JP4097358B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板処理装置および基板処理方法に関し、特に半導体ウェーハを処理する半導体ウェーハ処理装置および半導体ウェーハ処理方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウェーハ処理装置のうち、多数の半導体ウェーハを1度に処理するバッチ式の装置においては、半導体ウェーハは通常ウェーハカセット(以下カセットという。)に複数枚収納された状態で装置内に搬送され、1度のプロセス処理(以下、1バッチという。)で数十〜数百枚の半導体ウェーハが同時に処理される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このようなバッチ式の半導体ウェーハ処理装置においては、カセットに収納されたウェーハは、半導体ウェーハ処理装置と外部との間のインターフェースであるI/0ステージで取り込み/払い出しを行うが、1度に2カセットしかこれを行えない。しかし、1バッチで数十〜数百枚の処理を行うため、熱処理等の半導体ウェーハの処理を行う前のウェーハを処理装置内に十分にストックできることが望ましい。そのために、カセットをストックしておくカセット棚に収納できるカセットの数はできるだけ増やしたいが、これを増やすと装置全体の寸法が大きくなり、道路交通法における装置運搬上や、クリーンルーム高さ、フットプリント等の制約により寸法を安易に大きくすることができないという問題がある。
【0004】
従って、本発明の主な目的は、装置を大きくせずにウェーハカセット等の基板を収納する容器を多く収容できる基板処理装置およびそれを使用した基板処理方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、
基板を処理する基板処理部と、
前記基板を収納する容器を複数収容する容器収容部と、
前記容器収容部に前記容器を搬入する際、前記容器収容部から前記容器を搬出する際、または前記容器収容部に前記容器を搬入する際および前記容器収容部から前記容器を搬出する際に前記容器を搭載して前記容器収容部に挿入する挿入部を有する容器搬送機とを備え、
前記容器収容部が上下方向に複数段の棚を備え、
前記複数段の棚のうちのある段の一つの棚に前記容器を前記挿入部に搭載して搬入する際、前記ある段の一つの棚から前記容器を前記挿入部に搭載して搬出する際、または前記ある段の一つの棚から前記容器を前記挿入部に搭載して搬入する際および前記ある段の一つの棚に前記容器を前記挿入部に搭載して搬出する際に前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚に載置される互いに隣接する2つの容器間に前記容器搬送機の前記挿入部を位置させることができるように、前記ある段の一つの棚への前記容器の載置位置および前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚への前記容器の載置位置を定め、
前記ある段の一つの棚と前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚との間の垂直方向におけるピッチを、前記容器の垂直方向における距離と、前記挿入部の垂直方向における距離と、前記ある段の一つの棚と前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚との間で前記挿入部が昇降動する際の垂直方向における移動距離と、を加えた距離より小さくしたことを特徴とする基板処理装置が提供される。
また、本発明によれば、
容器をそれぞれ複数収容する上下方向に複数段ある棚のうちのある段の一つの棚から、基板を収納する容器を容器搬送機のアームの挿入部に搭載して搬出する際に、前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚に載置される互いに隣接する2つの容器間に前記容器搬送機の前記挿入部を位置させることができるように、前記ある段の一つの棚への前記容器の載置位置および前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚への前記容器の載置位置を定め、
前記ある段の一つの棚と前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚との間の垂直方向におけるピッチを、前記容器の垂直方向における距離と、前記挿入部の垂直方向における距離と、前記ある段の一つの棚と前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚との間で前記挿入部が昇降動する際の垂直方向における移動距離と、を加えた距離より小さくした容器収容部の
前記ある段の一つの棚に載置された前記容器を搬出する工程と、
前記容器から前記基板を取り出し、基板処理部へ移載する工程と、
前記基板処理部で前記基板を処理する工程と、を有することを特徴とする基板処理方法が提供される。
【0006】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【0007】
図1は本発明の一実施の形態の半導体ウェーハ処理装置を説明するための概略縦断面図であり、図2は本発明の一実施の形態の半導体ウェーハ処理装置を説明するための概略横断面図であり、図3は本発明の一実施の形態の半導体ウェーハ処理装置の回転カセット棚を説明するための図であり、図3Aは図1のAA線矢視図であり、図3Bは図1のBB線矢視図である。
【0008】
