JP2020141083A - 移載機 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1の移載機は、荷受台に載置されたカセットを把持するためのケージを備える。特許文献1の移載機は、荷受台に載置されたカセットに対してケージを昇降させる第1昇降機構と、カセットを把持したケージを処理装置に対して昇降させる第2昇降機構と、を備える。特許文献1の移載機においては、第1昇降機構を作動させることにより、ケージを荷受台に載置されたカセットまで移動させる。特許文献1の移載機においては、第2昇降機構を作動させることにより、カセットを把持したケージを処理装置まで移動させる。すなわち、特許文献1の移載機においては、カセットを載置台と処理装置との間で昇降移動させる場合には、第1昇降機構と第2昇降機構とを適宜作動させる。
さらに、上記移載機においては、昇降機構をカバーで被覆することが難しく発生したパーティクルを封じ込めることが難しい。そのため、ケージの昇降移動により発生するパーティクルが周囲に拡散することを防止することが難しいという問題があった。
上記構成では、ケージを支持する装置本体が、ラックと、ピニオンとを備えるラックアンドピニオン機構部によって昇降移動するとともに、ラックアンドピニオン機構部がカバーによって被覆される。
上記構成では、4本の支柱が装置本体を支持する。
上記構成では、装置本体に設けられる駆動部が駆動することでピニオンが回転する。そして、ピニオンが回転することで、装置本体が支柱の長手方向に昇降移動する。
上記構成では、ケージが、装置本体に設けられるワイヤによって吊下げ支持される。
図1に示すように、移載機10は、半導体製品或いは液晶表示素子製品を製造する製造設備に設けられるものである。より詳しくは、移載機10は、半導体製品或いは液晶表示素子製品の仕掛かり品である基板に対して蒸着処理等の所定の処理を行う処理装置(図示せず)に付設される装置である。なお、移載機10は、基板に対して所定の処理を行う処理装置に付設されるものに限定されるものではなく、当該処理装置以外の装置に付設される装置、被搬送物を保管等する設備に付設する装置、等であっても構わない。
移載機10が付設される上記処理装置には、上記基板を収納したカセット90(「被搬送物」の一例)が搬送される。カセット90は、上記製造設備内に設けられる走行レールに沿って走行する搬送台車(図示せず)によって上記処理装置まで搬送される。カセット90は、その一方側面或いは両側面が開口した略箱型形状の部材により形成され、その内部に複数の基板を収容可能に構成されている。当該搬送台車により搬送されたカセット90は、上記処理装置の上方に設けられる荷受台11に載置される。
移載機10は、荷受台11に載置されたカセット90を上記処理装置のロードポート(図示せず)に移載する。又は、移載機10は、上記処理装置のロードポートに載置されたカセット90を荷受台11に移載する。すなわち、移載機10は、カセット90を、荷受台11と上記処理装置のロードポートとの間で昇降移動させる。
ケージ20は、カセット90の上面に設けられるフランジ部91と係合して、カセット90を支持する。ケージ20は、後述する昇降装置30の装置本体31の下方に設けられる。ケージ20は、ケージ本体21と、係合部22と、旋回機構23と、から主に構成されている。
ケージ本体21は、ケージ20の本体部分である。ケージ本体21は、昇降装置30により吊り下げられた状態で支持される。ケージ本体21は箱体により形成される。ケージ本体21は、その箱体の内部に支持部材(図示せず)を備える。ケージ本体21は、当該支持部材を介して係合部22及び旋回機構23を支持する。
係合部22は、カセット90のフランジ部91と係合する。係合部22は、ケージ本体21の支持部材において、係合するカセット90のフランジ部91に対応する位置に設けられる。係合部22は、旋回機構23の駆動により、ケージ本体21の支持部材に対して旋回する。係合部22は、ケージ本体21の支持部材に対して旋回することで、カセット90のフランジ部91と係合する係合状態と、カセット90のフランジ部91との係合を解除する係合解除状態と、にカセット90のフランジ部91との係合状態を切り換える。
