KR101414772B1

KR101414772B1 - 자동 창고

Info

Publication number: KR101414772B1
Application number: KR1020127027166A
Authority: KR
Inventors: 야스히사 이토
Original assignee: 무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date: 2010-04-02
Filing date: 2010-04-02
Publication date: 2014-07-03
Also published as: EP2554495A4; US20130022429A1; EP2554495A1; TW201144190A; JP5590118B2; US9165811B2; JPWO2011125095A1; EP2554495B1; WO2011125095A1; CN102947203A; TWI477426B; KR20130015269A

Abstract

자동 창고(10)는, 장치 본체(10a)와 이동 재치 장치(26)를 구비하고 있다. 장치 본체(10a)는, 상면에 카세트(C)가 재치되는 고정 선반(24)이 좌우 상하로 복수 설치되어 있다. 이동 재치 장치(26)는, 카세트(C)의 플랜지(C1)를 보지함으로써 카세트(C)를 이동 재치시킨다. 이동 재치 장치(26)는, 수직 레일(34)과 이동 재치 헤드(36)를 가지고 있다. 수직 레일(34)은, 최상단의 고정 선반(24)의 지지면(24a) 근방에 있는 상단(34a)을 가진다. 이동 재치 헤드(36)는, 수직 레일(34)을 따라 승강 가능한 부재이다. 이동 재치 헤드(36)는, 최상단의 고정 선반(24)에 재치되는 카세트(C)의 플랜지(C1)를 보지 가능한 길이를 가지는 수직 암(36a)을 가지고 있다.

Description

자동 창고{AUTOMATED WAREHOUSE}

본 발명은 자동 창고, 특히 처리 장치의 근방에서 물품을 보관하는 자동 창고에 관한 것이다.

반도체 또는 액정의 제조 공장에서는, 실리콘 웨이퍼 또는 글라스 플레이트 등의 기판 상에 박막 형성, 산화, 에칭 등의 다양한 처리 구성을 거쳐, 기판 상에 반도체 디바이스 또는 액정 디바이스가 형성된다. 이러한 종류의 처리 장치의 사이에는, 카세트에 기판이 수납되어 기판은 카세트 단위로 천장 반송차에 의해 반송된다. 처리 장치와 천장 반송차와의 사이에서의 카세트의 전달 장소에는, 천장 반송차와 처리 장치 간의 처리 시간을 조정하기 위하여 장치 앞 자동 창고라 불리는 버퍼(buffer)가 설치되어 있다(예컨대, 특허 문헌 1 참조).

종래의 장치 앞 자동 창고는, 상하로 간격을 두고 배치된 카세트 보관용의 복수의 고정 선반과, 각 고정 선반의 사이에서 물품을 전달 가능한 이동 재치(載置) 장치를 구비하고 있다. 고정 선반은 상하로 간격을 두고 배치되어 있고, 최상단의 고정 선반이 천장 반송차와의 카세트 전달 장소로 되어 있다. 그리고, 최하단의 고정 선반의 하방에 처리 장치와의 카세트 전달 포트가 배치되어 있다. 이 전달 포트에 재치된 카세트로부터 처리 장치가 기판을 취출하여 처리한다.

이동 재치 장치는, 고정 선반의 처리 장치측과 반대측에 마주하하여 배치되고, 각 고정 선반 간 및 각 고정 선반과 전달 포트와의 사이에서 카세트를 이동 재치한다. 이러한 장치 앞 자동 창고를 설치함으로써, 처리 장치 또는 반송 장치의 문제에 의해 카세트의 공급 또는 반출이 정체되어도, 시스템 다운되지 않고 연속하여 카세트를 반입 및 반출할 수 있다.

특허 문헌 1: 일본특허공개공보 2001-298069 호

특허 문헌 1에 기재된 바와 같은 자동 창고를 운반할 시에는, 예를 들면 공수(空輸)에 대하여 장치 높이가 제한된다. 따라서 종래에는, 자동 창고를 상하로 분할하여 각각을 운반하고 있었다. 그러나, 이 경우에는 자동 창고의 분해 및 조립에 시간이 걸리고, 또한 조립 후에는 분해 전과 비교하여 이동 재치 장치의 이동 재치 헤더의 이동 재치 위치에 차이가 생길 가능성이 있다. 이동 재치 위치에 차이가 생길 경우에는, 현지에서의 이동 재치 위치 재조정 작업이 필요하게 된다.

