CN1895971A - 制造期间用于传送平板显示器衬底的系统 - Google Patents

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Abstract

一种用于在平板显示器生产线的处理站之间传送平板显示器的衬底的系统。该系统包括：传送其中装载衬底的传送容器的传送装置；容器装载和卸载装置，该容器装载和卸载装置将容器装载在传送装置上并从传送装置卸载容器；和衬底装载和卸载装置，该衬底装载和卸载装置在容器和位于各个站处的处理设备之间传送衬底。该传送装置包括：安装在设施地板上的轨道；和利用直线电动机沿轨道可编程运动的多个轮式车。该系统能够使衬底传送时间得到实质减小，并在整个传送过程提供对衬底的坚固保护。

Description

制造期间用于传送平板显示器衬底的系统
相关申请
本申请要求具有2005年7月13日提交的韩国专利申请第2005-0063233号的优先权，其整个内容通过参考并入这里。
技术领域
本发明涉及用于在平板显示器生产线的处理站之间自动传送平板显示器的衬底的系统。
背景技术
当前，诸如液晶显示器(LCD)、有机发光二极管显示器和相类似物的平板显示器用于大量显示器应用中。
平板显示器的制造方式是：使用传送系统，将玻璃衬底传送到位于平板显示器生产线的各个站处的处理设备，然后在这些位置的每个位置处，对衬底执行一个或多个生产过程。
传统的平板显示器传送系统包括“盒子”、“加料器”、“输送机”和“分度器”。在传统系统中，其中装载多个衬底的盒子被存储在加料器中，并且使用输送机，具有存储的盒子的加料器被运送到处理设备的入口。然后，在处理站的各自入口处，该分度器被用于使盒子中的衬底进入处理设备并使它们离开处理设备。
然而，使用盒子、加料器、输送机和分度器的传统平板显示器传送系统必然涉及存在冗余的过程中(in-process)的部件，并且因此在生产线中能够导致维护冗余的过程中的部件的大量的成本。
发明内容
根据这里描述的典型实施例，通过提供用于在平板显示器生产线内传送平板显示器的装置和方法，该装置和方法使部件传送时间和生产线中存在的过程中的部件的数量最小，本发明克服了上述问题。
根据一种典型实施方式，平板显示器传送系统包括：传送其中装载衬底的容器的传送装置；和容器装载和卸载(“LU”)装置，该容器装载和卸载(“LU”)装置将该容器装载到位于生产线的各个处理站的显示器处理设备和从显示器处理设备卸载该容器。该传送装置可包括：安装在设施的地板上的诸如轨道的固定部件；和沿固定部件运动的诸如轮式台车(truck)或车(carriage)的多个可移动部件。
该安装部件优选地包括：形成封闭环的中央轨道；和一个或多个环形分支轨道，该一个或多个环形分支轨道从中央轨道分支并被连接到生产线的各个显示器处理站的入口。在一种典型实施方式中，中央和分支轨道中的每条轨道包括细长轨和设置在轨之间的多个线圈。例如，该轨道可包括彼此以预定距离间隔开的两条平行轨，多个线圈沿轨长度以预定间隔布置。每条轨优选包括从其外部边缘向上延伸的延伸部分。
该车包括：容器支撑床；安装在床下并以与线圈间隔开、重叠的关系设置的永磁体；和安装在床下并适合接合轨和沿轨滚动的轮子。优选地，在床下还包括接触轨的直立延伸部的辅助轮子。该轨道的线圈和该车的永磁体确定了沿轨道可控地推进车的直线电动机。
该衬底传送容器包括：格形底部框架；安装在底部框架上的多个直立支撑框架；安装在第一支撑框架上支撑衬底的多个第一支撑销；和覆盖衬底的容器盖。还包括关闭底部框架的格状梁之间的空间的底部盖子。例如利用铰接关闭物，或门，容器的侧表面是可开启和可关闭的。该容器还可以包括用于以堆叠的方式同时传送多个衬底的安装在彼此顶部上的另外的衬底支撑框架和销。
