TWI461341B - 行駛車系統 - Google Patents

Description

行駛車系統

本發明係關於一種載置用以收容基板之基板匣盒而循環行駛於環狀之軌道的行駛車系統。本案係依據2009年3月30日在日本申請之日本特願2009-081661號、及2009年3月30日在日本申請之日本特願2009-081662號主張優先權，在此援用其內容。

以往，已知有一種沿著軌道配置有對行駛於軌道上之行駛車進行搬送物之搬出搬入之搬送物保管棚的行駛車系統(參照例如日本特開平10-273204號公報)，或一種為了對處理搬送物之處理裝置移載搬送物而設置可使行駛車進入之停車處(berth)的行駛車系統(參照例如日本特開2001-341640號公報)。

在日本特開平10-273204號公報之行駛車系統中，在環狀軌道之中央的內部設置有供給台，並且沿著環狀軌道之側面配置有保管棚，以從兩側將搬送物移載至行駛於行駛軌道的行駛車。

再者，在日本特開2001-341640號公報的行駛車系統中，在軌道之外側設置有用以供行駛車停靠在處理裝置之停車處，以在進入停車處的行駛車與處理裝置之間進行搬送物之裝載(loading)/卸載(unloading)。

在日本特開平10-273204號公報之行駛車系統中，係將保管棚(立體自動倉庫)構成為高層建築物。因此，搬送物之收容能力雖大，但在從保管棚之保管部將搬送物予以搬出搬入時係使用堆高式起重機(stacker crane)。

因此，在日本特開平10-273204號公報之行駛車系統中，不僅搬送物之搬出搬入耗費時間，而且因未具有暫時保管搬送物之暫存功能，故搬送效率會降低。此外，在日本特開平10-273204號公報之行駛車系統中，雖以多段、多組之方式構成有保管棚，但因保管棚與行駛車個別地構成，故有搬送效率變差的問題。

此外，在日本特開2001-341640號公報之行駛車系統中，在軌道外側設置有用以供行駛車停靠在處理裝置之裝載/卸載位置的停車處(空間)。因此，在日本特開2001-341640號公報之行駛車系統中，會有對行駛車所進行之移載耗費時間且行駛車之搬送效率降低的問題。

本發明係鑑於上述情事而研創者，其目的係在於提供一種可實現設備之省空間化且提升無人行駛台車之搬送效率的行駛車系統。

本發明之第1發明係具備用以解決上述課題的下述手段。

第1發明係具備：基板處理裝置，施行基板之保管或預定之處理；無人行駛台車，具有在將前述基板收容於基板匣盒之狀態下使該基板匣盒朝上下方向昇降之昇降部、及使前述基板匣盒朝前述基板處理裝置水平移動之水平移動部，且沿著針對前述基板處理裝置設置之軌道搬送前述基板匣盒；及基板匣盒保管部，在前述軌道之上方保持並保管基板匣盒。

本發明之第2發明係在前述第1發明中，前述無人行駛台車係在前述昇降部及前述水平移動部之上方具備用以保管前述基板匣盒的台車上基板匣盒保管部。

依據本發明，由於在軌道上方設置有基板匣盒保管部，因此可謀求行駛車系統整體之省空間化。再者，可縮短相對於行駛車所進行之基板匣盒之移載之時間，可使無人行駛台車之搬送效率及前置時間(lead time)提升。