旋回機構23は、係合部22をケージ本体21の支持部材に対して旋回させる。旋回機構23は、ケージ本体21の支持部材に支持される。旋回機構23は、係合部22毎に設けられる旋回軸24を回動させるための駆動モータ(図示せず)を備える。旋回機構23は、駆動モータ(図示せず)を駆動させて旋回軸24を回動させることで、係合部22を所定の方向に旋回させる。
装置本体31は、昇降装置30の本体部分である。装置本体31は、平面視で略矩形状に形成される。装置本体31は、所定長さのワイヤ80を介して、ケージ20を吊り下げた状態で支持する。すなわち、装置本体31は、ケージ20を昇降移動させることなく、装置本体31の下方においてケージ20を吊り下げて固定する。装置本体31は複数本(図1においては4本)のワイヤ80によってケージ20を吊り下げて支持する。装置本体31がケージ20を支持する機構をワイヤ80による吊下げ固定方式とすることで、ワイヤ80の硬さによりケージ20の揺れを抑えつつも、ケージ20を装置本体31に対して拘束されない状態にすることができる。また、ワイヤ80のみでケージ20を吊り下げるため、ケージ20の支持機構の部品点数を削減できる。
支柱32は、平面視略矩形状に形成される装置本体31の角部のそれぞれに配置されて高さ方向(鉛直方向)に沿って延在する。すなわち、4本の支柱32が装置本体31を昇降可能に支持する。4本の支柱32には、隣接する支柱32同士を相互に接続する補強部材12が設けられている。支柱32の中間部には、カセット90を載置するための荷受台11が設けられている。
ラック34は、4本の支柱32のそれぞれに設けられる。ラック34は、ピニオン35と噛み合う部分が支柱32の長手方向に沿って延設される。すなわち、ラック34は、ケージ20の昇降方向に延設される。
ピニオン35は、円形状の部材である。ピニオン35は、4本の支柱32のそれぞれに設けられるラック34に対応して設けられる。ピニオン35は、駆動装置36の駆動により回転する。ピニオン35は、回転した状態でラック34に噛み合う。ピニオン35は、ラック34に噛み合った状態でラック34上を移動する。
駆動装置36は、本体37と、ピニオン35を回転可能に支持する回転軸38と、回転軸38を正逆方向に回転させるモータ39と、から主に構成されている。駆動装置36においては、モータ39を駆動させることで回転軸38が回転する。回転軸38が回転することでピニオン35が回転する。
駆動装置36は、装置本体31に固定されている。すなわち、駆動装置36は、装置本体31側に設けられている。具体的には、駆動装置36の本体37を固定部材15により昇降装置30の装置本体31の上部に固定する。駆動装置36を装置本体31側に設けることで、ケージ20を昇降移動させるための駆動装置を支柱32の上部又は支柱32の下部に設ける必要がない。さらに、当該駆動装置を4本の支柱32で囲まれる領域内に配置することができる。そのため、支柱32の上部及び支柱32の下部が簡素化された構造となる。さらに、ケージ20の昇降移動時に装置本体31及びケージ20と干渉する駆動装置36等を、4本の支柱32で囲まれる領域の外側に配置する必要がない。それゆえに、移載機10全体を小型化することができる。
駆動装置36は、4本の支柱32のそれぞれに対応して設けられるピニオン35毎に設けられる。すなわち、駆動装置36は、4本の支柱32のそれぞれに設けられるラックアンドピニオン機構部33毎に設けられる。つまり、昇降装置30は、4台の駆動装置36を駆動させることにより、ケージ20を昇降させる。昇降装置30が4台の駆動装置36を駆動させることによりケージ20を昇降させることから、個々の駆動装置36を構成するモータ39を小型化することができる。さらに、4台の駆動装置36のうちのいずれかの駆動装置36のモータ39が動作不良となった場合であっても、残りの駆動装置36のモータ39を駆動させることで、ケージ20を昇降させることができる。
カバー40は、4本の支柱32のそれぞれに設けられる。カバー40は、支柱32の長手方向に沿って延設される。カバー40は、支柱32においてラック34が設けられている側を被覆するように配置される。カバー40は、支柱32に取り付けられた際に、カバー40と支柱32との間にピニオン35の昇降移動が可能な空間が形成されるように、ピニオン35の昇降経路に沿った形状に成形されている。