该容器LU装置包括：具有内部空间的外壳；和安装在外壳中的垂直传送装置，或升降机。具有空气清洁过滤器的风扇单元被安装在框架上，并被布置以将经过滤的空气吹入外壳以防止污染物进入。该升降机操作以在外壳内部沿垂直方向运动容器。LU装置的外壳包括在其侧表面处的开口，该容器LU装置邻近处理站的每个入口安装；并且系统的轨道被铺设以穿过容器LU装置的下侧。
在一种典型实施方式中，衬底装载和卸载(“LU”)机器人被安装在容器LU装置和每个处理站的各个入口之间。该LU机器人包括：支撑部分；安装在支撑部分上的水平和垂直传送部分；和安装在水平和垂直传送部分上的传送臂。通过LU装置的外壳的开口，装载在机器人的传送臂上的衬底被从传送容器传送到处理站的设备。并且机器人的传送臂被布置以经过最短路径在LU装置和处理设备之间运动。
在可选实施方式中，传送输送机被安装在LU装置和处理设备之间，并且容器输送机被安装在传送容器中，以便两个输送机彼此成直线并在相同垂直水平面(vertical level)地定位。
根据本发明的典型方法，传送平板显示器的方法包括：将沿轨道运行并且其上装载传送容器的车定位在容器LU装置下方；利用安装在容器LU装置中的升降机，提升该容器；并且将容纳在容器中的显示器衬底传送到位于显示器处理站处的设备中。当该衬底已被传送到处理设备中时，空车沿轨道运动离开该站。
该方法还包括：利用升降机降低传送容器以将容器装载在第二车上；并且沿轨道使第二车运动离开该站。
该方法还可以包括：打开容器的侧表面；通过容器LU装置的开口，将位于容器装置与处理设备之间的LU机器人的传送臂引导到传送容器中；将衬底装载在传送臂上；将传送臂运动入处理站中；并且将衬底放置在站的处理设备中。
在该方法的可选实施方式中，传送容器可以包括：其上装载衬底的容器输送机；并且在容器中容纳的衬底的传送可以包括：打开传送容器的侧表面；定位传送输送机，该传送输送机安装在所述容器装载和卸载装置和所述处理设备之间并且与容器输送机成一直线并处于相同的垂直水平面地定位；并且同时驱动传送输送机和容器输送机，从而将装载在容器输送机上的衬底运送入处理设备中。
根据本发明的另一方面，提供用于在生产线的处理站之间传送平板显示器的方法，包括将沿固定部件运动并且其上装载传送容器的第一可移动部件定位在容器LU装置下方；并利用位于容器LU装置和站之间的衬底LU机器人，将容纳在传送容器中的衬底传送入处理站的设备中。
容纳在传送容器中的衬底的传送可以包括：打开传送容器的侧表面；通过容器LU装置的开口，将位于容器LU装置与处理站之间的衬底LU机器人的传送臂引导到传送容器中；将衬底装载在传送臂上；将传送臂运动到处理站中；和将衬底放置在站的处理设备中。
在该方法的可选实施方式中，容纳在传送容器中的衬底的传送可包括：打开传送容器的侧表面；同时驱动安装在容器LU装置和处理设备之间的传送输送机和安装在传送容器中的容器输送机；并且将装载在容器输送机的衬底运送到处理设备中。优选地，传送输送机和容器输送机彼此成直线并处于相同的垂直水平面地定位。
由下面的典型实施例的详细描述，尤其结合附图的几个视图进行考虑，可以更好地理解本发明的平板显示器衬底传送系统的上述和许多其它特征和优点，其中：相同标号用于表示在其一个或多个图中所示的相同元件。
附图说明
图1是根据本发明的用于在显示器生产线的处理站之间传送平板显示器衬底的系统的第一典型实施例的上侧示意透视图；
图2A，2B和2C分别是图1的系统的传送装置的俯视平面图、剖视主视图和上侧透视图；
图3是图1的系统的传送容器的上侧透视图；
图4是图1的系统的容器装载和卸载装置的上侧透视图；
图5-8是顺序显示使用图1的系统的容器装载和卸载装置和输送机器人将衬底装载到处理站和从处理站卸载衬底的剖视主视图；
