JP2005311287A - 基板搬入出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 省スペース化を図り、アクセス位置を可及的に低位置化し、取扱性に優れるとともに、安定してしかも姿勢を自由に制御できる基板搬入出装置を提供することを目的とする
【解決手段】昇降台１５の周辺に配置され、該昇降台を昇降させる昇降駆動部２０と、昇降台に、鉛直方向に伸びる軸線を中心として旋回可能に設けられた旋回ユニットとを備え、昇降駆動部は、旋回ユニットが前記軸線を中心として旋回することにより形成される回転軌跡より外方に位置すると共に相対向して設置され、昇降台は、昇降駆動部のうち、隣り合う二つによって、それぞれ昇降自在に、かつ互いに交差する二つの軸を中心とする自由度をもって回転自在に支持されるとともに、他の二つの昇降駆動部によって昇降自在に支持された。
【選択図】 図７

Description

この発明は、基板搬入出装置に係り、特に、プラズマディスプレイ等のようなガラス状の基板を受け取って所望方向に送り出すのに好適な技術に関する。

ガラス状の基板は、近年、大型化しており、特にプラズマディスプレイに用いられる基板（１９００×２２００ｍｍ）にあってはかなり大きくなっている。このような大型のガラス状基板の取り扱いには、従来、ロボットが搭載された基板搬入出装置が用いられ、該基板搬入出装置によって基板を搬入し、かつ所望方向に搬出するようにしている。
ガラス状の基板は、注意しないと破損するおそれがあり、取り扱いに配慮が必要になることから、基板の大型化に合わせて構成すると、必然的に基板搬入出装置も大型化してしまう。

また、大型の基板を取り扱う装置として、基板の受け取り及び送り出しを行うようにした技術が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
この特許文献１に記載されたものは、搬入された基板を受け取って中間位置まで送る搬入ハンドと、この搬入ハンドから基板を受け取って送り出す搬出ハンドとが備えられている。従って、搬入ハンドと搬出ハンドとがそれぞれ別個に構成されるので、一つに構成されたロボットアームのような大型の可動部分がなくなり、可動部分が小さくシンプルな構造でかつ重量が小さいことから、全体的に必要設置スペースが小さくできるようになっている。
特開平１１−２２７９４３号公報（第２−３頁、図１−図５）

上述したように、従来の基板搬入出装置は、ガラス状の基板の大型化に合わせて大きくすると、それだけ全体的に大型構造となるばかりでなく、装置自体のフットスペース（設置面積）が大きくなってしまうという問題がある。
また、一般的に規格化されたサイズを越える大きさに基板搬入出装置が製作された場合、ユーザに輸送することが困難となり、特別な費用がかさむばかりでなく、輸送し得る大きさに装置を分解したりして、手間がかかるという問題があり、更にはユーザ側でのフットスペースの問題等も生じてしまう。
また、特許文献１に記載されたものは、搬入ハンドと搬出ハンドとを用いてガラス状基板の受け取りと受け渡しとをそれぞれ独立的に行うように構成されているものの、それぞれ個別に製作されているので二組必要となり、それだけ構成部品数が多くなり、コストがかさむという問題があった。

