JP2610526B2 - クリーンルーム内の荷取扱い設備 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はたとえば半導体のような塵埃を極端にきらう
荷（物品）の搬送や保管に採用されるクリーンルーム内
の荷取扱い設備に関するものである。

従来の技術 従来この種の設備としては、たとえば実願昭61−1931
70号に示すように、レール装置に案内される自走台車の
搬送経路を、荷保管装置の本体側方に通過させて、本体
側方にステーションを形成し、移載装置により、ステー
ションの自走台車と本体内の荷支持台との間で荷を受け
渡しするものである。また、この本体内には、荷支持台
と棚との間で荷を搬入する搬入出装置が配設される。

発明が解決しようとする課題 上記従来構成によれば、たとえば荷を連続して入庫や
出庫を繰り返す場合、自走台車により搬送された荷を移
載装置により荷支持台に移載する。つぎに搬入出装置に
より、荷支持台から棚に搬入し、次に棚から出庫用の荷
を取出して荷支持台に搬入し、再び移載装置を駆動して
荷支持台の荷を自走台車に移載し、出庫を完了する。こ
のような行程を繰り返すため、自走台車の待ち時間が長
くきわめて作業能率が悪い。したがって、たとえば半導
体工場等の高集積度集積回路を生産する工程間搬送回数
の増加に対応できないという問題があった。

本発明は上記問題を解決して自走台車の待ち時間を短
くでき、連続した入庫および出庫作業が可能で作業効率
を向上できるクリーンルーム内の荷取扱い設備を提供す
ることを目的とする。

課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明は、レール装置
と、このレール装置に案内される自走台車とにより荷搬
送装置を構成し、この荷搬送装置の搬送経路を、箱状の
本体で囲まれた荷保管装置の側方に通過形成するととも
に、本体の側方に搬送経路のステーションを形成し、前
記本体内に、ステーションに対向して配置された荷捌き
部と、出庫位置から荷捌き部に配置された出庫用コンベ
ヤと、荷捌き部から入庫位置に配置された入庫用コンベ
ヤとを設け、前記本体に形成した開口を介してステーシ
ョン位置の自走台車と荷捌き部の間で荷を受け渡しする
移載装置を設け、前記本体内に設けた棚と入庫用コンベ
ヤおよび出庫用コンベヤとの間で荷を受け渡しする搬入
出装置を設けたものである。

作用 上記構成において、レール装置に案内されてステーシ
ョン位置で停止した自走台車と荷捌き部の間で、移載装
置を介して荷を入出庫する時に、入庫した荷を入庫用コ
ンベヤにストレージするとともに、搬入出装置でストレ
ージした荷を棚に搬入することにより、少なくとも入庫
用コンベヤのストレージ数以上の荷を連続して荷保管装
置に入庫することができる。また、出庫する荷を出庫用
コンベヤにストレージしておき、この荷を順次荷捌き部
から移載装置を介して自走台車に出庫するとともに、搬
入出装置で棚の荷を出庫用コンベヤに搬出することによ
り、少なくとも出庫用コンベヤのストレージ数以上の荷
を連続して自走台車に出庫することができる。また、両
コンベヤのストレージ数においては連続した入出庫も可
能となる。したがって、複数台の走行台車が連続してス
テーションに停車しても荷の入出庫を連続して行うこと
ができ、走行台車の待ち時間をきわめて短くして効率よ
く入出庫作業が行える。

実施例 以下本発明の一実施例を第１図、第２図に基づいて説
明する。

１はクリーンルーム２内に設置した荷保管装置で、矩
形箱体状の本体３と、この本体３に設置されて上下方向
ならびに水平方向に複数の区画収納空間４を有する棚５
と、本体３の前面側上部中央に形成配置された荷捌き部
６と、出庫位置（イ）から荷捌き部６にわたって水平方
向に配設された出庫用コンベヤ７と、荷捌き部６から入
庫位置（ヘ）にわたって出庫用コンベヤ７と直線上に配
設された入庫用コンベヤ８と、出庫用コンベヤ７および
入庫用コンベヤ８と区画収納空間４との間で荷９を出し
入れ自在な搬入出装置10とを備えている。前記荷捌き部
６は、出庫用コンベヤ７または入庫用コンベヤ８と同期
駆動可能なコンベヤまたはプッシャーなどの送り手段
と、荷受部材6aを両コンベヤ7,8のライン上とその外方
位置との間で移動させるスライド手段とを有している。
前記クリーンルーム２は天井側からフィルターを通して
クリーンエアを下吹きし、下降するクリーンエアをメッ
シュ形式の床を通して床下に吸引するものである。ま
た、本体３内には独自に設けたクリーンユニットまたは
クリーンルーム２用のクリーンユニットが設けられ、エ
アフィルター31やエアダクト32が配設されている。さら
に、搬入出装置10は、左右方向のガイドレール11に案内
され両コンベヤ7,8に沿って走行自在な走行機台付ポス
ト12と、ポスト12に沿って昇降自在な昇降台13と、昇降
台13に左右方向に水平軸心回りに回転自在に取付けられ
て荷７を保持可能な左右一対の振り出し式保持アーム14
とを備えている。