图9是根据本发明的平板显示器衬底传送系统的第二典型实施例的剖视主视图，显示了使用其容器装载和卸载装置和输送机器人将衬底装载到显示器处理站和从显示器处理站卸载衬底；和
图10和11是根据本发明的平板显示器衬底传送系统的第三典型实施例的剖视主视图，顺序显示了使用其容器装载和卸载装置和一对成行的(inline)输送机将衬底装载到显示器处理站和从显示器处理站卸载衬底。
具体实施方式
图1示意性地显示了根据本发明的用于在显示器生产线的处理站之间传送平板显示器的衬底的系统的第一典型实施例。图2A，2B和2C分别是图1的系统的传送装置的俯视平面图、剖视主视图和上侧透视图。
如图1-2C所示，该平板传送系统包括：传送装置100、140和200，用于在生产线的处理站之间传送其中装载显示器衬底5(参见图5)的传送容器10；和容器装载和卸载(“LU”)装置300，用于将传送容器10装载到位于各个站500的设备和从该设备卸载该传送容器10。连接装置400被设置在处理站500和容器LU装置300之间。在图1-2C中所示的典型实施例中，衬底装载和卸载(“LU”)机器人60被安装在连接装置400中。
该传送装置100，140和200包括：安装在生产设施的地板上的轨道100和200；和多个车140，该多个车140沿轨道100和200在处理站500之间运动。如图1所示，该轨道100和200包括：形成封闭环的中央轨道100；和一个或多个环形分支轨道200，该一个或多个环形分支轨道200从中央轨道100分支并被连接到各个处理站500的入口。如图2A和2B所示，中央轨道100和分支轨道200的每个包括：一对细长轨110和120；和沿其长度以间隔间隙设置在轨之间的多个线圈130。该轨110和120彼此平行并以选定距离彼此间隔开，并且具有从轨110和120的外部边缘向上延伸的延伸部111和121。
每个车140包括：水平支撑床141；以与线圈130间隔开叠置的关系安装在该床下的永磁体150；和车轮161和162，该车轮161和162分别安装在该床的相对侧和该床下方，并被布置以接合轨和沿轨道滚动。在所示特定典型实施例中，该床包括一对水平板条145，该一对水平板条145有助于支撑该床并防止该床被重负载压弯或破坏。
如图2A和2B所示，该车140的支撑床141还包括辅助轮子171和172，该辅助轮子171和172被安装在支撑床141下方，以接触轨110和120的各个竖立延伸部111和121。该辅助轮子171和172向轨110和120的各个延伸部111和121施加力，以便车140对轨的侧向运动和偏摆得到抑制，从而防止在操作期间车容易从轨道100和200出轨。
如本领域的普通技术人员将认识到，车140的永磁体150和轨道100和200的线圈130限定了能够以约200米/分钟的相对高的速度稳定地沿轨道移动车。因此，该车140无需与供电单元连接，并且无需任何用于传送动力的机械元件。因此，车的重量能够较轻，并且车被编程以沿轨道100和200快速和精确地运动到任何位置。
该中央轨道100和分支轨道200在预定路径中稳定地引导车140，以便在沿其直线或弯曲部运动期间，该车140不会与轨道分离，并且此外，该车140能够在中央和分支轨道100和200之间的交叉点处有效并稳定地改变其方向。
在优选实施例中，该轨道100和200被连接到诸如串行通信设备或现场总线的通信设备，以便包括车140的速度和位置的操作信息能够得到计算机的监视和控制。此外，联锁设备可被提供以防止在系统操作期间车140之间的碰撞。该系统中可提供另外的失效保护设备，以便一个车140或与其关联的驱动线圈130的故障能够停止其它车140与/或相关的驱动器线圈130的驱动。
