CN111634854A - 移载机 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种移载机。移载机(10)具备：笼体(20)，其对箱体(90)进行支承；以及升降装置(30)，其将笼体(20)支承为升降自如。升降装置(30)具备：主体(31)，其对笼体(20)进行支承；支柱(32)，其对主体(31)进行支承；以及齿条小齿轮机构部(33)，其具备沿着支柱(32)而设置的齿条(34)、以及以能够旋转的方式设置于主体(31)且与齿条(34)卡合的小齿轮(35)，并且通过小齿轮(35)的旋转而使得主体(31)在支柱(32)的长度方向上进行升降移动。齿条小齿轮机构部(33)和支柱(32)一起由罩(40)覆盖。

Description

移载机
技术领域
本发明涉及一种移载机，其具备支承被输送物的笼体(cage)、以及将笼体支承为升降自如的升降装置。
背景技术
作为上述移载机，例如存在附设于如下处理装置的移载机(例如，参照韩国授权专利第10－1511963号公报)，该处理装置对作为半导体产品或液晶显示元件产品的半成品(日语：仕掛かり品)的基板进行蒸镀处理等规定处理。在韩国授权专利第10－1511963号公报的附设有移载机的处理装置中，容纳有基板的箱体(cassette)由输送台车输送至该处理装置的附近。输送的箱体被输送至设置于该处理装置的上方的载货台。韩国授权专利第10－1511963号公报的移载机将输送至载货台的箱体输送至处理装置。另外，韩国授权专利第10－1511963号公报的移载机将容纳有该处理装置中处理后的基板的箱体从处理装置输送至载货台。
韩国授权专利第10－1511963号公报的移载机具备笼体，该笼体用于对载置于载货台的箱体进行把持。韩国授权专利第10－1511963号公报的移载机具备：第1升降机构，其使得笼体相对于载置于载货台的箱体而升降；以及第2升降机构，其使得把持有箱体的笼体相对于处理装置而升降。在韩国授权专利第10－1511963号公报的移载机中，使第1升降机构工作而使得笼体移动至载置于载货台的箱体。在韩国授权专利第10－1511963号公报的移载机中，使第2升降机构工作而使得把持有箱体的笼体移动至处理装置。即，在韩国授权专利第10－1511963号公报的移载机中，当使箱体在载置台与处理装置之间进行升降移动时，使第1升降机构和第2升降机构适当地工作。
发明内容
然而，如上述移载机那样，在利用升降机构使箱体进行升降移动的移载机中，当使箱体进行升降移动时，因升降机构的工作而产生微粒(particle)。因此，如上述移载机那样，在使第1升降机构以及第2升降机构适当地工作而使得箱体进行升降移动的移载机中，第1升降机构以及第2升降机构成微粒的产生源。因此，微粒的产生部位存在于第1升降机构以及第2升降机构这样的广阔的范围，从而无法使得微粒的产生源集中于规定部位。另外，为了使笼体进行升降移动，需要使作为微粒的产生源的第1升降机构以及第2升降机构这两个机构工作，因此，难以减少因笼体的升降移动(升降机构的工作)而产生的微粒的产生部位。
进一步地，在上述移载机中，难以利用罩将升降机构覆盖，从而难以利用罩将产生的微粒封入。因此，难以防止因笼体的升降移动而产生的微粒向周围扩散。
因此，本发明的目的在于，提供一种移载机，其能够减少因笼体的升降移动而产生的微粒的产生部位、且能够防止该微粒向周围扩散。
本发明所要解决的技术问题如上，接下来，对用于解决该技术问题的方案进行说明。
即，本发明的移载机具备：笼体，其对被输送物进行支承；以及升降装置，其将所述笼体支承为升降自如，其中，所述升降装置具备：装置主体，其对所述笼体进行支承；支柱，其对所述装置主体进行支承；以及齿条小齿轮机构部，其具备齿条和小齿轮，所述齿条沿着所述支柱而设置，所述小齿轮以能够旋转的方式设置于所述装置主体、且与所述齿条卡合，通过所述小齿轮的旋转而使得所述装置主体在所述支柱的长度方向上进行升降移动，所述齿条小齿轮机构部和所述支柱一起由罩覆盖。
