JP2010241547A - 走行車システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走行車システムは、基板の保管又は所定の処理を施す基板処理装置と、基板を基板カセット1に収容した状態で基板処理装置に向けて設けた軌道に沿って搬送する無人走行台車と、無人走行台車から搬送された基板カセット1を保持する第一基板カセット保持部K1、第一基板カセット保持部K1よりも上方において基板カセット1を保持する第二基板カセット保持部K2及び第一基板カセット保持部K1と第二基板カセット保持部K2との間で基板カセット1を上下方向に移動させる昇降部16a,16bを有する段数変更装置MTと、を備える。
【選択図】図4
Description
本発明に係る走行車システムは、基板の保管又は所定の処理を施す基板処理装置と、前記基板を基板カセットに収容した状態で前記基板処理装置に向けて設けた軌道に沿って搬送する無人走行台車と、前記無人走行台車から搬送された前記基板カセットを保持する第一基板カセット保持部、前記第一基板カセット保持部よりも上方において前記基板カセットを保持する第二基板カセット保持部及び前記第一基板カセット保持部と前記第二基板カセット保持部との間で前記基板カセットを上下方向に移動させる昇降部を有する段数変更装置と、を備えることを特徴とする。
これにより、容易かつ確実に第一基板カセット保持部上に基板カセットを載置することができる。
これにより、第二基板カセット保持部における保持部材と基板カセットの被保持部材との干渉を容易かつ確実に回避することができる。
これにより、装置構成の簡略化、省スペース化を図ることができる。
これにより、基板カセットの積み重ねを正確に行うことができる。
これにより、積み重ねた基板カセットの荷崩れ(段崩れ)を確実に防止することができる。
図1に示すように、有軌道無人走行台車(以下台車AGと称する)を案内走行するためのループ状の軌道Lが敷設されている。この軌道Lは、バッファ側軌道LAと、処理側軌道LBと、両軌道LA,LBの両末端間を連絡する一対の連絡軌道SLとからループ状に構成されている。したがって、台車AGは前記のように構成されたループ状の軌道Lを循環走行するようになっている。
なお、台車AGには、複数の基板カセット1を積み上げて載置することが可能である。また、ループ状の軌道Lには、複数台(図1の例では5台)の台車AGが配置される。これら台車AGは、全て同一の構造となっている。
基板カセット1は、例えばガラス基板などの基板Gを複数枚(5〜6枚)保管できるように構成されている。
なお、爪片Nは、幅広の爪片Nとして形成することもでき、この場合は、基板カセット1の両側板SPの中央上端からそれぞれ水平に突設されている。
これにより、基板カセット1を積み重ねた際に、下側の基板カセット1のピンPに上側の基板カセット1の嵌合穴が嵌合して各基板カセット1の相互の水平移動を拘束し合う。したがって、多段に積み重ねた基板カセット1の荷崩れ(段崩れ)が防止できる。つまり、基板カセット1の上面のピンPと下面の嵌合穴が、段崩れ防止部として機能する。
段積み段ばらし装置MTは、床面Fに配置された基台15と、基台15の左右(台車AGの進行方向)に立設した一対の支柱18a,18bを備えている。
そして、4つの固定式の保持片K1と4つの可動式の保持片K2は、それぞれ基板カセット1の4つの爪片Nに係合可能となっている。例えば、図4に示すように、保持片K1には4段に積み上げた基板カセット1を載置できる。一方、保持片K2には、更に多段に積み上げた基板カセット1を載置できる。
すなわち、4つの固定式の保持片K1は、基板カセット1を保持する第一基板カセット保持部として機能し、4つの可動式の保持片K2は、基板カセット1を保持する第二基板カセット保持部として機能する。
そして、基板カセット1が保持片K1の上面に載置した際に、基板カセット1の爪片Nが基板カセット位置決め機構Sの傾斜面に係合すると、基板カセット1はその自重により傾斜面に沿って平坦面まで滑り降りる。こうして、基板カセット1は所定位置(位置決め機構Sの平坦面に基板カセット1の爪片Nが完全に係合する位置)に位置決めされる。つまり、傾斜面が基板カセット1を所定位置に案内するガイドとして機能する。
なお、一対のリフター16a,16bの間には、台車AGのフォーク8a,8bが侵入すると共にフォーク8a,8bを僅かに上下させることができる空間が設けられている。
なお、図5(a)に示すように、保持片K2には予め4段に積み上げた基板カセット1が載置されているものとする。
これにより、段積み段ばらし装置MTの正面で停止している台車AGのフォーク8a,8bとリフター10を駆動することで、段積み段ばらし装置MTの保持片K1から4段の基板カセット1を台車AG上に移載することができる。
走行車システムAには、例えばライン停止時に、基板カセット1を多段に積み上げて長期保存するストッカST3,ST4が設けられる。
このストッカST3,ST4に対して基板カセット1を多段に積み上げて収容するために、前述した段積み段ばらし装置MTが2台用いられる。具体的には、基板カセット1を多段に積み上げる専用機として、段積み段ばらし装置MTと同一構成の段積み装置MT1が用いられる。また、多段に積み上げた基板カセット1の段数を減らす(段ばらし)専用機として、段積み段ばらし装置MTと同一構成の段ばらし装置MT2が用いられる。
また、台車AGは、床面上を走行する構成で説明したが、天井側を走行するものでも良い。
また、上述した実施形態では、軌道Lをループ状に構成したが、直線軌道であってもよい。つまり、台車AGは、直線軌道を往復移動する場合であってもよい。また、台車AGは全て同一の構造でなくてもよく、複数種類の台車が混在する場合であってもよい。
また、基板カセット1の爪片Nに対して、段積み段ばらし装置MTの保持片K1,K2が係合する場合について説明したが、これに限らない。爪片Nを設けずに、基板カセット1の下面に保持片K1,K2が係合する場合であってもよい。
この場合には、平面視において保持片K1,K2を干渉しない位置に設けると共に基板カセット1の爪片Nを伸ばて保持片K1,K2が同時に係合できるようにすることが好ましい。
これにより、保持片K1、すなわち第一基板カセット保持部を床面近傍まで配置できるので、多数の基板カセット1を保持することが可能となり、或いは装置の高さを低く抑えることが可能となる。
この場合には、一対のリフター16a,16bは、基板カセット1の下面を支持してもよいし、爪片Nを支持してもよい。
Claims (6)
- 基板の保管又は所定の処理を施す基板処理装置と、
前記基板を基板カセットに収容した状態で前記基板処理装置に向けて設けた軌道に沿って搬送する無人走行台車と、
前記無人走行台車から搬送された前記基板カセットを保持する第一基板カセット保持部、前記第一基板カセット保持部よりも上方において前記基板カセットを保持する第二基板カセット保持部及び前記第一基板カセット保持部と前記第二基板カセット保持部との間で前記基板カセットを上下方向に移動させる昇降部を有する段数変更装置と、
を備えることを特徴とする走行車システム。 - 前記基板カセットに被保持部材を設け、
前記第一基板カセット保持部及び前記第二基板カセット保持部に前記被保持部材に係合する保持部材を設けたことを特徴とする請求項1に記載の走行車システム。 - 前記第二基板カセット保持部における前記保持部材は、水平方向に可動式であることを特徴とする請求項2に記載の走行車システム。
- 前記第一基板カセット保持部と前記昇降部が一体に構成されることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の走行車システム。
- 前記第一基板カセット保持部は、前記基板カセット位置決め機構を備えることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の走行車システム。
- 前記基板カセットは、積み重ねた際に互いに水平方向の移動を拘束する段崩れ防止部を備えることを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の走行車システム。
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