この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、大型の基板を取り扱うにも拘わらず、全体的に大型構造になるのを回避することができると共に、フットスペースを省スペース化することができ、しかも基板に対するアクセス位置を可及的に低位置化させることができ、取り扱いに優れた基板搬入出装置を提供するとともに、被搬送物を安定して搬送することができ、しかもその姿勢を自由に制御できる基板搬入出装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明は、ガイド手段によって移動可能とされると共に、平面視において前記移動方向に対して交差する方向に配置された装置本体と、該装置本体上に昇降可能に設けられ、前記交差する方向に配置された昇降台と、前記昇降台の前記交差する方向の両端部に配置され、該昇降台を昇降させる昇降駆動部と、前記昇降台に、鉛直方向に伸びる軸線を中心として旋回可能に設けられた旋回ユニットとを備え、基板を支持して搬入出する基板搬入出装置において、前記昇降駆動部は、前記基板を支持した前記旋回ユニットが前記軸線を中心として旋回することにより形成される前記旋回ユニットと前記基板との回転軌跡より外方に位置すると共に、前記交差方向に沿い相対向して設置されることを特徴とする。
上記の構成によれば、ガイド手段によって移動可能とされた装置本体は、移動方向に対して交差する方向に配置されているため、移動方向に直交する方向の幅が狭く、狭い空間においても移動可能とされており、また、旋回ユニットは、昇降駆動部により昇降台と共に昇降させられ、鉛直方向に伸びる軸線を中心として回転することにより所定の位置に配置された基板を支持して搬出して、さらに、基板を支持した旋回ユニットが旋回し、昇降駆動部により上下動させられ、装置本体が移動することにより、基板を所定の位置に搬入する。
また本発明は、前記昇降駆動部は、前記装置本体の前記交差方向に沿う両側の上方位置に設置された駆動源と、その駆動源に連結されて前記昇降台を吊持する動力伝達部とを有することを特徴とする。
上記の構成によれば、駆動源が装置本体の上方位置に設置されていると、昇降台のみならず装置本体の底部を可及的に低位置に下げることができるので、旋回ユニットに搭載された基板に対するアクセスを容易に行わせることができ、基板に対するアクセスが良好となる。
また本発明は、前記旋回ユニットは、前記昇降台の中央部に形成され下方に向けて落とし込まれた凹み部に設けられていることを特徴とする。
上記の構成によれば、旋回ユニットは、昇降台が低位置に位置することにより、確実に低位置に配置された基板に対してアクセスすることができる。
また本発明は、前記昇降駆動部は、前記昇降台の周囲の４個所に設けられたことを特徴とする。
上記の構成によれば、昇降台が４個所で支持されるから、安定して支持することができるとともに、同一の機械的強度とすれば、各昇降台の平面形を２個所の支持の場合より小さくすることができ、昇降台の旋回範囲を大きく確保することができる。
また本発明は、前記昇降台は、前記昇降駆動部のうち、隣り合う二つによって、それぞれ昇降自在に、かつ互いに交差する二つの軸を中心とする自由度をもって回転自在に支持されるとともに、他の二つの昇降駆動部によって昇降自在に支持されたことを特徴とする。
上記の構成によれば、各各昇降駆動部の昇降を制御することによって、昇降台の姿勢をも制御することができる。
また本発明は、前記他の二つの昇降駆動部によって昇降動作される部材と、前記昇降台とのいずれか一方に曲面状の凹部を設け、いずれか他方に該凹部に接触する凸部を設けて、前記昇降台を前記部材上に回転自在に支持したことを特徴とする。

本発明によれば、装置本体の交差方向に沿う両側に昇降駆動部が設置されることで、装置全体の幅方向を縮小できるように構成したので、大型の基板を取り扱うにも拘わらず、装置全体が大型化するのを回避することができると共に、装置自体のフットスペースを省スペース化できる効果が得られ、また規格化されたサイズを越える大きさに至らず、特別な費用がかさんだり、装置を分解すること等がなく、高騰するのを抑えることもできるという効果も得られる。
さらに、旋回ユニットは、基板を支持した状態で旋回した際においても、昇降駆動部に接触することなく、良好に旋回することができる。

また、昇降台のみならず装置本体の底部を可及的に低位置に下げることができるので、搭載された基板に対するアクセスを容易に行わせることができ、基板に対するアクセスが良好となる効果が得られる。
また、昇降台が最も低位置まで下降したとき、旋回ユニットの位置がいっそう下げられ、基板に対するアクセスがより容易となり、基板に対するアクセスがいっそう良好となる効果が得られる。

また、昇降台を４個所で支持することにより、安定して支持することができるとともに、４つの昇降駆動部の内側に大きな旋回スペースを確保することができる。
また、前記昇降駆動部のうち、隣り合う二つをそれぞれ昇降させ、かつ、他の二つを昇降させることにより、昇降台の姿勢を２軸方向への回転自由度を以て制御することができる。

以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。図１〜図３はこの発明の一実施の形態に係る基板搬入出装置を示す図であって、図１は基板搬入出装置とその周辺との関係を示す平面図、図２は図１のＣ矢視に相当する基板搬入出装置を示す説明図、図３は基板と昇降駆動部との関係を示す説明図である
図１及び図２において、この基板搬入出装置１０は、大別すると、装置本体１１と、装置本体１１上に昇降可能に搭載された昇降台１５と、この昇降台１５を昇降させる昇降駆動部２０と、昇降台１５の中央部に設けられた旋回ユニット２４とを備えて構成されている。