此外，依據本發明，在前述基板匣盒設置有被保持構件，在前述基板匣盒保管部設置有與前述被保持構件卡合之保持構件。

藉此，可容易且確實地將基板匣盒載置在基板匣盒保管部上。

此外，依據本發明，前述保持構件係以可朝上下方向或水平方向移動之方式構成。

藉此，可容易或有效率地將基板匣盒保持在基板匣盒保管部。

此外，依據本發明，使前述無人行駛台車在前述基板匣盒保管部之下方停止，且使前述昇降部與前述水平移動部共同作用，而使前述基板匣盒保持在前述基板匣盒保管部。

此外，依據本發明，使前述無人行駛台車之行駛部與前述昇降部共同作用，而使基板匣盒保持在前述基板匣盒保管部。

此外，依據本發明，前述基板匣盒係以可堆疊成多段之方式構成。

藉此，依據本發明，可進一歩謀求行駛車系統整體之省空間化。

此外，依據本發明，在前述台車上基板匣盒保管部設置有與前述被保持構件卡合之保持構件。

藉此，可容易或確實地將基板匣盒載置在台車上基板匣盒保管部上。

再者，前述保持構件係以可朝上下方向或水平方向移動之方式構成。

藉此，可容易或有效率地將基板匣盒保持在台車上基板匣盒保管部。

此外，依據本發明，使未收容有前述基板之空的基板匣盒保持在前述台車上基板匣盒保管部。藉此，可謀求行駛車系統整體之效率運用。

以下，參照圖式說明本發明之行駛車系統A的第1實施形態。

如第1圖所示，敷設有用以導引有軌道無人行駛台車(以下稱為台車AG)之行駛之環狀的軌道L。該軌道L係由暫存部側軌道LA、處理側軌道LB、及連絡暫存部側軌道LA與處理側軌道LB之兩末端間之一對連絡軌道SL構成為環狀。而且，台車AG係循環行駛在前述環狀之軌道L。

在暫存部側軌道LA之兩側(兼作處理側軌道LB之單側)，配設有暫時保管作為搬送物之基板匣盒1的暫存部ST1、ST2。暫存部ST1、ST2係由一段或多段之棚架所構成。並且，在暫存部ST1、ST2保管有基板匣盒1。

另一方面，在處理側軌道LB之剩餘的單側，鄰接配設有：對例如玻璃板等基板G進行洗浄處理的基板處理裝置R1；對例如基板G進行塗覆處理的基板處理裝置R2。

在暫存部側軌道LA、處理側軌道LB之末端，以可往復行駛之方式分別配設有用以移載台車AG之移車台(traverser)T。而且，在移車台T之載置面，設置有與暫存部側軌道LA、處理側軌道LB同一高度的軌道。

在基板處理裝置R1、R2中之面向處理側軌道LB之側配設有：用以接受台車AG內之收容有未處理基板G之基板匣盒1的2個裝載台LS；及將收容有處理完成之基板G之基板匣盒1送出至台車AG側的卸載台ULS。

再者，在基板處理裝置R1、R2分別連接有用以在其與裝載於裝載台LS及卸載台ULS之基板匣盒1之間對基板G一個一個地進行搬入搬出的搬入輸送機LC及搬出輸送機ULC。

台車AG係由以下構件所構成：台車本體(行駛部)11，具有四個車輪4，且一面載置後述之基板匣盒1一面行駛於軌道L上；昇降機(昇降部)10，使載置於台車本體11上之基板匣盒1朝上下方向昇降；及一對叉部(水平移動部)8a、8b，為了使基板匣盒1朝與軌道LA、LB正交之方向水平移動而以一體方式進行驅動。

在環狀之軌道L配置有複數台(在第1圖之例中為5台)台車AG。該等台車AG皆係具有同一構造。

接著，說明由台車AG所搬送之基板匣盒1。

基板匣盒1係構成為可保管複數片(5至6片)之例如玻璃基板等基板G。

如第2A圖所示，基板匣盒1係以具有供基板G出入之開口部2之扁平型長方體構成為箱形。基板匣盒1係由前框FFL、側框SFL、後框BFL、以中間樑構件3所構成之一對框體、配置在一對框體之四角隅且連結一對框體之支柱(未圖示)、及貼附在開口部2以外之外周的兩側板SP與天板TP所構成。

如第2B圖所示，基板匣盒1之下表面係未設置底板而形成為露出有側框SFL、前框FFL、後框BFL乃至樑構件3之開放構造。在基板匣盒1之內部中，在相對向之兩側框SFL之間朝橫方向張設有金屬線W，並且該金屬線W係以一定間隔朝前後方向配置複數條。而且，複數條金屬線W係每隔預定間隔保持複數片(5至6片)基板G。

在基板匣盒1之兩側板SP，在上端之前後部位以彼此分離之方式從4處分別水平地突設有一對窄幅之爪片N。

此外，爪片N亦可形成為寬幅之爪片N。此時，爪片N係從基板匣盒1之兩側板SP的中央上端分別水平地突設。

接著，說明配設在軌道LA(LB)之上方的基板匣盒保管部BF1。

在台車AG所循環行駛之軌道LA(LB)的上方，連設有複數個基板匣盒保管部(以下稱暫存部BF1)。

暫存部BF1係由沿著軌道LA、LB之側面以預定間隔立設在地面F之複數個支柱5、從支柱5朝暫存部側軌道LA之上方水平地延伸出之支持臂6、及從支持臂6前後之兩側4處朝行駛方向突出之保持片K1所構成。

