部21藉由旋回部24而旋回。即，四根支柱26配置於如下的位置，即，當於屈伸式臂23屈曲的狀態下前叉22旋回時，不與前叉22的前端及基端相接觸的位置（與前叉22的前端及前叉22的基端不相干擾的位置）。此處，所謂前叉部21的旋回圈R，是指於屈伸式臂23屈曲的狀態下前叉22旋回時，藉由前叉22的前端及前叉22的基端進行移動而形成的圓形軌道。 如圖2A、圖2B、圖3A及圖3B所示，於四根支柱26之中相鄰的支柱26之間，設置有搭接構件即軛架（yoke）部29。即，四根支柱26經由軛架部29而相連。軛架部29包括於兩個方向上裝入的銷結構（銷接合）。藉由利用銷結構構成軛架部29，可減輕匣盒90的移載時所產生的對升降部31的升降導引件33或接合部的應力，且吸收零件誤差、組裝誤差。 四根支柱26經由軛架部29及支持軛架部29之間的支持構件30，而支持前叉部21及旋回部24。

升降部31設置於四根支柱26的各個支柱。即，於移載裝置20中，升降部31設置於較前叉部21的旋回圈R更靠外側的位置，所述前叉部21藉由旋回部24而旋回。藉由升降部31配置於較前叉部21的旋回圈R更靠外側的位置，而使得升降部31與（屈伸式臂23的屈曲時的）前叉部21成為相離的位置。因此，無需於前叉部21的下方確保升降部31的設置空間，而可將前叉部21及旋回部24配置於較低的位置。即，可容易地進行整個移載裝置20的低地板化。 又，升降部31配置於與前叉部21相離的位置，此外，設置於四根支柱26，所述四根支柱26形成得低於前叉22進行進退移動的高度，故而於前叉22的進退移動時不會與前叉22接觸。因此，前叉22的進退移動不會因升降部31的配置而受到限制，可使前叉22於四個方向上進退移動。 如圖2A及圖2B所示，升降部31主要包括：滾珠螺桿（ball screw）機構32，包括螺桿軸及活動部，所述螺桿軸是沿支柱26設置，作為升降軸而發揮作用，所述活動部伴隨著所述螺桿軸的旋轉，能夠相對於螺桿軸進行螺合進退動作；以及升降導引件33，沿支柱26設置，對滾珠螺桿機構32的活動部進行導引。升降部31將滾珠螺桿機構32的活動部連結於軛架部29。升降部31藉由未圖示的升降馬達的驅動而使滾珠螺桿機構32的螺桿軸旋轉。藉由所述螺桿軸的旋轉，滾珠螺桿機構32的活動部沿螺桿軸移動。藉由所述活動部的移動，軛架部29沿支柱26升降。繼而，藉由軛架部29升降，而使得前叉部21及旋回部24升降。 設置於四根支柱26的升降部31藉由使四個滾珠螺桿機構32與四個升降馬達分別同步，而使前叉部21升降。即，於移載裝置20中，於四根支柱26分別設置用以使前叉部21升降的升降馬達（升降驅動部），藉由設置於四根支柱26的四台升降馬達，使設置於四根支柱26的四根螺桿軸驅動（四軸驅動），而使前叉部21升降。藉由將升降部31設為四軸驅動，可於匣盒90的移載時，藉由逆移載側（前叉22的基端側）的升降部31的升降馬達，來輔助施加至移載側（屈伸式臂23伸長之側、前叉22的前端側）的升降部31的升降馬達的負載。因此，可減小設置於四根支柱26的四台升降馬達的馬達電容。 於設置於四根支柱26之間的軛架部29的下方，設置有測距儀（未圖示），所述測距儀（未圖示）探測設置於各支柱26的升降部31的升降的偏移（各軸的偏移量）。藉由根據所述測距儀所探測到的軛架部29的升降距離，算出各軛架部29的升降距離的偏移，而探測使軛架部29升降的各升降部31的升降的偏移量。藉由所述測距儀來探測各升降部31的升降的偏移，從而當所述升降的偏移為規定的偏移量以上時，使藉由升降部31而進行的前叉部21的升降停止，減輕於前叉部21的升降時所產生的對滾珠螺桿機構32的過度負載。

如圖1至圖3B所示，移行部34是滑動機構，包括：移行導引件35，設置於四根支柱26的各基台28；以及移行軌道36，鋪設於各基台28的下方。移行部34藉由未圖示的移行驅動部，而使整個移載裝置20於水平方向（移行方向）上移動。 如圖1所示，移行導引件35包括塊體（block）構件，所述塊體構件能夠沿移行軌道36滑動。 移行軌道36是於俯視時，自搬運台車13的停止位置，向蒸鍍裝置11（接載台15）的設置位置以規定的長度而延設。 所述未圖示的移行驅動部例如包括齒條與小齒輪機構，所述齒條與小齒輪機構包括：齒條（rack），沿移行軌道36設置；以及小齒輪（pinion），能夠旋轉地設置於移行導引件35，與所述齒條卡合；且藉由所述小齒輪的旋轉而使移行導引件35沿移行軌道36滑動。