본 발명의 목적은, 자동 창고의 운반에 수반하는 문제점을 저감하는 것에 있다.

이하에, 과제를 해결하기 위한 수단으로서 복수의 태양을 설명한다. 이들 태양은, 필요에 따라 임의로 조합할 수 있다.

본 발명의 한 관점에 따른 자동 창고는, 선반과 이동 재치 장치를 구비하고 있다. 선반은, 상면에 물품이 재치되는 재치부가 좌우 상하로 복수 설치되어 있다. 이동 재치 장치는, 물품의 상부를 보지(保持)하여 물품을 이동 재치한다. 이동 재치 장치는, 수직 레일과 핸드 부재를 가지고 있다. 수직 레일의 상단은, 최상단의 재치부의 근방에 있다. 핸드 부재는, 수직 레일을 따라 승강 가능한 부재이다. 핸드 부재는, 최상단의 재치부에 재치되는 물품의 상부를 보지 가능한 길이를 가지는 수직 암을 가지고 있다.

이 자동 창고에서는, 수직 레일 상단의 높이를 최상단의 재치부의 지지면 이하로 하고 있고, 즉 수직 레일이 최상단의 재치부의 지지면으로부터 상방으로 크게 돌출되어 있지 않다. 따라서, 자동 창고의 높이를 낮게 할 수 있다. 그 결과, 핸드 부재를 장착한 채로, 자동 창고를 운반할 시의 높이를 충분히 낮게 할 수 있다. 또한 사용 시에는, 핸드 부재에 의해 최상단의 재치부에 재치된 물품의 상부를 잡을 수 있다.

또한 수직 레일의 '상단'이란, 가장 높은 위치에 있는 부분을 말한다.

수직 레일의 상단은 최상단의 재치부의 지지면 이하여도 된다.

이 자동 창고에서는, 수직 레일 상단의 높이를 최상단의 재치부의 지지면 이하로 하고 있고, 즉 수직 레일이 최상단의 재치부의 지지면으로부터 상방으로 돌출되어 있지 않다. 따라서, 자동 창고의 높이를 낮게 할 수 있다. 구체적으로, 핸드 부재를 하방으로 낮춤으로써, 최상단의 재치부의 지지면을 최상부로 할 수 있다. 그 결과, 핸드 부재를 장착한 채로, 자동 창고를 운반할 시의 높이를 충분히 낮게 할 수 있다. 또한 사용 시에는, 핸드 부재에 의해 최상단의 재치부에 재치된 물품의 상부를 잡을 수 있다.

수직 암은 상하 방향으로 배열된 한 쌍의 재치부끼리의 상하 방향 간격보다 길어도 된다.

수직 암은 상하 방향으로 1 개의 재치부를 사이에 두고 배열된 한 쌍의 재치부끼리의 상하 방향 간격보다 짧아도 된다.

핸드 부재는 수직 암의 상단부에 설치된 물품 보지부를 더 가지고 있어도 된다. 이 경우, 핸드 부재에서 물품 보지부보다 더 상방으로 연장되는 부분이 없다. 따라서, 수직 암의 상하 방향 길이가 특별히 길어지지 않는다.

자동 창고는 선반에 분리 가능하게 설치된 커버를 더 구비하고 있어도 된다. 이 경우, 운반 시에는 커버를 분리할 수 있다.

커버는 최상단의 재치부에 재치되는 물품의 주위를 덮고 있어도 된다. 이 경우, 커버를 분리함으로써 운반 시의 자동 창고의 높이를 낮게 할 수 있다.

커버의 상단은 최상단의 재치부에 놓여지는 물품의 최상면 이상의 위치에 있어도 된다. 이 경우, 사용 시에는 커버의 상단이 자동 창고의 가장 높은 부분이 된다.

커버의 하단은 최상단의 재치부의 지지면의 근방에 있어도 된다. 이 경우, 커버를 제거하면, 최상단의 재치부의 지지면 부근이 자동 창고의 가장 높은 부분이 된다.

커버는 복수의 분할 커버를 가지고 있어도 된다. 이 경우, 커버의 분리 및 장착이 용이하다.

선반의 하부에 분리 가능하게 설치된 차륜(車輪)을 더 구비하고 있어도 된다. 이 경우, 차륜을 분리함으로써 운반 시의 자동 창고의 높이를 더 낮게 할 수 있다.