暫存部BF1係藉由支柱5與支持臂6形成為倒L字形。而且，支持臂6係設定成不會與載置在台車AG上之基板匣盒1干擾之高度。

接著，參照第6圖說明將台車AG上之基板匣盒1移載至軌道LA(LB)上方之暫存部BF1的動作。

首先，如第6A圖所示，載置有基板匣盒1之台車AG係行駛在軌道LA，在暫存部BF1之下方停止。更正確而言，台車AG係在載置於台車AG之基板匣盒1的爪片N與暫存部BF1之保持片K1在台車AG之行駛方向一致的位置停止。

接著，如第6B圖所示，藉由使台車AG之昇降機10起動，叉部8a、8b上之基板匣盒1會上昇至比暫存部BF1之保持片K1略上方之處。

在此狀態下，支持臂6之保持片K1係位在暫存部側軌道LA之單側(在第6B圖中為右側)。因此，即便使基板匣盒1朝垂直上方上昇，亦可避免基板匣盒1與爪片N之干擾。

再者，如第6C圖所示，叉部8a、8b會往暫存部側軌道LA之單側伸長，將基板匣盒1之爪片N定位在暫存部BF1之保持片K1上。

最後，如第6D圖所示，使昇降機10下降。藉此，台車AG上之基板匣盒1係被移載至暫存部側軌道LA上方的暫存部BF1。

接著，昇降機10及叉部8a、8b會回到初期位置。

此外，當將載置於暫存部BF1之基板匣盒1移載至台車AG上時，只要以相反之順序進行上述動作即可。

如此，本實施形態之行駛車系統A係在軌道LA(LB)之上方具備暫存部BF1，因此可謀求行駛車系統A整體之省空間化。藉此，針對台車AG對基板匣盒1進行移載之時間會縮短，台車AG之運作效率及前置時間會提升。

此外，由於使用台車AG所具有之昇降機10及叉部8a、8b，因此可容易地將基板匣盒1載置在暫存部BF1。因此，不需要特別之設備，可謀求行駛車系統A之低成本化。

參照第7圖至第9圖，說明基板匣盒保管部之變形例。

如第7圖至第9圖所示，暫存部BF2係具有使其與基板匣盒1之卡止位置相對於暫存部BF1旋轉90度之構造。

亦即，暫存部BF2係具備：沿著暫存部側軌道LA之兩外側立設於前後之地面F上的未圖示之支柱；及與暫存部側軌道LA平行地設置在該支柱之預定高度位置之上部的橫框12a、12b。並且，在該等兩橫框12a、12b之內側，以前後分離之方式相對向配置有朝暫存部側軌道LA水平地突設之保持片K2。

另一方面，在載置於台車AG上之基板匣盒1，窄幅之爪片M係以與暫存部之保持片K2分離同一間隔之方式分別水平地突設在基板匣盒1上端之左右部位。亦即，爪片M係與前述之爪片N不同，設置在相對於搬送方向之左右的面。

接著，參照第7圖至第9圖說明將台車AG上之基板匣盒1移載至軌道LA(LB)上方之暫存部BF2的動作。

首先，台車AG係行駛至暫存部BF2之正下方而停止。更正確而言，台車AG係在基板匣盒1的爪片M與暫存部BF2之保持片K1在台車AG之行駛方向不一致的位置停止(參照第8圖、第9圖)。

接著，藉由驅動台車AG之昇降機10，基板匣盒1會上昇移動。

然後，在爪片N上昇至比保持片K1更高之位置後，台車AG係移動於暫存部側軌道LA上，直到爪片M與保持片K1在上下方向重疊之位置為止。亦即，台車AG係略往行駛方向移動而停止。

最後，使昇降機10下降。藉此，爪片M分別卡止在保持片K1，基板匣盒1被保管在暫存部BF2。

如此，在使用暫存部BF2時，藉由使用台車AG之昇降機10及行駛部11，即可將台車AG上之基板匣盒1卡止 在暫存部BF2並予以保管。

接著，說明本發明之行駛車系統A之第2實施形態。

在本實施形態中，於第1實施形態之系統中，在台車本體11之上方設置有暫時保管基板匣盒1之暫存部BF。

此外，在本實施形態之台車中，基板匣盒1、爪片N、車輪4、台車本體(行駛部)11、昇降機(昇降部)10、叉部(水平移動部)8a、8b係為與上述第1實施形態相同的構造，故省略其說明。

