JPWO2011125095A1 - 自動倉庫 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の目的は、自動倉庫の運搬に伴う不具合を低減することにある。
本発明の一見地に係る自動倉庫は、棚と、移載装置とを備えている。棚は、上面に物品が載置される載置部が左右上下に複数設けられている。移載装置は、物品の上部を保持して物品を移載する。移載装置は、鉛直レールと、ハンド部材とを有している。鉛直レールの上端は、最上段の載置部の近傍にある。ハンド部材は、鉛直レールに沿って昇降可能な部材である。ハンド部材は、最上段の載置部に載置される物品の上部を保持可能な長さを有する鉛直アームを有している。
この自動倉庫では、鉛直レール上端の高さを最上段の載置部の支持面以下にしており、つまり鉛直レールが最上段の載置部の支持面から上方に大きく突出していない。したがって、自動倉庫の高さを低くできる。この結果、ハンド部材を装着したままで、自動倉庫を運搬する際の高さを十分に低くできる。また、使用時には、ハンド部材によって最上段の載置部に載置された物品の上部をつかむことができる。
なお、鉛直レールの「上端」とは、最も高い位置にある部分をいう。
この自動倉庫では、鉛直レール上端の高さを最上段の載置部の支持面以下にしており、つまり鉛直レールが最上段の載置部の支持面から上方に突出していない。したがって、自動倉庫の高さを低くできる。具体的には、ハンド部材を下方に下げることで、最上段の載置部の支持面を最上部とすることができる。この結果、ハンド部材を装着したままで、自動倉庫を運搬する際の高さを十分に低くできる。また、使用時には、ハンド部材によって最上段の載置部に載置された物品の上部をつかむことができる。
図1および図2を用いて、本発明の一実施形態による自動倉庫10を説明する。図1は、本発明の一実施形態としての自動倉庫の斜視図である。図2は、外壁パネルを除いた自動倉庫の正面図である。
半導体処理装置12は、カセットCを開けて、内部に収納された円形の基板に処理を施し、処理済みの基板をカセットCに収納する。半導体処理装置12の外周には、受け渡しポート14が設けられている。受け渡しポート14は、例えば、4個のカセット載置台14aを有している。受け渡しポート14は、自動倉庫10の装置本体内部に入り込むように配置されている。
フレーム20は、図2に示すように、例えば、四隅に配置された4本の柱部材20aと、柱部材20aを前後左右に連結する連結部材20bと、を有している。なお、左右をつなぐ連結部材20bは、主に半導体処理装置12側の背面に配置されており、正面には配置されていない。
図2に示すように、固定棚24は、上下方向および左右方向に配置されている。この実施形態では、左右に4列、上下に3段の合計12個設けられている。最上段の固定棚24は、天井搬送車(図示せず)とのカセットCの受け渡しに使用される。固定棚24は、フレーム20の左右の連結部材20bに固定されている。固定棚24は、受け渡しポート14の上方に所定のスペースを空けて配置されている。
固定棚24には、カセットCを識別するカセット読み取り器(図示せず)が設けられている。固定棚24の支持面24aには、カセットCを位置決めする位置決め機構(図示せず)が設けられている。
最下段の固定棚24と受け渡しポート14との間は、水平通路30bとなっている。
図2〜図4を用いて、移載装置26を説明する。図3は、自動倉庫の側面断面図である。図4は、移載装置の正面拡大図である。
スライダ72は、鉛直アーム36aの下端部に装着されている。
なお、移載ヘッドの物品保持部の構造は上記開閉式に限定されない。例えば、物品保持部は側方から移動してカセットのフランジをすくい上げる構造でもよい。
一方、移載ヘッド36の鉛直アーム36aは、最上段の固定棚24に載置されるカセットCのフランジC1を保持可能な長さを有している。具体的には、鉛直アーム36aは、鉛直レール34の最上位位置から最上段の固定棚24に載置されるカセットCのフランジC1までの距離より長い。鉛直アーム36aの長さは、上下方向に並んだ一対の固定棚24同士の上下方向間隔より長くて、しかも最上段の固定棚24と最下段の固定棚24同士の上下方向間隔より短い。
以上の構造により、図4に示すように、移載ヘッド36は、鉛直レール34に対して最も高い位置まで移動して、最上段の固定棚24に載置されるカセットCのフランジC1を保持可能である。さらに、図5に示すように、移載ヘッド36は、鉛直レール34に対して最も低い位置まで移動して、受け渡しポート14に載置されるカセットCのフランジC1を保持可能である。