본 발명에 따른 자동 창고에서는 운반 시에 높이를 낮게 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예로서의 자동 창고의 사시도이다.
도 2는 외벽 패널을 제외한 자동 창고의 정면도이다.
도 3은 자동 창고의 측면 단면도이다.
도 4는 이동 재치 장치의 정면 확대도이다.
도 5는 자동 창고의 측면 단면도이다.
도 6은 수송용에 커버 또는 프레임을 장치 본체로부터 분리한 상태를 도시한 사시도이다.
도 7은 수송 시의 장치 본체의 사시도이다.
도 8은 자동 창고의 측면 단면도이다.
도 9는 자동 창고의 제어계의 블록도이다.

(1)자동 창고의 전체 구성

도 1 및 도 2를 이용하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 창고(10)를 설명한다. 도 1은, 본 발명의 일 실시예로서의 자동 창고의 사시도이다. 도 2는, 외벽 패널을 제외한 자동 창고의 정면도이다.

자동 창고(10)는, 예를 들면 반도체 처리 장치(12)의 앞에 근접하여 배치되는 장치 앞 자동 창고이며, 천장 반송차(도시하지 않음)와 반도체 처리 장치(12) 간의 버퍼로서 기능한다. 자동 창고(10)는, 처리 전 또는 처리 후의 복수매의 기판을 수납하는 카세트(C)를 보관한다.

반도체 처리 장치(12)는, 카세트(C)를 열어 내부에 수납된 원형의 기판에 처리를 실시하고, 처리 완료된 기판을 카세트(C)에 수납한다. 반도체 처리 장치(12)의 외주(外周)에는 전달 포트(14)가 설치되어 있다. 전달 포트(14)는, 예를 들면 4 개의 카세트 재치대(14a)를 가지고 있다. 전달 포트(14)는, 자동 창고(10)의 장치 본체 내부에 수용되도록 배치되어 있다.

자동 창고(10)는, 프레임(20)과, 프레임(20)의 외측면을 둘러싸도록 배치된 외벽 패널(22)과, 고정 선반(24)과, 슬라이드 선반(25)과, 이동 재치 장치(26)를 구비하고 있다. 슬라이드 선반(25)은, 작업자가 인공에 의해 카세트(C)를 자동 창고(10)로 반입 및 반출하기 위하여 사용된다. 이동 재치 장치(26)는, 도 9에 나타낸 창고 제어부(100)에 의해 제어된다. 이동 재치 장치(26)는 카세트(C)를, 복수의 고정 선반(24)과, 슬라이드 선반(25)과, 복수의 카세트 재치대(14a)와의 사이에서 반송한다.

(2)프레임 및 외벽 패널의 구성

프레임(20)은 도 2에 도시한 바와 같이, 예를 들면, 네 모서리에 배치된 4 개의 기둥 부재(20a)와, 기둥 부재(20a)를 전후 좌우로 연결하는 연결 부재(20b)를 가지고 있다. 또한 좌우를 연결하는 연결 부재(20b)는, 주로 반도체 처리 장치(12)측의 배면에 배치되어 있고, 정면에는 배치되어 있지 않다.

기둥 부재(20a)는, 하부의 제 1 부분(20A)과 상부의 제 2 부분(20B)으로 구성되어 있다. 전술한 연결 부재(20b)는, 제 1 부분(20A)의 상단부를 서로 연결하고 있다. 제 2 부분(20B)은, 도 6에 도시한 바와 같이 제 1 부분(20A)으로부터 분리 가능하다.

외벽 패널(22)은, 자동 창고(10)의 정면 및 좌우의 측면을 덮고, 또한 배면의 상부를 덮도록 형성되어 있다. 외벽 패널(22)의 정면의 하부에는, 슬라이드 선반(25) 및 이에 재치되는 카세트(C)를 통과시키기 위한 개구가 형성되어 있다.