首先，參照第10圖、第11圖說明本實施形態之台車AG。

在台車本體11之上方設置有暫時保管基板匣盒1之暫存部BF。

亦即，可在台車AG之昇降機10及叉部8a、8b之上表面載置基板匣盒1。並且，亦可在比昇降機10及叉部8a、8b更上方之處，藉由暫存部BF載置基板匣盒1。

暫存部BF係由立設在台車本體11之行駛方向前後端部之一對支持壁14a、14b、及從支持壁14a、14b之相對向面分別朝內側水平地突設之保持片K所構成。

保持片K係設置在各個支持壁14a、14b之寬度方向的兩端。再者，4個保持片K係設置在同一高度之位置。具體而言，如第10圖所示，4個保持片K係設置於在使昇降機10下降之狀態下比載置於叉部8a、8b之上表面的基板匣盒1之頂面略上方的位置。

此外，在該保持片K卡止有後述之基板匣盒1的爪片N，且在支持壁14a、14b之間保持有基板匣盒1。

接著，參照第12圖至第15圖說明使基板匣盒1對於台車AG之暫存部BF載卸之動作。

首先，如第12圖所示，在將1個基板匣盒1載置於台車AG之叉部8a、8b之上表面的狀態下，藉由驅動叉部8a、8b，使基板匣盒1水平移動。更詳細而言，以俯視觀看時，基板匣盒1係水平移動至基板匣盒1之爪片N不會與暫存部BF之保持片K干擾的位置。

接著，如第13圖所示，藉由驅動昇降機10，使基板匣盒1上昇。更詳細而言，基板匣盒1係上昇直到基板匣盒1之爪片N位於比暫存部BF之保持片K略上方之處為止。

接著，如第14圖所示，叉部8a、8b後退至初期位置。亦即，以俯視觀看，基板匣盒1係水平移動至基板匣盒1的爪片N與暫存部BF之保持片K一致的位置。

最後，如第15圖所示，昇降機10會下降至初期位置。藉此，基板匣盒1之保持片K與暫存部BF之爪片N會卡合，而將基板匣盒1保持在暫存部BF。亦即，基板匣盒1係從叉部8a、8b上被移載至暫存部BF。

此外，當將載置於暫存部BF之基板匣盒1移載至叉部8a、8b上時，只要以相反之順序進行上述動作即可。

如此，在本實施形態之行駛車系統B中，由於台車AG具備暫時保管基板匣盒1之暫存部BF，因此可謀求行駛車系統B整體之省空間化。藉此，至相對於台車AG進行基板匣盒1之移載之時間會縮短，台車AG之運作效率及前置時間會提升。

此外，可藉由使用台車AG所具有之昇降機10及叉部8a、8b，容易地將基板匣盒1載置在暫存部BF。因此，不需要特別之設備，可謀求行駛車系統B之低成本化。

此外，亦可在台車AG之暫存部BF將基板匣盒1堆疊成多段。

此時，較佳為在基板匣盒1之上表面設置銷P，以使堆疊成多段之複數個基板匣盒1不會崩落。

在暫存部BF將複數個基板匣盒1堆疊成多段時，在上述第12圖至第15圖之動作前，藉由昇降機10暫時使叉部8a、8b上之基板匣盒1上昇。然後，使該基板匣盒1抵接於被保持在暫存部BF之其他基板匣盒1，而使其他基板匣盒1從暫存部BF之爪片N離開。接著，進行上述第12圖至第15圖之動作。

此外，在暫存部BF將複數個基板匣盒1堆疊成多段時，較佳為將空的基板匣盒1堆疊成多段。若為空的基板匣盒1，則無須考慮基板匣盒1之堆疊順序。換言之，在暫存部BF將收容有基板G之基板匣盒1堆疊成多段時，為了僅將特定之基板匣盒1選擇性從暫存部BF卸下，必須進行許多動作，因而造成效率降低。

在環狀之軌道L配置有複數台(例如5台)之台車AG，而較佳為將其中至少一台設為前述之附有暫存部BF之台車AG(例如台車AG5)，將空的基板匣盒1堆疊成多段。因此，無須準備複數台用以搬送空的基板匣盒1之台車AG5，而可抑制設備成本。此外，無須使用以搬送空的基板匣盒1之台車AG進行多周之循環搬送，而使搬送效率提升。