倉庫制御部100は、例えば、マイクロコンピュータを有するものである。倉庫制御部100は、ソフトウェアにより、移載装置26の水平駆動モータ44、鉛直駆動モータ64およびヘッドモータ104を制御する。また、倉庫制御部100には、水平駆動モータ44と、鉛直駆動モータ64と、ヘッドモータ104と、他の入出力部106と、が接続されている。他の入出力部106とは、カセット識別センサ36c等のその他のセンサおよび半導体処理装置12等の外部装置とのデータの入出力を行う機器である。
このように構成された自動倉庫10では、天井搬送車(図示せず)がカセットCを最上段の固定棚24のいずれかに搬入する。次に、移載装置26が、搬入されたカセットCを、搬入された最上段の固定棚24が面する鉛直通路30aから下方の2列の2段の固定棚24のいずれかに移載する。また、移載命令によっては、移載装置26は、受け渡しポート14のカセット載置台14a又はスライド棚25にカセットCを直接移載する。
以上の移載動作時には、最初に、移載ヘッド36が、物品保持部36bを開けた状態で移載対象のカセットCの中心の上方に移動する。具体的には、移載ヘッド36は、移載対象のカセットCが面する鉛直通路30aに移動して、鉛直レール34に沿って上昇する。そしてカセットCの上方に到達すると、移載ヘッド36は、水平レール32に沿って水平にカセットCの中心に移動する。次に、移載ヘッド36は下降して、最後に物品保持部36bを閉じてフランジC1を保持する。これによりフランジC1が保持され、カセットCを移載することができる。
上記の動作において、移載ヘッド36の鉛直アーム36aは、上下移動する際には、鉛直レール34に沿って移動する。
鉛直アーム36aは、図3に示すように、最上面の固定棚24aに載置されたカセットCを保持する場合は、鉛直レール36aの最も高い位置に支持されて、鉛直アーム36aの上半分および物品保持部36bが鉛直アーム36aの上端面より高い位置に延びている。また、このとき、スライダ72は、鉛直アーム36aによって支持可能な部分の最も高い位置付近にある。
鉛直アーム36aは、図5に示すように、カセット載置台14aに載置されたカセットCを保持する場合は、鉛直レール36aの最も低い位置に支持されて、鉛直アーム36aの下半分がカセット載置台14aより低い位置に延びている。また、このとき、スライダ72は、鉛直アーム36aによって支持可能な部分の最も低い位置付近にある。
自動倉庫10を運搬する際には、図6に示すように、第2カバー22Bの前側カバー22Cおよび後側カバー22Dを装置本体10aから取り外し、さらに柱部材20aの第2部分20Bを装置本体10aから取り外す。図7および図8は、上記部材が取り外された後の自動倉庫10の装置本体を示す。図7は、輸送時の装置本体の斜視図である。図8は、自動倉庫の側面断面図である。
また、上述の実施形態では、装置全体を上下に分割してから運搬する自動倉庫に比べると、分解の作業が少なくなり、また現地での組み立て作業も少なくなる。また、上述の実施形態では、現地での作業において天井クレーン等の特別な設備が不要になる。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態および変形例は必要に応じて任意に組合せ可能である。
外壁パネルを構成するカバーの構造は前記実施形態に限定されない。例えば、カバーは棚の上面を覆っていてもよい。その場合、カセットは自動倉庫の前面から搬入されることになる。
10a 装置本体(棚)
12 半導体処理装置
14 受け渡しポート
14a カセット載置台
20 フレーム
20a 柱部材
20b 連結部材
20A 第1部分
20B 第2部分
22 外壁パネル
22A 第1カバー
22B 第2カバー
22C 前側カバー
22D 後側カバー
24 固定棚(載置部)
24a 支持面
25 スライド棚
26 移載装置
27 上端
28 下端
29 上面
30a 鉛直通路
30b 水平通路
32 水平レール
34 鉛直レール
34a 上面
36 移載ヘッド(ハンド部材)
36a 鉛直アーム
36b 物品保持部
36c カセット識別センサ
36d 上端部
40a 上レール部材
40b 下レール部材
41 接続部材
44 水平駆動モータ
46a 上駆動プーリ
46b 下駆動プーリ
48a 上従動プーリ
48b 下従動プーリ
50a 上歯付きベルト
50b 下歯付きベルト
52a 上スライダ
52b 下スライダ
54 連結軸