외벽 패널(22)은, 장치 본체(10a)의 하측 절반을 덮는 제 1 커버(22A)와, 장치 본체(10a)의 상측 절반을 덮는 제 2 커버(22B)를 가지고 있다. 제 2 커버(22B)는, 기둥 부재(20a)의 제 2 부분(20B) 전체 및 제 1 부분(20A)의 상측 부분에 대응하고 있다. 제 2 커버(22B)는, 최상단의 고정 선반(24)에 카세트(C)가 재치되어 있을 때에는 재치된 카세트(C)의 주위를 둘러싸고 있고, 그 높이는 전술한 카세트(C)보다 높게 되어 있다. 즉, 제 2 커버(22B)의 상단(27)은 최상단의 고정 선반(24)에 놓여지는 카세트(C)의 상면(29) 이상의 위치에 있다. 따라서, 자동 창고(10)의 사용 시에는, 제 2 커버(22B)의 상단(27)이 자동 창고(10)의 가장 높은 부분이 된다. 한편, 제 2 커버(22B)의 하단(28)은 최상단의 고정 선반(24)의 지지면(24a)의 근방, 구체적으로 지지면(24a) 이하의 위치에 있다. 따라서, 제 2 커버(22B)를 분리하면, 최상단의 고정 선반(24)의 지지면(24a)이 자동 창고(10)의 가장 높은 부분이 된다.

제 2 커버(22B)는 또한 도 6에 도시한 바와 같이, 전면(前面) 및 양 측면을 구성하는 전측 커버(22C)와 후면을 구성하는 후측 커버(22D)로 분할 가능하며, 이 때문에, 제 2 커버(22B)의 분리 및 장착이 용이하게 되어 있다.

프레임(20) 하부에는 차륜(90)이 고정되어 있다. 차륜(90)은 프레임(20)으로부터 분리 가능하다.

(3)고정 선반의 구성

도 2에 도시한 바와 같이, 고정 선반(24)은 상하 방향 및 좌우 방향으로 배치되어 있다. 본 실시예에서는 좌우로 4 열, 상하로 3 단의 합계 12 개 설치되어 있다. 최상단의 고정 선반(24)은, 천장 반송차(도시하지 않음)와의 카세트(C)의 전달에 사용된다. 고정 선반(24)은, 프레임(20)의 좌우의 연결 부재(20b)에 고정되어 있다. 고정 선반(24)은, 전달 포트(14)의 상방에 소정의 공간을 두고 배치되어 있다.

고정 선반(24)에는, 카세트(C)를 식별하는 카세트 판독기(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 고정 선반(24)의 지지면(24a)에는 카세트(C)를 위치 결정하는 위치 결정 기구(도시하지 않음)가 설치되어 있다.

좌우 방향에서 고정 선반(24)의 사이에는, 이동 재치 장치(26)가 상하로 통과 가능한 수직 통로(30a)가 설치되어 있다. 본 실시예에서는, 고정 선반(24)은 좌우 방향에대하여, 고정 선반(24), 수직 통로(30a), 고정 선반(24), 고정 선반(24), 수직 통로(30a), 고정 선반(24)의 순으로 배열되어 있고, 모든 고정 선반(24)이 수직 통로(30a)에 마주하고 있다. 이에 따라, 이동 재치 장치(26)가 모든 고정 선반(24) 및 전달 포트(14)와의 사이에서 카세트(C)를 이동 재치할 수 있다.

최하단의 고정 선반(24)과 전달 포트(14)의 사이는 수평 통로(30b)로 되어 있다.

(4)이동 재치 장치의 구성

도 2 ~ 도 4를 이용하여 이동 재치 장치(26)를 설명한다. 도 3은, 자동 창고의 측면 단면도이다. 도 4는, 이동 재치 장치의 정면 확대도이다.

이동 재치 장치(26)는, 좌우 방향을 따른 수평축 및 수직축의 2 축을 가지는 장치이며, 카세트(C)를 보지 가능하다. 이동 재치 장치(26)는, 주로 수평 레일(32)과, 수평 레일(32)을 따라 이동하는 수직 레일(34)과, 수직 레일(34)을 따라 각 별도로 이동하는 이동 재치 헤드(36)로 구성되어 있다. 수평 레일(32)은, 고정 선반(24)의 정면측에 고정 선반(24)과 간극을 두고 수평 방향으로 배치되어 있다.

도 2에 도시한 바와 같이, 수평 레일(32)은 좌우 방향을 따라 배치되어 있다. 수평 레일(32)은 도 4에 도시한 바와 같이, 상측 레일 부재(40a) 및 하측 레일 부재(40b)와, 수평 구동 모터(44)와, 상측 구동 풀리(pulley)(46a) 및 하측 구동 풀리(46b)와, 상측 종동 풀리(48a) 및 하측 종동 풀리(48b)와, 상측 톱니 부착 벨트(50a) 및 하측 톱니 부착 벨트(50b)를 가지고 있다. 수평 구동 모터(44)는 수직 레일(34)을 수평 방향으로 구동시키기 위한 장치이다. 상측 레일 부재(40a) 및 하측 레일 부재(40b)는, 양 단부(端部)에서 상하 방향으로 배치된 접속 부재(41)에 의해 연결되어 있다.