在上述结构中，利用具备齿条和小齿轮的齿条小齿轮机构部使得支承笼体的装置主体进行升降移动，并且齿条小齿轮机构部由罩覆盖。
对于本发明的移载机而言，所述装置主体由4根支柱支承为能够升降。
在上述结构中，4根支柱对装置主体进行支承。
对于本发明的移载机而言，所述升降装置的使所述小齿轮旋转的驱动部设置于所述装置主体。
在上述结构中，设置于装置主体的驱动部进行驱动而使得小齿轮旋转。并且，小齿轮旋转而使得装置主体在支柱的长度方向上进行升降移动。
对于本发明的移载机而言，所述装置主体借助规定长度的线材而对所述笼体进行悬吊支承。
在上述结构中，笼体由设置于装置主体的线材悬吊支承。
根据本发明的移载机，具备齿条和小齿轮的齿条小齿轮机构部沿着支柱而设置，并且利用该齿条小齿轮机构部使支承笼体的装置主体进行升降移动，因此，仅利用该齿条小齿轮机构部便能够使笼体进行升降移动。因此，能够使得因笼体的升降移动而产生的微粒的产生源集中于沿着支柱设置的齿条小齿轮机构部。另外，利用罩将齿条小齿轮机构部覆盖，由此能够将产生的微粒封入罩内。据此，能够减少因笼体的升降移动而产生的微粒的产生部位，并且能够防止因笼体的升降移动而产生的微粒扩散。
附图说明
图1是本发明所涉及的移载机的立体图。
图2是本发明所涉及的移载机的俯视图。
图3是在本发明所涉及的移载机中笼体对箱体进行把持并下降之前的主视图。
图4是在本发明所涉及的移载机中笼体对箱体进行把持并下降之后的情况下的主视图。
图5A是在本发明所涉及的移载机中将罩从支柱拆下之后的情况下的齿条小齿轮机构部附近的放大立体图。
图5B是在本发明所涉及的移载机中使罩将支柱覆盖时的齿条小齿轮机构部附近的放大立体图。
附图标记说明
10…移载机；20…笼体；30…升降装置；31…装置主体；32…支柱；33…齿条小齿轮机构部；34…齿条；35…小齿轮；36…驱动装置(驱动部)；40…罩；80…线材；90…箱体(被输送物)。
具体实施方式
对本发明所涉及的移载机10进行说明。
如图1所示，移载机10设置于制造半导体产品或液晶显示元件产品的制造设备。更详细而言，移载机10是附设于如下处理装置(未图示)的装置，该处理装置对作为半导体产品或液晶显示元件产品的半成品的基板进行蒸镀处理等规定处理。此外，移载机10并不限定于附设于对基板进行规定处理的处理装置，也可以是附设于该处理装置以外的装置的装置、附设于对被输送物进行保管等的设备的装置等。
将收纳有上述基板的箱体90(“被输送物”的一例)向移载机10所附设的上述处理装置输送。箱体90由输送台车(未图示)输送至上述处理装置，该输送台车沿着设置于上述制造设备内的行进轨道而行进。箱体90由一侧侧面或两侧侧面开口的近似箱形的部件形成。箱体90能够在其内部收纳多个基板。由上述输送台车输送的箱体90载置于载货台11，该载货台11设置于上述处理装置的上方。
移载机10将载置于载货台11的箱体90向上述处理装置的装载口(未图示)移载。或者，移载机10将载置于上述处理装置的装载口的箱体90向载货台11移载。即，移载机10使箱体90在载货台11与上述处理装置的装载口之间进行升降移动。
如图1至图4所示，移载机10构成为主要包括：支承箱体90的笼体20；以及将笼体20支承为升降自如的升降装置30。
笼体20与设置于箱体90的上表面的凸缘部91卡合而支承箱体90。笼体20设置于后述的升降装置30的主体31的下方。笼体20构成为主要包括主体21、卡合部22以及回旋机构23。
主体21由升降装置30以悬吊的状态支承。主体21在其内部具备支承部件(未图示)。主体21借助该支承部件而对卡合部22以及回旋机构23进行支承。
卡合部22与箱体90的凸缘部91卡合。卡合部22在与卡合的箱体90的凸缘部91对应的位置由主体21的支承部件支承。通过回旋机构23的驱动而使得卡合部22相对于主体21的支承部件回旋。卡合部22相对于主体21的支承部件回旋，由此将相对于箱体90的凸缘部91的状态切换为与箱体90的凸缘部91卡合的状态、以及解除了与箱体90的凸缘部91的卡合的状态。