如以上所說明，依據本實施形態之行駛車系統，由於在軌道L之上方設置有保管暫存部BF1、BF2，因此可謀求行駛車系統A整體之省空間化。再者，相對於台車AG所進行之基板匣盒1之移載之時間會縮短，台車AG之運作效率及前置時間會提升。

前述實施形態所示之各構成構件之諸形狀或組合等係為一例，在不脫離本發明之主旨的範圍內可依據設計要求進行各種變更。

例如，基板G亦可為半導體基板。

此外，台車AG雖係以行駛於地面上之構成來說明，但亦可為行駛於天花板側者。

此外，爪片N、M雖係以從兩側板SP朝外側突設之構成來說明，但並不限定於此，亦可構成為槽或孔。

再者，雖針對在暫存部BF1、BF2僅載置1個基板匣盒1之情形進行說明，但亦可將基板匣盒1堆疊成多段。藉此，可進一歩謀求省空間化。在將基板匣盒1堆疊成多段時，亦可在高度方向設置複數組之暫存部BF1、BF2之保持片K1。此外，亦能以可上下移動之方式構成一組保持片K1。

再者，保持片K1、K2亦可構成為可在水平方向進退自如之可動式。藉此，可僅藉由昇降機10之驅動而移載基板匣盒1。

此外，並不限定於將具有爪片N之基板匣盒1載置於暫存部BF、BF1之保持片K、K1上之情形、及將具有爪片M之基板匣盒1載置於暫存部BF2之保持片K2上之情形，亦可藉由暫存部BF、BF1、BF2之保持部夾持基板匣盒1之側面。

在上述實施形態中，雖將軌道L構成為環狀，但亦可為直線軌道。亦即，台車AG亦可往復移動於直線軌道。此外，台車AG並非全部為同一構造亦無妨，亦可混合複數種類之台車。

此外，雖針對在台車AG之暫存部BF中將支持基板匣盒之保持片K固定設置在支持壁14a、14b之情形進行說明，但並不限定於此。例如，保持片K亦可為可朝內側出沒之可動爪。結果，在將基板匣盒1載置於暫存部BF1時，無須驅動叉部8a、8b，可有效率地進行移載。

此外，亦可為使支持壁14a、14b朝上方延伸且保持片K可朝上下方向移動之構造。結果，使堆疊成多段之基板匣盒1直接一體化，而可在叉部8a、8b與暫存部BF之間進行移載。

此外，亦可將可出沒之可動爪設置在上下方向之複數位置，而使任意之保持片突出。

1．．．基板匣盒

2．．．開口部

3．．．中間樑構件

4．．．車輪

5．．．支柱

6．．．支持臂

8a、8b．．．叉部(水平移動部)

7、10．．．昇降機(昇降部)

9、11．．．台車本體(行駛部)

12a、12b．．．橫框

14a、14b．．．支持壁

A、B．．．行駛車系統

AG．．．有軌道無人行駛台車(台車)

BF、BF1、BF2．．．基板匣盒保管部(暫存部)