还应该理解：在使用送料器(stoker)的类型的传统平板显示器传送系统的情况中，当送料器出现故障时，整个生产过程必须被停止。然而，在本发明的传送系统中，如果一个车140异常，通过简单地从系统仅仅去除故障车140，系统内其它车140的运动能够快速重新开始。
此外，由于系统的轨道100和200能够容易地铺设、维护并且如果期望，甚至防水，因此该传送系统能够容易地部署在诸如清洁生产线的使用防潮化学剂(moisture-aversive chemical agent)的处理生产线中。
此外，可以看出：简单地通过增加车140的数量，容易地取得生产量的增加，并且此外，与传统输送机系统相比，车140的行进路径能够更快速并容易地扩充。
图3是本发明的平板显示器传送系统的第一实施例的传送容器10的上侧透视图。如图3所示，该传送容器10包括：格形底部框架11；安装在底部框架11上的多个支撑框架13；安装在支撑框架13上并支撑显示衬底5的第一支撑销14；和覆盖衬底5的保护容器盖15。
该容器10的底部框架11具有格子形状，以便它重量轻而坚固，以防止其由于大型衬底5的重量变弯或被破坏。底部插头，或盖12被安装在格状梁之间的开口中，以防止异物通过开口进入容器。
该第一支撑销14成组地安装，并以选定间隙彼此间隔开。因此，下述类型的衬底装载和卸载(“LU”)机器人60的臂能够进入第一支撑销14之间的空间，抬起支撑在销上的衬底5，并将其运送出传送容器10。
另外的支撑框架和支撑销(未示出)能够以选定垂直间隔安装在第一支撑框架13和销14上方，以便以堆叠的方式在容器中支撑另外的衬底5。因此，应该理解到：虽然图中所示的特定传送容器10被显示为仅承载一个衬底5，但该容器能够容易地被构造以同时承载多个衬底。优选地，该容器盖15的侧表面是可开启的，并利用铰接的关闭物关闭，以防止在传送期间异物污染衬底。因此，当容器盖15的侧表面的关闭物被打开时，衬底LU机器人60能够或者将衬底5运送出传送容器10，或将衬底从处理站500传送到容器中。可选地，容器盖15的上部表面能够加入关闭物(未示出)，该关闭物打开以使衬底LU机器人60将衬底5从传送容器10运送到处理设备500。
在所示典型实施例中，该传送容器10的底部框架11由铝(AL)合金或碳纤维加强塑料(CFRP)制成，底盖12和容器盖15由聚碳酸脂制成，并且第一支撑框架13和第一支撑销14由碳纤维加强塑料制成。相应地，产生的传送容器10不仅重量轻、坚固和刚性高，容易保持，并很难变形。由于利用车140，其中衬底5被装载的传送容器10移动到各个处理站500，因此该容器能够或者传送或者存储衬底5，同时保持平板显示器制造设施所需的高度清洁性。此外，当被传送时，传送容器10能够防止衬底5被划伤或损坏。
图4是平板显示器传送系统的典型第一实施例的容器装载和卸载(“LU”)装置300的上侧透视图。如图4所示，该容器LU装置300被安装在显示器处理站500的入口附近(参见图5)，并且轨道的轨和驱动线圈110，120和130穿过容器LU装置300的下侧。该容器LU装置300包括包围内部空间的矩形外壳51，其中安装有垂直传送装置，即升降机54。该外壳51在其前后下部表面处具有开口52，并且在其侧表面处，具有开口53。该轨道的轨和驱动线圈110，120和130穿过该外壳51的前和后开口52。
该升降机54被安装在穿过外壳51的轨110和120的外部，并适合从设置在轨上的车140升起传送容器10，或使其下降到设置在轨上的车140上，即相对于轨和车140沿垂直方向传送该传送容器10。