回旋机构23使卡合部22相对于主体21的支承部件回旋。回旋机构23由主体21的支承部件支承。回旋机构23具备驱动马达(未图示)，该驱动马达用于使针对每个卡合部22而设置的回旋轴24转动。回旋机构23使驱动马达(未图示)进行驱动而使得回旋轴24转动，由此使得卡合部22向规定的方向回旋。
升降装置30构成为主要包括：主体31，其对笼体20进行支承；支柱32，其对主体31进行支承；以及齿条小齿轮机构部33，其使得主体31在支柱32的长度方向上进行升降移动。
主体31在俯视时形成为近似矩形。主体31借助规定长度的线材80以悬吊的状态对笼体20进行支承。即，主体31在主体31的下方以悬吊的状态对笼体20进行保持而不使笼体20进行升降移动。主体31利用多根(图1中为4根)线材80对笼体20进行悬吊支承。将主体31对笼体20进行支承的机构设为借助线材80而悬吊的机构，由此能够通过线材80的硬度而抑制笼体20的晃动，并且能够使笼体20形成为相对于主体31而未受到约束的状态。另外，由于仅利用线材80对笼体20进行悬吊，因此，能够削减笼体20的支承机构的零件数量。
支柱32分别配置于俯视时形成为近似矩形的主体31的各角部、且沿着高度方向(铅垂方向)延伸。4根支柱32将主体31支承为能够升降。在4根支柱32设置有将相邻的支柱32彼此连接的加强部件12。在支柱32的中间部，设置有用于供箱体90载置的载货台11。
如图3至图5B所示，齿条小齿轮机构部33是用于使主体31进行升降移动的升降机构。齿条小齿轮机构部33构成为主要包括：齿条34；与齿条34啮合(卡合)的小齿轮35；以及使小齿轮35旋转的驱动装置36(“驱动部”的一例)。
齿条34分别设置于4根支柱32。齿条34的与小齿轮35啮合的部分沿着支柱32的长度方向延伸设置。即，齿条34在笼体20的升降方向上延伸设置。
小齿轮35是圆形的部件。小齿轮35与分别设置于4根支柱32的齿条34对应地设置。通过驱动装置36的驱动而使得小齿轮35旋转。小齿轮35以旋转的状态与齿条34啮合。小齿轮35以与齿条34啮合的状态在齿条34上移动。
驱动装置36构成为主要包括：主体37；将小齿轮35支承为能够旋转的旋转轴38；以及使旋转轴38向正反方向旋转的马达39。在驱动装置36中，使马达39进行驱动而使得旋转轴38旋转。旋转轴38旋转而使得小齿轮35旋转。
驱动装置36固定于主体31。具体而言，利用固定部件15将驱动装置36的主体37固定于升降装置30的主体31的上部。将驱动装置36设置于主体31，从而无需将用于使笼体20进行升降移动的驱动装置36设置于支柱32的上部或支柱32的下部。进一步地，可以将用于使笼体20进行升降移动的驱动装置36配置于由4根支柱32包围的区域内。因此，构成支柱32的上部以及支柱32的下部实现了简化的结构。进一步地，无需将在笼体20进行升降移动时与主体31以及笼体20发生干扰的驱动装置36配置于由4根支柱32包围的区域的外侧。因此，能够使移载机10整体实现小型化。
驱动装置36针对分别与4根支柱32对应地设置的每一个小齿轮35而设置。即，升降装置30使4台驱动装置36进行驱动而使得笼体20升降。升降装置30使4台驱动装置36进行驱动而使得笼体20升降，因此，能够使构成各驱动装置36的马达39实现小型化。进一步地，即使在4台驱动装置36中的任意驱动装置36的马达39的动作不良的情况下，通过使剩余的驱动装置36的马达39进行驱动也能够使笼体20升降。
如图5A及图5B所示，构成齿条小齿轮机构部33的齿条34以及小齿轮35由罩40覆盖。
罩40分别设置于4根支柱32。罩40沿着支柱32的长度方向延伸设置。罩40配置为将支柱32中的设置有齿条34的那侧覆盖。罩40以安装于支柱32时在罩40与支柱32之间形成使得小齿轮35能够进行升降移动的空间的方式成型为沿着小齿轮35的升降路径的形状。
在罩40的侧面形成有狭缝41。狭缝41是沿着罩40的长度方向而形成的开口部分。在将罩40安装于支柱32时，狭缝41沿着支柱32的长度方向延伸设置。狭缝41以在笼体20的升降时使得驱动装置36的旋转轴38能够在铅垂方向上进行升降移动的程度的宽度而开口。
