JPH0242701Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、たとえば半導体のような塵埃を極端
にきらう荷（物品）をクリーンルーム間で搬送す
るのに採用される搬送装置に関するものである。

従来の技術 横方向に並設されたクリーンルーム間での荷の
搬送は自走台車などを使用して行つている。そし
て、クリーンルームが上下方向において複数階に
亘つて形成され、これらクリーンルーム間での荷
の搬送を行うときには、エレベータ形式の搬送装
置が使用される。このエレベータ形式において
は、昇降路内の全てをクリーン化するのが好まし
いが、これによるとクリーン度を保つための設備
が大型化し、また運転費も含めて高価となる。そ
こで最近では、荷を格納し保持する昇降体内をク
リーン化して、昇降路内のクリーン化を省略する
形式が提供されている。

考案が解決しようとする問題点 上記したような昇降体内のみクリーン化したエ
レベータ形式においては、昇降体内とクリーンル
ームとの間で連通路を介して荷の受け渡しを行な
う際に、昇降路内の汚れた空気がクリーンルーム
内に流入することを防止しなければならない。そ
のために連通路の開口面積をできるだけ小さくし
なければならず、さらに取扱う荷は大まかに規格
化されている。

本考案の目的とするところは、荷の直接の搬
送、ならびに荷を載置した台車の搬送を行なえ、
しかも連通路の開口面積は取扱物に対応して調整
し得るクリーンルーム間の搬送装置を提供する点
にある。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決すべく本考案のクリーンルー
ム間の搬送装置は、クリーンルームを複数階形成
し、これらクリーンルームを貫通して形成した昇
降路内にクリーンユニツトを有する昇降体を配設
し、この昇降体が対向自在な連通路を各クリーン
ルームに形成し、前記連通路に上下一対の開閉扉
を設けるとともに、前記昇降体の連通路に対向す
る面に昇降体用開閉扉を設け、前記昇降体に荷の
搬入出装置を設けるとともに、この搬入出装置の
両側に台車用床面を形成している。

作 用 かかる本考案構成によると、連通路の開閉扉の
うち、上部の開閉扉に対向して昇降体を停止さ
せ、そして昇降体用開閉扉と上部開閉扉とを開動
させることによつて、搬入出装置を利用して荷
を、クリーンルームと昇降体内との間で受け渡せ
る。また下部の開閉扉に対向して昇降体を停止さ
せ、そして昇降体用開閉扉と下部開閉扉とを開動
させることによつて、クリーンルームの床面と昇
降体の台車用床面との間で台車を走行し得る。

実施例 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。

１は複数階に亘つて形成されたクリーンルーム
で、それぞれ、天井側からフイルター２を通して
クリーンエア３を下吹きし、下降するクリーンエ
ア３をメツシユ形式の床４を通して床下に吸引す
るように構成してある。これらクリーンルーム１
間に亘つて縦壁体５により昇降路６が形成され、
この昇降路６内に昇降体７が配設される。昇降駆
動装置８は、昇降路６の上端に設けた正逆駆動式
のモータ９と、このモータ９に連動する駆動輪体
１０に掛けたチエンなどの索体１１とからなり、
索体１１の一端を昇降体７の上端に連結するとと
もに、他端にバランスウエイトを取付けている。
前記昇降体７は、ガイドローラやガイドレールに
よる支持案内によつて、昇降路６内の一定経路上
で昇降自在となる。この昇降体７内は大まかに３
つの室に区画される。すなわち後部は縦方向の仕
切板１２によつて連通室１３に形成され、また前
部は、横方向にメツシユ板１４により上部に排気
室１５を形成するとともに、メツシユ式の横方向
の床板１６を設けて下部に吸気室１７を形成し、
そして排気室１５と吸気室１７との間を荷収納室
１８としている。そして昇降体７に設けられるク
リーンユニツト１９はフイルタ２０とフアン２１
とからなり、ここでフイルタ２０は排気室１５内
の下部でメツシユ板１４の近くに配設され、また
フアン２１は連通室１３内において仕切板１２に
取付けられ、その排気口を排気室１５に開口して
いる。前記昇降体７の前面側で荷収納室１８に対
向する部分は出入口２２に形成され、この出入口
２２の前面側に昇降体用開閉扉２３が配設され
る。昇降体用開閉扉２３は、昇降体７側に設けた
ガイドに案内されて昇降することにより開閉自在
であり、開閉駆動装置（図示せず）は昇降体７に
設けられる。前記荷収納室１８内の下部には搬入
出装置２４が配設され、この搬入出装置２４は多
段フオーク形式で、その最終段は出入口２２を通
つて出退自在な荷支持板２５となる。そして搬入
出装置２４は中央部に配設され、その両側におい
て床板１６の上面を台車用床面１６ａに形成して
いる。各クリーンルーム１において縦壁体５に
は、出入口２２が対向自在な連通路２６が形成さ
れ、この連通路２６の高さは出入口２２の約２倍
に設定してある。そして連通路２６には上下一対
の開閉扉２７，２８が配設され、これら開閉扉２
７，２８はそれぞれの駆動装置（図示せず）によ
つて、昇降による開閉動を各別に行なう。２９は
手押式の搬送用台車で、床４と台車用床面１６ａ
とに亘つて走行自在である。３０はクリーンルー
ム１内で走行自在な移動式荷受台で、前記搬入出
装置２４が側方から作用し得る構造にしてある。
３１は荷で、パレツト３２上に載置されて取扱わ
れる。