如图4所示，衬底LU机器人60被布置以将衬底5直接从传送容器10卸载到处理设备500。该衬底LU机器人60被安装在容器LU装置300和衬底处理站500的入口之间(参见图5)，并且包括：支撑部分61；安装在支撑部分61上的水平和垂直(“HV”)传送部分62；和安装在HV传送部分62上的传送臂63。该HV传送部分62沿Y或Z方向移动传送臂63，并且该传送臂63经直线，即最短的路径，在容器LU装置300和处理站500的设备的入口之间运动，从而使衬底传送时间最短。因此，在衬底5的装载或卸载期间，衬底LU机器人60无需围绕Z轴旋转，并且传送臂63需要仅在XY平面中运动。
此外，不同于包括送料器的传统传送系统中使用的衬底LU机器人60，由于当前实施例的衬底LU机器人60仅需要沿Z方向少量移动以能够升高并放置衬底5，因此衬底5沿Z方向的运动量相对非常小，并且因此，装载或卸载衬底5所需的时间相对更短。
在操作中，通过外壳51的侧面中的开口53，衬底LU机器人60的传送臂63进入传送容器10，将衬底5装载在其上，然后，平移到处理站500的入口，并且从而将衬底5运送入位于其中的处理设备中。
如图4所示，具有空气过滤器的风扇单元55被安装在容器LU装置300的外壳51上，并被布置以将清洁空气向下吹入外壳51。结果，防止污染空气进入传送容器10，并且因此，当开启和关闭传送容器10时，防止灰尘附于衬底5。因此，即使在容器装载和卸载期间，也能够保持在平板显示器制造设施中所需的清洁性。
图5到8顺序显示了使用本发明的系统的第一典型实施例的衬底LU机器人60和容器LU装置300，将平板显示器衬底5装载到衬底处理站500或从衬底处理站500卸载平板显示器衬底5。
如图5所示，车140首先装载有容纳一个或多个显示器衬底5的传送容器10，然后利用直线电动机元件130和150a沿轨道的轨110和120推进到正好位于容器LU装置300下的位置，该容器LU装置300被安装在目标处理站500的入口附近，加入衬底LU机器人60的传送装置400设置在其间。
接下来，如图6所示，传送容器10由容器LU装置300的升降机54上升到略高于衬底LU机器人60的臂63的上部表面的水平面。
然后，如图7和8顺序所示，衬底LU机器人60的传送臂63进入传送容器10，将衬底5从容器的支撑销抬升，并将其平移入处理站500的入口。更确切地说，如图7所示，传送容器10的铰接的侧表面15a关闭物，或门被开启，并且如上所述，衬底LU机器人60的传送臂63经过容器LU装置300的侧部开口53，进入传送容器10。然后，该衬底5被装载在传送臂63上，并且如图8所示，传送臂63然后运动进入处理站500并且将衬底5放置在其中。
当该衬底5被放置在处理站500中时，利用轨道100，200的轨110，120，空车140然后可以离开到下一目的地。然后，第二空车140可以沿轨道运动并位于该容器LU装置300下方。然后，该空传送容器10被升降机54下降，并装载在第二车上。然后，该第二车140可以离开，沿轨道将空传送容器10运送到下一目的地。
如将认识到，当期望将处理过的衬底5从处理站500运动到另一目的地，即生产线中的第二处理站500时，以相反的顺序简单地实现前述过程。
由于除了当传送容器10被装载到车140或从车140卸载，车140可以沿轨110，120连续和彼此独立地运动，因此在系统中不会出现传送延时，并且衬底传送时间得到实质地减小。
此外，由于使用相同传送容器10和直线电动机系统可以同时传送多个衬底5，因此过程中的部件的数量可以被显著减小。此外，利用系统提供的生产处理站之间的更直接连接，累积的衬底传送时间得到实质减少。
如将被认识到，在工厂生产线中，过程中的部件是在时间的给定点正在生产线上制造的部件。通常，由于相同部件在工厂中逐次处理，因此过程中的部件存在于处理的每个阶段。因此，每个处理阶段中的过程中的部件量通常计算为存量。在本发明的系统中，由于衬底5被连续传送，无需使用传统的送料器，传送系统会不中断地或无需提供冗余的过程中的部件进行操作，从而过程中的部件的数量，即过剩的存量，得到减小。