수평 구동 모터(44)는, 상측 레일 부재(40a)의 도 4 좌단(도 2 우단)에 고정된 감속기 부착의 모터이며, 90도 굴곡하여 회전을 출력 가능하다. 수평 구동 모터(44)의 출력은 상측 구동 풀리(46a)에 전달되고, 또한 연결축(54)을 거쳐 하측 구동 풀리(46b)에 전달된다. 상측 구동 풀리(46a) 및 하측 구동 풀리(46b)는, 상측 레일 부재(40a) 및 하측 레일 부재(40b)의 도 2 우단(도 4 좌단)에 배치되어 있다. 상측 종동 풀리(48a) 및 하측 종동 풀리(48b)는, 상측 레일 부재(40a) 및 하측 레일 부재(40b)의 도 2 좌단(도 4 우단)에 배치되어 있다. 상측 톱니 부착 벨트(50a)는 상측 구동 풀리(46a)와 상측 종동 풀리(48a)에 권회(卷回)되어 있다. 상측 톱니 부착 벨트(50a)에는, 상측 레일 부재(40a)에 수평 방향으로 안내되는 상측 슬라이더(52a)가 고정되어 있다. 하측 톱니 부착 벨트(50b)에는, 하측 레일 부재(40b)에 수평 방향으로 안내되는 하측 슬라이더(52b)가 고정되어 있다. 상측 슬라이더(52a) 및 하측 슬라이더(52b)에 수직 레일(34)이 고정되어 있다.

수직 레일(34)은 도 4에 도시한 바와 같이, 수직 레일 부재(60)와, 이동 재치 헤드(36)를 수직 방향으로 구동하기 위한 수직 구동 모터(64)와, 구동 풀리(66)와, 종동 풀리(68)와, 톱니 부착 벨트(70)를 가지고 있다. 이들의 구조는, 수평 레일(32)의 상측 레일 부재(40a)와 동일하다. 이동 재치 헤드(36)는, 톱니 부착 벨트(70)에 고정된 슬라이더(72)에 고정되어 있다.

이동 재치 헤드(36)는, 수직 암(36a)과, 수직 암(36a)의 상단부(36d)에 설치된 물품 보지부(36b)를 가지고 있다. 수직 암(36a)은, 상하 방향으로 길게 연장되어 있고, 수직 레일(34)을 따라 배치되어 있다. 물품 보지부(36b)는 도 3에 도시한 바와 같이, 카세트(C)의 상면에 돌출하여 형성된 플랜지(flange)(C1)를 보지 가능한 한 쌍의 부재이다. 한 쌍의 물품 보지부(36b)는, 좌우 방향(도 3 지면 직교 방향)으로 개폐 가능하게 배치되어 있다. 또한, 이동 재치 헤드(36)의 카세트(C)에 대향 가능한 위치에는, 카세트(C)를 식별하기 위한 카세트 식별 센서(36c)가 설치되어 있다. 이동 재치 헤드(36)는, 또한 물품 보지부(36b)를 개폐하는 헤드 모터(104)(도 9)를 가지고 있다. 이동 재치 헤드(36)는, 고정 선반(24)에 대하여 카세트(C)를 반입할 시 및 고정 선반(24)으로부터 카세트(C)를 반출할 시에는, 물품 보지부(36b)를 개폐하여 플랜지(C1)를 보지 해제 및 보지한다. 이동 재치 헤드(36)는 수평 레일(32) 및 수직 레일(34)로 안내되어, 2 개의 수직 통로(30a) 및 수평 통로(30b)를 이동한다.

슬라이더(72)는 수직 암(36a)의 하단부에 장착되어 있다.

또한, 이동 재치 헤드의 물품 보지부의 구조는 상기 개폐식에 한정되지 않는다. 예를 들면, 물품 보지부는 측방으로부터 이동하여 카세트의 플랜지를 들어올리는 구조여도 된다.

수직 레일(34)의 상단(34a)은, 최상단의 고정 선반(24)의 지지면(24a)보다 낮게 되어 있다. 보다 구체적으로, 수직 레일(34)의 최상면의 상하 방향 위치는, 최상단의 고정 선반(24)의 지지면(24a)의 상하 방향 위치보다 약간 낮게 되어 있다.