カバー40の側面にはスリット41が形成されている。スリット41は、カバー40の長手方向に沿って形成される開口部分である。スリット41は、カバー40を支柱32に取り付けた際に、支柱32の長手方向に沿って延設される。スリット41は、ケージ20の昇降時に駆動装置36の回転軸38が鉛直方向に昇降移動可能な程度の幅で開口されている。
図1から図4に示すように、上記搬送台車によって上記処理装置まで搬送されたカセット90は、上記処理装置の上方に設けられる荷受台11に載置される。移載機10は、ケージ20によってカセット90を把持させるために、装置本体31を支柱32に対して下降させる。具体的には、装置本体31の上部に設けられる駆動装置36のモータ39を駆動させてピニオン35を回転させる。ピニオン35が回転することでピニオン35がラック34に噛み合う。ピニオン35がラック34に噛み合いながら回転することで、駆動装置36の本体37が下降する。駆動装置36の本体37は、固定部材15を介して装置本体31に固定されているため、駆動装置36の本体37が下降することで、装置本体31が下降する。
カセット90が旋回されると、駆動装置36のモータ39を駆動して、装置本体31を下降させる。これにより、カセット90を把持したケージ20が下降する。ケージ20が上記処理装置のロードポートに対して所定位置まで下降すると、当該ロードポートに対するケージ20の位置決めを行う。ケージ20の位置決めは、上記処理装置に設けられる位置決め装置(図示せず)により行われる。当該位置決め装置は、ケージ20の両側面側からケージ20を挟持する挟持部を備える。当該位置決め装置は、ケージ20がロードポートに対して所定位置まで下降した際に、ケージ20の両側面を挟持部によって挟持することにより、ケージ20の位置決めを行う。
ケージ20の位置決めが行われると、駆動装置36のモータ39を駆動して、装置本体31を下降させる。これにより、カセット90が上記処理装置のロードポートに載置される。カセット90が当該ロードポートに載置されると、ケージ20の旋回機構が係合部22を旋回させる。これにより、係合部22によるカセット90のフランジ部91への係合が解除される。すなわち、ケージ20からカセット90が離れ、当該ロードへのカセット90の移載が完了する。
移載機10においては、ラックアンドピニオン機構部33をカバー40によって被覆することで、発生したパーティクルをカバー40内に封じ込めることができる。すなわち、移載機10においては、カセット90の移載(ケージ20の昇降移動)により発生したパーティクルを、カバー40と支柱32との間に形成される内部空間に封じ込めることができる。このため、カセット90の移載(ケージ20の昇降移動)により発生するパーティクルの拡散を防止することができる。
20 ケージ
30 昇降装置
31 装置本体
32 支柱
33 ラックアンドピニオン機構部
34 ラック
35 ピニオン
36 駆動装置(駆動部)
40 カバー
80 ワイヤ
90 カセット(被搬送物)
Claims (4)
- 被搬送物を支持するケージと、前記ケージを昇降自在に支持する昇降装置と、を備える移載機であって、
前記昇降装置は、
前記ケージを支持する装置本体と、
前記装置本体を支持する支柱と、
前記支柱に沿って設けられるラックと、前記装置本体に回転可能に設けられ前記ラックに係合するピニオンと、を備え、前記ピニオンの回転により前記装置本体を前記支柱の長手方向に昇降移動させるラックアンドピニオン機構部と、
を備え、
前記ラックアンドピニオン機構部は、前記支柱とともにカバーによって被覆されること
を特徴とする移載機。 - 前記装置本体は4本の支柱により昇降可能に支持されること
を特徴とする請求項1に記載の移載機。 - 前記昇降装置は、前記ピニオンを回転する駆動部が前記装置本体に設けられていること
を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の移載機。 - 前記装置本体は、所定長さのワイヤを介して、前記ケージを吊下げ支持すること
を特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の移載機。
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