本実施の形態においては、製品の品質の向上のため、カセット13として、密閉型収納容器であるFOUP(Front Opening Unified Pod)を使用し、大気を遮断して搬送するようにした。本実施の形態で使用するFOUPは図1、図2に示すように外形が半長円筒状であり、一側面がウェーハ12挿脱用の開口面14となっており、開口面14は蓋15により気密に閉塞されるようになっている。
【0009】
本発明の一実施の形態の半導体ウェーハ処理装置10においては、筐体16の前面下部に、カセット13を外部と受け渡しするI/Oステージ20が設けられている。
【0010】
筐体16内には、I/Oステージ20の後方にエレベータ22が設けられている。エレベータ22の前方でI/Oステージ20の上方にはカセットサブ収容棚23が設けられている。また、エレベータ22の後方の下方にカセット収容棚34が設けられると共にカセット収容棚34の上方に回転可能な回転カセット棚25が設けられている。
【0011】
エレベータ22にはアーム11が取り付けられ、エレベータ22とアーム11の協働によりカセット13を上下左右に搬送し、I/Oステージ20と回転カセット棚25およびカセットサブ収容棚23との間でカセット13の受け渡し動作を行う。カセット13の搬送は、アーム11にカセット13を載置した状態で行う。I/0ステージ20で取り込まれたカセット13は、エレベータ22とアーム11により回転カセット棚25またはカセットサブ収容棚23へと搬送され、そこでストックされる。そして必要なときにカセット13からウェーハ12を取り出し反応炉29へと移載する。
【0012】
回転カセット棚25は回転機構を持ち、回転することで後側のカセット13へのアクセスができるようになっている。
【0013】
回転カセット棚25は、鉛直に設けられた回転機構体26と回転機構体26の回りに回転可能に設けられた3段の水平の棚板27、27’、27’’とを備えて構成されている。3段の水平の棚板27、27’、27’’は一体的に駆動され、回転機構体26の回りに一体となって同時に回転する。各段の棚板27、27’、27’’にはカセット13、13’、13’’がそれぞれ4個ずつ収容可能であり、回転カセット棚25には合計12個のカセット13、13’、13’’が収容可能となっている。
【0014】
3段の棚板27、27’、27’’には、4個のカセット13、13’、13’’が、開口面14を内側に向けて、同一円上に90°間隔でそれぞれ配置されている。
【0015】
図2、図3に示すように、上から1段目の棚27におけるカセット13の配置位置と上から3段目の棚27’’におけるカセット13’’の配置位置の位相を一致させた。すなわち、回転カセット棚25を上から平面図的に見た場合に、上から1段目の棚27におけるカセット13の配置位置と上から3段目の棚27’’におけるカセット13’’の配置位置とが一致するようにした。
【0016】
また、上から1段目の棚27におけるカセット13の配置位置と上から2段目の棚27’におけるカセット13’の配置位置の位相を45°異ならせ、上から2段目の棚27’におけるカセット13’の配置位置と上から3段目の棚27’’におけるカセット13’’の配置位置の位相も45°異ならせた。すなわち、回転カセット棚25を上から平面図的に見た場合に、上から1段目の棚27におけるカセット13の配置位置と上から2段目の棚27’におけるカセット13’の配置位置とを45°ずらし、上から2段目の棚27’におけるカセット13’の配置位置と上から3段目の棚27’’におけるカセット13’’の配置位置とを45°ずらした。
【0017】
このように、本実施の形態では、回転カセット棚25の各棚27、27’、27’’におけるカセット13、13’、13’’の配置位置を45°ずつずらすことで、上から2段目の棚27’上の隣接するカセット13’、13’間および上から3段目の棚27’’上の隣接するカセット13’’、13’’間にアーム11が挿入されるスペースを確保している。従って、上の段の棚27または27’に配置されたカセット13または13’を搬出する場合にアーム11がそのカセット13または13’を下からすくい上げてアーム11上にカセット13または13’を搭載する際に、アーム11はその直下の棚27’または27’’に載置されたカセット13’、13’間(図3BのC参照)または13’’、13’’間に位置することになる。また、カセット13または13’をアーム11上に搭載して、上の段の棚27または27’にカセット13または13’を搬入して載置する場合に、カセット13または13’を搭載したアーム11を、その直下の棚27’または27’’に載置されたカセット13’、13’間(図3BのC参照)または13’’、13’’間に位置させることになる。
【0018】
その結果、上から1段目の棚27と上から2段目の棚27’との間の垂直方向におけるピッチを、上から2段目の棚27’に載置するカセット13’を上から1段目の棚27に載置されたカセット13の直下に載置した場合に、アーム11上にカセット13を搭載して上から1段目の棚27上に搬入して載置する際および上から1段目の棚27上に載置されたカセット13をアーム11上に搭載して搬出する際に、アーム11が上から1段目の棚27および/または上から2段目の棚27’上に載置したカセット13’と干渉してしまう距離とし、また、上から2段目の棚27’と上から3段目の棚27’’との間の垂直方向におけるピッチを、上から3段目の棚27’’に載置するカセット13’’を上から2段目の棚27’に載置されたカセット13’の直下に載置した場合に、アーム11上にカセット13’を搭載して上から2段目の棚27’上に搬入して載置する際および上から2段目の棚27’上に載置されたカセット13’をアーム11上に搭載して搬出する際に、アーム11が上から2段目の棚27’および/または上から3段目の棚27’’上に載置したカセット13’’と干渉してしまう距離とすることができ、棚27、27’、27’’間のピッチを小さくすることができた。