前記本体３には荷捌き部６に臨んで前面に開口15が形
成され、この開口15の外方には、一定の搬送経路16を有
する荷搬送装置17が配設される。この荷搬送装置17は、
搬送経路16に沿って配設されて上面開放のＣ字形のレー
ル装置18と、このレール装置18に車輪等を介して支持案
内され荷受台19aを有する自走台車19と、レール装置15
と自走台車19を囲みエアを吸引するダクト20を備えてい
る。そして、開口15に対向する位置はステーション21に
形成され、開口15の部分には開口15を通してステーショ
ン21の自走台車19の荷捌き部６との間で荷９の受け渡し
を行う移載装置22が配設される。この移載装置22は、基
台23上に垂直軸心回りに回転自在に配設された回転体24
と、この回転体24の対称位置に突設されて昇降自在でか
つ接近離間動自在な左右で一対で２組の支持腕25と、こ
れら支持腕25と直交する方向に突設されて開口15を閉鎖
自在な左右一対の扉体26とを備えている。

前記荷９は、図示しないが、左右両側面上部に前後方
向の突条部が形成され、移載装置22の支持腕25および搬
入出装置10の保持アーム14に取付けた保持部14aで突条
部を下方から係止して支持することができる。

27A,27Bは荷保管装置１の前面下部に形成された入出
庫口で、工程内加工を行うために形成され、入出庫コン
ベヤ28A,28Bが配設される。

次に上記実施例の作用を説明する。

荷受台19aに荷９を積載した自走台車19はレール装置1
8に案内されて搬送経路16上を走行し、ステーション21
に停止される。この時、出庫用および入庫用コンベヤ7,
8を出庫位置（イ）から入庫位置（ヘ）に矢印Ａ方向に
所定ストローグずつ間欠移動するとともに荷捌き部６の
送り手段を同期駆動して、搬入出装置10により搬出され
た荷９を出庫側ストレージ位置（ロ）（ハ）および荷捌
き部６にストレージする。次に、移載装置22を駆動し、
離間状態の支持腕25をそれぞれ下降して接近動させ、自
走台車19の荷９および荷捌き部６の荷９をそれぞれ支持
腕25に支持し上昇させて持ち上げる。そして、回転体24
を180゜回転して支持腕25を下降、離間動し、上昇させ
て自走台車19の荷９を荷捌き部６に移載するとともに、
荷捌き部６の荷９を自走台車19の荷受台19aに移載す
る。移載装置22や自走台車19の入換え作業中において、
搬入出装置８は、入庫用コンベヤ８上の入庫位置（ヘ）
の荷９を目的とする区画収納空間４に搬入するととも
に、目的とする区画収納空間４から出庫する荷９を出荷
用コンベヤ７の出庫位置（イ）に搬出する。そして、荷
捌き部６の送り手段と両コンベヤ7,8を同期駆動して次
に出庫する荷９を荷捌き部６に移動させる。このような
動作を繰り返して荷９の搬入出を行う。

次に荷９の連続入庫作業と連続出庫作業を説明する。

連続入庫する場合には、入庫用コンベヤ８および荷捌
き部６の送り手段を同期駆動し、自在台車19で運ばれて
来る荷９を移載装置22を介して順次荷捌き部６に移載
し、そして入庫側ストレージ位置（ニ）（ホ）から入庫
位置（ヘ）に送る。同時に、搬入出装置10を駆動して入
庫側ストレージ位置（ニ）（ホ）または入庫位置（ヘ）
から荷９を目的とする区画収納空間４に連続して搬入す
る。したがって、少なくとも入庫用コンベヤ８のストレ
ージ数以上の個数分をきわめて高速で連続して入庫する
ことができ、入庫のために自走台車19がステーション21
に集中しても迅速に対応することができる。しかも、出
庫用コンベヤ７には荷９をストレージしたまま待機させ
ることができるので、すぐに搬入出動作または搬出動作
に移ることができ、さらに少なくとも両コンベヤ7,8の
ストレージ数の荷９を連続して搬入出することができ
る。