60 鉛直レール部材
64 鉛直駆動モータ
66 駆動プーリ
68 従動プーリ
70 歯付きベルト
72 スライダ
90 車輪
100 倉庫制御部
104 ヘッドモータ
106 他の入出力部
C カセット
C1 突起部
スライダ72は、鉛直アーム36aの下端部に装着されている。
なお、移載ヘッドの物品保持部の構造は上記開閉式に限定されない。例えば、物品保持部は側方から移動してカセットのフランジをすくい上げる構造でもよい。
このように構成された自動倉庫10では、天井搬送車(図示せず)がカセットCを最上段の固定棚24のいずれかに搬入する。次に、移載装置26が、搬入されたカセットCを、搬入された最上段の固定棚24が面する鉛直通路30aから下方の2列の2段の固定棚24のいずれかに移載する。また、移載命令によっては、移載装置26は、受け渡しポート14のカセット載置台14a又はスライド棚25にカセットCを直接移載する。
以上の移載動作時には、最初に、移載ヘッド36が、物品保持部36bを開けた状態で移載対象のカセットCの中心の上方に移動する。具体的には、移載ヘッド36は、移載対象のカセットCが面する鉛直通路30aに移動して、鉛直レール34に沿って上昇する。そしてカセットCの上方に到達すると、移載ヘッド36は、水平レール32に沿って水平にカセットCの中心に移動する。次に、移載ヘッド36は下降して、最後に物品保持部36bを閉じてフランジC1を保持する。これによりフランジC1が保持され、カセットCを移載することができる。
上記の動作において、移載ヘッド36の鉛直アーム36aは、上下移動する際には、鉛直レール34に沿って移動する。
鉛直アーム36aは、図3に示すように、最上面の固定棚24aに載置されたカセットCを保持する場合は、鉛直レール34の最も高い位置に支持されて、鉛直アーム36aの上半分および物品保持部36bが鉛直アーム36aの上端面より高い位置に延びている。また、このとき、スライダ72は、鉛直アーム36aによって支持可能な部分の最も高い位置付近にある。
鉛直アーム36aは、図5に示すように、カセット載置台14aに載置されたカセットCを保持する場合は、鉛直レール36aの最も低い位置に支持されて、鉛直アーム36aの下半分がカセット載置台14aより低い位置に延びている。また、このとき、スライダ72は、鉛直アーム36aによって支持可能な部分の最も低い位置付近にある。
Claims (14)
- 上面に物品が載置される載置部が左右上下に複数設けられた棚と、
前記物品の上部を保持して前記物品を移載する移載装置とを備えており、
前記移載装置は、
最上段の載置部の支持面近傍にある上端を有する鉛直レールと、前記鉛直レールに沿って昇降可能な部材であって前記最上段の載置部に載置される物品の上部を保持可能な長さを有する鉛直アームを有しているハンド部材とを有している、
自動倉庫。 - 前記鉛直レールの上端は前記最上段の載置部の支持面以下にある、請求項1に記載の自動倉庫。
- 前記鉛直アームは、上下方向に並んだ一対の載置部同士の上下方向間隔より長い、請求項1に記載の自動倉庫。
- 前記鉛直アームは、上下方向に1つの載置部を挟んで並んだ一対の載置部同士の上下方向間隔より短い、請求項3に記載の自動倉庫。
- 前記ハンド部材は、前記鉛直アームの上端部に設けられた物品保持部をさらに有している、請求項1に記載の自動倉庫。
- 前記ハンド部材は、前記鉛直アームの上端部に設けられた物品保持部をさらに有している、請求項3に記載の自動倉庫。
- 前記ハンド部材は、前記鉛直アームの上端部に設けられた物品保持部をさらに有している、請求項4に記載の自動倉庫。
- 前記棚に取り外し可能に設けられたカバーをさらに備えている、請求項1に記載の自動倉庫。
- 前記カバーは、前記最上段の載置部に載置される物品の周囲を覆っている、請求項8に記載の自動倉庫。
- 前記カバーの上端は、前記最上段の載置部に置かれる物品の上面以上の位置にある、請求項9に記載の自動倉庫。
- 前記棚に取り外し可能に設けられたカバーをさらに備えている、請求項3に記載の自動倉庫。
- 前記カバーは、前記最上段の載置部に載置される物品の周囲を覆っている、請求項11に記載の自動倉庫。
- 前記カバーの上端は、前記最上段の載置部に置かれる物品の上面以上の位置にある、請求項12に記載の自動倉庫。
- 前記棚の下部に取り外し可能に設けられた車輪をさらに備えている、請求項1に記載の自動倉庫。
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