接下来，对移载机10的动作进行说明。
如图1至图4所示，利用沿着设置于设备内的行进轨道行进的输送台车而输送至进行蒸镀处理等规定处理的处理装置的箱体90，载置于在上述处理装置的上方设置的载货台11。移载机10为了利用笼体20对箱体90进行把持而使得主体31相对于支柱32下降。具体而言，使在主体31的上部设置的驱动装置36的马达39进行驱动而使得小齿轮35旋转。小齿轮35旋转而使得小齿轮35与齿条34啮合。小齿轮35一边与齿条34啮合一边旋转，由此使得驱动装置36的主体37下降。由于驱动装置36的主体37借助固定部件15而固定于主体31，因此，驱动装置36的主体37下降而使得主体31下降。
主体31下降而使得借助线材80悬吊的笼体20下降。若笼体20相对于箱体90下降至规定位置，则进行笼体20相对于箱体90的定位。若笼体20的定位完毕，则笼体20的回旋机构23使卡合部22回旋。由此，卡合部22与箱体90的凸缘部91卡合。即，笼体20对箱体90进行把持。若笼体20对箱体90进行把持，则笼体20使箱体90回旋。
若箱体90回旋，则使驱动装置36的马达39进行驱动而使得主体31下降。由此，把持有箱体90的笼体20下降。若笼体20相对于上述处理装置的装载口下降至规定位置，则进行笼体20相对于该装载口的定位。利用设置于上述处理装置的定位装置(未图示)而进行笼体20的定位。该定位装置具备从笼体20的两个侧面侧对笼体20进行夹持的夹持部。当笼体20相对于装载口下降至规定位置时，该定位装置利用夹持部对笼体20的两个侧面进行夹持而进行笼体20的定位。
当进行笼体20的定位时，使驱动装置36的马达39进行驱动而使得主体31下降。由此，将箱体90载置于上述处理装置的装载口。若箱体90载置于该装载口，则笼体20的回旋机构23使卡合部22回旋。由此，基于卡合部22的相对于箱体90的凸缘部91的卡合得以解除。即，箱体90与笼体20分离而完成了箱体90向该装载口的移载。
如上，在移载机10中，沿着支柱32而设置具备齿条34和小齿轮35的齿条小齿轮机构部33，并且利用齿条小齿轮机构部33使对笼体20进行支承的主体31进行升降移动，因此，能够使得微粒的产生源集中于沿着支柱32而设置的齿条小齿轮机构部33。即，在移载机10中，仅通过齿条小齿轮机构部33的工作而进行箱体90在载货台11与上述处理装置的装载口之间的移载，因此，能够将因箱体90的移载而产生微粒的部位仅限定于齿条小齿轮机构部33。因此，能够减少因箱体90的移载(笼体20的升降移动)而产生的微粒的产生部位。
在移载机10中，齿条小齿轮机构部33由罩40覆盖，从而能够将产生的微粒封入罩40内。即，在移载机10中，能够将因箱体90的移载(笼体20的升降移动)而产生的微粒封入罩40与支柱32之间形成的内部空间。因此，能够防止因箱体90的移载(笼体20的升降移动)而产生的微粒扩散。

Claims (4)

1.一种移载机，具备：笼体，其对被输送物进行支承；以及升降装置，其将所述笼体支承为升降自如，
所述移栽机的特征在于，
所述升降装置具备：
装置主体，其对所述笼体进行支承；
支柱，其对所述装置主体进行支承；以及
齿条小齿轮机构部，其具备齿条和小齿轮，所述齿条沿着所述支柱而设置，所述小齿轮以能够旋转的方式设置于所述装置主体、且与所述齿条卡合，通过所述小齿轮的旋转而使得所述装置主体在所述支柱的长度方向上进行升降移动，
所述齿条小齿轮机构部和所述支柱一起由罩覆盖。
2.根据权利要求1所述的移载机，其特征在于，
所述装置主体由4根支柱支承为能够升降。
3.根据权利要求1或2所述的移载机，其特征在于，
所述升降装置的使所述小齿轮旋转的驱动部设置于所述装置主体。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的移载机，其特征在于，
所述装置主体借助规定长度的线材而对所述笼体进行悬吊支承。
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