また、連続出庫する場合には、出庫用コンベヤ７およ
び荷別き部６の送り手段を同期駆動し、搬入出装置10に
より搬入され出庫位置（イ）から出庫側ストレージ位置
（ロ）（ハ）を介して荷捌き部６に送られた荷９を、移
載装置22により順次ステーション21に停止する自走台車
19の荷受台19aに移載する。同時に、搬入装置10を駆動
して所定の区画収納空間４から入庫位置（イ）または入
庫側ストレージ位置（ロ）（ハ）に荷９を連続して補充
する。したがって、少なくとも出庫用コンベヤ７のスト
レージ数以上の個数分をきわめて高速で連続して出庫す
ることができ、出庫のために自走台車19がステーション
21に集中しても待ち時間をきわめて少くすることができ
る。しかも入庫用コンベヤ７に荷９をストレージするこ
とができるので、すぐに搬入出動作または搬入動作に移
ることができる。

第３図は他の実施例を示し、開口15が本体３の側面に
形成され、この開口15の側方に搬送経路16が配置されて
いる。したがって、本体３内の出庫用コンベヤ７および
入庫用コンベヤ８を搬送経路16と直交する方向に互いに
平行に配設し、コンベヤ7,8の出口部と入口部とを、搬
送経路16と平行な荷捌きコンベヤ41を有する荷捌き部42
で接続して平面視をコの字形に構成している。作用は前
記実施例とほぼ同様に行えるが、搬入出装置10による荷
９の取扱い位置は両コンベヤ7,8の入庫位置（イ）と出
庫位置（ヘ）のみとなる。

発明の効果 以上に述べたごとく本発明によれば、荷保管装置の荷
捌き部に対して荷を受け渡し可能な出庫用コンベヤと入
庫用コンベヤとを設けたので、自走台車から移載装置を
介して荷捌き部に移載した荷を入庫用コンベヤ上にスト
レージすることができ、順次搬入出装置によりストレー
ジした荷を棚に搬入することで、少なくとも入庫用コン
ベヤのストレージ数以上の荷を待ち時間なく連続して入
庫することができる。また、出庫用コンベヤストレージ
した荷を荷捌き部から移載装置を介して自走台車に待ち
時間なく連続して出庫することができ、搬入出装置によ
り棚から荷を出庫コンベヤ上に搬出することで、少なく
とも出庫コンベヤのストレージ数以上の荷を連続して出
庫できる。さらに、各コンベヤの少なくともストレージ
数分は連続した入出庫も行える。したがって、自走台車
が集中してステーションに停車される場合にも、状況に
対応して待ち時間をきわめて少なくして連続した入出庫
を行うことができ、効率のよい入出庫作業が可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の一実施例を示し第１図は一部
切欠き斜視図、第２図は部分平面断面図、第３図は他の
実施例を示す一部切欠き斜視図である。 １……荷保管装置、２……クリーンルーム、３……本
体、４……区画収納空間、５……棚、６……荷捌き部、
７……出庫用コンベヤ、８……入庫用コンベヤ、９……
荷、10……搬入出装置、15……開口、16……搬送経路、
17……荷搬送装置、18……レール装置、19……自走台
車、21……ステーション、22……移載装置、41……荷捌
きコンベヤ、（イ）……出庫位置、（ロ）〜（ホ）……
ストレージ位置、（ヘ）……入庫位置。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レール装置と、このレール装置に案内され
   る自走台車とにより荷搬送装置を構成し、この荷搬送装
   置の搬送経路を、箱状の本体で囲まれた荷保管装置の側
   方に通過形成するとともに、本体の側方に搬送経路のス
   テーションを形成し、前記本体内に、ステーションに対
   向して配置された荷捌き部と、出庫位置から荷捌き部に
   配置された出庫用コンベヤと、荷捌き部から入庫位置に
   配置された入庫用コンベヤとを設け、前記本体に形成し
   た開口を介してステーション位置の自走台車と荷捌き部
   の間で荷を受け渡しする移載装置を設け、前記本体内に
   設けた棚と入庫用コンベヤおよび出庫用コンベヤとの間
   で荷を受け渡しする搬入出装置を設けたことを特徴とす
   るクリーンルーム内の荷取扱い設備。