次に上記実施例の作用を説明する。

昇降体用開閉扉２３が閉動した状態において、
クリーンユニツト１９の作動によつてフアン２１
から排出されるエアはフイルタ２０を通つてクリ
ーンエア３３となり、荷収納室１８内に下吹きさ
れる。下吹きされたクリーンエア３３は荷収納室
１８内から床板１６を通つて吸気室１７に流れ込
み、そして連通室１３を通つてフアン２１に吸引
される。これにより荷収納室１８内は常にクリー
ン化されている。このような状態で昇降駆動装置
８を作動させて昇降体７を昇降させ、目的とする
階のクリーンルーム１に対応する連通路２６に出
入口２２を対向させて停止させる。その際に取扱
う物に応じて、その停止位置が上下方向で多少異
なる。すなわちパレツト３２を介して荷３１を取
扱うときには、連通路２６の上半部に出入口２２
を対向させて停止させる。そして第２図に示すよ
うに、昇降体用開閉扉２３と上位の開閉扉２７と
を開動させる。このときクリーンルーム１側には
連通路２６に対向して移動式荷受台３０が停止し
ている。この状態で、搬入出装置２４の横方向出
退動と昇降体７の多少の昇降動との組合せ動作を
行うことによつて、搬入出装置２４と移動式荷受
台３０との間で、パレツト３２を介して荷３１の
受け渡しを行なう。また搬送用台車２９を取扱う
ときには、連通路２６の下半部に出入口２２を対
向させて停止させる。そして第３図に示すよう
に、昇降体用開閉扉２３と下位の開閉扉２８とを
開動させる。この状態で手押し、引出しなどによ
り搬送用台車２９を走行させることにより、クリ
ーンルーム１と昇降体７との間で搬送用台車２９
の受け渡しを行なう。

考案の効果 上記構成の本考案によると、取扱う荷の種類に
基づく作業レベルに応じて、昇降体の停止位置を
開閉扉のどちらかに対向する位置とし、そして昇
降体用開閉扉と、対向している開閉扉とを開動さ
せることによつて、クリーンルームと昇降体との
間で荷の移動を行なわせることができる。これに
より荷の直接の搬送と、荷を載置した台車の搬送
とを共通の構造体で行なうことができるものであ
りながら、連通路の開口面積は取扱物に対応して
できるだけ小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図は縦断
側面図、第２図、第３図は要部の縦断側面図、第
４図は昇降体の正面図である。 １……クリーンルーム、５……縦壁体、６……
昇降路、７……昇降体、８……昇降駆動装置、１
４……メツシユ板、１６……床板、１６ａ……台
車用床面、１７……吸気室、１８……荷収納室、
１９……クリーンユニツト、２２……出入口、２
３……昇降体用開閉扉、２４……搬入出装置、２
６……連通路、２７，２８……開閉扉、２９……
搬送用台車、３０……移動式荷受台、３１……
荷。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーンルームを複数階形成し、これらクリー
   ンルームを貫通して形成した昇降路内にクリーン
   ユニツトを有する昇降体を配設し、この昇降体が
   対向自在な連通路を各クリーンルームに形成し、
   前記連通路に上下一対の開閉扉を設けるととも
   に、前記昇降体の連通路に対向する面に昇降体用
   開閉扉を設け、前記昇降体に荷の搬入出装置を設
   けるとともに、この搬入出装置の両側に台車用床
   面を形成したことを特徴とするクリーンルーム間
   の搬送装置。