BFL．．．後框

F．．．地面

FFL．．．前框

G．．．基板

K、K1、K2．．．保持片

L、LA、LB．．．軌道

LA．．．暫存部側軌道

LB．．．處理側軌道

LC．．．搬入輸送機

LS．．．裝載台

M、N．．．爪片

P．．．銷

R1、R2．．．基板處理裝置

SFL．．．側框

SP．．．兩側板

ST1、ST2．．．暫存部

T．．．移車台

TP．．．天板

ULC．．．搬出輸送機

ULS．．．卸載台

W．．．金屬線

第1圖係顯示本發明第1實施形態之行駛車系統之整體構成的概略圖。

第2A圖至第2C圖係顯示該行駛車系統之基板匣盒的圖。

第3圖係顯示該行駛車系統之無人行駛台車與基板匣盒保管部之關係的正面圖。

第4圖係顯示該行駛車系統之無人行駛台車與基板匣盒保管部之關係的側面圖。

第5圖係顯示該行駛車系統之無人行駛台車與基板匣盒保管部之關係的平面圖。

第6A圖至第6D圖係在該行駛車系統中將基板匣盒移載至基板匣盒保管部之動作的說明圖。

第7圖係顯示該行駛車系統之基板匣盒保管部之變形例的正面圖。

第8圖係第7圖之基板匣盒保管部之側面圖。

第9圖係第7圖之基板匣盒保管部之平面圖。

第10圖係顯示本發明第2實施形態之行駛車系統之無人行駛台車的概略構成的正面圖。

第11圖係顯示第10圖之無人行駛台車之概略構成的平面圖。

第12圖係在該行駛車系統中對於暫存部(台車上基板匣盒保管部)裝載/卸載基板匣盒之動作的說明圖。

第13圖係接續第12圖之動作的說明圖。

第14圖係接續第13圖之動作的說明圖。

第15圖係接續第14圖之動作的說明圖。

1．．．基板匣盒

4．．．車輪

5．．．支柱

6．．．支持臂

8a、8b．．．叉部(水平移動部)

10．．．昇降機(昇降部)

11．．．台車本體(行駛部)

A．．．行駛車系統

AG．．．有軌道無人行駛台車(台車)

BF1．．．基板匣盒保管部(暫存部)

F．．．地面

K1．．．保持片

N．．．爪片

Claims (7)

1. 一種行駛車系統，係具備：基板處理裝置，施行基板之保管或預定之處理；無人行駛台車，具有使可收容前述基板之基板匣盒朝上下方向昇降之昇降部、及可載置前述基板匣盒且使前述基板匣盒朝前述基板處理裝置水平移動之水平移動部、及可在朝前述基板處理裝置設置之軌道上移動之行駛部，並且沿著前述軌道搬送前述基板匣盒；以及基板匣盒保管部，在與前述基板處理裝置不同之位置之前述軌道之上方保持並保管前述基板匣盒，前述無人行駛台車係在位於前述基板匣盒保管部之下方的狀態下，使前述昇降部與前述水平移動部及前述行駛部之任一者共同作用，而在前述水平移動部與前述基板匣盒保管部之間載置前述基板匣盒；前述基板匣盒具有：可收容前述基板的基板收容部、以及從該基板收容部朝外側突出的複數個被保持構件，在前述基板匣盒保管部具有：能與前述複數個被保持構件卡合之複數個保持構件、以及形成於該複數個保持構件之間而容許前述基板收容部於上下方向通過的空間；前述無人行駛台車藉由實施下述步驟而在前述水平移動部與前述基板匣盒保管部之間移載前述基板匣盒： 移動步驟，利用前述水平移動部或前述行駛部使前述基板匣盒移動至前述基板匣盒保管部的下方，並使前述複數個被保持構件與前述複數個保持構件配置於從上下方向觀看時相互不同之位置；上昇步驟，在前述移動步驟之後，使前述昇降部動作，而以令前述基板收容部通過前述空間之方式使前述基板匣盒上昇，並使前述複數個被保持構件比前述複數個保持構件位於更上方；以及載置步驟，在前述上昇步驟之後，使前述昇降部與前述水平移動部及前述行駛部之任一者共同作用，以使前述複數個被保持構件卡合於前述複數個保持構件，而將前述基板匣盒載置於前述基板匣盒保管部。
2. 如申請專利範圍第1項之行駛車系統，其中，前述基板收容部係形成為具有供前述基板出入之開口部的長方體狀。
3. 如申請專利範圍第1項之行駛車系統，其中，前述基板匣盒保管部係固定在設置有前述軌道之地面，使前述無人行駛台車在前述基板匣盒保管部之下方停止，並使前述昇降部與前述水平移動部共同作用，而使前述基板匣盒保持在前述基板匣盒保管部。
4. 如申請專利範圍第1項之行駛車系統，其中，前述基板匣盒保管部係固定在設置有前述軌道之地面，使前述行駛部與前述昇降部共同作用，而使前述基板匣盒保持在前述基板匣盒保管部。
5. 如申請專利範圍第1項之行駛車系統，其中，前述基板匣盒保管部係構成為可將前述基板匣盒堆疊成多段。
6. 如申請專利範圍第1項之行駛車系統，其中，前述基板匣盒保管部係固定在前述無人行駛台車，並且配置在前述昇降部及前述水平移動部之上方。
7. 如申請專利範圍第1項之行駛車系統，其中，前述保持構件係以可朝上下方向或水平方向移動之方式構成。