JPH0249204Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、たとえば半導体のような塵埃を極端
にきらう製品の搬送や保管に採用されるクリーン
ルーム内の荷取扱い設備に関するものである。

従来の技術 従来、この種の設備としては、たとえば実開昭
61−92613号公報で見られるように、箱状の本体
で囲まれた荷保管装置をクリーンルーム内に設置
し、そしてレール装置と、このレール装置に案内
される自走台車とにより構成した荷搬送装置の搬
送経路終端を前記本体内にのぞませて構成してい
る。前記荷保管装置は棚と搬入出装置とからな
り、この搬入出装置の作動によつて、棚の目的と
する区画収納空間と自走台車との間で荷の受け渡
しを行なつている。また荷保管装置で発生した塵
埃を除去するために、クリーンルーム内と同様に
して荷保管装置内にクリーンエアを下吹きし、そ
してクリーンエアを床下に吸引している。

考案が解決しようとする問題点 ところで、塵埃を極端にきらう製品であつたと
しても、その製造工程の途中過程においては、さ
ほどクリーン度が要求されないこともある。上記
のような従来形式によると、クリーンルーム内と
荷保管装置内とが同一のクリーン条件であること
から、製造工程に応じたクリーン度の調整を行な
える。しかし、クリーン度の異なる複数のクリー
ンルームに対して、それぞれ別個に荷保管装置を
設置しなければならないことから、設備費が不利
となる。また異なるクリーンルームを区画する仕
切壁に設けた搬入出口には、特別な扉装置など、
クリーン度の低いクリーンエアがクリーン度の高
いクリーンルームに流出することを防止する装置
が必要となる。

本考案の目的とするところは、１台の荷保管装
置を２つのクリーンルームに共有化でき、しかも
両クリーンルームのクリーン度を損なうことな
く、両クリーンルーム間での製品（荷）の移動も
行なえるクリーンルーム内の荷取扱い設備を提供
する点にある。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決すべく本考案におけるクリー
ンルーム内の荷取扱い設備は、クリーン度の異な
る２つのクリーンルームを区画する仕切壁を設
け、この仕切壁を貫通して密閉式の荷保管装置を
設け、この荷保管装置を、突合せ部に互いの連通
部を形成した一対の箱状本体と、これら本体内に
それぞれ設けた棚と、前記連通部を通つて両棚に
作用自在な搬入出装置と、一方の本体内に設置し
たクリーン度の高いクリーンユニツトとから構成
し、一方の本体に、クリーン度の低いクリーンル
ームに連通する第１荷捌き場と、クリーン度の高
いクリーンルームに連通する第２荷捌き場とを、
搬入出装置を中にして振分けて設け、他方の本体
に、クリーン度の高いクリーンルームに連通する
第３荷捌き場を設けている。

作 用 かかる本考案構成によると、搬入出装置を作動
させることで、第１荷捌き場と両棚との間で、第
１荷捌き場と第２・第３荷捌き場との間で、両棚
と第２・第３荷捌き場との間で、それぞれ荷の移
動を行なえる。このような作業中に、クリーンユ
ニツトの作動によつて一方の本体内が高クリーン
度に維持されていることから、ここがエアカーテ
ンの如き役目をして両クリーンルーム間での空気
流れを阻止するとともに、移動する荷に対してエ
ア洗浄を行なうことになる。