装置本体１１は、図１に示すように、上面から見ると、相対向する長尺部材１２、１２と、それら長尺部材１２の両端部をそれぞれ連結する結合部材１３とにより、全体として概略長四角状（矩形状）に枠組されている。この装置本体１１は、その下方に敷設されたガイド手段としての２本のガイドレールＧに沿う移動方向Ｘに進退移動できるようになっており、ガイドレールＧ、Ｇ間に跨るように設置されている。そのため、詳細に図示していないが、装置本体１１の底部にはガイドレールＧ上を走行可能に構成されている。
その場合、装置本体１１は、移動方向Ｘに対して全体が交差する方向に斜めに傾斜した状態で設置され、本例では平面視において、図１に示すように移動方向Ｘに対して４５度の角度で交差して配置されている。

昇降台１５は、図１に示すように、枠組された装置本体１１内を挿通する大きさをなしており、両側の幅が最も狭く、そこから長さ方向の中央部に至るに従い次第に拡幅されて、中央部が最も幅広に形成されている。
昇降駆動部２０は、図２に示すように、駆動源としてのモータ２１と、このモータ２１によって駆動される動力伝達部としてのスクリュー軸２２とからなっている。モータ２１は、枠組された装置本体１１の長さ方向の両側の上方位置、つまり、装置本体１１の結合部材１３の上方位置に、その出力軸が下方を向いた状態で設置されている。スクリュー軸２２は、長さ方向の一端がモータ２１の出力部に連結され、その他端が下方に向くように吊持される形態となっており、従って、装置本体１１上に起立して設けられている。

各スクリュー軸２２の下部には、スクリュー軸２２と係合すると共に、昇降台１５の長さ方向の両端端部と各々連結された連結部２３がそれぞれ設けられている。
そして、モータ２１の駆動によりスクリュー軸２２が鉛直軸回りに回転すると、それに伴って連結部２３が図２に鎖線にて示すように上昇したり、或いは実線にて示すように下降し、これによって昇降台１５が昇降するように構成されている。

一方、上記昇降台１５は、図２に示すように、その長さ方向の端部から中央部に至るに従い次第に下方に向けて次第に落とし込まれて形成された凹み部１６が設けられ、その凹み部１６が両端部より低くなっている
そして、昇降台１５の凹み部１６には、旋回ユニット２４が搭載されている。旋回ユニット２４は、昇降台１５の凹み部１６の中心部に埋設された旋回モータ２５と、その旋回モータ２５によって水平方向に旋回、鉛直方向に伸びる軸線Ｏを中心として旋回する旋回テーブル２６と、この旋回テーブル２６の上面に配置されたアーム２７とから構成されている。

このアーム２７は、図３（ａ）に示されるように、旋回テーブル２６に一端が取り付けられた第１アーム２７ａと、第１アームの他端部に設けられた第２アーム２７ｂと、この第２アーム２７ｂの先端部に支持部２７ｃを介して取り付けられたピック部２７ｄとから構成されている。
但し、基板Ｋの取出し、搬送、受け渡しを行えるものであれば、上記アーム２７に限らず、他のもので代用してもよい。
図１に示されるように、基板カセットＡと、プロセス装置Ｂとは、装置本体１１の移動方向Ｘに対して直交する方向に互いに対向させられて配置されている。このため、平面視した際において、基板Ｋが基板搬入出装置１０により基板カセットＡから搬出される搬出方向Ｙ１と、基板Ｋがプロセス装置Ｂに搬入される搬入公報Ｙ２とは、共に、装置本体１１の移動方向Ｘに対して直交する。

そして、図３（ａ）に示されように、旋回ユニット２４のアーム２７が、基板カセットＡから所定の基板Ｋを支持して、図３（ｂ）に示されるように、アーム２７が昇降台１５上に退避した状態で、旋回テーブル２６が旋回することにより、アーム２７が基板Ｂを支持した状態で軸線Ｏを中心として回転することにより形成されるアーム２７と基板Ｋとの回転軌跡より外方に昇降駆動部２０は、配置されている。
つまり、図３及び図４において、昇降駆動部２０は、旋回ユニット２４のアーム２７が基板Ｋを支持した状態で、軸線Ｏを中心として旋回することにより形成される回転軌跡のうち、最も外周側に位置する旋回軌跡円Ｋ１より外方に位置し、装置本体１１の交差方向に沿い、昇降台２２の両端部に配置されている。
さらに、昇降駆動部２０は、旋回ユニット２４のアーム２７が基板Ｋを搬入または搬出することにより形成される搬送軌跡Ｋ４よりも外方に位置させられている。
すなわち、昇降駆動部２０は、旋回軌跡円Ｋ１に外接する正方形Ｋ２の角部のうち、一方の対角線Ｋ３上に、互いに対向するように配置されている。
なお、本実施形態においては、搬送軌跡Ｋ４は、一辺の長さがａとされた基板Ｋが、その中心点を軸線Ｏ上に位置させられた状態で、移動方向Ｘと、移動方向Ｘに直交する方向変位することにより形成される軌跡と同様の軌跡とされている。