【0019】
具体的には、カセット13’、13’’の高さが333.3mmであり、アーム11の挿入部の高さが94mmである場合に、上下棚の位相をずらさない場合には、棚ピッチはすくい上げストロークと余裕寸法をみると455mmとなってしまうのに対して、本実施の形態では、棚ピッチを380mmとすることができた。
【0020】
このように、棚27’、27’’にカセット13’、13’’が載置されている際、高さ的にアーム11がカセット13’、13’’に干渉するように配置された回転カセット棚25において、上下棚のカセット位置の位相をずらして、アーム11の挿入空間を確保することにより、カセット13、13’13’’の収納数、装置幅、回転カセット棚25の旋回径は同様にして、装置高さの低下が可能となる。
【0021】
その結果、上下棚の位相をずらさない場合には、道路交通法からの制約でフロアー(FL)から2800mmの高さでカセット棚を分解して装置を運搬していたものが、図1に示すように2800mm以下に納まるようになり、分解、現地での組立作業が不要になる。
【0022】
なお、エレベータ22とアーム11により、カセット13、13’、13’’を回転カセット収容棚25の3段の棚27、27’、27’’にそれぞれ搬入し、かつカセット13、13’、13’’を回転カセット収容棚25からそれぞれ搬出する際には、カセット13、13’、13’’は、最も前方側のカセット授受位置Dに位置することになる。
【0023】
また、棚27、27’、27’’には、アーム11挿入用の開口17がそれぞれ設けられれいる。
【0024】
筐体16内の後方上部には、反応炉29が設けられ、反応炉29には下方からボートエレベータ(図示せず。)によりボート30が挿入/引き出し可能となっている。下降状態のボート30とカセット収容棚34との間にはウェーハ移載機31が設けられている。
【0025】
ウェーハ12はカセット13に装填され密閉された状態で搬送される。カセット13は床上を走行するAGV(図示せず。)により開口面14を後方(図1中右方)に向けた状態でI/Oステージ20上に搬送される。
【0026】
カセット回転収容棚25は回転し、3個の棚27、27’、27’’のうち、カセット13を授受する棚における授受対象のカセット13の収容位置を前方のカセット授受位置に移動させた状態で待機する。エレベータ22およびアーム11は昇降動、回転動および水平動の協働でI/Oステージ20から回転カセット収容棚25あるいはカセットサブ収容棚23にカセット13を搬送し、カセット13は回転カセット収容棚25あるいはカセットサブ収容棚23に収容される。カセット13の搬送は、カセット13をアーム11上に搭載した状態で行われる。以上の動作が繰り返され、所要数のカセット13がカセット回転収容棚25およびカセットサブ収容棚23に搬送される。
【0027】
次にボート30へウェーハ12を移載する場合は、回転カセット棚25が回転し移載の対象となっているカセット13をカセット授受位置に移動させた状態で待機する。エレバータ22およびアーム11は再び昇降動、回転動および水平動の協働により、カセット13をアーム11上に搭載して、回転カセット棚25からカセット収容棚34にカセット13を搬送し、あるいはカセットサブ収容棚23からカセット収容棚34に搬送する。カセット13は開口面14を後方に向けた状態でカセット収容棚34に載置される。
【0028】
その後、蓋開閉機構(図示せず。)により蓋15をカセット13から取り外す。ウェーハ移載機31は昇降動、回転動、水平進退動の協働でカセット13内のウェーハ12を下降状態のボート30に移載する。ウェーハ12の移載は予定された枚数となるまで複数のカセット13に対して実行される。ボート30に所要数のウェーハ12が装填されると、ボートエレベータ(図示せず。)はボート30を上昇させ反応炉29内に挿入する。
【0029】
反応炉29内でウェーハ12に所要の処理が施されると、ボートエレベータ(図示せず。)はボート30を降下させ反応炉29より引き出す。ボート30、ウェーハ12が所要温度に冷却された後、処理済みのウェーハ12は上記した手順と逆の手順で外部へ搬出される。
【0030】
図4は、比較のための半導体ウェーハ処理装置を説明するための概略縦断面図であり、図5は、比較のための半導体ウェーハ処理装置を説明するための概略横断面図である。
【0031】
この半導体ウェーハ処理装置100においては、上から1段目の棚127におけるカセット13の配置位置と、上から2段目の棚127’におけるカセット13’の配置位置と、上から3段目の棚127’’におけるカセット13’’の配置位置の位相が一致している。すなわち、回転カセット棚25を上から平面図的に見た場合に、上から1段目の棚127におけるカセット13の配置位置と上から2段目の棚127’におけるカセット13’の配置位置と上から3段目の棚127’’におけるカセット13’’の配置位置とを一致させた。
【0032】
そのために、棚127、127’、127’’間のピッチは、カセットの高さ333.3mmと、アームの挿入部の高さ94mmと、その他すくい上げストロークと余裕寸法をみて、455mmとなり、この寸法が装置全体の高さを決めて装置のコンパクト化の障害となる。そして、道路交通法からの制約で従来図4に示すようにフロアー(FL)から2800の高さでカセット棚を分解して装置を運搬する必要が生じ、現地での組立作業も必要となる。