実施例 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。

１はクリーン度の高い（たとえばクラス１０
０）高クリーンルーム、２はクリーン度の低い
（たとえばクラス１０００）低クリーンルームで、
これらクリーンルーム１，２は縦方向の仕切壁３
によつて区画されている。そして両クリーンルー
ム１，２は、天井側からフイルター４，５を通し
てクリーンエア６，７を下吹きし、下降するクリ
ーンエア６，７をメツシユ形式の床８，９を通し
て床下に吸引するように構成してある。１０は前
記仕切壁３を貫通して設けた密閉式の荷保管装置
で、突合せ部に互いの連通部１１を形成した一対
の箱状の本体１２，１３を有する。両本体１２，
１３内の高クリーンルーム１側の壁面寄りには、
それぞれ上下方向に複数の収納空間１４，１５を
区画形成した棚１６，１７が設けられる。さらに
両本体１２，１３内の低クリーンルーム２側の壁
面寄りには、前記連通部１１を通つて両棚１６，
１７に作用自在な搬入出装置１８が設けられる。
この搬入出装置１８は、連通部１１を通して配設
した床レール１９と、この床レール１９に車輪２
０を介して支持案内され、かつ両棚１６，１７の
前面間に亘つての一定経路２１上を走行自在な台
車２２と、この台車２２上から立設した支柱枠２
３と、この支柱枠２３内に配設したガイド体２４
に案内される昇降台２５と、この昇降台２５上に
設けたターンテーブル２６と、このターンテーブ
ル２６上に横方向移動自在に設けた可動台２７
と、この可動台２７から前方に突出し、かつ左右
方向で互に接近離間自在な左右一対の支持腕２８
と、各部の作動装置（図示せず）とから構成され
る。荷２９は製品を収納自在なケース形状であつ
て、上部の両側面には被係止突条２９ａが設けて
あり、前記支持腕２８は被係止突条２９ａに対し
て下方から係合自在となる。一方の本体１２内で
棚１６の裏面側にはクリーン度の高いクリーンユ
ニツト３０が設けられる。このクリーンユニツト
３０は、棚１６の裏面を覆うように配設され、か
つ本体１２との間に流路３１を形成するフイルタ
ー３２と、本体１２内の下部から吸引して流路３
１内に送風する送風機３３などからなり、この本
体１２内を高いクリーン度を保つように稼動す
る。一方の本体１２で低クリーンルーム２側の下
部は第１開口部３４に形成され、この第１開口部
３４に受け台形式の第１荷捌き場３５が設けられ
る。搬入出装置１８を中にして第１荷捌き場３５
とは反対側に高クリーンルーム１に連通する第２
開口部３６が形成され、この第２開口部３６を通
して順送り式の第２荷捌き場３７が設けられる。
そして他方の本体１３には高クリーンルーム１に
連通する第３開口部３８が形成され、この第３開
口部３８を通して順送り式の第３荷捌き場３９が
設けられる。順送り式の両荷捌き場３７，３９は
同様の構造であつて、矩形箱状の本体枠４０に搬
入装置４１と搬出装置４２とを並行して配設して
いる。搬入装置４１ならびに搬出装置４２は、本
体枠４０内に搬送方向に沿つて移動自在に設けた
押し引き体４３と、この押し引き体４３上の所定
ピツチ置きで三箇所設けたシリンダ４４と、これ
らシリンダ４４の上向きピストンロツドに取付け
られ、かつ本体枠４０の天板に形成した切欠き溝
４５を通つて出退自在な支持台４６と、前記切欠
き溝４５の両側に設けた受け部４７などから構成
される。低クリーンルーム２内には、一定経路４
８上を自動走行自在な搬送台車４９が設けられ、
この搬送台車４９は、横方向への可動台５０と、
この可動台５０の前面に設けた昇降枠５１と、こ
の昇降枠５１に互に接近離間自在に設けた一対の
支持腕５２などから構成される。

次に上記実施例の作用を説明する。

たとえば低クリーンルーム２の搬送台車４９は
一定経路４８上を走行し、そして第１荷捌き場３
５の所定の場所に対向して停止される。このとき
支持腕５２が荷２９を支持しておれば、昇降枠５
１の上昇と、可動台５１の第１荷捌き場３５側へ
の前進動と、昇降枠５１の下降とにより荷２９を
第１荷捌き場３５に卸し得、そして支持腕５２は
互に離間したのち可動台５０とともに後退動され
る。また支持腕５２が空のとき、可動台５０を前
進動させて、互に離間している支持腕５２を荷２
９の両側外方に位置させる。そして支持腕５２を
接近動して被係止突条２９ａの下方に位置させ、
昇降枠５１の上昇で荷２９を持上げたのち、可動
台５０の後退動で搬送台車４９上に引き入れる。
以上により搬送台車４９と第１荷捌き場３５との
間での荷２９の受け渡しが行なえる。