そのため、本例では装置本体１１上において、図４に示すように、左下から右斜め上方に交差する対角線Ｋ３上の位置に合わせて昇降駆動部２０が対向しており、その対向する昇降駆動部２０間の距離に合わせて装置本体１１が長四角状に形成されると共に、その長四角状の装置本体１１が、図１に示すように、移動方向Ｘに対して４５度傾けた状態となるよう交差する方向に配置されている。

上記のように構成された基板搬入出装置１０は、基板Ｋを搬入・搬出する際には、まず、図１において、装置本体１１がガイドレールＧに沿って、基板カセットＡが配置された位置にまで移動し、装置本体１１が基板カセットＡの位置にまで移動すると、昇降駆動部２０が昇降台２２を変位させて、アーム２７の先端部を所定の基板Ｋの位置に位置あわせする。

図３（ａ）に示されるように、位置あわせされたアーム２７は、基板Ｋの下面側にピック部２７ｄを挿入して、図３（ｂ）に示されるように、基板カセットＡから基板Ｋを搬出する。
基板Ｋの搬出が完了すると、旋回モータ２５が旋回テーブル２６を旋回させることにより、アーム２７が軸線Ｏを中心として回転して、基板Ｋをプロセス装置Ｂに向ける。
この際、基板Ｋが収納された位置と、プロセス装置Ｂに搬入する位置との上下方向が一致していない場合には、昇降駆動部２０が昇降台２２を変位させて、アーム２７により支持された基板Ｋと、プロセス装置Ｂの搬入位置との上下方向の位置を一致させる。
そして、アーム２７が基板Ｋをプロセス装置Ｂの搬入位置に搬入する。

この場合、旋回ユニット２４が基板Ｋを搭載した状態で旋回すると、その旋回ユニット２４上の基板Ｋとアーム２７とが昇降駆動部２０と干渉することがない。
しかも、装置本体１１が移動方向Ｘに移動することで、アーム２７上に搭載された基板Ｋを、その移動先にて受け渡すことができるばかりでなく、その移動先にて基板Ｋを受け取ることもできることとなる。
搬入位置Ａからの搬出方向Ｙ１とプロセス装置Ｂに対する搬入方向Ｙ２とは、移動方向Ｘと直交している。

従って、この実施形態によれば、装置本体１１が平面視において装置本体１１の移動方向Ｘと交差方向に傾いて配置され、その交差方向に配置された装置本体１１の両側に昇降駆動部２０が設置されることで、装置全体の幅方向を縮小させることができるので、大型の基板Ｋを取り扱うにも拘わらず、装置全体が大型化するのを回避することができると共に、装置自体のフットスペース（設置面積）を省スペース化することができる。

そして、このように構成された基板搬入出装置１０は、規格化されたサイズを越える大きさに至らず、コンテナに収納できるサイズで済ませることができるので、ユーザに輸送するのに特別な費用がかさむばかりでなく、輸送し得る大きさに装置を分解して手間がかかるということなく、作業性を向上させることができる。更にはユーザ側でのフットスペースの問題等も解消することができる。しかも、特許文献１に比較すると、搬入ハンドと搬出ハンドとのようにそれぞれ同様の構成ものを二組製作することもなく、構成部品数を削減できるので、コストの高騰を抑えることもできる。

更に、昇降駆動部２０のモータ２１が装置本体１１の上方位置に設置されていると、昇降台１５のみならず装置本体１１の底部を可及的に低位置に下げることができるので、旋回ユニット２４のアーム２７が低位置に配置された基板Ｋに対しても良好にアクセスすることができる。
しかも、昇降台１５の中央部には凹み部１６が設けられていると、昇降台１５が最も低位置まで下降したとき、凹み部１６の位置がいっそう下げられるので、旋回ユニット２４が基板Ｋに対してより容易にアクセスすることができることとなり、基板に対するアクセスがいっそう良好となる。