根据本发明的用于在平板显示器生产线的处理站之间传送平板显示器的系统的第二典型实施例在图9的示意剖视主视图中示出，其中：相同的标号被用于指示与上述第一实施例的元件相同或类似的元件。
如图9所示，利用直线电动机130，150a，装载容纳显示器衬底5的传送容器10的托架140沿轨道的轨110和120推进，并且然后，正好被定位于设置在目标显示器处理站500的入口附近的容器LU装置300下方，加入衬底LU机器人60的传送装置400设置在其间。接下来，利用衬底LU机器人60，传送容器10中的衬底5被直接运送入站500的处理设备中。更确切地说，传送容器10的盖15的侧表面中的铰接关闭物15a被首先开启。然后，通过容器LU装置300的开口53，衬底LU机器人60的传送臂63进入传送容器10，并且衬底5被装载在传送臂63上。然后，该传送臂63运动进入处理站500的设备中，并将衬底5放置在其中。
如通过比较图5和9可以看出，第二实施例与第一实施例的不同之处在于：衬底LU机器人60将容纳在传送容器10中的衬底5直接传送进入处理设备500，无需升高传送容器10离开车140。更确切地说，由于衬底5最初设置在车140上的容器10中，在略高于衬底LU机器人60的臂63的水平面，利用设置在容器LU装置300中的升降机54抬升容器10的步骤是不需要的，而因此，第二典型实施例去除了后面的特征。
根据本发明的用于在平板显示器生产线的处理站之间传送平板显示器衬底的系统的第三典型实施例在图10的示意剖视主视图示出，其中：相同的标号被用于指示与上述第一和第二实施例的元件相同或类似的元件。
图10的第三实施例与上述第一和第二实施例的不同之处在于：代替衬底LU机器人60，传送输送机71被安装在容器LU装置300和处理站500之间，在图10中所示的特定实施例中，第二容器输送机72也被安装在传送容器10中。
在使用图10的传送系统的传送平板显示器的方法中，车140运送传送容器10，传送容器10具有容器输送机72，容器输送机72具有装载在其上的衬底5，如在上述实施例中，车140被直线电动机130沿轨道的轨110，120推进并被正好定位于安装在目标处理站500的入口处的容器LU装置300下方。
当位于容器LU装置300中时，传送容器10由升降机54上升，并且然后利用传送输送机71，容纳在传送容器10中的衬底5被传送到处理站500的设备中。更确切地说，传送容器10的侧表面中的铰接的关闭物15a被首先开启。安装在容器LU装置300和处理站500之间的传送输送机71和安装在传送容器10中的容器输送机72彼此成直线并处于相同的垂直水平面(vertical level)地定位。该传送输送机71和容器输送机72被同时驱动，并且因此，衬底5被从容器输送机72运送到传送输送机71，传送输送机71然后将衬底运送入处理站500。
当容纳在传送容器10中的衬底5被传送入处理站500中时，空的车140沿轨道运动离开以到达下一目的地。
接下来，如图11所示，第二空车140沿轨110，120运动并位于容器LU装置300下方。然后，该空传送容器10被升降机54降低并且装载在第二车上，第二车上然后沿轨道被运动离开到编程的下一目的地。
根据本发明，由于使用了利用直线电动机驱动的传送装置和容器LU装置，因此能够实质减小将衬底在处理站之间传送的时间。此外，由于衬底在保护传送容器中传送，因此衬底被更清洁和安全地传送。
此外，由于衬底使用多个传送容器被传送，不是利用送料器和盒子，因此使所需传送的数量最小，并且减小了系统中的过程中的部件的数量并且因此减少了过程中的存量。
此外，加入直线电动机系统的轨道系统是容易设置和维护的系统，并且根据生产处理的需要，使用相同轨道系统的传送系统能够灵活地实施，并且因此生产容量容易得到扩大。
