JP5365303B2 - 走行車システム - Google Patents
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本発明に係る走行車システムは、基板を収容する基板カセットと、前記基板カセットを軌道に沿って搬送する無人走行台車と、前記無人走行台車から搬出される又は前記無人走行台車に搬入される前記基板カセットを保持すると共に上下方向に昇降させる昇降部、前記昇降部の下方側において前記基板カセットから前記基板を枚葉搬出する又は前記基板カセットに前記基板を枚葉搬入する枚葉搬送部及び前記昇降部の上方側において前記基板カセットを保持する基板カセット保管部を有する基板カセット入れ替え装置と、を備えることを特徴とする。
これにより、容易かつ確実に基板カセット保管部上に基板カセットを載置することができる。
これにより、基板処理装置に対して効率的に基板を搬入・搬出することができる。
図1に示すように、有軌道無人走行台車(以下台車AGと称する)を案内走行するためのループ状の軌道Lが敷設されている。この軌道Lは、バッファ側軌道LAと、処理側軌道LBと、両軌道LA,LBの両末端間を連絡する一対の連絡軌道SLとからループ状に構成されている。したがって、台車AGは前記のように構成されたループ状の軌道Lを循環走行するようになっている。
ループ状の軌道Lには、複数台(図1の例では5台)の台車AGが配置される。これら台車AGは、全て同一の構造となっている。
基板カセット1は、例えばガラス基板などの基板Gを複数枚(5〜6枚)保管できるように構成されている。
なお、爪片Nは、幅広の爪片Nとして形成することもでき、この場合は、基板カセット1の両側板SPの中央上端からそれぞれ水平に突設されている。
入れ替え装置CGは、台車AGから搬送された基板カセット1を載置すると共に、載置した基板カセット1と基板処理装置R1,R2との間で基板Gを枚葉搬送するものである。つまり、ローディングステーションLSに用いられる入れ替え装置CGは、基板Gが収容された基板カセット1を載置し、この基板カセット1から基板処理装置R1,R2に向けて基板Gを枚葉搬送する。一方、アンローディングステーションULSに用いられる入れ替え装置CGは、空の基板カセット1を載置し、基板処理装置R1,R2から枚葉搬送された基板Gをこの基板カセット1に収容する。
下方側の保持爪K1は、側面に停止する台車AGから基板カセット1を受け入れるために、両支柱6に対して、台車AGのフォーク8a,8bの進退方向に沿って延設されている。そして、保持爪K1は、基板カセット1の爪片Nの中央部分に係合する。
また、保持爪K1は、載置した基板カセット1を枚葉搬送部15と上方側の保持爪K2との間で移動させるために、両支柱6に沿って昇降移動するように構成されている。
なお、上方側の4つの保持爪K2は、基板カセット1を一時的に保管する基板カセット保管部BFとして機能する。
駆動ローラ18は、保持爪K1に載置された基板カセット1が下降すると、基板カセット1内に一定間隔で水平方向に張設されたワイヤーWの間を通過して、基板カセット1内に侵入できる位置に設けられている。したがって、駆動ローラ18は、基板カセット1に収容された(される)基板Gの底面を支持して、基板Gを枚葉搬送することができるようになっている。
そして、駆動ローラ18の後方(基板処理装置R1,R2側)には、搬入コンベアLC(搬出コンベアULC)が同一搬送高さになるよう配設されている。
そして、基板カセット1Fの底面からワイヤーWの間隙を通過した駆動ローラ18で基板Gの下面を支持させる。同時に、複数の駆動ローラ18を駆動すると、基板Gが搬入コンベアLCに向けて搬出される。
更に、基板カセット1Fを基板カセット1F内の基板Gの上下方向収容ピッチ分だけ繰り返し下降させることで、基板カセット1F内の基板Gが順次、搬入コンベアLCに向けて枚葉搬送される。こうして、基板カセット1F内の全ての基板Gが基板処理装置R1(R2)に送り込まれる。
そして、保持爪K1は、初期位置まで下降して停止する。
つまり、空となった基板カセット1Eの回収を待つことなく、直ちに(適時に)、基板Gが収容された基板カセット1FがローディングステーションLSに搬入される。
すなわち、基板カセット1F内の基板Gを搬入コンベアLCに向けて枚葉搬送している間に、空の基板カセット1Eを回収・搬送する台車AG5がローディングステーションLS(入れ替え装置CG)の前で停止する。そして、台車AG5のリフト10及びフォーク8a,8bを駆動して、フォーク8a,8bの先端を保持爪K2に載置された基板カセット1Eと保持爪K1に載置された基板カセット1Fの間に挿し込む。
すなわち、図5(a)では、基板Gが収容された基板カセット1Fに代えて、空の基板カセット1EがアンローディングステーションULS(入れ替え装置CG)に搬送される。
図5(b)では、空の基板カセット1Eに対して、枚葉搬送部15により基板Gが送り込まれる。
図5(c)では、基板Gが収容された基板カセット1Fを保持爪K2と同一高さまで上昇移動させる。
図5(d)では、保持爪K2を内方に向けて突出させて、基板カセット1Fが保持爪K2上に載置される。
また、台車AGは、床面上を走行する構成で説明したが、天井側を走行するものでも良い。
また、基板カセット1の爪片Nに対して、入れ替え装置CGの保持爪K1,K2が係合する場合について説明したが、これに限らない。爪片Nを設けずに、基板カセット1の底面に保持爪K1,K2が係合する場合であってもよい。
Claims (4)
- 基板を収容する基板カセットと、
前記基板カセットを軌道に沿って搬送する無人走行台車と、
前記無人走行台車から搬出される又は前記無人走行台車に搬入される前記基板カセットを保持すると共に上下方向に昇降させる昇降部、前記昇降部の下方側において前記基板カセットから前記基板を枚葉搬出する又は前記基板カセットに前記基板を枚葉搬入する枚葉搬送部及び前記昇降部の上方側において前記基板カセットを保持する基板カセット保管部を有する基板カセット入れ替え装置と、
を備えることを特徴とする走行車システム。 - 前記基板カセットに被保持部材を設け、
前記昇降部及び前記基板カセット保管部に前記被保持部材に係合する保持部材を設けたことを特徴とする請求項1に記載の走行車システム。 - 前記基板カセット保管部における前記保持部材は、水平方向に可動式であることを特徴とする請求項2に記載の走行車システム。
- 前記基板カセット入れ替え装置は、前記基板に対して所定の処理を施す基板処理装置に連結されるローディングステーション又はアンローディングステーションに用いられることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の走行車システム。
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