加えて、以下の効果を奏でることもできる。
即ち、この実施形態では、図１に示すように、装置本体１１の移動方向Ｘと直交する方向に搬入位置Ａとプロセス装置Ｂとが設けられているが、これら基板カセットＡ及びプロセス装置Ｂは、移動方向Ｘに沿って複数設けられていてもよく、さらに、ガイドレールＸの先端部又は後端部に配置されていてもよい。
つまり、この基板搬入出装置１０は、軸線Ｏを中心として点対称に構成されているため、装置本体１１の移動方向Ｘに対して直交する方向に基板Ｋを搬送することができると共に、移動方向Ｘと平行な方向にも基板Ｋを良好に搬送することができるため、基板の搬入方向と搬出方向とを任意に選定することができ、設計上の自由度を高めることができる。
なお、上記実施の形態において、昇降駆動部の動力伝達部として、モータに連結されたスクリュー軸で構成された例を示したが、それ以外のもの、例えばラックとピニオン、ベルト、チェーン、リニアモータで構成されてあっても同様の作用効果を得ることができる。また、基板として、ガラス状のものを対象とした例を示したが、これに限らず、その大きさのものを取り扱う装置全般についても適用することができる。

次に、図５〜図９を参照して、本発明の他の実施の形態について説明する。
他の実施の形態にかかる基板搬入出装置は、前記一実施の形態における基板搬入出装置と同様に、昇降駆動部２０によって昇降台１５を昇降可能に支持した基本構成を有している。
前記昇降駆動部２０の内、隣り合う二つ（図中イ、ロで示す）の一方（イ）には、水平な軸５０を中心として回転自在に昇降部材５１が支持され、この昇降部材５１には、前記軸５０と直交する軸５２を中心として回転自在に連結部材５３が連結されている。また、この連結部材５３は、昇降台１５の一つの辺に固着されている。他方の昇降駆動部（ロ）は、軸５０を中心として回動自在に昇降部材５１ａを設けるとともに、軸５３を中心として回動自在に昇降部材５１ｂを設け、これら昇降部材５１ａと５１ｂとを図８に示すようなスライド機構５１ｃを介して摺動自在に連結した構成となっている。すなわち前記スライド機構５１ｃが存在することにより、二つの昇降駆動部２０（イ）（ロ）の高さの差による昇降部材５１と５１ａとの軸線P方向への相対距離の増減を吸収するよう構成されている。

他の二つの昇降駆動部２０（図中ハ、ニで示す）には、水平部材５４が支持されている。前記水平部材５４は、互いに長手方向にスライド移動可能に連結された第１部材５４ａと第２部材５２ｂとから構成されている。前記昇降駆動部２０（ハ）には、第１部材５４ａの一端が回動自在に支持されている。昇降駆動部２０（ニ）には、第２部材５４ｂの一端が回動自在に支持されている。この第１部材５４ａと第２部材５４ｂとは、昇降駆動部２０（ハおよびニ）が完全に連動して（相対的な高さの差を生じることなく）昇降する限り互いにスライド移動することはないが、昇降駆動部２０（ハおよびニ）の移動量に偏差が生じた場合にそなえて、軸線P方向へのスライド機構が設けられている。
前記昇降台１５の端部は、図９に示すように、球面状の凸部５６ａによって前記水平部材５４に支持されている。すなわち、前記凸部５６ａに対応する球面状をなす凹部５６ｂによって前記凸部５６ａが支持されている。前記凹部５６ｂは、水平部材５４に対して、互いにスライド方向が直交する二つのスライド移動機構５５ａおよび５５ｂを介して、軸線PおよびRの両方向に移動可能に支持されている。そして、これらの凸部５６ａと凹部５６ｂとの球面を介した摺動と、スライド機構５５ａおよび５５ｂの相対変位との組み合わせにより、昇降台１５がその姿勢にかかわらず水平部材５４上で支持されるようになっている。
なお前記昇降駆動部２０は、フレーム５７に一体に搭載され、さらにこのフレーム５７は、脚５８によって支持された移動式の軌道５９に沿って移動することができるようになっている。