其次，說明利用移載裝置20的匣盒90的移載方法。 如圖1至圖3B所示，例如，當將匣盒90自搬運台車13移載至升降移載機14的接載台15時，首先，藉由設置於四根支柱26的各個支柱的升降部31而使前叉部21及旋回部24下降。此時，設置於四根支柱26的各個支柱的升降部31的升降馬達同步地驅動，滾珠螺桿機構32的活動部沿升降導引件33下降。藉此，支持四根支柱26之間的四處軛架部29、及支持軛架部29的支持構件30分別以大致相同的下降量而下降，隨著軛架部29及支持構件30的下降，前叉部21及旋回部24下降。此時，前叉部21及旋回部24下降，以沈入至由四根支柱26包圍而形成的空間內。 當前叉部21下降後，藉由前叉部21的驅動馬達的驅動，而使得屈伸式臂23伸長，前叉22移動至搬運台車13上所載置的匣盒90的下方位置為止。當前叉22移動至匣盒90的下方位置為止時，升降部31的升降馬達分別同步地驅動，滾珠螺桿機構32的活動部沿升降導引件33上升。藉此，前叉部21上升而將匣盒90載置於前叉22的載置部22a。繼而，藉由前叉22而自搬運台車13舉起匣盒90。 當自搬運台車13舉起匣盒90後，藉由前叉部21的驅動馬達的驅動而使得屈伸式臂23屈曲，前叉22移動至移載裝置20的中心位置為止。繼而，藉由旋回部24的旋回驅動馬達的驅動，而使得旋回台25轉動，前叉部21朝向升降移載機14的接載台15的方向旋回。 當前叉部21旋回後，藉由前叉部21的驅動馬達的驅動，而使得屈伸式臂23伸長，前叉22移動至接載台15的上方位置為止。繼而，藉由升降部31的升降馬達的驅動，而使得前叉部21下降。藉此，前叉22上的匣盒90下降至接載台15為止。然後，當前叉22經過接載台15而下降時，將匣盒90自前叉22載置於接載台15。

如以上所述，本發明的移載裝置20是藉由將升降部31配置於較前叉部21的旋回圈R更靠外側的位置，而將升降部31與前叉部21配置於相離的位置，所述前叉部21藉由旋回部24而旋回。因此，無需於前叉部21的下方確保升降部31的設置空間，從而可容易地進行整個移載裝置20的低地板化。又，由於將升降部31與前叉部21配置於相離的位置，因此前叉部21的進退移動不會因升降部31的配置而受到限制，可使前叉部21於四個方向上進退移動。

再者，於本實施形態中，藉由移載裝置20而移載的物品並不限定於匣盒90，只要是能夠藉由前叉部21而移載的物品即可。

10:製造設備 11:蒸鍍裝置 11a:裝載端口 12:台車移行軌道 13:搬運台車 14:升降移載機 14a:卡止部 15:接載台 20:移載裝置 21:前叉部 22:前叉 22a:載置部 23:屈伸式臂 24:旋回部 25:旋回台 25a:旋回軸 26:支柱 27:支柱本體 28:基台 29:軛架部 30:支持構件 31:升降部 32:滾珠螺桿機構 33:升降導引件 34:移行部 35:移行導引件 36:移行軌道 90:匣盒（物品） R:旋回圈

圖1是設置有本發明的移載裝置的製造設備的平面圖。 圖2A是於所述移載裝置中使前叉部的屈伸式臂屈曲的情況的立體圖。 圖2B是於所述移載裝置中使前叉部的屈伸式臂伸長的情況的立體圖。 圖3A是於所述移載裝置中使前叉部的屈伸式臂屈曲的情況的平面圖。 圖3B是於所述移載裝置中使前叉部的屈伸式臂伸長的情況的平面圖。

20:移載裝置

21:前叉部

22:前叉

22a:載置部

23:屈伸式臂

24:旋回部

25:旋回台

25a:旋回軸

26:支柱

27:支柱本體

29:軛架部

30:支持構件

31:升降部

32:滾珠螺桿機構

33:升降導引件

34:移行部

36:移行軌道

R:旋回圈

Claims (3)

1. 一種移載裝置，包括： 前叉部，載置物品並使其於水平方向上進退移動； 旋回部，使所述前叉部旋回；以及 升降部，使所述前叉部升降；且 所述升降部配置於較所述前叉部的旋回圈更靠外側的位置，且所述前叉部是藉由所述旋回部而旋回。
2. 如申請專利範圍第1項所述的移載裝置，其中 於較所述前叉部的所述旋回圈更靠外側的位置包括四根支柱；且 於所述四根支柱分別設置所述升降部， 所述前叉部是支持於所述四根支柱，並且藉由分別設置於所述四根支柱的所述升降部而升降。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載裝置，其中包括： 移行部，用以使整個移載裝置於水平方向上移動。

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