한편, 이동 재치 헤드(36)의 수직 암(36a)은, 최상단의 고정 선반(24)에 재치되는 카세트(C)의 플랜지(C1)를 보지 가능한 길이를 가지고 있다. 구체적으로, 수직 암(36a)은, 수직 레일(34)의 최상위 위치로부터 최상단의 고정 선반(24)에 재치되는 카세트(C)의 플랜지(C1)까지의 거리보다 길다. 수직 암(36a)의 길이는, 상하 방향으로 배열된 한 쌍의 고정 선반(24)끼리의 상하 방향 간격보다 길고, 또한 최상단의 고정 선반(24)과 최하단의 고정 선반(24)끼리의 상하 방향 간격보다 짧다.

이상의 구조에 의해, 도 4에 도시한 바와 같이 이동 재치 헤드(36)는, 수직 레일(34)에 대하여 가장 높은 위치까지 이동하여, 최상단의 고정 선반(24)에 재치되는 카세트(C)의 플랜지(C1)를 보지 가능하다. 또한 도 5에 도시한 바와 같이, 이동 재치 헤드(36)는, 수직 레일(34)에 대하여 가장 낮은 위치까지 이동하여, 전달 포트(14)에 재치되는 카세트(C)의 플랜지(C1)를 보지 가능하다.

물품 보지부(36b)는 수직 암(36a)의 상단부(36d)에 설치되어 있고, 이 때문에 이동 재치 헤드(36)에서 물품 보지부(36b)보다 더 상방으로 연장되는 부분이 없다. 따라서, 수직 암(36a)의 상하 방향 길이가 특별히 길게 되지 않는다.

수직 레일(34)의 최상부는 최상단의 고정 선반(24)에 근접하고 있으므로, 수직 암(36a)의 상하 방향 길이를 특별히 길게 하지 않아도, 물품 보지부(36b)가 최상단의 고정 선반(24)에 재치된 카세트(C)를 보지할 수 있다.

(5)제어계의 구성

창고 제어부(100)는, 예를 들면, 마이크로 컴퓨터를 가지는 것이다. 창고 제어부(100)는, 소프트웨어에 의해 이동 재치 장치(26)의 수평 구동 모터(44), 수직 구동 모터(64) 및 헤드 모터(104)를 제어한다. 또한 창고 제어부(100)에는, 수평 구동 모터(44)와, 수직 구동 모터(64)와, 헤드 모터(104)와, 기타 입출력부(106)가 접속되어 있다. 기타 입출력부(106)란, 카세트 식별 센서(36c) 등의 기타 센서 및 반도체 처리 장치(12) 등의 외부 장치와의 데이터의 입출력을 행하는 기기이다.

(6)자동 창고의 동작

이와 같이 구성된 자동 창고(10)에서는, 천장 반송차(도시하지 않음)가 카세트(C)를 최상단의 고정 선반(24) 중 어느 일방으로 반입한다. 이어서, 이동 재치 장치(26)가 반입된 카세트(C)를, 반입된 최상단의 고정 선반(24)이 면하는 수직 통로(30a)로부터 하방의 2 열의 2 단의 고정 선반(24) 중 어느 일방에 이동 재치한다. 또한, 이동 재치 명령에 따라서는, 이동 재치 장치(26)는, 전달 포트(14)의 카세트 재치대(14a) 또는 슬라이드 선반(25)에 카세트(C)를 직접 이동 재치한다.

이상의 이동 재치 동작 시에는, 먼저 이동 재치 헤드(36)가 물품 보지부(36b)를 연 상태에서 이동 재치 대상의 카세트(C)의 중심의 상방으로 이동한다. 구체적으로 이동 재치 헤드(36)는, 이동 재치 대상의 카세트(C)가 면하는 수직 통로(30a)로 이동하여, 수직 레일(34)을 따라 상승한다. 그리고 카세트(C)의 상방에 도달하면, 이동 재치 헤드(36)는 수평 레일(32)을 따라 수평으로 카세트(C)의 중심으로 이동한다. 이어서, 이동 재치 헤드(36)는 하강하여, 마지막으로 물품 보지부(36b)를 닫고 플랜지(C1)를 보지한다. 이에 따라, 플랜지(C1)가 보지되고, 카세트(C)를 이동 재치할 수 있다.