此外，即使特定的生产处理设备出现故障，其它处理设备也不受影响，并且因此能够确保处理的灵活性。
此外，由于未使用传统的盒、送料器、输送机和分度器，因此处理设备的初始投资成本能够得到明显减小，并且由于衬底完全在传送容器内管理和传送，因此在处理的每个阶段，过程中的部件的数量能够明显减小。
至此，本领域的普通技术人员将认识到：在不背离本发明的精神和范围的情况下，本发明的衬底传送系统的材料、装置、结构和方法能够进行多种修改、替换和改变。鉴于此，本发明的范围不应该局限于这里示出和描述的特殊实施例的范围，因为这些实施例实际上仅是示范性的，而相反，本发明的范围应该与权利要求和它们的功能等同物的范围完全相当。

Claims (33)

1.一种用于在显示器生产线的处理站之间传送平板显示器的系统，包括：
传送其中装载衬底的传送容器的传送装置；和
容器装载和卸载装置，所述容器装载和卸载装置将所述传送容器装载到位于所述处理站的设备和从所述设备卸载所述传送容器，
其中所述传送装置包括：安装在设施地板上的固定部件；和沿所述固定部件运动的多个可移动部件。
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述固定部件包括：形成封闭环的中央轨道；和一个或多个环形分支轨道，所述一个或多个环形分支轨道从中央轨道分支并被连接到所述处理站的入口。
3.根据权利要求1所述的系统，其中中央轨道和分支轨道中的每条轨道包括：多条细长轨；和设置在所述轨之间的多个线圈。
4.根据权利要求3所述的系统，其中：所述轨的数目是两条；并且所述两条轨彼此平行设置并间隔开选定的距离。
5.根据权利要求3所述的系统，其中：所述轨包括在其外部边缘处的直立的延伸部。
6.根据权利要求3所述的系统，其中：所述多个线圈沿所述轨的长度以选定间隔布置。
7.根据权利要求1所述的系统，其中：所述可移动部件包括轮式车，该轮式车包括：
传送床；
安装在所述床下并以与所述轨道之间的线圈间隔开、重叠的关系设置的永磁体；和
安装在所述床下方并被布置以在所述轨道上滚动的多个轮子。
8.根据权利要求7所述的系统，还包括：辅助轮子，所述辅助轮子被安装在所述床下方并被布置以侧向和利用滚动接合接触所述轨道的直立的延伸部。
9.根据权利要求7所述的系统，其中：所述固定部件的所述线圈和所述运动部件的所述永磁体确定了直线电动机。
10.根据权利要求1所述的系统，其中：所述传送容器包括：
格形底部框架；
安装在所述底部框架上的多个支撑框架；
安装在所述第一支撑框架上并支撑所述衬底的第一支撑销；和
覆盖所述衬底的容器盖。
11.根据权利要求10所述的系统，还包括：覆盖所述底部框架的格状梁之间的空间的底部盖子。
12.根据权利要求10所述的系统，其中：所述容器盖的侧表面包括能够可选择地开启和关闭的铰接关闭物。
13.根据权利要求10所述的系统，还包括：安装在所述第一支撑销上的至少一个第二支撑框架和至少一个第二支撑销。
14.根据权利要求1所述的系统，其中所述容器装载和卸载装置包括：
形成内部空间的外壳；和
安装在所述外壳的所述内部空间中的升降机。
15.根据权利要求14所述的系统，还包括风扇单元，所述风扇单元具有安装在所述外壳上并被布置为将清洁的、经过滤的空气吹入其内部空间中的空气清洁过滤器。
16.根据权利要求14所述的系统，其中：所述升降机被布置以沿垂直方向升高和降低所述传送容器。
17.根据权利要求14所述的系统，其中：所述外壳包括在其侧表面处的开口。
18.根据权利要求14所述的系统，其中：所述容器装载和卸载装置邻近处理站的入口安装；
19.根据权利要求14所述的系统，其中：所述固定部件穿过所述容器装载和卸载装置的下侧。