第１荷捌き場３５と両棚１６，１７の間での荷
２９の受け渡し、第１荷捌き場３５と第２・第３
荷捌き場３７，３９の間での荷２９の受け渡し、
両棚１６，１７と第２・第３荷捌き場３７，３９
の間での荷２９の受け渡しは搬入出装置１８によ
つて行なわれる。すなわち搬入出装置１８におけ
る台車２２の走行動と、昇降台２５の昇降動と、
ターンテーブル２６の回転動と、可動台２７の前
進、後退動と、支持腕２８の接近離間動との組合
せ動作によつて目的とする箇所間に亘つての荷２
９の移動が行なえる。

第２、第３荷捌き場３７，２９における搬入装
置４１と搬出装置４２は、シリンダ４４により支
持台４６を上昇させて受け部４７上の荷２９を持
上げ、そして押し引き体４３の押し動で荷２９を
１ピツチ分だけ移動させ、次いで支持台４６を下
降させて荷２９を受け部４７上に卸したのち、押
し引き体４３を引き動させることで、荷２９を１
ピツチづつ順送りし得る。

上述のような荷２９の取扱い作業中に、一方の
棚１６においてはクリーンユニツト３０が作動し
ている。すなわち送風機３３からの送気は流路３
１内を上昇し、そしてフイルター３２を通つてク
リーン度の高いクリーンエアとなり、棚１６に対
して背面側から供給される。したがつてて棚１６
内はクリーンユニツト３０の稼動によつて高クリ
ーン度が維持されている。棚１６を通つたクリー
ンエアは搬入出装置１８の通路内に流入し、その
一部は第１開口部３４を通つて低クリーンルーム
２内に流出する。したがつて低クリーンルーム２
側の低いクリーンエア７が本体１２内に流入する
ことを阻止できるとともに、搬送台車４９から第
１荷捌き場３５に卸された荷２９を高いクリーン
エアでエア洗浄できる。さらにクリーンエアの一
部は第２開口部３６と第３開口部３８を通つて高
クリーンルーム１に流出するが、ここで流出する
クリーンエアと高クリーンルーム１のクリーンエ
ア６とは同じクリーン度であることから何んら支
障はない。

考案の効果 上記構成の本考案によると、搬入出装置を作動
させることで、第１荷捌き場と両棚との間で、第
１荷捌き場と第２・第３荷捌き場との間で、両棚
と第２・第３荷捌き場との間で、それぞれ荷の移
動を行なうことができる。これにより１台の荷保
管装置をクリーン度の異なる２つのクリーンルー
ムに共有化できる。その際に、クリーンユニツト
の作動で一方の本体内を高クリーン度に維持する
ことができ、これがエアカーテンの如き役目をし
て両クリーンルーム間での空気流れを阻止できる
とともに、移動する荷に対してエア洗浄を行なう
ことができる。したがつて、両クリーンルームの
クリーン度を損なうことなく、両クリーンルーム
間での荷（製品）の移動を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図は横断
平面図、第２図は縦断側面図、第３図は正面図で
ある。 １……高クリーンルーム、２……低クリーンル
ーム、３……仕切壁、６，７……クリーンエア、
１０……荷保管装置、１１……連通部、１２，１
３……本体、１６，１７……棚、１８……搬入出
装置、２２……台車、２８……支持腕、２９……
荷、２９ａ……被係止突条、３０……クリーンユ
ニツト、３２……フイルター、３４……第１開口
部、３５……第１荷捌き場、３６……第２開口
部、３７……第２荷捌き場、３８……第３開口
部、３９……第３荷捌き場、４１……搬入装置、
４２……搬出装置、４９……搬送台車、５２……
支持腕。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーン度の異なる２つのクリーンルームを区
   画する仕切壁を設け、この仕切壁を貫通して密閉
   式の荷保管装置を設け、この荷保管装置を、突合
   せ部に互いの連通部を形成した一対の箱状本体
   と、これら本体内にそれぞれ設けた棚と、前記連
   通部を通つて両棚に作用自在な搬入出装置と、一
   方の本体内に設置したクリーン度の高いクリーン
   ユニツトとから構成し、一方の本体に、クリーン
   度の低いクリーンルームに連通する第１荷捌き場
   と、クリーン度の高いクリーンルームに連通する
   第２荷捌き場とを、搬入出装置を中にして振分け
   て設け、他方の本体に、クリーン度の高いクリー
   ンルームに連通する第３荷捌き場を設けたことを
   特徴とするクリーンルーム内の荷取扱い設備。