상기의 동작에서, 이동 재치 헤드(36)의 수직 암(36a)은, 상하 이동할 시에는 수직 레일(34)을 따라 이동한다.

수직 암(36a)은 도 3에 도시한 바와 같이, 최상면의 고정 선반(24a)에 재치된 카세트(C)를 보지할 경우에는, 수직 레일(34)의 가장 높은 위치에 지지되어, 수직 암(36a)의 상측 절반 및 물품 보지부(36b)가 수직 암(36a)의 상단면보다 높은 위치로 연장되어 있다. 또한 이 때 슬라이더(72)는, 수직 레일(34)에 의해 지지 가능한 부분의 가장 높은 위치 부근에 있다.

수직 암(36a)은 도 5에 도시한 바와 같이, 카세트 재치대(14a)에 재치된 카세트(C)를 보지할 경우에는, 수직 레일(36a)의 가장 낮은 위치에 지지되어, 수직 암(36a)의 하측 절반이 카세트 재치대(14a)보다 낮은 위치로 연장되어 있다. 또한 이 때 슬라이더(72)는, 수직 암(36a)에 의해 지지 가능한 부분의 가장 낮은 위치 부근에 있다.

(7)수송 시의 분해 작업

자동 창고(10)를 운반할 시에는 도 6에 도시한 바와 같이, 제 2 커버(22B)의 전측 커버(22C) 및 후측 커버(22D)를 장치 본체(10a)로부터 분리하고, 또한 기둥 부재(20a)의 제 2 부분(20B)을 장치 본체(10a)로부터 분리한다. 도 7 및 도 8은, 상기 부재가 분리된 후의 자동 창고(10)의 장치 본체를 도시한다. 도 7은, 수송 시의 장치 본체의 사시도이다. 도 8은, 자동 창고의 측면 단면도이다.

이 자동 창고(10)에서는, 수직 레일(34)의 상단(34a)이 최상단의 고정 선반(24)의 지지면(24a)의 근방에, 구체적으로 지지면(24a) 이하로 되어 있으므로, 수직 레일(34)이 최상단의 고정 선반(24)의 지지면(24a)으로부터 상방으로 약간 또는 전혀 돌출되어 있지 않다. 또한 운반 시에는, 도 8에 도시한 바와 같이, 이동 재치 헤드(36)가 최상위 위치로부터 하방으로 낮춰져 있고, 그 결과 이동 재치 헤드(36)는 최상단의 고정 선반(24)의 지지면(24a)보다 하방에 배치되어 있다. 이 때문에, 수송 시에서의 자동 창고(10)의 장치 본체(10a) 가장 높은 부분은, 최상단의 고정 선반(24)의 지지면(24a)으로 되어 있다. 이상으로부터, 이동 재치 장치(26)의 수직 레일(34) 및 이동 재치 헤드(36)를 장착한 채로, 운반 시에서의 자동 창고(10)의 높이를 낮게 할 수 있다.

또한, 차륜(90)을 장치 본체(10a)로부터 분리함으로써, 수송 시의 자동 창고(10)의 높이를 더 낮게 할 수 있다.

이상에 기술한 바와 같이, 운반 시에 이동 재치 장치(26)를 분해하지 않으므로, 운반 후에 현지에서 이동 재치 장치(26)에 대하여 이동 재치 위치 재조정을 행할 필요가 없다.

또한 상술한 실시예에서는, 장치 전체를 상하로 분할하고 나서 운반하는 자동 창고에 비하면 분해의 작업이 적어지고, 또한 현지에서의 조립 작업도 적어진다. 또한 상술의 실시예에서는, 현지에서의 작업에서 천장 크레인 등의 특별한 설비가 불필요해진다.

(8)다른 실시예

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시예 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합 가능하다.

이동 재치 장치에서 카세트를 보지하는 구조는 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 보지부는 훅 형상으로서 횡방향으로부터 카세트의 돌기부에 계합해도 된다.

외벽 패널을 구성하는 커버의 구조는 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 커버는 선반의 상면을 덮고 있어도 된다. 이 경우, 카세트는 자동 창고의 전면(前面)으로부터 반입되게 된다.

본 발명은 자동 창고, 특히 처리 장치의 근방에서 물품을 보관하는 자동 창고에 널리 적용할 수 있다.