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば、装置を大きくせずにウェーハカセット等の基板を収納する容器を多く収容できる基板処理装置およびそれを使用した基板処理方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の半導体ウェーハ処理装置を説明するための概略縦断面図である。
【図2】本発明の一実施の形態の半導体ウェーハ処理装置を説明するための概略横断面図である。
【図3】本発明の一実施の形態の半導体ウェーハ処理装置の回転カセット棚を説明するための図であり、図3Aは図1のAA線矢視図であり、図3Bは図1のBB線矢視図である。
【図4】比較のための半導体ウェーハ処理装置を説明するための概略縦断面図である。
【図5】比較のための半導体ウェーハ処理装置を説明するための概略横断面図である。
【符号の説明】
10、100…半導体ウェーハ処理装置
11…アーム
12…ウェーハ
13、13’、13’’…カセット
14…開口面
15…蓋
16…筐体
17…開口
20…I/Oステージ
22…エレベータ
23…カセットサブ収容棚
25、125…回転カセット棚
26、126…回転機構体
27、27’、27’’、127…棚板
29…反応炉
30…ボート
31…ウェーハ移載機
34…カセット収容棚
Claims (2)
- 基板を処理する基板処理部と、
前記基板を収納する容器を複数収容する容器収容部と、
前記容器収容部に前記容器を搬入する際、前記容器収容部から前記容器を搬出する際、または前記容器収容部に前記容器を搬入する際および前記容器収容部から前記容器を搬出する際に前記容器を搭載して前記容器収容部に挿入する挿入部を有する容器搬送機とを備え、
前記容器収容部が上下方向に複数段の棚を備え、
前記複数段の棚のうちのある段の一つの棚に前記容器を前記挿入部に搭載して搬入する際、前記ある段の一つの棚から前記容器を前記挿入部に搭載して搬出する際、または前記ある段の一つの棚から前記容器を前記挿入部に搭載して搬入する際および前記ある段の一つの棚に前記容器を前記挿入部に搭載して搬出する際に前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚に載置される互いに隣接する2つの容器間に前記容器搬送機の前記挿入部を位置させることができるように、前記ある段の一つの棚への前記容器の載置位置および前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚への前記容器の載置位置を定め、
前記ある段の一つの棚と前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚との間の垂直方向におけるピッチを、前記容器の垂直方向における距離と、前記挿入部の垂直方向における距離と、前記ある段の一つの棚と前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚との間で前記挿入部が昇降動する際の垂直方向における移動距離と、を加えた距離より小さくしたことを特徴とする基板処理装置。 - 容器をそれぞれ複数収容する上下方向に複数段ある棚のうちのある段の一つの棚から、基板を収納する容器を容器搬送機のアームの挿入部に搭載して搬出する際に、前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚に載置される互いに隣接する2つの容器間に前記容器搬送機の前記挿入部を位置させることができるように、前記ある段の一つの棚への前記容器の載置位置および前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚への前記容器の載置位置を定め、
前記ある段の一つの棚と前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚との間の垂直方向におけるピッチを、前記容器の垂直方向における距離と、前記挿入部の垂直方向における距離と、前記ある段の一つの棚と前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚との間で前記挿入部が昇降動する際の垂直方向における移動距離と、を加えた距離より小さくした容器収容部の前記ある段の一つの棚に載置された前記容器を搬出する工程と、
前記容器から前記基板を取り出し、基板処理部へ移載する工程と、
前記基板処理部で前記基板を処理する工程と、を有することを特徴とする基板処理方法。
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JP14552399A JP4097358B2 (ja) | 1999-05-25 | 1999-05-25 | 基板処理装置および基板処理方法 |
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JP14552399A Expired - Lifetime JP4097358B2 (ja) | 1999-05-25 | 1999-05-25 | 基板処理装置および基板処理方法 |
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1999
- 1999-05-25 JP JP14552399A patent/JP4097358B2/ja not_active Expired - Lifetime
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