他の実施の形態の装置は、上記のように構成されているので、昇降台１５の上面（昇降面）は、昇降駆動部イ、ロとハ、ニとの高さの差によって、軸線Ｐを中心とする回転運動（ピッチング）をすることができる。また、昇降駆動部イとロとの昇降量の差によって、軸線Ｒを中心とする回転運動（ローリング）をすることもできる。すなわち、昇降台１５は、昇降駆動部２０の隣り合う二つの移動量の差によって軸線Ｒを中心とする回転の自由度を制御し、イロの組とハニの組との移動量の差によって軸線Ｐを中心とする回転の自由度を制御することができ、さらに、全部の昇降駆動部２０の動作によって鉛直方向の直線運動の自由度を制御することができる。

また、昇降駆動部２０は、図６に示すように、昇降台１５に載置されて回転する被搬送物の回転軌跡より外側の４個所に配置されているので、被搬送物をより安定して支持することができる。すなわち、図５に示すような二つの昇降駆動部２０を用いる場合に比べて、一つの昇降駆動部２０が負荷する荷重が少なくて済むので、各昇降駆動部２０の間に被搬送物の移動空間を大きく確保することができる。

この発明の一実施の形態に係る基板搬入出装置と、その周辺との関係を示す平面図である。 図１のＣ矢視に相当する基板搬入出装置を示す説明図である。 （ａ）アームが基板を基板カセットから搬出する際の上面図である。（ｂ）アームが基板を基板カセットから搬出を完了した際の上面図である。 基板と昇降駆動部との関係を示す説明図である。 一実施の形態における昇降駆動部の配置を示す平面図。 他の実施の形態における昇降駆動部の配置を示す平面図。 他の実施の形態の斜視図。 図７のVIII-VIII線に沿う矢視図。 図７のIX部の拡大した斜視図。

符号の説明

１０……基板搬入出装置 １１……装置本体 １５……昇降台 １６……凹み部
２０……昇降駆動部 ２１……モータ（駆動源）
２２……スクリュー軸（動力伝達部） ２４……旋回ユニット
５０・５２……軸 ５１・５１ａ・５１ｂ……昇降部材
５１ｃ……スライド機構 ５５ａ・５５ｂ……スライド機構
５６ａ……凸部 ５６ｂ……凹部
Ｇ……ガイドレール（ガイド手段） Ｋ……基板 Ｋ１……旋回軌跡円
Ｋ３……対角線 Ｘ……移動方向 Ｐ……軸線 Ｒ……軸線

Claims (6)

1. ガイド手段によって移動可能とされると共に、平面視において前記移動方向に対して交差する方向に配置された装置本体と、
   該装置本体上に昇降可能に設けられ、前記交差する方向に配置された昇降台と、
   前記昇降台の前記交差する方向の両端部に配置され、該昇降台を昇降させる昇降駆動部と、
   前記昇降台に、鉛直方向に伸びる軸線を中心として旋回可能に設けられた旋回ユニットとを備え、基板を支持して搬入出する基板搬入出装置において、
   前記昇降駆動部は、前記基板を支持した前記旋回ユニットが前記軸線を中心として旋回することにより形成される前記旋回ユニットと前記基板との回転軌跡より外方に位置すると共に、前記交差方向に沿い相対向して設置されることを特徴とする基板搬入出装置。
2. 請求項１記載の基板搬入出装置において、
   前記昇降駆動部は、前記装置本体の前記交差方向に沿う両側の位置にそれぞれ設置された駆動源と、その駆動源及び前記昇降台間にそれぞれ連結されて前記昇降台を吊持する動力伝達部とを有することを特徴とする基板搬入出装置。
3. 請求項１又は２記載の基板搬入出装置において、
   前記旋回ユニットは、前記昇降台の中央部に形成され下方に向けて落とし込まれた凹み部に設けられていることを特徴とする基板搬入出装置。
4. 請求項１記載の基板搬入出装置において、
   前記昇降駆動部は、前記昇降台の周囲の４個所に設けられたことを特徴とする基板搬入出装置。
5. 請求項４記載の基板搬入出装置において、
   前記昇降台は、前記昇降駆動部のうち、隣り合う二つによって、それぞれ昇降自在に、かつ互いに交差する二つの軸を中心とする自由度をもって回転自在に支持されるとともに、他の二つの昇降駆動部によって昇降自在に支持されたことを特徴とする基板搬入出装置。
6. 請求項５記載の基板搬入装置において、
   前記他の二つの昇降駆動部によって昇降動作される部材を設け、該部材上の支持面により、前記昇降台に設けられた凸曲面状の凸部を回転自在に支持したことを特徴とする基板搬入出装置。
   
   

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