10 : 자동 창고
10a : 장치 본체(선반)
12 : 반도체 처리 장치
14 : 전달 포트
14a : 카세트 재치대
20 : 프레임
20a : 기둥 부재
20b : 연결 부재
20A : 제 1 부분
20B : 제 2 부분
22 : 외벽 패널
22A : 제 1 커버
22B : 제 2 커버
22C : 전측 커버
22D : 후측 커버
24 : 고정 선반(재치부)
24a : 지지면
25 : 슬라이드 선반
26 : 이동 재치 장치
27 : 상단
28 : 하단
29 : 상면
30a : 수직 통로
30b : 수평 통로
32 : 수평 레일
34 : 수직 레일
34a : 상단
36 : 이동 재치 헤드(핸드 부재)
36a : 수직 암
36b : 물품 보지부
36c : 카세트 식별 센서
36d : 상단부
40a : 상측 레일 부재
40b : 하측 레일 부재
41 : 접속 부재
44 : 수평 구동 모터
46a : 상측 구동 풀리
46b : 하측 구동 풀리
48a : 상측 종동 풀리
48b : 하측 종동 풀리
50a : 상측 톱니 부착 벨트
50b : 하측 톱니 부착 벨트
52a : 상측 슬라이더
52b : 하측 슬라이더
54 : 연결축
60 : 수직 레일 부재
64 : 수직 구동 모터
66 : 구동 풀리
68 : 종동 풀리
70 : 톱니 부착 벨트
72 : 슬라이더
90 : 차륜
100 : 창고 제어부
104 : 헤드 모터
106 : 기타 입출력부
C : 카세트
C1 : 플랜지

Claims

상면에 물품이 재치(載置)되는 재치부가 좌우 상하로 복수 설치된 선반과,
상기 물품의 상부를 보지(保持)하여 상기 물품을 이동 재치하는 이동 재치 장치를 구비하고 있고,
상기 이동 재치 장치는,
최상단(最上段)의 재치부의 지지면 근방에 있는 상단(上端)을 가지는 수직 레일과, 상기 수직 레일을 따라 승강 가능한 부재로서 상기 최상단의 재치부에 재치되는 물품의 상부를 보지 가능한 길이를 가지는 수직 암을 가지고 있는 핸드 부재를 가지고 있고,
상기 수직 레일의 상단은 상기 최상단의 재치부의 지지면 이하에 있는 자동 창고.
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제 1 항에 있어서,
상기 수직 암은 상하 방향으로 배열된 한 쌍의 재치부끼리의 상하 방향 간격보다 긴 자동 창고.
제 3 항에 있어서,
상기 수직 암은 상하 방향으로 1 개의 재치부를 사이에 두고 배열된 한 쌍의 재치부끼리의 상하 방향 간격보다 짧은 자동 창고.
제 1 항에 있어서,
상기 핸드 부재는 상기 수직 암의 상단부에 설치된 물품 보지부를 더 가지고 있는 자동 창고.
제 3 항에 있어서,
상기 핸드 부재는 상기 수직 암의 상단부에 설치된 물품 보지부를 더 가지고 있는 자동 창고.
제 4 항에 있어서,
상기 핸드 부재는 상기 수직 암의 상단부에 설치된 물품 보지부를 더 가지고 있는 자동 창고.
제 1 항에 있어서,
상기 선반에 분리 가능하게 설치된 네 모서리의 지지 기둥과, 상기 지지 기둥에 대응하고 있고, 상기 선반에 분리 가능하게 설치된 커버를 더 구비하고 있는 자동 창고.
제 8 항에 있어서,
상기 커버는 상기 최상단의 재치부에 재치되는 물품의 주위를 덮고 있는 자동 창고.
제 9 항에 있어서,
상기 커버의 상단은 상기 최상단의 재치부에 놓여지는 물품의 상면 이상의 위치에 있는 자동 창고.
제 3 항에 있어서,
상기 선반에 분리 가능하게 설치된 네 모서리의 지지 기둥과, 상기 지지 기둥에 대응하고 있고, 상기 선반에 분리 가능하게 설치된 커버를 더 구비하고 있는 자동 창고.
제 11 항에 있어서,
상기 커버는 상기 최상단의 재치부에 재치되는 물품의 주위를 덮고 있는 자동 창고.
제 12 항에 있어서,
상기 커버의 상단은 상기 최상단의 재치부에 놓여지는 물품의 상면 이상의 위치에 있는 자동 창고.
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