20.根据权利要求14所述的系统，其中：衬底装载和卸载机器人被安装在所述容器装载和卸载装置和处理站的所述入口之间。
21.根据权利要求20所述的系统，其中所述衬底装载和卸载机器人包括：支撑部分；安装在所述支撑部分上的水平和垂直传送部分；和安装在水平和垂直传送部分上的传送臂。
22.根据权利要求21所述的系统，其中：通过所述外壳侧表面处的开口，装载在所述衬底装载和卸载机器人的传送臂上的衬底被从所述传送容器传送到所述处理站的设备。
23.根据权利要求21所述的系统，其中：所述传送臂通过最短长度的路径在所述容器装载和卸载装置和所述处理站之间运动。
24.根据权利要求14所述的系统，其中：传送输送器被安装在所述容器装载和卸载装置和处理站的所述入口之间。
25.根据权利要求24所述的系统，其中：容器输送器被安装在所述传送容器中。
26.一种传送平板显示器的方法，所述方法包括：
沿轨道推进其上装载有传送容器的第一车，直到所述车被定位在容器装载和卸载装置下方；
利用安装在容器装载和卸载装置中的升降机，提起所述传送容器；
将容纳在所述传送容器中的衬底传送到邻近所述容器装载和卸载装置的衬底处理站；和
在容纳在所述传送容器中的衬底已被传送到所述处理站后，沿所述轨道移动所述第一车。
27.根据权利要求26所述的方法，还包括：
将第二车定位在所述容器装载和卸载装置下方；
利用升降机降低所述传送容器，直到所述容器被装载到所述第二车上；和
沿所述轨道推进其上装载所述传送容器的所述第二车。
28.根据权利要求26所述的方法，其中：容纳在所述传送容器中的所述衬底的传送包括：
打开所述传送容器的侧表面；
通过所述容器装载和卸载装置的开口，将位于所述容器装载和卸载装置与处理设备之间的衬底装载和卸载机器人的传送臂引导到所述传送容器中；
将所述衬底装载到所述传送臂上；和
将所述传送臂运动到所述处理站中；和
将所述衬底放置在所述站的所述处理设备中。
29.根据权利要求26所述的方法，其中：容纳在所述传送容器中的所述衬底的传送包括：
打开所述传送容器的侧表面；
提供安装在所述容器装载和卸载装置和所述处理站之间的传送输送机和安装在所述传送容器中的容器输送机，所述衬底被装载在所述容器输送机上，和两个所述输送器彼此成一直线并处于相同的垂直水平面地定位；以及
同时驱动所述传送输送器和所述容器输送器，从而将装载在所述容器输送器上的所述衬底运送到所述处理站中。
30.一种传送平板显示器的方法，所述方法包括：
沿轨道推进其上装载传送容器的第一车，直到它被定位在容器装载和卸载装置下方；和
利用衬底装载和卸载装置，将容纳在所述传送容器中的衬底传送到衬底处理站中，
其中：所述衬底装载和卸载装置位于所述容器装载和卸载装置和所述处理站的入口之间。
31.根据权利要求30所述的方法，其中容纳在所述传送容器中的所述衬底的传送包括：
打开所述传送容器的侧表面；
通过所述容器装载和卸载装置的开口，将衬底装载和卸载机器人的传送臂引导到所述传送容器中；
将所述衬底装载在所述传送臂上；
将所述传送臂移动到所述处理站中；和
将所述衬底放置在所述处理站的所述设备中。
32.根据权利要求30所述的方法，其中：所述传送容器包括其上装载所述衬底的容器输送机；并且其中：容纳在所述传送容器中的所述衬底的传送包括：
打开所述传送容器的侧表面；和
同时驱动安装在所述容器装载和卸载装置和所述处理站之间的传送输送机和容器输送机，从而将所述容器输送机上的所述衬底运送到所述处理站中。
33.根据权利要求32所述的方法，其中：所述传送输送机和所述容器输送机彼此成一直线并处于相同的垂直水平面地定位。
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